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一種硅片快速風(fēng)干槽的制作方法

文檔序號(hào):12311784閱讀:385來源:國知局
一種硅片快速風(fēng)干槽的制作方法與工藝

本實(shí)用新型涉及硅片工藝設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種硅片快速風(fēng)干槽。



背景技術(shù):

太陽能能源已經(jīng)成為新能源的熱點(diǎn)及重點(diǎn)領(lǐng)域,太陽能作為清潔、環(huán)保的可再生能源,改變著人類能源結(jié)構(gòu)方式。隨著太陽能的廣泛應(yīng)用,太陽能硅片開始批量生產(chǎn),對(duì)硅片生產(chǎn)每道工序的效率與質(zhì)量的要求越來越高,硅片清洗后的風(fēng)干效率與風(fēng)干質(zhì)量直接影響下一道工序。提高風(fēng)干的生產(chǎn)效率與生產(chǎn)質(zhì)量非常有必要。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型的目的在于提供一種硅片快速風(fēng)干槽,以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。所述硅片快速風(fēng)干槽多個(gè)方向同時(shí)對(duì)硅片給風(fēng),加速硅片的風(fēng)干特點(diǎn)。

為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:

一種硅片快速風(fēng)干槽,包括槽體及鼓風(fēng)機(jī),所述槽體內(nèi)部裝有多個(gè)加熱器和多個(gè)風(fēng)干裝置,所述加熱器和風(fēng)干裝置相互間隔延槽體圓周方向分部,每個(gè)所述加熱器包含多個(gè)串聯(lián)的加熱電阻絲,所述風(fēng)干裝置包括進(jìn)風(fēng)腔及與進(jìn)風(fēng)腔相連的吹風(fēng)口,所述進(jìn)風(fēng)腔的一端密封,另一端設(shè)有進(jìn)風(fēng)口,進(jìn)風(fēng)口套接氣管,所述氣管與多通接頭的出風(fēng)口連接,所述多通接頭與氣源鼓風(fēng)機(jī)連接。

優(yōu)選的,所述加熱器之間并聯(lián)連接,通過接頭A和接頭B與外接電源相連。

優(yōu)選的,所述多通接頭包括出風(fēng)口、第一進(jìn)風(fēng)口及接頭腔體,所述接頭腔體兩端密封,一側(cè)設(shè)有第一進(jìn)風(fēng)口,另一側(cè)設(shè)有多個(gè)出風(fēng)口。

優(yōu)選的,所述第一進(jìn)風(fēng)口通過氣管連接鼓風(fēng)機(jī)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型的有益效果是:風(fēng)干槽四周設(shè)有多個(gè)加熱器和多個(gè)風(fēng)干裝置,鼓風(fēng)機(jī)打開后,氣流經(jīng)過多通接頭分流,進(jìn)入風(fēng)干裝置;多個(gè)加熱器加熱,提高風(fēng)干槽內(nèi)的溫度,提高蒸發(fā)速度;多個(gè)風(fēng)干裝置布置在風(fēng)干槽不同的方向,多個(gè)方向同時(shí)對(duì)硅片給風(fēng),加速硅片的風(fēng)干。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖;

圖2為本實(shí)用新型A-A部分示意圖;

圖3為本實(shí)用新型多通接頭示意圖;

圖4為本實(shí)用新型I處放大示意圖;

圖5為本實(shí)用新型加熱器電源連接示意圖。

圖中:1槽體、2加熱器、21接頭A、22接頭B、3風(fēng)干裝置、31吹風(fēng)口、32進(jìn)風(fēng)腔、4氣管、5多通接頭、51出風(fēng)口、52第一進(jìn)風(fēng)口、53接頭腔體、6鼓風(fēng)機(jī)、7傳送裝置。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參閱圖1-5,本實(shí)用新型提供一種技術(shù)方案:

一種硅片快速風(fēng)干槽,包括槽體1及鼓風(fēng)機(jī)6,槽體1內(nèi)部裝有四個(gè)加熱器2和四個(gè)風(fēng)干裝置3,加熱器2和風(fēng)干裝置3相互間隔延槽體1圓周方向分部,每個(gè)加熱器2包含多個(gè)串聯(lián)的加熱電阻絲,加熱器2之間并聯(lián)連接,通過接頭A 21和接頭B 22與外接電源相連,為交流電源,通過開關(guān)控制通與斷;風(fēng)干裝置3包括進(jìn)風(fēng)腔32及與進(jìn)風(fēng)腔32相連的吹風(fēng)口31,進(jìn)風(fēng)腔32的一端密封,另一端設(shè)有進(jìn)風(fēng)口,進(jìn)風(fēng)口套接氣管4,氣管4與多通接頭5的出風(fēng)口51連接,多通接頭5與氣源鼓風(fēng)機(jī)6連接。

多通接頭5包括出風(fēng)口51、第一進(jìn)風(fēng)口52及接頭腔體53,接頭腔體53兩端密封,一側(cè)設(shè)有第一進(jìn)風(fēng)口52,另一側(cè)設(shè)有四個(gè)出風(fēng)口51,第一進(jìn)風(fēng)口52通過氣管4連接鼓風(fēng)機(jī)6。

太陽能硅片通過傳送裝置7進(jìn)入風(fēng)干槽,加熱器2開始加熱,提高風(fēng)干槽內(nèi)部的溫度;打開接電源的鼓風(fēng)機(jī)6,氣流經(jīng)過多通接頭5的分流后,經(jīng)過氣管4進(jìn)入進(jìn)風(fēng)腔32,通過吹風(fēng)口31給風(fēng);風(fēng)干槽內(nèi)四個(gè)方位設(shè)有風(fēng)干裝置3,對(duì)硅片從四個(gè)方向進(jìn)行吹風(fēng),通過加熱器2的加熱及風(fēng)干裝置3的多角度給風(fēng),達(dá)到快速風(fēng)干的目的。

盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言,可以理解在不脫離本實(shí)用新型的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型,本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。

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