一種新型多片襯底噴涂裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及到微納米技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種新型多片襯底噴涂裝置。該新型多片襯底噴涂裝置，包括工作面板、墊塊底座、絕熱底板、硅膠加熱器、加熱板和載片夾具。本發(fā)明所涉及的一種新型多片襯底噴涂裝置能夠同時在多個襯底放置方片上放置襯底，同時完成了多片襯底的噴涂，并且載片夾具更換方便。此外，該新型多片襯底噴涂裝置結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，對襯底的噴涂高效快捷，適合推廣使用。
【專利說明】
一種新型多片襯底噴涂裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及到微納米技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種新型多片襯底噴涂裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在微納米技術(shù)領(lǐng)域，襯底的使用非常常見。單片襯底在噴涂生產(chǎn)過程中效率低下，無法滿足多片襯底同時噴涂的需求。
[0003]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明設(shè)計了一種新型多片襯底噴涂裝置，該新型多片襯底噴涂裝置能夠同時在多個襯底放置方片上放置襯底，同時完成了多片襯底的噴涂，并且載片夾具更換方便。此外，該新型多片襯底噴涂裝置結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，對襯底的噴涂高效快捷，適合推廣使用。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了克服【背景技術(shù)】中存在的缺陷，本發(fā)明解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種新型多片襯底噴涂裝置，包括工作面板、墊塊底座、絕熱底板、硅膠加熱器、加熱板和載片夾具，所述絕熱底板的底部通過墊塊底座固定在工作面板上，所述絕熱底板上設(shè)有硅膠加熱器，所述硅膠加熱器上設(shè)有加熱板，所述加熱板上設(shè)有多條橫行真空吸槽和一條縱向真空吸槽，所述橫行真空吸槽通過縱向真空吸槽連接在一起，所述加熱板的一側(cè)設(shè)有真空氣管接頭，所述真空氣管接頭與一條橫行真空吸槽的一端通過主連接吸孔連通，所述加熱板上設(shè)有兩個夾具直角限位塊和兩個夾具三角限位塊，所述載片夾具放置在加熱板上，所述載片夾具上設(shè)有多個封閉真空吸槽，所述封閉真空吸槽與橫行真空吸槽和縱向真空吸槽之間通過多個次連接吸孔連通，所述載片夾具上對應(yīng)每個封閉真空吸槽設(shè)有兩個L形狀擋塊，所述L形狀擋塊內(nèi)設(shè)有襯底放置方片，所述載片夾具的兩側(cè)分別設(shè)有把手。
[0005]本發(fā)明所涉及的一種新型多片襯底噴涂裝置，該新型多片襯底噴涂裝置能夠同時在多個襯底放置方片上放置襯底，同時完成了多片襯底的噴涂，并且載片夾具更換方便。此夕卜，該新型多片襯底噴涂裝置結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，對襯底的噴涂高效快捷，適合推廣使用。
【附圖說明】
[0006]下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明。
[0007]圖1是本發(fā)明一種新型多片襯底噴涂裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2是本發(fā)明一種新型多片襯底噴涂裝置的主視圖；
圖3是本發(fā)明一種新型多片襯底噴涂裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖一；
圖4是圖3中A處的局部放大圖；
圖5是本發(fā)明一種新型多片襯底噴涂裝置的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖二；
圖6是圖5的主視圖；
圖7是圖6中B處的局部放大圖；
其中:1、工作面板;2、墊塊底座;3、絕熱底板;4、硅膠加熱器;5、加熱板;6、載片夾具；7、夾具直角限位塊;8、夾具三角限位塊;9、襯底放置方片；10、L形狀擋塊;11、把手；12、真空氣管接頭；13、封閉真空吸槽；14、次連接吸孔；15、橫行真空吸槽；16、縱向真空吸槽；17、主連接吸孔。
【具體實施方式】
[0008]現(xiàn)在結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步詳細的說明。附圖為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本發(fā)明的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本發(fā)明有關(guān)的構(gòu)成。
[0009]具體實施例，請參閱圖1-7，一種新型多片襯底噴涂裝置，包括工作面板1、墊塊底座2、絕熱底板3、硅膠加熱器4、加熱板5和載片夾具6，所述絕熱底板3的底部通過墊塊底座2固定在工作面板I上，所述絕熱底板3上設(shè)有硅膠加熱器4，所述硅膠加熱器4上設(shè)有加熱板5，所述加熱板5上設(shè)有多條橫行真空吸槽15和一條縱向真空吸槽16，所述橫行真空吸槽15通過縱向真空吸槽16連接在一起，所述加熱板5的一側(cè)設(shè)有真空氣管接頭12，所述真空氣管接頭12與一條橫行真空吸槽15的一端通過主連接吸孔17連通，所述加熱板5上設(shè)有兩個夾具直角限位塊7和兩個夾具三角限位塊8，所述載片夾具6放置在加熱板5上，所述載片夾具6上設(shè)有多個封閉真空吸槽13，所述封閉真空吸槽13與橫行真空吸槽15和縱向真空吸槽16之間通過多個次連接吸孔14連通，所述載片夾具6上對應(yīng)每個封閉真空吸槽13設(shè)有兩個L形狀擋塊10，所述L形狀擋塊10內(nèi)設(shè)有襯底放置方片9，所述載片夾具6的兩側(cè)分別設(shè)有把手
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[0010]本發(fā)明所涉及的一種新型多片襯底噴涂裝置，該新型多片襯底噴涂裝置能夠同時在多個襯底放置方片上放置襯底，同時完成了多片襯底的噴涂，并且載片夾具更換方便。此夕卜，該新型多片襯底噴涂裝置結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，對襯底的噴涂高效快捷，適合推廣使用。
[0011]顯然，上述實施例僅僅是為清楚地說明所作的舉例，而并非對實施方式的限定。對于所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在上述說明的基礎(chǔ)上還可以做出其它不同形式的變化或變動。這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見的變化或變動仍處于本發(fā)明創(chuàng)造的保護范圍之中。
【主權(quán)項】
1.一種新型多片襯底噴涂裝置，包括工作面板(I)、墊塊底座(2)、絕熱底板(3)、硅膠加熱器(4)、加熱板(5)和載片夾具(6)，其特征在于:所述絕熱底板(3)的底部通過墊塊底座(2)固定在工作面板(I)上，所述絕熱底板(3)上設(shè)有硅膠加熱器(4)，所述硅膠加熱器(4)上設(shè)有加熱板(5)，所述加熱板(5)上設(shè)有多條橫行真空吸槽(15)和一條縱向真空吸槽(16)，所述橫行真空吸槽(15)通過縱向真空吸槽(16)連接在一起，所述加熱板(5)的一側(cè)設(shè)有真空氣管接頭(12)，所述真空氣管接頭(12)與一條橫行真空吸槽(15)的一端通過主連接吸孔(17)連通，所述加熱板(5)上設(shè)有兩個夾具直角限位塊(7)和兩個夾具三角限位塊(8)，所述載片夾具(6)放置在加熱板(5)上，所述載片夾具(6)上設(shè)有多個封閉真空吸槽(13)，所述封閉真空吸槽(13 )與橫行真空吸槽(15)和縱向真空吸槽(16)之間通過多個次連接吸孔(14)連通，所述載片夾具(6)上對應(yīng)每個封閉真空吸槽(13)設(shè)有兩個L形狀擋塊(10)，所述L形狀擋塊(1 )內(nèi)設(shè)有襯底放置方片(9 )。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型多片襯底噴涂裝置，其特征在于，所述載片夾具(6)的兩側(cè)分別設(shè)有把手(11)。
【文檔編號】B05B13/02GK105903607SQ201610426474
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年6月16日
【發(fā)明人】王云翔
【申請人】蘇州美圖半導(dǎo)體技術(shù)有限公司