本發(fā)明涉及一種自動(dòng)收料裝置，特別涉及一種用于硅片倒角機(jī)自動(dòng)收料裝置及實(shí)現(xiàn)方法。

背景技術(shù)：

晶片制造部各工序之間硅片交接，受各工序設(shè)備加工能力限制，未能實(shí)現(xiàn)片籃交接，從而造成各工序之間重復(fù)實(shí)施硅片插籃工作，以部分cz硅片為例，受國(guó)產(chǎn)d37-378/yl型倒角設(shè)備無(wú)自動(dòng)收料功能影響，硅片倒角前需要人工插片進(jìn)行裝料，倒角后硅片傳遞到清洗工序時(shí)，需要再次進(jìn)行人工插片后進(jìn)行清洗等后續(xù)操作。目前，受國(guó)產(chǎn)倒角機(jī)及生產(chǎn)車間空間限制，市場(chǎng)現(xiàn)有自動(dòng)收料機(jī)無(wú)法與之相匹配，需重新設(shè)計(jì)定做與之相匹配的自動(dòng)收料裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

鑒于現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，本發(fā)明提供一種用于硅片倒角機(jī)自動(dòng)收料裝置及實(shí)現(xiàn)方法，具體技術(shù)方案是，一種用于硅片倒角機(jī)自動(dòng)收料裝置，包括收料機(jī)固定架、片籃、片籃升降架、伺服升降機(jī)構(gòu)、硅片自動(dòng)翻版機(jī)構(gòu)及傳送帶，其特征在于：所述的片籃升降架為有數(shù)個(gè)上下排列隔板的框架，隔板上表面兩側(cè)有不同尺寸的卡槽可以固定不同尺寸的片籃，所述的伺服升降機(jī)構(gòu)包括伺服電機(jī)、絲杠及絲母，伺服電機(jī)帶動(dòng)絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)，絲母在絲杠上上下運(yùn)動(dòng)，所述的硅片自動(dòng)翻版機(jī)構(gòu)包括槽箱、翻版、傳感器，翻版上端有接片盒，內(nèi)側(cè)面有凹槽，凹槽內(nèi)可使硅片自由出入，翻版固定于無(wú)上面的槽箱內(nèi)，在硅片倒角機(jī)取片器氣動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)下可同步正反90°+90°翻轉(zhuǎn)，傳感器固定于槽箱一側(cè)，所述的傳送帶，分為左傳送帶、右傳送帶，分別從左、右伸入并固定于硅片自動(dòng)翻版機(jī)構(gòu)的槽箱上，使左傳送帶的后端、右傳送帶的前端分別位于翻版的兩側(cè)、并與翻版在同一條中心線上，片籃升降架固定于伺服升降機(jī)構(gòu)的絲母上，數(shù)個(gè)片籃依次置于片籃升降架的隔板上，硅片自動(dòng)翻版機(jī)構(gòu)固定于國(guó)產(chǎn)d37-378/yl型倒角機(jī)硅片取片器一側(cè)，使固定于硅片自動(dòng)翻版機(jī)構(gòu)的左傳送帶前端置于硅片取片器的正下方，伺服升降機(jī)構(gòu)固定于硅片倒角機(jī)上，且使伺服升降機(jī)構(gòu)向后傾斜2度，并使固定在其上的片籃升降架內(nèi)的片籃與右傳送帶后端對(duì)接，向后傾斜2度，使置于片籃的硅片不易脫出。

自動(dòng)收料步驟如下，步驟1、硅片倒角機(jī)倒角加工后的硅片自動(dòng)放入左傳送帶自動(dòng)收料裝置，即設(shè)備原接片水槽位置；步驟2、將由左傳送帶將加工后硅片傳送至翻板收片位置，同時(shí)傳感器（5-3）檢測(cè)到接到硅片信息；步驟3、翻板的收片盒接到硅片后，翻板將順時(shí)針?lè)D(zhuǎn)90°，硅片垂直于設(shè)備平面，使加工后硅片表面殘留研削液排出，翻板將順時(shí)針再次翻轉(zhuǎn)90°，將硅片放置至右傳送帶，將由右傳送帶從翻板的收片盒中取出并傳送至待收料的片籃中暫存，同時(shí)翻板自動(dòng)逆時(shí)針?lè)D(zhuǎn)180°復(fù)位待料；步驟4、傳感將檢測(cè)信息傳送伺服電機(jī)，伺服電機(jī)帶動(dòng)絲母及片籃升降架自動(dòng)上升一個(gè)片籃槽位，等待下一片加工硅片，

步驟5、重復(fù)步驟1-4，直至每個(gè)片籃滿載，自動(dòng)收料裝置會(huì)報(bào)警提示，員工取片后重新放置空片籃點(diǎn)擊復(fù)位鍵，即可循環(huán)使用。

本發(fā)明的技術(shù)效果是，實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)倒角設(shè)備自動(dòng)收料插籃功能，可實(shí)現(xiàn)片籃傳遞，避免后續(xù)清洗工序重復(fù)插籃。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)立體圖；

圖2是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)主視圖；

圖3是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)主視剖面圖；

圖4是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)俯視圖；

圖5是本發(fā)明在國(guó)產(chǎn)d37-378/yl型倒角機(jī)上的安裝圖。

具體實(shí)施方式

下面以在國(guó)產(chǎn)d37-378/yl型倒角機(jī)上安裝自動(dòng)收料裝置為例說(shuō)明。

如圖1、2、3、4、5所示，自動(dòng)收料裝置包括收料機(jī)固定架1、片籃2、片籃升降架3、伺服升降機(jī)構(gòu)4、硅片自動(dòng)翻版機(jī)構(gòu)5及傳送帶6，所述的片籃升降架3為有四個(gè)上下排列隔板3-1的框架，隔板3-1上表面兩側(cè)有四種尺寸的卡槽可以固定四種尺寸的片籃2，所述的伺服升降機(jī)構(gòu)4包括伺服電機(jī)4-1、絲杠4-2及絲母4-3，伺服電機(jī)4-1帶動(dòng)絲杠4-2轉(zhuǎn)動(dòng)，絲母4-3在絲杠4-2上上下運(yùn)動(dòng)，所述的硅片自動(dòng)翻版機(jī)構(gòu)5包括槽箱5-1、翻版5-2、傳感器5-3，翻版5-2上端有接片盒，內(nèi)側(cè)面有凹槽，凹槽內(nèi)可使硅片自由出入，翻版5-2固定于無(wú)上面的槽箱5-1內(nèi)，在國(guó)產(chǎn)d37-378/yl型倒角機(jī)硅片取片器氣動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)下可同步正反90°+90°翻轉(zhuǎn)，傳感器5-3固定于槽箱5-1一側(cè)，所述的傳送帶6，分為左傳送帶6-1、右傳送帶6-2，分別從左、右伸入并固定于硅片自動(dòng)翻版機(jī)構(gòu)5的槽箱5-1上，使左傳送帶6-1的后端、右傳送帶6-2的前端分別位于翻版5-2的兩側(cè)、與翻版5-2在同一條立體中心線上，片籃升降架（3）固定于伺服升降機(jī)構(gòu)4的絲母4-3上，數(shù)個(gè)片籃2依次置于片籃升降架3的隔板3-1上，硅片自動(dòng)翻版機(jī)構(gòu)5固定于國(guó)產(chǎn)d37-378/yl型倒角機(jī)硅片取片器一側(cè)，使固定于硅片自動(dòng)翻版機(jī)構(gòu)5的左傳送帶6-1前端置于硅片取片器的正下方，伺服升降機(jī)構(gòu)4固定于國(guó)產(chǎn)d37-378/yl型倒角機(jī)上，且使伺服升降機(jī)構(gòu)4向后傾斜2度，并使固定在其上的片籃升降架3內(nèi)的片籃2與右傳送帶6-2后端對(duì)接。

自動(dòng)收料步驟如下，

步驟1、硅片倒角機(jī)倒角加工后的硅片自動(dòng)放入左傳送帶6-1自動(dòng)收料裝置，即設(shè)備原接片水槽位置；

步驟2、將由左傳送帶6-1將加工后硅片傳送至翻板5-2收片位置，同時(shí)傳感器5-3檢測(cè)到接到硅片信息；

步驟3、翻板5-2的收片盒接到硅片后，翻板5-2將順時(shí)針?lè)D(zhuǎn)90°，硅片垂直于設(shè)備平面，使加工后硅片表面殘留研削液排出后，翻板5-2將順時(shí)針再次翻轉(zhuǎn)90°，將硅片放置至右傳送帶6-2，將由右傳送帶6-2從翻板5-2的收片盒中取出并傳送至待收料的片籃2中暫存，同時(shí)翻板5-2自動(dòng)逆時(shí)針?lè)D(zhuǎn)180°復(fù)位待料；

步驟4、傳感器5-3將檢測(cè)信息傳送伺服電機(jī)4-1，伺服電機(jī)4-1帶動(dòng)絲母4-3及片籃升降架3自動(dòng)上升一個(gè)片籃槽位，等待下一片加工硅片；

步驟5、重復(fù)步驟1-4，直至每個(gè)片籃2滿載，自動(dòng)收料裝置會(huì)報(bào)警提示，員工取片后重新放置空片籃2點(diǎn)擊復(fù)位鍵，即可循環(huán)使用。

技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種用于硅片倒角機(jī)自動(dòng)收料裝置及實(shí)現(xiàn)方法，包括收料機(jī)固定架、片籃、片籃升降架、伺服升降機(jī)構(gòu)、硅片自動(dòng)翻版機(jī)構(gòu)及傳送帶，收料機(jī)固定架、伺服升降機(jī)構(gòu)、片籃升降架連接為可使片籃升降架上下運(yùn)動(dòng)，片籃置于片籃升降架上，使片籃、硅片自動(dòng)翻版機(jī)構(gòu)及傳送帶置于一條中心線上，硅片自動(dòng)翻版機(jī)構(gòu)取放硅片于傳送帶上和瀝水，傳送帶帶動(dòng)硅片運(yùn)動(dòng)至片籃內(nèi)，技術(shù)效果是，實(shí)現(xiàn)了國(guó)產(chǎn)倒角設(shè)備自動(dòng)收料插籃功能，可實(shí)現(xiàn)片籃傳遞，避免后續(xù)清洗工序重復(fù)插籃。

技術(shù)研發(fā)人員：雷海云;郭紅慧;劉建偉;王帥;楊金坡;劉振福;譚永磷;呂瑩
受保護(hù)的技術(shù)使用者：天津市環(huán)歐半導(dǎo)體材料技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.15
技術(shù)公布日：2017.07.21