本發(fā)明涉及網(wǎng)孔體的制造方法以及網(wǎng)孔體。

背景技術(shù)：

以往，公知形成有多個細微的貫通孔的網(wǎng)孔體(例如，參照專利文獻1)。

在專利文獻1中公開了設(shè)置于液體噴霧裝置的網(wǎng)孔體部。網(wǎng)孔體部為樹脂制，具有薄板狀的外形并且形成有多個貫通孔。該網(wǎng)孔體部設(shè)置為用于將藥液噴霧化。而且，在該網(wǎng)孔體部的周緣部接合有具有中空部的圓環(huán)狀的加強部。因此，能夠通過加強部對厚度小且剛性低的樹脂制的網(wǎng)孔體部進行加強，因此，作為整體，能夠得到充分的強度。另外，網(wǎng)孔體部例如通過模具而形成。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2014-4208號公報

技術(shù)實現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的課題

但是，如上所述，在通過模具形成網(wǎng)孔體部的情況下，為了變更貫通孔的開口直徑或數(shù)量等，需要變更使用的模具。即，不容易進行網(wǎng)孔體部的設(shè)計變更。

本發(fā)明是為了解決上述課題而完成的，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠容易地進行設(shè)計變更的網(wǎng)孔體的制造方法以及網(wǎng)孔體。

用于解決課題的手段

在本發(fā)明的網(wǎng)孔體的制造方法中，該網(wǎng)孔體具有樹脂制的網(wǎng)孔體主體、和對網(wǎng)孔體主體進行加強的樹脂制的加強部件，該網(wǎng)孔體的制造方法具有如下工序：利用激光在樹脂制的第1膜材的網(wǎng)孔形成區(qū)域形成多個貫通孔；在樹脂制的第2膜材形成開口部；將第1膜材和第2膜材層疊，并且將網(wǎng)孔形成區(qū)域和開口部配置于對應(yīng)的位置；以及在開口部的周圍利用激光焊接將第1膜材和第2膜材接合。

這樣，利用激光形成網(wǎng)孔形成區(qū)域的貫通孔，由此，通過變更激光的照射條件等，能夠容易地進行網(wǎng)孔形成區(qū)域的貫通孔的設(shè)計變更。由此，與使用模具等的情況相比，能夠價廉地制造貫通孔的開口直徑或數(shù)量等不同的網(wǎng)孔體，因此，能夠容易地提供與藥液對應(yīng)的網(wǎng)孔體。此外，利用激光焊接將第1膜材與第2膜材接合，由此，能夠縮小熱影響范圍，因此，能夠抑制網(wǎng)孔體的噴霧性能產(chǎn)生偏差。

在上述網(wǎng)孔體的制造方法中，可以是，該網(wǎng)孔體的制造方法具有將第1膜材和第2膜材的接合部的外緣切掉的工序。

在該情況下，可以是，在第1膜材設(shè)置多個網(wǎng)孔形成區(qū)域，并且在第2膜材形成多個開口部，將多個網(wǎng)孔形成區(qū)域和多個開口部配置于分別對應(yīng)的位置，在利用激光焊接將多個開口部的周圍接合之后，將多個接合部的周圍切掉。

在上述網(wǎng)孔體的制造方法中，可以是，在第1膜材形成貫通孔之后，將第1膜材和第2膜材接合。

在上述網(wǎng)孔體的制造方法中，可以是，該網(wǎng)孔體的制造方法具有對第1膜材的厚度進行測量的工序，根據(jù)第1膜材的厚度的測量結(jié)果，對形成貫通孔時的激光的照射條件進行設(shè)定。

在本發(fā)明的網(wǎng)孔體的制造方法中，該網(wǎng)孔體具有樹脂制的網(wǎng)孔體主體、和對網(wǎng)孔體主體進行加強的樹脂制的加強部件，該網(wǎng)孔體的制造方法具有如下工序：在樹脂制的第1膜材上層疊具有開口部的樹脂制的第2膜材；利用激光在第1膜材的網(wǎng)孔形成區(qū)域形成多個貫通孔；以及在開口部的周圍利用激光焊接將第1膜材和第2膜材接合。

本發(fā)明的網(wǎng)孔體具有樹脂制的網(wǎng)孔體主體、和對網(wǎng)孔體主體進行加強的樹脂制的加強部件。在網(wǎng)孔體主體設(shè)置有網(wǎng)孔形成區(qū)域，利用激光在網(wǎng)孔形成區(qū)域形成有多個貫通孔。加強部件以包圍網(wǎng)孔形成區(qū)域的方式形成為環(huán)狀。網(wǎng)孔體主體和加強部件利用激光焊接而被接合。

在上述網(wǎng)孔體中，可以是，貫通孔形成為一端側(cè)的開口直徑比另一端側(cè)的開口直徑大，貫通孔構(gòu)成為從一端側(cè)朝向另一端側(cè)逐漸縮徑。

在上述網(wǎng)孔體中，可以是，貫通孔形成為一端側(cè)的開口直徑比另一端側(cè)的開口直徑大，貫通孔具有圓筒狀部、和從圓筒狀部朝向另一端側(cè)逐漸縮徑的縮徑部。

在上述網(wǎng)孔體中，可以是，貫通孔形成為一端側(cè)的開口直徑比另一端側(cè)的開口直徑大，貫通孔具有開口直徑不同的多個圓筒狀部。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明的網(wǎng)孔體的制造方法以及網(wǎng)孔體，能夠容易地進行設(shè)計變更。

附圖說明

圖1是示意性地示出本發(fā)明的一個實施方式的網(wǎng)孔體的剖視圖。

圖2是示意性地示出圖1的網(wǎng)孔體的俯視圖。

圖3是將圖1的網(wǎng)孔體的貫通孔放大示出的剖視圖。

圖4是用于說明本實施方式的網(wǎng)孔體的制造方法的圖，是示出針對第1膜材單體的加工步驟的圖。

圖5是示意性地示出第1膜材被吸附的狀態(tài)的剖視圖。

圖6是示意性地示出第1膜材被吸附的狀態(tài)的俯視圖。

圖7是示意性地示出在第1膜材的1個網(wǎng)孔形成區(qū)域形成了貫通孔的狀態(tài)的俯視圖。

圖8是示意性地示出在第1膜材的全部網(wǎng)孔形成區(qū)域形成了貫通孔的狀態(tài)的俯視圖。

圖9是示意性地示出在第1膜材的全部網(wǎng)孔形成區(qū)域形成了貫通孔的狀態(tài)的剖視圖。

圖10是用于說明本實施方式的網(wǎng)孔體的制造方法的圖，是示出針對第2膜材單體的加工步驟的圖。

圖11是示意性地示出第2膜材被吸附的狀態(tài)的剖視圖。

圖12是示意性地示出在第2膜材形成了1個開口部的狀態(tài)的俯視圖。

圖13是示意性地示出在第2膜材形成了全部開口部的狀態(tài)的俯視圖。

圖14是示意性地示出在第2膜材形成了全部開口部的狀態(tài)的剖視圖。

圖15是用于說明本實施方式的網(wǎng)孔體的制造方法的圖，是示出針對第1膜材以及第2膜材的雙方的加工步驟的圖。

圖16是示意性地示出第1膜材以及第2膜材被定位的狀態(tài)的剖視圖。

圖17是示意性地示出第1膜材以及第2膜材被定位的狀態(tài)的俯視圖。

圖18是將本實施方式的第1變形例的貫通孔放大示出的剖視圖。

圖19是將本實施方式的第2變形例的貫通孔放大示出的剖視圖。

圖20是示出加強部件的厚度與噴霧量之間的關(guān)系的圖表。

圖21是示出加強部件的開口部的開口直徑與噴霧量之間的關(guān)系的圖表。

圖22是將本實施方式的第3變形例的貫通孔放大示出的剖視圖。

具體實施方式

以下，參照附圖對本發(fā)明的一個實施方式進行說明。

－網(wǎng)孔體的構(gòu)造－

首先，參照圖1～圖3對本發(fā)明的一個實施方式的網(wǎng)孔體100的構(gòu)造進行說明。例如為了將藥液噴霧化而將該網(wǎng)孔體100設(shè)置于霧化器(吸入器)。

如圖1以及圖2所示，網(wǎng)孔體100具有網(wǎng)孔體主體10以及對網(wǎng)孔體主體10進行加強的加強部件20。該網(wǎng)孔體100形成為俯視時的圓形，其直徑為例如6mm。另外，圖1以及圖2是為了說明網(wǎng)孔體100而示意性地示出的圖，貫通孔11的數(shù)量及其尺寸關(guān)系等與實際不同。

網(wǎng)孔體主體10是樹脂制的薄膜狀部件，形成為俯視時的圓形。該網(wǎng)孔體主體10例如是透明的聚碳酸酯制，厚度為30μm，并且直徑為6mm。因此，網(wǎng)孔體主體10構(gòu)成為能夠透過接合用的激光。

此外，在網(wǎng)孔體主體10的中央設(shè)置有網(wǎng)孔形成區(qū)域t1，在該網(wǎng)孔形成區(qū)域t1形成有多個細微的貫通孔11。網(wǎng)孔形成區(qū)域t1俯視觀察時為圓形的區(qū)域，其直徑例如是2.5mm。在該網(wǎng)孔形成區(qū)域t1例如利用紫外線激光而形成2000個左右的貫通孔11。

如圖3所示，貫通孔11形成為一端側(cè)的開口直徑r1比另一端側(cè)的開口直徑r2大。即，下表面10a側(cè)的入口開口的開口直徑r1比上表面10b側(cè)的出口開口的開口直徑r2大。另外，在網(wǎng)孔體100安裝于霧化器的情況下，從入口開口流入藥液，被噴霧化的藥液從出口開口噴出。例如，開口直徑r1為25μm左右，開口直徑r2為3μm左右。

此外，貫通孔11具有形成于下表面10a側(cè)的縮徑部111、從縮徑部111相連地形成的圓筒狀部112以及從圓筒狀部112相連地形成的縮徑部113。

縮徑部111形成為從下表面10a側(cè)朝向上表面10b側(cè)縮徑。該縮徑部111以截面形狀向內(nèi)側(cè)鼓出的方式形成為曲線狀，并且該縮徑部111形成為上表面10b側(cè)的縮徑程度比下表面10a側(cè)小。

圓筒狀部112的厚度方向(z方向)上的開口直徑大致相同。該圓筒狀部112配置于縮徑部111與113之間。

縮徑部113配置于上表面10b側(cè)，形成為從下表面10a側(cè)朝向上表面10b側(cè)縮徑。該縮徑部113以截面形狀向內(nèi)側(cè)鼓出的方式形成為曲線狀，并且該縮徑部113形成為上表面10b側(cè)的縮徑程度比下表面10a側(cè)小。

因此，貫通孔11構(gòu)成為借助于夾著圓筒狀部112的2個縮徑部111以及113而縮徑，分2個階段地縮徑。

如圖1以及圖2所示，加強部件20是樹脂制的膜狀部件，形成為俯視時的圓形。另外，加強部件20的直徑(外徑)為例如6mm。該加強部件20例如是黑色的聚碳酸酯制，比網(wǎng)孔體主體10厚度大，例如厚度為410μm。此外，加強部件20構(gòu)成為能夠吸收接合用的激光。

此外，加強部件20形成為環(huán)狀，在內(nèi)部具有開口部21。開口部21形成為俯視時的圓形，其開口直徑為例如2.7mm。開口部21以及網(wǎng)孔形成區(qū)域t1配置于對應(yīng)的位置，通過環(huán)狀的加強部件20包圍網(wǎng)孔形成區(qū)域t1。因此，在從網(wǎng)孔形成區(qū)域t1的貫通孔11噴出藥液的情況下，該藥液通過加強部件20的開口部21。

而且，網(wǎng)孔體主體10以及加強部件20利用激光焊接而接合。具體而言，在將環(huán)狀的加強部件20層疊于網(wǎng)孔體主體10的外緣部的狀態(tài)下，將它們的接觸界面焊接接合。這樣，利用加強部件20對厚度小且剛性低的樹脂制的網(wǎng)孔體主體10進行了加強，由此，作為網(wǎng)孔體100整體，能夠得到充分的強度。

－網(wǎng)孔體的制造方法－

接下來，參照圖1～圖17對本實施方式的網(wǎng)孔體100的制造方法進行說明。另外，以下，在說明針對第1膜材50以及第2膜材60各自的單體的加工步驟之后，說明針對第1膜材50以及第2膜材60的雙方的加工步驟。

[針對第1膜材的加工步驟]

首先，在圖4的步驟s1中，清洗第1膜材50。另外，第1膜材50例如是透明的聚碳酸酯制，厚度為30μm。此外，第1膜材50的尺寸沒有特別限定，例如為a5或者a6，使得處理容易。在該清洗工序中，利用ipa(異丙醇)等對第1膜材50進行幾十秒～幾分鐘左右的超聲波清洗。此后，通過氣槍等從第1膜材50吹走ipa。

接下來，在步驟s2中，如圖5所示，將第1膜材50載置于吸盤臺200。而且，通過真空吸附將第1膜材50固定于吸盤臺200。另外，優(yōu)選通過使用多孔質(zhì)陶瓷吸盤作為吸盤臺200，來對第1膜材50的整個面進行吸附。這是由于，第1膜材50被全面地吸附，因此，在形成后述的貫通孔11時，即使空氣從該貫通孔11逸出，也能夠抑制第1膜材50上浮。由此，由于能夠抑制作為加工對象的第1膜材50的位置偏移，因此，能夠抑制所形成的貫通孔11的形狀發(fā)生偏差。另外，吸盤臺200設(shè)置于xy臺。

接下來，在步驟s3中，測量第1膜材50的網(wǎng)孔形成區(qū)域t1的厚度。網(wǎng)孔形成區(qū)域t1是在第1膜材50的面內(nèi)預(yù)先設(shè)定的圓形(例如直徑為2.5mm)的區(qū)域。具體而言，如圖6所示，網(wǎng)孔形成區(qū)域t1在第1膜材50上設(shè)置有多個(例如320個)，配置為交錯狀。另外，圖6是示意圖，數(shù)量及其尺寸關(guān)系等與實際不同。在后述的各圖中也同樣如此。此外，作為測量厚度的測量裝置的一例，能夠列舉觸針式的膜厚測量機或光學式的膜厚計等。此外，可以在吸附第1膜材50之前通過千分尺等測量厚度。

這里，第1膜材50按照每個膜而存在厚度偏差，并且即使在同一膜內(nèi)也存在偏差。例如，最大存在5～6μm左右的偏差。因此，通過根據(jù)測量的厚度來設(shè)定后述的紫外線激光的照射條件，能夠抑制貫通孔11的形狀(出口直徑)發(fā)生偏差。

作為具體例，根據(jù)測量的厚度來校正預(yù)先設(shè)定為基準的投射(shot)數(shù)。即，在測量的厚度比基準厚度大的情況下，使投射數(shù)從基準值增加，在測量的厚度比基準厚度小的情況下，使投射數(shù)從基準值減小。另外，也可以變更投射數(shù)以外的參數(shù)(例如，輸出)。

接下來，在步驟s4中，利用紫外線激光在規(guī)定的網(wǎng)孔形成區(qū)域t1形成多個貫通孔11。例如，在規(guī)定的網(wǎng)孔形成區(qū)域t1內(nèi)，以30μm間隔呈交錯狀地形成2000個貫通孔11。

在本實施方式中，使用yag四次諧波(波長266nm、脈沖寬度10～15ns、重復(fù)頻率10khz)作為紫外線激光，通過檢流鏡沿x方向以及y方向掃描單一激光束并通過遠心fθ透鏡進行聚光，通過上述結(jié)構(gòu)進行加工。另外，透鏡使用數(shù)值孔徑na(numericalaperture)高的(例如，0.18)透鏡。此外，如上所述，根據(jù)規(guī)定的網(wǎng)孔形成區(qū)域t1的厚度來校正紫外線激光的照射條件。

這里，在本實施方式中，為了形成貫通孔11，在散焦的狀態(tài)下照射紫外線激光并且在正好對焦的狀態(tài)下照射紫外線激光。即，通過分為2階段地照射紫外線激光，形成1個貫通孔11。另外，通過使用遠心fθ透鏡，即使進行掃描，也與第1膜材50垂直地會聚紫外線激光，即使在變更焦點位置的情況下，也能夠使照射紫外線激光的位置相同。

具體而言，首先，以使第1膜材50的表面與正好對焦位置一致的方式，使設(shè)置有吸盤臺200的xy臺在z方向上移動。此后，使xy臺在z方向上移動規(guī)定的散焦量。散焦量例如是0.06mm。而且，使輸出例如為50mw來進行第1階段的激光照射。即，在散焦的狀態(tài)下，進行形成的孔數(shù)(2000個)的量的第1階段的加工。

此后，以使第1膜材50的表面與正好對焦位置一致的方式使xy臺在z方向上移動。而且，使輸出例如為10mw來進行第2階段的激光照射。即，在正好對焦的狀態(tài)下，進行形成的孔數(shù)(2000個)的量的第2階段的加工。由此，圖3所示的形狀的貫通孔11在網(wǎng)孔形成區(qū)域t1形成有多個。另外，入口開口的開口直徑r1為25μm左右，出口開口的開口直徑r2為3μm左右。

這樣，如圖7所示，在1個網(wǎng)孔形成區(qū)域t1形成多個貫通孔11。而且，當對1個網(wǎng)孔形成區(qū)域t1的加工完成時，在步驟s5中，判斷對全部網(wǎng)孔形成區(qū)域t1的加工是否完成。而且，在未對全部網(wǎng)孔形成區(qū)域t1完成加工的情況下，轉(zhuǎn)移到步驟s6。

在步驟s6中，利用xy臺使第1膜材60沿水平方向移動例如7mm左右，由此，未加工的網(wǎng)孔形成區(qū)域t1配置于加工區(qū)域，返回步驟s4。由此，在第1膜材50的各網(wǎng)孔形成區(qū)域t1分別形成多個貫通孔11。

然后，如圖8以及圖9所示，當對全部網(wǎng)孔形成區(qū)域t1完成加工時(步驟s5：是)，轉(zhuǎn)移到步驟s7，進行形成的貫通孔11的檢查。

在貫通孔11的檢查中，首先，通過圖像處理測量入口開口的開口直徑r1。另外，可以測量全部貫通孔11的開口直徑r1，也可以提取一部分貫通孔11來測量開口直徑r1。

此后，將第1膜材50從吸盤臺200取下，并將第1膜材50倒過來之后固定于吸盤臺200。而且，通過圖像處理測量出口開口的開口直徑r2。另外，可以測量全部貫通孔11的開口直徑r2，也可以提取一部分貫通孔11來測量開口直徑r2。

這樣，進行對第1膜材50單體的加工。

[對第2膜材的加工步驟]

首先，在圖10的步驟s11中，清洗第2膜材60。另外，第2膜材60例如是黑色的聚碳酸酯制，厚度為410μm。此外，第2膜材60的尺寸沒有特別限定，例如是與第1膜材50相同的尺寸(a5或者a6)。在該清洗工序中，利用ipa等對第2膜材60進行幾十秒～幾分鐘左右的超聲波清洗。此后，通過氣槍等將ipa從第2膜材60吹走。

接下來，在步驟s12中，如圖11所示，將第2膜材60載置于吸盤臺210。而且，通過真空吸盤將第2膜材60固定于吸盤臺210。另外，優(yōu)選通過使用多孔質(zhì)陶瓷吸盤作為吸盤臺210，來吸附第2膜材60的整個面。另外，吸盤臺210設(shè)置于xy臺。

而且，在步驟s13中，如圖12所示，在與上述網(wǎng)孔形成區(qū)域t1對應(yīng)的位置形成開口部21。另外，開口部21例如開口直徑為2.7mm，通過沖孔或激光打標等形成。

此后，當形成了1個開口部21時，在步驟s14中，判斷是否形成了全部開口部21。另外，全部開口部21是指預(yù)先設(shè)定的數(shù)量的開口部。此外，預(yù)先設(shè)定的數(shù)量例如是與第1膜材50的網(wǎng)孔形成區(qū)域t1的數(shù)量相同的數(shù)量、即320個。而且，在未形成全部開口部21的情況下，轉(zhuǎn)移到步驟s15。

在步驟s15中，通過xy臺使第2膜材60沿水平方向移動例如7mm左右，返回步驟s13。由此，以與第1膜材50的多個網(wǎng)孔形成區(qū)域t1分別對應(yīng)的方式，在第2膜材60形成多個開口部21。另外，輸送第2膜材60的xy臺優(yōu)選與輸送第1膜材50的xy臺的驅(qū)動性能相同。這是為了抑制在將第1膜材50與第2膜材60層疊時，開口部21與貫通孔11的位置偏離。

而且，如圖13以及圖14所示，當形成全部開口部21時(步驟s14：是)，轉(zhuǎn)移到步驟s16，進行形成的開口部21的檢查。

在開口部21的檢查中，例如通過圖像處理測量其開口直徑。另外，可以測量全部開口部21的開口直徑，也可以提取一部分開口部21來測量開口直徑。此外，在通過沖孔形成開口部21的情況下，可以通過確認該沖孔的位置(例如，沖孔是否到達下止點)，來作為開口部21的檢查。

這樣，進行對第2膜材60單體的加工。

[針對第1膜材以及第2膜材的加工步驟]

首先，在圖15的步驟s21中，對第1膜材50以及第2膜材60進行定位。具體而言，如圖16以及圖17所示，在載置臺220上載置被實施了上述加工的第2膜材60。然后，在第2膜材60上層疊被實施了上述加工的第1膜材50。此時，貫通孔11的入口開口側(cè)配置于上方，第1膜材50被相對于第2膜材60定位。另外，定位例如是通過在第1膜材50以及第2膜材60的規(guī)定的位置、例如四角形成定位孔(省略圖示)，并向該定位孔插入銷來進行的。

此后，通過板狀部件221(參照圖16)對第1膜材50以及第2膜材60進行加壓。另外，板狀部件221構(gòu)成為使接合用的激光透過。此外，在圖17中，考慮到便于觀察而省略板狀部件221的圖示。

然后，在步驟s22中，通過激光焊接將第1膜材50與第2膜材60接合。另外，接合用的激光從板狀部件221側(cè)朝向第2膜材60照射，透過板狀部件221以及第1膜材50并被第2膜材60吸收。具體而言，各開口部21的周圍的環(huán)狀區(qū)域t2(參照圖17)通過焊接而被接合。在本實施方式中，利用波長為808nm且連續(xù)輸出的半導體激光將第1膜材50與第2膜材60焊接。

進而，在步驟s23中，通過圖像處理等進行接合部的檢查。此后，在步驟s24中，通過沖孔等將各接合部的外緣(例如，環(huán)狀區(qū)域t2的外周的稍內(nèi)側(cè))切掉。由此，得到了圖1以及圖2所示的網(wǎng)孔體100。即，在本實施方式中，通過1個第1膜材50和1個第2膜材60形成320個網(wǎng)孔體100。

－效果－

在本實施方式中，如上所述，利用紫外線激光形成網(wǎng)孔形成區(qū)域t1的貫通孔11，由此，通過變更該紫外線激光的照射條件等，能夠容易地進行網(wǎng)孔形成區(qū)域t1的貫通孔11的設(shè)計變更。由此，與使用模具等的情況相比，能夠價廉地制造貫通孔11的開口直徑或數(shù)量等不同的網(wǎng)孔體100，因此，能夠容易地提供與藥液對應(yīng)的網(wǎng)孔體100。此外，利用激光焊接將第1膜材50與第2膜材60接合，由此，能夠縮小熱影響范圍，因此，能夠抑制網(wǎng)孔體100的噴霧性能產(chǎn)生偏差。

此外，在本實施方式中，在第1膜材50的多個網(wǎng)孔形成區(qū)域t1一并地形成多個貫通孔11，并且在第2膜材60一并地形成多個開口部21，利用激光焊接將第1膜材50與第2膜材60接合并挑選多個網(wǎng)孔體100，由此，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)效率的提高。

此外，在本實施方式中，在形成貫通孔11后，將第1膜材50與第2膜材60焊接，由此，能夠在第1膜材50受到焊接的熱影響之前形成貫通孔11，由此，能夠抑制貫通孔11的形狀發(fā)生偏差。

此外，在本實施方式中，根據(jù)網(wǎng)孔形成區(qū)域t1的厚度來校正紫外線激光的照射條件，由此，能夠抑制貫通孔11的形狀(出口直徑)發(fā)生偏差。

此外，在本實施方式中，以分2個階段地縮徑的方式形成具有圓筒狀部112的貫通孔11，由此，能夠?qū)崿F(xiàn)來自網(wǎng)孔體100的噴霧量的增加，并且抑制噴霧直徑增大。另外，細節(jié)將后述。

此外，在本實施方式中，第2膜材60吸收接合用的激光，由此，能夠抑制第1膜材50受到熱影響，因此，能夠抑制網(wǎng)孔形成區(qū)域t1變形或收縮。

此外，在本實施方式中，在激光焊接時，利用板狀部件221進行加壓，由此，能夠縮小熱影響范圍，因此，在并列處理多個時，在各開口部21的周圍的環(huán)狀區(qū)域t2的焊接時，能夠抑制由于收縮等而導致的位置偏離。由此，能夠?qū)崿F(xiàn)并列處理，提高生產(chǎn)效率，并且能夠抑制噴霧性能的偏差。

－貫通孔的形狀－

在本實施方式中，示出了以分2個階段地縮徑的方式具有圓筒狀部112的貫通孔11(參照圖3)，但不限于此，也可以如圖18所示的第1變形例的貫通孔11a那樣不形成圓筒狀部。該貫通孔11a形成為一端側(cè)的開口直徑r3比另一端側(cè)的開口直徑r4大，構(gòu)成為從一端側(cè)朝向另一端側(cè)逐漸縮徑。即，貫通孔11a形成為在厚度方向的全長上連續(xù)地縮徑。該貫通孔11a例如能夠通過如下方式來形成：使用數(shù)值孔徑na較低的(例如，0.025)透鏡，使輸出為80mw并在0.3mm的散焦狀態(tài)下進行第1階段的加工，使輸出為80mw并在正好對焦的狀態(tài)下進行第2階段的加工。

這里，在連續(xù)地縮徑的情況下，如圖19所示的第2變形例的貫通孔11b那樣，隨著一端側(cè)的開口直徑r5增大，另一端側(cè)的開口直徑r6增大。該貫通孔11b構(gòu)成為從一端側(cè)朝向另一端側(cè)逐漸縮徑，整體來說，開口直徑比貫通孔11a大。

因此，對具有貫通孔11～11b的網(wǎng)孔體進行噴霧性能的評價實驗，其結(jié)果如表1所示。另外，對于以分2個階段地縮徑的方式具有圓筒狀部112的貫通孔11(參照圖3)，入口開口的開口直徑r1為大約25μm，出口開口的開口直徑r2為大約3.3μm。此外，對于連續(xù)地縮徑的貫通孔11a(參照圖18)，入口開口的開口直徑r3為大約25μm，出口開口的開口直徑r4為大約3.3μm。此外，連續(xù)地縮徑的貫通孔11b(參照圖19)的入口開口的開口直徑r5為大約28μm，出口開口的開口直徑r6為大約4.9μm。

[表1]

在該實驗中，使用具有貫通孔11的網(wǎng)孔體分別噴射pulmicort(注冊商標)、alevaire(注冊商標)、mucofilin(注冊商標)以及清水，進行此時的噴霧量以及噴霧直徑的測量。對于具有貫通孔11a的網(wǎng)孔體以及具有貫通孔11b的網(wǎng)孔體也同樣如此。另外，在利用具有貫通孔11a的網(wǎng)孔體噴射mucofilin的情況下，噴霧量較少，無法測量噴霧直徑。

根據(jù)表1所示的實驗結(jié)果可知，具有貫通孔11b的網(wǎng)孔體比具有貫通孔11a的網(wǎng)孔體的噴霧量多并且噴霧直徑大。認為這是由于，貫通孔11b的出口開口的開口直徑r6比貫通孔11a的出口開口的開口直徑r4大。即，在連續(xù)地縮徑的情況下，當實現(xiàn)噴霧量的增加時，噴霧直徑變大。

而且，在具有貫通孔11的網(wǎng)孔體中，相比于具有貫通孔11a的網(wǎng)孔體，噴霧量增多，并且相比于具有貫通孔11b的網(wǎng)孔體，減小了噴霧直徑。因此，可以明確在具有分2個階段地縮徑的貫通孔11的網(wǎng)孔體中，能夠?qū)崿F(xiàn)噴霧量的增加，并且抑制噴霧直徑增大，因此，噴霧性能良好。

另外，在具有貫通孔11的網(wǎng)孔體和具有貫通孔11b的網(wǎng)孔體中，針對清水的噴霧直徑的值相近，但針對藥液(pulmicort、alevaire、mucofilin)而言，噴霧直徑的值明顯不同。即，可以認為在具有貫通孔11的網(wǎng)孔體中，尤其在對藥液進行噴霧的情況下，噴霧性能良好。另外，清水與藥液的這種差異被認為是因粘性或表面張力的不同而引起的。

－加強部件的形狀－

接下來，對加強部件的形狀與噴霧量之間的關(guān)系進行說明。另外，以下，在對加強部件的厚度與噴霧量之間的關(guān)系進行說明之后，對加強部件的開口部的開口直徑與噴霧量之間的關(guān)系進行說明。

[關(guān)于厚度]

首先，制作了多個以30μm的間隔呈交錯狀地具有2800個貫通孔的網(wǎng)孔體主體。另外，貫通孔的入口開口的開口直徑為25μm，出口開口的開口直徑為3.5μm。此外，制作了多個厚度不同的加強部件。另外，各加強部件的開口部的開口直徑為2.3mm，是相同的。而且，通過將網(wǎng)孔體主體與加強部件接合，來制作加強部件的厚度不同的多個網(wǎng)孔體。而且，對各網(wǎng)孔體的噴霧量進行測量，其結(jié)果如圖20所示。

如圖20所示，明確了在加強部件的厚度較大(為800μm左右)的情況下以及加強部件的厚度較小(為200μm左右)的情況下，噴霧量下降。另外，各網(wǎng)孔體中的貫通孔的總開口面積相同。因此，加強部件的厚度優(yōu)選為300μm～600μm。

[關(guān)于開口部的開口直徑]

首先，制作多個與上述同樣的網(wǎng)孔體主體。此外，制作多個開口直徑不同的加強部件。另外，各加強部件的厚度為440μm，是相同的。而且，通過將網(wǎng)孔體主體與加強部件接合，來制作開口直徑不同的多個網(wǎng)孔體。而且，對各網(wǎng)孔體的噴霧量進行測量，其結(jié)果如圖21所示。

如圖21所示，明確了在開口直徑較大(為4mm左右)的情況下以及開口直徑較小(為1.6mm左右)的情況下，噴霧量下降。另外，各網(wǎng)孔體中的貫通孔的總開口面積相同。因此，加強部件的開口直徑優(yōu)選為2.3mm～3.2m。

－其他實施方式－

另外，此次公開的實施方式在全部方面都是例示，并不是限定性解釋的根據(jù)。因此，本發(fā)明的技術(shù)范圍并非僅根據(jù)上述實施方式進行解釋，而是根據(jù)權(quán)利要求書的記載進行定義。此外，本發(fā)明的技術(shù)的范圍包含與權(quán)利要求書同等的意思以及范圍內(nèi)的全部變更。

例如，在本實施方式中，示出了利用激光焊接將網(wǎng)孔體主體10與加強部件20接合的例子，但不限于此，可以利用其他的方法將網(wǎng)孔體主體與加強部件接合。此外，可以不設(shè)置加強部件。

此外，在本實施方式中，示出了具有圓筒狀部112和縮徑部113的貫通孔11，但不限于此，可以如圖22所示的第3變形例的貫通孔11c那樣，形成開口直徑不同的多個圓筒狀部111c以及112c。該貫通孔11c形成為一端側(cè)(入口開口)的開口直徑比另一端側(cè)(出口開口)的開口直徑大。此外，貫通孔11c具有形成于一端側(cè)的圓筒狀部111c以及形成于另一端側(cè)的圓筒狀部112c，圓筒狀部111c與112c經(jīng)由階差部相連。圓筒狀部111c的開口直徑比圓筒狀部112c的開口直徑大，圓筒狀部111c以及112c各自在厚度方向上的開口直徑大致相同。另外，示出了貫通孔11c具有開口直徑不同的2個圓筒狀部111c以及112c的例子，但不限于此，貫通孔可以具有開口直徑不同的3個以上的圓筒狀部。

此外，在本實施方式中，示出了網(wǎng)孔體主體10的厚度為30μm的例子，但不限于此，網(wǎng)孔體主體的厚度可以不是30μm。另外，網(wǎng)孔體主體的厚度優(yōu)選為100μm以下，更優(yōu)選為50μm以下。

此外，在本實施方式中，示出了網(wǎng)孔體主體10為聚碳酸酯制的例子，但不限于此，只要能夠形成貫通孔并能夠用于霧化器，則網(wǎng)孔體主體也可以由其他的材料形成。作為網(wǎng)孔體主體的材料的一例，能夠列舉聚砜、聚苯砜、聚醚酰亞胺、聚醚醚酮、聚苯硫醚、聚偏二氟乙烯、聚苯醚、聚縮醛、聚丙烯、聚對苯二甲酸乙二酯等。

此外，在本實施方式中，示出了加強部件20的厚度為410μm的例子，但不限于此，加強部件的厚度可以不是410μm。另外，加強部件的厚度優(yōu)選為100μm以上，更優(yōu)選為300μm以上。

此外，在本實施方式中，示出了加強部件20為聚碳酸酯制的例子，但不限于此，只要能夠與網(wǎng)孔體主體接合并且能夠用于霧化器，則加強部件也可以由其他的材料形成。作為加強部件的材料的一例，能夠列舉聚砜、聚苯砜、聚醚酰亞胺、聚醚醚酮、聚苯硫醚、聚偏二氟乙烯、聚苯醚、聚縮醛、聚丙烯、聚對苯二甲酸乙二酯等。

此外，在本實施方式中，示出了通過散焦形成貫通孔11的例子，但不限于此，可以通過在正好聚焦位置進行螺旋加工，來形成期望的形狀的貫通孔。同樣地，可以通過利用掩模轉(zhuǎn)印法改變掩模尺寸，來形成期望的形狀的貫通孔。同樣地，可以通過使掩模尺寸連續(xù)地可變，并改變激光束直徑來改變數(shù)值孔徑na，來控制貫通孔的縮徑角度并形成期望的形狀的貫通孔。

此外，在本實施方式中，示出了通過分2個階段地照射紫外線激光來形成1個貫通孔11的例子，但不限于此，也可以通過3個階段以上的激光照射來形成貫通孔。

此外，在本實施方式中，使用yag四次諧波作為紫外線激光，但不限于此，也可以使用yag三次諧波或準分子激光作為紫外線激光。另外，紫外線激光的波長優(yōu)選為350nm以下。

此外，在本實施方式中，示出了通過遠心fθ透鏡進行聚光的例子，但不限于此，也可以通過fθ透鏡或球面透鏡等其他的透鏡進行聚光。

此外，在本實施方式中，示出了掃描單一激光束的例子，但不限于此，可以使用衍射光學元件等使激光束分支，一并掃描多個激光束。如果這樣構(gòu)成，則能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)效率的提高。

此外，在本實施方式中，示出了通過利用檢流鏡進行掃描來在1個網(wǎng)孔形成區(qū)域t1形成多個貫通孔11的例子，但不限于此，可以通過利用檢流鏡進行掃描來在多個網(wǎng)孔形成區(qū)域分別形成多個貫通孔。如果這樣構(gòu)成，則能夠減少使xy臺動作的次數(shù)，因此，能夠?qū)崿F(xiàn)加工時間的縮短。

此外，在本實施方式中，示出了進行各種檢查的例子，但不限于此，可以不進行檢查，也可以僅進行一部分的檢查。

此外，在本實施方式中，網(wǎng)孔體100的直徑、貫通孔11的數(shù)量及其間隔、配置等都是一例，能夠適當變更。

此外，在本實施方式中，作為將第1膜材50與第2膜材60接合的激光，示出了半導體激光，但不限于此，可以利用其他的激光將第1膜材與第2膜材接合。

此外，在本實施方式中，作為將第1膜材50與第2膜材60接合的激光接合的焊接區(qū)域，示出了通過焊接來接合各開口部21的周圍的環(huán)狀區(qū)域t2，但也可以在焊接環(huán)狀區(qū)域t2之前，形成一處或多處線狀或者點狀的焊接部位。如果采用這樣的結(jié)構(gòu)，則能夠通過線狀或者點狀的焊接部位進行臨時固定，因此，能夠進一步抑制對環(huán)狀區(qū)域t2進行激光焊接時的收縮。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)貫通孔11相對于開口部21的位置精度的提高。

此外，在本實施方式中，示出了將形成有貫通孔11的第1膜材50與形成有開口部21的第2膜材60層疊的例子，但不限于此，也可以在將形成有開口部的第2膜材與第1膜材層疊的狀態(tài)下，在第1膜材形成貫通孔。如果這樣構(gòu)成，則能夠?qū)崿F(xiàn)貫通孔相對于開口部的位置精度的提高。

此外，在本實施方式中，示出了第1膜材50供接合用的激光透過，第2膜材60吸收接合用的激光的例子，但不限于此，也可以是第2膜材供接合用的激光透過，第1膜材吸收接合用的激光。

此外，在本實施方式中，在切除并形成多個網(wǎng)孔體100之后，還可以設(shè)置清洗該網(wǎng)孔體100的工序。此外，還可以設(shè)置對網(wǎng)孔體100的噴霧性能進行評價的工序。

產(chǎn)業(yè)上的可利用性

本發(fā)明能夠用于形成有多個貫通孔的網(wǎng)孔體的制造方法以及網(wǎng)孔體。

標號說明

10：網(wǎng)孔體主體；11：貫通孔；11a：貫通孔；11b：貫通孔；11c：貫通孔；20：加強部件；21：開口部；50：第1膜材；60：第2膜材；100：網(wǎng)孔體；111c：圓筒狀部；112：圓筒狀部；112c：圓筒狀部；113：縮徑部；t1：網(wǎng)孔形成區(qū)域。