本實用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域，尤其涉及一種應(yīng)用于利用泵循環(huán)的研磨液儲存系統(tǒng)的攪拌裝置。

背景技術(shù)：

伴隨半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，實際的生產(chǎn)領(lǐng)域中，高端芯片的制造離不開各種液體的使用，特別在化學(xué)機械研磨制程中，研磨液是必不可少的生產(chǎn)原料之一。

在化學(xué)機械研磨制程中，研磨液儲存系統(tǒng)中的大多數(shù)研磨液都需要不停的攪拌，以防止沉淀產(chǎn)生沉淀和結(jié)晶導(dǎo)致產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中刮傷。因此，每個環(huán)節(jié)的研磨液的充分?jǐn)嚢栾@的十分重要。但是，當(dāng)前的研磨液儲存系統(tǒng)中對研磨液的攪拌主要是通過泵進行回路的循環(huán)，只能使研磨液起到流通的作用，對于大容量的容器桶的攪拌效果不夠；現(xiàn)有技術(shù)中的另一種方式是增加額外的電動攪拌器，用電機帶動攪拌器工作，但是這種方式需要消耗額外的電能。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)中存在的問題，現(xiàn)提供一種攪拌裝置，應(yīng)用于利用泵循環(huán)的研磨液儲存系統(tǒng)，所述研磨液儲存系統(tǒng)包括供研磨液流動的管道，其中，所述攪拌裝置包括，

一連接裝置，連接于所述管道的內(nèi)壁上；

至少一個連接支架；

一螺旋槳，位于所述管道內(nèi)，并通過所述連接支架連接于所述連接裝置上。

較佳的，上述連接裝置中，所述螺旋槳包括，

轉(zhuǎn)軸，連接于所述連接支架上；

槳轂，可樞轉(zhuǎn)的連接于所述轉(zhuǎn)軸上；

復(fù)數(shù)個槳葉，呈放射狀的均布在所述槳轂上。

較佳的，上述連接裝置中，所述連接裝置為圓環(huán)形，所述圓環(huán)形的連接裝置的外壁連接于所述管道的內(nèi)壁上。

較佳的，上述連接裝置中，所述連接支架為彎曲的圓管；

所述連接支架連接所述連接裝置的一端固定在所述圓環(huán)形的連接裝置的內(nèi)壁上；

所述連接支架連接所述轉(zhuǎn)軸的一端固定在所述轉(zhuǎn)軸的側(cè)壁上。

較佳的，上述連接裝置中，所述連接支架設(shè)置有3根。

較佳的，上述連接裝置中，所述槳葉為3個。

還包括，一種研磨液儲存系統(tǒng)，其中，包括上述任一所述的攪拌裝置。

上述技術(shù)方案的有益效果是：利用研磨液儲存系統(tǒng)中循環(huán)泵對研磨液的流動壓力作為動力，推動螺旋槳轉(zhuǎn)動攪拌研磨液，不需消耗額外的能源。

附圖說明

圖1是本實用新型的較佳的實施例中，一種攪拌裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

箭頭所示方向為研磨液流動方向。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步說明，但不作為本實用新型的限定。

本實用新型的較佳的實施例中，如圖1所示，一種攪拌裝置，應(yīng)用于利用泵循環(huán)的研磨液儲存系統(tǒng)，研磨液儲存系統(tǒng)包括供研磨液流動的管道1，攪拌裝置包括：一連接裝置2，連接于管道1的內(nèi)壁上；至少一個連接支架3；一螺旋槳4，位于管道1內(nèi)，并通過連接支架3連接于連接裝置2上。進一步地，連接裝置2、連接支架3、螺旋槳4沿研磨液流動的方向依次連接。

上述技術(shù)方案中，攪拌裝置的螺旋槳4承受管道1內(nèi)的研磨液在泵循環(huán)作用下流動產(chǎn)生的動力而轉(zhuǎn)動，從而達(dá)到在無需消耗額外能源的基礎(chǔ)上實現(xiàn)攪拌研磨液的技術(shù)效果。

本實用新型的較佳的實施例中，螺旋槳4包括，轉(zhuǎn)軸41、槳轂42、復(fù)數(shù)個槳葉43；轉(zhuǎn)軸41連接于連接支架3上；槳轂42可樞轉(zhuǎn)的連接于轉(zhuǎn)軸41上；槳葉43呈放射狀的均布在槳轂42上。

作為優(yōu)選的實施方式，槳葉43的數(shù)量可設(shè)置3-6個。

較佳的，槳葉43的數(shù)量可設(shè)置3個。

本實用新型的較佳的實施例中，連接裝置2為圓環(huán)形，圓環(huán)形的連接裝置2的外壁連接于管道1的內(nèi)壁上。

上述技術(shù)方案中，通過設(shè)置圓環(huán)形的連接裝置2，可在不妨礙研磨液于道中流動的基礎(chǔ)上固定連接支架3。

作為優(yōu)選的實施方式，連接裝置2與管道1可通過螺紋連接。

本實用新型的較佳的實施例中，攪拌裝置可設(shè)置3個連接支架3，每個連接支架3為彎曲的圓管；連接支架3與連接裝置2連接的一端固定在圓環(huán)形的連接裝置2的內(nèi)壁上；連接支架3連接轉(zhuǎn)軸41的一端固定在轉(zhuǎn)軸41的側(cè)壁上。

上述技術(shù)方案中，管道1中的研磨液在泵循環(huán)的作用下從彎曲的圓管狀的連接支架3中流向螺旋槳4，由于連接支架3占用的管道中研磨液流動的空間，從而使連接支架3所在位置的研磨液受到的泵循環(huán)的壓力更大，使得從連接支架3中流出的研磨液的流速更快，因此有利于推動螺旋槳4轉(zhuǎn)動。

本實用新型的技術(shù)方案中，還包括一種研磨液儲存系統(tǒng)，該研磨液儲存系統(tǒng)使用上述攪拌裝置。

以上所述僅為本實用新型較佳的實施例，并非因此限制本實用新型的實施方式及保護范圍，對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，應(yīng)當(dāng)能夠意識到凡運用本實用新型說明書及圖示內(nèi)容所作出的等同替換和顯而易見的變化所得到的方案，均應(yīng)當(dāng)包含在本實用新型的保護范圍內(nèi)。