本發(fā)明屬于陶瓷，涉及一種多孔陶瓷真空吸盤的清洗裝置系統(tǒng)，尤其涉及一種多孔陶瓷真空吸盤的清洗裝置系統(tǒng)及清洗方法。

背景技術(shù)：

1、多孔陶瓷真空吸盤是一種利用真空吸附原理固定工件的承載平臺，廣泛應(yīng)用于半導體晶圓的制造過程，如減薄、切割、研磨、清潔和處理等工序。

2、多孔陶瓷真空吸盤由多孔陶瓷材料制成，具有以下特點：(1)高強度和耐磨性：具有陶瓷的堅硬特性，耐損耗，不易刮傷損壞；(2)長壽命：表面形狀保持性好，修整周期長且修整量?。?3)高絕緣性：材質(zhì)具有高絕緣性，可消除靜電；(4)可重復使用：易修整，修整時不會出現(xiàn)破裂、碎塊、脫粒等現(xiàn)象；(5)不易分解及發(fā)塵：陶瓷結(jié)構(gòu)堅固穩(wěn)定，不發(fā)塵；(6)輕量化：內(nèi)部結(jié)構(gòu)為均勻氣孔，重量輕；(7)化學穩(wěn)定性好：通過材質(zhì)選擇和工藝控制，適用于各種腐蝕環(huán)境。

3、但是，在吸盤吸附面拋光的過程中，會產(chǎn)生吸盤材料組成的拋光粉塵，拋光液等化學物質(zhì)殘留在內(nèi)部的孔隙中，則半導體晶圓片可能被殘留物等污染，或者損壞晶圓表面。因此，提供一種多孔陶瓷真空吸盤的清洗裝置，去除已經(jīng)進入孔隙中的拋光碎屑等，這對晶圓在減薄、刻蝕、切割、清洗等過程具有重要意義。

4、cn?116197179a公開了一種多孔陶瓷的清洗方法。首先采用離子溶液對多孔陶瓷進行第一次清洗，然后采用表面活性劑浸泡處理和超聲處理對多孔陶瓷進行第二次清洗，能夠有效去除多孔陶瓷表面的微小顆粒。該方法雖然能有效清潔多孔陶瓷，但是清洗過程后存在化學殘留物。

5、目前，常用的清潔方法需要使用大量(10～20l/min)的水、純水等來洗去殘留物，但由于含有微細的殘留物，所以洗滌后的液體難以再利用。因此,清潔陶瓷多孔吸盤會消耗大量的水，這從經(jīng)濟和環(huán)境方面來說都是一個問題。另外，為了防止在吸盤背面檢測到污染，需要重復多次清洗多孔陶瓷吸盤。

6、因此，需要提供一種結(jié)構(gòu)簡單、能夠高效去除孔隙內(nèi)拋光碎屑，化學殘留物的多孔真空吸盤清洗裝置及清洗方法。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種多孔陶瓷真空吸盤的清洗裝置系統(tǒng)及清洗方法。所述裝置系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單、能夠高效去除孔隙內(nèi)拋光碎屑以及化學殘留物。

2、為達到此發(fā)明目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

3、第一方面，本發(fā)明提供了一種多孔陶瓷真空吸盤的清洗裝置系統(tǒng)，所述裝置系統(tǒng)包括蓄水池、增壓泵、超聲清洗裝置以及過濾器，且通過管路連接形成循環(huán)回路；

4、所述超聲清洗裝置包括超聲池，以及設(shè)置于超聲池內(nèi)部的清洗裝置。

5、本發(fā)明通過將蓄水池、增壓泵、超聲清洗裝置以及過濾器形成閉環(huán)回路解決了現(xiàn)有技術(shù)中需要使用大量水、純水等來清洗多孔陶瓷真空吸盤的問題；

6、另外，本發(fā)明通過使用增壓泵使水流增加，并結(jié)合超聲振動輔助，實現(xiàn)了對多孔陶瓷真空吸盤的高效清潔，避免了化學試劑的使用，降低了清洗成本。

7、作為本發(fā)明的一個優(yōu)選技術(shù)方案，所述清洗裝置包括對應(yīng)設(shè)置的箱體以及箱蓋；

8、優(yōu)選地，所述箱體和箱蓋通過第一卡扣密封裝配。

9、優(yōu)選地，所述箱體和箱蓋之間設(shè)置有密封墊圈。

10、優(yōu)選地，所述箱體和箱蓋的材質(zhì)包括不銹鋼。

11、本發(fā)明中，通過密封墊圈和第一卡扣的相互配合，使得箱體和箱蓋密封，避免了超聲池中的液體流入清洗裝置中的同時，也避免了沖洗過程中清洗裝置內(nèi)的清水外溢，造成泄壓現(xiàn)象。

12、作為本發(fā)明的一個優(yōu)選技術(shù)方案，所述箱體的外壁對稱設(shè)置有進水口和出水口。

13、優(yōu)選地，所述進水口與增壓泵相連接。

14、優(yōu)選地，所述出水口與過濾器相連接。

15、作為本發(fā)明的一個優(yōu)選技術(shù)方案，所述箱體的內(nèi)部設(shè)置有固定工裝。

16、優(yōu)選地，所述固定工裝用于夾裝多孔陶瓷真空吸盤。

17、優(yōu)選地，所述固定工裝包括第一凹狀工裝和第二凹狀工裝。

18、優(yōu)選地，所述第一凹狀工裝和第二凹狀工裝通過第二卡扣固定裝配。

19、優(yōu)選地，所述第一凹狀工裝和第二凹狀工裝靠近多孔陶瓷真空吸盤一端的外表面設(shè)置有硅膠墊片。

20、本發(fā)明中，通過第二卡扣和硅膠墊片的相互配合，使得待清洗的多孔陶瓷真空吸盤可以緊密固定在所述固定工裝內(nèi)，避免了清水沖洗過程中水流從固定工裝和待清洗的多孔陶瓷真空吸盤縫隙中流通，造成分壓，從而造成清洗不徹底。

21、作為本發(fā)明的一個優(yōu)選技術(shù)方案，所述箱體的外壁設(shè)置有觀察窗口。

22、優(yōu)選地，所述觀察窗口用于觀察多孔陶瓷真空吸盤的清洗情況。

23、優(yōu)選地，所述觀察窗口的材質(zhì)包括樹脂。

24、作為本發(fā)明的一個優(yōu)選技術(shù)方案，所述增壓泵和超聲清洗裝置的連通管路上設(shè)置有第一壓力表。

25、優(yōu)選地，所述超聲清洗裝置和過濾器的連通管路上設(shè)置有第二壓力表。

26、優(yōu)選地，所述過濾器包括三級過濾器。

27、優(yōu)選地，所述過濾器的精度為25～500μm，例如可以是25μm、50μm、100μm、200μm、300μm、400μm或500μm，但不限于所列舉的數(shù)值，數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。

28、第二方面，本發(fā)明提供了一種多孔陶瓷真空吸盤的清洗方法，所述清洗方法采用第一方面提供的裝置系統(tǒng)進行。

29、作為本發(fā)明的一個優(yōu)選技術(shù)方案，所述清洗方法包括如下步驟：

30、(1)將待清潔的多孔陶瓷真空吸盤固定安裝于清洗裝置內(nèi)；

31、(2)打開電源，采用蓄水池中的清水對待清潔的多孔陶瓷真空吸盤進行清水沖洗以及超聲處理；

32、(3)將清水處理后的清水進行過濾處理，而后回流至蓄水池。

33、本發(fā)明中，對多孔陶瓷真空吸盤的清洗過程中，蓄水池中的清水經(jīng)過過濾處理后可以循環(huán)使用，實現(xiàn)了對水資源的循環(huán)利用，避免了水資源的浪費。

34、作為本發(fā)明的一個優(yōu)選技術(shù)方案，步驟(2)所述清水沖洗的水壓40～60kpa，例如可以是40kpa、44kpa、48kpa、52kpa、56kpa或60kpa，但不限于所列舉的數(shù)值，數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。

35、優(yōu)選地，步驟(2)所述清水沖洗的清水流速為1～4m/s，例如可以是1m/s、1.5m/s、2m/s、2.5m/s、3m/s、3.5m/s或4m/s，但不限于所列舉的數(shù)值，數(shù)值范圍內(nèi)其他未列舉的數(shù)值同樣適用。

36、作為本發(fā)明的一個優(yōu)選技術(shù)方案，步驟(2)所述超聲處理的頻率為100～120hz，例如可以是100hz、104hz、108hz、112hz、116hz或120hz，但不限于所列舉的數(shù)值，數(shù)值范圍內(nèi)其他未被列舉的數(shù)值同樣適用。

37、本發(fā)明所述的數(shù)值范圍不僅包括上述例舉的點值，還包括沒有例舉出的上述數(shù)值范圍之間的任意的點值，限于篇幅及出于簡明的考慮，本發(fā)明不再窮盡列舉所述范圍包括的具體點值。

38、相對于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明具有以下有益效果：

39、(1)本發(fā)明提供的多孔陶瓷真空吸盤的清洗裝置系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，能夠高效去除多孔陶瓷真空吸盤孔隙內(nèi)的拋光碎屑、化學殘留物等雜質(zhì)；

40、(2)采用本發(fā)明提供的多孔陶瓷真空吸盤的清洗裝置系統(tǒng)實現(xiàn)了對清洗溶液的重復利用，避免了資源的浪費，降低了清潔成本；

41、(3)采用本發(fā)明提供的多孔陶瓷真空吸盤的清洗裝置系統(tǒng)在清洗過程中避免了化學試劑的使用，進而有效防止了化學試劑或磨屑對多孔陶瓷真空吸盤表面的二次損壞。