本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種可調(diào)整傳送架高度的爐體裝卸裝置。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體熱處理設(shè)備是集成電路制造的重要工藝設(shè)備，適用于集成電路制造過(guò)程中各種氧化、退火和薄膜生長(zhǎng)等工藝。爐體是熱處理設(shè)備的核心部件，由于其質(zhì)量較大且安裝空間較小，所以爐體拆卸和安裝時(shí)的難度比較大。為了方便完成爐體的安裝與拆卸，通常會(huì)采用爐體裝卸裝置。

現(xiàn)有的爐體裝卸裝置一般包括：主體支架以及水平安裝在主體支架頂部的前傳送架、中間傳送架、后傳送架。其中，前傳送架采用滾珠形式傳動(dòng)，其滾珠可以使?fàn)t體360度自由移動(dòng)，在爐體安裝和拆卸時(shí)可以方便移動(dòng)以使其位于要求位置；中間傳送架和后傳送架都采用滾輪形式傳動(dòng)，其滾輪只可以使?fàn)t體前后移動(dòng)。前傳送架、中間傳送架、后傳送架按直線方向依次過(guò)渡排列。

當(dāng)爐體在裝卸裝置的前傳送架、中間傳送架及后傳送架上移動(dòng)時(shí)，必須保證三者在同一高度面上，這樣爐體移動(dòng)時(shí)，在它們之間的過(guò)渡處才能保證不被卡頓。其中，中間傳送架和后傳送架的傳動(dòng)結(jié)構(gòu)相同，且在同一基準(zhǔn)面上安裝，高度可以保證相同。但是前傳送架和中間傳送架之間的結(jié)構(gòu)不同，前傳送架用的滾珠和中間傳送架用的滾輪都是標(biāo)準(zhǔn)型的，因而即使它們的安裝基準(zhǔn)面相同，也難以保證二者的高度相同。這就給爐體的安全、高效裝卸帶來(lái)了隱患。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)存在的上述缺陷，提供一種可調(diào)整傳送架高度的爐體裝卸裝置，能夠調(diào)整前傳送架的高度以與中間傳送架的高度一致。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

一種可調(diào)整傳送架高度的爐體裝卸裝置，包括：

主體支架，其為矩形框架結(jié)構(gòu)；

前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)，安裝在主體支架頂部的框架前端；

前傳送架，一端安裝在前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)上，并在其帶動(dòng)下進(jìn)行升降；

中間傳送架，安裝在主體支架頂部的框架兩側(cè)，并與前傳送架之間形成對(duì)接；

后傳送架，一端安裝在主體支架頂部的框架后端，并與中間傳送架之間形成對(duì)接；

在進(jìn)行爐體裝卸時(shí)，通過(guò)調(diào)節(jié)前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)的相對(duì)高度，使前傳送架與中間傳送架各自位于對(duì)接部的爐體承載面相平齊，以防止?fàn)t體通過(guò)時(shí)產(chǎn)生卡頓。

優(yōu)選地，所述前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)包括：

支撐塊，安裝在主體支架頂部的框架前端，其具有水平的支撐面；

調(diào)整塊，水平設(shè)于支撐塊上方，前傳送架的一端安裝在調(diào)整塊上；

高度調(diào)整組件，活動(dòng)設(shè)于支撐塊和調(diào)整塊之間，用于調(diào)節(jié)調(diào)整塊與支撐塊之間的垂直方向相對(duì)位置，使調(diào)整塊產(chǎn)生升降運(yùn)動(dòng)。

優(yōu)選地，所述高度調(diào)整組件包括：

調(diào)整螺栓，具有通孔，其一端與調(diào)整塊螺接，另一端穿過(guò)調(diào)整塊抵觸在支撐塊的支撐面上；

鎖緊螺母，與調(diào)整螺栓螺接于調(diào)整塊上方，用于將調(diào)整塊固定在支撐塊上方；

定位螺栓，穿過(guò)調(diào)整螺栓的通孔與支撐塊螺接，用于避免調(diào)整塊水平移動(dòng)。

優(yōu)選地，所述高度調(diào)整組件在支撐塊和調(diào)整塊之間設(shè)置若干個(gè)，并位于其邊角部位。

優(yōu)選地，所述調(diào)整螺栓抵觸支撐塊的一端端面為平面或弧面。

優(yōu)選地，所述調(diào)整塊的上表面為平面。

優(yōu)選地，所述調(diào)整塊的上表面具有凸出的臺(tái)階面，前傳送架的一端安裝在臺(tái)階面上，高度調(diào)整組件安裝在非臺(tái)階面上，前傳送架的頂面高于高度調(diào)整組件的頂面。

優(yōu)選地，所述前傳送架采用滾珠傳動(dòng)形式，所述中間傳送架和后傳送架采用滾輪傳動(dòng)形式。

優(yōu)選地，還包括兩個(gè)爐體固定支架，其中一個(gè)安裝在前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)上，另一個(gè)安裝在主體支架頂部的框架后端，用于防止?fàn)t體在中間傳送架上前后移動(dòng)。

優(yōu)選地，還包括：

安全護(hù)板，安裝在主體支架的框架頂部，用于在爐體裝卸時(shí)供裝配人員站立以進(jìn)行輔助操作；

配重塊，在主體支架的框架中部位置活動(dòng)設(shè)置，用于調(diào)節(jié)爐體裝卸裝置的重心；

地腳，安裝在主體支架底部的各個(gè)角部，用于支撐主體支架和調(diào)整爐體裝卸裝置的高度；

腳輪，安裝在主體支架底部的各個(gè)邊部，其高度可調(diào)，用于移動(dòng)爐體裝卸裝置；

插板，固定在主體支架的底部前端，用于在爐體位于后傳送架上時(shí)，防止?fàn)t體裝卸裝置向后側(cè)傾倒。

從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明通過(guò)將前傳送架安裝在前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)上，在進(jìn)行爐體裝卸時(shí)，可通過(guò)調(diào)節(jié)前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)的相對(duì)高度，使前傳送架與中間傳送架各自位于對(duì)接部的爐體承載面相平齊，以使前傳送架的高度與中間傳送架的高度一致，從而可以防止?fàn)t體通過(guò)時(shí)產(chǎn)生卡頓現(xiàn)象。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便且成本較低的有益優(yōu)點(diǎn)。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的一種可調(diào)整傳送架高度的爐體裝卸裝置結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的一種前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明第二較佳實(shí)施例的一種前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的一種高度調(diào)整組件結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、主體支架；2、配重塊；3、前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)；4、前傳送架；5/8、爐體固定支架；6、安全護(hù)板；7、中間傳送架；9、后傳送架；10、后傳送架活動(dòng)支架；11、后傳送架固定支架；12、地腳；13、腳輪；14、插板；31(311、312)支撐塊；32/32’、調(diào)整塊；33、高度調(diào)整組件；331、調(diào)整螺栓；332、鎖緊螺母；333、定位螺栓。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。

需要說(shuō)明的是，在下述的具體實(shí)施方式中，在詳述本發(fā)明的實(shí)施方式時(shí)，為了清楚地表示本發(fā)明的結(jié)構(gòu)以便于說(shuō)明，特對(duì)附圖中的結(jié)構(gòu)不依照一般比例繪圖，并進(jìn)行了局部放大、變形及簡(jiǎn)化處理，因此，應(yīng)避免以此作為對(duì)本發(fā)明的限定來(lái)加以理解。

在以下本發(fā)明的具體實(shí)施方式中，請(qǐng)參閱圖1，圖1是本發(fā)明一較佳實(shí)施例的一種可調(diào)整傳送架高度的爐體裝卸裝置結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，本發(fā)明的一種可調(diào)整傳送架高度的爐體裝卸裝置，包括主體支架1、前傳送架4、中間傳送架7、后傳送架9以及前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)3幾個(gè)主要部分。

主體支架1采用矩形框架結(jié)構(gòu)，可由結(jié)構(gòu)鋼焊接而成，也可以由型材組裝而成。前傳送架4、中間傳送架7、后傳送架9順序安裝在主體支架1的框架結(jié)構(gòu)頂部，并相互形成對(duì)接，組成裝卸爐體時(shí)的傳送鏈。并且，前傳送架4的后端安裝在前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)3上，前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)3又安裝在主體支架1的頂部框架結(jié)構(gòu)前端。這樣，當(dāng)調(diào)節(jié)前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)3的高度時(shí)，前傳送架4就可在前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)3的帶動(dòng)下進(jìn)行升降。

請(qǐng)參閱圖1。前傳送架4可設(shè)有雙股前端板41，并沿前端板安裝有多個(gè)滾珠42，從而可采用滾珠傳動(dòng)形式傳送爐體。并且，采用滾珠傳動(dòng)形式還可以使?fàn)t體360度自由移動(dòng)，在爐體安裝和拆卸時(shí)可以方便移動(dòng)以使其位于要求位置。前傳送架的前端板41后端安裝在前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)3上，前端板41的前端通向熱處理設(shè)備。前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)3用于調(diào)整前傳送架4的高度，使前傳送架4的高度與中間傳送架7的高度相同，以使?fàn)t體在前傳送架與中間傳送架過(guò)渡處(對(duì)接處)能容易推動(dòng)。

中間傳送架7可采用雙股傳送鏈，并整體固定在主體支架1的框架頂部?jī)蓚?cè)。中間傳送架可采用滾輪形式傳動(dòng)，其滾輪只可以使?fàn)t體前后移動(dòng)。

后傳送架9可同樣采用雙股傳送鏈，并同樣采用滾輪形式傳動(dòng)，后傳送架的前端固定在主體支架1頂部的框架結(jié)構(gòu)后端，其后端可采用后傳送架活動(dòng)支架10支撐。后傳送架9在非使用狀態(tài)時(shí)，可放置在主體支架的下側(cè)，以減少占用空間；放置時(shí)，后傳送架9的其中一端可固定在主體支架1的底部結(jié)構(gòu)件上，另一端可用后傳送架固定支架11固定，后傳送架固定支架11則固定在主體支架1上。

作為爐體裝卸裝置的配套結(jié)構(gòu)，還可設(shè)置有：安全護(hù)板、爐體固定支架、配重塊、地腳、腳輪、插板等部件。

請(qǐng)參閱圖1。安全護(hù)板6水平安裝在主體支架1的框架頂部，用于在爐體裝卸時(shí)，裝配人員可以站立在上面進(jìn)行爐體裝卸的輔助操作。爐體固定支架5和8安裝有兩個(gè)，其中一個(gè)爐體固定支架5安裝在前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)3上，另一個(gè)爐體固定支架8則安裝在主體支架1頂部的框架后端，用于防止?fàn)t體在中間傳送架上前后移動(dòng)。配重塊2通常設(shè)置在主體支架1的框架中部位置，其在主體支架上的位置可以調(diào)整，用于調(diào)節(jié)爐體裝卸裝置的重心。地腳12安裝在主體支架1底部的各個(gè)角部，用于支撐主體支架和調(diào)整爐體裝卸裝置的高度。腳輪13安裝在主體支架1底部的各個(gè)邊部，其高度也可以調(diào)整，將腳輪13放下時(shí)，地腳12則處于懸空狀態(tài)，即可對(duì)爐體裝卸裝置進(jìn)行移動(dòng)。插板14固定在主體支架1的底部前端，當(dāng)爐體位于后傳送架9上時(shí)，可以防止?fàn)t體裝卸裝置向后側(cè)傾倒。

由于前傳送架4和中間傳送架7之間的結(jié)構(gòu)不同，前傳送架用的滾珠和中間傳送架用的滾輪通常都是標(biāo)準(zhǔn)型的，因而即使它們的安裝基準(zhǔn)面相同，也難以保證二者的高度相同。因此，需要采用適當(dāng)?shù)姆绞?，?duì)前傳送架的高度進(jìn)行微調(diào)，將其調(diào)節(jié)至與中間傳送架的高度一致，以消除前傳送架和中間傳送架高度不同的問(wèn)題。本發(fā)明通過(guò)采用設(shè)置前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)，來(lái)解決前傳送架、中間傳送架高度難以一致的問(wèn)題。

請(qǐng)參閱圖2，圖2是本發(fā)明第一較佳實(shí)施例的一種前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖。如圖2所示，前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)可包括支撐塊31、調(diào)整塊32、高度調(diào)整組件33幾個(gè)主要結(jié)構(gòu)部分。支撐塊31可采用兩組分體支撐塊311、312的形式，兩組分體支撐塊311、312間隔安裝在主體支架1頂部的框架前端，并保持在相同的水平面。支撐塊311、312的上表面可采用水平的支撐面。當(dāng)然，適用時(shí)也可以采用非水平的表面結(jié)構(gòu)。支撐塊311、312也可以相連為一體。調(diào)整塊32可采用平板形狀，水平設(shè)于兩組支撐塊311、312的上方。前傳送架的前端板41后端可通過(guò)安裝孔342安裝在調(diào)整塊32的上表面上；爐體固定支架5則通過(guò)安裝孔341也安裝在調(diào)整塊32的上表面上。

高度調(diào)整組件33可活動(dòng)設(shè)于支撐塊31和調(diào)整塊32之間，用于調(diào)節(jié)調(diào)整塊與支撐塊之間的垂直方向相對(duì)位置，使調(diào)整塊產(chǎn)生升降運(yùn)動(dòng)。所述高度調(diào)整組件33可在支撐塊31和調(diào)整塊32之間設(shè)置若干個(gè)，例如可在四個(gè)角部位置分別設(shè)置一個(gè)高度調(diào)整組件。

請(qǐng)參閱圖4并結(jié)合參閱圖2。所述高度調(diào)整組件33可包括：調(diào)整螺栓331、鎖緊螺母332、定位螺栓333。調(diào)整螺栓331具有全長(zhǎng)方向的通孔，調(diào)整塊32對(duì)應(yīng)位置加工有螺孔，調(diào)整螺栓331從調(diào)整塊32的上方旋入調(diào)整塊，形成轉(zhuǎn)動(dòng)配合，調(diào)整螺栓331的下端穿過(guò)調(diào)整塊32后抵觸在支撐塊31的支撐面上。鎖緊螺母332從調(diào)整塊32的上方旋入調(diào)整螺栓331的上端，形成轉(zhuǎn)動(dòng)配合；當(dāng)調(diào)整螺栓與調(diào)整塊之間的配合位置固定、并且其下端抵觸在支撐塊上時(shí)，將鎖緊螺母朝向調(diào)整塊旋緊，即可將調(diào)整塊固定在支撐塊上方。支撐塊31對(duì)應(yīng)調(diào)整螺栓331的通孔位置加工有螺紋連接孔，定位螺栓333從調(diào)整螺栓331的上端穿過(guò)調(diào)整螺栓的通孔，并旋入支撐塊31的螺紋連接孔，與支撐塊連接固定；通過(guò)調(diào)整螺栓331對(duì)定位螺栓333的橫向位置限定，可避免調(diào)整塊32水平移動(dòng)。這樣，通過(guò)高度調(diào)整組件33就將調(diào)整塊32和支撐塊31安裝在一起。

所述調(diào)整螺栓331抵觸支撐塊的一端端面可采用圖示的平面，或者弧面，這樣在調(diào)整前傳送架4的高度時(shí)，調(diào)整螺栓331的底部與支撐塊31接觸時(shí)不會(huì)損傷到其表面。

當(dāng)需要調(diào)高前傳送架4的高度時(shí)，先松開鎖緊螺母332，然后用工具向下調(diào)動(dòng)調(diào)整螺栓331，同時(shí)調(diào)整塊32會(huì)帶著前傳送架4向上移動(dòng)。調(diào)整到要求高度后，擰緊鎖緊螺母332，使調(diào)整塊32固定，則前傳送架4的高度就不再發(fā)生變化。調(diào)低前傳送架4的高度時(shí)，同樣先松開鎖緊螺母332，然后用工具向上調(diào)動(dòng)調(diào)整螺栓331，同時(shí)調(diào)整塊32會(huì)帶著前傳送架4向下移動(dòng)。最后擰緊鎖緊螺母332完成調(diào)整過(guò)程。定位螺栓333的設(shè)置可保證調(diào)整塊32上下移動(dòng)時(shí)的穩(wěn)定性。

本例中，將調(diào)整塊32的上表面加工成具有凸出的臺(tái)階面，例如圖示的階梯形，或者其他結(jié)構(gòu)，并將前傳送架4通過(guò)安裝孔342安裝在該臺(tái)階面上，將高度調(diào)整組件33安裝在非臺(tái)階面上，這樣可使得前傳送架4的高度調(diào)整范圍增大。

同時(shí)，必須保證前傳送架4安裝到調(diào)整塊32上后，前傳送架4的頂面高于高度調(diào)整組件33的頂面、即必須高于調(diào)整螺栓或定位螺栓之高者的高度，否則傳送時(shí)，爐體的底部會(huì)與高度調(diào)整組件頂部干涉而不能移動(dòng)爐體或是造成爐體底部損壞。

高度調(diào)整組件也可以采用現(xiàn)有其他適用的結(jié)構(gòu)形式，本發(fā)明不限于此。

請(qǐng)參閱圖3，圖3是本發(fā)明第二較佳實(shí)施例的一種前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)示意圖。如圖3所示，與圖2中前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)不同之處在于，所述調(diào)整塊32’的上表面采用平面形式。此時(shí)，調(diào)整塊上前傳送架的安裝面(即安裝孔區(qū)域)與鎖緊螺母的安裝面是同一平面，這種形式的調(diào)整塊結(jié)構(gòu)較簡(jiǎn)單。這樣，前傳送架的高度調(diào)整范圍相對(duì)較小，可在需要對(duì)前傳送架的高度進(jìn)行微調(diào)時(shí)采用。

同樣地，必須保證前傳送架安裝到調(diào)整塊上后，前傳送架的頂面高度高于高度調(diào)整組件的頂面高度。

本例中前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)的其他結(jié)構(gòu)與圖2中前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)相同，不再贅述。

本發(fā)明的上述爐體裝卸裝置可應(yīng)用于對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的下沉式爐體進(jìn)行裝卸。

綜上所述，本發(fā)明通過(guò)將前傳送架安裝在前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)上，在進(jìn)行爐體裝卸時(shí)，可通過(guò)調(diào)節(jié)前傳送架高度調(diào)整機(jī)構(gòu)的相對(duì)高度，使前傳送架與中間傳送架各自位于對(duì)接部的爐體承載面相平齊，以使前傳送架的高度與中間傳送架的高度一致，從而可以防止?fàn)t體通過(guò)時(shí)產(chǎn)生卡頓現(xiàn)象。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作方便且成本較低的有益優(yōu)點(diǎn)。

以上所述的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，所述實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明的專利保護(hù)范圍，因此凡是運(yùn)用本發(fā)明的說(shuō)明書及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。