輸送系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種輸送系統(tǒng)。該輸送系統(tǒng)(100)具備：收納架(20)，設(shè)置于半導(dǎo)體制造裝置(60)、(62)的附近，收納架(20)收納被輸送物(10)；堆垛起重機(jī)(30)，在收納架(20)中進(jìn)行被輸送物(10)的搬入以及搬出；運(yùn)載裝置(40)，輸送被輸送物(10)；ID標(biāo)簽閱讀器(R)，設(shè)置于堆垛起重機(jī)(30)，ID標(biāo)簽閱讀器(R)讀取被輸送物(10)的ID標(biāo)簽(T)；以及控制器(50)，在通過(guò)IT標(biāo)簽閱讀器(R)獲取的識(shí)別信息和被輸送物(10)的輸送指令所包含的信息一致的情況下，以將被輸送物(10)輸送至輸送指令中的輸送目的地的方式來(lái)控制堆垛起重機(jī)(30)，收納架(20)的至少一部分能夠通過(guò)運(yùn)載裝置(40)的夾具(44)進(jìn)行被輸送物(10)的取放。
【專利說(shuō)明】輸送系統(tǒng)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及輸送系統(tǒng)。

【背景技術(shù)】
[0002]作為以往的輸送系統(tǒng)，例如已知有專利文獻(xiàn)I所記載的輸送系統(tǒng)。在專利文獻(xiàn)I所記載的輸送系統(tǒng)中，具備:輸送車，輸送安裝有ID標(biāo)簽的盒，并且在輸送車上搭載有識(shí)別ID標(biāo)簽的ID閱讀器；以及載置盒的工位，通過(guò)安裝于盒的ID標(biāo)簽來(lái)管理盒的輸送。
[0003]專利文獻(xiàn)1:日本特開(kāi)2002 - 179203號(hào)公報(bào)
[0004]從輸送的準(zhǔn)確性以及效率的觀點(diǎn)來(lái)看，如在上述專利文獻(xiàn)I中記載的輸送系統(tǒng)那樣，通過(guò)ID標(biāo)簽來(lái)管理盒是有效的。這里，近年，在半導(dǎo)體器件的制造中處理的高速化被不斷推進(jìn)，要求半導(dǎo)體制造裝置中的生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間的縮短，但與此同時(shí)也要求工序間的半導(dǎo)體晶片的輸送時(shí)間的進(jìn)一步的改善。并且，隨著近年的半導(dǎo)體晶片的大型化，作為收納晶片的容器的FOUP (Front Opening Unified Pod (前開(kāi)式晶圓盒)，盒)也大型化。因此,在半導(dǎo)體制造工廠中，比以往更需要收納FOUP的空間，但在有限的空間內(nèi)確保收納FOUP的空間并不容易。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的在于提供一種能夠確保被輸送物的收納空間，并能夠準(zhǔn)確且高效地輸送被輸送物的輸送系統(tǒng)。
[0006]本發(fā)明的一個(gè)側(cè)面所涉及的輸送系統(tǒng)是輸送附有能夠唯一地識(shí)別的識(shí)別信息的被輸送物的輸送系統(tǒng)，具備:收納架，設(shè)置于半導(dǎo)體制造裝置的附近，收納架收納被輸送物；堆垛起重機(jī)，向收納架搬入被輸送物，并且從收納架搬出被輸送物；頂棚輸送車，沿設(shè)置于頂棚部的軌道行駛，并使把持被輸送物的夾具升降來(lái)輸送被輸送物；識(shí)別信息獲取單元，設(shè)置于堆垛起重機(jī)，識(shí)別信息獲取單元獲取附于被輸送物的識(shí)別信息；以及控制單元，在通過(guò)識(shí)別信息獲取單元獲取的識(shí)別信息和被輸送物的輸送指令所包含的識(shí)別信息一致的情況下，以將被輸送物輸送至輸送指令中的輸送目的地的方式來(lái)控制堆垛起重機(jī)，收納架的至少一部分能夠進(jìn)行通過(guò)頂棚輸送車的夾具進(jìn)行的被輸送物的取放。
[0007]在該輸送系統(tǒng)中，在半導(dǎo)體制造裝置的附近設(shè)置有收納被輸送物的收納架。由此，能夠確保收納被輸送物的空間。并且，由于在輸送系統(tǒng)中，將收納架配置于半導(dǎo)體制造裝置的附近，所以能夠迅速地進(jìn)行在收納架和裝載端口之間的被輸送物的移載。另外，在輸送系統(tǒng)中，收納架的至少一部分能夠進(jìn)行通過(guò)頂棚輸送車的夾具進(jìn)行的被輸送物的取放。像這樣，在輸送系統(tǒng)中，通過(guò)成為頂棚輸送車能夠向收納架存取的結(jié)構(gòu)，能夠使收納架作為用于在堆垛起重機(jī)和頂棚輸送車之間交換被輸送物的端口發(fā)揮作用。由此，在輸送系統(tǒng)中，能夠高效地實(shí)施被輸送物的輸送。并且，在輸送系統(tǒng)中，在附于被輸送物的識(shí)別信息和輸送指令所包含的識(shí)別信息一致的情況下，以將被輸送物輸送至輸送指令中的輸送目的地的方式來(lái)控制堆垛起重機(jī)。由此，在輸送系統(tǒng)中，能夠?qū)⒈惠斔臀餃?zhǔn)確地輸送至特定的輸送目的地。如上所述，在輸送系統(tǒng)中，能夠確保被輸送物的收納空間，并能夠準(zhǔn)確且高效地輸送被輸送物。
[0008]在一實(shí)施方式中，在半導(dǎo)體制造裝置的裝載端口中，也可以進(jìn)行通過(guò)堆垛起重機(jī)以及頂棚輸送車進(jìn)行的被輸送物的搬入以及搬出。由此，在輸送系統(tǒng)中，能夠通過(guò)頂棚輸送車直接地向裝載端口搬入以及搬出被輸送物。因此，在輸送系統(tǒng)中，實(shí)現(xiàn)了為了將被輸送物交接給堆垛起重機(jī)而臨時(shí)保管被輸送物的時(shí)間的縮短，并且，也能夠縮短通過(guò)堆垛起重機(jī)進(jìn)行移載的時(shí)間，所以能夠迅速地輸送被輸送物。另外，在輸送系統(tǒng)中，也能夠?qū)崿F(xiàn)被輸送物的移載的自由度的提高。因此，在輸送系統(tǒng)中，能夠?qū)崿F(xiàn)被輸送物的輸送效率的進(jìn)一步的提聞。
[0009]根據(jù)本發(fā)明，能夠確保被輸送物的收納空間，并能夠準(zhǔn)確且高效地輸送被輸送物。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1是從上方觀察一實(shí)施方式所涉及的輸送系統(tǒng)的圖。
[0011]圖2是表示圖1所示的輸送系統(tǒng)的立體圖。
[0012]圖3是表示輸送系統(tǒng)的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的框圖。
[0013]圖4是表示輸送系統(tǒng)的動(dòng)作的流程圖。

【具體實(shí)施方式】
[0014]以下，參照附圖對(duì)優(yōu)選的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)予說(shuō)明，在附圖的說(shuō)明中，對(duì)相同或者相應(yīng)部件標(biāo)注相同符號(hào)，并省略重復(fù)的說(shuō)明。
[0015]圖1是從上方觀察一實(shí)施方式所涉及的輸送系統(tǒng)的圖。圖2是表示圖1所示的輸送系統(tǒng)的立體圖。圖3是表示輸送系統(tǒng)的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的框圖。
[0016]圖1?圖3所示的輸送系統(tǒng)100設(shè)置于用于制造半導(dǎo)體器件的無(wú)塵室。輸送系統(tǒng)100具備收納被輸送物10的收納架20、堆垛起重機(jī)30、運(yùn)載裝置(頂棚輸送車)40以及控制器(控制單元)50。在無(wú)塵室配置有半導(dǎo)體制造裝置60、62。在半導(dǎo)體制造裝置60、62分別設(shè)置有用于向該半導(dǎo)體制造裝置60、62搬入以及搬出被輸送物10的裝載端口 64、66。
[0017]另外，輸送系統(tǒng)100 具備 MES (Manufacturing Execut1n System:制造執(zhí)行系統(tǒng))110和MCS(Material Control System:物料控制系統(tǒng))120。MCSllO是基于半導(dǎo)體制造時(shí)間表(Schedule)來(lái)制作被輸送物10的輸送時(shí)間表,并基于該輸送時(shí)間表向連接了堆垛起重機(jī)30以及運(yùn)載裝置40的控制器50發(fā)出輸送指令來(lái)進(jìn)行指示的輸送指示裝置。如圖3所示，MCSllO設(shè)置于控制器50等工序間輸送設(shè)備和MES120之間，MCSllO是具有將來(lái)自MES120的各種指示適時(shí)地傳遞至控制器50，并匯總來(lái)自該控制器50的報(bào)告且傳遞至MES120的功能的系統(tǒng)。此外，MES120是總括工廠現(xiàn)場(chǎng)中的各種信息并進(jìn)行管理的統(tǒng)一生產(chǎn)信息系統(tǒng)，MES120進(jìn)行MCSllO以及半導(dǎo)體制造裝置60、62的信息管理。
[0018]被輸送物10是收容了多個(gè)半導(dǎo)體晶片的盒(所謂的FOUP (Front Opening UnifiedPod))。在被輸送物10的上表面1a設(shè)置有被下述的運(yùn)載裝置40的夾具44保持的凸緣部1b0另外，在被輸送物10的側(cè)面(后表面)10c安裝有用于取放半導(dǎo)體晶片的可拆裝的蓋(未圖示)。
[0019]在被輸送物10上附有能夠唯一地識(shí)別的識(shí)別信息。在本實(shí)施方式中，在被輸送物10上安裝有附有識(shí)別信息的ID標(biāo)簽T。ID標(biāo)簽T配置于被輸送物10的前表面1d (與安裝有蓋的側(cè)面1c相反一側(cè)的面)。應(yīng)予說(shuō)明，附在被輸送物10上的識(shí)別信息不僅可以是ID標(biāo)簽T，例如也可以是條形碼等。
[0020]收納架20是臨時(shí)收納被輸送物10的架。收納架20配置于半導(dǎo)體制造裝置60、62的附近。在本實(shí)施方式中，將收納架20以?shī)A住半導(dǎo)體制造裝置60、62的裝載端口 64、66的方式進(jìn)行配置。在收納架20的高度方向上設(shè)置有多列(這里為3列)載置被輸送物10的載置部22。在載置部22設(shè)置有從載置部22的上表面向上方突出的銷24。銷24與設(shè)置于被輸送物10的底面的定位孔(未圖示)卡合。通過(guò)該銷24在收納架20中定位被輸送物10。此外，在載置部22設(shè)置有在被輸送物10的底面的下方插入堆垛起重機(jī)30的移載臂39c (下述)的間隙。
[0021]收納架20的上部開(kāi)放。即，收納架20的至少一部分能夠進(jìn)行通過(guò)運(yùn)載裝置40的夾具44進(jìn)行的被輸送物10的取放。在收納架20中，將被輸送物10以被輸送物10的前表面1d朝向堆垛起重機(jī)30側(cè)的方式進(jìn)行載置。由此，將被輸送物10以安裝于被輸送物10的前表面1d的ID標(biāo)簽T朝向堆垛起重機(jī)30側(cè)的方式配置于載置部22。根據(jù)半導(dǎo)體制造裝置60、62的設(shè)置位置、臺(tái)數(shù)、無(wú)塵室的構(gòu)造來(lái)適當(dāng)?shù)卦O(shè)定收納架20的設(shè)置數(shù)量、設(shè)置位置。并且，收納架20可以懸吊在頂棚上，也可以借助支承部件等固定在地板上。
[0022]堆垛起重機(jī)30通過(guò)包括在無(wú)塵室內(nèi)沿導(dǎo)軌Rl移動(dòng)的行駛臺(tái)車32、豎立設(shè)置于該行駛臺(tái)車32的兩個(gè)支柱裝置34、以能夠相對(duì)于支柱裝置34在上下方向上移動(dòng)的方式設(shè)置的升降臺(tái)36、設(shè)置在升降臺(tái)36上的移載裝置38以及ID標(biāo)簽閱讀器(識(shí)別信息獲取單元，參照?qǐng)D1)R而構(gòu)成。另外，雖未圖示，但堆垛起重機(jī)30具備設(shè)置在升降臺(tái)36上的回轉(zhuǎn)臺(tái)等。
[0023]堆垛起重機(jī)30沿在無(wú)塵室內(nèi)敷設(shè)的導(dǎo)軌Rl直線移動(dòng)。將導(dǎo)軌Rl沿與半導(dǎo)體制造裝置60、62的對(duì)置方向正交的方向敷設(shè)在對(duì)置配置的半導(dǎo)體制造裝置60、62之間。SP，將堆垛起重機(jī)30以能夠沿與半導(dǎo)體制造裝置60、62的對(duì)置方向大致正交的方向移動(dòng)的方式進(jìn)行設(shè)置。應(yīng)予說(shuō)明，這里所說(shuō)的對(duì)置無(wú)需半導(dǎo)體制造裝置60、62完全地相向，半導(dǎo)體制造裝置60、62是間隔規(guī)定的間隔配置的狀態(tài)即可。
[0024]移載裝置38具有SCARA臂39。SCARA臂39由基端側(cè)臂39a、前端側(cè)臂39b以及移載臂39c構(gòu)成。移載臂39c的上表面構(gòu)成載置被輸送物10的載置面。SCARA臂39的移載臂39c在與行駛臺(tái)車32的移動(dòng)方向正交的方向(取放被輸送物10的方向)上直線移動(dòng)。
[0025]ID標(biāo)簽閱讀器R是讀取被輸送物10的ID標(biāo)簽T并獲取識(shí)別信息的單元。ID標(biāo)簽閱讀器R例如設(shè)置于移載裝置38，ID標(biāo)簽閱讀器R在輸送收納于收納架20的被輸送物10之前(向裝載端口移載之前)讀取安裝于被輸送物10的ID標(biāo)簽T并獲取識(shí)別信息。ID標(biāo)簽閱讀器R將獲取的識(shí)別信息輸出至控制器50。應(yīng)予說(shuō)明，若ID標(biāo)簽閱讀器R的安裝位置是能夠讀取被輸送物10的ID標(biāo)簽T的位置，則不對(duì)ID標(biāo)簽閱讀器R的安裝位置進(jìn)行特別限定。
[0026]堆垛起重機(jī)30按照如下方式動(dòng)作。即，堆垛起重機(jī)30停止在規(guī)定的收納架20前，并通過(guò)移載臂39c取出收納于收納架20的規(guī)定的被輸送物10。接下來(lái)，堆垛起重機(jī)30通過(guò)行駛臺(tái)車32沿導(dǎo)軌Rl移動(dòng)，例如向半導(dǎo)體制造裝置60的裝載端口 64移載被輸送物10。另外，堆垛起重機(jī)30例如停止在半導(dǎo)體制造裝置62的裝載端口 66之前，并通過(guò)移載臂39c搬出載置于裝載端口 66的被輸送物10。接下來(lái)，堆垛起重機(jī)30通過(guò)行駛臺(tái)車32沿導(dǎo)軌Rl移動(dòng)至輸送目的地(例如收納架20)并移載被輸送物10。
[0027]另外，將堆垛起重機(jī)30以能夠通過(guò)回轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)的方式進(jìn)行設(shè)置。因此，堆垛起重機(jī)30通過(guò)利用回轉(zhuǎn)臺(tái)適當(dāng)?shù)馗淖兎较?，?lái)使SCARA臂39朝向半導(dǎo)體制造裝置60側(cè)以及半導(dǎo)體制造裝置62側(cè)的任意一方側(cè)移動(dòng)。由此，堆垛起重機(jī)30分別針對(duì)對(duì)置配置的半導(dǎo)體制造裝置60、62的裝載端口 64、66進(jìn)行被輸送物10的搬入以及搬出。通過(guò)控制器50對(duì)這樣的通過(guò)堆垛起重機(jī)30進(jìn)行的被輸送物10的輸送動(dòng)作進(jìn)行控制。
[0028]應(yīng)予說(shuō)明，在圖1中僅圖示一臺(tái)堆垛起重機(jī)30，但可以在導(dǎo)軌Rl上設(shè)置一臺(tái)堆垛起重機(jī)30，也可以在導(dǎo)軌Rl上設(shè)置多臺(tái)堆垛起重機(jī)30。
[0029]運(yùn)載裝置40是OHT (Overhead Hoist Transport:高架提升傳輸)，運(yùn)載裝置40沿懸吊在頂棚部上的行駛導(dǎo)軌(軌道)R2來(lái)輸送被輸送物10。行駛導(dǎo)軌R2設(shè)置于無(wú)塵室的頂棚，并配置在半導(dǎo)體制造裝置60、62的裝載端口 64、66的上方。
[0030]運(yùn)載裝置40具有夾具44。夾具44通過(guò)把持凸緣部1b來(lái)保持被輸送物10。夾具44通過(guò)利用升降部(未圖示)同步地抽出多根帶46來(lái)從規(guī)定的位置下降。另外，夾具44通過(guò)利用升降部同步地卷繞多根帶46來(lái)上升至規(guī)定的位置。
[0031]運(yùn)載裝置40按照如下方式動(dòng)作。即，運(yùn)載裝置40從輸送源(例如被輸送物的儲(chǔ)料器)輸送被輸送物10，并例如停止在半導(dǎo)體制造裝置60的裝載端口 64的上方，且使輸送來(lái)的被輸送物10下降而將被輸送物10載置在裝載端口 64上。另外，運(yùn)載裝置40從輸送源輸送被輸送物10，并停止在規(guī)定的收納架20的上方，且使輸送來(lái)的被輸送物10下降而將被輸送物10載置在收納架20的規(guī)定的位置。
[0032]另外，運(yùn)載裝置40例如停止在半導(dǎo)體制造裝置62的裝載端口 66的上方，并利用夾具44把持載置于該裝載端口 66的被輸送物10,且在保持了被輸送物10的狀態(tài)下使被輸送物10上升來(lái)將被輸送物10輸送至規(guī)定的輸送目的地。另外，運(yùn)載裝置40例如停止在收納架20的上方，并利用夾具44把持收納于該收納架20的被輸送物10，且在保持了被輸送物10的狀態(tài)下使被輸送物10上升來(lái)將被輸送物10輸送至規(guī)定的輸送目的地。
[0033]控制器50控制堆垛起重機(jī)30以及運(yùn)載裝置40?？刂破?0能夠與設(shè)置于堆垛起重機(jī)30的ID標(biāo)簽閱讀器R進(jìn)行通信。控制器50接受從堆垛起重機(jī)30的ID標(biāo)簽閱讀器R輸出的識(shí)別信息和從MCSllO輸出的輸送指令，并判斷從ID標(biāo)簽閱讀器R輸出的識(shí)別信息和輸送指令所包含的識(shí)別信息是否一致。輸送指令至少包含確定為被輸送物10的識(shí)別信息和表不該被輸送物10的輸送目的地的輸送目的地信息。
[0034]控制器50在被輸送物10的識(shí)別信息和輸送指令的識(shí)別信息一致的情況下，以將被輸送物10輸送至輸送指令所包含的輸送目的地信息所表不的輸送目的地的方式來(lái)控制堆垛起重機(jī)30。由此，堆垛起重機(jī)30根據(jù)輸送指令將被輸送物10移載至規(guī)定的輸送目的地。另外，控制器50在被輸送物10的識(shí)別信息和輸送指令的識(shí)別信息不一致的情況下，以將被輸送物10輸送至與輸送指令中的輸送目的地不同的地方(例如臨時(shí)保管被輸送物10的架)的方式來(lái)控制堆垛起重機(jī)30。
[0035]接下來(lái)，參照?qǐng)D4對(duì)輸送系統(tǒng)100的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。圖4是表示輸送系統(tǒng)的動(dòng)作的流程圖。應(yīng)予說(shuō)明，以下將收納于收納架10的被輸送物10輸送至半導(dǎo)體制造裝置60的裝載端口 64作為一個(gè)例子進(jìn)行說(shuō)明。
[0036]如圖4所示，根據(jù)基于輸送指令的控制器50的控制，堆垛起重機(jī)30移動(dòng)至收納架20的規(guī)定的被輸送物10前(步驟S01)。接下來(lái)，通過(guò)堆垛起重機(jī)30的移載裝置38的移載臂39c從收納架20取出被輸送物10 (步驟S02)。此時(shí)，通過(guò)ID標(biāo)簽閱讀器R讀取被輸送物10的ID標(biāo)簽T (步驟S03)。
[0037]接下來(lái)，控制器50判斷通過(guò)ID標(biāo)簽閱讀器R讀取的ID標(biāo)簽T的識(shí)別信息和輸送指令所包含的識(shí)別信息是否一致(步驟S04)。在判斷為ID標(biāo)簽T的識(shí)別信息和輸送指令所包含的識(shí)別信息一致的情況下，通過(guò)控制器50的控制，堆垛起重機(jī)30將被輸送物10輸送至裝載端口 64 (步驟S05)。另一方面，在判斷為ID標(biāo)簽T的識(shí)別信息和輸送指令所包含的識(shí)別信息不一致的情況下，通過(guò)控制器50的控制，堆垛起重機(jī)30將被輸送物10輸送至規(guī)定的其它的輸送目的地(步驟S06)。
[0038]如以上說(shuō)明那樣，在本實(shí)施方式中，在半導(dǎo)體制造裝置60、62的附近配置收納架
20。通過(guò)該收納架20能夠確保收納被輸送物10的空間。另外，由于將收納架20配置在半導(dǎo)體制造裝置60、62的附近，所以能夠迅速地進(jìn)行在收納架20和裝載端口 64、66之間的被輸送物10的移載。
[0039]另外，在本實(shí)施方式中，通過(guò)堆垛起重機(jī)30的ID標(biāo)簽閱讀器R讀取收納于收納架20的被輸送物10的ID標(biāo)簽T，并在讀取的識(shí)別信息和輸送指令所包含的識(shí)別信息一致的情況下，控制器50以將該被輸送物10輸送至輸送指令所表不的輸送目的地的方式來(lái)控制堆垛起重機(jī)30。像這樣，在本實(shí)施方式中，能夠在控制堆垛起重機(jī)30的控制器50中識(shí)別被輸送物10，所以與例如在裝載端口中獲取被輸送物10的識(shí)別信息，并將該識(shí)別信息輸出至MES110，且利用MESllO來(lái)識(shí)別輸送物10的以往的系統(tǒng)相比，實(shí)現(xiàn)處理速度的提高。因此，能夠迅速并且準(zhǔn)確地將被輸送物10輸送至輸送目的地。另外，由于ID標(biāo)簽閱讀器R設(shè)置于堆垛起重機(jī)30，所以無(wú)需在收納架20、裝載端口 64、66上設(shè)置ID標(biāo)簽閱讀器，實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)單化，并且實(shí)現(xiàn)成本的降低。
[0040]另外，在本實(shí)施方式中，運(yùn)載裝置40在裝載端口 64、66中直接搬入以及搬出被輸送物10。例如在輸送需要緊急處理的緊急批量用的被輸送物10的情況下，以往通過(guò)運(yùn)載裝置40將該被輸送物10輸送至規(guī)定的端口并該被輸送物10載置在規(guī)定的端口上，然后，通過(guò)堆垛起重機(jī)30將該被輸送物10搬入至規(guī)定的裝載端口。因此，在被輸送物10的輸送上必定花費(fèi)時(shí)間。
[0041]與此相對(duì)，在本實(shí)施方式中，能夠不經(jīng)由堆垛起重機(jī)30而通過(guò)運(yùn)載裝置40直接地向裝載端口 64、66搬入以及搬出被輸送物10，所以臨時(shí)保管被輸送物10的時(shí)間、通過(guò)堆垛起重機(jī)30進(jìn)行移載的移載時(shí)間縮短。因此，能夠縮短被輸送物10的輸送時(shí)間，能夠迅速地輸送被輸送物10。另外，實(shí)現(xiàn)被輸送物10的輸送的自由度的提高。如上所示，在本實(shí)施方式中，實(shí)現(xiàn)被輸送物10的輸送效率的提高。
[0042]另外，在本實(shí)施方式中，收納架20的上部開(kāi)放。由此，運(yùn)載裝置40能夠在收納架20中進(jìn)行被輸送物10的取放。因此，能夠使收納架20作為用于在堆垛起重機(jī)30和運(yùn)載裝置40之間交換被輸送物10的端口發(fā)揮作用。由此，能夠更加高效地實(shí)施被輸送物10的輸送。
[0043]在其它的觀點(diǎn)中，本實(shí)施方式涉及輸送附有能夠唯一地識(shí)別的識(shí)別信息的被輸送物的輸送系統(tǒng)，具備:收納架，設(shè)置于半導(dǎo)體制造裝置的附近，收納架收納被輸送物；堆垛起重機(jī)，向收納架搬入被輸送物，并且從收納架搬出被輸送物；頂棚輸送車，沿設(shè)置于頂棚部的軌道行駛，并使把持被輸送物的夾具升降來(lái)輸送輸送物；ID標(biāo)簽閱讀器，設(shè)置于堆垛起重機(jī)，ID標(biāo)簽閱讀器獲取附于被輸送物的識(shí)別信息；以及控制器，在通過(guò)ID標(biāo)簽閱讀器獲取的識(shí)別信息和被輸送物的輸送指令所包含的識(shí)別信息一致的情況下，以將被輸送物輸送至輸送指令中的輸送目的地的方式來(lái)控制堆垛起重機(jī)，收納架的至少一部分能夠進(jìn)行通過(guò)頂棚輸送車的上述夾具進(jìn)行的被輸送物的取放。
[0044]本發(fā)明并不局限于上述實(shí)施方式。例如，在上述實(shí)施方式中，將配置兩臺(tái)半導(dǎo)體制造裝置60、62的結(jié)構(gòu)作為一個(gè)例子進(jìn)行了說(shuō)明，但根據(jù)半導(dǎo)體制造工廠的設(shè)計(jì)來(lái)適當(dāng)?shù)卦O(shè)定半導(dǎo)體制造裝置的設(shè)置數(shù)量等即可。另外，也可以設(shè)置臨時(shí)保管被輸送物10的加工中心間儲(chǔ)料器(Interbay stocker)。堆垛起重機(jī)30以及運(yùn)載裝置40能夠向加工中心間儲(chǔ)料器存取。
[0045]符號(hào)說(shuō)明:100...輸送系統(tǒng)；10...被輸送物；20...收納架；30...堆垛起重機(jī)；40...運(yùn)載裝置(頂棚輸送車)；44…夾具；50…控制器(控制單元)；60、62…半導(dǎo)體制造裝置；64、66…裝載端口 ；義..ID標(biāo)簽閱讀器(識(shí)別信息獲取單元)；P"ID標(biāo)簽(識(shí)別信息)。
【權(quán)利要求】
1.一種輸送系統(tǒng)，其特征在于， 是輸送附有能夠唯一地識(shí)別的識(shí)別信息的被輸送物的輸送系統(tǒng)，具備: 收納架，設(shè)置于半導(dǎo)體制造裝置的附近，該收納架收納所述被輸送物； 堆垛起重機(jī)，向所述收納架搬入所述被輸送物，并且從所述收納架搬出所述被輸送物； 頂棚輸送車，沿設(shè)置于頂棚部的軌道行駛，并使把持所述被輸送物的夾具升降來(lái)輸送所述被輸送物； 識(shí)別信息獲取單元，設(shè)置于所述堆垛起重機(jī)，該識(shí)別信息獲取單元獲取附于所述被輸送物的所述識(shí)別信息；以及 控制單元，在通過(guò)所述識(shí)別信息獲取單元獲取的所述識(shí)別信息和所述被輸送物的輸送指令所包含的識(shí)別信息一致的情況下，該控制單元以將所述被輸送物輸送至所述輸送指令中的輸送目的地的方式來(lái)控制所述堆垛起重機(jī)， 所述收納架的至少一部分能夠進(jìn)行通過(guò)所述頂棚輸送車的所述夾具進(jìn)行的所述被輸送物的取放。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送系統(tǒng)，其特征在于， 在所述半導(dǎo)體制造裝置的裝載端口，能夠進(jìn)行通過(guò)所述堆垛起重機(jī)以及所述頂棚輸送車進(jìn)行的所述被輸送物的搬入以及搬出。
【文檔編號(hào)】B65G49/07GK104245541SQ201380016960
【公開(kāi)日】2014年12月24日 申請(qǐng)日期:2013年3月7日 優(yōu)先權(quán)日:2012年4月5日
【發(fā)明者】山本真 申請(qǐng)人:村田機(jī)械株式會(huì)社