專利名稱：輸送系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種輸送系統(tǒng)，并且更具體地說，本發(fā)明涉及一種通 過利用安裝在多個(gè)建筑物上的多個(gè)輸送設(shè)備，在多個(gè)建筑物(building) 上輸送輸送物體的輸送系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
用于通過使用獨(dú)立地被驅(qū)動(dòng)或被支撐的多個(gè)輸送設(shè)備輸送輸送物 體(conveying object)的輸送系統(tǒng)是已知的(例如，見專利文獻(xiàn)l)。
但是，當(dāng)大規(guī)模建造專利文獻(xiàn)1中公開的輸送系統(tǒng)時(shí)，構(gòu)成該輸 送系統(tǒng)的輸送設(shè)備可以安裝在多個(gè)建筑物上。在這種情況下，通過在 與相鄰建筑物的連接部件有關(guān)的輸送設(shè)備之間交換輸送物體，輸送物 體在建筑物之間移動(dòng)。
專利文獻(xiàn)l:日本專利公開號(hào)2002-337247A
然而，當(dāng)相鄰建筑物之間的相對(duì)位置由于地震、大風(fēng)等的影響而 變化時(shí)，會(huì)出現(xiàn)這樣的問題，即設(shè)置在相鄰建筑物的連接部件上的輸 送設(shè)備之間的相對(duì)位置發(fā)生變化。結(jié)果，設(shè)置在相鄰建筑物的連接部 件上的輸送設(shè)備之間的距離增加，并且還會(huì)產(chǎn)生輸送物體在建筑物之 間不能被交換的問題。

發(fā)明內(nèi)容
因此本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例的目的是提供一種輸送系統(tǒng)，即便 在建筑物之間的相對(duì)位置發(fā)生變化的情況下，其也能夠輸送輸送物體。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，根據(jù)本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例的方面，提供 一種可操作為從第一建筑物向第二建筑物輸送輸送物體的輸送系統(tǒng)， 其包括沿著輸送方向從第一建筑物的內(nèi)部向第二建筑物的內(nèi)部設(shè)置 的多個(gè)輸送設(shè)備；連接每對(duì)相鄰輸送設(shè)備的多個(gè)連接機(jī)構(gòu)，使得在第 一建筑物和第二建筑物之間的相對(duì)位置變化的情況下，該輸送設(shè)備以 彎曲方式排列。
根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，即便在第一建筑物和第二建筑物之間的相對(duì)位置 由于地震、大風(fēng)等而變化的情況下，該多個(gè)輸送設(shè)備通過連接機(jī)構(gòu)以 彎曲方式排列。因此，該多個(gè)輸送設(shè)備能夠以逐漸彎曲的方式設(shè)置， 直到該多個(gè)輸送設(shè)備到達(dá)相對(duì)于該第一建筑物相對(duì)地偏離的第二建筑 物的輸送設(shè)備。結(jié)果，通過利用以彎曲方式排列的多個(gè)輸送設(shè)備，能 夠從第一建筑物向第二建筑物輸送輸送物體。
每個(gè)連接機(jī)構(gòu)可以包括設(shè)置在該多個(gè)輸送設(shè)備的第一輸送設(shè)備 中的第一連接件；設(shè)置在該多個(gè)輸送設(shè)備的第二輸送設(shè)備中的第二連 接件，該第二輸送設(shè)備位于鄰近該第一輸送設(shè)備；沿著輸送方向形成 在第一連接件中的凸輪槽；以及設(shè)置在第二連接件中并且可移動(dòng)地插 入該凸輪槽中的至少兩個(gè)凸輪銷。通過上述結(jié)構(gòu)，即便當(dāng)根據(jù)第一和 第二建筑物之間的相對(duì)位置的變化，第一輸送設(shè)備和第二輸送設(shè)備沿 著與輸送方向相交的方向相互偏離時(shí)，該凸輪銷也與凸輪槽嚙合，并 且因此， 一個(gè)輸送設(shè)備被移動(dòng)，以便不離開其他設(shè)備。在這種情況下， 由于第一輸送設(shè)備和/或第二輸送設(shè)備被設(shè)置成通過插入該凸輪槽中的 凸輪銷旋轉(zhuǎn)以彼此面向，輸送物體的交換以容易的方式進(jìn)行。此外， 通過沿著輸送方向設(shè)置凸輪槽，輸送設(shè)備沿著輸送方向的預(yù)定的移動(dòng) 能夠自由地進(jìn)行，而不被其他輸送設(shè)備所干擾。結(jié)果，能夠以彎曲的方式排列多個(gè)輸送設(shè)備，并且因而能夠從第一建筑物向第二建筑物輸 送輸送物體。
此外，通過設(shè)置至少兩個(gè)或更多個(gè)插入凸輪槽中的凸輪銷，即便 當(dāng)?shù)谝惠斔驮O(shè)備和/或第二輸送設(shè)備被旋轉(zhuǎn)時(shí)，至少兩個(gè)凸輪銷與凸輪 槽的內(nèi)壁接觸。因此，輸送設(shè)備的旋轉(zhuǎn)能夠被調(diào)整。結(jié)果，能夠調(diào)整 由第一和第二輸送設(shè)備的輸送方向所形成的角度，因而，輸送物體能 夠從第一輸送設(shè)備向第二輸送設(shè)備平穩(wěn)地輸送。
每個(gè)連接機(jī)構(gòu)可以包括設(shè)置在該多個(gè)輸送設(shè)備的第一輸送設(shè)備 中的第一連接件；設(shè)置在該多個(gè)輸送設(shè)備的第二輸送設(shè)備中的第二連 接件，該第二輸送設(shè)備設(shè)置為鄰近該第一輸送設(shè)備；沿著輸送方向形 成在第一連接件中的凸輪槽；設(shè)置在第二連接件中并且可移動(dòng)地插入 該凸輪槽中的凸輪銷；以及圍繞該凸輪銷調(diào)整該第一連接件或第二連 接件的旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)調(diào)整件。通過上述結(jié)構(gòu)，即便當(dāng)根據(jù)第一和第二建 筑物的相對(duì)位置的變化，該第一輸送設(shè)備和第二輸送設(shè)備沿著、與輸 送方向相交的方向相互偏離時(shí)，該凸輪銷也與凸輪槽嚙合，并且因此， 一個(gè)輸送設(shè)備被移動(dòng)以便不離開其他設(shè)備。在這種情況下，由于第一 輸送設(shè)備和/或第二輸送設(shè)備被設(shè)置成繞插入該凸輪槽中的凸輪銷旋轉(zhuǎn) 以彼此面向，以容易的方式進(jìn)行輸送物體的交換。此外，通過沿著輸 送方向設(shè)置凸輪槽，輸送設(shè)備沿著輸送方向的預(yù)定的移動(dòng)能夠自由地 進(jìn)行，而不被其他輸送設(shè)備干擾。結(jié)果，多個(gè)輸送設(shè)備能夠以彎曲方 式排列，并且因而，能夠從第一建筑物向第二建筑物輸送輸送物體。
此外，通過設(shè)置旋轉(zhuǎn)調(diào)整件，能夠調(diào)整該第一輸送設(shè)備和/或第二 輸送設(shè)備的旋轉(zhuǎn)。結(jié)果，調(diào)整了由第一和第二輸送設(shè)備的輸送方向形 成的角度，并且因而，輸送物體能夠從第一輸送設(shè)備向第二輸送設(shè)備 平穩(wěn)地輸送。
每個(gè)連接機(jī)構(gòu)可以包括設(shè)置在該多個(gè)輸送設(shè)備的第一輸送設(shè)備中的第一連接件；設(shè)置在該多個(gè)輸送設(shè)備的第二輸送設(shè)備中的第二連 接件，該第二輸送設(shè)備位于鄰近于該第一輸送設(shè)備；沿著輸送方向形 成在第一連接件中的一對(duì)凸輪槽；形成在第二連接件中的銷子連接部 分；以及可移動(dòng)地插入該凸輪槽并且連接于該銷子連接部分的凸輪銷， 使得在其之間形成預(yù)定的間隙。通過上述結(jié)構(gòu)，即便當(dāng)根據(jù)第一和第 二建筑物的相對(duì)位置的變化，該第一輸送設(shè)備和第二輸送設(shè)備沿著與 輸送方向相交的方向相互偏離時(shí)，該凸輪銷與凸輪槽嚙合，并且因此， 一個(gè)輸送設(shè)備被移動(dòng)以便不離開其他設(shè)備。在這種情況下，通過在該 凸輪銷和銷子連接單元之間設(shè)置預(yù)定的間隙，該第一和第二輸送設(shè)備 被設(shè)置成旋轉(zhuǎn)以彼此面向，并且因此，以容易的方式進(jìn)行輸送物體的 交換。此外，通過沿著輸送方向設(shè)置凸輪槽，輸送設(shè)備沿著輸送方向 的預(yù)定的移動(dòng)能夠自由地進(jìn)行，而不被其他輸送設(shè)備干擾。結(jié)果，多 個(gè)輸送設(shè)備能夠以彎曲方式排列，并且因而，能夠從第一建筑物向第 二建筑物輸送輸送物體。
在這種情況下，凸輪銷和銷子連接單元彼此接觸，并且因此，輸 送設(shè)備的旋轉(zhuǎn)能夠被調(diào)整。結(jié)果，由第一和第二輸送設(shè)備的輸送方向 形成的角度被調(diào)整，并且因而，輸送物體能夠被從第一輸送設(shè)備向第 二輸送設(shè)備平穩(wěn)地輸送。
當(dāng)?shù)谝贿B接件和第二連接件彼此離開移動(dòng)超過預(yù)定的間隙，或者 在預(yù)定的間隙內(nèi)彼此接近移動(dòng)時(shí)，該凸輪銷可以被破壞(broken)。利 用上述結(jié)構(gòu)，當(dāng)?shù)谝缓偷诙ㄖ锏南鄬?duì)位置明顯地變化時(shí)，連接該 第一輸送設(shè)備和第二輸送設(shè)備的凸輪銷被破壞，并且因此，能夠消除 對(duì)除第一和第二輸送設(shè)備之外的輸送設(shè)備的影響。
該輸送設(shè)備可以可移動(dòng)地并可旋轉(zhuǎn)地安裝在多個(gè)安裝件上，每個(gè) 安裝件被固定于第一建筑物或第二建筑物。通過上述結(jié)構(gòu)，容易實(shí)現(xiàn) 在安裝件上的該輸送設(shè)備的移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)，并且因此，能夠以彎曲方式 排列多個(gè)輸送設(shè)備。該輸送系統(tǒng)可操作為輸送容納半導(dǎo)體晶片的前開口的統(tǒng)一的容器(pod)。


通過參考附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的示例性實(shí)施例，本發(fā)明的上述目的和優(yōu)點(diǎn)將變得更加清楚，其中圖1是示出根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的安裝在建筑物里面的輸送系 統(tǒng)的側(cè)視圖；圖2是圖1所示的該輸送系統(tǒng)的放大的視圖；圖3是示出建筑物的相對(duì)位置在變化前和變化后的狀態(tài)的示意圖；圖4 (a)至4 (d)是圖1所示的輸送系統(tǒng)的輸送單元的連接機(jī)構(gòu) 的俯視圖；圖5 (a)至5 (d)是根據(jù)本發(fā)明的第二實(shí)施例的輸送系統(tǒng)的輸送 單元的俯視圖；圖6 (a)至6 (d)是根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例的輸送系統(tǒng)的輸送 單元的俯視圖；圖7 (a)至7 (d)是根據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例的輸送系統(tǒng)的輸送 單元的側(cè)視圖。
具體實(shí)施方式
在下文中，將參考附圖詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例。(第一實(shí)施例)參考圖1至圖4描述根據(jù)本發(fā)明的第一實(shí)施例的輸送系統(tǒng)1。根據(jù)這個(gè)實(shí)施例的輸送系統(tǒng)1是在多個(gè)建筑物上輸送諸如前開口 的統(tǒng)一的容器(FOUP)的輸送物體的輸送系統(tǒng)。該FOUP能夠容納半 導(dǎo)體晶片。在這里，如圖1所示，描述將輸送物體從建筑物A向建筑物B輸送的情況。該輸送系統(tǒng)1由懸掛在建筑物A或B的鋼吊桿件(suspension steel member) 2上的支架(rack) 2a和懸架支撐件2b支 撐。此外，該輸送系統(tǒng)1具有能夠獨(dú)立地輸送輸送物體的多個(gè)輸送單 元10、連接兩個(gè)相鄰的輸送單元10的連接機(jī)構(gòu)20、以及連接件30.根據(jù)這個(gè)實(shí)施例的該輸送系統(tǒng)l通過將放置在輸送單元IO上的輸 送物體順序地輸送到相鄰的輸送單元10，而從建筑物A向建筑物B輸 送輸送物體。防止輸送單元10通過兩個(gè)支架2a之間的間隙落到地面的 防落網(wǎng)3連接于輸送系統(tǒng)1設(shè)置在其上的建筑物A或B的支架2a。即 便在建筑物A或B的支架2a彼此接觸以及由于地震或大風(fēng)而振動(dòng)的情 況下，懸架支撐件2b設(shè)置在不與支架2a接觸的位置。特別地，懸架支 撐件2b設(shè)置在與相鄰的支架2a分開至少1000mm的位置。因此，即 便當(dāng)建筑物A的支架2a和建筑物B的支架2a由于地震或大風(fēng)而彼此 接觸時(shí)，由于接觸而振動(dòng)的支架2a不與懸架支撐件2b接觸。因此，能 夠防止由懸架支撐件2b支撐的輸送單元10的損壞。此外，當(dāng)輸送單 元10需要被支撐在彼此分離開1000mm或更多的懸架支撐件2b和支 架2a之間時(shí)，該輸送單元10由支撐件2c支撐，該支撐件2c利用設(shè)置 在輸送單元IO的側(cè)面上的槽(未示出)而懸掛在鋼吊桿件2上。多個(gè)輸送單元IO的每個(gè)具有驅(qū)動(dòng)部分，其由電機(jī)、皮帶、皮帶輪 等以及控制該驅(qū)動(dòng)部分10的控制單元所構(gòu)成。該輸送單元10能夠獨(dú) 立地移動(dòng)或停止輸送物體。該多個(gè)輸送單元10包括安裝在支架2a上的 輸送單元IO，和由懸架支撐件2b支撐的輸送單元10，該支架2a懸掛 在設(shè)置于建筑物A或B中的鋼吊桿件2上。安裝在支架2a上的輸送單 元10設(shè)置成在該支架2a上可移動(dòng)并可轉(zhuǎn)動(dòng)。不同于安裝在支架2a上 的輸送單元10，由懸架支撐件2b支撐的輸送單元10固定于該懸架支 撐件2b。在該支架2a上的相鄰的輸送單元10利用連接機(jī)構(gòu)20相連接。 此外，由懸架支撐件2b支撐的輸送單元10和與該輸送單元10相鄰的 輸送單元10利用連接件30彼此連接。如圖2所示，連接機(jī)構(gòu)20連接在支架2a上旋轉(zhuǎn)和/或移動(dòng)的輸送 單元10。在建筑物A和B的相對(duì)位置變化的情況下，該連接機(jī)構(gòu)20 通過稍微改變相鄰輸送單元10的間隙和方向，以彎曲方式設(shè)置多個(gè)輸 送單元IO (見圖3)。如圖2和圖4 (a)所示，該連接機(jī)構(gòu)20具有連 接于設(shè)置在上游側(cè)的輸送單元10的連接板21和連接于設(shè)置在下游側(cè) 的輸送單元10的連接板22，該設(shè)置在下游側(cè)的輸送單元10鄰近于設(shè) 置在上游側(cè)的輸送單元10。在連接板21中，朝著下側(cè)(連接板22偵iJ) 伸出的兩個(gè)凸輪銷21a在其之間形成有沿著輸送單元10的輸送方向(方 向X1)的預(yù)定間隙。此外，在連接板22中，設(shè)置凸輪槽22a,該凸輪 槽22a沿著輸送單元10的輸送方向(方向XI)形成，并且上述連接板 21的兩個(gè)凸輪銷21a被插入該凸輪槽22a中以便能移動(dòng)。該凸輪銷21a 被構(gòu)造成在凸輪銷21a與該凸輪槽22a的內(nèi)側(cè)接觸的情況下，通過預(yù)定 的力或更大的力而被破壞。因此，當(dāng)相鄰的輸送單元IO彼此離開移動(dòng) 預(yù)定的間隙或更大的間隙，或者在預(yù)定的間隙內(nèi)彼此接近移動(dòng)時(shí)，該 凸輪銷21a被破壞，以便釋放該輸送單元IO之間的連接。
利用上述結(jié)構(gòu)，如圖4 (b)所示，設(shè)置在上游側(cè)的輸送單元10 和設(shè)置在下游側(cè)的輸送單元10能夠沿著與該輸送方向相交的方向(方 向Yl或方向Y2)移動(dòng)，直到兩個(gè)凸輪銷21a與凸輪槽22a —側(cè)上的 的內(nèi)壁(或另一側(cè)上的凸輪槽的內(nèi)壁)接觸。此外，如圖4 (c)所示， 設(shè)置在上游側(cè)的輸送單元10和設(shè)置在下游側(cè)的輸送單元10能夠沿著 輸送方向(XI)和與其相反的方向(X2)移動(dòng)，直到設(shè)置在一側(cè)上的 凸輪銷21a (或設(shè)置在另一側(cè)上的凸輪銷21a)與該凸輪槽22a的端部 (或另一端部)接觸。此外，如圖4 (d)所示，設(shè)置在上游側(cè)的輸送 單元10和設(shè)置在下游側(cè)的輸送單元10能夠從當(dāng)設(shè)置在一側(cè)上的凸輪 銷21a與設(shè)置在凸輪槽22a—側(cè)上的內(nèi)壁(或另一側(cè)上的凸輪槽的內(nèi)壁) 接觸時(shí)，旋轉(zhuǎn)到當(dāng)設(shè)置在另一側(cè)上凸輪銷21a與設(shè)置在凸輪槽22a的另 一側(cè)上的內(nèi)壁(或在一側(cè)上的凸輪槽的內(nèi)壁)接觸。在這時(shí)，由于設(shè) 置在一側(cè)上的凸輪銷21a與在一側(cè)上的凸輪槽22a的內(nèi)壁(或在另一側(cè) 上的凸輪槽的內(nèi)壁)接觸，并且設(shè)置在另一側(cè)上的凸輪銷21a與在另一側(cè)上的凸輪槽22a內(nèi)壁(或一側(cè)上的凸輪槽的內(nèi)壁)接觸，設(shè)置在上游 側(cè)的輸送單元10被調(diào)整為相對(duì)于設(shè)置在下游側(cè)的輸送單元10的輸送 方向，相對(duì)地旋轉(zhuǎn)約±1°。如圖1所示，該連接件30連接由懸架支撐件2b所支撐的輸送單 元IO和與該輸送單元IO鄰近的輸送單元10。與連接件20不同，該連 接件30固定輸送單元，而不改變相鄰輸送單元10的間隙和方向。下面，將參考圖3和圖4 (a)至圖4 (d)描述在建筑物的相對(duì)位 置改變的情況下的輸送系統(tǒng)1的操作。在這個(gè)實(shí)施例中，將描述建筑 物A相對(duì)于建筑物B沿著與輸送方向相交的方向(方向Yl或Y2)移 動(dòng)的情況。如圖3所示，當(dāng)建筑物A的相對(duì)位置由于地震或大風(fēng)等相對(duì)于建 筑物B沿著與輸送方向相交的方向(方向Yl)變化時(shí)，連接于建筑物 B的輸送單元Bl的建筑物A的輸送單元Al在支架2a上沿著與方向 Yl相反的方向(方向Y2)移動(dòng)(滑動(dòng))。具體地說，如圖4 (b)所 示，由于根據(jù)建筑物A的移動(dòng)，連接于沿著Yl方向移動(dòng)的輸送單元 Al的連接板21的凸輪銷21a與連接于建筑物B的輸送單元Bl的連接 板22的凸輪槽22a相嚙合，連接于輸送單元Bl的輸送單元Al在支架 2a上沿著方向Y2移動(dòng)(滑動(dòng))。在這時(shí)，如圖4 (d)所示，通過連 接機(jī)構(gòu)20已經(jīng)在支架2a上移動(dòng)的輸送單元Al沿著輸送單元Bl的方 向稍微旋轉(zhuǎn)。因此，輸送單元的A1輸送出口和輸送單元B1的輸送入 口被設(shè)置成彼此面對(duì)，并且因此，平穩(wěn)地進(jìn)行在輸送單元的Al和輸送 單元B1之間的輸送物體的交換。如上所述，即便在建筑物A和建筑物 B的相對(duì)位置沿著與輸送方向相交的方向(方向Yl或Y2)變化的情 況下，也能夠從建筑物A的輸送單元Al向連接于該輸送單元Al的建 筑物B的輸送單元Bl輸送該輸送物體。接著，根據(jù)輸送單元Al在支架2a上沿著方向Y2的移動(dòng)(滑動(dòng))，連接于建筑物A的輸送單元Al的建筑物A的輸送單元A2在支架2a 上沿著方向Y2移動(dòng)(滑動(dòng))。具體說，如圖4 (b)所示，由于連接 于根據(jù)建筑物A的移動(dòng)而沿著方向Yl移動(dòng)的輸送單元A2的連接板21 的凸輪銷21a與連接于輸送單元Al的連接板22的凸輪槽22a相嚙合， 連接于輸送單元Al的輸送單元A2在支架2a上沿著方向Y2移動(dòng)(滑 動(dòng))。在這時(shí)，如圖4 (d)所示，通過連接結(jié)構(gòu)20已經(jīng)在支架2a上 移動(dòng)的輸送單元A2沿著輸送單元Al的方向稍微轉(zhuǎn)動(dòng)。因此，輸送單 元A2的輸送出口和輸送單元Al輸送入口被設(shè)置成彼此面對(duì)，因而， 平穩(wěn)地進(jìn)行在輸送單元A2和輸送單元Al之間的輸送物體的交換。如 上所述，即便在輸送單元Al在支架2a上沿著方向Y2移動(dòng)(滑動(dòng))的 情況下，也能夠從輸送單元A2向連接于該該輸送單元A2的輸送單元 Al輸送該輸送物體。
因此，以類似的方式，連接于輸送單元A2的輸送單元A3以及連 接于輸送單元A3的輸送單元A4在支架2a上順序地移動(dòng)。于是，在建 筑物A內(nèi)的輸送單元10以彎曲方式排列。
如上所述，在這個(gè)實(shí)施例中，即便在建筑物A和建筑物B的相對(duì) 位置由于地震或大風(fēng)等而變化的情況下，多個(gè)輸送單元IO通過連接機(jī) 構(gòu)20以彎曲方式排列。因此，通過利用以彎曲方式排列的多個(gè)輸送單 元IO，能夠從建筑物A向建筑物B輸送該輸送物體。
在這個(gè)實(shí)施例中，凸輪銷21a設(shè)置成在該凸輪銷21a與凸輪槽22a 的內(nèi)側(cè)接觸的情況下，由于預(yù)定的力或更大的力而被破壞。因此，當(dāng) 相鄰的輸送單元IO彼此離開移動(dòng)預(yù)定的間隙或更大的間隙，或在預(yù)定 間隙內(nèi)彼此接近移動(dòng)時(shí)，該凸輪銷21a被破壞以便釋放該輸送單元10 之間的連接。結(jié)果，能夠消除對(duì)除了與該凸輪銷21a相關(guān)的該輸送單元 IO之外的輸送單元10的影響。
此外，在這個(gè)實(shí)施例中，通過將該多個(gè)輸送單元IO設(shè)置成在懸掛在建筑物A或B上的支架2a上可移動(dòng)并且可旋轉(zhuǎn)，而容易實(shí)現(xiàn)輸送單 元10在支架2a上的移動(dòng)和旋轉(zhuǎn)。因此，該多個(gè)輸送單元IO能夠容易 地以彎曲方式排列。
(第二實(shí)施例)
下面將參考圖5 (a)至5 (d)描述根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的輸送 系統(tǒng)。在這個(gè)第二實(shí)施例中，將描述具有連接機(jī)構(gòu)120的輸送系統(tǒng)， 該連接機(jī)構(gòu)120不同于根據(jù)第一實(shí)施例的輸送系統(tǒng)1的連接機(jī)構(gòu)。在 這個(gè)第二實(shí)施例中，由于除了連接機(jī)構(gòu)120之外的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施例 的結(jié)構(gòu)相同，因此其描述被略去。
如圖5 (a)所示，該連接機(jī)構(gòu)120連接在支架2a上轉(zhuǎn)動(dòng)和/或移 動(dòng)的輸送單元IO。在建筑物A和B的相對(duì)位置變化的情況下，該連接 機(jī)構(gòu)120通過稍微改變相鄰輸送單元10的間隙和方向，以彎曲方式排 列多個(gè)輸送單元。如圖5 (a)所示，該連接機(jī)構(gòu)120具有連接于設(shè)置 在上游側(cè)的輸送單元10的連接板121、連接于設(shè)置在下游側(cè)的輸送單 元10的連接板122、以及連接于該連接板121的旋轉(zhuǎn)調(diào)整件123，該 設(shè)置在下游側(cè)的輸送單元IO鄰接于設(shè)置在上游側(cè)的輸送單元10。在連 接板121中，形成向下側(cè)(連接板122的一側(cè))伸出的一個(gè)凸輪銷121a。 此外，在連接板122中，設(shè)置凸輪槽122a,該凸輪槽122a沿著輸送單元 10的輸送方向形成，并且上述連接板121的凸輪銷121a插入該凸輪槽 122a中以便可移動(dòng)。該凸輪銷121a被構(gòu)造成在凸輪銷121a與該凸輪 槽122a內(nèi)側(cè)接觸的情況下，被預(yù)定的力或更大的力破壞。因此，當(dāng)相 鄰的輸送單元IO彼此離開移動(dòng)預(yù)定的間隙或更大的間隙，或在預(yù)定的 間隙內(nèi)彼此接近移動(dòng)時(shí)，該凸輪銷121a被破壞，以便釋放該輸送單元 IO之間的連接。此外，旋轉(zhuǎn)調(diào)整件123調(diào)整相對(duì)于連接板121旋轉(zhuǎn)的 連接板122的旋轉(zhuǎn)。
如圖5 (b)所示，利用上述結(jié)構(gòu)，設(shè)置在上游側(cè)的輸送單元10 和設(shè)置在下游側(cè)的輸送單元10能夠沿著與該輸送方向相交的方向(方向Yl或Y2)移動(dòng)，直到凸輪銷121a與一側(cè)上的凸輪槽122a的內(nèi)壁 (或另一側(cè)上的凸輪槽的內(nèi)壁)接觸。此外，如圖5 (c)所示，設(shè)置 在上游側(cè)的輸送單元10和設(shè)置在下游側(cè)的輸送單元10能夠沿著輸送 方向(XI)和與其相反的方向(X2)移動(dòng)，直到該凸輪銷121a與該凸 輪槽122a的一端部(或另一端部)相接觸。此外，如圖5 (d)所示， 設(shè)置在下游側(cè)的輸送單元10的連接板122能夠轉(zhuǎn)動(dòng)，直到它與旋轉(zhuǎn)調(diào) 整件123相接觸。此時(shí)，設(shè)置在上游側(cè)的輸送單元IO被構(gòu)造成相對(duì)于
設(shè)置在下游側(cè)上的輸送單元io的輸送方向相對(duì)地轉(zhuǎn)動(dòng)約士r。
(第三實(shí)施例)
下面將參考圖6 (a)至6 (d)和圖7 (a)至7 (d)描述根據(jù)本 發(fā)明第三實(shí)施例的輸送系統(tǒng)。在這個(gè)第三實(shí)施例中，將描述具有連接 機(jī)構(gòu)220的輸送系統(tǒng)，該連接機(jī)構(gòu)220不同于根據(jù)第一和第二實(shí)施例 的輸送系統(tǒng)的連接機(jī)構(gòu)。在這個(gè)第三實(shí)施例中，由于除了連接機(jī)構(gòu)220 之外的結(jié)構(gòu)與第一和第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)是同樣的，其描述將被略去。
該連接機(jī)構(gòu)220連接在支架上轉(zhuǎn)動(dòng)和/或移動(dòng)的輸送單元10。在建 筑物A和B的相對(duì)位置變化的情況下，該連接機(jī)構(gòu)220通過稍微改變 相鄰輸送單元IO的間隙和方向，以彎曲方式排列多個(gè)輸送單元10。如 圖6 (a)和7 (a)所示，該連接機(jī)構(gòu)220具有連接于位于上游側(cè)的輸 送單元10的連接板221、連接于設(shè)置在下游側(cè)的輸送單元10的連接板 222、以及凸輪銷223，所述設(shè)置在下游側(cè)的輸送單元IO鄰近于設(shè)置在 上游側(cè)的輸送單元IO。在連接板221中，朝著連接板222 —側(cè)延伸的 一對(duì)凸形件221a被一體地形成。在該凸形件221a的側(cè)面上，沿著輸送 單元10的輸送方向形成凸輪槽221b。此外，連接板222設(shè)置在由連接 板221的一對(duì)凸形件221a所形成的區(qū)域中，并且銷連接孔222a形成在 對(duì)應(yīng)于設(shè)置在一對(duì)凸形件221a中的凸輪槽221b的位置中。凸輪銷223 連接于該銷連接孔222a和上述的一對(duì)凸輪槽221b。此外，形成在連接 板222中銷連接孔222a具有大于該凸輪銷223之外徑的外徑，并且銷 連接孔222a和凸輪銷223被連接，在其之間設(shè)置有預(yù)定的間隙。如圖6 (b)和7 (b)所示，利用上述結(jié)構(gòu)，設(shè)置在上游側(cè)的輸送
單元10和設(shè)置在下游側(cè)的輸送單元10能夠沿著與該輸送方向相交的 方向(方向Y1或Y2)移動(dòng)，直到設(shè)置在下游側(cè)的輸送單元10的連接 板222與設(shè)置在上游側(cè)的輸送單元10的連接板221的凸形件221a相接 觸。此外，如圖6 (c)和7 (c)所示，設(shè)置在上游側(cè)的輸送單元10 和設(shè)置在下游側(cè)的輸送單元IO能夠沿著輸送方向(XI)和與其相反的 方向(X2)移動(dòng)，直到凸輪銷223與一對(duì)凸輪槽221b的一端或另一端 部相接觸。此外，如圖6 (d)和7 (d)所示，設(shè)置在上游側(cè)的輸送單 元10和設(shè)置在下游側(cè)的輸送單元10能夠相對(duì)于凸輪銷223轉(zhuǎn)動(dòng)一擺 動(dòng)量，該擺動(dòng)量是設(shè)置在下游側(cè)的輸送單元10的連接板222的銷連接 孔222a的擺動(dòng)量。在這時(shí)，設(shè)置在上游側(cè)的輸送單元IO被構(gòu)造成相對(duì) 于設(shè)置在下游側(cè)的輸送單元10的輸送方向而相對(duì)地轉(zhuǎn)動(dòng)約±1°。
應(yīng)當(dāng)認(rèn)為，上述實(shí)施例是每個(gè)方面中的例子，并且不是為了限制 的目的。本發(fā)明的范圍不由實(shí)施例的具體描述所限定，而是由權(quán)利要
求所限定，并且在等同于權(quán)利要求范圍的意義和范圍內(nèi)的所有變化都 屬于本發(fā)明。
例如，在上述實(shí)施例中，已經(jīng)描述了輸送單元安裝在懸掛于建筑 物的鋼吊桿上的支架上。但是，本發(fā)明不限于此，并且輸送單元可以 通過利用各種方法來安裝，例如其中輸送單元安裝在建筑物的底部的 方法。在這種情況下，優(yōu)選地，輸送單元設(shè)置成可移動(dòng)的和可轉(zhuǎn)動(dòng)的。
此外，在上述實(shí)施例中，已經(jīng)描述了從建筑物A向建筑物B輸送 輸送物體的例子。但是，本發(fā)明不限于此，并且可以以容易的方式應(yīng) 用于在多個(gè)建筑物上輸送輸送物體的輸送系統(tǒng)。
此外，在上述第一實(shí)施例中，已經(jīng)描述了設(shè)置插入凸輪槽中的兩 個(gè)凸輪銷的實(shí)例。但是本發(fā)明不限于此，可以設(shè)置三個(gè)或更多個(gè)凸輪銷。
此外，在上述實(shí)施例中，已經(jīng)描述了具有驅(qū)動(dòng)部分的輸送單元的 實(shí)例，該驅(qū)動(dòng)部分由電機(jī)、皮帶和皮帶輪等構(gòu)成。但是本發(fā)明不限于 此，并且可以使用除了皮帶驅(qū)動(dòng)方法之外的驅(qū)動(dòng)方法的輸送單元。
權(quán)利要求
1. 一種可操作為將輸送物體從第一建筑物向第二建筑物輸送的 輸送系統(tǒng)，所述輸送系統(tǒng)包括多個(gè)輸送設(shè)備，該輸送設(shè)備沿著輸送方向從第一建筑物的內(nèi)部向 第二建筑物的內(nèi)部設(shè)置；多個(gè)連接機(jī)構(gòu)，該多個(gè)連接機(jī)構(gòu)連接每對(duì)相鄰的輸送設(shè)備，使得 在所述第一建筑物和所述第二建筑物之間的相對(duì)位置變化的情況下， 所述輸送設(shè)備以彎曲方式排列。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送系統(tǒng)， 其中每個(gè)連接機(jī)構(gòu)包括第一連接件，該第一連接件設(shè)置在所述多個(gè)輸送設(shè)備的第一輸送 設(shè)備中；第二連接件，該第二連接件設(shè)置在所多個(gè)述輸送設(shè)備的第二輸送設(shè)備中，所述第二輸送設(shè)備位于鄰近所述第一輸送設(shè)備；凸輪槽，該凸輪槽沿著輸送方向形成在所述第一連接件中；以及 至少兩個(gè)凸輪銷，該兩個(gè)凸輪銷設(shè)置在所述第二連接件中并且可移動(dòng)地插入所述凸輪槽中。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送系統(tǒng)， 其中每個(gè)連接機(jī)構(gòu)包括第一連接件，該第一連接件設(shè)置在所述多個(gè)輸送設(shè)備的第一輸送設(shè)備中；第二連接件，該第二連接件設(shè)置在所述多個(gè)輸送設(shè)備的第二輸送 設(shè)備中，所述第二輸送設(shè)備位于鄰近所述第一輸送設(shè)備；凸輪槽，該凸輪槽沿著輸送方向形成在所述第一連接件中；凸輪銷，該凸輪銷設(shè)置在所述第二連接件中并且可移動(dòng)地插入所 述凸輪槽中；以及旋轉(zhuǎn)調(diào)整件，該旋轉(zhuǎn)調(diào)整件調(diào)整所述第一連接件或第二連接件的圍繞所述凸輪銷的旋轉(zhuǎn)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的輸送系統(tǒng)， 其中每個(gè)連接機(jī)構(gòu)包括第一連接件，該第一連接件設(shè)置在所述多個(gè)輸送設(shè)備的第一輸送 設(shè)備中；第二連接件，該第二連接件設(shè)置在所述多個(gè)輸送設(shè)備的第二輸送 設(shè)備中，所述第二輸送設(shè)備位于鄰近所述第一輸送設(shè)備；一對(duì)凸輪槽，該凸輪槽沿著輸送方向形成在所述第一連接件中； 銷子連接部分，該銷子連接部分形成在所述第二連接件中；以及 凸輪銷，該凸輪銷可移動(dòng)地插入所述凸輪槽中并且連接于所述銷 子連接部分，以便在其之間形成預(yù)定的間隙。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的輸送系統(tǒng)，其中當(dāng)所述第一連接件和第 二連接件彼此離開地移動(dòng)超過預(yù)定的間隙，或者在預(yù)定的間隙內(nèi)彼此 接近地移動(dòng)時(shí)，所述凸輪銷被破壞。
6. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的輸送系統(tǒng)，其中當(dāng)所述第一連接件和第 二連接件彼此離開地移動(dòng)超過預(yù)定的間隙，或者在預(yù)定的間隙內(nèi)彼此 接近地移動(dòng)時(shí)，所述凸輪銷被破壞。
7. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的輸送系統(tǒng)，其中當(dāng)所述第一連接件和第 二連接件彼此離開地移動(dòng)超過預(yù)定的間隙，或者在預(yù)定的間隙內(nèi)彼此 接近地移動(dòng)時(shí)，所述凸輪銷被破壞。
8. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的輸送系統(tǒng)，其中所述輸送設(shè)備可移動(dòng)地 并可旋轉(zhuǎn)地安裝在多個(gè)安裝件上，每個(gè)安裝件固定于所述第一建筑物 或所述第二建筑物。
9. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的輸送系統(tǒng)，其中所述輸送系統(tǒng)操作為輸送容納半導(dǎo)體晶片的前開口的統(tǒng)一的容器。
全文摘要
多個(gè)輸送設(shè)備沿著輸送方向從第一建筑物的內(nèi)部向第二建筑物的內(nèi)部設(shè)置。多個(gè)連接機(jī)構(gòu)連接每對(duì)相鄰的輸送設(shè)備，使得在第一建筑物和第二建筑物之間的相對(duì)位置變化的情況下，該輸送設(shè)備以彎曲方式排列。
文檔編號(hào)B65G15/22GK101311083SQ20081009823
公開日2008年11月26日 申請(qǐng)日期2008年5月23日 優(yōu)先權(quán)日2007年5月23日
發(fā)明者二見孝彥, 土田雅史, 辻井秀樹 申請(qǐng)人:日本亞仕帝科技株式會(huì)社