四甲基氫氧化銨提濃裝置制造方法
【專利摘要】一種四甲基氫氧化銨提濃裝置，包括廢液槽、過濾裝置和電滲析裝置，所述廢液槽包括吸附劑進口和廢液進口，所述廢液槽的出口通過連接管與所述過濾裝置的進口連接，所述過濾裝置的上部設(shè)有吸附劑出口，所述過濾裝置的底部設(shè)有液體出口，所述電滲析裝置包括外殼，所述外殼內(nèi)配置成對的陰陽離子交換膜，所述成對的陰陽離子交換膜之間的腔室為濃縮腔體，所述濃縮腔體相鄰的兩側(cè)均為進液腔體，所述液體出口與所述進液腔體連通，所述濃縮腔體與提濃液儲槽連通。本實用新型提供了一種降低能耗、提濃同時回收再生水的四甲基氫氧化銨提濃裝置。
【專利說明】四甲基氫氧化銨提濃裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實用新型涉及一種四甲基氫氧化銨提濃裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]電子級四甲基氫氧化銨(Tetramethyl Ammonium Hydroxide, TMAH)用于顯不面板(FDP)和半導體芯片生產(chǎn)過程中的顯影液，是用量最大的電子化學品之一。一般使用后的顯影液廢水中除了 TMAH之外，還有光刻膠以及各種低濃度的金屬離子雜質(zhì)。由于TMAH是一種腐蝕性化學品，因此經(jīng)過廢水處理方能排放。目前顯示面板和半導體芯片生產(chǎn)廠家一般采用中和，稀釋以達到排放標準。如此廢液處理成本高，另一方面TMAH是一類含氮物質(zhì)，容易造成富營養(yǎng)化污染等環(huán)境負擔，而且TMAH廢液進行處理后排放無法實現(xiàn)循環(huán)利用，從而使制造者的制造成本無法降低。
[0003]臺灣第98114596號專利提供了一種TMAH回收裝置能夠有效移除光刻膠，但無法除去其中的其他雜質(zhì)；CN101993380中通過納濾裝置和樹脂相結(jié)合進行TMAH回收，但該裝置需要耐堿性的納濾膜，而且需要更換頻繁成本高。但是由于回收的TMAH濃度小于實際使用濃度，因此需要將TMAH進行濃縮。專利CN202983247采用蒸發(fā)的方式進行提濃，但需要消耗大量熱能，而且TMAH在加熱過程中會有部分分解。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為了克服已有四甲基氫氧化銨提濃裝置的能耗較大、無法回收再生水的不足，本實用新型提供了一種降低能耗、提濃同時回收再生水的四甲基氫氧化銨提濃裝置。
[0005]本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:
[0006]一種四甲基氫氧化銨提濃裝置，包括廢液槽、過濾裝置和電滲析裝置，所述廢液槽包括吸附劑進口和廢液進口，所述廢液槽的出口通過連接管與所述過濾裝置的進口連接，所述過濾裝置的上部設(shè)有吸附劑出口，所述過濾裝置的底部設(shè)有液體出口，所述電滲析裝置包括外殼，所述外殼內(nèi)配置成對的陰陽離子交換膜，所述成對的陰陽離子交換膜之間的腔室為濃縮腔體，所述濃縮腔體相鄰的兩側(cè)均為進液腔體，所述液體出口與所述進液腔體連通，所述濃縮腔體與提濃液儲槽連通。
[0007]進一步，將所述成對的陰陽離子交換膜有至少兩對，至少兩對陰陽離子交換膜并排布置。
[0008]更進一步，所述連接管上安裝泵。
[0009]本實用新型的有益效果主要表現(xiàn)在:充分利用電滲析原理，保證了 TMAH的提濃，而且結(jié)構(gòu)簡單，可連續(xù)生產(chǎn)，易于推廣實用。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1是四甲基氫氧化銨提濃裝置的示意圖。【具體實施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步描述。
[0012]參照圖1，一種四甲基氫氧化銨提濃裝置，包括廢液槽1、過濾裝置3和電滲析裝置4，所述廢液槽I包括吸附劑進口和廢液進口，所述廢液槽I的出口通過連接管與所述過濾裝置3的進口連接，所述過濾裝置3的上部設(shè)有吸附劑出口，所述過濾裝置3的底部設(shè)有液體出口，所述電滲析裝置包括外殼，所述外殼內(nèi)配置成對的陰陽離子交換膜5、6，所述成對的陰陽離子交換膜5、6之間的腔室為濃縮腔體8，所述濃縮腔體的相鄰兩側(cè)均為進液腔體7，所述液體出口與所述進液腔體7連通，所述濃縮腔體8與提濃液儲槽連通。
[0013]進一步，將所述成對的陰陽離子交換膜有至少兩對，至少兩對陰陽離子交換膜并排布置。所述連接管上安裝泵2。
[0014]本實施例中，廢液槽I，用于存儲廢液，同時用于添加吸附劑；
[0015]過濾裝置3，用于過濾廢液，在這過程中配置泵，用于吸濾；
[0016]所得溶液進入電滲析裝置4，在電滲析裝置中配有多對陰陽離子交換膜各層多個腔室，在電場作用下陰陽離子通過離子膜進入濃縮腔室。濃縮液進入提濃液儲槽。
[0017]所述過濾裝置3中，濾芯位于過濾裝置的中部，過濾裝置的上部出口為固體出口，過濾裝置的下部出口為液體出口。
[0018]如圖1所示，廢液槽I接收存儲TMAH廢液，其中加入定量吸附劑如活性炭等，吸附完全后通過過濾裝置3實現(xiàn)固液分離，所得溶液進入電滲析裝置4，在電滲析裝置中配有多對陰陽離子交換膜5，6 (陰離子交換膜5、陽離子交換膜6);隔成多個腔室:進液腔室7和濃縮腔室8。在電場作用下陰陽離子選擇通過，在濃縮腔室內(nèi)濃縮，提濃溶液進入儲槽。
【權(quán)利要求】
1.一種四甲基氫氧化銨提濃裝置，其特征在于；所述提濃裝置包括廢液槽、過濾裝置和電滲析裝置，所述廢液槽包括吸附劑進口和廢液進口，所述廢液槽的出口通過連接管與所述過濾裝置的進口連接，所述過濾裝置的上部設(shè)有吸附劑出口，所述過濾裝置的底部設(shè)有液體出口，所述電滲析裝置包括外殼，所述外殼內(nèi)配置成對的陰陽離子交換膜，所述成對的陰陽離子交換膜之間的腔室為濃縮腔體，所述濃縮腔體的相鄰兩側(cè)均為進液腔體，所述液體出口與所述進液腔體連通，所述濃縮腔體與提濃液儲槽連通。
2.如權(quán)利要求1所述的四甲基氫氧化銨提濃裝置，其特征在于；將所述成對的陰陽離子交換膜有至少兩對，至少兩對陰陽離子交換膜并排布置。
3.如權(quán)利要求1或2所述的四甲基氫氧化銨提濃裝置，其特征在于:所述連接管上安裝泵。
【文檔編號】B01D61/44GK203545915SQ201320478080
【公開日】2014年4月16日 申請日期:2013年8月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月6日
【發(fā)明者】梁小朝, 黃源, 尹云艦, 高立江, 胡叔銘 申請人:杭州格林達化學有限公司