專(zhuān)利名稱(chēng)：層疊體及其制造方法、轉(zhuǎn)印裝置、成型元件以及光學(xué)元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及層疊體制造方法、壓模、轉(zhuǎn)印裝置、層疊體、成型元件以及光學(xué)元件。更具體地，本發(fā)明涉及基體上具有形狀層的層疊體制造方法、壓模、轉(zhuǎn)印裝置、層疊體、成型元件以及光學(xué)元件。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，作為在基體上設(shè)置凹凸形狀的方法，已采用使用熱塑性材料的方法(下文稱(chēng)為熱轉(zhuǎn)印法)和使用光固化型材料的方法(下文稱(chēng)為光轉(zhuǎn)印法)(例如，參見(jiàn)日本未審專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)第2006-26873號(hào)和第2006-216836號(hào))。在熱轉(zhuǎn)印法中，可通過(guò)將壓模壓在被加熱到玻璃態(tài)轉(zhuǎn)化溫度或以上的基體上、然后冷卻基體、并將壓模從基體上剝離，來(lái)獲得具有凹凸形狀的層疊體。在光轉(zhuǎn)印法中，可在不加熱基體的情況下通過(guò)將壓模緊緊壓在基體上的還未固化的光固化型材料上、用光通過(guò)壓模或基體照射光固化型材料以固化光固化型材料，來(lái)獲得層疊體。光固化法的優(yōu)點(diǎn)在于生產(chǎn)量可比熱轉(zhuǎn)印法進(jìn)一步提高，因此近來(lái)引起了特別關(guān)注。在光轉(zhuǎn)印法中，一般來(lái)說(shuō)，使用金屬壓?；虿Ａ耗?。在作為金屬壓模制造技術(shù)的平面化或旋轉(zhuǎn)周期性壓模制造技術(shù)中，由于光可能無(wú)法從壓模側(cè)施加，因此僅能使用通過(guò)其傳輸有助于固化光固化型材料的波長(zhǎng)的光的基體，而不可使用不通過(guò)其傳輸光的基體(非透射性基體)。在玻璃壓模中，光可從壓模側(cè)施加，因此，可使用不通過(guò)其傳輸有助于固化光固化型材料的光的基體來(lái)獲得具有凹凸形狀的層疊體。在相關(guān)技術(shù)的制造技術(shù)中，由于僅制造了尺寸限于幾英寸的盤(pán)形或板狀壓模，在制造尺寸等于或大于壓模的模壓表面面積的層疊體的情況下，使用了分步重復(fù)法。但是，在分步重復(fù)法中，在各個(gè)步驟中進(jìn)行了轉(zhuǎn)印的轉(zhuǎn)印區(qū)域之間的界面中的凹凸形狀會(huì)出現(xiàn)不匹配。根據(jù)層疊體的種類(lèi)，界面中的不匹配可能會(huì)造成層疊體的特性退化。

發(fā)明內(nèi)容
期望提供一種非透射性基體與轉(zhuǎn)印區(qū)域不產(chǎn)生不匹配的層疊體制造方法、壓模、 轉(zhuǎn)印裝置、具有非透射性基體并且在形狀層表面上的凹凸形狀之間沒(méi)有不匹配的層疊體、 成型元件以及光學(xué)元件。根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式，提供了一種層疊體制造方法，包括在基體上涂覆能量射線固化型樹(shù)脂組合物，使旋轉(zhuǎn)式壓模的旋轉(zhuǎn)表面在旋轉(zhuǎn)期間與涂覆在基體上的能量射線固化型樹(shù)脂組合物緊密接觸，并利用設(shè)置在旋轉(zhuǎn)式壓模內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)能量射線源發(fā)出的能量射線經(jīng)由旋轉(zhuǎn)表面照射能量射線固化型樹(shù)脂組合物，以固化能量射線固化型樹(shù)脂組合物，從而在基體上形成形狀層，該形狀層上轉(zhuǎn)印有旋轉(zhuǎn)表面的凹凸形狀。根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式，提供了一種包括具有凹凸形狀的旋轉(zhuǎn)表面的轉(zhuǎn)印裝置；具有設(shè)置在旋轉(zhuǎn)表面內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)能量射線源的旋轉(zhuǎn)式壓模，其中，旋轉(zhuǎn)式壓模對(duì)于能量射線源發(fā)出的能量射線具有透射性，并且，其中，旋轉(zhuǎn)式壓模的旋轉(zhuǎn)表面在旋轉(zhuǎn)期間與涂覆在基體上的能量射線固化型樹(shù)脂組合物緊密接觸，并利用設(shè)置在旋轉(zhuǎn)式壓模內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)能量射線源發(fā)出的能量射線經(jīng)由旋轉(zhuǎn)表面照射能量射線固化型樹(shù)脂組合物，以固化能量射線固化型樹(shù)脂組合物，從而在基體上形成形狀層，該形狀層上轉(zhuǎn)印有旋轉(zhuǎn)表面的凹凸形狀。根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式，提供了一種包括具有凹凸形狀的旋轉(zhuǎn)表面的壓模， 其中，壓模對(duì)于能量射線源發(fā)出的能量射線具有透射性，并且，其中，壓模使能量射線源發(fā)出的能量射線經(jīng)由旋轉(zhuǎn)表面照射能量射線固化型樹(shù)脂組合物，從而固化能量射線固化型樹(shù)脂組合物。根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式，提供了一種層疊體，其包括基體；以及，形狀層，形成在基體上，并且具有凹凸形狀的表面。其中，形狀層通過(guò)固化能量射線固化型樹(shù)脂組合物而形成，其中，具有預(yù)定凹凸圖案的單位區(qū)域以凹凸形狀之間未產(chǎn)生不匹配的方式連續(xù)形成在形狀層的表面上，并且，其中，基體對(duì)于用于固化能量射線固化型樹(shù)脂組合物的能量射線具有非透射性。根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式，提供了一種層疊體，其包括基體，具有第一表面和與第一表面相對(duì)的第二表面；第一形狀層，形成在基體的第一表面上；以及第二形狀層，形成在基體的第二表面上。其中，第一形狀層通過(guò)固化能量射線固化型樹(shù)脂組合物而形成，其中，第一和第二形狀層中的至少第二形狀層對(duì)于用于固化能量射線固化型樹(shù)脂組合物的能量射線具有非透射性，并且，其中，具有預(yù)定凹凸圖案的單位區(qū)域以凹凸形狀之間未產(chǎn)生不匹配的方式連續(xù)形成在第一形狀層的表面上。在本發(fā)明的實(shí)施方式中，能量射線固化型樹(shù)脂組合物表示包括能量射線固化型樹(shù)脂組合物作為主組分的組合物。能量射線固化型樹(shù)脂組合物之外的成分例如可使用熱固化型樹(shù)脂、硅樹(shù)脂、有機(jī)顆粒、無(wú)機(jī)顆粒、導(dǎo)電高分子、金屬粉末、色素等，但并不限于此，可根據(jù)期望的層疊體的特性使用各種材料。另外，對(duì)于能量射線的非透射性表示難以固化能量射線固化型樹(shù)脂組合物的程度的非透射性。單位區(qū)域優(yōu)選地通過(guò)旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)式壓模的旋轉(zhuǎn)表面而形成。旋轉(zhuǎn)式壓模優(yōu)選地采用輥式壓?；驇綁耗＃?，只要包括其上形成有凹凸形狀的旋轉(zhuǎn)表面，并不限于此。優(yōu)選地，結(jié)構(gòu)體的布置是規(guī)則布置、不規(guī)則布置及其組合。優(yōu)選地，結(jié)構(gòu)體的布置是一維布置或二維布置。優(yōu)選地，基體的形狀使用具有兩個(gè)主表面的諸如膜狀或板狀的形狀、具有三個(gè)以上主表面的多面體形狀、具有諸如球面和自由曲面的曲面的曲面形狀、具有平面和球面的多面體形狀，等等。優(yōu)選地，形狀層形成在基體所具有的多個(gè)主表面中的至少一個(gè)上。基體具有至少一個(gè)平面或曲面，并且形狀層優(yōu)選地形成在平面或曲面上。在本發(fā)明的實(shí)施方式中，由于以單位區(qū)域之間不產(chǎn)生不匹配的方式彼此連接凹凸形狀，因此不會(huì)因單位區(qū)域之間的不匹配而造成層疊體的特性退化或形狀混亂。因此，可獲得具有優(yōu)良特性或外觀的層疊體。在凹凸形狀為透鏡或亞波長(zhǎng)(sub-wavelength)結(jié)構(gòu)體等的圖案的情況下，即使在單位區(qū)域之間也可獲得優(yōu)良光學(xué)特性。在用預(yù)定形狀替換凹凸形狀的設(shè)計(jì)中，可獲得不具有不匹配部分的形狀等的設(shè)計(jì)。另外，由于可使用對(duì)于能量射線具有非透射性的基體，因此可使用各種基體。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，形狀層表面上的凹凸形狀未出現(xiàn)不匹配，因此，可獲得具有優(yōu)良特性或外觀的層疊體。另外，可使用各種基體作為基體，因此，層疊體可應(yīng)用于各種成型元件或光學(xué)元件。


圖IA為示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的層疊體的實(shí)例的平面圖。圖IB為圖IA所示的層疊體的一部分的放大透視圖。圖IC為圖IA所示的層疊體的一部分的放大平面圖。 圖ID為圖IC所示的層疊體在軌跡延伸方向上的橫截面圖。圖2A至圖2E為示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的層疊體內(nèi)所設(shè)置的基體的第一至第五實(shí)例的橫截面圖。圖3為示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的轉(zhuǎn)印裝置的配置實(shí)例的示意圖。圖4A為示出輥式壓模的配置實(shí)例的透視圖。圖4B為圖4A所示的輥式壓模的一部分的放大平面圖。圖5為示出輥式壓模曝光裝置的配置實(shí)例的示意圖。圖6A至圖6D為示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的層疊體制造方法的實(shí)例的流程圖。圖7A至圖7E為示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的層疊體制造方法的實(shí)例的流程圖。圖8為示出根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施方式的轉(zhuǎn)印裝置的配置實(shí)例的示意圖。圖9為示出根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施方式的轉(zhuǎn)印裝置的配置實(shí)例的示意圖。圖IOA和圖IOB為示出根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施方式的層疊體的配置實(shí)例的平面圖。圖IlA為示出根據(jù)本發(fā)明第五實(shí)施方式的層疊體的配置實(shí)例的示意圖。圖IlB為圖IlA所示的層疊體的一部分的放大平面圖。圖IlC為圖IlB所示的層疊體的橫截面圖。圖12為示出根據(jù)本發(fā)明第六實(shí)施方式的層疊體的實(shí)例的透視圖。圖13A至圖13E為示出根據(jù)本發(fā)明第七實(shí)施方式的層疊體中所設(shè)置的基體的第一至第五實(shí)例的橫截面圖。圖14A和圖14B為示出根據(jù)本發(fā)明第八實(shí)施方式的層疊體中所設(shè)置的基體的第一和第二實(shí)例的橫截面圖。
具體實(shí)施例方式
將按照以下順序參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。1.第一實(shí)施方式(層疊體的實(shí)例，在該層疊體中，多個(gè)結(jié)構(gòu)體被以二維方式設(shè)置在基體的一個(gè)主表面上)2.第二實(shí)施方式(使用臺(tái)來(lái)運(yùn)載層疊體的轉(zhuǎn)印裝置的實(shí)例)3.第三實(shí)施方式(具有環(huán)形帶式壓模的轉(zhuǎn)印裝置的實(shí)例)4.第四實(shí)施方式(層疊體的實(shí)例，在該層疊體中，多個(gè)結(jié)構(gòu)體被以擺動(dòng)的方式設(shè)置在基體的一個(gè)主表面上)5.第五實(shí)施方式(層疊體的實(shí)例，在該層疊體中，多個(gè)結(jié)構(gòu)體被隨機(jī)地設(shè)置在基體的一個(gè)主表面上)
6.第六實(shí)施方式(層疊體的實(shí)例，在該層疊體中，多個(gè)結(jié)構(gòu)體被以一維方式設(shè)置在基體的一個(gè)主表面上)7.第七實(shí)施方式(層疊體的實(shí)例，在該層疊體中，多個(gè)結(jié)構(gòu)體被以二維方式設(shè)置在基體的兩個(gè)主表面上)8.第八實(shí)施方式(層疊體的實(shí)例，在該層疊體中，多個(gè)非透射型結(jié)構(gòu)體被以二維方式設(shè)置)1.第一實(shí)施方式層疊體的配置圖IA為示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的層疊體的實(shí)例的平面圖。圖IB為圖IA所示的層疊體的一部分的放大透視圖。圖IC為圖IA所示的層疊體的一部分的放大平面圖。 圖ID為圖IC所示的層疊體在軌跡延伸方向上的橫截面圖。層疊體包括具有第一主表面和第二主表面的基體1以及形成在其中一個(gè)主表面上并具有凹凸形狀的形狀層2。下文中，形成有形狀層2的第一主表面被稱(chēng)為前表面，與其相對(duì)的第二表面被稱(chēng)為后表面。層疊體適用于表面織構(gòu)體、設(shè)計(jì)體、諸如機(jī)械元件或醫(yī)療元件的成型元件、以及諸如抗反射元件、偏振元件、周期性光學(xué)元件、衍射元件、成像元件或光導(dǎo)元件的光學(xué)元件。具體地，層疊體適用于諸如ND濾光器、銳截止濾光器、干涉濾光器的用于調(diào)節(jié)光量的各種濾光器、偏光器、移動(dòng)電話前面板以及汽車(chē)儀表盤(pán)、移動(dòng)電話等的紋飾處理、樹(shù)脂成型品和玻璃成型品。層疊體例如具有條形的形狀，被卷繞為輥形，即所謂的原始結(jié)構(gòu)。層疊體優(yōu)選具有撓性。從而條形層疊體被卷繞成輥形，因此提高了運(yùn)載特性或處理特性。如圖IA所示，層疊體例如具有至少一個(gè)周期性轉(zhuǎn)印區(qū)域(單位區(qū)域)TE。此處， 一個(gè)周期性轉(zhuǎn)印區(qū)域TE是通過(guò)將后述的輥式壓模旋轉(zhuǎn)一次來(lái)執(zhí)行轉(zhuǎn)印的區(qū)域。即，一個(gè)周期性轉(zhuǎn)印區(qū)域TE的長(zhǎng)度與輥式壓模的周向表面的長(zhǎng)度對(duì)應(yīng)。在兩個(gè)相鄰轉(zhuǎn)印區(qū)域TE之間的界面中，優(yōu)選地，形狀層2的凹凸形狀之間不存在不匹配，兩個(gè)轉(zhuǎn)印區(qū)域TE以無(wú)縫方式連接。這可獲得具有優(yōu)良特性或外觀的層疊體。此處，不匹配表示凹凸形狀的物理配置由于結(jié)構(gòu)體21而不連續(xù)。不匹配的具體實(shí)例包括轉(zhuǎn)印區(qū)域TE上預(yù)定凹凸圖案的周期性的混亂、相鄰單位區(qū)域之間的重疊或間隙、一部分上沒(méi)有執(zhí)行轉(zhuǎn)印，等等?；w基體1的材料沒(méi)有特別限制，可根據(jù)用途選擇，例如，可使用石英、塑料(例如，甲基丙烯酸甲酯聚合物(共聚物)、聚碳酸酯、苯乙烯聚合物(共聚物)、甲基丙烯酸甲酯-苯乙烯共聚物、纖維素二醋酸酯、纖維素三醋酸酯、纖維素醋酸丁酸酯、聚酯、聚酰胺、聚酰亞胺、聚醚砜、聚砜、聚丙烯、聚甲基戊烯、聚氯乙烯、聚乙烯醇縮醛、聚醚酮、聚氨酯、環(huán)烯烴聚合物、環(huán)烯烴共聚物)、玻璃、金屬、陶瓷、磁性體和半導(dǎo)體?；w1的形狀例如包括片狀、板狀、塊狀，但并非具體限于這些形狀。此處，片的定義包括膜。整個(gè)基體1具有條形的形狀， 作為單位區(qū)域的轉(zhuǎn)印區(qū)域TE優(yōu)選連續(xù)形成在基體1的縱向方向上。基體1的前表面和后表面的形狀例如可使用平面和曲面。前表面和后表面可以都具有平面或曲面的形式，并且前表面和后表面其中之一可為平面的形式，另一個(gè)表面可為曲面的形式。對(duì)于用于固化能量射線固化型樹(shù)脂組合物(其用于形成形狀層2)的能量射線，基體1具有非透射特性。在本說(shuō)明書(shū)中，能量射線指代用于固化能量射線固化型樹(shù)脂組合物
7的能量射線，該能量射線固化型樹(shù)脂組合物被用以形成形狀層2。例如，可通過(guò)印刷、涂覆、 真空沉積等在基體1的前表面上形成裝飾層或功能層?；w1具有單層結(jié)構(gòu)或?qū)盈B結(jié)構(gòu)。此處，層疊結(jié)構(gòu)通過(guò)層疊兩個(gè)以上層而形成，并且層疊結(jié)構(gòu)的至少一層對(duì)于能量射線是非透射性層。層疊體形成方法的實(shí)例包括通過(guò)熔化或表面處理在層之間進(jìn)行貼合的方法、經(jīng)由貼合層(諸如粘合層或粘性層)在層之間進(jìn)行貼合的方法，但并不特別限制。貼合層可包括諸如吸收能量射線的色素的材料。另外，在基體1具有層疊結(jié)構(gòu)的情況下，可將對(duì)于能量射線具有非透射性的非透射性層與對(duì)于能量射線具有透射性的透射性層進(jìn)行組合。此外，在基體具有兩個(gè)以上非透射性層的情況下，這些層可具有彼此不同的吸收特性。透射性層的材料例如可使用透明有機(jī)膜(例如，丙烯酸樹(shù)脂涂覆材料)、透明金屬膜、無(wú)機(jī)膜、金屬化合物膜，或它們的層疊體，但沒(méi)有特別限制。非透射性層的材料例如可使用有機(jī)膜(例如，包含燃料的丙烯酸樹(shù)脂涂覆材料)、金屬膜、金屬化合物膜，或它們的層疊體，但沒(méi)有特別限制。色素例如可使用具有光吸收特性的炭黑等材料。圖2A至圖2E為示出基體的第一至第五實(shí)例的橫截面圖。第一實(shí)例如圖2A所示，基體1具有單層結(jié)構(gòu)，整個(gè)基體為對(duì)于能量射線具有非透射性的非透射性層。第二實(shí)例如圖2B所示，基體1具有雙層結(jié)構(gòu)，并且包括對(duì)于能量射線具有非透射性的非透射性層Ila和對(duì)于能量射線具有透射性的透射性層lib。非透射性層Ila被設(shè)置在后表面?zhèn)?，透射性層lib被設(shè)置在前表面?zhèn)?。第三?shí)例如圖2C所示，基體1具有雙層結(jié)構(gòu)，并且包括對(duì)于能量射線具有非透射性的非透射性層Ila和對(duì)于能量射線具有透射性的透射性層lib。非透射性層Ila被設(shè)置在前表面?zhèn)?，透射性層lib被設(shè)置在后表面?zhèn)?。第四?shí)例如圖2D所示，基體1具有三層結(jié)構(gòu)，并且包括對(duì)于能量射線具有透射性的透射性層lib以及形成在透射性層lib的兩個(gè)主表面上并且對(duì)于能量射線具有非透射性的非透射性層Ila和11a。一個(gè)非透射性層Ila被設(shè)置在后表面?zhèn)龋硪粋€(gè)非透射性層Ila被設(shè)置在前表面?zhèn)?。第五?shí)例如圖2E所示，基體1具有三層結(jié)構(gòu)，并且包括對(duì)于能量射線具有非透射性的非透射性層Ila以及形成在非透射性層Ila的兩個(gè)主表面上并且對(duì)于能量射線具有透射性的透射性層lib和lib。一個(gè)透射性層lib被設(shè)置在后表面?zhèn)龋硪粋€(gè)透射性層lib被設(shè)置在前表面?zhèn)?。形狀層形狀?具有其上連續(xù)形成了具有預(yù)定凹凸圖案的轉(zhuǎn)印區(qū)域TE的表面。形狀層 2例如為多個(gè)結(jié)構(gòu)體21以二維方式布置的層，并且可選地，在多個(gè)結(jié)構(gòu)體21和基體1之間具有基礎(chǔ)層22?；A(chǔ)層22為在底面?zhèn)扰c結(jié)構(gòu)體21 —體成型的層，并且通過(guò)以與結(jié)構(gòu)體21相同的方式固化能量射線固化型樹(shù)脂組合物而形成。基礎(chǔ)層22的厚度沒(méi)有特別限制，可根據(jù)需要適當(dāng)選擇。布置多個(gè)結(jié)構(gòu)體21以在基體1的前表面上形成多行軌跡T。為形成多行軌跡T而布置的多個(gè)結(jié)構(gòu)體21可具有例如規(guī)則地設(shè)置有方形網(wǎng)格或六邊形網(wǎng)格的預(yù)定分組圖案。結(jié)構(gòu)體21的高度可在基體1的前表面上規(guī)則或不規(guī)則變化。結(jié)構(gòu)體21可在基體1的前表面上具有凹形或凸形，或可在基體1的前表面上同時(shí)具有凹凸形狀。結(jié)構(gòu)體21的形狀的具體實(shí)例包括錐形、柱形、針形、半球形、半橢球形、多邊形等，但并非特別限于此，并且可具有其他形狀。錐形的實(shí)例包括頂部削尖或平面化的錐形，以及頂部具有凸曲面或凹曲面的錐形，但并非限于這些形狀。另外，錐形的錐面可彎曲為凹形或凸形。作為結(jié)構(gòu)體21的形狀，如果使用后述的輥式壓模曝光裝置(見(jiàn)圖5)來(lái)制造輥式壓模，優(yōu)選地，采用頂部具有凸形的橢圓錐形狀或頂部平面化的圓形截頂錐，構(gòu)成其底部的橢圓形狀的長(zhǎng)軸方向與軌跡的延伸方向?qū)?yīng)。結(jié)構(gòu)體21的節(jié)距可根據(jù)層疊體的種類(lèi)適當(dāng)選擇。例如，在層疊體為用于進(jìn)行光抗反射的亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)體等的光學(xué)元件的情況下，結(jié)構(gòu)體21以等于或小于用于減少反射的波長(zhǎng)帶寬的短設(shè)置節(jié)距(例如，與可見(jiàn)光的波長(zhǎng)基本相同的設(shè)置節(jié)距)以二維方式周期性設(shè)置。用于減少反射的光的波長(zhǎng)帶寬例如為紫外光的波長(zhǎng)帶寬、可見(jiàn)光的波長(zhǎng)帶寬或紅外光的波長(zhǎng)帶寬。此處，紫外光的波長(zhǎng)帶寬為IOnm至400nm，可見(jiàn)光的波長(zhǎng)帶寬為400nm至 830nm，紅外光的波長(zhǎng)帶寬為830nm至1mm。形狀層2通過(guò)固化能量射線固化型樹(shù)脂組合物而形成。優(yōu)選地，通過(guò)從基體1的相反側(cè)對(duì)涂覆在基體1上的能量射線固化型樹(shù)脂組合物進(jìn)行固化反應(yīng)(例如，聚合反應(yīng))， 來(lái)形成形狀層2。這是因?yàn)?，?duì)于能量射線具有非透射性的基體可別作為基體1。優(yōu)選地， 轉(zhuǎn)印區(qū)域TE互相連接，能量射線固化型樹(shù)脂組合物的固化程度未產(chǎn)生不匹配。能量射線固化型樹(shù)脂組合物的固化程度的不匹配例如為聚合度的差異。能量射線固化型樹(shù)脂組合物為可通過(guò)能量射線照射來(lái)進(jìn)行固化的樹(shù)脂組合物。能量射線指代可成為聚合反應(yīng)的觸發(fā)的能量射線，例如，電子束、紫外線、紅外線、激光束、可見(jiàn)射線、電離輻射(X射線、α射線、β射線、Y射線等)、微波、射頻等的原子團(tuán)、陽(yáng)離子或陰離子?？蛇x地，能量射線固化型樹(shù)脂組合物以與其他樹(shù)脂混合的方式使用，例如，可以與諸如熱固化型樹(shù)脂的其他樹(shù)脂混合的方式使用。另外，能量射線固化型樹(shù)脂組合物可由有機(jī)和無(wú)機(jī)混合材料構(gòu)成。此外，可將兩種以上能量射線固化型樹(shù)脂組合物混合使用。能量射線固化型樹(shù)脂組合物優(yōu)選地采用通過(guò)紫外線進(jìn)行固化的紫外線固化型樹(shù)脂。紫外線固化型樹(shù)脂例如由單官能單體、雙官能單體、多官能單體、引發(fā)劑等構(gòu)成， 具體地，通過(guò)單獨(dú)使用以下材料或其混合物而形成。單聚物單體的實(shí)例包括羧酸(丙烯酸)、羥基(2-羥乙基丙烯酸酯、2-羥丙基丙烯酸酯、4-羥丁基丙烯酸酯)、烷基、脂環(huán)族(丙烯酸異丁酯、丙烯酸叔丁酯、丙烯酸異辛酯、 丙烯酸月桂酯、丙烯酸十八酯、丙烯酸異乙烯酯、丙烯酸環(huán)己酯)、其他官能單體(2-丙烯酸甲氧基乙酯、甲氧基乙烯乙二醇丙烯酸酯、2-丙烯酸乙氧基乙酯、丙烯酸四氫糠基酯、丙烯酸芐酯、乙基卡必醇丙烯酸酯、丙烯酸苯氧基乙酯、N，N-丙烯酸二甲基乙酯、N，N-丙烯酰胺丙基二甲基胺、N，N-二甲基丙烯酰胺、丙烯酰嗎啉、N-異丙基丙烯酰胺、N，N-二乙基丙烯酰胺、N-乙烯基吡硌烷酮)、2_全氟辛基乙基丙烯酸酯、3-全氟己基-2-丙烯酸羥丙酯、3-全氟辛基-2-丙烯酸羥丙酯、2-全氟癸基丙烯酸乙酯、2-(全氟-3-甲基丁基)乙基丙烯酸、2,4,6-丙烯酸三溴苯酚、2，4，6-三溴苯基甲基丙烯酸酯、2-丙烯酸-2- (2,4,6-三溴苯氧基)乙酯、2-丙烯酸乙基己酯等。雙官能單體的實(shí)例包括二縮三丙二醇二丙烯酸酯、三羥甲基丙烷、二烯丙基醚、 聚氨酯丙烯酸酯等。多官能單體的實(shí)例包括三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、二季戊四醇戊_/己-丙烯酸、 雙三羥甲基丙烷丙烯酸酯等。引發(fā)劑的實(shí)例包括2，2- 二甲氧基-1，2- 二苯基乙烷-1-酮、1_羥基-環(huán)己基苯基甲酮，2-羥基-2-甲基-1-苯丙烷-1-酮等。另外，能量射線固化型樹(shù)脂組合物可選地包括填料、功能添加劑、溶劑、無(wú)機(jī)材料、 色素、抗靜電劑、增感染料等。填料例如可使用無(wú)機(jī)和有機(jī)顆粒。無(wú)機(jī)顆粒的實(shí)例包括金屬氧化物顆粒，例如，SiO2, TiO2, ZrO2, SnO2^Al2O3等。功能添加劑的實(shí)例包括均化劑、表面調(diào)整劑、吸收劑、防沫劑等。轉(zhuǎn)印裝置的配置圖3為示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的轉(zhuǎn)印裝置的配置實(shí)例的示意圖。轉(zhuǎn)印裝置包括輥式壓模101、基體供應(yīng)輥111、收卷輥112、引導(dǎo)輥113和114、夾置輥115、剝離輥116、 涂覆單元117和光源110。片狀等形狀的基體1在基體供應(yīng)輥111上卷繞成輥形，基體供應(yīng)輥111被設(shè)置為使得基體1經(jīng)由引導(dǎo)輥113被連續(xù)傳送。設(shè)置收卷輥112以卷繞具有形狀層2的層疊體， 在該形狀層2上通過(guò)轉(zhuǎn)印裝置轉(zhuǎn)印有凹凸形狀。引導(dǎo)輥113和114被設(shè)置在轉(zhuǎn)印裝置的運(yùn)載路徑上，以運(yùn)載條形基體1和條形層疊體。設(shè)置夾置輥115以與輥式壓模101 —起夾置基體1，其中，基體1是從基體供應(yīng)輥111傳送來(lái)的，其涂覆有能量射線固化型樹(shù)脂組合物。 輥式壓模101具有用于形成形狀層2的轉(zhuǎn)印表面，并包括一個(gè)或多個(gè)能量射線源110。稍后將對(duì)輥式壓模101進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。設(shè)置剝離輥116以從輥式壓模101的轉(zhuǎn)印表面剝離通過(guò)固化能量射線固化型樹(shù)脂組合物118而獲得的形狀層2?；w供應(yīng)輥111、收卷輥112、引導(dǎo)輥113和114、夾置輥115和剝離輥116的材料沒(méi)有特別限制，可根據(jù)所期望的輥特性通過(guò)適當(dāng)選擇而使用諸如不銹鋼的金屬、橡膠、硅等。涂覆單元117例如可使用具有涂覆單元(例如，涂布器)的裝置?？紤]到要涂覆的能量射線固化型樹(shù)脂組合物的物理特性，例如，可適當(dāng)采用照相凹版、拉絲錠和模具作為涂布
ο輥式壓模的配置圖4A為示出輥式壓模的配置實(shí)例的透視圖。圖4B為圖4A所示的輥式壓模的一部分的放大平面圖。輥式壓模101例如為圓筒形壓模，并具有形成在表面上的轉(zhuǎn)印表面Sp， 以及作為形成于內(nèi)部、與其相對(duì)的內(nèi)周向表面的后表面Si。例如，由后表面Si形成的圓柱形空心部形成于輥式壓模101的內(nèi)部，空心部?jī)?nèi)可設(shè)置一個(gè)或多個(gè)能量射線源110。轉(zhuǎn)印表面Sp設(shè)置有例如具有凹形或凸形的多個(gè)結(jié)構(gòu)體102，結(jié)構(gòu)體102的形狀被轉(zhuǎn)印至涂覆在基體1上的能量射線固化型樹(shù)脂組合物上，從而形成層疊體的形狀層2。轉(zhuǎn)印表面Sp具有通過(guò)反轉(zhuǎn)層疊體的形狀層2的凹凸形狀而獲得的圖案。輥式壓模101對(duì)于從能量射線源110發(fā)射的能量射線具有透射性，該能量射線從能量射線源110發(fā)射、入射到后表面Si并從轉(zhuǎn)印表面Sp發(fā)出。涂覆在基體1上的能量射線固化型樹(shù)脂組合物118通過(guò)從轉(zhuǎn)印表面Sp發(fā)出的能量射線進(jìn)行固化。輥式壓模101的材料優(yōu)選地對(duì)于能量射線具有透射性，但沒(méi)有特別限制。對(duì)于紫外線具有透射性的材料優(yōu)選地使用玻璃、石英、透明樹(shù)脂、有機(jī)和無(wú)機(jī)混合材料等。透明樹(shù)脂的實(shí)例包括聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚碳酸酯(PC)等。有機(jī)和無(wú)機(jī)混合材料的實(shí)例包括聚二甲基硅氧烷(PDMS)。 透明金屬膜、金屬化合物膜或無(wú)機(jī)膜可被形成在輥式壓模101的轉(zhuǎn)印表面Sp和后表面Si 中的至少一個(gè)上。一個(gè)或多個(gè)能量射線源110被支撐在輥式壓模101的空心部?jī)?nèi)，以朝向并通過(guò)能量射線照射涂覆在基體1上的能量射線固化型樹(shù)脂組合物118。在輥式壓模101包括多個(gè)能量射線源110的情況下，能量射線源110優(yōu)選地被設(shè)置為形成一行或兩個(gè)以上的行。能量射線源可為能夠發(fā)出能量射線的源，能量射線例如為電子束、紫外線、紅外線、激光束、可見(jiàn)射線、電離輻射(X射線、α射線、β射線、Y射線等)、微波、射頻，但沒(méi)有特別限制。能量射線源的形式例如使用點(diǎn)光源或線光源，但沒(méi)有特別限制，可將點(diǎn)光源與線光源結(jié)合使用。在使用點(diǎn)光源作為能量射線源的情況下，優(yōu)選地，以直線形設(shè)置多個(gè)點(diǎn)線源，以形成線光源。線光源優(yōu)選地與輥式壓模101的旋轉(zhuǎn)軸平行設(shè)置。發(fā)出紫外線的能量射線源的實(shí)例包括低壓水銀燈、高壓水銀燈、短弧放電燈、紫外線發(fā)光二極管、半導(dǎo)體激光器、熒光燈、有機(jī)電致發(fā)光(electro-luminescence)、無(wú)機(jī)電致發(fā)光、發(fā)光二極管、光學(xué)纖維等，但并非特別限于此。另外，輥式壓模101內(nèi)部還設(shè)置有狹縫，可經(jīng)由狹縫利用來(lái)自能量射線源110的能量射線來(lái)照射能量射線固化型樹(shù)脂組合物118。此時(shí)，可通過(guò)吸收能量射線而產(chǎn)生的熱來(lái)固化能量射線固化型樹(shù)脂組合物118。輥式壓模曝光裝置的配置圖5為示出用于制造輥式壓模的輥式壓模曝光裝置的配置實(shí)例的示意圖。輥式壓模曝光裝置基于光盤(pán)記錄裝置。激光源21是用于對(duì)形成于作為記錄介質(zhì)的輥式壓模101的表面上的抗蝕劑進(jìn)行曝光的光源，例如，對(duì)波長(zhǎng)λ = 266nm的記錄激光104進(jìn)行振蕩。激光源21發(fā)出的激光 104以平行光束的狀態(tài)直線傳播，并入射至電光調(diào)制器(EOM) 22。穿過(guò)電光調(diào)制器(EOM) 22 的激光104被鏡23反射，并被引導(dǎo)至調(diào)制光學(xué)系統(tǒng)25。鏡23包括偏振束分光器，反射一偏振分量并從其透射另一偏振分量。穿過(guò)鏡23的偏振分量由光電二極管M感測(cè)，通過(guò)基于感測(cè)信號(hào)控制電光調(diào)制器22來(lái)調(diào)制激光104的相位。在調(diào)制光學(xué)系統(tǒng)25中，激光104通過(guò)聚光鏡沈聚集在玻璃(SiO2)制成的聲光調(diào)制器(AOM) 27上。激光104通過(guò)聲光調(diào)制器27調(diào)制其強(qiáng)度并散射，然后通過(guò)透鏡觀變?yōu)槠叫泄馐?。從調(diào)制光學(xué)系統(tǒng)25發(fā)出的激光104由鏡31反射，并以水平和平行的方式被引導(dǎo)至可移動(dòng)光學(xué)平臺(tái)32。可移動(dòng)光學(xué)平臺(tái)32包括光束擴(kuò)展器33和物鏡34。被引導(dǎo)至可移動(dòng)光學(xué)平臺(tái)32 的激光104通過(guò)光束擴(kuò)展器33成形為期望的光束形狀，然后經(jīng)由物鏡34被施加至輥式壓模101上的抗蝕劑層。輥式壓模101被置于與主軸電機(jī)35連接的轉(zhuǎn)盤(pán)36上。在旋轉(zhuǎn)輥式壓模101并且在輥式壓模101的高度方向上移動(dòng)激光104的同時(shí)，利用激光斷續(xù)照射抗蝕劑層，從而對(duì)抗蝕劑層進(jìn)行曝光處理。所形成的潛像基本為橢圓形，該橢圓形的長(zhǎng)軸在圓周方向上。通過(guò)在箭頭R的方向上移動(dòng)可移動(dòng)光學(xué)平臺(tái)32，來(lái)進(jìn)行激光104的移動(dòng)。
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曝光裝置具有控制機(jī)構(gòu)37，控制機(jī)構(gòu)37用于在抗蝕劑層上形成與二維圖案(例如，圖IC所示的六邊形網(wǎng)格或準(zhǔn)六邊形網(wǎng)格)對(duì)應(yīng)的潛像?？刂茩C(jī)構(gòu)37包括格式器 (formatter) 29和驅(qū)動(dòng)器30。格式器四包括極性反轉(zhuǎn)單元，極性反轉(zhuǎn)單元控制激光104施加在抗蝕劑層上的定時(shí)。驅(qū)動(dòng)器30響應(yīng)于來(lái)自極性反轉(zhuǎn)單元的輸出來(lái)控制聲光調(diào)制器27。在輥式壓模曝光裝置中，生成用于同步極性反轉(zhuǎn)格式器信號(hào)和記錄裝置的旋轉(zhuǎn)控制器的信號(hào)，使得二維圖案在空間上連接，并且該信號(hào)強(qiáng)度由聲光調(diào)制器27進(jìn)行調(diào)制。六邊形網(wǎng)格圖案或準(zhǔn)六邊形網(wǎng)格圖案可通過(guò)在恒定角速度(CAV)、適當(dāng)旋轉(zhuǎn)次數(shù)、適當(dāng)調(diào)制頻率以及適當(dāng)進(jìn)給長(zhǎng)度下進(jìn)行圖案化而被記錄。例如，如果圓周方向上的周期設(shè)為315nm，關(guān)于圓周方向成60度(約為-60度)的方向上的周期設(shè)為300nm，進(jìn)給長(zhǎng)度可設(shè)為251nm(勾股定理)。極性反轉(zhuǎn)格式器信號(hào)的頻率根據(jù)輥的旋轉(zhuǎn)次數(shù)(例如，1800rpm、900rpm、450rpm 和225rpm)而變化。與輥的各旋轉(zhuǎn)次數(shù)(1800rpm、900rpm、450rpm和225rpm)對(duì)應(yīng)的極性反轉(zhuǎn)格式器信號(hào)的頻率為37. 70MHz、18. 85MHz、9. 34MHz和4. 7IMHz0可通過(guò)使用可移動(dòng)光學(xué)平臺(tái)32上的光束擴(kuò)展器(BEX) 33將遠(yuǎn)紫外線激光束的直徑擴(kuò)展五倍，并經(jīng)由數(shù)值孔徑 (NA)為0. 9的物鏡34將激光束施加在輥式壓模101上的抗蝕劑層上，以形成微細(xì)潛像，從而在期望的記錄區(qū)域中獲得具有相同的空間頻率(圓周方向上的周期為315nm，關(guān)于圓周方向成60度(約為-60度)的方向上的周期為300nm)的準(zhǔn)六邊形網(wǎng)格圖案。層疊體制造方法圖6A至圖7E為示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的層疊體制造方法的實(shí)例流程圖?？刮g劑層形成過(guò)程首先，如圖6A所示，制備圓筒形輥式壓模101。然后，如圖6B所示，抗蝕劑層103 被形成在輥式壓模101的表面上。抗蝕劑層103的材料可使用有機(jī)抗蝕劑或無(wú)機(jī)抗蝕劑。 有機(jī)抗蝕劑例如可使用酚醛清漆抗蝕劑、化學(xué)增幅型抗蝕劑等。另外，無(wú)機(jī)抗蝕劑例如可使用金屬化合物，該金屬化合物例如包括一種或兩種以上的過(guò)渡金屬。曝光過(guò)程接下來(lái)，如圖6C所示，利用激光(曝光光束)104照射形成在輥式壓模101的表面上的抗蝕劑層103。具體地，輥式壓模101被置于圖5所示的輥式壓模曝光裝置的轉(zhuǎn)盤(pán)36 上并被旋轉(zhuǎn)，并且利用激光(曝光光束)104照射抗蝕劑層103。此時(shí)，在輥式壓模101的高度方向(與圓柱形或圓筒形輥式壓模101的中心軸平行的方向)上移動(dòng)激光104的同時(shí)， 通過(guò)利用激光104斷續(xù)照射抗蝕劑層103，從而抗蝕劑層103被完全曝光。因此，根據(jù)激光 104的跡線的潛像105被形成在抗蝕劑層103的整個(gè)表面上，其節(jié)距與可見(jiàn)光的波長(zhǎng)基本相同。例如，設(shè)置潛像105，以在壓模表面上形成多行軌跡，并形成六邊形網(wǎng)格圖案或準(zhǔn)六邊形網(wǎng)格圖案。潛像105例如為橢圓形，該橢圓形的長(zhǎng)軸處于軌跡的延伸方向上。顯影過(guò)程隨后，在旋轉(zhuǎn)輥式壓模101的同時(shí)，將顯影液滴在抗蝕劑層103上，如圖6D所示， 抗蝕劑層103被顯影。如圖所示，在用正抗蝕劑形成抗蝕劑層103的情況下，對(duì)于顯影液，通過(guò)激光104曝光的曝光部分具有高于非曝光部分的溶解速率，從而，與潛像(曝光部分)105 對(duì)應(yīng)的圖案形成在抗蝕劑層103上。刻蝕過(guò)程
隨后，通過(guò)使用形成在輥式壓模101上的抗蝕劑層103的圖案(抗蝕劑圖案)作為掩模，來(lái)刻蝕輥式壓模101的表面。因此，如圖7A所示，可獲得長(zhǎng)軸處于軌跡的延伸方向上的橢圓錐形狀或圓形截頂錐的凹部，即，結(jié)構(gòu)體102?？涛g方法例如可使用干法刻蝕或濕法刻蝕。射線源設(shè)置過(guò)程然后，如圖7B所示，一個(gè)或多個(gè)能量射線源110被設(shè)置在輥式壓模101內(nèi)的容納空間(空心部)中。能量射線源Iio優(yōu)選地被設(shè)置在輥式壓模101的寬度方向Dw上或者與旋轉(zhuǎn)軸1的軸向方向平行。轉(zhuǎn)印過(guò)程接下來(lái)，可選地，對(duì)將涂覆能量射線固化型樹(shù)脂組合物118的基體1的表面進(jìn)行表面處理，例如，電暈處理、等離子體處理、火焰處理、紫外線處理、臭氧處理或噴砂處理。隨后，如圖7C所示，能量射線固化型樹(shù)脂組合物118被涂覆或印刷在長(zhǎng)基體1或輥式壓模101 上。涂覆方法沒(méi)有特別限制，例如可使用灌封(potting)、旋涂法、凹版涂布法、模具涂布法、 刮棒涂布法等。印刷方法例如可使用凸版印刷法、膠版印刷法、凹版印刷法、凹板印刷法、橡膠版印刷法、絲網(wǎng)印刷法等。另外，可選地，可執(zhí)行諸如去除溶劑或預(yù)烘焙的加熱處理。隨后，如圖7D所示，在旋轉(zhuǎn)輥式壓模101期間，轉(zhuǎn)印表面Sp與能量射線固化型樹(shù)脂組合物118緊密接觸，輥式壓模101內(nèi)的能量射線源110發(fā)出的能量射線從輥式壓模101 的轉(zhuǎn)印表面Sp側(cè)施加至能量射線固化型樹(shù)脂組合物118上。從而能量射線固化型樹(shù)脂組合物118被固化，因此形成形狀層2。具體地，能量射線固化型樹(shù)脂組合物118的固化反應(yīng)從輥式壓模101的轉(zhuǎn)印表面Sp進(jìn)行到基體1的前表面，并且整個(gè)能量射線固化型樹(shù)脂組合物118被固化，從而形成形狀層2。例如可通過(guò)調(diào)節(jié)輥式壓模101在基體1的前表面上的壓力來(lái)選擇是否存在基礎(chǔ)層22或者基礎(chǔ)層22的厚度。隨后，形成在基體1上的形狀層2被從輥式壓模101的轉(zhuǎn)印表面Sp剝離。因此，如圖7E所示，可獲得基體1的前表面上形成有形狀層2的層疊體。在轉(zhuǎn)印過(guò)程中，將基體1的縱向方向作為輥式壓模101的旋轉(zhuǎn)前進(jìn)方向，對(duì)凹凸形狀進(jìn)行轉(zhuǎn)印?，F(xiàn)在將對(duì)使用圖3所示的轉(zhuǎn)印裝置的轉(zhuǎn)印過(guò)程進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。首先，從基體供應(yīng)輥111傳送長(zhǎng)基體1，所傳送的基體1通過(guò)涂覆單元117的下方。 隨后，能量射線固化型樹(shù)脂組合物118通過(guò)涂覆單元117被涂覆在從涂覆單元117下方通過(guò)的基體1上。其后，其上涂覆有能量射線固化型樹(shù)脂組合物118的基體1經(jīng)由引導(dǎo)輥113 被運(yùn)送至輥式壓模101。接下來(lái)，運(yùn)入的基體1由輥式壓模101和夾置輥115壓緊，使得基體1與能量射線固化型樹(shù)脂組合物118之間沒(méi)有進(jìn)入氣泡。其后，能量射線固化型樹(shù)脂組合物118與輥式壓模101的轉(zhuǎn)印表面Sp緊密接觸，基體1沿輥式壓模101的轉(zhuǎn)印表面Sp被運(yùn)送，并利用從一個(gè)或多個(gè)能量射線源110發(fā)出的能量射線經(jīng)由輥式壓模101的轉(zhuǎn)印表面Sp照射能量射線固化型樹(shù)脂組合物118。從而能量射線固化型樹(shù)脂組合物118被固化，從而形成形狀層 2。接下來(lái)，通過(guò)剝離輥116從輥式壓模101的轉(zhuǎn)印表面Sp剝離形狀層2，從而獲得長(zhǎng)層疊體。隨后，所獲得的層疊體經(jīng)由引導(dǎo)輥114被運(yùn)送至收卷輥112，并且長(zhǎng)層疊體被卷繞在收卷輥112上。因此，可獲得其上卷繞有長(zhǎng)層疊體的原始結(jié)構(gòu)。2.第二實(shí)施方式
圖8為示出根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施方式的轉(zhuǎn)印裝置的配置實(shí)例的示意圖。轉(zhuǎn)印裝置包括輥式壓模101、涂覆單元117和運(yùn)載臺(tái)121。在第二實(shí)施方式中，與第一實(shí)施方式中相同的元件以相同參考標(biāo)號(hào)表示，并將省略其說(shuō)明。運(yùn)載臺(tái)121被配置為在箭頭a的方向上運(yùn)載放置于運(yùn)載臺(tái)121上的基體1。接下來(lái)將對(duì)具有上述配置的轉(zhuǎn)印裝置的操作實(shí)例進(jìn)行說(shuō)明。首先，能量射線固化型樹(shù)脂組合物118通過(guò)涂覆單元117被涂覆在從涂覆單元117 下方通過(guò)的基體1上。隨后，其上涂覆有能量射線固化型樹(shù)脂組合物118的基體1被運(yùn)送至輥式壓模101。然后，能量射線固化型樹(shù)脂組合物118與輥式壓模101的轉(zhuǎn)印表面Sp緊密接觸并被運(yùn)送，從輥式壓模101內(nèi)設(shè)置的一個(gè)或多個(gè)能量射線源110發(fā)出的能量射線經(jīng)由輥式壓模101的轉(zhuǎn)印表面Sp而被施加至能量射線固化型樹(shù)脂組合物118。從而，能量射線固化型樹(shù)脂組合物118被固化，從而形成形狀層2。接下來(lái)，在箭頭a的方向上運(yùn)送運(yùn)載臺(tái)，從而從輥式壓模101的轉(zhuǎn)印表面Sp剝離形狀層2，因此，可獲得長(zhǎng)層疊體。其后，所獲得的層疊體可選地以預(yù)定尺寸或形狀被切割。如上所述，可獲得期望的層疊體。3.第三實(shí)施方式圖9為示出根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施方式的轉(zhuǎn)印裝置的實(shí)例的示意圖。轉(zhuǎn)印裝置包括輥131、132、134和135、印花帶133 (作為帶式壓模)、平面化帶136、一個(gè)或多個(gè)能量射線源 110以及涂覆單元117。在第三實(shí)施方式中，與第一實(shí)施方式中相同的元件以相同參考標(biāo)號(hào)表示，并將省略其說(shuō)明。印花帶133為帶式壓模的實(shí)例，并具有環(huán)形狀，多個(gè)結(jié)構(gòu)體102例如以二維方式布置在外周面上。印花帶133對(duì)于能量射線具有透射性。平面化帶136具有環(huán)形狀，并且外周面被平面化。印花帶133與平面化帶136之間形成與基體1的厚度相應(yīng)的間隙，其上涂覆有能量射線固化型樹(shù)脂組合物118的基體1可在皮帶之間移動(dòng)。輥131和輥132被設(shè)置為彼此間隔，通過(guò)由輥131和輥132支撐其內(nèi)周面，印花帶 133被保持為細(xì)長(zhǎng)橢圓形。通過(guò)驅(qū)動(dòng)被設(shè)置在印花帶133內(nèi)的輥131和輥132旋轉(zhuǎn)，印花帶 133可旋轉(zhuǎn)地移動(dòng)。輥134和輥135被設(shè)置為與輥131和輥132相對(duì)。通過(guò)由輥134和輥135支撐其內(nèi)周面，平面化帶136被保持為細(xì)長(zhǎng)橢圓形。通過(guò)驅(qū)動(dòng)被設(shè)置在平面化帶136內(nèi)的輥134 和輥135旋轉(zhuǎn)，平面化帶136可旋轉(zhuǎn)地移動(dòng)。一個(gè)或多個(gè)能量射線源110被設(shè)置在印花帶133內(nèi)。一個(gè)或多個(gè)能量射線源110 被保持為利用能量射線對(duì)在印花帶133與平面化帶136之間移動(dòng)的基體1進(jìn)行照射。能量射線源110(例如，線光源)優(yōu)選地被設(shè)置為平行于印花帶133的寬度方向。能量射線源 110可被設(shè)置在由印花帶133的內(nèi)周面形成的空間內(nèi)，但沒(méi)有特別限制。例如，能量射線源 110可被設(shè)置在輥131和輥132中的至少一個(gè)處。在這種情況下，輥131和輥132優(yōu)選地由對(duì)于能量射線具有透射性的材料制成。接下來(lái)將對(duì)具有上述配置的轉(zhuǎn)印裝置的操作實(shí)例進(jìn)行說(shuō)明。首先，能量射線固化型樹(shù)脂組合物118通過(guò)涂覆單元117涂覆在從涂覆單元117 下方通過(guò)的基體1上。隨后，其上涂覆有能量射線固化型樹(shù)脂組合物118的基體1從輥131 和134被運(yùn)送進(jìn)旋轉(zhuǎn)的印花帶133與平面化帶136之間的間隙中。從而，印花帶133的轉(zhuǎn)印表面與能量射線固化型樹(shù)脂組合物118緊密接觸。接著，在緊密接觸的狀態(tài)下，利用從能量射線源110發(fā)出的能量射線經(jīng)由印花帶133照射能量射線固化型樹(shù)脂組合物118。從而， 能量射線固化型樹(shù)脂組合物118被固化，從而形成形狀層2。接下來(lái)，印花帶133被從形狀層2剝離。從而可獲得期望的層疊體。4.第四實(shí)施方式圖IOA為示出根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施方式的層疊體的配置實(shí)例的平面圖。圖IOB 為圖IOA所示的層疊體的一部分的放大平面圖。根據(jù)本發(fā)明第四實(shí)施方式的層疊體與根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式的層疊體的不同之處在于，結(jié)構(gòu)體21被設(shè)置在擺動(dòng)軌跡(wobble track)上。優(yōu)選地，基體1上各個(gè)軌跡的擺動(dòng)互相同步。即，擺動(dòng)優(yōu)選為同步擺動(dòng)。通過(guò)彼此同步擺動(dòng)，可保持單位網(wǎng)格(例如，六邊形網(wǎng)格或準(zhǔn)六邊形網(wǎng)格)的形狀，因此，填充率可保持為高。擺動(dòng)軌跡的波形例如包括正弦曲線、三角波等，但并不限于此。擺動(dòng)軌跡的波形并不限于周期性波形，可為非周期性波形。除以上說(shuō)明之外，第四實(shí)施方式與第一實(shí)施方式相同。5.第五實(shí)施方式圖IlA為示出根據(jù)本發(fā)明第五實(shí)施方式的層疊體的配置實(shí)例的橫截面圖。圖IlB 為圖IlA所示的層疊體的一部分的放大平面圖。圖IlC為圖IlB所示的層疊體的橫截面圖。 根據(jù)本發(fā)明第五實(shí)施方式的層疊體與根據(jù)第一實(shí)施方式的層疊體的不同之處在于，多個(gè)結(jié)構(gòu)體21被以二維方式隨機(jī)(不規(guī)則)設(shè)置。另外，結(jié)構(gòu)體21的尺寸和/或高度可隨機(jī)變化。除以上說(shuō)明之外，第五實(shí)施方式與第一實(shí)施方式相同。6.第六實(shí)施方式圖12為示出根據(jù)本發(fā)明第六實(shí)施方式的層疊體的配置實(shí)例的透視圖。如圖12所示，根據(jù)第六實(shí)施方式的層疊體與根據(jù)第一實(shí)施方式的層疊體的不同之處在于，其具有在基體的前表面上沿一個(gè)方向延伸的柱形結(jié)構(gòu)體21，并且結(jié)構(gòu)體21被布置為一維方式。結(jié)構(gòu)體21的橫截面形狀例如包括三角形、頂部具有曲率R的三角形、多邊形、半圓形、半橢圓形、拋物線形、螺旋線形等，但沒(méi)有特別限制。另外，結(jié)構(gòu)體21可擺動(dòng)并且在一個(gè)方向上延伸。除以上說(shuō)明之外，第六實(shí)施方式與第一實(shí)施方式相同。7.第七實(shí)施方式圖13A至圖13E為示出根據(jù)本發(fā)明第七實(shí)施方式的層疊體中所設(shè)置的基體的第一至第五實(shí)例的橫截面圖。根據(jù)第七實(shí)施方式的層疊體與根據(jù)第一實(shí)施方式的層疊體的不同之處在于，多個(gè)結(jié)構(gòu)體21以二維方式設(shè)置在基體1的兩個(gè)主表面上。具體地，除多個(gè)結(jié)構(gòu)體21被設(shè)置在基體1的兩個(gè)主表面上之外，第一至第五實(shí)例的層疊體分別與根據(jù)第一實(shí)施方式(參見(jiàn)圖幻的層疊體的第一至第五實(shí)例相同。除以上說(shuō)明之外，第七實(shí)施方式與第一實(shí)施方式相同。8.第八實(shí)施方式圖14A為示出根據(jù)本發(fā)明第八實(shí)施方式的層疊體中所設(shè)置的基體的第一實(shí)例的橫截面圖。圖14B為根據(jù)本發(fā)明第八實(shí)施方式的層疊體中所設(shè)置的基體的第二實(shí)例的橫截面圖。層疊體與根據(jù)第一實(shí)施方式或第七實(shí)施方式的層疊體的不同之處在于，結(jié)構(gòu)體21對(duì)于能量射線具有非透射性。例如，可通過(guò)在能量射線固化型樹(shù)脂組合物中添加諸如吸收能量射線的色素的材料來(lái)形成具有非透射性的結(jié)構(gòu)體21。除以上說(shuō)明之外，第八實(shí)施方式與第一實(shí)施方式相同。這樣，盡管對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，但本發(fā)明并不限于上述實(shí)施方式，可基于本發(fā)明的技術(shù)精神進(jìn)行多種改變。例如，實(shí)施方式中描述的配置、處理、方法、形狀、材料和數(shù)值僅為示例，可根據(jù)需要使用與其不同的配置、處理、方法、形狀、材料和數(shù)值。另外，在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下，實(shí)施方式中描述的配置、處理、方法、形狀、材料和數(shù)值可彼此組合。本發(fā)明包含與在2010年9月17日向日本專(zhuān)利局提交的日本在先專(zhuān)利申請(qǐng) JP 2010-210241和在2010年10月22日向日本專(zhuān)利局提交的日本在先專(zhuān)利申請(qǐng)JP 2010-237331中公開(kāi)的主題相關(guān)的主題，其全部?jī)?nèi)容結(jié)合于此作為參考。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)理解，在所附權(quán)利要求或其等價(jià)物的范圍內(nèi)，可根據(jù)設(shè)計(jì)要求或其他因素，進(jìn)行各種修改、組合、子組合和改變。
權(quán)利要求
1.一種層疊體制造方法，包括在基體上涂覆能量射線固化型樹(shù)脂組合物；以及使旋轉(zhuǎn)式壓模的旋轉(zhuǎn)表面在旋轉(zhuǎn)期間與涂覆在所述基體上的所述能量射線固化型樹(shù)脂組合物緊密接觸，并利用從設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)式壓模內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)能量射線源發(fā)出的能量射線經(jīng)由所述旋轉(zhuǎn)表面照射所述能量射線固化型樹(shù)脂組合物，以固化所述能量射線固化型樹(shù)脂組合物，從而在所述基體上形成轉(zhuǎn)印有所述旋轉(zhuǎn)表面的凹凸形狀的形狀層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的層疊體制造方法，其中，所述基體對(duì)于所述能量射線具有非透射性。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的層疊體制造方法，其中，通過(guò)以一維方式或二維方式布置具有凸形或凹形的多個(gè)結(jié)構(gòu)體，來(lái)形成所述旋轉(zhuǎn)表面的所述凹凸形狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的層疊體制造方法，其中，規(guī)則地或不規(guī)則地設(shè)置所述多個(gè)結(jié)構(gòu)體。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的層疊體制造方法，其中，所述多個(gè)結(jié)構(gòu)體是亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)體。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的層疊體制造方法，其中，所述旋轉(zhuǎn)式壓模是輥式壓?；驇綁耗！?br> 7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的層疊體制造方法，其中，所述一個(gè)或多個(gè)能量射線源被設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)式壓模的寬度方向上。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的層疊體制造方法，其中，所述基體具有條形的形狀，并且其中，在所述形狀層的形成過(guò)程中，通過(guò)將所述基體的縱向方向設(shè)定為旋轉(zhuǎn)前進(jìn)方向，來(lái)轉(zhuǎn)印所述凹凸形狀。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的層疊體制造方法，其中，所述基體包括至少一個(gè)平面或曲面，并且其中，所述形狀層形成在所述平面或曲面上。
10.一種轉(zhuǎn)印裝置，包括 旋轉(zhuǎn)表面，具有凹凸形狀；以及旋轉(zhuǎn)式壓模，具有設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)表面內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)能量射線源， 其中，所述旋轉(zhuǎn)式壓模對(duì)于從所述能量射線源發(fā)出的能量射線具有透射性，并且其中，所述旋轉(zhuǎn)式壓模的所述旋轉(zhuǎn)表面在旋轉(zhuǎn)期間與涂覆在基體上的能量射線固化型樹(shù)脂組合物緊密接觸，并利用從設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)式壓模內(nèi)的所述能量射線源發(fā)出的能量射線經(jīng)由所述旋轉(zhuǎn)表面照射所述能量射線固化型樹(shù)脂組合物，以固化所述能量射線固化型樹(shù)脂組合物，從而在所述基體上形成轉(zhuǎn)印有所述旋轉(zhuǎn)表面的凹凸形狀的形狀層。
11.一種壓模，包括具有凹凸形狀的旋轉(zhuǎn)表面，其中，所述壓模對(duì)于從能量射線源發(fā)出的能量射線具有透射性，并且其中，所述壓模使從所述能量射線源發(fā)出的能量射線經(jīng)由所述旋轉(zhuǎn)表面照射能量射線固化型樹(shù)脂組合物，從而固化所述能量射線固化型樹(shù)脂組合物。
12.一種層疊體，包括 基體；以及形狀層，形成在所述基體上，并且具有凹凸形狀的表面， 其中，所述形狀層通過(guò)固化能量射線固化型樹(shù)脂組合物而形成，其中，具有預(yù)定凹凸圖案的單位區(qū)域以所述凹凸形狀之間未產(chǎn)生不匹配的方式連續(xù)形成在所述形狀層的表面上，并且其中，所述基體對(duì)于用于固化所述能量射線固化型樹(shù)脂組合物的能量射線具有非透射性。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的層疊體，其中，所述基體具有條形的形狀，并且其中，所述單位區(qū)域被連續(xù)形成在所述基體的縱向方向上。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的層疊體，其中，所述凹凸形狀之間的不匹配是所述預(yù)定凹凸圖案的周期性的混亂。
15.根據(jù)權(quán)利要求12所述的層疊體，其中，所述凹凸形狀之間的不匹配是相鄰單位區(qū)域之間的重疊或間隙，或者沒(méi)有進(jìn)行轉(zhuǎn)印的部分。
16.根據(jù)權(quán)利要求12所述的層疊體，其中，所述單位區(qū)域以未產(chǎn)生所述能量射線固化型樹(shù)脂組合物的固化程度的不匹配的方式彼此連接。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的層疊體，其中，所述能量射線固化型樹(shù)脂組合物的固化程度的不匹配是聚合度的差異。
18.根據(jù)權(quán)利要求12所述的層疊體，其中，通過(guò)使涂覆在所述基體上的所述能量射線固化型樹(shù)脂組合物從與所述基體相反的一側(cè)起進(jìn)行固化反應(yīng)，來(lái)形成所述形狀層。
19.根據(jù)權(quán)利要求12所述的層疊體，其中，所述單位區(qū)域是通過(guò)旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)式壓模的旋轉(zhuǎn)表面而形成的轉(zhuǎn)印區(qū)域。
20.根據(jù)權(quán)利要求12所述的層疊體，其中，通過(guò)以一維方式或二維方式布置具有凸形或凹形的多個(gè)結(jié)構(gòu)體，來(lái)形成所述凹凸圖案。
21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的層疊體，其中，規(guī)則地或不規(guī)則地設(shè)置所述多個(gè)結(jié)構(gòu)體。
22.根據(jù)權(quán)利要求20所述的層疊體，其中，所述多個(gè)結(jié)構(gòu)體是亞波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)體。
23.根據(jù)權(quán)利要求12所述的層疊體，其中，所述基體包括至少一個(gè)平面或曲面，并且其中，所述形狀層形成在所述平面或曲面上。
24.一種層疊體，包括基體，具有第一表面和與所述第一表面相對(duì)的第二表面； 第一形狀層，形成在所述基體的所述第一表面上；以及第二形狀層，形成在所述基體的所述第二表面上， 其中，所述第一形狀層通過(guò)固化能量射線固化型樹(shù)脂組合物而形成， 其中，所述第一形狀層和所述第二形狀層中的至少所述第二形狀層對(duì)于用于固化所述能量射線固化型樹(shù)脂組合物的能量射線具有非透射性，并且其中，具有預(yù)定凹凸圖案的單位區(qū)域以凹凸形狀之間未產(chǎn)生不匹配的方式連續(xù)形成在所述第一形狀層的表面上。
25.一種成型元件，包括根據(jù)權(quán)利要求12所述的層疊體。
26.一種光學(xué)元件，包括根據(jù)權(quán)利要求12所述的層疊體。
全文摘要
一種層疊體及其制造方法、轉(zhuǎn)印裝置、成型元件以及光學(xué)元件，該層疊體制造方法包括在基體上涂覆能量射線固化型樹(shù)脂組合物，使旋轉(zhuǎn)式壓模的旋轉(zhuǎn)表面在旋轉(zhuǎn)期間與涂覆在基體上的能量射線固化型樹(shù)脂組合物緊密接觸，并利用設(shè)置在旋轉(zhuǎn)式壓模內(nèi)的一個(gè)或多個(gè)能量射線源發(fā)出的能量射線經(jīng)由旋轉(zhuǎn)表面照射能量射線固化型樹(shù)脂組合物，以固化能量射線固化型樹(shù)脂組合物，從而在基體上形成形狀層，該形狀層上轉(zhuǎn)印有旋轉(zhuǎn)表面的凹凸形狀。
文檔編號(hào)B29C59/04GK102441989SQ20111026820
公開(kāi)日2012年5月9日 申請(qǐng)日期2011年9月9日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月17日
發(fā)明者林部和彌, 田澤洋志 申請(qǐng)人:索尼公司