本實用新型涉及清洗技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種晶圓清洗機。

背景技術(shù)：

晶圓表面常殘留有污垢，除去其表面污垢的方法是通過人工清洗，這種方法不但清洗不干凈，同時效率低下；同時清洗完之后，還需要另外的工序?qū)A進行烘干處理。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種晶圓清洗機。

本實用新型的一種技術(shù)方案：

一種晶圓清洗機，包括清洗罐以及與清洗罐可形成密封蓋合的上蓋，還包括設(shè)于清洗罐內(nèi)用于固定晶圓的固定盤，用于存放乙醇的乙醇箱體，用于存放清洗液的清洗液箱體以及若干管道；上蓋設(shè)有排氣口，清洗罐內(nèi)安裝有超聲波震板，上蓋的內(nèi)側(cè)面設(shè)有向清洗罐內(nèi)噴淋清洗液的噴嘴，清洗液箱體的排液口通過設(shè)有的管道與噴嘴連接；清洗罐底部設(shè)有排液口，乙醇箱體的排液口通過管道與清洗罐的進液口連接，清洗罐的底部設(shè)有壓縮空氣的進氣管，進氣管內(nèi)設(shè)有加熱器以及檢測進氣管內(nèi)氣體溫度的測溫探頭。

一種優(yōu)選方案是噴嘴為圓錐形噴嘴。

一種優(yōu)選方案是乙醇箱體的排液口依次設(shè)有磁力泵和過濾器。

一種優(yōu)選方案是晶圓清洗機還包括用于檢測清洗罐內(nèi)壓力的壓力表。

一種優(yōu)選方案是晶圓清洗機還包括用于檢測清洗液箱體內(nèi)液位高度的液位感應(yīng)器。

一種優(yōu)選方案是晶圓清洗機還包括加液管，加液管分別與清洗液箱體進液口和清洗罐的進液口連接。

一種優(yōu)選方案是清洗液箱體的排液口與噴嘴之間設(shè)有清洗泵。

一種優(yōu)選方案是乙醇箱體設(shè)有乙醇加液口和乙醇排出口。

一種優(yōu)選方案是晶圓清洗機還包括用于控制上蓋開啟和關(guān)閉的升降氣缸。

綜合上述技術(shù)方案，本實用新型的有益效果：結(jié)合清洗液和超聲波對晶圓表面的污垢進行清洗，能夠快速干凈的清洗晶圓表面的污垢，再通過熱空氣將晶圓烘干處理，提高了晶圓的清洗效率和速度，同時還能對晶圓進行烘干，工藝簡單。

上述說明僅是本實用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術(shù)手段，而可依照說明書的內(nèi)容予以實施，并且為了讓本實用新型的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂，以下特舉較佳實施例，并配合附圖，詳細說明如下。

附圖說明

圖1是本實用新型的示意圖。

具體實施方式

需要說明的是，在不沖突的情況下，本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。下面結(jié)合附圖對本實用新型做進一步描述。

如圖1所示，圖1中箭頭表示液體的流向。

一種晶圓清洗機，包括清洗罐100以及與清洗罐100可形成密封蓋合的上蓋101，還包括設(shè)于清洗罐100內(nèi)用于固定晶圓的固定盤，用于存放乙醇的乙醇箱體102，用于存放清洗液的清洗液箱體103以及若干管道；上蓋101設(shè)有排氣口105，排氣口105也可設(shè)于清洗罐100的側(cè)壁，清洗罐 100內(nèi)安裝有超聲波震板106，上蓋101的內(nèi)側(cè)面設(shè)有向清洗罐100內(nèi)噴淋清洗液的噴嘴107，清洗液箱體103的排液口通過設(shè)有的管道與噴嘴107連接；清洗罐100的底部設(shè)有排液口，乙醇箱體102的排液口通過管道與清洗罐100的進液口連接，清洗罐100的底部設(shè)有壓縮空氣的進氣管113，進氣管113內(nèi)設(shè)有加熱器115以及檢測進氣管113內(nèi)氣體溫度的測溫探頭114。

如圖1所示，晶圓通過固定盤固定于清洗罐100內(nèi)，上蓋101與清洗罐100密封蓋合，通過設(shè)有的管道向清洗罐10內(nèi)加入清洗液，當(dāng)清洗罐10 內(nèi)的清洗液加到一定程度，關(guān)閉該管道，同時開啟超聲波震板106，超聲波震板106發(fā)出超聲波并對晶圓表面的污垢進行清洗，當(dāng)清洗完后，開啟清洗罐100底部的排液口，將清洗罐100內(nèi)部的清洗液放干，之后，清洗液箱體103向噴嘴107輸送清洗液，噴嘴107將清洗液噴向晶圓表面對晶圓進一步清洗，清洗后的液體從清洗罐100的排液口排出，之后，乙醇箱體 102的排液口向清洗罐100內(nèi)部輸送乙醇，進氣管113向清洗罐100內(nèi)輸送熱氣體，熱氣體將晶圓表面的水汽以及乙醇帶著，達到對晶圓進行烘干的效果。

具體地，如圖1所示，噴嘴107為圓錐形噴嘴107。噴嘴107與清洗液箱體103通過設(shè)有的管道連接，清洗液箱體103與噴嘴107之間的管道設(shè)有清洗泵112和閥門，以便快速的將清洗液箱體103內(nèi)的清洗液輸送至噴嘴107。

如圖1所示，乙醇箱體102與清洗罐100通過設(shè)有的管道連接，且乙醇箱體102與清洗罐100之間的管道依次設(shè)有磁力泵109，閥門和過濾器 108。以便快速的將乙醇箱體102內(nèi)的乙醇輸送至清洗罐100內(nèi)。乙醇箱體 102設(shè)有乙醇加液口117和乙醇排出口118。

如圖1所示，晶圓清洗機還包括用于檢測清洗罐100內(nèi)壓力的壓力表 110。晶圓清洗機還包括用于檢測清洗液箱體103內(nèi)液位高度的液位感應(yīng)器 111。

如圖1所示，晶圓清洗機還包括加液管116，加液管116分別與清洗液箱體103的進液口和清洗罐100的進液口連接。以便及時補充清洗液箱體 103和清洗罐100內(nèi)的清洗液。同時為了能重復(fù)利用清洗罐100流出來的清洗液和乙醇，在清洗罐100的排液口分別設(shè)有管道與清洗液箱體103和乙醇箱體102連接，并通過開關(guān)控制管道的導(dǎo)通和關(guān)閉。在清洗液箱體103 底部還設(shè)有一個清洗液循環(huán)利用裝置，循環(huán)利用裝置包括過濾裝置和循環(huán)泵，管道和閥門；清洗液循環(huán)利用裝置對清洗液箱體103內(nèi)的清洗液過濾后重復(fù)利用。

如圖1所示，晶圓清洗機還包括用于控制上蓋101開啟和關(guān)閉的升降氣缸。升降氣缸控制上蓋101與清洗罐100密封蓋合。

以上是本實用新型的具體實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也視為本實用新型的保護范圍。