玻璃薄膜輸送裝置制造方法
【專利摘要】提供一種在重疊在保護片上而卷取時將玻璃薄膜適當(dāng)?shù)乩鋮s來抑制損壞的玻璃薄膜輸送裝置。將長尺寸的玻璃薄膜連續(xù)地輸送的玻璃薄膜輸送裝置（100）包括：開卷部（2），從卷將玻璃薄膜開卷；玻璃薄膜輸送部（3），將從開卷部（2）開卷后的玻璃薄膜輸送；卷取部（4），一邊在由玻璃薄膜輸送部（3）輸送來的玻璃薄膜上層疊保護片一邊卷取為卷狀；和層疊輥（12），設(shè)在卷取部（4）之前。層疊輥（12）的表面溫度比保護片的溫度高，使保護片升溫，促進保護片含有的氣化成分的蒸發(fā)。蒸發(fā)的氣化成分積存在層疊輥（12）與保護片之間及保護片與玻璃薄膜之間，作為熱傳遞介質(zhì)發(fā)揮功能，將玻璃薄膜的溫度適當(dāng)?shù)亟档汀?br> 【專利說明】玻璃薄膜輸送裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及柔性且能夠卷為卷狀的薄膜玻璃(玻璃薄膜)的真空/減壓下的輸送裝置。特別是，本發(fā)明涉及與含有水分等氣化成分的保護片一起將玻璃薄膜卷取為卷狀的輸送裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]近年來，作為顯示影像等的顯示設(shè)備用的基板材料，使用氣體隔絕性及透光性等良好的薄膜玻璃即玻璃薄膜。目前，通常的玻璃薄膜的厚度是200 μ m左右，但最近開發(fā)了比200 μm薄的厚度30 μπι?150 μm左右的很薄的玻璃薄膜。
[0003]這樣的很薄的玻璃薄膜因其較薄而具有撓性，所以能夠作為將玻璃薄膜卷取為卷狀的玻璃卷處置。在玻璃卷中，以防止卷為卷狀的玻璃薄膜與在內(nèi)周側(cè)及外周側(cè)相鄰的玻璃薄膜接觸而損壞的目的，有在相鄰的玻璃薄膜間夾入樹脂制的保護片(例如保護薄膜或襯紙)的結(jié)構(gòu)。
[0004]專利文獻I公開了在相鄰的玻璃薄膜間夾入了保護片的玻璃卷的制造方法。
[0005]專利文獻I所公開的玻璃卷的制造方法是通過下拉法成形玻璃薄膜并將該成形的玻璃薄膜重疊在保護片上而卷取為卷狀的玻璃卷的制造方法。該制造方法的特征在于，一邊對上述保護片賦予比上述玻璃薄膜大的輸送方向的張力一邊將上述玻璃薄膜和上述保護片卷取。
[0006]作為對這樣的具有撓性的玻璃薄膜有效率地實施各種處理的方法，提出了各種各樣從玻璃卷將玻璃薄膜開卷并以卷到卷方式輸送、同時在其表面上實施涂層等的各種處理的技術(shù)，所述玻璃卷是將長尺寸的玻璃薄膜卷為卷狀而成的。
[0007]作為對于該玻璃薄膜的表面的各種處理，例如有真空蒸鍍或濺射等、在被減壓到真空壓附近的真空容器內(nèi)進行的處理。在被減壓到真空壓附近的容器內(nèi)各種各樣地產(chǎn)生因壓力變化帶來的影響。因此，提出了考慮產(chǎn)生的影響而一邊將玻璃薄膜輸送一邊實施真空蒸鍍或濺射等的處理(表面處理)的各種各樣的技術(shù)。
[0008]專利文獻2公開了在真空壓附近下輸送薄膜玻璃的薄膜玻璃的輸送裝置。
[0009]專利文獻2所公開的薄膜玻璃的輸送裝置是具備能夠控制真空容器內(nèi)的壓力的壓力控制機構(gòu)、在被減壓到真空壓附近的上述真空容器內(nèi)輸送長尺寸的薄膜玻璃的裝置。在該裝置中，上述壓力控制機構(gòu)在卷狀的上述薄膜玻璃配置在上述真空容器內(nèi)的狀態(tài)下，花費3分鐘以上的時間使上述真空容器內(nèi)的壓力減壓到1000Pa后，減壓到真空壓附近。
[0010]在該薄膜玻璃的輸送裝置中，在上述條件下減壓后，將夾在玻璃卷的薄膜玻璃間的保護薄膜在開卷時從薄膜玻璃拆下，此外，在被實施了表面處理的薄膜玻璃的卷取時，在薄膜玻璃間夾入保護薄膜，將薄膜玻璃卷取為卷狀。
[0011]但是，在真空中或減壓下，如在上述專利文獻I及專利文獻2所公開那樣，當(dāng)將樹脂制的保護片與玻璃薄膜重疊而卷在一起時，在單純重疊卷繞時，產(chǎn)生以下這樣的問題。即，在玻璃薄膜通過成膜處理等成為高溫(例如200°C以上)的情況下，如果保護片接觸在高溫的玻璃薄膜上，則保護片有可能受到損壞及/或斷裂等的損傷。在該狀態(tài)下，如果將保護片和玻璃薄膜重疊卷取，則有可能以此為觸發(fā)事件而通過保護片的起伏等使玻璃薄膜損壞。即，在將高溫的玻璃薄膜卷取時需要適當(dāng)?shù)乩鋮s。特別是，在將玻璃薄膜在真空腔室中處理、在該腔室內(nèi)將保護片和玻璃薄膜重疊卷取的情況下，由于腔室內(nèi)是真空，所以沒有被充分冷卻，在高溫的狀態(tài)下將玻璃薄膜卷取。在這樣的情況下，需要在防止保護片的損傷的同時，將玻璃薄膜適當(dāng)?shù)乩鋮s。
[0012]專利文獻1:特開2011 — 201765號公報專利文獻2:特開2012 - 1405號公報。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0013]本發(fā)明的目的是提供一種能夠在抑制玻璃薄膜的損壞的同時、將玻璃薄膜和保護片重疊卷取的玻璃薄膜輸送裝置。
[0014]有關(guān)本發(fā)明的玻璃薄膜輸送裝置在真空中或減壓下將長尺寸的玻璃薄膜連續(xù)地輸送。該裝置具備:開卷部，從卷繞有上述玻璃薄膜的卷將該玻璃薄膜開卷；玻璃薄膜輸送部，將由上述開卷部開卷后的上述玻璃薄膜輸送；和卷取部，在由上述玻璃薄膜輸送部輸送的上述玻璃薄膜上層疊保護片并卷取為卷狀，所述保護片具有與上述玻璃薄膜大致同寬且長尺寸的形狀，并含有氣化成分。上述卷取部將上述保護片升溫，由此使上述氣化成分氣化。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]圖1是表示有關(guān)本發(fā)明的第I實施方式的玻璃薄膜輸送裝置的結(jié)構(gòu)的概略圖。
[0016]圖2 (A)是表示圖1的A部的詳細情況的圖，圖2 (B)是表示B部的詳細情況的圖。
[0017]圖3是表示有關(guān)本發(fā)明的第2實施方式的玻璃薄膜輸送裝置的結(jié)構(gòu)的概略圖。
[0018]圖4是表示有關(guān)本發(fā)明的第3實施方式的玻璃薄膜輸送裝置的結(jié)構(gòu)的概略圖。

【具體實施方式】
[0019]以下，一邊參照附圖，一邊說明有關(guān)本發(fā)明的實施方式的玻璃薄膜輸送裝置。另夕卜，在以下說明的各實施方式及圖中，對于玻璃薄膜輸送裝置的相同的構(gòu)成部件，賦予相同的附圖標(biāo)記及相同的名稱。因而，對于被賦予相同的附圖標(biāo)記及相同的名稱的構(gòu)成部件不重復(fù)相同的說明。
[0020][第I實施方式]
一邊參照圖1及圖2，一邊對有關(guān)本發(fā)明的第I實施方式的玻璃薄膜輸送裝置100進行說明。圖1是表示有關(guān)第I實施方式的玻璃薄膜輸送裝置100的結(jié)構(gòu)的概略圖。圖2 (A)是表示圖1的A部的詳細情況的圖，圖2 (B)是表示圖1的B部的詳細情況的圖。在該玻璃薄膜輸送裝置100中，將和保護片一起卷取為卷狀的處理前的玻璃薄膜與保護片分離而輸送，然后與別的保護片一起卷取為卷狀。
[0021]玻璃薄膜輸送裝置100具有:開卷部2，從玻璃卷Rl將玻璃薄膜開卷，所述玻璃卷Rl是將長尺寸且?guī)畹牟ＡП∧?、例如寬度I米左右、厚度30 ym?200 μ m左右的很薄的玻璃薄膜卷為卷狀而成的；玻璃薄膜輸送部3，將開卷了的玻璃薄膜向表面處理工序輸送，在所述表面處理工序中實施濺射、等離子CVD、蒸鍍、離子鍍、AIP法、等離子照射處理、離子注入等的減壓下或真空下的表面處理；卷取部4，將被實施了表面處理的玻璃薄膜再次卷取為卷狀的玻璃卷R2。玻璃薄膜輸送裝置100例如是從以卷狀卷繞了延續(xù)10m以上的長尺寸的玻璃薄膜的玻璃卷Rl將該玻璃薄膜開卷、以所謂卷到卷方式輸送的裝置。
[0022]具體而言，在玻璃卷Rl中，在玻璃薄膜GF的單面上，重合層疊有成形為與玻璃薄膜GF大致同寬的樹脂制的保護片PF。保護片PF的厚度為與玻璃薄膜GF相同程度，但只要有能夠?qū)⒉ＡП∧F從損壞或損傷保護的厚度，也可以不是與玻璃薄膜GF相同程度。
[0023]將這樣玻璃薄膜GF與保護片PF重合而成為2層的層疊薄膜LF卷繞到后述的開卷部2的開卷芯2a上，成為玻璃卷Rl。開卷芯2a例如由不銹鋼材料等形成。玻璃卷Rl優(yōu)選的是以在卷繞起始處層疊薄膜LF的保護片PF側(cè)接觸在開卷芯2a的卷繞芯的方式被卷繞。并且，成為從開卷芯2a的卷繞芯朝向外周側(cè)、保護片PF和玻璃薄膜GF交替地重合的卷。
[0024]當(dāng)從開卷部2將玻璃薄膜GF開卷時，有首先將層疊薄膜LF開卷、將開卷的層疊薄膜LF分離為玻璃薄膜GF和保護片P的方法、和將層疊薄膜LF中的外周側(cè)的玻璃薄膜GF先開卷后將保護片PF開卷的、將玻璃薄膜GF和保護片PF交替地開卷的方法。
[0025]一邊參照圖1，一邊說明第I實施方式的玻璃薄膜輸送裝置100的結(jié)構(gòu)。
[0026]在以下的說明中，將朝向圖1的紙面的上下方向作為玻璃薄膜GF輸送裝置100的上下方向，將同樣朝向紙面的左右方向作為玻璃薄膜輸送裝置100的左右方向。
[0027]玻璃薄膜輸送裝置100如上述那樣，具備從玻璃卷Rl將玻璃薄膜GF開卷的開卷部2、將開卷的玻璃薄膜GF向表面處理工序輸送的玻璃薄膜輸送部3、和將被實施了表面處理的玻璃薄膜GF再次卷取為卷狀的卷取部4。
[0028]這樣的結(jié)構(gòu)的玻璃薄膜輸送裝置100例如設(shè)在框體形的真空腔室6內(nèi)。
[0029]真空腔室6形成為內(nèi)部為空洞的箱狀，將內(nèi)部相對于外部氣密地保持。雖然沒有圖示，但在真空腔室6的下側(cè)設(shè)有真空泵，通過該真空泵將真空腔室6的內(nèi)部減壓到真空狀態(tài)或低壓狀態(tài)。
[0030]開卷部2具備開卷芯2a、連結(jié)在該開卷芯2a上的旋轉(zhuǎn)軸2b、從由玻璃卷Rl開卷的層疊薄膜LF將保護片PF分離的保護片分離輥9、和將分離后的保護片PF卷取的保護片卷取卷11。
[0031]在圖1所示的真空腔室6內(nèi)的上下方向上的中央部的左側(cè)上方，配置有開卷部2的開卷芯2a。開卷芯2a具備全長比層疊薄膜LF的寬度稍長的圓筒狀或圓柱狀的卷繞芯。此外，也可以為在該卷繞芯的兩端上同軸地固定著圓板狀的凸緣的一個面的結(jié)構(gòu)。在具有這樣的結(jié)構(gòu)的開卷芯2a中，通過在開卷芯2a的卷繞芯上卷繞層疊了玻璃薄膜GF和保護片PF的層疊薄膜LF，形成玻璃卷Rl。
[0032]開卷部2的旋轉(zhuǎn)軸2b以朝向圖1的紙面為垂直方向的方式配置在真空腔室6內(nèi)。旋轉(zhuǎn)軸2b連結(jié)在開卷芯2a上。在該開卷部2中，通過使旋轉(zhuǎn)軸2b及連結(jié)在其上的開卷芯2a旋轉(zhuǎn)，能夠從玻璃卷Rl將層疊薄膜LF (即，玻璃薄膜GF及保護片PF)開卷。
[0033]在圖1所示的真空腔室6內(nèi)的比上下方向的中央靠下側(cè)且開卷部2的下方，具備成膜裝置，所述成膜裝置對從開卷部2開卷并從保護片PF分離的玻璃薄膜GF的表面，實施例如濺射或等離子CVD等的表面處理工序。在第I實施方式中，作為一例而具備濺射成膜部7。
[0034]玻璃薄膜輸送部3包括實施該表面處理工序的濺射成膜部7的玻璃薄膜GF的輸送部件而構(gòu)成。圖1表示作為通常的濺射成膜部7的結(jié)構(gòu)的一部分的成膜卷8及靶T。
[0035]圖1所示的濺射成膜部7的成膜卷8由不銹鋼材料等形成為圓筒狀或圓柱狀，是在形成曲面的外周面上卷繞玻璃薄膜GF而輸送的輸送部件。成膜卷8以作為旋轉(zhuǎn)中心的成膜卷8的軸心(旋轉(zhuǎn)軸)與作為開卷部2的旋轉(zhuǎn)中心的軸心(即，開卷芯的卷繞芯的軸心)大致平行的方式配置。
[0036]濺射蒸發(fā)源T以與由成膜卷8輸送的玻璃薄膜GF對置的方式，配置在成膜卷8的左右側(cè)。濺射蒸發(fā)源T是由堆積到玻璃薄膜GF的表面上的成分構(gòu)成的蒸發(fā)源，如周知那樣，通過輝光放電濺射的(蒸發(fā)的)成分被向玻璃薄膜GF的表面引導(dǎo)而堆積。
[0037]如上述那樣，成膜卷8為將為了實施表面處理工序而從開卷部2開卷的玻璃薄膜GF輸送的部件，構(gòu)成玻璃薄膜輸送部3。另外，成膜卷8的溫度例如是200°C?400°C的高溫。
[0038]此外，在第I實施方式中，如圖1所示，開卷部2的保護片分離輥9配置在開卷芯2a與成膜卷8之間。保護片分離輥9與成膜卷8同樣是由不銹鋼材料等形成為圓筒狀或圓柱狀的部件，但具有比成膜卷8的外徑小的外徑的圓筒或圓柱形狀。
[0039]保護片分離輥9的旋轉(zhuǎn)軸與開卷芯2a及成膜卷8的旋轉(zhuǎn)軸平行，并且在真空腔室6的左右方向上，配置在比成膜卷8的左端靠真空腔室6的中央附近即成膜卷8的旋轉(zhuǎn)軸附近。保護片分離輥9的該配置能夠?qū)Τ赡ぞ?從總為一定的角度及方向輸送玻璃薄膜GF。
[0040]該保護片分離輥9使構(gòu)成層疊薄膜LF的玻璃薄膜GF和保護片PF相互分離。在分離后，保護片PF被保護片卷取卷11卷取，玻璃薄膜GF被向成膜卷8輸送。
[0041 ] 由于開卷部2具備保護片分離輥9及保護片卷取卷11，所以能夠?qū)牟ＡЬ鞷l開卷的層疊薄膜LF中的保護片PF從玻璃薄膜GF分離并回收。
[0042]在圖1所示的真空腔室6內(nèi)中，朝向圖1的紙面在開卷部2的右側(cè)配置有卷取部4。卷取部4將經(jīng)過玻璃薄膜輸送部3被實施了表面處理的玻璃薄膜GF再次卷取為卷狀的玻璃卷R2。
[0043]卷取部4具備卷取芯4a、與該卷取芯4a連結(jié)的旋轉(zhuǎn)軸4b、使玻璃薄膜GF與保護片PF層疊的層疊輥12、將新的保護片PF向?qū)盈B輥12供給的保護片卷13、和將層疊卷12加熱的加熱機構(gòu)14。層疊輥12設(shè)在比卷取芯4a靠玻璃薄膜GF的輸送方向的上游側(cè)。
[0044]卷取部4的卷取芯4a具有與上述開卷芯2a相同的結(jié)構(gòu)，具有全長比層疊薄膜LF的寬度稍長的圓筒狀或圓柱狀的卷繞芯。卷取部4的旋轉(zhuǎn)軸4b以朝向圖1的紙面為垂直方向、與上述開卷部2及成膜卷8等的旋轉(zhuǎn)軸平行的方式，配置在真空腔室6內(nèi)。
[0045]在該卷取部4中，通過由致動器等使旋轉(zhuǎn)軸4b及連結(jié)在其上的卷取芯4a旋轉(zhuǎn)，將從保護片卷13供給的新的保護片PF卷取，與其一起將從玻璃薄膜輸送部3輸送來的玻璃薄膜GF卷取。
[0046]這里，如圖1所示，層疊輥12配置在卷取芯4a與成膜卷8之間且保護片分離輥9的右側(cè)。
[0047]該層疊輥12是與保護片分離輥9同樣的結(jié)構(gòu)，與成膜卷8同樣是通過不銹鋼材料等形成為圓筒狀或圓柱狀的部件。層疊輥12的旋轉(zhuǎn)軸與卷取部4及成膜卷8的旋轉(zhuǎn)軸平行，并且在真空腔室6的左右方向上，配置在比成膜卷8的右端靠真空腔室6的中央附近即成膜卷8的旋轉(zhuǎn)軸附近。層疊輥12的該配置能夠從成膜卷8沿著總為一定的角度及方向?qū)⒉ＡП∧F運出。
[0048]以下，對該層疊輥12詳細地說明。
[0049]該層疊棍12的直徑是Φ 10mm?Φ 300mm，優(yōu)選的是Φ 125mm?Φ 200mm。
[0050]當(dāng)將保護片PF向?qū)盈B輥12上供給時，優(yōu)選的是以50N/m?200N/m的范圍的張力供給。另一方面，優(yōu)選的是將玻璃薄膜GF以比該保護片PF的張力弱的張力供給。保護片PF的張力Tf優(yōu)選的是玻璃薄膜GF的張力Tg的2倍左右以上。換言之，在層疊輥12處，優(yōu)選的是將對保護片PF賦予的輸送方向的張力設(shè)定得比對玻璃薄膜GF賦予的輸送方向的張力大，以便能夠提高保護片PF對于層疊輥12的緊貼度、促進保護片PF中含有的水分的蒸發(fā)。
[0051]優(yōu)選的是在角度α =45°以上的范圍使保護片PF緊貼在層疊輥12上，再將玻璃薄膜GF重合到該保護片PF之上。進而，與該角度α的范圍連續(xù)，在層疊輥12上，以角度β=30°?90° (只要不較大而超過90°就可以)且50mm以上的長度的范圍使玻璃薄膜GF接觸在保護片PF上之后，使玻璃薄膜GF及保護片PF在相互接觸的狀態(tài)下從層疊輥12脫離，然后將層疊了玻璃薄膜GF和保護片PF的層疊薄膜LF通過卷取部4的卷取芯4a卷取為卷狀。當(dāng)用卷取芯4a將層疊了玻璃薄膜GF和保護片PF的層疊薄膜LF卷取為卷狀時，優(yōu)選的是以保護片PF為內(nèi)側(cè)進行卷取。
[0052]層疊輥12的溫度是比保護片PF高的溫度，優(yōu)選的是設(shè)定為40?80°C。該層疊輥12被加熱機構(gòu)14加熱，以使層疊輥12的表面溫度變得比保護片PF的溫度高。由此，能夠使保護片PF升溫，能夠促進保護片PF中含有的水分的蒸發(fā)。加熱機構(gòu)14例如是將溫水等循環(huán)到層疊輥12的內(nèi)部而將該層疊輥12加熱的機構(gòu)。另外，加熱機構(gòu)14在圖中被示意地表不。
[0053]這里，所謂升溫，表示通過外部性的加熱成為比恒常狀態(tài)的保護片PF的溫度高的溫度。處于真空/低壓環(huán)境下的保護片PF在恒常狀態(tài)下也使保護片PF中含有的水分蒸發(fā)。在本發(fā)明中，通過使保護片PF升溫，相比沒有外部性的加熱的恒常狀態(tài)促進水分的蒸發(fā)是重要的。在上述中，作為外部性的溫度而例示了 40?80°C，但并不限定于此，根據(jù)保護片PF的材質(zhì)或真空度而變化，能夠由本領(lǐng)域的技術(shù)人員適當(dāng)設(shè)定。
[0054]這里，對保護片PF的材質(zhì)進行說明。保護片PF優(yōu)選的是如PET、PC (聚碳酸酯)、PES、PI (聚酰亞胺)等的那樣、相比COP等吸水率較少不到0.01%且水蒸氣釋放較少的薄膜吸水率較高為0.2%以上且適度釋放水蒸氣的材料。特別是，因為將水蒸氣從表面迅速地釋放的需要，優(yōu)選的是以100 μπι厚度的換算具有超過10g/m2/天的水蒸氣透過系數(shù)的材料。此外，作為保護片PF也可以使用紙。此外，假設(shè)水分包含在保護片PF中，但也包括吸附在表面上的水分。此外，在本實施例中例示了水分，但在水分以外，只要是保護片PF中含有、通過真空中或減壓下的加溫而蒸發(fā)、真空腔室內(nèi)的污染較少的氣化成分就可以，并不限定于此。
[0055]在這樣的結(jié)構(gòu)中，參照圖2，對用層疊輥12將玻璃薄膜GF重合在保護片PF上而用卷取部4的卷取芯4a卷取時的層疊輥12的表面附近的狀態(tài)進行說明。
[0056]如圖1的A部及圖2 (A)所示，向?qū)盈B輥12首先卷取保護片PF。該保護片PF是從保護片卷13供給的新的保護片PF，是常溫程度的溫度。相對于此，層疊輥12的表面溫度是比該保護片PF的溫度高溫且為40°C?80°C，并且保護片PF的卷取方向的張力比玻璃薄膜GF的張力大。因此，保護片PF緊貼在層疊輥12上，被從作為比保護片PF的溫度高溫的層疊輥12的表面供給熱。
[0057]這樣，如果向保護片PF供給熱，則從是樹脂制且含有水分的保護片PF促進水分的釋放。這樣釋放出的水蒸氣在層疊輥12與保護片PF的間隙及保護片PF的外周側(cè)構(gòu)成熱傳遞層。
[0058]設(shè)定上述角度α (僅保護片PF接觸在層疊輥12上的角度)及角度β (保護片PF及玻璃薄膜GF接觸在層疊輥12上的角度)，以成為充分形成這樣的狀態(tài)的路徑長。
[0059]這里，如圖1所示，角度α及角度β是層疊輥12的旋轉(zhuǎn)中心的周圍的角度。角度α是在層疊輥12上、由連結(jié)開始卷取保護片PF的位置和層疊輥12的旋轉(zhuǎn)中心的線段和連結(jié)開始卷取玻璃薄膜GF的位置與層疊輥12的旋轉(zhuǎn)中心的線段形成的角度。角度β是在層疊輥12上、由連結(jié)開始卷取玻璃薄膜GF的位置與層疊輥12的旋轉(zhuǎn)中心的線段和連結(jié)作為玻璃薄膜GF及保護片PF的層疊體的層疊薄膜LF從層疊輥12脫離的位置與層疊輥12的旋轉(zhuǎn)中心的線段形成的角度。
[0060]接著，如圖1的B部及圖2 (B)所示，在層疊輥12上重疊卷繞玻璃薄膜GF。在此狀態(tài)下，在層疊輥12旋轉(zhuǎn)角度α的期間中，從層疊輥12向保護片PF充分地供給熱，層疊輥12的表面溫度和保護片PF的溫度大致成為相等。另一方面，在該狀態(tài)下，大致成為相等的層疊輥12的表面溫度及保護片PF的溫度比玻璃薄膜GF溫度低。
[0061]這里，當(dāng)高溫的玻璃薄膜GF接觸在保護片PF上時，通過釋放出的氣體(水蒸氣)(相當(dāng)于與真空腔室6內(nèi)的真空狀態(tài)比較)促進玻璃薄膜GF與保護片PF之間的熱傳遞及保護片PF與層疊輥12之間的熱傳遞。因此，高溫的玻璃薄膜GF的溫度被適當(dāng)?shù)乩鋮s。即，在從保護片PF釋放出的氣體積存在玻璃薄膜GF與保護片PF之間及保護片PF與層疊輥12之間的狀態(tài)下，玻璃薄膜GF接觸在保護片PF上，所以從玻璃薄膜GF經(jīng)由保護片PF向?qū)盈B輥12的熱傳遞被活化，將玻璃薄膜GF適當(dāng)?shù)乩鋮s。
[0062]這樣，如果將玻璃薄膜GF重疊在保護片PF上，則釋放到保護片PF的外側(cè)的氣體積存到玻璃薄膜GF與保護片PF之間，促進從這些玻璃薄膜GF與保護片PF之間的熱傳遞。
[0063]玻璃薄膜GF具有的熱被向保護片PF傳遞，但在保護片PF與層疊輥12之間也積存氣體，促進兩者之間的熱傳遞。
[0064]此時，積存在玻璃薄膜GF與保護片PF之間的氣體(壓力Ρ2)由于下方被開放，所以氣體散逸，但積存在保護片PF與層疊輥12之間的氣體(壓力Pl)由于沒有被開放，所以氣體不散逸，成為Ρ1>Ρ2。這樣，作為熱傳遞介質(zhì)的氣壓P不同，所以從保護片PF向?qū)盈B輥12的熱傳遞系數(shù)變得比從玻璃薄膜GF向保護片PF的熱傳遞系數(shù)高。因此，保護片PF不會成為高溫，并且玻璃薄膜GF被適當(dāng)?shù)乩鋮s，所以保護片PF不會接觸到高溫，將保護片PF保護以免受損傷。
[0065]另外，在因為保護片PF的表背面的涂層等的差異而從保護片PF的層疊輥12側(cè)的氣體的釋放相對較多的情況下，在能夠穩(wěn)定地進行溫度控制這一點上是優(yōu)選的。
[0066]接著，參照圖1說明玻璃薄膜輸送裝置100的動作。以下，向玻璃薄膜輸送裝置100運入玻璃卷Rl而向各輥卷繞保護片PF及玻璃薄膜GF這樣的用來使玻璃薄膜輸送裝置100動作的準(zhǔn)備操作的說明省略。
[0067]首先，從安裝在開卷部2的旋轉(zhuǎn)軸2b上的玻璃卷Rl將作為層疊薄膜LF的一方的薄膜的玻璃薄膜GF開卷，向玻璃薄膜輸送部3輸送。此時，通過卷取部2的保護片分離輥9，從玻璃薄膜GF與保護片PF重合的狀態(tài)，從玻璃薄膜GF分離保護片PF，將保護片PF向保護片卷取卷11卷取。與此同時，將玻璃薄膜GF向成膜卷8輸送。
[0068]將向成膜卷8輸送的玻璃薄膜GF通過在卷繞在成膜卷8上的狀態(tài)下實施濺射處理等而進行表面處理。
[0069]將被實施了表面處理的玻璃薄膜GF從成膜卷8向卷取部4的層疊輥12輸送，從層疊輥12向卷取芯4a輸送。通過該層疊輥12，將新的保護片PF和處理后的玻璃薄膜GF重合。此時，層疊輥12的表面溫度被設(shè)定為40°C?80°C，保護片PF的卷取張力被設(shè)定得比玻璃薄膜GF的卷取張力強。較強地緊貼在層疊輥12上的保護片PF被從層疊輥12供給熱，促進從保護片PF的含有水分的釋放(含有水分的水蒸氣化、氣體化)。
[0070]從保護片PF釋放出的氣體積存在玻璃薄膜GF與保護片PF之間，促進這些玻璃薄膜GF與保護片PF之間的熱傳遞，玻璃薄膜GF具有的熱被向保護片PF傳遞。進而，在保護片PF與層疊輥12之間也積存氣體，更大地促進這些保護片PF與層疊輥12之間的熱傳遞，從玻璃薄膜GF傳遞給保護片PF的熱被從保護片PF向?qū)盈B輥12充分地?zé)醾鬟f。結(jié)果，保護片PF不會成為高溫，并且玻璃薄膜GF被適當(dāng)?shù)乩鋮s。結(jié)果，保護片PF不會接觸到高溫，將保護片PF保護以免受損傷。
[0071]在此情況下，在層疊輥12的直徑為10mm以下時，玻璃薄膜GF的彎曲變得過于嚴(yán)重，損壞的可能性變高。此外，為了在層疊輥12處設(shè)置加熱機構(gòu)14，需要Φ100_左右。即使層疊輥12的直徑無用地變大，該玻璃薄膜輸送裝置100也不會無用地變得過大，層疊輥12的直徑超過Φ 300mm并不現(xiàn)實。最優(yōu)選的層疊棍12的直徑的范圍是Φ 125?200mm。在層疊輥12的直徑為Φ 125mm以上的條件下，當(dāng)將保護片PF卷繞在45°的范圍中時，保護片PF與層疊輥12的接觸面的長度成為約50mm以上，在充分熱穩(wěn)定的狀態(tài)下與玻璃薄膜GF接觸。在層疊輥12的直徑為Φ 200mm以下的條件下，在玻璃薄膜輸送裝置100的小型化的觀點是有利的。進而，層疊輥12的直徑較小者在保護片PF與層疊輥12的緊貼狀態(tài)更穩(wěn)定化的觀點也是有利的。
[0072]在將保護片PF卷繞到層疊輥12上而立即重疊玻璃薄膜GF的情況下，成為在保護片PF的起伏沒有充分平息的狀態(tài)下重疊玻璃薄膜GF，玻璃薄膜GF損壞的可能性變高。根據(jù)本申請的
【發(fā)明者】的認(rèn)識，在滿足層疊輥12的直徑的必要條件的層疊輥12上，保護片PF的起伏及褶皺通過45°以上的范圍的卷繞而完全消失。
[0073]特別是，為了防止保護片PF的損傷，保護片PF與層疊輥12的緊貼優(yōu)選的是比玻璃薄膜GF與保護片PF的緊貼強。保護片PF的供給優(yōu)選的是以50N/m以上的卷取張力進行。相反，玻璃薄膜GF的張力優(yōu)選的是相比保護片PF的張力足夠弱。為此，保護片PF的張力優(yōu)選的是比玻璃薄膜GF的張力強。更優(yōu)選的是，保護片PF的張力是玻璃薄膜GF的張力的2倍左右以上。
[0074]在層疊輥12上成為平坦的保護片PF上卷繞玻璃薄膜GF。為了玻璃薄膜GF在與保護片PF穩(wěn)定重疊的狀態(tài)下運出，需要以使角度β為30°以上的卷繞角度進行重疊卷繞。另一方面，如果使角度β為較大超過90°的卷繞角度，則損壞的可能性變高。
[0075]保護片PF和玻璃薄膜GF重合的層疊薄膜LF優(yōu)選的是以保護片PF側(cè)為內(nèi)側(cè)卷取為卷狀。
[0076]特別是，由于層疊輥12的溫度被設(shè)定得比保護片PF的溫度高，所以從保護片PF接觸在層疊輥12上的時點起從保護片PF開始水蒸氣等氣體釋放，促進保護片PF和層疊輥12的熱交換，并且釋放出的氣體使保護片PF與層疊輥12之間的滑動變?nèi)菀?，也促進緊貼。
[0077]如以上這樣，在有關(guān)第I實施方式的玻璃薄膜輸送裝置中，通過促進樹脂制的保護片PF含有的水分的釋放、作為熱傳遞介質(zhì)發(fā)揮功能，保護片PF不會成為高溫，能夠?qū)⒏邷氐牟ＡП∧F適當(dāng)?shù)乩鋮s。如果玻璃薄膜GF不為高溫，則能夠避免保護片PF受到損壞及/或斷裂等的損傷。因此，即使將保護片PF和玻璃薄膜GF重疊卷取，也不會使玻璃薄膜GF損壞。因此，有關(guān)第I實施方式的玻璃薄膜輸送裝置能夠在抑制玻璃薄膜GF的損壞的同時、將玻璃薄膜GF和保護片PF重疊卷取。
[0078]上述玻璃薄膜GF的溫度控制的方法在玻璃薄膜GF在真空中的處理下被冷卻到顯著的低溫那樣的情況下也能夠使用。即，如果玻璃薄膜GF在被冷卻到例如一 100°C那樣的極低溫的狀態(tài)下接觸在保護片PF上，則將保護片PF冷卻，使保護片PF的柔性失去，結(jié)果產(chǎn)生保護片PF的斷裂等的損傷，還有可能引起玻璃薄膜GF的損壞。在這樣的情況下，也通過采用上述第I實施方式的結(jié)構(gòu)，如果接觸在層疊卷上而接觸在被加熱的保護片PF上，則玻璃薄膜GF能夠經(jīng)由水蒸氣同樣被加熱而成為適合于卷取的溫度，能夠在抑制保護片PF和玻璃薄膜的損壞的同時重疊卷取。
[0079][第2實施方式]
以下，對有關(guān)本發(fā)明的第2實施方式的玻璃薄膜輸送裝置200進行說明。另外，在有關(guān)第2實施方式的玻璃薄膜輸送裝置200中，對于與有關(guān)上述第I實施方式的玻璃薄膜輸送裝置100相同的結(jié)構(gòu)賦予相同的附圖標(biāo)記。它們的功能也相同。因此，在這里不重復(fù)關(guān)于它們的詳細的說明。
[0080]在上述玻璃薄膜輸送裝置100中，由于使用玻璃卷R1，所述玻璃卷Rl是用開卷部2的開卷芯2a將玻璃薄膜GF和保護片PF —起卷取為卷狀而成的，所以卷取部2具備保護片分離輥9及保護片卷取卷11。
[0081]在圖3中表示有關(guān)第2實施方式的玻璃薄膜輸送裝置200的結(jié)構(gòu)的概略圖。在該玻璃薄膜輸送裝置200中，玻璃卷R3安裝在開卷部2的旋轉(zhuǎn)軸2b上，所述玻璃卷R3是僅將沒有被卷取保護片PF的玻璃薄膜GF卷取為卷狀而成的。因此，如圖3所示，玻璃薄膜輸送裝置200不具備保護片分離輥9及保護片卷取卷11。但是，為了確保成膜卷8上的玻璃薄膜GF的接觸角度，在保護片分離輥9的位置設(shè)有與保護片分離輥9同樣的輥29。
[0082]該玻璃薄膜輸送裝置200的其以外的結(jié)構(gòu)與玻璃薄膜輸送裝置100的結(jié)構(gòu)相同。
[0083]在有關(guān)第2實施方式的玻璃薄膜輸送裝置200中，與有關(guān)第I實施方式的玻璃薄膜輸送裝置100同樣，即使安裝在開卷部2的旋轉(zhuǎn)軸2b上的玻璃卷R3是僅有玻璃薄膜GF的卷，也能夠在抑制玻璃薄膜GF的損壞的同時、將玻璃薄膜GF和保護片PF重疊卷取。
[0084]特別是，第2實施方式優(yōu)選的是應(yīng)用到下述結(jié)構(gòu)中:玻璃薄膜GF以在其寬度方向的兩端部(即，在圖2的紙面垂直方向上離開間隔的兩端部)上帶有保護帶材(稱作所謂的邊緣片)的形式成為玻璃卷R3。在此情況下，從玻璃薄膜GF的溫度控制及卷取的觀點，優(yōu)選的是保護片PF的寬度是與玻璃薄膜GF的保護帶材之間的區(qū)域的寬度相同或稍窄的程度，并且保護片PF的厚度比保護帶材的厚度厚。
[0085][第3實施方式]
以下，對有關(guān)本發(fā)明的第3實施方式的玻璃薄膜輸送裝置300進行說明。另外，在有關(guān)第3實施方式的玻璃薄膜輸送裝置300中，對與有關(guān)上述第I實施方式的玻璃薄膜輸送裝置100相同的結(jié)構(gòu)賦予相同的附圖標(biāo)記。它們的功能也相同。因此，在這里不重復(fù)關(guān)于它們的詳細的說明。
[0086]在圖4中表示有關(guān)第3實施方式的玻璃薄膜輸送裝置300的結(jié)構(gòu)的概略圖。在該玻璃薄膜輸送裝置300中，將由開卷部2的開卷芯2a從玻璃薄膜GF脫離的保護片PF用卷取部4再利用。因此，如圖4所示，在該玻璃薄膜輸送裝置300中具備保護片輸送部34。此夕卜，在該玻璃薄膜輸送裝置300中，為了確保成膜卷8上的玻璃薄膜GF的接觸角度而設(shè)有第I導(dǎo)引輥35。進而，為了層疊輥12滿足上述角度α及角度β，第2導(dǎo)引輥37設(shè)在希望的位置并且設(shè)定了卷取部4的卷取芯4a及層疊輥12的位置。
[0087]該玻璃薄膜輸送裝置300中的卷取部4的卷取芯4a、旋轉(zhuǎn)軸4b及層疊輥12分別具備與上述玻璃薄膜輸送裝置100中的卷取部4的卷取芯4a、旋轉(zhuǎn)軸4b及層疊輥12相同的結(jié)構(gòu)。因此，該玻璃薄膜輸送裝置300中的層疊輥12滿足玻璃薄膜輸送裝置100中的層疊輥12的溫度條件、角度條件及輥徑條件的全部。特別是，為了保護片輸送部34與包括卷取部4的卷取芯4a的玻璃卷R2不干涉且滿足角度α多45°，設(shè)有第2導(dǎo)引輥37。
[0088]玻璃薄膜輸送裝置300具備保護片輸送部34，所述保護片輸送部34將從由開卷部2開卷的玻璃薄膜GF分離的保護片PF運出并朝向卷取部4的卷取芯4a將保護片PF運入。
[0089]如圖4所示，保護片輸送部34具有配置在開卷部2的上方的第I保護片輥31及配置在卷取部4的上方的第2保護片輥32。
[0090]第I保護片輥31及第2保護片輥32是具有與第I導(dǎo)引輥35大致同樣的結(jié)構(gòu)的圓筒狀或圓柱狀的輥，在第3實施方式中，第I保護片輥31及第2保護片輥32的外徑比第I導(dǎo)引輥35的外徑稍小。這樣的第I保護片輥31及第2保護片輥32分別以這些輥31、32的旋轉(zhuǎn)軸與開卷芯2a及卷取芯4a的旋轉(zhuǎn)軸2b、4b大致平行的方式，配置在開卷部2的開卷芯2a或卷取部4的卷取芯4a的正上方附近。
[0091]在濺射成膜部7中被實施了表面處理的玻璃薄膜GF被向卷取部4輸送。具體而言，將玻璃薄膜GF從成膜卷8經(jīng)由層疊輥12向卷取芯4a輸送。
[0092]與該玻璃薄膜GF的輸送同時，將保護片PF向保護片輸送部34輸送，從第I保護片輥31經(jīng)過第2保護片輥32經(jīng)由第2導(dǎo)引輥37向?qū)盈B輥12輸送。
[0093]如圖4所示，將經(jīng)過了第2保護片輥32的保護片PF向?qū)盈B輥12卷繞。在層疊輥12處，在卷繞保護片PF后與第I實施方式同樣旋轉(zhuǎn)45°以上的角度α后，將從成膜卷8輸送的玻璃薄膜GF向先卷繞的保護片PF上卷取。并且，將玻璃薄膜GF和保護片PF重合的層疊薄膜LF旋轉(zhuǎn)角度β (30° < β <90° )。然后，將層疊薄膜LF向卷取芯4a輸送，通過卷繞到卷取芯4a上而形成玻璃卷R2。
[0094]這樣，在該玻璃薄膜輸送裝置300中，也除了上述玻璃薄膜輸送裝置100和將保護片PF再利用的點以外，通過由層疊輥12將保護片PF升溫，促進保護片PF中含有的水分的釋放(含有水分的水蒸氣化、氣化)。
[0095]另外，在該玻璃薄膜輸送裝置300中，由于將保護片PF再利用，所以有保護片PF中含有的水分難以作為水蒸氣(氣體)釋放的情況。在此情況下，只要調(diào)整第2導(dǎo)引輥37等的位置而將角度α及/或角度β在上述角度范圍內(nèi)變更、促進希望的水分從保護片PF作為水蒸氣(氣體)釋放就可以。此外，可以將層疊輥12的溫度設(shè)定得更高，促進從保護片PF的水分的釋放。
[0096]如以上這樣，根據(jù)有關(guān)第3實施方式的玻璃薄膜GF輸送裝置，能夠在抑制玻璃薄膜GF的損壞的同時、將玻璃薄膜GF和保護片PF重疊卷取。
[0097][變形例]
以下，對有關(guān)本發(fā)明的變形例的玻璃薄膜輸送裝置進行說明。該變形例能夠應(yīng)用到上述第I實施方式?第3實施方式中。
[0098]在本變形例中，使保護片升溫而促進含有水分的蒸發(fā)、將蒸發(fā)的氣體作為熱傳遞介質(zhì)這一點與上述實施方式相同。在上述實施方式中，為了使保護片升溫而控制層疊輥的溫度，設(shè)定為比保護片的溫度高的40°C?80°C，但本發(fā)明并不限定于此。在本變形例中，不是用溫度調(diào)整后的層疊輥使保護片升溫而是用玻璃薄膜自身使其升溫這一點不同。因此，層疊輥的溫度不需要積極地升溫，也可以是比室溫(或常溫)低溫20°C左右。
[0099]S卩，在與保護片接觸時的玻璃薄膜的溫度是高溫的情況下，不是用層疊輥使保護片升溫，而是來自高溫的玻璃薄膜的熱被施加給保護片，保護片的溫度上升。由此，促進保護片中含有的水分作為水蒸氣(氣體)釋放的狀況，積存在玻璃薄膜與保護片之間及保護片與層疊輥之間，能夠促進它們之間的熱傳遞。另外，層疊輥的溫度也可以為比保護片低的溫度，只要滿足溫度條件以外的角度條件及層疊輥徑條件就可以。
[0100]如以上這樣，根據(jù)有關(guān)本發(fā)明的變形例的玻璃薄膜輸送裝置，由于不是用層疊輥使保護片升溫，而是用高溫的玻璃薄膜使其升溫，所以能夠不控制層疊輥的溫度，而在抑制玻璃薄膜的損壞的同時、將玻璃薄膜和保護片重疊卷取。
[0101]另外，在上述具體的實施方式中，主要包括具有以下的結(jié)構(gòu)的發(fā)明。
[0102]有關(guān)本發(fā)明的玻璃薄膜輸送裝置在真空中或減壓下將長尺寸的玻璃薄膜連續(xù)地輸送。該裝置具備:開卷部，從卷繞有上述玻璃薄膜的卷將該玻璃薄膜開卷；玻璃薄膜輸送部，將由上述開卷部開卷后的上述玻璃薄膜輸送；和卷取部，在由上述玻璃薄膜輸送部輸送的上述玻璃薄膜上層疊保護片并卷取為卷狀，所述保護片具有與上述玻璃薄膜大致同寬且長尺寸的形狀，并含有氣化成分。上述卷取部將上述保護片升溫，由此使上述氣化成分氣化。
[0103]優(yōu)選的是可以構(gòu)成為，上述卷取部具備:層疊輥，使上述玻璃薄膜和上述保護片層疊；和加熱機構(gòu)，將上述層疊輥加熱，以使上述層疊輥的表面溫度成為比上述保護片的溫度高的溫度。
[0104]更優(yōu)選的是可以構(gòu)成為，上述卷取部具備層疊輥，所述層疊輥使上述玻璃薄膜和上述保護片層疊；上述卷取部通過在上述層疊輥處使比上述保護片高溫的上述玻璃薄膜抵接在上述保護片上，將上述保護片升溫。
[0105]更優(yōu)選的是可以構(gòu)成為，上述卷取部具備層疊輥，所述層疊輥使上述玻璃薄膜和上述保護片層疊；在上述層疊輥處，對上述保護片賦予的輸送方向的張力比對上述玻璃薄膜賦予的輸送方向的張力大。
[0106]更優(yōu)選的是可以構(gòu)成為，上述卷取部具備層疊輥，所述層疊輥使上述玻璃薄膜和上述保護片層疊；在上述層疊輥上的從開始卷取上述保護片的位置起為45度以上的旋轉(zhuǎn)范圍中，將上述玻璃薄膜層疊在上述保護片上。
[0107]更優(yōu)選的是，上述開卷部可以構(gòu)成為，從上述卷將上述保護片分離而將上述玻璃薄膜開卷，所述卷是將上述玻璃薄膜以與保護片層疊的狀態(tài)卷繞而成的，所述保護片為與該玻璃薄膜大致同寬且長尺寸。
[0108]更優(yōu)選的是可以為，上述玻璃薄膜輸送部將從上述開卷部開卷并從上述保護片分離的上述玻璃薄膜輸送；上述卷取部構(gòu)成為，在由上述玻璃薄膜輸送部輸送來的上述玻璃薄膜上層疊上述保護片并卷取為卷狀，所述保護片在上述開卷部處被從上述玻璃薄膜分離并輸送到上述卷取部。
[0109]更優(yōu)選的是，上述氣化成分也可以含有水分。
[0110]附圖標(biāo)記說明
100、200、300玻璃薄膜輸送裝置 2卷取部
3玻璃薄膜輸送部 4卷取部 6真空腔室 7濺射成膜部 8成膜卷 9保護片分離輥 11保護片卷取卷 12層疊棍 13保護片卷 14加熱機構(gòu) GF玻璃薄膜 LF層疊薄膜 PF保護片 R1、R2、R3玻璃卷 T靶。
【權(quán)利要求】
1.一種玻璃薄膜輸送裝置，在真空中或減壓下將長尺寸的玻璃薄膜連續(xù)地輸送，其特征在于， 具備: 開卷部，從卷繞有上述玻璃薄膜的卷將該玻璃薄膜開卷； 玻璃薄膜輸送部，將由上述開卷部開卷后的上述玻璃薄膜輸送；和卷取部，在由上述玻璃薄膜輸送部輸送的上述玻璃薄膜上層疊保護片并卷取為卷狀，所述保護片具有與上述玻璃薄膜大致同寬且長尺寸的形狀，并含有氣化成分； 上述卷取部將上述保護片升溫，由此使上述氣化成分氣化。
2.如權(quán)利要求1所述的玻璃薄膜輸送裝置，其特征在于， 上述卷取部具備: 層疊輥，使上述玻璃薄膜和上述保護片層疊；和 加熱機構(gòu)，將上述層疊輥加熱，以使上述層疊輥的表面溫度成為比上述保護片的溫度高的溫度。
3.如權(quán)利要求1所述的玻璃薄膜輸送裝置，其特征在于， 上述卷取部具備層疊輥，所述層疊輥使上述玻璃薄膜和上述保護片層疊； 上述卷取部通過在上述層疊輥處使比上述保護片高溫的上述玻璃薄膜抵接在上述保護片上，將上述保護片升溫。
4.如權(quán)利要求1所述的玻璃薄膜輸送裝置，其特征在于， 上述卷取部具備層疊輥，所述層疊輥使上述玻璃薄膜和上述保護片層疊； 在上述層疊輥處，對上述保護片賦予的輸送方向的張力比對上述玻璃薄膜賦予的輸送方向的張力大。
5.如權(quán)利要求1所述的玻璃薄膜輸送裝置，其特征在于， 上述卷取部具備層疊輥，所述層疊輥使上述玻璃薄膜和上述保護片層疊； 在上述層疊輥上的從開始卷取上述保護片的位置起為45度以上的旋轉(zhuǎn)范圍中，將上述玻璃薄膜層疊在上述保護片上。
6.如權(quán)利要求1所述的玻璃薄膜輸送裝置，其特征在于， 上述開卷部構(gòu)成為，從上述卷將上述保護片分離而將上述玻璃薄膜開卷，所述卷是將上述玻璃薄膜以與保護片層疊的狀態(tài)卷繞而成的，所述保護片為與該玻璃薄膜大致同寬且長尺寸。
7.如權(quán)利要求6所述的玻璃薄膜輸送裝置，其特征在于， 上述玻璃薄膜輸送部將從上述開卷部開卷并從上述保護片分離的上述玻璃薄膜輸送； 上述卷取部構(gòu)成為，在由上述玻璃薄膜輸送部輸送來的上述玻璃薄膜上層疊上述保護片并卷取為卷狀，所述保護片在上述開卷部處被從上述玻璃薄膜分離并輸送到上述卷取部。
8.如權(quán)利要求1所述的玻璃薄膜輸送裝置，其特征在于， 上述氣化成分含有水分。
【文檔編號】B65H41/00GK104507839SQ201380041892
【公開日】2015年4月8日 申請日期:2013年7月22日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月7日
【發(fā)明者】玉垣浩 申請人:株式會社神戶制鋼所