本實用新型涉及化學(xué)品輸送領(lǐng)域，特別涉及一種化學(xué)液體分配控制箱。

背景技術(shù)：

在許多制造過程中，需要將各種化學(xué)品從物料源分配到使用點，同時不能有污染和化學(xué)質(zhì)量的退化。例如，在半導(dǎo)體晶片和計算機(jī)芯片的制造過程中，需要超純化學(xué)品來進(jìn)行清洗、蝕刻、表面處理等。這些化學(xué)品包括某些堿、酸和有機(jī)液體，如氫氧化銨、氫氧化鈉、氫氟酸、硝酸、硫酸，磷酸、乙酸、過氧化氫、異丙醇、四甲基氫氧化銨、化學(xué)稀漿等或其它化學(xué)品的混合物?；瘜W(xué)品必須維持高純度，不能在從物料源輸送或分配的過程中被污染。

對于化學(xué)液體的分配，現(xiàn)有技術(shù)中有多個方法，其中一種方法是利用壓力容器內(nèi)側(cè)的由真空泵產(chǎn)生的真空將要輸送的化學(xué)品從物料源抽出，然后，通過用惰性氣體加壓化學(xué)品將其分配到用戶。通過在高壓下操作，使用兩個以上的平行系統(tǒng)可以將化學(xué)品分配到遠(yuǎn)距離的用戶。然而，這種方法有兩個缺點：首先是因為系統(tǒng)內(nèi)側(cè)的負(fù)壓，環(huán)境空氣可能泄漏到系統(tǒng)中，從而污染化學(xué)品；其次是來自真空過程的帶有化學(xué)品蒸汽和液滴的惰性氣體廢氣會產(chǎn)生環(huán)境污染，這一廢氣可能會被化學(xué)液體所飽和，特別是在分配高蒸氣壓化學(xué)液體時是這樣的。因為惰性氣體在高壓下直接接觸化學(xué)品，氣體會溶解在液相中，并在化學(xué)品中形成氣泡。氣泡可能在晶片和電子零件的制造中產(chǎn)生嚴(yán)重的質(zhì)量問題。

另一種向終端用戶分配化學(xué)液體的方法是將要分配的化學(xué)品注入到帶有柔性壁的容器中。然后將該容器置于壓力容器中并用高壓氣體擠壓。從而化學(xué)品被推出容器并輸送到用戶。該方法的優(yōu)點是化學(xué)品不與高壓氣體直接接觸。但是，容器中的化學(xué)液體的壓力不易控制，尤其是使用該方法的系統(tǒng)不能自動控制，難以形成相對穩(wěn)定的化學(xué)液體輸出，且難以連續(xù)輸送化學(xué)品；同時裝有化學(xué)液體的柔性壁容器一旦有局部出現(xiàn)非常微小的破損，會導(dǎo)致與其直接接觸的高壓氣體滲入，造成對化學(xué)液體的污染。

另一廣泛使用的方法是泵壓輸送方法。正位移泵，如由空氣或氣體驅(qū)動的雙隔膜泵，用來從物料源或中間容器向終端用戶輸送化學(xué)品。隨技術(shù)的進(jìn)步，這種泵的提升力得到了改善。例如，Yamada隔膜泵可以在高至50PSI的壓力下操作。然而，在許多應(yīng)用中，這一提升力還是不夠，特別是輸送粘性化學(xué)品和遠(yuǎn)距離輸送時。另一缺點是由于泵會產(chǎn)生脈動，如果直接通過泵來輸送化學(xué)液體，容易造成液體輸出的不穩(wěn)定，不利于制造過程中穩(wěn)定的接收并使用化學(xué)液體。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是提供一種化學(xué)液體分配控制箱，可以解決現(xiàn)有技術(shù)中，化學(xué)液體在分配時容易造成污染，并且難以自動控制并提供相對穩(wěn)定、連續(xù)的輸送的問題。

本實用新型的技術(shù)方案是：一種化學(xué)液體分配控制箱，包括箱體，所述箱體內(nèi)設(shè)有用于容納化學(xué)液體的袋體一，所述箱體上還設(shè)有多個與袋體一相連通的用于輸出化學(xué)液體的輸出接口，所述箱體內(nèi)還設(shè)有袋體二，所述袋體二通過進(jìn)氣管與設(shè)于箱體外的氣泵聯(lián)接，所述氣泵連接有控制開關(guān)一；所述袋體二還通過排氣管與外界連通，排氣管上有排氣開關(guān)；所述袋體一通過進(jìn)液管與設(shè)于箱體外的輸液泵聯(lián)接，所述輸液泵連接有控制開關(guān)二；所述袋體一和袋體二之間的箱體內(nèi)壁上還設(shè)有從袋體一方向通向袋體二方向的滑槽，所述滑槽上滑動連接有位于袋體一和袋體二之間的滑動體；所述滑槽左端位于滑槽內(nèi)固定有壓力傳感器一，所述滑槽右端位于滑槽內(nèi)固定有壓力傳感器二；所述袋體一內(nèi)還設(shè)有壓力傳感器三，所述箱體上還設(shè)有微處理器，所述微處理器別與排氣開關(guān)、控制開關(guān)一、控制開關(guān)二、壓力傳感器一、壓力傳感器二以及壓力傳感器三信號連接。

較佳地，所述壓力傳感器二的右側(cè)位于滑槽內(nèi)還設(shè)有與微處理器信號連接的測漏傳感器。

較佳地，所述箱體為一圓柱體狀殼體，所述袋體一位于圓柱體狀殼體內(nèi)部的右端；所述袋體二位于圓柱體狀殼體內(nèi)部的左端。

較佳地，所述滑動體通過滑塊與滑槽滑動連接。

較佳地，所述袋體一、袋體二為橡膠袋或硅膠袋。

較佳地，所述滑動體為圓餅狀，該圓餅狀的滑動體的一個面與袋體一相對，另一個面與袋體二相對。

較佳地，所述輸出接口的數(shù)量為5個，每個輸出接口上均設(shè)有控制閥。

較佳地，所述微處理器為單片機(jī)或PLC控制器。

本實用新型的有益效果：本實用新型提供的一種化學(xué)液體分配控制箱，包括箱體以及位于箱體中的用于容納化學(xué)液體的袋體一和用于填充高壓氣體的袋體二；袋體一通過輸液泵提供化學(xué)液體，同時袋體一通過輸出接口輸出化學(xué)液體，袋體二通過氣泵提供高壓氣體，袋體二還與連通至箱體外的帶有排氣開關(guān)的排氣管連接；袋體一和袋體二之間滑動連接有滑動體，滑動體的左右兩側(cè)分別設(shè)有壓力傳感器一和壓力傳感器二，袋體一內(nèi)設(shè)有壓力傳感器三，箱體上還設(shè)有分別與排氣開關(guān)、氣泵的控制開關(guān)一、輸液泵的控制開關(guān)二、壓力傳感器一、壓力傳感器二以及壓力傳感器三信號連接的微處理器。通過氣泵向袋體二內(nèi)泵入氣體可壓縮袋體一，使袋體一內(nèi)的化學(xué)液體產(chǎn)生向外輸出的壓力，在袋體二膨脹的過程中，袋體一隨著化學(xué)液體的外輸便被相應(yīng)的壓縮，袋體一內(nèi)的壓力傳感器三用于實時檢測化學(xué)液體的壓力值，并將壓力值實時輸送給微處理器，當(dāng)壓力值超過設(shè)定范圍壓力值的上限時，微處理器便通過控制開關(guān)一減緩或停止氣泵向袋體二內(nèi)泵入氣體，當(dāng)壓力傳感器三所測壓力值低于設(shè)定范圍壓力值的下限時，微處理器便通過控制開關(guān)一啟動氣泵或使氣泵加速向袋體二內(nèi)泵入氣體，在此過程中，滑動體同時向右滑動，當(dāng)滑動體在滑槽內(nèi)擠壓到其右側(cè)的壓力傳感器二時，壓力傳感器二便將壓力信號值傳送給微處理器，此時微處理器便關(guān)閉控制氣泵的控制開關(guān)一，同時打開輸液泵的控制開關(guān)二以及打開排氣管上的排氣開關(guān)；此后，隨著輸液泵將化學(xué)液體泵入袋體一，袋體一開始膨脹，在袋體一膨脹的過程中，隨著袋體二內(nèi)空氣從排氣管排出，使得袋體二被壓縮，而在該過程中袋體一內(nèi)的化學(xué)液體因為有壓力，因此同時會通過輸出接口向外輸送，在袋體一膨脹的過程中，袋體一內(nèi)的壓力傳感器三也在實時檢測化學(xué)液體的壓力值，并將壓力值實時輸送給微處理器，當(dāng)壓力值超過設(shè)定范圍壓力值的上限時，微處理器便通過控制開關(guān)二減緩或停止輸液泵向袋體一內(nèi)泵入化學(xué)液體，當(dāng)壓力傳感器三所測壓力值低于設(shè)定范圍壓力值的下限時，微處理器便通過控制開關(guān)二啟動輸液泵或使輸液泵加速向袋體一內(nèi)泵入化學(xué)液體，在此過程中，滑動體同時向左滑動，當(dāng)滑動體在滑槽內(nèi)擠壓到其左側(cè)的壓力傳感器一時，壓力傳感器一將壓力信號值傳送給微處理器，微處理器便關(guān)閉控制輸液泵的控制開關(guān)二，同時打開氣泵的控制開關(guān)一以及關(guān)閉排氣管上的排氣開關(guān)；此后，進(jìn)行如上的相同循環(huán)過程。綜上，本實用新型通過兩個袋體徹底隔絕了壓縮氣體和化學(xué)液體可能的接觸對化學(xué)液體所造成的污染；同時，由于壓縮氣體和化學(xué)液體分別盛裝在兩個獨立的密閉袋體中，因此不需要再考慮對箱體(相當(dāng)于壓力容器)在密閉性方面的要求，因此大大降低了制造箱體的工藝要求，而制造兩個密閉袋體的工藝要求要遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于制造一個密閉壓力容器的工藝要求。另外，本實用新型還設(shè)有測漏傳感器，可以隨時監(jiān)測化學(xué)液體是否外漏。因此，本實用新型解決了現(xiàn)有技術(shù)中，化學(xué)液體在分配時容易造成污染，并且難以自動控制并提供相對穩(wěn)定、連續(xù)的輸送的問題。

附圖說明

圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖標(biāo)記說明：

1、箱體；2、袋體一；3、袋體二；4、滑動體；5、滑槽；6、壓力傳感器二；7、壓力傳感器一；8、輸出接口；9、壓力傳感器三；10、微處理器；11、輸液泵；12、氣泵；13、控制開關(guān)二；14、進(jìn)液管；15、控制開關(guān)一；16、進(jìn)氣管；17、排氣開關(guān)；18、排氣管；19、測漏傳感器。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖，對本實用新型的一個具體實施方式進(jìn)行詳細(xì)描述，但應(yīng)當(dāng)理解本實用新型的保護(hù)范圍并不受具體實施方式的限制。

如圖1所示，本實用新型實施例提供了一種化學(xué)液體分配控制箱，包括箱體1，所述箱體1內(nèi)設(shè)有用于容納化學(xué)液體的袋體一2，所述箱體1上還設(shè)有多個與袋體一2相連通的用于輸出化學(xué)液體的輸出接口8，所述箱體1內(nèi)還設(shè)有袋體二3，所述袋體二3通過進(jìn)氣管16與設(shè)于箱體1外的氣泵12聯(lián)接，所述氣泵12連接有控制開關(guān)一15；所述袋體二3還通過排氣管18與外界連通，排氣管18上有排氣開關(guān)17；所述袋體一2通過進(jìn)液管14與設(shè)于箱體1外的輸液泵11聯(lián)接，所述輸液泵11連接有控制開關(guān)二13；所述袋體一2和袋體二3之間的箱體1內(nèi)壁上還設(shè)有從袋體一2方向通向袋體二3方向的滑槽5，所述滑槽5上滑動連接有位于袋體一2和袋體二3之間的滑動體4；所述滑槽5左端位于滑槽5內(nèi)固定有壓力傳感器一7，所述滑槽5右端位于滑槽5內(nèi)固定有壓力傳感器二6；所述袋體一2內(nèi)還設(shè)有壓力傳感器三9，所述箱體1上還設(shè)有微處理器10，所述微處理器10分別與排氣開關(guān)17、控制開關(guān)一15、控制開關(guān)二13、壓力傳感器一7、壓力傳感器二6以及壓力傳感器三9信號連接。本實用新型通過兩個袋體徹底隔絕了壓縮氣體和化學(xué)液體可能的接觸對化學(xué)液體所造成的污染。因此，本實用新型解決了現(xiàn)有技術(shù)中，化學(xué)液體在分配時容易造成污染，并且難以自動控制并提供相對穩(wěn)定、連續(xù)的輸送的問題。

進(jìn)一步地，所述壓力傳感器二6的右側(cè)位于滑槽5內(nèi)還設(shè)有與微處理器10信號連接的測漏傳感器19。通過測漏傳感器，可以隨時監(jiān)測化學(xué)液體是否外漏。

進(jìn)一步地，所述箱體1為一圓柱體狀殼體，所述袋體一2位于圓柱體狀殼體內(nèi)部的右端；所述袋體二3位于圓柱體狀殼體內(nèi)部的左端。

進(jìn)一步地，所述滑動體4通過滑塊與滑槽5滑動連接?；瑝K在移動到箱體的兩端時會與壓力傳感器一或壓力傳感器二相擠壓，所產(chǎn)生的壓力信號會被傳送給微處理器。

進(jìn)一步地，所述袋體一2、袋體二3為橡膠袋或硅膠袋。

進(jìn)一步地，所述滑動體4為圓餅狀，該圓餅狀的滑動體4的一個面與袋體一2相對，另一個面與袋體二3相對。兩個袋體體積之間的此消彼長會使得滑動體左右滑動，從而使其能夠擠壓到設(shè)于其左右兩側(cè)的壓力傳感器。

進(jìn)一步地，所述輸出接口8的數(shù)量為5個，每個輸出接口8上均設(shè)有控制閥。5個輸出接口可以選擇不同的直徑規(guī)格，從而在壓力相同的情況下輸出的流量有所不同，以便適用于不同的化學(xué)工藝要求。

進(jìn)一步地，所述微處理器10為單片機(jī)或PLC控制器。該類微處理器技術(shù)成熟，易于獲得，均為現(xiàn)有技術(shù)產(chǎn)品，此處不再詳述。

綜上所述，本實用新型實施例提供的一種化學(xué)液體分配控制箱，包括箱體以及位于箱體中的用于容納化學(xué)液體的袋體一和用于填充高壓氣體的袋體二；袋體一通過輸液泵提供化學(xué)液體，同時袋體一通過輸出接口輸出化學(xué)液體，袋體二通過氣泵提供高壓氣體，袋體二還與連通至箱體外的帶有排氣開關(guān)的排氣管連接；袋體一和袋體二之間滑動連接有滑動體，滑動體的左右兩側(cè)分別設(shè)有壓力傳感器一和壓力傳感器二，袋體一內(nèi)設(shè)有壓力傳感器三，箱體上還設(shè)有分別與排氣開關(guān)、氣泵的控制開關(guān)一、輸液泵的控制開關(guān)二、壓力傳感器一、壓力傳感器二以及壓力傳感器三信號連接的微處理器。

本實用新型的工作過程：通過氣泵向袋體二內(nèi)泵入氣體可壓縮袋體一，使袋體一內(nèi)的化學(xué)液體產(chǎn)生向外輸出的壓力，在袋體二膨脹的過程中，袋體一隨著化學(xué)液體的外輸便被相應(yīng)的壓縮，袋體一內(nèi)的壓力傳感器三用于實時檢測化學(xué)液體的壓力值，并將壓力值實時輸送給微處理器，當(dāng)壓力值超過設(shè)定范圍壓力值的上限時，微處理器便通過控制開關(guān)一減緩或停止氣泵向袋體二內(nèi)泵入氣體，當(dāng)壓力傳感器三所測壓力值低于設(shè)定范圍壓力值的下限時，微處理器便通過控制開關(guān)一啟動氣泵或使氣泵加速向袋體二內(nèi)泵入氣體，在此過程中，滑動體同時向右滑動，當(dāng)滑動體在滑槽內(nèi)擠壓到其右側(cè)的壓力傳感器二時，壓力傳感器二便將壓力信號值傳送給微處理器，此時微處理器便關(guān)閉控制氣泵的控制開關(guān)一，同時打開輸液泵的控制開關(guān)二以及打開排氣管上的排氣開關(guān)；此后，隨著輸液泵將化學(xué)液體泵入袋體一，袋體一開始膨脹，在袋體一膨脹的過程中，隨著袋體二內(nèi)空氣從排氣管排出，使得袋體二被壓縮，而在該過程中袋體一內(nèi)的化學(xué)液體因為有壓力，因此同時會通過輸出接口向外輸送，在袋體一膨脹的過程中，袋體一內(nèi)的壓力傳感器三也在實時檢測化學(xué)液體的壓力值，并將壓力值實時輸送給微處理器，當(dāng)壓力值超過設(shè)定范圍壓力值的上限時，微處理器便通過控制開關(guān)二減緩或停止輸液泵向袋體一內(nèi)泵入化學(xué)液體，當(dāng)壓力傳感器三所測壓力值低于設(shè)定范圍壓力值的下限時，微處理器便通過控制開關(guān)二啟動輸液泵或使輸液泵加速向袋體一內(nèi)泵入化學(xué)液體，在此過程中，滑動體同時向左滑動，當(dāng)滑動體在滑槽內(nèi)擠壓到其左側(cè)的壓力傳感器一時，壓力傳感器一將壓力信號值傳送給微處理器，微處理器便關(guān)閉控制輸液泵的控制開關(guān)二，同時打開氣泵的控制開關(guān)一以及關(guān)閉排氣管上的排氣開關(guān)；此后，進(jìn)行如上的相同循環(huán)過程。

綜上，本實用新型通過兩個袋體徹底隔絕了壓縮氣體和化學(xué)液體可能的接觸對化學(xué)液體所造成的污染；同時，由于壓縮氣體和化學(xué)液體分別盛裝在兩個獨立的密閉袋體中，因此不需要再考慮對箱體(相當(dāng)于壓力容器)在密閉性方面的要求，因此大大降低了制造箱體的工藝要求，而制造兩個密閉袋體的工藝要求要遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于制造一個密閉壓力容器的工藝要求。另外，本實用新型還設(shè)有測漏傳感器，可以隨時監(jiān)測化學(xué)液體是否外漏。因此，本實用新型解決了現(xiàn)有技術(shù)中，化學(xué)液體在分配時容易造成污染，并且難以自動控制并提供相對穩(wěn)定、連續(xù)的輸送的問題。

以上公開的僅為本實用新型的幾個具體實施例，但是，本實用新型實施例并非局限于此，任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員能思之的變化都應(yīng)落入本實用新型的保護(hù)范圍。