專利名稱：氣液分離裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及液晶顯示裝置的制造設(shè)備，特別涉及一種氣液分離裝置。
背景技術(shù)：
在液晶顯示裝置的制作過程中，需要在玻璃基板上涂布光刻膠。通常采用旋轉(zhuǎn)涂 膠(Spin-coater)方法進(jìn)行涂覆，通過高速旋轉(zhuǎn)可以使得預(yù)涂覆在玻璃基板上的光刻膠達(dá) 到所需要的均一度。圖1為現(xiàn)有技術(shù)光刻膠涂覆設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖1所示，該涂覆設(shè)備中的旋轉(zhuǎn) 單元11高速旋轉(zhuǎn)以使得涂覆的光刻膠達(dá)到需要的平整度，在旋轉(zhuǎn)過程中難以避免會(huì)甩出 部分光刻膠，該部分甩出的光刻膠會(huì)附著在涂覆設(shè)備的外壁上并粘在上邊，需要用能夠稀 釋光刻膠的清洗液不斷地對(duì)外壁進(jìn)行清洗。清洗后形成的廢液將由第一出口 12和第二出 口 13的位置流出。由于清洗液是揮發(fā)性很強(qiáng)的化學(xué)藥劑，為避免其揮發(fā)后污染空氣，需要 將上述清洗后形成的混著光刻膠的廢液及其揮發(fā)出來(lái)的氣體分開來(lái)分別回收，于是設(shè)計(jì)了 氣液分離裝置設(shè)置在光刻膠涂覆設(shè)備的下方。圖2為現(xiàn)有技術(shù)氣液分離裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖2所示，該氣液分離裝置14設(shè) 置在光刻膠涂覆設(shè)備的下方，上述清洗后形成的廢液可以經(jīng)由第一出口 12和第二出口 13 的位置流出后，被收集進(jìn)該氣液分離裝置14中。該氣液分離裝置14包括裝置體及腔室，廢 液由廢液入口 15進(jìn)入該氣液分離裝置14后，其揮發(fā)的廢氣通過氣體出口 16被一高負(fù)壓的 鼓風(fēng)機(jī)(Blower)抽走而進(jìn)入廢氣收集管道，而液體部分則通過液體出口 17進(jìn)入到排液管 道中。但是，上述現(xiàn)有技術(shù)的氣液分離裝置存在以下技術(shù)缺陷由于用于抽取廢氣的是 一高負(fù)壓的鼓風(fēng)機(jī)，可能會(huì)出現(xiàn)廢液也被吸入到廢氣收集管道中的情況；由于清洗液會(huì)馬 上揮發(fā)掉，廢液中的光刻膠就會(huì)附著在廢氣收集管道的內(nèi)壁上，長(zhǎng)時(shí)間累積下來(lái)就會(huì)把廢 氣收集管道和鼓風(fēng)機(jī)的扇葉堵塞，使其不能順利的回收廢氣，并對(duì)設(shè)備造成嚴(yán)重?fù)p害。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種氣液分離裝置，以解決廢液可能被吸入廢氣收集管 道中而造成管道堵塞的情況，實(shí)現(xiàn)盡量減少?gòu)U液的吸入量。本實(shí)用新型提供一種氣液分離裝置，包括裝置體及其內(nèi)的腔室，所述裝置體上設(shè) 置有廢液入口、氣體出口和液體出口 ；所述腔室內(nèi)設(shè)置有用于阻擋廢液進(jìn)入所述氣體出口 的多個(gè)擋片，所述擋片固定在所述裝置體上。如上所述的氣液分離裝置，所述擋片的數(shù)量為至少四個(gè)。如上所述的氣液分離裝置，所述多個(gè)擋片傾斜設(shè)置，與垂直線之間具有大于0度 小于90度的夾角。如上所述的氣液分離裝置，所述多個(gè)擋片與垂直線之間的夾角各不相同。如上所述的氣液分離裝置，所述多個(gè)擋片間隔交錯(cuò)設(shè)置。[0012]如上所述的氣液分離裝置，所述多個(gè)擋片包括用于使得廢液直接落入所述裝置體 底部的第一擋片以及用于阻擋所述廢液向所述氣體出口處運(yùn)動(dòng)的第二擋片；所述第一擋片 設(shè)置在所述廢液入口的側(cè)邊，所述第二擋片設(shè)置在所述裝置體的頂面和側(cè)面上。如上所述的氣液分離裝置，所述氣體出口的出口方向?yàn)樗椒较?。如上所述的氣液分離裝置，所述裝置體的底面為傾斜底面，與水平面之間具有夾如上所述的氣液分離裝置，所述夾角為20度 90度。本實(shí)用新型的氣液分離裝置，通過在裝置的腔室內(nèi)設(shè)置角度不同的擋板，解決了 廢液可能被吸入廢氣收集管道中而造成管道堵塞的問題，有效防止了廢液進(jìn)入廢氣收集管 道，方便了設(shè)備的維護(hù)。
為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例 或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是 本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提 下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為現(xiàn)有技術(shù)光刻膠涂覆設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為現(xiàn)有技術(shù)氣液分離裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本實(shí)用新型氣液分離裝置實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖標(biāo)記說明11-旋轉(zhuǎn)單元；12-第一出口； 13-第二出口；14-氣液分離裝置； 15-廢液入口 ； 16-氣體出口 ；17-液體出口 ；18-腔室；19-擋片。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新 型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描 述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施 例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬 于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。本實(shí)用新型的主要技術(shù)方案為，在氣液分離裝置的腔室內(nèi)設(shè)置有多個(gè)擋片，該擋 片固定在裝置體上，可以阻擋廢液被鼓風(fēng)機(jī)吸入氣體出口內(nèi)。下面通過附圖和具體實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。圖3為本實(shí)用新型氣液分離裝置實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖3所示，該氣液分離裝 置包括裝置體及其內(nèi)的腔室18，該裝置體上設(shè)置有廢液入口 15、氣體出口 16和液體出口 17。其中，清洗光刻膠形成的廢液可以由廢液入口 15進(jìn)入腔室18內(nèi)，該廢液中的清洗 液揮發(fā)出的廢氣由氣體出口 16進(jìn)入廢氣收集管道，該廢液中的包含光刻膠的液體由液體 出口 17進(jìn)入排液管道中，從而實(shí)現(xiàn)氣體和液體的分離回收。[0030]本實(shí)施例中，在腔室18內(nèi)設(shè)置了多個(gè)擋片19，該擋片可以固定在裝置體上，例如 可以固定在裝置體的側(cè)面和頂面上。該多個(gè)擋片19的設(shè)置可以在鼓風(fēng)機(jī)吸入氣體時(shí)起到 對(duì)于廢液的阻擋作用，防止廢液隨廢氣一同被鼓風(fēng)機(jī)吸入氣體出口 16中。為更好地阻擋廢 液被吸入氣體出口 16，本實(shí)施例中的擋片19的數(shù)量例如可以至少設(shè)置4個(gè)，圖3中的箭頭 示出了其可以在廢液被吸入的線路上進(jìn)行設(shè)置，且設(shè)置的角度和位置應(yīng)利于阻擋廢液的吸 入行進(jìn)。具體的，上述的多個(gè)擋片19可以傾斜設(shè)置，例如參見圖3所示，與垂直線之間具有 一定夾角，該夾角可以為大于0度小于90度的夾角。本實(shí)施例通過在沿廢液被吸入氣體出 口 16的線路上設(shè)置至少四個(gè)擋片19，且該多個(gè)擋片19設(shè)置為大于0度小于90度之間的夾 角，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)廢液吸入的有效阻擋作用。此外，該多個(gè)擋片19可以相互設(shè)置的角度互不相同，相互間隔交錯(cuò)設(shè)置。例如，本 實(shí)施例可以設(shè)置四個(gè)擋片19，其中包括設(shè)置在廢液入口 15的側(cè)邊的第一擋片，其可以垂直 設(shè)置，其作用是使得由廢液入口 15流入的廢液可以直接落至該氣液分離裝置的底部。另外 三個(gè)擋片19可以分別設(shè)置于該裝置體的側(cè)面和頂面上，且間隔交錯(cuò)設(shè)置，使得廢液即使被 鼓風(fēng)機(jī)的吸力帶動(dòng)向上運(yùn)動(dòng)，也會(huì)不斷地被多個(gè)擋片19阻擋，最終不會(huì)進(jìn)入氣體出口 16。進(jìn)一步的，本實(shí)施例中的氣體出口 16的出口方向可以設(shè)置為水平方向，通過設(shè)置 為水平方向，一方面可以擴(kuò)大頂面而對(duì)廢液的向上運(yùn)動(dòng)施加阻擋力，另一方面也可以使得 氣體出口 16的進(jìn)入口的位置方面設(shè)置擋片19，更加有效地阻擋廢液運(yùn)動(dòng)。本實(shí)施例中，該氣液分離裝置的底面可以設(shè)置為傾斜底面，其與水平面之間具有 一定夾角a。該傾斜底面的設(shè)置方式可以使得廢液由廢液入口 15后，更加迅速的流入至液 體出口 17的位置，進(jìn)一步減小廢液被鼓風(fēng)機(jī)吸入的可能。例如，裝置體底面的傾斜角度a 可以設(shè)置為20度 90度，該角度可以使得氣液分離的效果較好。本實(shí)施例的氣液分離裝置，通過在裝置的腔室內(nèi)設(shè)置角度不同的擋板，解決了廢 液可能被吸入廢氣收集管道中而造成管道堵塞的問題，有效防止了廢液進(jìn)入廢氣收集管 道，方便了設(shè)備的維護(hù)；并且該裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，加工方便。最后應(yīng)說明的是以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制； 盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解: 其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等 同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù) 方案的精神和范圍。
權(quán)利要求1.一種氣液分離裝置，包括裝置體及其內(nèi)的腔室，所述裝置體上設(shè)置有廢液入口、氣體 出口和液體出口 ；其特征在于，所述腔室內(nèi)設(shè)置有用于阻擋廢液進(jìn)入所述氣體出口的多個(gè) 擋片，所述擋片固定在所述裝置體上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣液分離裝置，其特征在于，所述擋片的數(shù)量為至少四個(gè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣液分離裝置，其特征在于，所述多個(gè)擋片傾斜設(shè)置，與垂直 線之間具有大于0度小于90度的夾角。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣液分離裝置，其特征在于，所述多個(gè)擋片與垂直線之間的 夾角各不相同。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣液分離裝置，其特征在于，所述多個(gè)擋片間隔交錯(cuò)設(shè)置。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣液分離裝置，其特征在于，所述多個(gè)擋片包括用于使得廢 液直接落入所述裝置體底部的第一擋片以及用于阻擋所述廢液向所述氣體出口處運(yùn)動(dòng)的 第二擋片；所述第一擋片設(shè)置在所述廢液入口的側(cè)邊，所述第二擋片設(shè)置在所述裝置體的頂面和 側(cè)面上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣液分離裝置，其特征在于，所述氣體出口的出口方向?yàn)樗?平方向。
8.根據(jù)權(quán)利要求1 7任一所述的氣液分離裝置，其特征在于，所述裝置體的底面為傾 斜底面，與水平面之間具有夾角。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的氣液分離裝置，其特征在于，所述夾角為20度 90度。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種氣液分離裝置，包括裝置體及其內(nèi)的腔室，所述裝置體上設(shè)置有廢液入口、氣體出口和液體出口；所述腔室內(nèi)設(shè)置有用于阻擋廢液進(jìn)入所述氣體出口的多個(gè)擋片，所述擋片固定在所述裝置體上。本實(shí)用新型的氣液分離裝置，通過在裝置的腔室內(nèi)設(shè)置角度不同的擋板，解決了廢液可能被吸入廢氣收集管道中而造成管道堵塞的問題，有效防止了廢液進(jìn)入廢氣收集管道，方便了設(shè)備的維護(hù)。
文檔編號(hào)B01D45/08GK201823404SQ20102056796
公開日2011年5月11日 申請(qǐng)日期2010年10月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年10月12日
發(fā)明者宋瑞濤, 王碩 申請(qǐng)人:北京京東方光電科技有限公司