專利名稱:卡匣緩沖結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型有關(guān)于一種卡匣緩沖結(jié)構(gòu),特別是指一種用來放置晶圓或玻璃基板 的卡匣,該卡匣緩沖結(jié)構(gòu)可以防止晶圓或玻璃基板因震動(dòng)或沖擊所造成的破裂或缺損的裝置。
背景技術(shù):
目前,晶圓或玻璃基板制成之后,基于后續(xù)工藝及搬運(yùn)上的需要,會(huì)將工藝后 的單片晶圓或玻璃基板,以機(jī)械手臂或人力夾取并放置于一具有容置空間的卡匣內(nèi)(如 圖1所示),以利于暫時(shí)存放及工藝中搬運(yùn),供后續(xù)工藝使用。如圖1所示現(xiàn)有技術(shù)中的卡匣60構(gòu)造包含一第一板體601、一第二板體602、 多根立柱603及至少一鋼棒604,其中該至少一鋼棒604裝設(shè)于該卡匣60的底部以支撐晶 圓或玻璃基板,且表面以硅膠包覆;但是,因工藝上改變晶圓越做越薄,且晶圓材質(zhì)輕 且易碎當(dāng)機(jī)械手臂或人力放置于卡匣60時(shí),常因放置晶圓時(shí)與卡匣60底部的該至少一鋼 棒604碰撞,而該至少一鋼棒604雖表面包覆硅膠,但因鋼棒604鋼性過高缺乏彈性,導(dǎo) 致晶圓產(chǎn)生破裂或缺損,甚至造成高價(jià)值晶圓無法使用,且玻璃基板亦有相同的隱憂。有鑒于此,本設(shè)計(jì)人乃潛心研思、設(shè)計(jì)組制,期能提供一種構(gòu)造精簡、有效抑 震且方便實(shí)施的卡匣緩沖結(jié)構(gòu),以克服該現(xiàn)有技術(shù)卡匣底部缺乏彈性的問題,為本實(shí)用 新型所欲研創(chuàng)的創(chuàng)作動(dòng)機(jī)。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的主要目的,在于提供一種卡匣緩沖結(jié)構(gòu),通過一架體以及至少一 撓性構(gòu)件的組合,以使該卡匣緩沖結(jié)構(gòu)具有構(gòu)造精簡、組裝容易、有效抑震且方便實(shí) 施,顯見本實(shí)用新型的實(shí)用性、進(jìn)步性和便利性。為達(dá)上述目的,本實(shí)用新型的卡匣緩沖結(jié)構(gòu)包括一架體及至少一撓性構(gòu)件。 該架體設(shè)有承載部,該架體內(nèi)形成一容置空間,且該架體上端形成一開口;以及該至少 一撓性構(gòu)件設(shè)于該架體底部。本實(shí)用新型提供的這種卡匣緩沖結(jié)構(gòu),具有以下有益效果該卡匣緩沖結(jié)構(gòu)是具有構(gòu)造精簡、組裝容易、有效抑震且方便實(shí)施的卡匣緩沖 結(jié)構(gòu),確能有效抑制因放置及搬運(yùn)晶圓或玻璃基板過程所產(chǎn)生的沖擊或震動(dòng),進(jìn)而降低 晶圓或玻璃基板破裂或缺損,確具有實(shí)用性、進(jìn)步性和便利性。為了能夠更進(jìn)一步了解本實(shí)用新型的特征、特點(diǎn)和技術(shù)內(nèi)容,請(qǐng)參閱以下有關(guān) 本實(shí)用新型的詳細(xì)說明與附圖,但是所附圖式僅提供參考與說明用,非用以限制本實(shí)用 新型。
圖1為現(xiàn)有技術(shù)卡匣的立體圖。[0011]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的立體圖。圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例的立體分解圖。圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例的剖視圖。圖5為本實(shí)用新型的使用狀態(tài)示意圖。圖6為本實(shí)用新型另一實(shí)施例的使用狀態(tài)及局部剖視示意圖。主要元件符號(hào)說明10、架體;101、第一板體;102、第二板體;103、立柱104、容置空間;20、撓性構(gòu)件;201、鋼索;202、減震材質(zhì);30、承載部;301、片體;40、調(diào)整件;401、螺件;402、螺帽;50、晶圓;60、卡匣;601、第一板體;602、第二板體;603、立柱;604、鋼棒。
具體實(shí)施方式
請(qǐng)參閱圖2及圖3所示,為本實(shí)用新型實(shí)施例的立體圖及立體分解圖。該卡匣 緩沖結(jié)構(gòu)包括一架體10以及至少一撓性構(gòu)件20。請(qǐng)參閱圖2 圖4所示,該架體10設(shè)有承載部30,且該架體10內(nèi)形成一容置 空間104,并于該架體10上端形成一開口,該架體10的結(jié)構(gòu)裝設(shè)有一第一板體101、一 第二板體102及多根立柱103,該多根立柱103設(shè)于該第一板體101與該第二板體102之 間,且該容置空間104形成于該第一板體101、第二板體102及多根立柱103之間,而該 承載部30于各根立柱103上設(shè)有突出片體301 (如圖4所示),且各相鄰?fù)怀銎w301之 間形成插槽以供插置晶圓或玻璃基板等。該至少一撓性構(gòu)件20設(shè)于該架體10底部,本實(shí)施例中該撓性構(gòu)件20為一包覆 減震材質(zhì)202的鋼索201,而該減震材質(zhì)202為硅膠、塑料及橡膠中的任一種,在本實(shí)施 例為硅膠(如圖4所示),且該至少一撓性構(gòu)件20的一端固定于該第一板體101的下緣, 而另一端固定于該第二板體102的下緣。使用時(shí),請(qǐng)參閱圖5所示,為本實(shí)用新型實(shí)施例的使用狀態(tài)示意圖,當(dāng)多個(gè)晶圓放置于卡匣緩沖結(jié)構(gòu)時(shí),該撓性構(gòu)件20的減震材質(zhì)202會(huì)先承受并減緩放置晶圓50 的沖擊或撞擊力,且該鋼索201亦具有可撓性能進(jìn)一步將沖擊或撞擊力吸收,能保護(hù)晶 圓50在放置于卡匣時(shí),不會(huì)因沖擊或撞擊造成破裂或缺損,且當(dāng)卡匣內(nèi)放置多個(gè)晶圓50 時(shí),該撓性構(gòu)件20會(huì)因多個(gè)晶圓50的重量自然下垂,且該撓性構(gòu)件20在負(fù)載狀態(tài)下亦 能維持其可撓性,以降低放置多個(gè)晶圓50的重量因搬運(yùn)過程產(chǎn)生的震動(dòng)導(dǎo)致晶圓50破裂或缺損。此外,請(qǐng)參閱圖6所示,本實(shí)用新型還能依據(jù)卡匣負(fù)載物品重量的不同,改變?cè)撝辽僖粨闲詷?gòu)件20的張力以符合使用的需要,該撓性構(gòu)件20的張力是通過一調(diào)整件40 進(jìn)行調(diào)整,該一調(diào)整件40包含一螺件401及一螺帽402,該螺件401是與該撓性構(gòu)件20 的一端相連結(jié),且該螺件401穿設(shè)于該第二板體102的外側(cè),并于該螺件401上螺組該螺 帽402,通過該螺帽402的軸向位移調(diào)整該撓性構(gòu)件20的張力,而該撓性構(gòu)件20的另一 端固定于該第一板體101下緣,以此,該撓性構(gòu)件20能依據(jù)卡匣實(shí)際使用的需求實(shí)時(shí)調(diào) 整張力,以增加該撓性構(gòu)件20的適用吸收沖擊力及承載范圍,進(jìn)而有效吸收放置晶圓進(jìn) 卡匣時(shí)產(chǎn)生的沖擊力,或搬運(yùn)載有晶圓的卡匣時(shí)所產(chǎn)生的震動(dòng),降低因放置時(shí)的沖擊力 或搬運(yùn)產(chǎn)生的震動(dòng)所造成晶圓的破損,以達(dá)到保護(hù)晶圓的目的。除此之外,該撓性構(gòu)件20與該調(diào)整件40的螺件401的連結(jié)方式,是采用焊接、 熔接、黏合、扣合、套合、鎖合和嵌合中的任一種。另外,該撓性構(gòu)件20在實(shí)際實(shí)施上亦可為一硅膠膠條、塑料膠條及橡膠膠條中 的任一種。本實(shí)用新型的卡匣緩沖結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)在于通過該架體10以及該至少一撓性構(gòu)件 20的組合能吸收并轉(zhuǎn)化物體沖擊力或震動(dòng),而達(dá)到緩沖的功效;而通過在卡匣緩沖結(jié)構(gòu) 的撓性構(gòu)件20為包覆減震材質(zhì)202的鋼索201,能夠使該卡匣緩沖結(jié)構(gòu)具有最佳的吸收震 動(dòng)的能力;另外,本實(shí)用新型卡匣緩沖結(jié)構(gòu)的撓性構(gòu)件20能更進(jìn)一步結(jié)合該調(diào)整件40, 經(jīng)由該調(diào)整件40的螺帽402的軸向位移,依據(jù)晶圓或玻璃基板的大小或重量調(diào)整該撓性 構(gòu)件20的張力,從而更加提升該卡匣緩沖結(jié)構(gòu)的承受沖擊力的范圍,使該卡匣緩沖結(jié)構(gòu) 能承載于不同大小及重量的晶圓或玻璃基板。本實(shí)用新型的卡匣緩沖結(jié)構(gòu)乃具有構(gòu)造精 簡、組裝容易、有效抑震且方便實(shí)施的特性,確能有效吸收轉(zhuǎn)化沖擊力或震動(dòng),以保護(hù) 卡匣所承載的晶圓或玻璃基板,進(jìn)而增加本實(shí)用新型的實(shí)用性和便利性。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳可行實(shí)施例,非因此即局限本實(shí)用新型的專利 范圍,舉凡運(yùn)用本實(shí)用新型說明書及圖式內(nèi)容所為的等效結(jié)構(gòu)變化,均理同包含于本實(shí) 用新型的范圍內(nèi),合予陳明。
權(quán)利要求1. 一種卡匣緩沖結(jié)構(gòu),其特征在于,該卡匣緩沖結(jié)構(gòu)包括一架體,該架體設(shè)有承載部,該架體內(nèi)形成一容置空間,且該架體上端形成一開 口 ;以及至少一撓性構(gòu)件,該至少一撓性構(gòu)件設(shè)于該架體底部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卡匣緩沖結(jié)構(gòu),其特征在于,該架體設(shè)有一第一板體、一第 二板體及多根立柱,該多根立柱設(shè)于該第一板體與該第二板體之間,而該承載部于各根 立柱上設(shè)有突出片體,且各相鄰?fù)怀銎w之間形成插槽以供插置,而該至少一撓性構(gòu)件 設(shè)于該第一板體下緣與該第二板體下緣之間。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卡匣緩沖結(jié)構(gòu),其特征在于,該撓性構(gòu)件為一包覆減震材質(zhì) 的鋼索。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的卡匣緩沖結(jié)構(gòu),其特征在于,該減震材質(zhì)為硅膠、塑料及橡 膠中的任一種。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卡匣緩沖結(jié)構(gòu),其特征在于,該撓性構(gòu)件為一硅膠膠條、塑 料膠條及橡膠膠條中的任一種。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的卡匣緩沖結(jié)構(gòu),其特征在于,該撓性構(gòu)件的至少一端連結(jié)一 調(diào)整件,且該調(diào)整件穿設(shè)于該架體的外側(cè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的卡匣緩沖結(jié)構(gòu),其特征在于,該撓性構(gòu)件與該調(diào)整件連結(jié)方 式是采用焊接、熔接、黏合、扣合、套合、鎖合和嵌合中的任一種。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種卡匣緩沖結(jié)構(gòu),該卡匣緩沖結(jié)構(gòu)包括一架體以及至少一撓性構(gòu)件。該架體設(shè)有承載部,該架體內(nèi)形成一容置空間,且該架體上端形成一開口;該至少一撓性構(gòu)件設(shè)于該架體底部;以此,使具有構(gòu)造精簡、組裝容易、有效抑震且方便實(shí)施。
文檔編號(hào)B65D85/48GK201793155SQ20102017681
公開日2011年4月13日 申請(qǐng)日期2010年4月12日 優(yōu)先權(quán)日2010年4月12日
發(fā)明者陳延方, 顏暉展 申請(qǐng)人:中勤實(shí)業(yè)股份有限公司