1.一種硅片快速風干槽，包括槽體(1)及鼓風機(6)，其特征在于：所述槽體(1)內(nèi)部裝有多個加熱器(2)和多個風干裝置(3)，所述加熱器(2)和風干裝置(3)相互間隔延槽體(1)圓周方向分部，每個所述加熱器(2)包含多個串聯(lián)的加熱電阻絲，所述風干裝置(3)包括進風腔(32)及與進風腔(32)相連的吹風口(31)，所述進風腔(32)的一端密封，另一端設(shè)有進風口，進風口套接氣管(4)，所述氣管(4)與多通接頭(5)的出風口(51)連接，所述多通接頭(5)與氣源鼓風機(6)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片快速風干槽，其特征在于：所述加熱器(2)之間并聯(lián)連接，通過接頭A(21)和接頭B(22)與外接電源相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片快速風干槽，其特征在于：所述多通接頭(5)包括出風口(51)、第一進風口(52)及接頭腔體(53)，所述接頭腔體(53)兩端密封，一側(cè)設(shè)有第一進風口(52)，另一側(cè)設(shè)有多個出風口(51)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種硅片快速風干槽，其特征在于：所述第一進風口(52)通過氣管(4)連接鼓風機(6)。