1.一種低沸點(diǎn)物質(zhì)汽化裝置，包括柜體(1)，設(shè)置在柜體(1)下部的進(jìn)液口(2)以及柜體(1)上部的出氣口(3)，設(shè)置在柜體(1)內(nèi)部的蒸發(fā)器(4)和氣體流量控制器(5)，其特征在于：所述柜體(1)內(nèi)設(shè)置有加熱板(6)，所述加熱板(6)將柜體(1)分隔為上腔室(7)和下腔室(8)，所述加熱板(6)為水平設(shè)置，且加熱板(6)上下表面的放熱量相同，所述下腔室(8)的容積大于所述上腔室(7)的容積；所述蒸發(fā)器(4)設(shè)置在下腔體中，蒸發(fā)器(4)底部設(shè)有進(jìn)料口(401)，頂部設(shè)有出料口(402)，進(jìn)料口(401)通過(guò)輸液管(9)與進(jìn)液口(2)連接，出料口(402)通過(guò)輸氣管(10)穿過(guò)加熱板(6)進(jìn)入上腔室(7)中，輸氣管(10)在上腔室(7)中與所述出氣口(3)連接，所述氣體流量控制器(5)設(shè)置在輸氣管(10)的接近出氣口(3)處。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低沸點(diǎn)物質(zhì)汽化裝置，其特征在于，所述輸氣管(10)在下腔室(8)的部分為傾斜設(shè)置，與水平夾角小于等于45°，所述輸氣管(10)在上腔室(7)的部分為水平設(shè)置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的低沸點(diǎn)物質(zhì)汽化裝置，其特征在于，輸氣管(10)在下腔室(8)的部分與水平夾角小于等于5°。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低沸點(diǎn)物質(zhì)汽化裝置，其特征在于，所述蒸發(fā)器(4)的加熱裝置(403)設(shè)置在蒸發(fā)器的外表面。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的低沸點(diǎn)物質(zhì)汽化裝置，其特征在于，所述輸液管(9)上從進(jìn)液口(2)到進(jìn)料口(401)依次設(shè)有進(jìn)液手動(dòng)閥(201)、進(jìn)液過(guò)濾器(202)、進(jìn)液計(jì)量閥(203)、預(yù)加熱器(204)及進(jìn)液氣動(dòng)閥(205)。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的低沸點(diǎn)物質(zhì)汽化裝置，其特征在于，所述輸氣管(10)在上腔室(7)的部分按氣體流動(dòng)方向，在所述氣體流量控制器(5)之前還設(shè)有氣態(tài)閥門(mén)(301)和氣態(tài)過(guò)濾器(302)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6之一所述的低沸點(diǎn)物質(zhì)汽化裝置，其特征在于，所述柜體(1)的四周設(shè)有保溫層(11)。