單晶硅生長爐真空尾氣自動(dòng)除塵裝置的制造方法
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及單晶硅生長設(shè)備的環(huán)保、節(jié)能領(lǐng)域，特別是單晶硅生長爐真空尾氣處理技術(shù)領(lǐng)域。
【【背景技術(shù)】】
[0002]單晶硅生長爐是一種在真空和惰性氣體(氬氣為主)環(huán)境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。目前的單晶硅生長爐在長晶過程中，爐內(nèi)會(huì)產(chǎn)生粉塵和一氧化碳顆粒。為了保證單晶生長爐內(nèi)真空，需要接入真空栗抽真空，產(chǎn)生的尾氣接入油霧分離器過濾之后排入大氣中。在真空栗抽真空過程中，爐內(nèi)氣體中大量粉塵和一氧化碳顆粒會(huì)直接吸入真空栗內(nèi)，粉塵與真空栗內(nèi)的潤滑油混合，導(dǎo)致真空栗潤滑失效，如若潤滑油更換不及時(shí)，會(huì)導(dǎo)致真空栗損壞，但潤滑油更換頻繁，不僅資源浪費(fèi)嚴(yán)重，而且加大了拉晶成本，影響生產(chǎn)效率。當(dāng)前的解決方式是在真空栗體與單晶爐之間連接一個(gè)除塵過濾罐。除塵過濾罐內(nèi)含濾芯，氣體通過濾芯能過濾大量粉塵。但同時(shí)粉塵會(huì)附著在濾芯上，很快會(huì)使濾芯堵塞，導(dǎo)致單晶爐內(nèi)壓力急劇升高，從而影響生產(chǎn)。因此，工人會(huì)經(jīng)常手動(dòng)打開過濾爐，拿出濾芯，清理附著在濾芯上的粉塵。這個(gè)過程需要人工操作，不僅耗時(shí)影響工作效率，而且增加很多額外勞動(dòng)力。
【【實(shí)用新型內(nèi)容】】
[0003]本實(shí)用新型的目的就是解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，提供一種單晶硅生長爐真空尾氣自動(dòng)除塵裝置，能夠讓真空栗在抽真空的過程中過濾掉爐內(nèi)氣體中的粉塵，同時(shí)也能自動(dòng)清理附著在除塵器濾芯上的粉塵。提高成品率，減少勞動(dòng)成本的同時(shí)，大大的提高了生產(chǎn)效率。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提出了一種單晶硅生長爐真空尾氣自動(dòng)除塵裝置，組成包括主罐體、主罐體上蓋、毛刷固定架、毛刷、絲桿升降器、提升架、進(jìn)出口管道組件、儲(chǔ)氣罐；所述主罐體上蓋設(shè)有動(dòng)力機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)包含電機(jī)、磁性聯(lián)軸器。電機(jī)與磁性聯(lián)軸器通過同步帶連接，磁性聯(lián)軸器與主罐體上蓋連接，磁性聯(lián)軸器主軸直接伸入除塵罐內(nèi)與毛刷固定架連接，毛刷安裝在毛刷固定架上；所述絲桿升降器與主罐體連接，提升架與絲桿升降器連接，主罐體上蓋與提升架連接；所述儲(chǔ)氣罐與脈沖閥連接，脈沖閥與主罐體之間通過波紋管連接；所述進(jìn)出口管道組件包含進(jìn)氣接口、出氣接口、備用應(yīng)急接口、截止閥，進(jìn)氣接口與單晶爐連接，出氣接口與真空栗連接。
[0005]作為優(yōu)選，所述磁性聯(lián)軸器與主罐體上蓋之間通過密封圈連接，磁性聯(lián)軸器內(nèi)部為非接觸式連接，有效防止除塵罐真空泄漏。
[0006]作為優(yōu)選，所述毛刷固定架結(jié)構(gòu)呈三等分均勻分開，3個(gè)毛刷分別安裝在固定架上，毛刷的位置前后上下可做調(diào)整。
[0007]作為優(yōu)選，所述波紋管直接通入濾芯內(nèi)部，通過脈沖閥不間斷放氣噴吹。
[0008]作為優(yōu)選，所述主罐體設(shè)有粉塵清理出口，該出口位于主罐體下端，數(shù)量至少為兩個(gè)。
[0009]作為優(yōu)選，所述主罐體設(shè)有觀察窗口，該窗口位于主罐體中部和下部，4個(gè)均勻相對(duì)交錯(cuò)分布，觀察窗口為4個(gè)。
[0010]作為優(yōu)選，所述進(jìn)出口管道組件設(shè)有備用應(yīng)急出口，應(yīng)急出口可與備用自動(dòng)清灰除塵罐。
[0011]作為優(yōu)選，所述進(jìn)出口管道組件中打開相應(yīng)的截止閥，單晶爐可直接與真空栗連接。
[0012]本實(shí)用新型的有益效果:本實(shí)用新型能自動(dòng)完成粉塵過濾和濾芯清理維護(hù)整個(gè)過程。當(dāng)真空栗工作時(shí)，單晶爐內(nèi)氣體會(huì)通過自動(dòng)清理除塵罐，除塵罐內(nèi)的濾芯過濾的過程中會(huì)附著大量粉塵，這時(shí)爐內(nèi)的毛刷會(huì)做間歇旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，清理濾芯表面粉塵。當(dāng)單晶硅生長爐停止工作后，用儲(chǔ)氣罐內(nèi)的氣體噴吹除塵罐內(nèi)的濾芯，達(dá)到進(jìn)一步清理濾芯的效果。用毛刷和噴氣清理同時(shí)進(jìn)行，清理徹底，清理效率高，清理操作的自動(dòng)化程度高，操作方便，使用安全。
[0013]本實(shí)用新型的特征及優(yōu)點(diǎn)將通過實(shí)主罐體施例結(jié)合附圖進(jìn)行詳細(xì)說明。
【【附圖說明】】
[0014]圖1是本實(shí)用新型一種單晶硅生長爐真空尾氣自動(dòng)除塵裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2是本實(shí)用新型一種單晶硅生長爐真空尾氣自動(dòng)除塵裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖；
[0016]圖3是本實(shí)用新型一種單晶硅生長爐真空尾氣自動(dòng)除塵裝置的局部結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖中:1-主罐體、2-主罐體上蓋、3-電機(jī)、4-同步帶、5-磁性聯(lián)軸器、6-提升架、7-絲桿升降器、8-觀察窗口、9-粉塵清理出口、10-儲(chǔ)氣罐、11-儲(chǔ)氣罐、12-脈沖閥、13-進(jìn)出口管道組件、14-波紋管、15-進(jìn)氣接口、16-截止閥、17-備用應(yīng)急接口、18-濾芯、19-毛刷、20-毛刷固定架、21-磁性聯(lián)軸器主軸
【【具體實(shí)施方式】】
[0018]參閱圖1、圖2、圖3，本實(shí)用新型包括主罐體1、主罐體上蓋2、提升架6、絲桿升降器7、儲(chǔ)氣罐11、進(jìn)出口管道組件13、毛刷19、毛刷固定架20 ;所述主罐體上蓋2設(shè)有動(dòng)力機(jī)構(gòu)，該機(jī)構(gòu)包含電機(jī)3、磁性聯(lián)軸器5。電機(jī)3與磁性聯(lián)軸器5通過同步帶4連接，磁性聯(lián)軸器5與主罐體上蓋2連接，磁性聯(lián)軸器主軸21直接伸入罐內(nèi)與毛刷固定架20連接，毛刷19分別安裝在毛刷固定架20上；所述絲桿升降器7與主罐體I連接，提升架6與絲桿升降器7連接，主罐體上蓋2與提升架6連接；所述儲(chǔ)氣罐11與脈沖閥12連接，脈沖閥12與主罐體I之間通過波紋管14連接；所述進(jìn)出口管道組件包含進(jìn)氣接口 15、出氣接口 10、備用應(yīng)急接口 17、截止閥16，進(jìn)氣接口 15與單晶爐連接，出氣接口 10與真空栗連接。
[0019]所述磁性聯(lián)軸器5與主罐體上蓋2之間通過密封圈連接，磁性聯(lián)軸器5內(nèi)部為非接觸式連接，有效防止除塵罐真空泄漏。所述毛刷固定架20結(jié)構(gòu)呈三等分均勻分開，3個(gè)毛刷19分別安裝在毛刷固定架20上，毛刷19的位置前后上下可做調(diào)整。所述主罐體I設(shè)有粉塵清理出口 9，該出口位于主罐體I下端，數(shù)量至少為兩個(gè)。所述主罐體I設(shè)有觀察窗口6，該窗口位于主罐體