專利名稱：氣體混合裝置以及流體混合系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及氣體混合裝置，尤其是橫截面面積變化的氣體混合裝置，具體地，涉及在在半導體工藝中，用于快速混合氣體的橫截面面積連續(xù)變化的氣體混合裝置。
背景技術(shù)：
通常半導體工藝需要同時使用到多種氣體，許多過程中需要混合氣體，而且在不同的反應步驟中需要使用到不同的混合氣體，所以氣體混合裝置就必須能夠根據(jù)反應步驟的需要快速、充分地混合氣體。通常，如果使用簡單的管線雖然氣體的通過速度快，但是混合效果很差，達不到生
產(chǎn)的需要。而為了更好地混合氣體，必然會采用較大的混合裝置，較長的管線以達到充分混合的效果。但在實際生產(chǎn)過程中，大型的混合裝置和較長的管線費用較高，占地面積也大，氣體流動的速度減慢，混合的速度大大下降，同時更無法達到半導體工藝所特別要求的快速、充分地混合氣體。中國公開專利號CN101721934A公開了 一種組合擋塊式氣固混合強化裝置，它涉及一種強化氣固混合過程反應塔。該實用新型為解決高徑比較大的流態(tài)化反應塔的上部空間氣流混合強度弱，進而導致反應塔空間利用率和反應效率得不到有效提高的問題。攜帶有固相顆粒物的氣流從下至上流經(jīng)固相濃縮擋塊的小角度迎氣流斜面時，在固相顆粒的慣性作用下，發(fā)生了濃縮行為，經(jīng)過適當?shù)淖饔镁嚯x(h2)，在固相濃縮擋塊的對側(cè)壁面附近形成高濃度的固相顆粒流；具有很大慣性的高濃度固相顆粒流與撞擊擋塊的大角度迎氣流斜面發(fā)生碰撞行為，而固相濃縮擋塊和撞擊擋塊采用較小的節(jié)流面積和適當?shù)拈g距組合使得流動阻力損失降到最低，從而實現(xiàn)了低阻高效的氣固混合。本實用新型用于反應塔的氣固混合過程中。該專利所公開的結(jié)構(gòu)雖然可以略微加強氣體混合的效果，但其應用范圍主要是化工領(lǐng)域，尚不能達到半導體工藝中快速、充分地混合氣體的要求。所以，現(xiàn)有的氣體混合設(shè)備，尤其是半導體工藝中的氣體混合設(shè)備的管道混合效果差，復雜的混合裝置混合速度慢是現(xiàn)有技術(shù)難以克服的矛盾。

實用新型內(nèi)容針對現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本實用新型的目的是提供一種氣體混合裝置，能夠在有限的空間內(nèi)，通過連續(xù)變換管道的橫截面面積，大大加強管道混合氣體的能力和速度，能夠?qū)崿F(xiàn)氣體混合的快速變化，同時減少了管道的長度和設(shè)備的占地面積，也提高了混合的速度。根據(jù)本實用新型的一個方面，提供一種氣體混合裝置，與等離子體處理設(shè)備配合使用，將多種氣體混合后導入所述等離子體處理設(shè)備中進行等離子體處理，所述氣體至少包括第一氣體和第二氣體，所述混合裝置包括:混合氣體管道，其一端至少設(shè)有第一氣體進氣口和第二氣體進氣口，其另一端設(shè)有一混合氣體出口 ；所述第一氣體通過所述第一氣體進氣口通入所述混合氣體管道；所述第二氣體通過所述第二氣體進氣口通入所述混合氣體管道；所述混合氣體出口將混合后的所述氣體導入所述等離子體處理設(shè)備中；所述混合氣體管道是一條橫截面面積有變化的管道。優(yōu)選地，所述管道的橫截面的面積大小連續(xù)變化。優(yōu)選地，所述管道的管徑連續(xù)變化。優(yōu)選地，所述管道包括若干段，每段的橫截面的面積與相鄰的兩段的橫截面的面積各不同。優(yōu)選地，所述管道為以下的任意一項或組合:-圓管；-方管；-菱形管；-橢圓管；以及-藕狀管。優(yōu)選地，所述圓管的橫截面的直徑連續(xù)變化。優(yōu)選地，所述方管或者菱形管的橫截面的邊長連續(xù)變化。優(yōu)選地，所述藕狀管的孔徑連續(xù)變化。優(yōu)選地，相鄰的所述藕狀管的藕孔的孔徑不同。優(yōu)選地，相鄰的所述藕狀管的藕孔的分布位置不同。優(yōu)選地，所述管道的內(nèi)壁設(shè)有若干產(chǎn)生繞流的鋸齒狀尖刺。優(yōu)選地，其中至少一段所述管道還通過至少一橫截面的面積大小連續(xù)變化的混合室。優(yōu)選地，所述混合室的結(jié)構(gòu)為以下的任意一項或組合:-球體結(jié)構(gòu)；-棱臺結(jié)構(gòu)；-紡錐體結(jié)構(gòu)；-沙漏結(jié)構(gòu)；以及-啞鈴結(jié)構(gòu)。優(yōu)選地，相鄰的所述混合室的體積不同。優(yōu)選地，所述混合室的內(nèi)壁設(shè)有若干產(chǎn)生繞流的鋸齒狀尖刺。優(yōu)選地，其中至少一段所述管道的管壁內(nèi)設(shè)有若干阻流塊。優(yōu)選地，相鄰的所述阻流塊的阻流面積大小不同。優(yōu)選地，所述阻流塊的邊緣設(shè)有產(chǎn)生繞流的鋸齒狀尖刺。優(yōu)選地，其中至少一段所述管道內(nèi)設(shè)有至少一網(wǎng)狀柵欄。優(yōu)選地，所述網(wǎng)狀柵欄的網(wǎng)孔的孔徑連續(xù)變化。優(yōu)選地，相鄰的所述網(wǎng)狀柵欄的通過孔的孔徑不同。優(yōu)選地，相鄰的所述網(wǎng)狀柵欄的通過孔的分布位置不同。優(yōu)選地，相鄰的所述網(wǎng)狀柵欄的通過孔的邊緣設(shè)有產(chǎn)生繞流的鋸齒狀尖刺。優(yōu)選地，其中至少一段所述管道分成若干路支管，然后又合并，所述支管的橫截面的面積之和大于或小于所述管道。優(yōu)選地，所述支管的橫截面的面積大小連續(xù)變化。[0044]優(yōu)選地，所述支管的內(nèi)壁設(shè)有若干產(chǎn)生繞流的鋸齒狀尖刺。優(yōu)選地，所述管道的內(nèi)壁設(shè)有若干阻擋條，所述阻擋條螺旋盤繞在所述管道的內(nèi)壁。優(yōu)選地，所述阻擋條的橫截面的大小連續(xù)變化。優(yōu)選地，所述阻擋條的表面設(shè)有若干產(chǎn)生繞流的鋸齒狀尖刺。根據(jù)本實用新型的另一個方面，還提供一種橫截面面積連續(xù)變化的流體混合系統(tǒng)，包括混合腔室和分氣器，所述混合腔室與所述分氣器之間，通過前述的氣體混合裝置連接。優(yōu)選地，所述混合腔室與所述分氣器之間的管道上設(shè)有至少一壓力閥。本實用新型的氣體混合裝置，能夠在有限的空間內(nèi)，通過連續(xù)變換管道的橫截面面積，大大加強管道混合氣體的能力和速度，能夠?qū)崿F(xiàn)氣體混合的快速變化，同時節(jié)約了管道的長度和設(shè)備的占地面積，也提高了混合的速度。

通過閱讀參照以下附圖對非限制性實施例所作的詳細描述，本實用新型的其它特征、目的和優(yōu)點將會變得更明顯:圖1示出根據(jù)本實用新型的一個具體實施方式
的，氣體混合裝置的一種管道結(jié)構(gòu)示意圖；圖2示出根據(jù)本實用新型的一個具體實施方式
的，氣體混合裝置中的一種藕狀管的橫截面示意圖；圖3示出根據(jù)本實用新型的一個具體實施方式
的，氣體混合裝置中的一種啞鈴結(jié)構(gòu)混合室的管道示意圖；圖4示出根據(jù)本實用新型的一個具體實施方式
的，氣體混合裝置中的一種球形混合室的管道示意圖；圖5示出根據(jù)本實用新型的一個具體實施方式
的，氣體混合裝置中的一種設(shè)有阻流塊的管道結(jié)構(gòu)示意圖；圖6示出根據(jù)本實用新型的一個具體實施方式
的，氣體混合裝置中的一種設(shè)有多根支管的管道結(jié)構(gòu)示意圖；圖7示出根據(jù)本實用新型的一個具體實施方式
的，氣體混合裝置中的一種設(shè)有網(wǎng)狀柵欄的管道結(jié)構(gòu)示意圖；以及圖8示出根據(jù)本實用新型的一個具體實施方式
的，氣體混合裝置的使用狀態(tài)示意圖。附圖標記I為管道2為混合腔室3為分氣器4為壓力閥5為混合室6為支管[0067]7為阻流塊8為網(wǎng)狀柵欄9為鋸齒狀尖刺12為球體結(jié)構(gòu)13為啞鈴結(jié)構(gòu)21為第一氣體進氣口22為第二氣體進氣口23為混合氣體出口24為等離子體處理設(shè)備
具體實施方式
本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員結(jié)合現(xiàn)有技術(shù)以及上述實施例可以實現(xiàn)所述變化例，在此不予贅述。這樣的變化例并不影響本實用新型的實質(zhì)內(nèi)容，在此不予贅述。如圖1所示，其示出了本實用新型的一個實施例。本實用新型提供了一種氣體混合裝置，與等離子體處理設(shè)備24配合使用，將多種氣體混合后導入所述等離子體處理設(shè)備24中進行等離子體處理，所述氣體至少包括第一氣體和第二氣體，所述混合裝置包括:混合氣體管道I，其一端至少設(shè)有第一氣體進氣口 21和第二氣體進氣口 22，其另一端設(shè)有一混合氣體出口 23 ;所述第一氣體通過所述第一氣體進氣口 21通入所述混合氣體管道I ;所述第二氣體通過所述第二氣體進氣口 22通入所述混合氣體管道I ;所述混合氣體出口 23將混合后的所述氣體導入所述等離子體處理設(shè)備24中；所述混合氣體管道I是一條橫截面面積變化的管道I。本實用新型中所指的氣體根據(jù)實際的反應需要來決定，可以是反應氣體，也可以是調(diào)制氣體，或者是制成氣體，或者上述氣體的任意的混合等等。實際使用中，為了更好地混合氣體，且同時達到設(shè)備占地面積小、反應速度快且充分混合的目的，所述管道I的橫截面的面積大小可以連續(xù)變化，通過忽大忽小的橫截面面積，使得氣體在管道I中流動的時候，在橫截面的面積大的地方減慢流動速度，而在橫截面的面積小的地方加快流動速度，這種使其內(nèi)部流動氣體忽快忽慢的管道，非常有利于加快氣體混合的速度和效果。當然，為了配合實際的工藝需要而采用到三種、四種甚至四種以上的氣體時，混合氣體管道I可以相應連接多個氣體進氣口，以通入不同氣體。由于氣體在橫截面的面積大的地方降低了速度，但是后部的氣體仍然快速流經(jīng)這份部分，沖擊減速后的氣體，不同速度的氣體在橫截面的面積大的地方進行充分混合。氣體在橫截面的面積小的地方加快了速度，一則保證了混合氣體管道I中的流速在半導體工藝要求的合適的范圍內(nèi)，加快了反應速度，不會因為流速過低而無法滿足后續(xù)設(shè)備的需求，二使得通過的氣體更加聚集，狹小空間內(nèi)更有利于氣體的混合。當然，如果管道I是常見的圓管、方管、菱形管以及橢圓管等，或者它們的組合，可以通過管道I的管徑連續(xù)變化，比如所述圓管的橫截面的直徑連續(xù)變化，所述方管或者菱形管的橫截面的邊長連續(xù)變化，還可以是一段管道內(nèi)徑變粗，相鄰的另一段管道內(nèi)徑變細等等來實現(xiàn)橫截面的面積大小連續(xù)變化的技術(shù)方案。[0084]而且，為了充分混合，也可以將所述管道I視為若干段，每段的橫截面的面積與相鄰的兩段的橫截面的面積各不同。如圖2所示，混合氣體管道I還可以是更特別一點的藕狀管11，所述藕狀管11的孔徑也可以連續(xù)變化。如果混合氣體管道I內(nèi)設(shè)有多段藕狀管11，則相鄰的所述藕狀管11的藕孔的孔徑可以不同，進一步加強管道的橫截面的變化來是實現(xiàn)更好的混合效果。相鄰的所述藕狀管11的藕孔的分布位置不同，這樣通過一段藕狀管11的藕孔后，氣體還需要進行一些繞道來到達另一段藕狀管11中的藕孔，延長了氣體的通過路徑以及通過的時間，并且在兩段藕狀管11之間，由于藕孔的分布位置不同，氣體會發(fā)生橫向的繞道，也就是相對地向垂直管道平面的方向相互流動，更加有利于氣體混合。為了進一步加強混合效果，可以在所述管道I的內(nèi)壁設(shè)有若干產(chǎn)生繞流的鋸齒狀尖刺9。所述鋸齒狀尖刺9能夠?qū)焖倭鹘?jīng)的氣體產(chǎn)生分割，將流經(jīng)的較大股的氣體，分割為幾股小的氣體，顯然，多股小氣體之間的混合速度更快，混合的效果也更好。除了常規(guī)的管路結(jié)構(gòu)，本實用新型的氣體混合裝置的管道還可以是一段所述管道I通過若干橫截面的面積大小變化的混合室5。實際使用中，所述混合室5的結(jié)構(gòu)可以是以下的任意一項或組合:球體結(jié)構(gòu)13(如圖4示出)、棱臺結(jié)構(gòu)、紡錐體結(jié)構(gòu)、沙漏結(jié)構(gòu)以及啞鈴結(jié)構(gòu)12 (如圖3示出)。為了更好地混合效果，相鄰的所述混合室5的體積可以不同。這里的實現(xiàn)原理與上文中調(diào)整管徑大小的技術(shù)方案類似，都是為了更好地混合氣體，且同時達到設(shè)備占地面積小、反應速度快且充分混合的目的。所述管道I的橫截面的面積大小可以連續(xù)變化，通過忽大忽小的橫截面面積，使得氣體在管道I中流動的時候，在橫截面的面積大的地方減慢流動速度，而在橫截面的面積小的地方加快流動速度，這種使其內(nèi)部流動氣體忽快忽慢的管道，非常有利于加快氣體混合的速度和效果。所述混合室5的內(nèi)壁設(shè)有若干產(chǎn)生繞流的鋸齒狀尖刺9，此處鋸齒狀尖刺9的作用，與上文中的鋸齒狀尖刺9相同，為了進一步加強混合效果，所述管道I的內(nèi)壁設(shè)有若干產(chǎn)生繞流的鋸齒狀尖刺9。所述鋸齒狀尖刺9能夠?qū)α鹘?jīng)的氣體產(chǎn)生分割，將流經(jīng)的較大股的氣體，分割為幾股小的氣體，顯然，多股小氣體之間的混合速度更快，混合的效果也更好。管道I的結(jié)構(gòu)也可以是:如圖5所示，其中至少一段所述管道I的管壁內(nèi)設(shè)有若干阻流塊7。本實用新型中的阻流塊7的作用與鋸齒狀尖刺9不同，阻流塊7的體積遠遠大于鋸齒狀尖刺9，阻流塊7是為了阻擋部分流經(jīng)的氣體而設(shè)置的，能夠直接縮小混合氣體管道I的橫截面面積。相比起調(diào)整管徑的方法，在管道內(nèi)部設(shè)置阻流塊7的成本更加低廉，就能實現(xiàn)類似的效果，而且對于老式管道的翻新幫助很大，成本低廉，改造方便，效果立竿見影。同樣地，為了進一步加強混合效果，相鄰的所述阻流塊7的阻流面積大小不同。進一步加強管道I橫截面變化的效果。所述阻流塊7的邊緣設(shè)有產(chǎn)生繞流的鋸齒狀尖刺9。管道I的結(jié)構(gòu)也可以是:如圖7所示，其中至少一段所述管道I內(nèi)設(shè)有至少一網(wǎng)狀柵欄8。網(wǎng)狀柵欄8同樣具有將流經(jīng)的較大股的氣體，分割為幾股小的氣體的作用，顯然，多股小氣體之間的混合速度更快，混合的效果也更好。而且，所述網(wǎng)狀柵欄8的網(wǎng)孔的孔徑也可以連續(xù)變化。相鄰的所述網(wǎng)狀柵欄8的通過孔的孔徑不同。相鄰的所述網(wǎng)狀柵欄8的通過孔的分布位置不同。相鄰的所述網(wǎng)狀柵欄8的通過孔的邊緣設(shè)有產(chǎn)生繞流的鋸齒狀尖刺9等等。所涉及的方法和目的均與上文相同，此處不再贅述。除了單根管道，如圖6所示，所述管道I也可以分成若干路支管6，然后又合并，所述支管6的橫截面的面積之和大于或小于所述管道I。所述支管6的橫截面的面積大小連續(xù)變化。所述支管6的內(nèi)壁設(shè)有若干產(chǎn)生繞流的鋸齒狀尖刺9。所述管道I的內(nèi)壁設(shè)有若干阻擋條，所述阻擋條螺旋盤繞在所述管道I的內(nèi)壁。所述阻擋條的橫截面的大小連續(xù)變化。所述阻擋條的表面設(shè)有若干產(chǎn)生繞流的鋸齒狀尖刺9。所涉及的方法和目的均與上文相同，此處不再贅述。如圖8所示，一種橫截面面積連續(xù)變化的流體混合系統(tǒng)，包括混合腔室2和分氣器3，混合腔室2與分氣器3之間，通過氣體混合裝置連接。氣體混合裝置通過第一氣體進氣口 21和第二氣體進氣口 22連接混合腔室2，氣體混合裝置通過混合氣體出口 23連接分氣器3。所述混合腔室2與所述分氣器3之間的管道I上設(shè)有一壓力閥4。其中，氣體混合裝置用于將多種反應氣體混合后導入分氣器3，然后根據(jù)反應工藝的需要再通過壓力閥門、過濾器以及節(jié)流孔之后進入所述等離子體處理設(shè)備24中進行等離子體處理。所述反應氣體至少包括第一氣體和第二氣體，所述混合裝置包括:混合氣體管道1，其一端至少設(shè)有第一氣體進氣口 21和第二氣體進氣口 22，其另一端設(shè)有一混合氣體出口 23 ;所述第一氣體進氣口 21用于通入所述第一氣體；所述第二氣體進氣口 22用于通入所述第二氣體；所述混合氣體出口 23用于將混合后的所述反應氣體導入所述分氣器3?；谥暗拿枋觯@然所述氣體混合裝置的結(jié)構(gòu)可以是非常多樣化的。可以是之前介紹的各種橫截面變化的管道結(jié)構(gòu)(如圖2至7所示)的任意連接組合，即按照工藝要求任意排列成管道，供氣體通過，只要各段管道結(jié)構(gòu)之間氣密，能夠?qū)崿F(xiàn)氣體正常流通就行，具體的組合方式不 羅列。當然，重復使用同一種橫截面變化的管道結(jié)構(gòu)，或者僅使用一種橫截面變化的管道結(jié)構(gòu)都能實現(xiàn)們使用新型的實用新型目的。比如說，實際使用時，第一氣體和第二氣體為兩種不同的調(diào)制氣體，從混合腔室2分別通過第一氣體進氣口 21和第二氣體進氣口 22進入氣體混合裝置，氣體混合裝置是有本實用新型中介紹的幾種管道結(jié)構(gòu)組成的，氣體通過氣體混合裝置時發(fā)生快速充分的混合，短距離并且短時間內(nèi)就達到了等離子處理工藝所需的氣體混合程度，通過后續(xù)的壓力閥門、過濾器以及節(jié)流孔之后進入所述等離子體處理設(shè)備24中進行等離子體處理。綜上可知，本實用新型的氣體混合裝置，能夠在有限的空間內(nèi)，通過連續(xù)變換管道的橫截面面積，大大加強管道混合氣體的能力和速度，能夠?qū)崿F(xiàn)氣體混合的快速變化，同時節(jié)約了管道的長度和設(shè)備的占地面積，也提高了混合的速度。以上對本實用新型的具體實施例進行了描述。需要理解的是，本實用新型并不局限于上述特定實施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以在權(quán)利要求的范圍內(nèi)做出各種變形或修改，這并不影響本實用新型的實質(zhì)內(nèi)容。
權(quán)利要求1.一種氣體混合裝置，與等離子體處理設(shè)備(24)配合使用，將多種氣體混合后導入所述等離子體處理設(shè)備(24)中進行等離子體處理，所述氣體至少包括第一氣體和第二氣體，所述混合裝置包括: 混合氣體管道(I)，其一端至少設(shè)有第一氣體進氣口(21)和第二氣體進氣口(22)，其另一端設(shè)有一混合氣體出口(23)； 所述第一氣體通過所述第一氣體進氣口(21)通入所述混合氣體管道(I)； 所述第二氣體通過所述第二氣體進氣口(22)通入所述混合氣體管道(I)； 所述混合氣體出口(23)將混合后的所述氣體導入所述等離子體處理設(shè)備(24)中； 其特征在于:所述混合氣體管道(I)是一條橫截面面積有變化的管道(I)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體混合裝置，其特征在于:所述管道(I)的橫截面的面積大小連續(xù)變化。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體混合裝置，其特征在于:所述管道(I)的管徑連續(xù)變化。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體混合裝置，其特征在于:所述管道(I)包括若干段，每段的橫截面的面積與相鄰的兩段的橫截面的面積各不同。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的氣體混合裝置，其特征在于:所述管道(I)為以下的任意一項或組合: -圓管； -方管；-菱形管； -橢圓管；以及 -藕狀管(11)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的氣體混合裝置，其特征在于:所述藕狀管(11)的孔徑連續(xù)變化，相鄰的所述藕狀管(11)的藕孔的孔徑不同，且相鄰的所述藕狀管(11)的藕孔的分布位置不同。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的氣體混合裝置，其特征在于:所述管道(I)的內(nèi)壁設(shè)有若干產(chǎn)生繞流的鋸齒狀尖刺(9)。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的氣體混合裝置，其特征在于:其中至少一段所述管道(I)還通過至少一橫截面的面積大小連續(xù)變化的混合室(5)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的反應氣體混合裝置，其特征在于:相鄰的所述混合室(5)的體積不同。
10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的反應氣體混合裝置，其特征在于:其中至少一段所述管道(I)的管壁內(nèi)設(shè)有若干阻流塊(7)，相鄰的所述阻流塊(7)的阻流面積大小不同。
11.根據(jù)權(quán)利要求4所述的氣體混合裝置，其特征在于:其中至少一段所述管道(I)內(nèi)設(shè)有至少一網(wǎng)狀柵欄(8)。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的氣體混合裝置，其特征在于:所述網(wǎng)狀柵欄(8)的網(wǎng)孔的孔徑連續(xù)變化，相鄰的所述網(wǎng)狀柵欄⑶的通過孔的孔徑不同，且相鄰的所述網(wǎng)狀柵欄(8)的通過孔的分布位置不同。
13.根據(jù)權(quán)利要求4所述的氣體混合裝置，其特征在于:其中至少一段所述管道(I)分成若干路支管￠)，然后又合并，所述支管￠)的橫截面的面積之和大于或小于所述管道⑴。
14.一種橫截面面積連續(xù)變化的流體混合系統(tǒng)，包括混合腔室(2)和分氣器(3)，其特征在于:所述混合腔室(2)與所述分氣器(3)之間，通過至少一個如權(quán)利要求1至13中任意一項所述氣體混合裝置連接。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的流體混合系統(tǒng)，其特征在于:所述混合腔室(2)與所述分氣器(3)之間的管道(I)上設(shè)有至 少一壓力閥(4)。
專利摘要本實用新型提供氣體混合裝置以及流體混合系統(tǒng)，與等離子體處理設(shè)備配合使用，用于將多種反應氣體混合后導入所述等離子體處理設(shè)備中進行等離子體處理，所述反應氣體至少包括第一氣體和第二氣體，所述混合裝置包括混合氣體管道，其一端至少設(shè)有第一氣體進氣口和第二氣體進氣口，其另一端設(shè)有一混合氣體出口；所述第一氣體進氣口用于通入所述第一氣體；所述第二氣體進氣口用于通入所述第二氣體；所述混合氣體出口用于將混合后的所述反應氣體導入所述等離子體處理設(shè)備中；所述混合氣體管道是一條橫截面面積變化的管道，本實用新型的氣體混合裝置，能夠在有限的空間內(nèi)，通過連續(xù)變換管道的橫截面面積，大大加強管道混合氣體的能力和速度。
文檔編號B01F13/10GK202951432SQ20122044852
公開日2013年5月29日 申請日期2012年9月4日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月4日
發(fā)明者魏強, 倪圖強 申請人:中微半導體設(shè)備(上海)有限公司