一種硅片熱風(fēng)干燥的自動(dòng)控制裝置的制造方法
【專利說明】
[0001]【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種硅片熱風(fēng)干燥的自動(dòng)控制裝置。
[0003]【【背景技術(shù)】】
[0004]公知的，硅片清洗后傳統(tǒng)的干燥工藝就是用甩干桶甩干，而有些硅片干燥工藝需要熱氣烘干，由于硅片是放在硅片盒里，再放在清洗架子進(jìn)行清洗，清洗完成后的片盒、硅片、架子都有水，這就需要先將這些水在另一個(gè)裝置瀝干后在放進(jìn)烘箱內(nèi)進(jìn)行烘干，但是目前的烘干操作都是人為的進(jìn)行操作，這樣不但浪費(fèi)了人力，而且極大的增加了勞動(dòng)強(qiáng)度，嚴(yán)重影響了企業(yè)的發(fā)展。
[0005]【【實(shí)用新型內(nèi)容】】
[0006]為了克服【背景技術(shù)】中的不足，本實(shí)用新型公開了一種硅片熱風(fēng)干燥的自動(dòng)控制裝置，本實(shí)用新型通過在恒溫箱內(nèi)設(shè)置提升裝置，在烘干室內(nèi)設(shè)置烘干裝置，提升裝置和烘干裝置通過控制箱進(jìn)行控制，以此來達(dá)到硅片快速烘干的目的。
[0007]為了實(shí)現(xiàn)所述實(shí)用新型目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:
[0008]—種硅片熱風(fēng)干燥的自動(dòng)控制裝置，包括恒溫槽、烘干室、提升裝置、烘干裝置和控制箱，提升裝置和烘干裝置通過控制箱進(jìn)行控制，提升裝置有絲桿、絲杠螺母、上限位傳感器、下限位傳感器、拉桿、架子和加熱管，在恒溫槽內(nèi)設(shè)有架子，恒溫槽一側(cè)設(shè)有固定板，恒溫槽底部設(shè)有加熱管，固定板上設(shè)有絲杠、上限位傳感器和下限位傳感器，絲杠上設(shè)有絲杠螺母，絲杠螺母上設(shè)有拉桿，拉桿上設(shè)有架子，所述烘干裝置有風(fēng)機(jī)、加熱器、軌道、管道、第一到位傳感器和第二到位傳感器，烘干室上設(shè)有加熱器、風(fēng)機(jī)和軌道，軌道上設(shè)有第一到位傳感器和第二到位傳感器，風(fēng)機(jī)上設(shè)有管道，管道一端與風(fēng)機(jī)相連接，管道另一端與加熱器相連接，所述控制箱由提升模塊和烘干模塊構(gòu)成，提升模塊控制提升裝置，烘干模塊對(duì)烘干裝置進(jìn)行控制。
[0009]所述上限位傳感器和下限位傳感器分別設(shè)置在固定板的上部和下部，上限位傳感器和下限位傳感器設(shè)置在絲杠的同一側(cè)的固定板上。
[0010]所述絲杠螺母設(shè)置在上限位傳感器和下限位傳感器的中間。
[0011]所述烘干室上設(shè)有門，軌道通過門插入到烘干室內(nèi)。
[0012]所述提升模塊有啟動(dòng)按鈕SB 1、KAl線圈、SQI傳感器、升降電機(jī)和KA3線圈構(gòu)成，開啟啟動(dòng)按鈕SBl，KA1線圈得電常開觸點(diǎn)吸合，SBl燈亮，KAl常閉觸點(diǎn)斷開，KAl線圈實(shí)現(xiàn)自鎖，同時(shí)KAl接通了變頻器多功能輸入端子I和多功能輸入端子2，變頻器得到這兩個(gè)信號(hào)后就會(huì)輸出電壓和頻率，電機(jī)正轉(zhuǎn)運(yùn)行，架子開始拉升，當(dāng)架子升到上限位時(shí)，SQl傳感器就會(huì)觸發(fā)接通KA3線圈，KA3常閉觸點(diǎn)斷開，常開觸點(diǎn)閉合，KAl線圈失電，KAl觸點(diǎn)復(fù)原，斷開變頻器運(yùn)行信號(hào)，升降電機(jī)停止運(yùn)行，且KA3觸點(diǎn)接通提示蜂鳴器，恒溫槽內(nèi)的溫度靠溫控器觸點(diǎn)接通或斷開控制KMl，KM1下端接加熱管。
[0013]所述烘干模塊有啟動(dòng)按鈕SB3、KA5線圈、第二到位傳感器SQ3、KA6線圈、KM線圈、繼電器KT1、第一到位傳感器SQ4、KA7線圈，按下啟動(dòng)按鈕SB3，KA5線圈得電，KA5常開觸點(diǎn)閉合，常閉觸點(diǎn)斷開，KA5線圈實(shí)現(xiàn)自鎖，啟動(dòng)按鈕SB3的HL燈點(diǎn)亮，YV線圈得電，氣缸就會(huì)推動(dòng)門運(yùn)動(dòng)，從而關(guān)閉烘干室上的門，當(dāng)門關(guān)到位后，第二到位傳感器SQ3就會(huì)觸發(fā)接通KA6線圈，KA6常開觸點(diǎn)閉合，常閉觸點(diǎn)斷開，KM線圈得電，主觸點(diǎn)吸合，風(fēng)機(jī)工作、加熱器工作，KA6接通繼電器KTl記時(shí)一定時(shí)間后，KTl常開觸點(diǎn)閉合，常閉觸點(diǎn)斷開。KM失電離心風(fēng)機(jī)停止運(yùn)行。接通KT2記時(shí)一定時(shí)間后，KT2常開觸點(diǎn)閉合，常閉觸點(diǎn)斷開，KA5線圈失電，觸點(diǎn)復(fù)原，YV失電，氣缸往回拉把門拉開，拉到位后第一到位傳感器SQ4觸發(fā)接通KA7線圈，KA7常閉觸點(diǎn)斷開，KM2失電加熱停止，自動(dòng)烘干完成且提示工作人請(qǐng)取出硅片，再按下啟動(dòng)按鈕SB3的同時(shí)KA2線圈得電，KA2常開觸點(diǎn)閉合，常閉觸點(diǎn)斷開，KA2接通變頻器多功能輸入端子3和多功能輸入端子4，升降電機(jī)反向運(yùn)轉(zhuǎn)，當(dāng)降到位時(shí)，SQ2傳感器觸發(fā)，KA4線圈得電，KA4常閉觸點(diǎn)斷開，常開觸點(diǎn)閉合，KA2線圈失電，KA2觸點(diǎn)復(fù)原，變頻器停止。
[0014]由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型具有如下有益效果:
[0015]本實(shí)用新型所述的一種硅片熱風(fēng)干燥的自動(dòng)控制裝置，包括恒溫槽、烘干室、提升裝置、烘干裝置和控制箱，通過在恒溫箱內(nèi)設(shè)置提升裝置，在烘干室內(nèi)設(shè)置烘干裝置，提升裝置和烘干裝置通過控制箱進(jìn)行控制，以此來達(dá)到硅片快速烘干的目的；本實(shí)用新型實(shí)用性強(qiáng)，使用起來比較方便，不但能夠快速的對(duì)硅片進(jìn)行清洗，而且極大的節(jié)省了人力，在節(jié)省人工的同時(shí)也提高了工作效率，極大的有利于企業(yè)的發(fā)展。
[0016]【【附圖說明】】
[0017]圖1為本實(shí)用新型的提升裝置立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2為本實(shí)用新型的烘干室立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖3為本實(shí)用新型的提升模塊主電路圖；
[0020]圖4為本實(shí)用新型的烘干模塊電路圖；
[0021]圖中:1、絲杠;2、上限位傳感器;3、絲杠螺母;4、下限位傳感器;5、拉桿;6、架子;7、恒溫槽;8、加熱管;9、加熱器;1、軌道;11、第一到位傳感器;12、第二到位傳感器;13、管道；14、烘干室；15、風(fēng)機(jī);16、固定板。
[0022]【【具體實(shí)施方式】】
[0023]通過下面的實(shí)施例可以詳細(xì)的解釋本實(shí)用新型，公開本實(shí)用新型的目的旨在保護(hù)本實(shí)用新型范圍內(nèi)的一切技術(shù)改進(jìn)。
[0024]結(jié)合附圖1?4所述的一種硅片熱風(fēng)干燥的自動(dòng)控制裝置，包括恒溫槽7、烘干室14、提升裝置、烘干裝置和控制箱，提升裝置和烘干裝置通過控制箱進(jìn)行控制，提升裝置有絲桿
1、絲杠螺母3、上限位傳感器2、下限位傳感器4、拉桿5、架子6和加熱管8，在恒溫槽7內(nèi)設(shè)有架子6，恒溫槽7—側(cè)設(shè)有固定板16，恒溫槽7底部設(shè)有加熱管8，固定板16上設(shè)有絲杠1、上限位傳感器2和下限位傳感器4，絲杠I上設(shè)有絲杠螺母3，絲杠螺母3上設(shè)有拉桿5，拉桿5上設(shè)有架子6，所述烘干裝置有風(fēng)機(jī)15、加熱器9、軌道10、管道13、第一到位傳感器11和第二到位傳感器12，烘干室14上設(shè)有加熱器9、風(fēng)機(jī)15和軌道10，軌道10上設(shè)有第一到位傳感器11和第二到位傳感器12，風(fēng)機(jī)15上設(shè)有管道13，管道13—端與風(fēng)機(jī)15相連接，管道13另一端與加熱器9相連接，所述控制箱有提升模塊和烘干模塊構(gòu)成，提升模塊控制提升裝置，烘干模塊對(duì)烘干裝置進(jìn)行控制;所述上限位傳感器2和下限位傳感器4分別設(shè)置在固定板16的上部和下部，上限位傳感器2和下限位傳感器4設(shè)置在絲杠I的同一側(cè)的固定板16上;所述絲杠螺母3設(shè)置在上限位傳感器2和下限位傳感器4的中間；所述烘干室14上設(shè)有門，軌道10通過門插入到烘干室14內(nèi)；所述提升模塊有啟動(dòng)按鈕SB 1、KAl線圈、SQl傳感器、升降電機(jī)和KA3線圈構(gòu)成，開啟啟動(dòng)按鈕SBl，KA1線圈得電常開觸點(diǎn)吸合，SBl燈亮，KAl常閉觸點(diǎn)斷開，KAl線圈實(shí)現(xiàn)自鎖，同時(shí)KAl接通了變頻器多功能輸入端子I和多功能輸入端子2，變頻器得到這兩個(gè)信號(hào)后就會(huì)輸出電壓和頻率，電機(jī)正轉(zhuǎn)運(yùn)行，架子6開始拉升，當(dāng)架子6升到上限位時(shí)，SQl傳感器就會(huì)觸發(fā)接通KA3線圈，KA3常閉觸點(diǎn)斷開，常開觸點(diǎn)閉合，KAl線圈失電，KAl觸點(diǎn)復(fù)原，斷開變頻器運(yùn)行信號(hào)，升降電機(jī)停止運(yùn)行，且KA3觸點(diǎn)接通提示蜂鳴器，恒溫槽7內(nèi)的溫度靠溫控器觸點(diǎn)接通或斷開控制KMl，KM1下端接加熱管；所述烘干模塊有啟動(dòng)按鈕SB3、KA5線圈、第二到位傳感器SQ3、KA6線圈、KM線圈、繼電器KT1、第一到位傳