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一種含氟氣體洗滌裝置的制作方法

文檔序號:12616541閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種含氟氣體洗滌裝置,其特征在于:包括反應(yīng)室(1),反應(yīng)室(1)的下底部設(shè)有積液室(2),積液室(2)的左側(cè)與吸液泵A(4)的進(jìn)液端連接,吸液泵A(4)的出液端與吸液管A(5)連接,吸液管A(5)的上端部設(shè)有噴淋裝置(6),積液室(2)的右側(cè)與吸液泵B(7)的進(jìn)液端連接,吸液泵B(7)的出液端與吸液管B(8)連接,吸液管B(8)的末端與集液槽(3)連接,集液槽(3)通過回流管(12)與積液室(2)連通,集液槽(3)與吸液泵B(7)之間的吸液管B(8)上還設(shè)置有冷卻裝置(9)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氟氣體洗滌裝置,其特征在于:所述反應(yīng)室(1)與積液室(2)之間設(shè)置有網(wǎng)孔板(11),網(wǎng)孔板(11)的下部設(shè)有濾網(wǎng)(10)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氟氣體洗滌裝置,其特征在于:所述噴淋裝置(6)為萬向轉(zhuǎn)動裝置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的含氟氣體洗滌裝置,其特征在于:所述冷卻裝置(9)內(nèi)為冷卻液或冷卻氣體。

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