本發(fā)明涉及粉塵過濾器的結(jié)構(gòu)技術(shù)，特別是有關(guān)于一種裝設(shè)于半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備中的粉塵過濾器。

背景技術(shù)：

眾所周知，在半導(dǎo)體制程中會(huì)生成有害廢氣例如單硅烷(SiH₄)、氯氣(Cl₂)、全氟化合物(PFC)等，為了避免該廢氣對(duì)環(huán)境造成污染與公害，必須先將該廢氣中的有害物質(zhì)予以凈化去除，才能夠排放至外界大氣中。

傳統(tǒng)的半導(dǎo)體制程廢氣的處理方式，是將該廢氣注入廢氣處理設(shè)備內(nèi)，先接受廢氣處理設(shè)備內(nèi)高溫火焰燃燒或與高溫氣體結(jié)合，而形成高溫廢氣，迫使廢氣中的有害物質(zhì)接受高溫催化，進(jìn)而分解成無害的物質(zhì)，隨后藉由廢氣處理設(shè)備內(nèi)的灑水裝置將廢氣中可溶于水的有害物質(zhì)例如氟、氯碳化合物等溶于水中，而使廢氣轉(zhuǎn)換成為無害的氣體，同時(shí)冷卻該氣體，以利于排放至外界大氣中，而不會(huì)造成環(huán)境的污染。通常，在該氣體排放至外界大氣前，還需要通過粉塵過濾器來過濾該氣體，藉此將該氣體中所包含的水分子及粉塵加以除去。

在現(xiàn)有技術(shù)中，上述的粉塵過濾器通常是指旋風(fēng)式過濾器，該旋風(fēng)式過濾器是通過氣體在過濾器內(nèi)渦動(dòng)旋轉(zhuǎn)所生成的離心力及慣性，且藉由氣體中所含水分子與粉塵兩者的比重均大于氣體的比重的原理，使氣體中的水分子及粉塵與氣體分離，進(jìn)而達(dá)到除去氣體中水分子及粉塵的目的。

然而，由于旋風(fēng)式過濾器為了取得過濾氣體中水分子及粉塵的較佳效果，必須配備有鼓風(fēng)機(jī)，并且建構(gòu)出較具結(jié)構(gòu)復(fù)雜度的渦流式導(dǎo)氣通道，以便于利用鼓風(fēng)機(jī)強(qiáng)制驅(qū)動(dòng)氣體迂回于渦流式導(dǎo)氣通道內(nèi)，進(jìn)而過濾氣體中的水分子及粉塵；然而，卻存在旋風(fēng)式過濾器結(jié)構(gòu)復(fù)雜且不易清洗的缺點(diǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本發(fā)明的目的，旨在改善傳統(tǒng)粉塵過濾器結(jié)構(gòu)過于復(fù)雜且不易清洗的問題。

為了解決上述問題，本發(fā)明提供一種裝設(shè)于半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備中的粉塵過濾器，其技術(shù)手段包括：一器殼，其內(nèi)部形成一提供含藏有水分子及粉塵的氣體通過的腔室；及至少一過濾箱，以能抽取方式植入該腔室內(nèi)，該過濾箱內(nèi)設(shè)有用來過濾氣體中水分子及粉塵的多個(gè)捕集環(huán)及一過濾棉，該氣體依序通過捕集環(huán)及過濾棉。

在進(jìn)一步實(shí)施中，本發(fā)明還包括：

該捕集環(huán)呈環(huán)圈狀，且具有一軸心線。其中該捕集環(huán)的環(huán)壁向其軸心方向延伸形成有多個(gè)舌片。該舌片呈波浪狀。

該多個(gè)捕集環(huán)呈交錯(cuò)的陣列狀排列，且該多個(gè)捕集環(huán)的軸心線相互平行。其中該多個(gè)捕集環(huán)為雙層式構(gòu)造，且該多個(gè)捕集環(huán)的軸心線排除重疊。

該過濾箱包含一第一過濾箱及一第二過濾箱，該第一過濾箱及第二過濾箱間隔配置于腔室內(nèi)。其中該腔室內(nèi)還固設(shè)有一隔板，該隔板坐落于第一過濾箱及第二過濾箱之間。

根據(jù)上述技術(shù)方案，本發(fā)明的技術(shù)效果在于：使廢氣處理設(shè)備內(nèi)已溶于水中去除有害物質(zhì)的無害氣體，能直接接受廢氣處理設(shè)備內(nèi)氣體自然排放壓力的導(dǎo)引而通過粉塵過濾器，不需要另外使用鼓風(fēng)機(jī)來強(qiáng)制推動(dòng)廢氣體流動(dòng)，并且能有效的簡(jiǎn)化粉塵過濾器的結(jié)構(gòu)；此外，本發(fā)明的過濾箱采用可抽取式設(shè)計(jì)，以便于取出過濾箱，對(duì)捕集環(huán)及過濾棉進(jìn)行除塵清潔及清洗的作業(yè)，隨后再將已清洗完成的過濾箱植入器殼內(nèi)，以提升清洗過濾器的方便性。

以上所述的方法與裝置的技術(shù)手段及其產(chǎn)生效能的具體實(shí)施細(xì)節(jié)，請(qǐng)參照下列實(shí)施例及圖式加以說明。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的一較佳實(shí)施例的立體分解圖；

圖2是圖1組合后的剖示圖；

圖3是本發(fā)明中捕集環(huán)的立體示意圖；

圖4是圖3中捕集環(huán)堆疊時(shí)的立體示意圖；

圖5是本發(fā)明應(yīng)用于半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備時(shí)的剖示圖。

附圖標(biāo)記說明：10-器殼；11-腔室；12-進(jìn)氣端；13-出氣端；14-排水口；15-開口； 16-滑軌；17-潔凈干燥空氣噴頭；18-壓力偵測(cè)計(jì)；20-過濾箱；21-第一過濾箱；22-第二過濾箱；23-隔板；24-蓋板；25-導(dǎo)槽；30-捕集環(huán)；31-軸心線；32-環(huán)壁；33-舌片；40-過濾棉；50-廢氣處理設(shè)備；51-進(jìn)氣口；52-排氣口；53-加熱分解區(qū)；54-第一水洗區(qū)；55-第二水洗區(qū)；61-廢氣；62-水；63-氣體。

具體實(shí)施方式

以下是實(shí)施例，但本發(fā)明的內(nèi)容并不局限于這些實(shí)施例的范圍。

首先，請(qǐng)合并參閱圖1及圖2，揭露本發(fā)明的一較佳實(shí)施例的態(tài)樣，說明本發(fā)明所提供裝設(shè)于半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備中的粉塵過濾器，包括一器殼10及至少一過濾箱20；其中：

該器殼10可以是由金屬板(如不銹鋼板)螺組或焊接而成，該器殼10內(nèi)形成有一腔室11，而器殼10表面分別形成有連通腔室11的進(jìn)氣端12與出氣端13，使氣體能經(jīng)由進(jìn)氣端12進(jìn)入腔室11內(nèi)，然后由出氣端13離開。在本發(fā)明中所述氣體是指半導(dǎo)體制程廢氣在接受過加熱及水洗處理后所產(chǎn)生的無害氣體。

所述過濾箱20是植入器殼10的腔室11內(nèi)，進(jìn)一步的說，該器殼10一側(cè)形成有一開口15，所述過濾箱20能由開口15處植入腔室11內(nèi)，在具體實(shí)施上，該器殼10由開口15處可以設(shè)置向腔室11內(nèi)延伸的滑軌16，所述過濾箱20雙側(cè)分別形成有對(duì)應(yīng)滑軌16的導(dǎo)槽25，所述過濾箱20經(jīng)由導(dǎo)槽25接受滑軌16的導(dǎo)引而由開口15處植入腔室11內(nèi)，換句話說，通過上述設(shè)計(jì)，能便于所述過濾箱20可抽取式的植入腔室11內(nèi)或由腔室11內(nèi)取出。

所述過濾箱20一側(cè)固定有一蓋板24，該蓋板24的面域是大于開口15的面域，當(dāng)過濾箱20植入腔室11內(nèi)時(shí)，通過蓋板24蓋合于開口15，能避免氣體通過開口15與過濾箱20之間所形成的縫隙向外流出，該蓋板24在實(shí)施上可以設(shè)有把手(未繪示)，能藉由握持該把手便于將過濾箱20植入腔室11內(nèi)或由腔室11內(nèi)取出。

所述過濾箱20內(nèi)在實(shí)施上配置有多個(gè)個(gè)捕集環(huán)30及一過濾棉40，所述捕集環(huán)30與過濾棉40在過濾箱20內(nèi)形成兩道用來過濾氣體中水分子及粉塵的濾材，當(dāng)該氣體通過過濾箱20時(shí)，能通過捕集環(huán)30及過濾棉40來除去氣體中的水分子及粉塵。

請(qǐng)合并參閱圖2及圖3，說明所述捕集環(huán)30可以是金屬制的片體彎曲形成，所述捕集環(huán)30具有一軸心線31，所述捕集環(huán)40內(nèi)沿其軸心線31形成有能提供氣體通過的流道。在具體實(shí)施上，所述捕集環(huán)30的環(huán)壁32上形成有向軸心方向延伸的多個(gè)舌 片33，所述舌片33能增加捕集環(huán)30與氣體的接觸面，所述舌片33在實(shí)施上是呈現(xiàn)出波浪狀的外型。更具體的說，所述舌片33在實(shí)施上是由捕集環(huán)30的環(huán)壁32沖制成型，所述舌片33是藉由水分子會(huì)附著于金屬表面的特性，來捕捉氣體中的水分子及粉塵。

請(qǐng)合并參閱圖1及圖2，說明所述多個(gè)捕集環(huán)30于過濾箱20內(nèi)是呈交錯(cuò)的陣列狀排列，而使所述多個(gè)捕集環(huán)30的軸心線31相互平行，也就是說捕集環(huán)30內(nèi)的流道是朝同一方向，能使氣體順暢的通過捕集環(huán)30。更進(jìn)一步的說，請(qǐng)參閱圖4，說明所述多個(gè)捕集環(huán)30可以是雙層式構(gòu)造，且所述多個(gè)捕集環(huán)30的軸心線31之間排除重疊，使捕集環(huán)30呈現(xiàn)出交錯(cuò)狀，進(jìn)而提升捕集環(huán)30內(nèi)舌片33與氣體的接觸面，進(jìn)而提升捕集環(huán)30在捕集氣體中水分子及粉塵的效果。

所述過濾箱20在實(shí)施上包含一第一過濾箱21及一第二過濾箱22，該第一過濾箱21及第二過濾箱22間隔配置于腔室11內(nèi)，通過在腔室11內(nèi)配置第一過濾箱21及第二過濾箱22來提升過濾氣體中水分子及粉塵的效果。在具體實(shí)施上，該腔室11內(nèi)于第一過濾箱21及第二過濾箱22之間還固設(shè)有一隔板23，該隔板23能增加氣體在通過腔室11內(nèi)時(shí)的移動(dòng)路徑及時(shí)間，且該隔板23上可以設(shè)有過濾棉，能有效的提升過濾氣體中水分子及粉塵時(shí)的效果。

另外，由于捕集環(huán)30及過濾棉40在過濾掉氣體中水分子及粉塵后，聚集于捕集環(huán)30及過濾棉40上的水分子會(huì)凝結(jié)為水而掉落至腔室11底部，為避免水因累積過多而溢流至其他位置(例如廢氣處理設(shè)備)，所以需要在器殼10底部設(shè)有一排水口14來進(jìn)行排水作業(yè)。該器殼10于鄰近出氣端13設(shè)有一潔凈干燥空氣(clean dry air,CDA)噴頭17及一壓力偵測(cè)計(jì)18，該潔凈干燥空氣噴頭17能釋放潔凈干燥空氣與流至出氣端13的氣體混合，該壓力偵測(cè)計(jì)18是用來偵測(cè)氣體通過出氣端13時(shí)的壓力值。

請(qǐng)參閱圖5，說明將器殼10連接一半導(dǎo)體制程廢氣處理設(shè)備50的排氣口52，該廢氣處理設(shè)備50內(nèi)依序設(shè)置有加熱分解區(qū)53、第一水洗區(qū)54及第二水洗區(qū)55，廢氣61先經(jīng)由進(jìn)氣口51注入廢氣處理設(shè)備50內(nèi)，當(dāng)廢氣61通過加熱分解區(qū)53時(shí)，藉由火焰或熱空氣來迫使廢氣61中有害物質(zhì)接受高溫催化，進(jìn)而分解成無害的物質(zhì)，接著，廢氣61依序進(jìn)入第一水洗區(qū)54及第二水洗區(qū)55，藉由水62呈水幕狀均勻分布噴灑，使水62與廢氣61進(jìn)行充分的接觸，將廢氣61中可溶于水62的有害物質(zhì)溶于水62中，而使廢氣61轉(zhuǎn)換成為無害的氣體63，然后通過排氣口52進(jìn)入器殼10內(nèi)，通過器殼10內(nèi)過濾箱20來減少氣體63中所含的水分子及粉塵，最后排放至外界大氣中。

以上實(shí)施例僅為表達(dá)了本發(fā)明的較佳實(shí)施方式，但并不能因此而理解為對(duì)本發(fā)明 專利范圍的限制。因此，本發(fā)明應(yīng)以申請(qǐng)專利范圍中限定的權(quán)利要求內(nèi)容為準(zhǔn)。