廢氣處理設(shè)備的灑水裝置制造方法
【專利摘要】一種廢氣處理設(shè)備的灑水裝置，該廢氣處理設(shè)備包含一用于洗滌廢氣的洗滌裝置，該灑水裝置適用于配合該洗滌裝置而安裝，并包含一連通水源且伸置于該洗滌裝置中的主管，及多個相間隔地在該洗滌裝置中與該主管連接，并能分別呈不同角度灑水的噴頭。所述噴頭能在更換規(guī)格品后確保預(yù)期的灑水范圍，且在單一噴頭損壞時，能由其他未損壞的噴頭彌補(bǔ)灑水范圍，故不需頻繁地安排定期檢修來進(jìn)行維護(hù)。
【專利說明】廢氣處理設(shè)備的灑水裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種灑水裝置，特別是涉及一種廢氣處理設(shè)備的灑水裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體制程中所排出的廢氣，不但對人體以及環(huán)境有害，且具有可燃性、爆炸性，及腐蝕性，站在保護(hù)生活環(huán)境以及永續(xù)經(jīng)營的立場而言，必須使所述廢氣經(jīng)過特殊處理，消除廢氣的有害性，才得以排放至環(huán)境中。
[0003]針對于有害性的廢氣，濕式洗滌是在業(yè)界中普遍采用的方式，直接以清水洗滌廢氣，能去除廢氣中的粉塵以及溶于水的氣體成分。參閱圖1，為一現(xiàn)有的洗滌塔1，該洗滌塔I包含一塔體10、至少一設(shè)置于該塔體10中的過濾環(huán)11，及至少一配合該過濾環(huán)11而設(shè)置于該塔體10中的灑水單元12。該灑水單元12包括一伸置于該塔體10中的主管121，及一連接于該主管121，并能朝向該過濾環(huán)11灑水的噴頭122。
[0004]在該洗滌塔I中，待處理的廢氣是自該塔體10的下方往上輸送，該灑水單元12的噴頭122會朝向該過濾環(huán)11進(jìn)行灑水，該過濾環(huán)11是以濾材所制成，各種不同的濾材能過濾廢氣中的特定成分。該灑水單元12除了以清水洗滌廢氣，去除廢氣中的粉塵及溶于水的氣體成分外，由該噴頭122灑至該過濾環(huán)11上的清水，也能配合濾材的特性,使得該過濾環(huán)11過濾廢氣的效果更好。
[0005]設(shè)置于該塔體10中的每一個灑水單元12，皆僅包括一個噴頭122，以單一的噴頭122進(jìn)行灑水時，必須考慮到水壓以及該噴頭122所呈角度，才能確保該噴頭122的灑水范圍能涵蓋整個對應(yīng)的過濾環(huán)11，以免影響到過濾廢氣的效果。然而，由于該噴頭122屬于耗材，必須定期購買規(guī)格品來更換，所購買的規(guī)格品并非配合既有設(shè)備訂做，因此時常會因水壓無法配合，或者規(guī)格品所呈角度的關(guān)系，使得該噴頭122的灑水范圍無法涵蓋預(yù)期范圍。另外，單一的噴頭122若是發(fā)生阻塞的情況時，即必須立即更換，否則會嚴(yán)重影響該洗滌塔I洗滌廢氣的功效，因此必須相當(dāng)頻繁地安排定期檢修，在維護(hù)設(shè)備上也必須耗費(fèi)大量人力成本。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本實用新型的目的在于提供一種更換規(guī)格品后能確保預(yù)期的灑水范圍，且不需頻繁地安排定期檢修來進(jìn)行維護(hù)的廢氣處理設(shè)備的灑水裝置。
[0007]用于處理廢氣的廢氣處理設(shè)備包含一用于洗滌廢氣的洗滌裝置。本實用新型廢氣處理設(shè)備的灑水裝置，適用于配合該洗滌裝置而安裝，并包含一連通水源且伸置于該洗滌裝置中的主管，及多個相間隔地在該洗滌裝置中與該主管連接，并能分別呈不同角度灑水的噴頭。呈多個角度灑水的所述噴頭，能彼此相互補(bǔ)足灑水的范圍，確保該灑水裝置能對預(yù)期的范圍完整進(jìn)行灑水。
[0008]本實用新型的目的及解決其技術(shù)問題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實現(xiàn)。
[0009]較佳地，前述廢氣處理設(shè)備的灑水裝置，其中，該洗滌裝置包括一個圍繞出一個洗滌空間的洗滌本體，及多個沿該洗滌本體的延伸方向間隔設(shè)置于該洗滌空間中的過濾環(huán)，該洗滌裝置是配合多個灑水裝置，每一個灑水裝置是配合對應(yīng)的過濾環(huán)而安裝。
[0010]較佳地，前述廢氣處理設(shè)備的灑水裝置，其中，每一個灑水裝置的所述噴頭分別呈不同角度朝向?qū)?yīng)的過濾環(huán)。
[0011]較佳地，前述廢氣處理設(shè)備的灑水裝置，其中，定義一條自每一個灑水裝置的主管的軸心朝向?qū)?yīng)的過濾環(huán)延伸的延伸線，所述噴頭朝向?qū)?yīng)的過濾環(huán)的方向，是分別依序與該延伸線以順時針方向夾30度，及以逆時針方向夾30度。
[0012]較佳地，前述廢氣處理設(shè)備的灑水裝置，其中，每一個噴頭包括一個與該主管連接的連接部、一個與該連接部連接的擋止部，及一個自該擋止部一體向外螺旋延伸的螺旋部，該連接部、該擋止部，及該螺旋部共同圍繞出一個與該主管連通的噴水孔。
[0013]本實用新型的有益的效果在于:該灑水裝置的主管上連接有多個分別呈不同角度的噴頭，能彼此相互補(bǔ)足灑水的范圍，確保在更換規(guī)格品后也能對預(yù)期的范圍進(jìn)行灑水，且當(dāng)有噴頭損壞時，其余噴頭能彌補(bǔ)損壞的噴頭而維持正常的灑水范圍，不需立即更換損壞的噴頭，故不需頻繁地安排定期檢修來進(jìn)行該灑水裝置的維護(hù)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1是一示意圖，說明一現(xiàn)有的洗滌塔；
[0015]圖2是一示意圖，說明本實用新型廢氣處理設(shè)備的灑水裝置的一實施例；
[0016]圖3是一立體圖，說明該灑水裝置的組件組成；
[0017]圖4是一側(cè)視圖，說明該灑水裝置的一噴頭；
[0018]圖5是一示意圖，說明該灑水裝置的多個噴頭所呈角度。

【具體實施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖及實施例對本實用新型進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0020]參閱圖2、圖3，用于處理廢氣的廢氣處理設(shè)備包含一用于洗滌廢氣的洗滌裝置2，該洗滌裝置2包括一圍繞出一洗滌空間20的洗滌本體21，及多個沿該洗滌本體21的延伸方向間隔設(shè)置于該洗滌空間20中的過濾環(huán)22(圖2中為便于說明僅繪示一個)。本實用新型廢氣處理設(shè)備的灑水裝置3的實施例，適用于配合該洗滌裝置2而安裝。該灑水裝置3包含一連通水源且伸置于該洗滌空間20中的主管31，及多個相間隔地在該洗滌空間20中與該主管31連接，并能分別呈不同角度灑水的噴頭32(圖2中配合該過濾環(huán)22而僅繪示四個)。該洗滌裝置2是配合至少一個灑水裝置3，每一灑水裝置3是配合對應(yīng)的過濾環(huán)22而安裝。其中，每一灑水裝置3的所述噴頭32分別呈不同角度朝向?qū)?yīng)的過濾環(huán)22。
[0021]參閱圖3與圖4，該灑水裝置3的每一噴頭32包括一與該主管31連接的連接部321、一與該連接部321連接的擋止部322，及一自該擋止部322 —體向外螺旋延伸的螺旋部323。該連接部321、該擋止部322，及該螺旋部323共同圍繞出一與該主管31連通的噴水孔320。該連接部321的周緣形成有螺紋，能以螺接的方式鎖固于該主管31上。該擋止部322具有區(qū)分該連接部321與該螺旋部323的功能，并能在該連接部321連接于該主管31時擋止于連接的位置，還能制成配合固定規(guī)格的六角扳手的六角形，便于在將該連接部321螺接于該主管31的過程中，利用扳手而借由呈六角形的擋止部322來施力旋轉(zhuǎn)。該螺旋部323呈螺旋延伸的形狀，能使清水呈放射狀噴灑，借此擴(kuò)大單一噴頭32的噴灑范圍。
[0022]重新參閱圖2，該洗滌裝置2是利用濕式洗滌的方法處理廢氣，濕式洗滌主要是以清水洗滌待處理的廢氣，借此除去廢氣中的粉塵以及水溶性的氣體成分。而該過濾環(huán)22的用途在于盛接該灑水裝置3所灑出的清水，并且配合其填充的過濾材而過濾氣體。因此，該灑水裝置3能否均勻且完整地將清水噴灑至該過濾環(huán)22上，會影響到該過濾環(huán)22過濾氣體的效果。該灑水裝置3的所述噴頭32，是分別呈不同角度朝向?qū)?yīng)的過濾環(huán)22，能確保噴灑的范圍能涵蓋整個過濾環(huán)22，使該過濾環(huán)22能確實發(fā)揮過濾氣體的功效。
[0023]另外，該灑水裝置3的噴頭32，對于整個廢氣處理設(shè)備而言，為必須替換的消耗品，且該灑水裝置3的噴頭32會安裝于具有不同水壓的地點，有的地點水壓足夠，有的地點則水壓不足。如圖1所示僅設(shè)有單一噴頭122的灑水單元12，在水壓不足時則無法確保能維持預(yù)期的噴灑范圍。但本申請該灑水裝置3包含有多個噴頭32，就算安裝于水壓不足的地點，相較于圖1所示的灑水單元12，該灑水裝置3的噴灑范圍必定較大，在維持一定的噴灑范圍而言，對于安裝地點的水壓要求程度較低，具有較好的泛用性。
[0024]參閱圖5并配合圖2，定義一自每一灑水裝置3的主管31的軸心朝向?qū)?yīng)的過濾環(huán)22延伸的延伸線L，為配合目前業(yè)界習(xí)用的洗滌裝置2的規(guī)格，所述噴頭32朝向?qū)?yīng)的過濾環(huán)22的方向，是分別依序與該延伸線L以順時針方向夾30度，及以逆時針方向夾30度。要特別說明的是，所述噴頭32朝向?qū)?yīng)的過濾環(huán)22的角度，能隨配合的洗滌裝置2而改變，不以上述的態(tài)樣為限。
[0025]重新參閱圖2與圖3，在該灑水裝置3運(yùn)作一段時間后，所述噴頭32難免會有故障或者阻塞的現(xiàn)象。但由于該灑水裝置3包含多個噴頭32，且所述噴頭32能彼此配合并彼此彌補(bǔ)噴灑的范圍。因此，當(dāng)有某些噴頭32發(fā)生故障或者阻塞的情況時，剩余的噴頭32還能彌補(bǔ)故障或者阻塞的噴頭32所噴灑的范圍，不需立即更換損壞的噴頭32。故對于該廢氣處理設(shè)備的維護(hù)者而言，不必頻繁地安排定期檢修來進(jìn)行該灑水裝置3的維護(hù)，能有效節(jié)省在檢修上所耗費(fèi)的人力及成本。
[0026]綜上所述，該灑水裝置3的主管31上連接有多個分別呈不同角度的噴頭32，能彼此相互補(bǔ)足噴灑的范圍，確保在更換規(guī)格品后也能對預(yù)期的范圍進(jìn)行灑水，且當(dāng)有噴頭32損壞時，其余噴頭32能彌補(bǔ)損壞的噴頭32所噴灑的范圍，不需立即更換損壞的噴頭32，不必頻繁地安排定期檢修來進(jìn)行該灑水裝置3的維護(hù)，故確實能達(dá)成本實用新型的目的。
【權(quán)利要求】
1.一種廢氣處理設(shè)備的灑水裝置，該廢氣處理設(shè)備包含一個用于洗滌廢氣的洗滌裝置，該灑水裝置適用于配合該洗滌裝置而安裝，并包含一個連通水源且伸置于該洗滌裝置中的主管，其特征在于:該灑水裝置還包含多個相間隔地在該洗滌裝置中與該主管連接，并能分別呈不同角度灑水的噴頭。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述廢氣處理設(shè)備的灑水裝置，其特征在于:該洗滌裝置包括一個圍繞出一個洗滌空間的洗滌本體，及多個沿該洗滌本體的延伸方向間隔設(shè)置于該洗滌空間中的過濾環(huán)，該洗滌裝置是配合多個灑水裝置，每一個灑水裝置是配合對應(yīng)的過濾環(huán)而安裝。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述廢氣處理設(shè)備的灑水裝置，其特征在于:每一個灑水裝置的所述噴頭分別呈不同角度朝向?qū)?yīng)的過濾環(huán)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述廢氣處理設(shè)備的灑水裝置，其特征在于:定義一條自每一個灑水裝置的主管的軸心朝向?qū)?yīng)的過濾環(huán)延伸的延伸線，所述噴頭朝向?qū)?yīng)的過濾環(huán)的方向，是分別依序與該延伸線以順時針方向夾30度，及以逆時針方向夾30度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述廢氣處理設(shè)備的灑水裝置，其特征在于:每一個噴頭包括一個與該主管連接的連接部、一個與該連接部連接的擋止部，及一個自該擋止部一體向外螺旋延伸的螺旋部，該連接部、該擋止部，及該螺旋部共同圍繞出一個與該主管連通的噴水孔。
【文檔編號】B01D53/18GK204017600SQ201420442570
【公開日】2014年12月17日 申請日期:2014年8月7日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月7日
【發(fā)明者】李建霖 申請人:漢科系統(tǒng)科技股份有限公司