專利名稱：一種采用二段分離方式的廢砂漿在線回收設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及切割液回收設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及了一種采用二段分離方式的廢砂漿在線回收設(shè)備。
背景技術(shù)：
目前，硅片線切割工藝的現(xiàn)狀，為了保證切割質(zhì)量，切割工藝中使用的砂漿基本都是極少的重復(fù)使用，切割使用后的廢棄砂漿直接作為工業(yè)廢棄物堆積處理，或者委托專業(yè)處理廠對使用過的砂漿進(jìn)行處理，無論以上那種方式，都會造成極大浪費(fèi)，產(chǎn)生較大成本， 因此，實(shí)現(xiàn)砂漿的回收再利用是硅片生產(chǎn)企業(yè)降低生產(chǎn)成本的有效途徑，需要合理的設(shè)備。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是為了最大程度上避免浪費(fèi)，使切割液回收再利用，特提供了一種采用二段分離方式的廢砂漿在線回收設(shè)備。本實(shí)用新型提供了一種采用二段分離方式的廢砂漿在線回收設(shè)備，其特征在于 所述的采用二段分離方式的廢砂漿在線回收設(shè)備包括一號分離機(jī)1，二號分離機(jī)2，新砂漿罐3，調(diào)試砂漿罐4，一次分離液罐5，廢砂漿罐6，再生砂漿罐7，分離廢棄物罐8，二次分離液罐9 ；其中一號分離機(jī)1同時(shí)與調(diào)試砂漿罐4、一次分離液罐5和廢砂漿罐6連通，二號分離機(jī)2同時(shí)與一次分離液罐5、分離廢棄物罐8和二次分離液罐9連通，調(diào)試砂漿罐4 和二次分離液罐9連通，調(diào)試砂漿罐4和再生砂漿罐7連通，用戶切片機(jī)10分別與廢砂漿罐6和再生砂漿罐7連通。所述的一號分離機(jī)1和二號分離機(jī)2為臥式螺旋沉降離心機(jī)。工作原理切片機(jī)產(chǎn)生的廢舊砂漿，經(jīng)一號分離機(jī)1的分離后，形成一次分離液和回收的粗粉；一次分離液經(jīng)二號分離機(jī)2的分離后，產(chǎn)生回收的液相和回收固相，對回收固相進(jìn)行再處理；一次分離產(chǎn)生回收的粗粉，與新配置的砂漿、二次分離后產(chǎn)生回收的液相三者混合處理，形成新的可利用的砂漿，用于切片機(jī)使用。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)本實(shí)用新型所述的采用二段分離方式的廢砂漿在線回收設(shè)備，用于分離和回收硅片切割工藝中所產(chǎn)生的廢砂漿，同時(shí)亦適用于半導(dǎo)體芯片、水晶、鉆石等行業(yè)的廢液回收利用。硅片切割廢液中，PEG、SiC的回收率可達(dá)80%以上，硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備與線切割機(jī)可采用1 :4或1 :5配置。有效地避免了浪費(fèi)，降低了企業(yè)的生產(chǎn)成本。
以下結(jié)合附圖及實(shí)施方式對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明[0013]


圖1為采用二段分離方式的廢砂漿在線回收設(shè)備原理結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例1本實(shí)施例提供了一種采用二段分離方式的廢砂漿在線回收設(shè)備，其特征在于所述的采用二段分離方式的廢砂漿在線回收設(shè)備包括一號分離機(jī)1，二號分離機(jī)2，新砂漿罐 3，調(diào)試砂漿罐4，一次分離液罐5，廢砂漿罐6，再生砂漿罐7，分離廢棄物罐8，二次分離液罐 9 ；其中一號分離機(jī)1同時(shí)與調(diào)試砂漿罐4、一次分離液罐5和廢砂漿罐6連通，二號分離機(jī)2同時(shí)與一次分離液罐5、分離廢棄物罐8和二次分離液罐9連通，調(diào)試砂漿罐4 和二次分離液罐9連通，調(diào)試砂漿罐4和再生砂漿罐7連通，用戶切片機(jī)10分別與廢砂漿罐6和再生砂漿罐7連通。所述的一號分離機(jī)1和二號分離機(jī)2為臥式螺旋沉降離心機(jī)。工作原理切片機(jī)產(chǎn)生的廢舊砂漿，經(jīng)一號分離機(jī)1的分離后，形成一次分離液和回收的粗粉；一次分離液經(jīng)二號分離機(jī)2的分離后，產(chǎn)生回收的液相和回收固相，對回收固相進(jìn)行再處理；一次分離產(chǎn)生回收的粗粉，與新配置的砂漿、二次分離后產(chǎn)生回收的液相三者混合處理，形成新的可利用的砂漿，用于切片機(jī)使用。
權(quán)利要求1.一種采用二段分離方式的廢砂漿在線回收設(shè)備，其特征在于所述的采用二段分離方式的廢砂漿在線回收設(shè)備包括一號分離機(jī)(1)，二號分離機(jī)(2)，新砂漿罐(3)，調(diào)試砂漿罐(4)，一次分離液罐(5)，廢砂漿罐(6)，再生砂漿罐(7)，分離廢棄物罐(8)，二次分離液罐(9)；其中一號分離機(jī)(1)同時(shí)與調(diào)試砂漿罐(4)、一次分離液罐(5)和廢砂漿罐(6)連通， 二號分離機(jī)(2)同時(shí)與一次分離液罐(5)、分離廢棄物罐(8)和二次分離液罐(9)連通，調(diào)試砂漿罐(4)和二次分離液罐(9)連通，調(diào)試砂漿罐(4)和再生砂漿罐(7)連通，用戶切片機(jī)(10)分別與廢砂漿罐(6)和再生砂漿罐(7)連通。
2.按照權(quán)利要求1所述的采用二段分離方式的廢砂漿在線回收設(shè)備，其特征在于所述的一號分離機(jī)(1)和二號分離機(jī)(2)為臥式螺旋沉降離心機(jī)。
專利摘要一種采用二段分離方式的廢砂漿在線回收設(shè)備，包括一號分離機(jī)，二號分離機(jī)，新砂漿罐，調(diào)試砂漿罐，一次分離液罐，廢砂漿罐，再生砂漿罐，分離廢棄物罐，二次分離液罐；其中一號分離機(jī)同時(shí)與調(diào)試砂漿罐、一次分離液罐和廢砂漿罐連通，二號分離機(jī)同時(shí)與一次分離液罐、分離廢棄物罐和二次分離液罐連通，調(diào)試砂漿罐和二次分離液罐連通，調(diào)試砂漿罐和再生砂漿罐連通，用戶切片機(jī)分別與廢砂漿罐和再生砂漿罐連通。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)用于分離和回收硅片切割工藝中所產(chǎn)生的廢砂漿，同時(shí)亦適用于半導(dǎo)體芯片、水晶、鉆石等行業(yè)的廢液回收利用。硅片切割廢液中，PEG、SiC的回收率可達(dá)80%以上，有效地避免了浪費(fèi)，降低了企業(yè)的生產(chǎn)成本。
文檔編號C10M175/00GK202181292SQ201120294740
公開日2012年4月4日 申請日期2011年8月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年8月15日
發(fā)明者張磊, 韓東 申請人:沈陽光遠(yuǎn)新能源科技有限公司