專利名稱：運送基板承載件的方法與設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及基板在輸送器(conveyor)系統(tǒng)上的運送，更具體的說，涉及在電子器 件制造系統(tǒng)中運送基板承載件的方法及設(shè)備。
背景技術(shù)：
在電子器件制造設(shè)備中的工具之間或是多種工藝之間運送基板時，會使用基板承 載件。這些基板承載件容納基板，可以由輸送器系統(tǒng)傳送，并且以可容易地自該系統(tǒng)卸除。 有效的輸送器系統(tǒng)試圖在運送基板的同時不會對其造成傷害，并且在設(shè)備中的各種工具或 位置之間快速輸送基板及承載件。

發(fā)明內(nèi)容
在一實施態(tài)樣中，提供一種用于運送基板承載件的輸送器設(shè)備。該輸送器設(shè)備包 括多個帶狀物部分，用多個T形加勁肋(Stiffener)將帶狀物部分迭接(spliced)在一 起，且T形加勁肋延伸穿過各個帶狀物部分，其中帶狀物部分沿著T形加勁肋的長度的一部 分完全地包圍T形加勁肋；以及多個支撐輪，適于沿著T形加勁肋的表面滾動。在另一實施態(tài)樣中，提供一種輸送器設(shè)備。該輸送器設(shè)備包括帶狀物部分，包括 多個閉合的狹縫；以及多個T形加勁肋，在閉合的狹縫中延伸。在另一實施態(tài)樣中，提供一種用于運送基板承載件的輸送器設(shè)備。該輸送器設(shè)備 包括帶狀物部分，包括二個狹縫，所述狹縫間隔設(shè)置在帶狀物部分的中線的兩側(cè)；以及T 形加勁肋，包括二個支腳，所述支腳在狹縫中延伸。在另一實施態(tài)樣中，提供一種用于運送基板承載件的輸送器設(shè)備。該輸送器設(shè)備 包括多個有彈性的帶狀物部分，包括強化拉力構(gòu)件，用容設(shè)在狹縫中的多個T形加勁肋沿 著有彈性的帶狀物部分的斜向形成的末端(diagonallyformed end)而將該些有彈性的帶 狀物部分迭接在一起，其中T形加勁肋延伸穿過各個有彈性的帶狀物部分，并且延伸超過 有彈性的帶狀物部分的底部，其中有彈性的帶狀物部分沿著T形加勁肋的長度的一部分完 全地包圍T形加勁肋，以及其中有彈性的帶狀物部分在其二側(cè)皆包括平滑表面；夾鉗件，附 接至T形加勁肋的底端，以將T形加勁肋緊固至有彈性的帶狀物部分；支架，附接至至少部 分的T形加勁肋，支架適于支托基板承載件；多個支撐輪，適于沿著T形加勁肋的頂冠部 (crown)的底面滾動；以及多個導(dǎo)引輪，適于在有彈性的帶狀物部分的兩側(cè)的平滑表面上 滾動。在另一實施態(tài)樣中，提供一種用于運送基板承載件的輸送器設(shè)備。該輸送器設(shè)備包括有彈性的帶狀物部分，包括斜向形成的末端以及多組間隔設(shè)置在帶狀物部分的中線 兩側(cè)的二個狹縫；多個T形加勁肋，T形加勁肋的每個都包括頂冠部及二個支腳，該二個支 腳容設(shè)在至少部分的該些組的二個狹縫中；以及夾鉗件，附接至T形加勁肋的底端，以將T 形加勁肋緊固至有彈性的帶狀物部分。在又一實施態(tài)樣中，提供一種形成用于運送基板承載件的輸送器設(shè)備的方法，包 括以下步驟提供帶狀物，其包括多個狹縫；以及將T形加勁肋容設(shè)于狹縫中，其中帶狀物 沿著T形加勁肋的長度完全地包圍T形加勁肋的至少一部分。在又另一實施態(tài)樣中，提供一種形成用于運送基板承載件的輸送器設(shè)備的方法。 該方法包括以下步驟提供多個帶狀物部分，且?guī)钗锊糠值拿總€都包括斜向形成的末端， 其中各個斜向形成的末端包括多個狹縫；以及用在狹縫中延伸的多個T形加勁肋將帶狀物 部分迭接在一起。根據(jù)本發(fā)明的這些及其他實施態(tài)樣可提供多種其他實施態(tài)樣。本發(fā)明的其他特征及實施態(tài)樣通過下方的詳細說明、權(quán)利要求書及所附圖式而變得完全明顯。


圖1繪示用于運送本發(fā)明的基板承載件的輸送器設(shè)備。圖2A繪示本發(fā)明的輸送器設(shè)備的有彈性的帶狀物部分的立體圖。圖2B繪示圖2A的有彈性的帶狀物部分的片段的放大立體視圖。圖3A繪示本發(fā)明的T形加勁肋的實施例的頂視立體圖。圖3B繪示圖3A的T形加勁肋的實施例的底視立體圖。圖4A繪示用于傳送基板承載件的輸送器設(shè)備的片段的頂視平面圖，該輸送器設(shè) 備包括本發(fā)明的T形加勁肋，且T形加勁肋顯示為未偏斜。圖4B繪示用于傳送基板承載件的輸送器設(shè)備的片段的頂視平面圖，該輸送器設(shè) 備包括本發(fā)明的T形加勁肋，且T形加勁肋顯示為偏斜。圖4C繪示圖4B的輸送器設(shè)備的片段的部分的放大頂視平面圖。圖5A 5D繪示輸送器設(shè)備的一實施例的立體視圖，其顯示本發(fā)明的T形加勁肋 的組件插入有彈性的帶狀物中。圖6A 6C繪示輸送器設(shè)備的實施例的立體圖，其顯示本發(fā)明的迭接接合的組件。圖7繪示輸送器設(shè)備的實施例的立體圖，其顯示本發(fā)明的蛇形組件。圖8繪示輸送器設(shè)備的實施例的立體圖，其顯示本發(fā)明的導(dǎo)引輪組件。圖9繪示本發(fā)明的輸送器設(shè)備的實施例的剖面?zhèn)纫晥D。
具體實施例方式本發(fā)明涉及用于輸送物件(例如容設(shè)在基板承載件中且用于電子器件制造的基 板)的輸送器設(shè)備及方法。輸送器設(shè)備包括有彈性(flexible)的帶狀物部分，且該帶狀物 部分包括T形加勁肋(StifTener)。該T形加勁肋可嵌設(shè)在帶狀物中，或是沿著其至少部 分長度而由帶狀物所包圍。例如支架及/或基板承載件的物件可懸掛于T形加勁肋，或是 懸掛于帶狀物部分本身。T形加勁肋可用于在帶狀物中而于帶狀物部分之間形成迭接接合 (splice joint)，其中T形加勁肋可以容設(shè)在狹縫中，而該些狹縫形成在待迭接的帶狀物部分的斜向(diagonally)形成的端部中。通過嵌設(shè)或在狹縫中容設(shè)加勁肋，則可在帶狀物內(nèi)部提供加勁肋，其允許在帶狀物與導(dǎo)引滾輪接觸的一側(cè)上形成平滑表面。因此，可降低輸送 器運轉(zhuǎn)過程中的振動。參照圖1 9描述本發(fā)明的示范實施例的進一步詳細說明。將下方的特定實施例作為本發(fā)明的實例提供，這些特定實施例僅用于說明實施本 發(fā)明的部分可能方式。參照圖1，其示出了根據(jù)本發(fā)明的用于高速運送系統(tǒng)的輸送器設(shè)備100。輸送器設(shè) 備100包括一或多個有彈性的帶狀物部分，例如第一及第二帶狀物部分102A、102B(例如由 聚氨甲酸酯(polyurethane)或其他適合的彈性聚合物材料制成)，第一及第二帶狀物部分 102A、102B通過迭接接合連接(圖中示出了一迭接接合104)。輸送器設(shè)備100可以通過將 第一帶狀物部分102A的起始端迭接至前一個帶狀物部分102B的末端以形成接合(例如圖 1所示的迭接接合104)，進而形成封閉環(huán)(圖7繪示蛇形封閉環(huán))。多個T形加勁肋106例如嵌設(shè)在帶狀物102的每一個帶狀物部分102A、102B中。 加勁肋106可以在帶狀物制造過程中并入(例如模塑入)，或是在每一個帶狀物部分制造 之后插入帶狀物部分的狹縫中(將參照圖2A 2B詳細描述狹縫)。T形加勁肋106可以由比帶狀物部分102A、102B硬的材料(例如鋁、鈦等)制 成。T形加勁肋106給輸送器設(shè)備100相對于X軸而彎曲提供剛度(stiffness)及阻力 (resistance)，而不會相對于Y軸明顯增加剛度或降低彈性。加勁肋106可以比帶狀物部 分的高度(h)還要長，這樣，當(dāng)加勁肋完全插入時，加勁肋會延伸超過帶狀物部分的底部。 夾鉗件108附接至T形加勁肋106的底端，以使T形加勁肋106固定至帶狀物部分(例如 102AU02B)。當(dāng)延伸超過帶狀物部分的底部時，加勁肋106及/或附接的夾鉗件108可以 提供安裝點，而此安裝點用于附接物件(例如適于支托基板承載件112 (虛線顯示)的支架 110)。承載件112可將基板(圖中未示)運送于電子器件制造設(shè)備的各工作站之間，例如 參見圖7?？蛇x擇地，加勁肋106的長度可小于或等于帶狀物部分的高度(h)，則當(dāng)插入加勁 肋時，加勁肋不會延伸超過帶狀物部分(例如102A、102B)的底部。在此實例中，物件仍須 通過一或多個形成在帶狀物部分102A、102B的孔而附接至加勁肋106。適于承載物件(例 如基板承載件)的支架110可附接至T形加勁肋106的底部?？蛇x擇地，支架110可直接 附接至帶狀物102。相比較于附接至帶狀物102，將支架110附接至T形加勁肋106可以提 供較為堅固的附接點。輸送器設(shè)備100可以使用與帶狀物的平滑側(cè)接觸的多個導(dǎo)引輪或?qū)?引滾輪而被沿著彎曲路徑導(dǎo)引(參見圖8的實例)。使用嵌設(shè)的T形加勁肋106的優(yōu)點在 于，在帶狀物102的兩側(cè)都有平滑且連續(xù)的帶狀物表面114，且導(dǎo)引輪可在其上轉(zhuǎn)動。這可 以降低導(dǎo)引輪上的振動、噪音及/或磨損(其可能造成潛在污染微粒的產(chǎn)生)。輸送器設(shè)備100可以沿著Y軸的垂直方向由額外的支撐輪支撐，該些額外的支撐 輪與τ形加勁肋106的底面116接觸。以此方式，輸送器設(shè)備100可以懸掛在工作區(qū)域(例 如電子器件制造設(shè)備)上方的空中，并可以例如沿著蛇形路徑而被導(dǎo)引。參照圖2A及2B，帶狀物部分(例如102A)可具有沿著Y軸延伸的一或多個垂直狹 縫218，其用于插入T形加勁肋106。狹縫218可以為任何形狀，例如具有矩形或方形截面 的孔。狹縫218截面可包括四個側(cè)邊。更具體的說，狹縫218可以是閉合的，這樣，其沿著加勁肋長度的至少一部分而完全地包圍τ形加勁肋106的徑向周圍。舉例來說，沿著帶狀 物的縱向長度的每一個加勁肋位置具有兩個狹縫218，而這兩個狹縫218可位于帶狀物部 分102A的中線的兩側(cè)。在部分實施例中，狹縫218沿著帶狀物部分102A的中線而對稱設(shè) 置，并且可以沿著Y軸完全延伸穿過帶狀物部分102A的垂直尺寸。這種構(gòu)造允許一或多個 拉力構(gòu)件(tension member) 220沿著中線設(shè)置，并沿著帶狀物部分102A的長度延伸。在部分實施例中，拉力構(gòu)件220可以由標準鋼、凱芙拉纖維線(Kevlar cord)或其 他適合材料制成。沿著帶狀物部分102A的中線設(shè)置一或多個拉力構(gòu)件220可以提供額外 的抗拉剛度，而不會明顯增加帶狀物的帶狀物部分102A的抗彎剛度。另外，提供用于插入 T形加勁肋106的兩個對稱狹縫218可以提供抗彎剛度，使其向左彎與向右彎的抗彎剛度 基本相同。另外，帶狀物部分102A的截面厚度(T)從底部到頂部基本均一。因此，在頂部、 底部及其間的所有位置的抗彎剛度幾乎相同，而此可確保帶狀物部分102A、102B可均一地 彎曲。舉例來說，若在頂部的剛度較大，則帶狀物部分會傾向于在頂部彎曲較大的半徑范圍 (相較于底部)，因而可能造成平面外(out-of-plane)變形，而此會造成附接至輸送器設(shè)備 的支架110以及由支架所承載的物件(例如基板承載件)的橫向移動。另外，如圖2A所示，帶狀物部分102A的端部222 (在一個端部或兩個端部上)可 包括呈角度的截面(angled cut)，于是，所形成的帶狀物端部222相對于帶狀物部分的頂 部224及/或底部226呈非90度的角度。舉例來說，所測量的第一角度227例如為約20 度 約70度，或甚至介于約40度 約50度。也可使用其他角度。呈角度的截面可使得迭 接該些帶狀物部分更為容易，其將于下討論。為了進一步協(xié)助鄰接的帶狀物部分102A、102B 的對準，可以在一或二個帶狀物端部222增設(shè)對準特征結(jié)構(gòu)228，而可提供過渡區(qū)域。過渡 區(qū)域可提供幾何特征結(jié)構(gòu)，使得帶狀物部分102A的端部222與頂部224及/或底部226之 間的接合處不會在相對淺的銳角斷裂，但倒是會在第二角度230斷裂，此第二角度230例如 大于第一角度227。所測量的第二角度230例如介于約60 120度，并且在部分實施例中 為約90度，也可使用其他角度。參照圖3A及3B，其分別示出了 T形加勁肋106的頂部及底部立體視圖。T形加勁 肋106可具有分叉支腳(forked leg) 332，而該些分叉支腳332可插入形成在帶狀物部分 中的平行狹縫218內(nèi)。在分叉支腳的底部可具有例如孔334的特征結(jié)構(gòu)，而用以附接各種 物件。較佳如圖1所見，所附接的物件可包括夾鉗件(例如夾鉗件108)，其用以防止T形 加勁肋106滑離帶狀物部分及/或滑離用于承載工件(例如基板承載件112)的支架110。 在部分實施例中，支架可連接至夾鉗件108。更詳細的說，T形加勁肋106可包括直立部分336以及頂冠部338，該直立部分336由一或多個支腳332構(gòu)成，而“T”的頂冠部338分別由第一及第二橫向支撐件340、342所 構(gòu)成。橫向支撐件340、342由直立部分336橫向延伸，以形成T形。直立部分336及頂冠 部338可以由一體的單一部件結(jié)構(gòu)制成，或是形成二部件結(jié)構(gòu)，在此二部件結(jié)構(gòu)中，則要將 頂冠部338釘至、螺鎖至、拴至或緊固至直立部分336。凸出部(tab) 344可以位于帶狀物的 兩側(cè)，從而提供直立部分336與頂冠部338之間的界面區(qū)域的強度的進一步強化。如下將詳 細討論的，橫向支撐件340、342可以包括不對稱的偏移截面形狀(offsetprofile shape)， 以使各個支撐件以遠離直立部分336的前端的縱向方向往前延伸。頂冠部338的底面116 可大致為平面。
現(xiàn)參照圖4A 4C，其示出了 T形加勁肋106的數(shù)個頂視圖。由于T形加勁肋106 的頂冠部338的底面116可以在垂直支撐輪(圖中未示)上行進，因此相鄰頂冠部之間的任 何間隙都可能會造成行進表面的斷裂，因而造成噪音及/或振動及可能的微粒產(chǎn)生。因此， 頂冠部的截面形狀可經(jīng)選擇以使得各個加勁肋的頂冠部之間的間隙最小化，并且能提供足 夠的空隙以允許帶狀物部分以所選擇的彎曲半徑(“設(shè)計半徑”)呈現(xiàn)彎曲。如圖4B所示，其示出了相對于Y軸彎曲的部分帶狀物，將頂冠部的截面選擇為使 得當(dāng)彎曲半徑等于設(shè)計半徑時，頂冠部338的一側(cè)彼此接觸。在操作過程中，最小的彎曲半 徑可略大于設(shè)計半徑，以確保頂冠部不會相互接觸，因為接觸會造成磨損、微粒、噪音及振 動。此外，如圖4C所示，將頂冠部338的邊緣輪廓選擇為使得頂冠部338的邊緣448 相對于頂冠部與垂直導(dǎo)引輪接觸的接觸區(qū)域的輪胎線452呈角度450。以此方式，垂直導(dǎo)引 輪在所有時間皆與至少一頂冠部接觸，且在其由一頂冠部過渡至另一頂冠部時會與相鄰頂 冠部接觸。這樣可改善操作的平順度、降低噪音并且減少振動。參照圖5A 5D，其說明將T形加勁肋106插入帶狀物102中的過程。可以通過 使加勁肋106的分叉支腳332滑入帶狀物上的二個平行狹縫中，而將各個T形加勁肋106 插入帶狀物102中(如圖5A及5B所示)。加勁肋106會持續(xù)滑入直到其與帶狀物102的 頂面224接觸為止，從而確保每一個加勁肋106都被精確的插入帶狀物102中相同的距離。 這允許每一個頂冠部338的底面與相鄰的 頂冠部基本共平面，因而可提供在其下方滾動的 垂直支撐輪的平滑、平坦表面。此外，可以使用在分叉支腳的底部的附接特征結(jié)構(gòu)而將夾鉗件108安裝至加勁肋 106 (如圖5D所示)，以確保加勁肋106在使用過程中不會與帶狀物部分脫離。參照圖6A 6C，其顯示將帶狀物部分迭接在一起以形成輸送器設(shè)備100的過程。 輸送器設(shè)備100可以為用于特定制造、運送及操作應(yīng)用的任何適合長度。如前文所述，帶 狀物部分102A、102B的各個端部都基本呈斜向(diagonally)形狀，因此，帶狀物部分的端 部可彼此靠近，且如圖所示，端部可在基本無間隙及基本無重迭的情況下彼此對準。如圖 6A 6C所示，可以通過將T形加勁肋106的支腳332插入帶狀物部分102A、102B的狹縫 218中，而將帶狀物部分的端部結(jié)合在一起。這樣提供了一種迭接的方法，而不需要在帶狀 物部分的側(cè)面使用緊固件，而此緊固件可能會阻礙導(dǎo)引/驅(qū)動輪。相似地，此設(shè)計不會明顯 地影響在迭接接合104區(qū)域中的帶狀物的彎曲特性，例如相對于X軸的剛度，以及相對于Y 軸的彈性。參照圖7及8，由于組合的輸送器設(shè)備100相對于Y軸具有彈性，故迭接在一起以 形成輸送器的帶狀物部分的封閉環(huán)可以沿著蛇形路徑755被導(dǎo)引至數(shù)個工作站(例如站 760,770)。例如為基板承載件112的工件可承載在支架110上，而支架110附接至加勁肋 或是直接附接至帶狀物部分。以此方式，輸送器設(shè)備100可以用于移動工件(例如基板承 載件)來回于工作站，以裝載及卸載承載件。另外，由于插入的T形加勁肋的剛度，輸送器 設(shè)備100相對于X軸不易彎曲，所以在工件以高速移動時，由移動工件重量通過輸送器路徑 的彎曲區(qū)段所造成的任何向心力都不會造成輸送器顯著的彎曲或變形。輸送器設(shè)備100沿著路徑755的導(dǎo)引可以通過使用水平導(dǎo)引輪875來達成?？梢?在彎曲處的內(nèi)徑使用大量的導(dǎo)引輪875，而在外徑使用少量的導(dǎo)引輪。
可選擇地或額外地，除了上述的特征之外，本發(fā)明的輸送器設(shè)備的部分實施例可 包括下列特征。如圖9的輸送器設(shè)備900所示，T形加勁肋906可以完全或部分的嵌設(shè)在帶狀物部 分902中，而非用緊固件附接至帶狀物。再者，在模塑或壓鑄工藝中，T形加勁肋可以預(yù)先插 入帶狀物部分中。帶狀物部分902的兩側(cè)可以例如為完全平滑。如圖9所示，帶狀物部分可 以關(guān)于帶狀物的垂直中間平面對稱，以使帶狀物部分可沿著Y軸具有相同的抗彎剛度。帶 狀物部分在沿著Y軸的垂直方向具有基本均一的厚度，于是在帶狀物的頂部及底部相對于 Y軸的抗彎剛度相同，這確保了帶狀物部分及輸送器沿著帶狀物的長度均一地彎曲。用于制 造帶狀物部分的材料是防靜電的(electrostatic dissipative)，因此在輸送器移動時不 會積累靜電電荷。部分或全部的導(dǎo)引輪可以是導(dǎo)電的，并電連接至接地路徑，這樣帶狀物部 分上產(chǎn)生的所有靜電電荷會流至接地。由于帶狀物部分的整個側(cè)表面可以為平滑的，故導(dǎo)引輪可以設(shè)置為盡可能地靠近 帶狀物部分的頂部及底部，而此設(shè)置可以在帶狀物移動通過彎曲處時，使支架及所承載的 物件產(chǎn)生的向心力導(dǎo)致的彎曲力矩最小化。
本發(fā)明的輸送器設(shè)備可以允許容易地附接物件，且容易地通過與設(shè)備表面接觸的 驅(qū)動輪進行驅(qū)動。在帶狀物的側(cè)面使用緊固件以將加勁肋附接至帶狀物的其他設(shè)計中，帶 狀物無法在緊固件的區(qū)域中被導(dǎo)引或驅(qū)動，因此此種設(shè)計無法允許最佳化的導(dǎo)引/驅(qū)動輪設(shè)置。上面的說明僅公開了本發(fā)明的示范性實施例。落入本發(fā)明范圍的上述設(shè)備及方法 的變化對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說是明顯的。舉例來說，在此所述的設(shè)備及方法可以用于其 他應(yīng)用中，還可用于其他環(huán)境中。也可使用其他材料或結(jié)構(gòu)實現(xiàn)本發(fā)明。雖然本發(fā)明已以較佳實施例公開如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域技 術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作各種的更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護范 圍當(dāng)以隨后的權(quán)利要求所界定的范圍為準。
權(quán)利要求
一種用于運送基板承載件的輸送器設(shè)備，包括多個帶狀物部分，用多個T形加勁肋將所述帶狀物部分迭接在一起，且所述T形加勁肋延伸穿過各個所述帶狀物部分，其中所述帶狀物部分沿著所述T形加勁肋的長度的一部分完全地包圍所述T形加勁肋；以及多個支撐輪，適于沿著所述T形加勁肋的表面滾動。
2.如權(quán)利要求1所述的輸送器設(shè)備，其中所述帶狀物部分包括有彈性的聚合物材料。
3.如權(quán)利要求1所述的輸送器設(shè)備，其中所述帶狀物部分包括強化拉力構(gòu)件。
4.如權(quán)利要求1所述的輸送器設(shè)備，其中所述T形加勁肋在沿著X軸的彎曲上比所述 帶狀物部分更具有剛度。
5.如權(quán)利要求1所述的輸送器設(shè)備，其中所述T形加勁肋被模塑至所述帶狀物中。
6.如權(quán)利要求1所述的輸送器設(shè)備，其中所述T形加勁肋插入到在所述帶狀物部分中 形成的狹縫內(nèi)。
7.如權(quán)利要求1所述的輸送器設(shè)備，還包括附接至所述T形加勁肋的底端的夾鉗件，以 將所述T形加勁肋緊固至所述帶狀物部分。
8.如權(quán)利要求1所述的輸送器設(shè)備，其中所述T形加勁肋延伸超過所述帶狀物部分的底部。
9.如權(quán)利要求1所述的輸送器設(shè)備，還包括附接至所述T形加勁肋的支架，且所述支架 適于支托基板承載件。
10.如權(quán)利要求1所述的輸送器設(shè)備，其中所述T形加勁肋嵌設(shè)在所述帶狀物部分中， 且所述帶狀物部分在其二側(cè)皆包括平滑帶狀物表面，而多個導(dǎo)引輪可以在所述平滑帶狀物 表面上滾動。
11.如權(quán)利要求1所述的輸送器設(shè)備，其中所述支撐輪接觸所述T形加勁肋上的頂冠部 的底面。
12.如權(quán)利要求1所述的輸送器設(shè)備，其中所述T形加勁肋的頂冠部包括邊緣，且所述 邊緣形成為相對于與所述支撐輪接觸的輪胎線呈一角度。
13.如權(quán)利要求1所述的輸送器設(shè)備，其中多個T形加勁肋容設(shè)于形成在所述帶狀物部 分的斜向形成的端部中的狹縫內(nèi)，以形成迭接接合。
14.一種用于運送基板承載件的輸送器設(shè)備，包括帶狀物部分，包括多個閉合的狹縫；以及多個T形加勁肋，在所述閉合的狹縫中延伸。
15.一種形成用于運送基板承載件的輸送器設(shè)備的方法，包括以下步驟提供帶狀物，其包括多個狹縫；以及將T形加勁肋容設(shè)于所述狹縫中，其中所述帶狀物沿著所述T形加勁肋的長度完全地 包圍所述T形加勁肋的至少一部分。
全文摘要
本發(fā)明提供一種適于運送物件的輸送器設(shè)備。該輸送器設(shè)備具有帶狀物部分以及多個T形加勁肋，而帶狀物部分包括多個狹縫，T形加勁肋則在狹縫中延伸?？捎醚由齑┻^在各個帶狀物部分的斜向形成的末端的狹縫的多個T形加勁肋，來將帶狀物部分迭接在一起。本發(fā)明的方法描述為多種其他實施態(tài)樣。
文檔編號B65G15/44GK101835698SQ200880112620
公開日2010年9月15日 申請日期2008年10月21日 優(yōu)先權(quán)日2007年10月22日
發(fā)明者杰弗里·C·赫金斯, 維內(nèi)·K·沙 申請人:應(yīng)用材料股份有限公司