專利名稱：鹵素加熱燈單元及熱處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種太陽能電池基板等的熱處理所使用的鹵素加熱燈單元及熱處理
>J-U ρ α裝直。
背景技術(shù)：
在太陽能電池基板的制造方法等中，需要在氣氛溫度保持為1000°C左右的高溫的區(qū)域中進(jìn)行熱處理的工藝，作為進(jìn)行該熱處理的裝置，例如如圖3所示，公開了下述裝置在包圍對工件W進(jìn)行加熱的熱處理空間H的由隔熱材料構(gòu)成的隔熱筐體41的上壁設(shè)置有 插入孔45、45，并且作為加熱工件W的熱源，具有由水平部51A及從該水平部兩端向垂直方向延伸的垂直部51B、51C構(gòu)成的U字狀的發(fā)光管51，在發(fā)光管51內(nèi)的至少水平部5IA上配置了燈絲(未圖示)的鹵素加熱燈50配置成其垂直部51B、51C插通到插入孔45、45內(nèi)(例如參照專利文獻(xiàn)I)。此外，在圖3中，43是放置了工件W的運(yùn)送單元42運(yùn)入的運(yùn)入口，44是該運(yùn)送單元42運(yùn)出的運(yùn)出口?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :日本特開2006 - 275499號公報

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題但是，在該熱處理裝置中存在長期使用后鹵素加熱燈的發(fā)光管發(fā)生破損的問題。對這一問題進(jìn)行了驗(yàn)證，推測原因是鹵素加熱燈的發(fā)光管的垂直部的外周面被由隔熱材料形成的壁部包圍，從而使發(fā)光管變?yōu)檫^熱狀態(tài)，在該狀態(tài)下工件被加熱，使從該工件蒸發(fā)的雜質(zhì)附著到發(fā)光管上，發(fā)光管和雜質(zhì)進(jìn)行反應(yīng)，從而使發(fā)光管退化、破損。本發(fā)明鑒于以上情況而出現(xiàn)，其目的在于提供一種長期使用后也不會產(chǎn)生發(fā)光管破損的使用壽命長的鹵素加熱燈單元及熱處理裝置。本發(fā)明的鹵素加熱燈單元的特征在于具有鹵素加熱燈，該鹵素加熱燈具有由水平部及從該水平部兩端向垂直方向延伸的垂直部構(gòu)成的U字狀的發(fā)光管，在發(fā)光管內(nèi)的至少水平部配置有燈絲；以及筒狀體，該筒狀體配置成在該鹵素加熱燈的各垂直部的周圍與該垂直部的外周面之間存在間隙。在本發(fā)明的鹵素加熱燈單元中，優(yōu)選構(gòu)成為上述鹵素加熱燈配置成鹵素加熱燈的發(fā)光管的各垂直部的端部由上述筒狀體的上端支撐。本發(fā)明的熱處理裝置具有隔熱筐體，該隔熱筐體包圍對工件進(jìn)行加熱的熱處理空間，由隔熱材料構(gòu)成；筒狀體，該筒狀體配置成插通到形成于該隔熱筐體的上壁的插入孔；以及鹵素加熱燈，該鹵素加熱燈作為加熱工件的熱源，具有由水平部及從該水平部兩端向垂直方向延伸的垂直部構(gòu)成的U字狀的發(fā)光管，在發(fā)光管內(nèi)的至少水平部配置有燈絲，該熱處理裝置的特征在于，該鹵素加熱燈配置成使該鹵素加熱燈的發(fā)光管的各垂直部在該垂直部的外周面和上述筒狀體的內(nèi)周面之間存在間隙的狀態(tài)下插通到上述筒狀體內(nèi)。在本發(fā)明的熱處理裝置中優(yōu)選，上述垂直部的外周面和上述筒狀體的內(nèi)周面之間的間隙的大小是IOmm。并且，在本發(fā)明的熱處理裝置中優(yōu)選，上述筒狀體由石英玻璃構(gòu)成。并且，在本發(fā)明的熱處理裝置中優(yōu)選，上述鹵素加熱燈配置成鹵素加熱燈的發(fā)光管的各垂直部的端部由上述筒狀體的上端支撐。并且，在本發(fā)明的熱處理裝置中優(yōu)選，上述筒狀體在該筒狀體的外周面和上述插入孔的內(nèi)周面之間存在間隙的狀態(tài)下插通到形成于上述隔熱筐體的上壁的插入孔。并且，在本發(fā)明的熱處理裝置中優(yōu)選，上述筒狀體的外周面和上述插通孔的內(nèi)周面之間的間隙的大小是(TlOmm。

進(jìn)一步，在本發(fā)明的熱處理裝置中優(yōu)選，上述筒狀體配置成通過由上述隔熱筐體支撐的夾緊型筒狀體保持件而被夾緊，從而由該隔熱筐體支撐。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明的鹵素加熱燈單元，在發(fā)光管的垂直部的周圍與該垂直部的外周面之間存在間隙地支撐筒狀體，因此可使該鹵素加熱燈產(chǎn)生的熱氣流不滯留在垂直部的周圍而穿過間隙，因此當(dāng)作為熱處理裝置的加熱源使用時，即使長期使用也不會產(chǎn)生發(fā)光管的破損，可獲得長使用壽命。根據(jù)本發(fā)明的熱處理裝置，在插通到形成于隔熱筐體的上壁的插通孔中的筒狀體內(nèi)，鹵素加熱燈配置成其發(fā)光管的垂直部在該垂直部的外周面和筒狀體的內(nèi)周面之間存在間隙的狀態(tài)下插通。因此，垂直部的外周面不直接接觸隔熱筐體的上壁，并且可使熱處理空間內(nèi)產(chǎn)生的熱氣流不在垂直部周圍滯留而在間隙中流通，并排出到外部，結(jié)果可抑制垂直部的過熱。因此，即使從工件蒸發(fā)的雜質(zhì)附著到該垂直部的外周面，也可抑制與發(fā)光管反應(yīng)而在該外周面上生成反應(yīng)物，從而在長期使用的情況下也不產(chǎn)生發(fā)光管的破損，可獲得長使用壽命。


圖I是表示本發(fā)明的熱處理裝置的構(gòu)成的一例的說明用剖視圖。圖2是圖I的熱處理裝置中的鹵素加熱燈及筒狀體的說明用俯視圖。圖3是表示現(xiàn)有的熱處理裝置的構(gòu)成的說明用剖視圖。
具體實(shí)施例方式以下具體說明本發(fā)明。(熱處理裝置)圖I是表示本發(fā)明的熱處理裝置的構(gòu)成的一例的說明用剖視圖，圖2是本發(fā)明的熱處理裝置中的鹵素加熱燈及筒狀體的說明用俯視圖。本發(fā)明的熱處理裝置具有隔熱筐體11 ;筒狀體30、30，配置成插通到形成于隔熱筐體11的上壁IlA的插入孔15、15 ;以及鹵素加熱燈20，具有由水平部21A及從其兩端向垂直方向延伸的垂直部21B、21C構(gòu)成的U字狀的發(fā)光管21。
該熱處理裝置，在多個、例如6個鹵素加熱燈20的水平部21A與隔熱筐體11的上壁平行且與鹵素加熱燈20的發(fā)光管21的水平部21A垂直的方向(在圖I中是和圖紙垂直的方向)上并列設(shè)置而成的處理塊，在與該隔熱筐體11的上壁平行且與鹵素加熱燈20的發(fā)光管21的水平部21A垂直的方向上，并列設(shè)置廣8塊而構(gòu)成。(隔熱筐體)構(gòu)成本發(fā)明的熱處理裝置的隔熱筐體11由隔熱材料構(gòu)成，其內(nèi)部形成加熱工件W的熱處理空間H。在隔熱筐體11的相對的側(cè)壁IlBUlC上，分別設(shè)置用于運(yùn)送工件W的例如運(yùn)入網(wǎng)帶輸送機(jī)等運(yùn)送單元12的運(yùn)入口 13、及將該運(yùn)送單元12從熱處理空間H運(yùn)出的運(yùn)出口 14。
作為構(gòu)成隔熱筐體11的隔熱材料，只要是可使熱處理空間H內(nèi)的氣氛溫度保持恒定的具有隔熱性的材料即可，例如可使用陶瓷、玻璃棉、硅酸鈣、石棉、耐火隔熱瓦等。形成于隔熱筐體11的插入孔15、15例如是截面為正圓的圓柱狀。該插入孔15、15的內(nèi)徑因筒狀體30、30的外徑而不同,例如是Φ25 Φ30πιπι。(筒狀體)構(gòu)成本發(fā)明的熱處理裝置的筒狀體30、30例如是圓筒狀的，配置在形成于隔熱筐體11的上壁IlA的插入孔15、15，筒狀體30、30的外周面可在與插入孔15、15的內(nèi)周面接觸的狀態(tài)下配置，尤其優(yōu)選配置成在該筒狀體30、30的外周面和插入孔15、15的內(nèi)周面之間存在間隙的狀態(tài)下插通。具體而言，筒狀體30、30在隔熱筐體11上，通過從該隔熱筐體11的上壁IlA向外延伸的保持件支撐臂37、37的凹處所放置并支撐的夾緊型筒狀體保持件35、35夾緊，從而由該隔熱筐體11支撐。筒狀體30、30的外周面和插入孔15、15的內(nèi)周面之間的間隙優(yōu)選是環(huán)狀空隙，該環(huán)狀間隙是截面在整個圓周上具有平均厚度的圓環(huán)狀。筒狀體30、30的外周面和插入孔15、15的內(nèi)周面之間的間隙大小、即環(huán)狀空隙Rl的厚度優(yōu)選是(TlOmm,進(jìn)一步優(yōu)選5 8mm。筒狀體30、30的外周面和插入孔15、15的內(nèi)周面之間的間隙大小處于上述范圍，從而可使隔熱筐體11內(nèi)的溫度維持恒定溫度的同時，使該隔熱筐體11內(nèi)的熱氣流不滯留在該間隙地流通。并且，當(dāng)該間隙大小過大時，難以將隔熱筐體11內(nèi)(熱處理空間H)的溫度維持為恒定溫度。尤其是，當(dāng)該間隙大小為5mm以上時，在該間隙中產(chǎn)生自然對流，可切實(shí)使該隔熱筐體11內(nèi)的熱氣流不滯留在該間隙地流通。筒狀體30、30優(yōu)選配置成其上部及下部分別向隔熱筐體11的上壁的下表面及上表面突出的狀態(tài)。通過配置成這一狀態(tài)，可切實(shí)地從熱處理空間H向熱處理裝置外部自然排出熱氣流。作為構(gòu)成筒狀體30、30的材料，具有在進(jìn)行工件W的加熱時的熱處理空間H內(nèi)的氣氛溫度下不產(chǎn)生變形、損傷等的耐久性，且在進(jìn)行工件W的加熱時的熱處理空間H內(nèi)的氣氛溫度下不使工件W產(chǎn)生污染，進(jìn)一步優(yōu)選具有比形成隔熱筐體11的隔熱材料的導(dǎo)熱率高的導(dǎo)熱率的材料，例如可使用石英玻璃、陶瓷、或不銹鋼等金屬等，尤其優(yōu)選使用石英玻璃。
筒狀體30、30由具有比形成隔熱筐體11的隔熱材料的導(dǎo)熱率高的導(dǎo)熱率的材料形成，從而可抑制發(fā)光管21的垂直部21B、21C的過熱。具體而言，在具有未設(shè)置筒狀體的構(gòu)成的現(xiàn)有的熱處理裝置中，當(dāng)熱氣流穿過發(fā)光管的垂直部和隔熱部件之間時，該熱氣流的熱量基本不導(dǎo)熱到隔熱部件，而導(dǎo)熱到發(fā)光管，因此可以推測出發(fā)光管受到來自燈絲的導(dǎo)熱，進(jìn)一步受到來自熱氣流的熱量而過熱，結(jié)果導(dǎo)致發(fā)光管和雜質(zhì)反應(yīng)。而在具有設(shè)置了筒狀體30、30的構(gòu)成的本發(fā)明的熱處理裝置中，當(dāng)熱氣流穿過發(fā)光管21的垂直部21B、21C和隔熱筐體11之間時，該熱氣流的熱量基本不導(dǎo)熱到隔熱筐體11，而導(dǎo)熱到發(fā)光管21的垂直部21B、21C，但筒狀體30、30由導(dǎo)熱率比構(gòu)成隔熱筐體11的隔熱材料高的材料構(gòu)成，因此可以推測出，在熱氣流的熱中，和現(xiàn)有技術(shù)相比，向發(fā)光管21的垂直部21B、21C的導(dǎo)熱量減少了筒狀體30、30受到的熱量這一部分。
因此，發(fā)光管21雖然接受來自燈絲24的熱，并接受來自熱氣流的熱，但因來自該熱氣流的導(dǎo)熱量比現(xiàn)有的少，因此抑制了發(fā)光管21過熱的程度，結(jié)果可抑制發(fā)光管21和雜質(zhì)反應(yīng)。筒狀體30、30的壁厚例如是O. 5 3mm，優(yōu)選L 5^2. 5_。(鹵素加熱燈)構(gòu)成本發(fā)明的熱處理裝置的鹵素加熱燈20是加熱工件W的熱源，具有兩端部焊接并形成了密封部22a、22b的、例如由石英玻璃等透光性材料構(gòu)成的直管狀的發(fā)光管21。在該發(fā)光管21內(nèi)的至少水平部21A，例如由鎢構(gòu)成的燈絲24不與該發(fā)光管21接觸地以沿管軸方向延伸的狀態(tài)配置，并且封入有鹵素氣體。在燈絲24中，在其一端部連接供電用的內(nèi)部導(dǎo)線24a，并且在其另一端部連接供電用的內(nèi)部導(dǎo)線24b，該內(nèi)部導(dǎo)線24a、24b分別在發(fā)光管21的垂直部21B、21C內(nèi)沿管軸方向延伸，經(jīng)由氣密埋設(shè)于密封部22a、22b中的金屬箔29a、29b電連接到外部導(dǎo)線28a、28b。并且，外部導(dǎo)線28a、28b經(jīng)由供電線27a、27b電連接到未圖示的電源。并且，鹵素加熱燈20被支撐為，使其發(fā)光管21的各垂直部21B、21C在筒狀體30、30內(nèi)以在該垂直部21B、21C的外周面和筒狀體30、30的內(nèi)周面之間存在間隙的狀態(tài)插通。并且，鹵素加熱燈20形成為其水平部21A和工件W平行延伸的狀態(tài)，并且其垂直部21B、21C向隔熱筐體11的外方突出的狀態(tài)。具體而言，在鹵素加熱燈20的發(fā)光管21的垂直部21B、21C的上部，具有例如由塊滑石這樣的陶瓷構(gòu)成的圓柱狀的主體部26a、26b的燈座25a、25b，例如經(jīng)由無機(jī)粘合劑分別設(shè)置在其上。在該燈座25a、25b的主體部26a、26b上，在其外周壁上以沿著整個圓周延伸的狀態(tài)形成環(huán)形凹槽23a、23b。另一方面，在筒狀體30、30的上端，設(shè)置例如不銹鋼等金屬制的圓盤狀的凸緣31、31。在該凸緣31、31上形成大致四邊形的卡止凹處32、32。并且，鹵素加熱燈20的發(fā)光管21的垂直部21B相關(guān)的燈座25a的環(huán)形凹槽23a滑動嵌合到凸緣31的卡止凹處32的相對的2個側(cè)邊緣33、33中，根據(jù)需要通過鎳線卡止。并且，鹵素加熱燈20的發(fā)光管21的垂直部21C相關(guān)的燈座25b的環(huán)形凹槽23b滑動嵌合到凸緣31的卡止凹處32的相對的2個側(cè)邊緣33、33，根據(jù)需要通過鎳線卡止。這樣一來，鹵素加熱燈20在下垂到筒狀體30、30內(nèi)的狀態(tài)下被支撐。
鹵素加熱燈20這樣被筒狀體30、30支撐，從而形成在凸緣31、31的卡止凹處32、32中在筒狀體30、30的上端露出環(huán)形空隙R2的狀態(tài)，這樣一來，筒狀體30、30的上端與大
氣連通。鹵素加熱燈20的垂直部21B、21C的外周面和筒狀體30、30的內(nèi)周面之間的間隙優(yōu)選是截面在整個圓周具有平均厚度的圓環(huán)狀的環(huán)狀空隙。垂直部21B、21C的外周面和筒狀體30、30的內(nèi)周面之間的間隙的大小、即環(huán)狀空隙R2的厚度優(yōu)選為5 IOmm,進(jìn)一步優(yōu)選5 8mm,尤其優(yōu)選5mm。通過使垂直部21B、21C的外周面和筒狀體30、30的內(nèi)周面之間的間隙大小為上述范圍，可使隔熱筐體11內(nèi)(熱處理空間H)的溫度維持恒定溫度，同時可使該隔熱筐體11內(nèi)的熱氣流不滯留在該間隙而流通。并且，當(dāng)該間隙的大小小于5_時，在該 間隙中無法形成自然對流，無法使該隔熱筐體11內(nèi)的熱氣流不滯留在該間隙而流通，存在鹵素加熱燈20的發(fā)光管21的垂直部21B、21C過熱、該鹵素加熱燈20破損的危險。進(jìn)一步，當(dāng)該間隙的大小過大時，難以將隔熱筐體11內(nèi)(熱處理空間H)的溫度維持為恒定溫度。以上熱處理裝置中的發(fā)光管21、筒狀體30及隔熱筐體11的具體尺寸示例如下。(I)發(fā)光管 21 水平部21A的長度175mm·垂直部 21B、21C 的長度270mm·水平部21A及垂直部21B、21C的外徑Φ 15mm(2)筒狀體 3O 內(nèi)徑Φ21mm 外徑Φ 25mm·長度251mm(3)隔熱筐體11 插入孔Φ 35mm·上壁 IlA 的厚度100mm·筒狀體30距上壁IlA上表面的突出長度127mm·筒狀體30距上壁IlA下表面的突出長度48mm在該熱處理裝置中，通過運(yùn)送單元12從運(yùn)入口 13運(yùn)入工件W，在與一個處理塊相關(guān)的規(guī)定位置上放置了一個工件W的狀態(tài)下，點(diǎn)亮鹵素加熱燈20，通過鹵素加熱燈20的燈絲24的加熱，熱處理空間H內(nèi)的大氣被加熱，該熱處理空間H內(nèi)的氣氛溫度上升，通過隔熱筐體11以所需的氣氛溫度保溫規(guī)定時間，從而進(jìn)行對工件W的熱處理。在該熱處理時，熱處理空間H內(nèi)的大氣被加熱從而產(chǎn)生熱對流，熱處理空間H內(nèi)的溫度分布實(shí)現(xiàn)平均化的同時，產(chǎn)生該熱對流的熱氣流的一部分向隔熱筐體11的上壁IlA上升，穿過隔熱筐體11的上壁IlA的插入孔15、15和筒狀體30、30之間的環(huán)狀空隙R1，及筒狀體30、30和鹵素加熱燈20的發(fā)光管21的垂直部21B、21C之間的環(huán)狀空隙R2，自然排出到熱處理裝置的外部。與工件W的熱處理相關(guān)的熱處理空間H內(nèi)的氣氛溫度因工件W的種類而不同，例如是 80(Tl000°C，優(yōu)選 80(T900°C。與工件W的熱處理相關(guān)的熱處理空間H內(nèi)的氣氛溫度為1000°C時，筒狀體30、30和鹵素加熱燈20的發(fā)光管21的垂直部21B、21C之間的環(huán)狀空隙R2的下端的溫度約為9500C，上端的溫度約為200°C。根據(jù)上述熱處理裝置，在插通到形成于隔熱筐體11的上壁IlA的插入孔15、15中的筒狀體30、30內(nèi)，鹵素加熱燈20被支撐為使其發(fā)光管21的垂直部21B、21C在該垂直部21B、21C的外周面和筒狀體30、30的內(nèi)周面之間存在間隙的狀態(tài)下插通。因此，垂直部21B、21C的外周面與隔熱筐體11的上壁IlA不直接接觸，并且不使熱處理空間H內(nèi)產(chǎn)生的熱氣流滯留在垂直部21B、21C周圍，可在環(huán)狀空隙R1、R2流通并排出到外部，結(jié)果抑制了垂直部21B、21C的過熱。因此，可抑制該垂直部21B、21C的外周面附著從工件W蒸發(fā)的雜質(zhì)、與發(fā)光管21反應(yīng)并在該外周面上生成反應(yīng)物的情況，這樣一來，即使長期使用的情況下也不產(chǎn)生發(fā)光管21的破損，獲得長使用壽命。以上說明了本發(fā)明的實(shí)施方式，但不限于上述實(shí)施方式，可進(jìn)行各種變更。例如，插入孔、筒狀體、鹵素加熱燈的發(fā)光管的形狀不限于分別具有截面相似的形 狀，例如當(dāng)插入孔具有圓柱狀、并且鹵素加熱燈的發(fā)光管是圓筒狀時，筒狀體也可是角筒狀。以下為確認(rèn)本發(fā)明的效果進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)。制造出具有圖I的構(gòu)成的熱處理裝置(I) (5)。具體構(gòu)成如下。( I)處理塊· I 個· I個處理塊具有6個鹵素加熱燈20(2)鹵素加熱燈20 燈絲24的材質(zhì)鶴 燈絲24的長度I6Omm·發(fā)光管21的材料石英玻璃·發(fā)光管21的水平部21A的長度175mm·發(fā)光管21的垂直部21B、21C的長度270mm·發(fā)光管21的水平部21A及垂直部21B、21C的外徑Φ 15mm 燈輸入1100W(3)筒狀體 3O·筒狀體30的材料石英玻璃·內(nèi)徑如表I所示 外徑如表I所示·長度260mm(4)隔熱筐體11·隔熱筐體11的材料耐火隔熱瓦 插入孔15的內(nèi)徑如表I所示·上壁 IlA 的厚度100mm·筒狀體30距上壁IlA上表面的突出長度127mm·筒狀體30距上壁IlA下表面的突出長度48mm·工件W和水平部2IA的分離距離50mm
對該熱處理裝置(I廣(5)，分別使鹵素加熱燈20以1100W點(diǎn)燈，進(jìn)行以1000°C加熱工件W (太陽能電池基板)的熱處理，觀察熱處理后的鹵素加熱燈20的顏色程度。結(jié)果如表I所示。(表I)
權(quán)利要求
1.一種齒素加熱燈單元，其特征在于具有 鹵素加熱燈，該鹵素加熱燈具有由水平部及從該水平部兩端向垂直方向延伸的垂直部構(gòu)成的U字狀的發(fā)光管，在發(fā)光管內(nèi)的至少水平部配置有燈絲；以及 筒狀體，該筒狀體配置成在該鹵素加熱燈的各垂直部的周圍與該垂直部的外周面之間存在間隙。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的鹵素加熱燈單元，其特征在于，上述鹵素加熱燈配置成鹵素加熱燈的發(fā)光管的各垂直部的端部由上述筒狀體的上端支撐。
3.一種熱處理裝置，具有 隔熱筐體，該隔熱筐體包圍對工件進(jìn)行加熱的熱處理空間，由隔熱材料構(gòu)成； 筒狀體，該筒狀體配置成插通到形成于該隔熱筐體的上壁的插入孔；以及 鹵素加熱燈，該鹵素加熱燈作為加熱工件的熱源，具有由水平部及從該水平部兩端向垂直方向延伸的垂直部構(gòu)成的U字狀的發(fā)光管，在發(fā)光管內(nèi)的至少水平部配置有燈絲， 該熱處理裝置的特征在于， 該鹵素加熱燈配置成使該齒素加熱燈的發(fā)光管的各垂直部在該垂直部的外周面和上述筒狀體的內(nèi)周面之間存在間隙的狀態(tài)下插通到上述筒狀體內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的熱處理裝置，其特征在于，上述垂直部的外周面和上述筒狀體的內(nèi)周面之間的間隙的大小是5 IOmm。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或權(quán)利要求4所述的熱處理裝置，其特征在于，上述筒狀體由石英玻璃構(gòu)成。
6.根據(jù)權(quán)利要求3或權(quán)利要求4所述的熱處理裝置，其特征在于，上述鹵素加熱燈配置成鹵素加熱燈的發(fā)光管的各垂直部的端部由上述筒狀體的上端支撐。
7.根據(jù)權(quán)利要求3或權(quán)利要求4所述的熱處理裝置，其特征在于，上述筒狀體配置成在該筒狀體的外周面和上述插入孔的內(nèi)周面之間存在間隙的狀態(tài)下插通到形成于上述隔熱筐體的上壁的插入孔。
8.根據(jù)權(quán)利要求3或權(quán)利要求4所述的熱處理裝置，其特征在于，上述筒狀體的外周面和上述插通孔的內(nèi)周面之間的間隙的大小是(TlOmm。
全文摘要
提供一種鹵素加熱燈單元及熱處理裝置，長期使用時也不會產(chǎn)生發(fā)光管破損，使用壽命長。熱處理裝置具有隔熱筐體，包圍對工件進(jìn)行加熱的熱處理空間，由隔熱材料構(gòu)成；筒狀體，配置成插通到形成于該隔熱筐體的上壁的插入孔；以及鹵素加熱燈，作為加熱工件的熱源，具有由水平部及從該水平部兩端向垂直方向延伸的垂直部構(gòu)成的U字狀的發(fā)光管，在發(fā)光管內(nèi)的至少水平部配置有燈絲，該熱處理裝置的特征在于，該鹵素加熱燈配置成使該鹵素加熱燈的發(fā)光管的各垂直部在該垂直部的外周面和上述筒狀體的內(nèi)周面之間存在間隙的狀態(tài)下插通到上述筒狀體內(nèi)。
文檔編號F27D11/00GK102821493SQ201210186578
公開日2012年12月12日 申請日期2012年6月7日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月9日
發(fā)明者小田垣徹 申請人:優(yōu)志旺電機(jī)株式會社