本實用新型涉及一種清潔裝置，尤其是半導體外觀檢查設備自動清潔裝置。

背景技術：

半導體外觀檢查設備多采用精密光學鏡頭，對環(huán)境要求較高，如果待檢測品有異物會損壞鏡頭，而且異物會影響檢測結(jié)果，造成廢品率虛高，產(chǎn)生不必要的損失。目前多數(shù)采用檢測前用氣槍輕輕的吹待檢測品，清潔效果不好，還容易造成二次污染。

技術實現(xiàn)要素：

為解決上述問題，本實用新型提供一種能自動清潔異物，且將異物收集好的半導體外觀檢查設備自動清潔裝置，具體技術方案為：

半導體外觀檢查設備自動清潔裝置，包括軟毛刷輥、集塵罩、吸塵器、起始傳感器、末位傳感器和控制裝置；所述起始傳感器和末位傳感器分別安裝在輸送帶的兩端；所述集塵罩安裝輸送帶上方，且位于起始傳感器后方，集塵罩與吸塵器連接；所述軟毛刷輥固定在輸送帶上方，且位于集塵罩后方，軟毛刷輥通過皮帶與電機連接；所述起始傳感器、末位傳感器、吸塵器和電機均與控制裝置連接。

所述集塵罩的集塵口向軟毛刷輥傾斜，吸收軟毛刷輥刷起的異物。

所述集塵口的一端貼近軟毛刷輥，另一端貼近待檢測品。

通過軟毛刷輥將待檢測品的異物刷起，集塵罩將異物吸收到吸塵器內(nèi)，防止異物在空氣中飄散再次吸附到待檢測品上。

集塵罩的集塵口向軟毛刷輥傾斜，集塵口的一端貼近待檢測品，另一端貼近軟毛刷輥，形成一個吸附空間，將待檢測品上異物和軟毛刷輥刷起的異物全部吸收到吸塵器內(nèi)，防止二次污染，清潔效果好。

當起始傳感器檢測到待檢測品，通過控制裝置啟動吸塵器和電機。當末位傳感器檢測到待檢測品時，關閉吸塵器和電機。

本實用新型提供的半導體外觀檢查設備自動清潔裝置使用方便、清潔效果好、無二次污染、提高了檢測效率。

附圖說明

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

現(xiàn)結(jié)合附圖說明本實用新型的具體實施方式。

如圖1所示，半導體外觀檢查設備自動清潔裝置，包括軟毛刷輥2、集塵罩3、吸塵器、起始傳感器5、末位傳感器6和控制裝置。

起始傳感器5和末位傳感器6分別安裝在輸送帶1的兩端。

集塵罩3安裝輸送帶1上方，且位于起始傳感器5后方，集塵罩3與吸塵器連接；集塵罩3的集塵口31向軟毛刷輥2傾斜，集塵口31的一端貼近軟毛刷輥2，另一端貼近待檢測品7，吸收待檢測品7上的異物和軟毛刷輥2刷起的異物。

軟毛刷輥2固定在輸送帶1上方，且位于集塵罩3后方，軟毛刷輥2通過皮帶與電機4連接。

起始傳感器5、末位傳感器6、吸塵器和電機4均與控制裝置連接。

當起始傳感器5檢測到待檢測品，通過控制裝置啟動吸塵器和電機4。吸塵器通過集塵罩3吸起待檢測品7上的異物；電機4帶動軟毛刷輥2旋轉(zhuǎn)，軟毛刷輥2將待檢測品7上異物刷向集塵口31，進一步清潔待檢測品7。所有異物均被吸塵器吸走，不會產(chǎn)生二次污染。當末位傳感器6檢測到待檢測品7時，關閉吸塵器和電機4，減小噪音。