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高效能緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置的制作方法

文檔序號(hào):4188926閱讀:263來(lái)源:國(guó)知局
專(zhuān)利名稱:高效能緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)(Automatic Material HandlingSystem,AMHS)中的高架式緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置(Overhead Buffer Stocker),且特別是涉及一種高效率的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其具有水平輸送帶(conveyor)、垂直輸送帶以及/或水平旋轉(zhuǎn)(horizontal carousels)方式以提升在制造廠中不同機(jī)臺(tái)站點(diǎn)間,物料的輸送效率。
背景技術(shù)
在制造一項(xiàng)產(chǎn)品時(shí),通常必須使用不同的工作站或是制程機(jī)器來(lái)進(jìn)行加工處理。因此,在工廠制造流程的整體考量中,如何輸送半成品或在制品(work-in-process)是一項(xiàng)重要的問(wèn)題。尤其在集成電路的制造過(guò)程中,因晶圓(或晶片)本身易脆的性質(zhì),導(dǎo)致半導(dǎo)體晶圓的輸送過(guò)程必須格外小心。此外,在制造集成電路產(chǎn)品的過(guò)程中,通常需要?dú)v經(jīng)多道制程,亦即歷經(jīng)數(shù)百道以上的制程處理才能完成集成電路產(chǎn)品的制作。因此,半導(dǎo)體晶圓或是集成電路晶片必須于許多不同制程機(jī)臺(tái)間輸送,方能完成這些不同的制程。
舉例來(lái)說(shuō),若是以完成一個(gè)集成電路元件的制造來(lái)說(shuō)明,在完成可供運(yùn)輸?shù)募呻娐肪庋b之前,集成電路晶片必須完成各種不同的制程步驟,如沉積、清潔、離子植入、蝕刻以及形成保護(hù)層。而每一個(gè)制程步驟必須使用不同的制程機(jī)臺(tái),如化學(xué)氣相沉積反應(yīng)室、離子植入機(jī)、蝕刻機(jī)等來(lái)完成。因此,在整個(gè)晶圓制作程序完成之前,半成品的晶圓必須在不同的機(jī)臺(tái)間輸送許多次。因此,在半導(dǎo)體廠中集成電路制造流程的整體考量中,如何安全輸送與正確追蹤半成品或在制品晶圓,便是一項(xiàng)重要的問(wèn)題。
現(xiàn)有的晶圓廠中是利用自動(dòng)導(dǎo)引車(chē)(Automatically-guidedvehicle,AGV)或是高架式輸送車(chē)(Overhead transport vehicle,OHT),沿著預(yù)先設(shè)定的路徑或軌道來(lái)輸送半成品或在制品晶圓。同時(shí),為了輸送這些晶圓,晶圓會(huì)先被載入到晶舟(cassette)或是標(biāo)準(zhǔn)機(jī)械介面晶圓盒(standardized mechanical interface(SMIF)pod)中,然后在被夾起并放置于這些自動(dòng)輸送車(chē)上。為了能識(shí)別自動(dòng)輸送車(chē)上將被輸送的半成品或在制品晶圓,會(huì)在晶舟或晶圓盒的側(cè)面上標(biāo)示有一標(biāo)簽。而自動(dòng)輸送車(chē)的防護(hù)軌道上則裝設(shè)有一標(biāo)簽讀取機(jī),標(biāo)簽讀取機(jī)可以讀取晶圓盒上的標(biāo)簽資料。這些AGV或是OHT車(chē)會(huì)沿著制程外區(qū)間回路(interbay loop)在不同制程區(qū)間(bay)之間輸送晶圓盒。最后,晶圓盒會(huì)被送到一個(gè)機(jī)械可存取的儲(chǔ)存間,或是倉(cāng)儲(chǔ)裝置(stocker)中,經(jīng)由倉(cāng)儲(chǔ)裝置傳送晶圓盒至制程內(nèi)區(qū)間回路(intrabay loop)。
在自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)中,倉(cāng)儲(chǔ)裝置(stocker)已經(jīng)被廣泛使用于AGV車(chē)間或是OHT車(chē)間的連接區(qū)域。倉(cāng)儲(chǔ)裝置(stocker)可以設(shè)置于地上或是高架于軌道上,以供存放或輸送存放于晶舟或是SMIF晶圓盒中的晶圓。舉例來(lái)說(shuō),請(qǐng)參閱圖1所示,圖1是繪示現(xiàn)有的制造廠中所使用的三種不同倉(cāng)儲(chǔ)裝置配置的示意圖,現(xiàn)有使用倉(cāng)儲(chǔ)裝置的三種可能配置,分別為配置A、配置B以及配置C。在配置A中,是使用一個(gè)倉(cāng)儲(chǔ)裝置10來(lái)儲(chǔ)存SMIF晶圓盒中的在制品晶圓,并且依序傳送該些晶圓到機(jī)臺(tái)A、機(jī)臺(tái)B最后到機(jī)臺(tái)C以分別進(jìn)行在制品晶圓所需的不同制程步驟。在機(jī)臺(tái)C的制程步驟完成后,SMIF晶圓盒會(huì)被回傳送回倉(cāng)儲(chǔ)裝置10中以供被輸送到下一個(gè)可能的倉(cāng)儲(chǔ)裝置。然而,配置A在理論上可行,但卻不太可能實(shí)現(xiàn)在實(shí)際的制造環(huán)境中,主要是因?yàn)樵谔峁﹤}(cāng)儲(chǔ)裝置10中晶圓的制程處理的機(jī)臺(tái)或制程設(shè)備附近,總是無(wú)法設(shè)置倉(cāng)儲(chǔ)裝置10。
在配置B中,是使用一個(gè)倉(cāng)儲(chǔ)裝置12以及多數(shù)個(gè)暫存區(qū)包含暫存區(qū)A、暫存區(qū)B以及暫存區(qū)C,以分別提供三種由機(jī)臺(tái)A、機(jī)臺(tái)B以及機(jī)臺(tái)C所實(shí)施的不同制程。如圖1中所示,首先,SMIF晶圓盒會(huì)被由倉(cāng)儲(chǔ)裝置12輸送到暫存區(qū)A并在此等待,以于機(jī)臺(tái)A中進(jìn)行制程處理。暫存區(qū)B以及暫存區(qū)C與機(jī)臺(tái)B以及機(jī)臺(tái)C之間分別有相似的連接關(guān)系。因此,暫存區(qū)A、暫存區(qū)B以及暫存區(qū)C成為在晶圓上實(shí)施不同制程機(jī)臺(tái)的中繼站(HoldingStation)。配置B提供了一種在制造程序上可以實(shí)現(xiàn)的方案,但是因?yàn)樗璧臅捍鎱^(qū)多,造成所需要的樓層空間過(guò)多。因此,配置B在半導(dǎo)體制造廠中也不是一種可實(shí)施的配置。
在配置C中,是使用一倉(cāng)儲(chǔ)裝置14來(lái)控制在制品晶圓到機(jī)臺(tái)A、機(jī)臺(tái)B以及機(jī)臺(tái)C間的儲(chǔ)存與輸送。在SMIF晶圓盒被送到三臺(tái)機(jī)臺(tái)的其中一機(jī)臺(tái)后,在SMIF晶圓盒被送到下一臺(tái)機(jī)臺(tái)之前,SMIF晶圓盒總是會(huì)先被回送至倉(cāng)儲(chǔ)裝置14。這是種可實(shí)行的程序配置,因?yàn)檫@種配置只需要一個(gè)倉(cāng)儲(chǔ)裝置就可提供處理三種不同制程的機(jī)臺(tái),而且不需要額外的暫存區(qū)。但是,因?yàn)閭}(cāng)儲(chǔ)裝置14本身即作為一個(gè)暫存區(qū)來(lái)使用,造成倉(cāng)儲(chǔ)裝置14的使用頻率會(huì)相當(dāng)高。因此,存取倉(cāng)儲(chǔ)裝置14的次數(shù)會(huì)較前述其他兩種配置為高。
請(qǐng)參閱圖2所示,圖2是繪示典型的自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)使用一中央通道、復(fù)數(shù)制程區(qū)間(bay)以及復(fù)數(shù)不同性質(zhì)的機(jī)臺(tái)的示意圖,現(xiàn)有的自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)使用一中央通道22、多數(shù)個(gè)制程區(qū)間(bay)24以及多數(shù)個(gè)不同性質(zhì)的機(jī)臺(tái)26。同時(shí),使用多數(shù)個(gè)不同性質(zhì)的倉(cāng)儲(chǔ)裝置30來(lái)作為制程區(qū)間24或是制程區(qū)間24內(nèi)制程機(jī)臺(tái)30的輸出與輸入。在一個(gè)有效率的自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)中,中央通道22經(jīng)常會(huì)被設(shè)計(jì)于制程區(qū)間布局中,以執(zhí)行不同制程區(qū)間之間批料的輸送。在這種配置中,自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)中的倉(cāng)儲(chǔ)裝置變成制程區(qū)間輸出與輸入的路徑。然而,對(duì)于制程外區(qū)間來(lái)說(shuō),倉(cāng)儲(chǔ)裝置30將會(huì)形成一個(gè)瓶頸點(diǎn)。產(chǎn)生瓶頸點(diǎn)主要的原因,即是在于倉(cāng)儲(chǔ)裝置30的輸出/輸入載臺(tái)。
在現(xiàn)代的半導(dǎo)體制造廠中,尤其是200毫米(mm)或300毫米(mm),即8寸或12寸晶圓的晶圓廠中,自動(dòng)導(dǎo)引車(chē)(AGV)或是高架式輸送車(chē)(OHT)已經(jīng)被廣泛使用于晶圓的輸送程序中。AGV或是OHT利用倉(cāng)儲(chǔ)裝置30的輸出/輸入載臺(tái)來(lái)載入或載出整批晶圓,亦即一般存放于晶圓容器中,如SMIF晶圓盒或是晶圓傳送盒(Front Opening Unified Pod,F(xiàn)OUP)中的晶圓。此外,在制程機(jī)臺(tái)附近會(huì)設(shè)有一高架式緩沖裝置(Overhead Buffer,OHB)以提供每一晶圓容器進(jìn)入制程機(jī)臺(tái)前,暫時(shí)存放晶圓容器。
請(qǐng)參閱圖3所示,圖3是繪示現(xiàn)有的高架式輸送車(chē)(Overhead transportvehicle,OHT)的立體圖,高架式緩沖裝置(OHB)32包含有兩輸送車(chē)34與36。輸送車(chē)34與36是沿著軌道38行走。倉(cāng)儲(chǔ)裝置30具有一輸入載臺(tái)40以及一輸出載臺(tái)42。當(dāng)晶圓盒44中的晶圓在等待鄰近于倉(cāng)儲(chǔ)裝置30附近的機(jī)臺(tái)進(jìn)行制程處理時(shí),每一臺(tái)輸送車(chē)34與36會(huì)在輸入載臺(tái)40前停止,以置放一晶圓盒44入倉(cāng)儲(chǔ)裝置30中。針對(duì)晶圓盒44的制程程序規(guī)劃,另一輸送車(chē)36可以根據(jù)下一制程機(jī)臺(tái)的可用狀態(tài),置放另一晶圓盒44于輸入載臺(tái)40,或是經(jīng)由輸出載臺(tái)42將晶圓盒44由倉(cāng)儲(chǔ)裝置30中取出。
高架式緩沖裝置32的一項(xiàng)使用上的限制在于,高架式緩沖裝置32一次只能提供服務(wù)一臺(tái)輸送車(chē)34。因此,造成在倉(cāng)儲(chǔ)裝置30的輸入端或是輸出端,產(chǎn)生大量輸送車(chē)34等待的交通瓶頸障礙。因此,存在一種需求來(lái)解決與促進(jìn)多數(shù)個(gè)輸送車(chē)間具有一種有秩序且高效率的移動(dòng)流量,來(lái)傳送具有晶圓容置于其中的晶圓盒到一倉(cāng)儲(chǔ)裝置中,或是由一倉(cāng)儲(chǔ)裝置到制程機(jī)臺(tái)中。
由此可見(jiàn),上述現(xiàn)有的高架式緩沖裝置在結(jié)構(gòu)與使用上,顯然仍存在有不便與缺陷,而亟待加以進(jìn)一步改進(jìn)。為了解決上述存在的問(wèn)題,相關(guān)廠商莫不費(fèi)盡心思來(lái)謀求解決之道,但長(zhǎng)久以來(lái)一直未見(jiàn)適用的設(shè)計(jì)被發(fā)展完成,而一般產(chǎn)品又沒(méi)有適切結(jié)構(gòu)能夠解決上述問(wèn)題,此顯然是相關(guān)業(yè)者急欲解決的問(wèn)題。因此如何能創(chuàng)設(shè)一種新型的高效能緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,實(shí)屬當(dāng)前重要研發(fā)課題之一,亦成為當(dāng)前業(yè)界極需改進(jìn)的目標(biāo)。
有鑒于上述現(xiàn)有的高架式緩沖裝置存在的缺陷,本發(fā)明人基于從事此類(lèi)產(chǎn)品設(shè)計(jì)制造多年豐富的實(shí)務(wù)經(jīng)驗(yàn)及專(zhuān)業(yè)知識(shí),并配合學(xué)理的運(yùn)用,積極加以研究創(chuàng)新,以期創(chuàng)設(shè)一種新型的高效能緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,能夠改進(jìn)一般現(xiàn)有的高架式緩沖裝置,使其更具有實(shí)用性。經(jīng)過(guò)不斷的研究、設(shè)計(jì),并經(jīng)過(guò)反復(fù)試作樣品及改進(jìn)后,終于創(chuàng)設(shè)出確具實(shí)用價(jià)值的本發(fā)明。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的主要目的在于,克服現(xiàn)有的高架式緩沖裝置存在的缺陷,而提供一種新型的高效能緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,所要解決的技術(shù)問(wèn)題是使其提升在制造廠中不同機(jī)臺(tái)站點(diǎn)間物料的輸送效率,非常適于實(shí)用。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題是采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的。依據(jù)本發(fā)明提出的一種緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其特征在于其至少包含一高架式輸送軌道,以供支撐多數(shù)個(gè)分別輸送晶圓盒的高架式輸送車(chē);至少一輸送系統(tǒng),設(shè)于該高架式輸送軌道下方,以供接收高架式輸送軌道上的高架式輸送車(chē)上的晶圓盒。
本發(fā)明的目的及解決其技術(shù)問(wèn)題還可采用以下技術(shù)措施進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)。
前述的的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其中所述的至少一輸送系統(tǒng)包含一輸送帶回路以及一上下貨輸送帶,該上下貨輸送帶是被設(shè)置鄰靠于該輸送帶回路以供接收高架式輸送軌道上的高架式輸送車(chē)上的晶圓盒。
前述的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其中所述的至少一輸送系統(tǒng)包含一上層輸送系統(tǒng)以及一下層輸送系統(tǒng),其中該下層輸送系統(tǒng)位于該上層輸送系統(tǒng)下方。
前述的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其中所述的至少一輸送系統(tǒng)包含一中層輸送系統(tǒng),其中該中層輸送系統(tǒng)位于該上層輸送系統(tǒng)以及該下層輸送系統(tǒng)之間。
前述的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其中所述的上層輸送系統(tǒng)、該中層輸送系統(tǒng)以及該下層輸送系統(tǒng)分別包含一輸送帶回路以及一上下貨輸送帶,該上下貨輸送帶是被設(shè)置鄰靠于該輸送帶回路以供接收高架式輸送軌道上的高架式輸送車(chē)的晶圓盒。
前述的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其中所述的上層輸送系統(tǒng)的上下貨輸送帶、該中層輸送系統(tǒng)的上下貨輸送帶以及該下層輸送系統(tǒng)的上下貨輸送帶分別位于該高架式輸送軌道的一第一位置、一第二位置以及一第三位置的下方。
前述的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其中所述的上層輸送系統(tǒng)、該中層輸送系統(tǒng)以及該下層輸送系統(tǒng)分別包含一輸送帶回路以及一上下貨載臺(tái),該上下貨載臺(tái)是被設(shè)置鄰靠于該輸送帶回路以供接收高架式輸送軌道上的高架式輸送車(chē)上的晶圓盒。
前述的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其中所述的上層輸送系統(tǒng)的上下貨載臺(tái)、該中層輸送系統(tǒng)的上下貨載臺(tái)以及該下層輸送系統(tǒng)的上下貨載臺(tái)分別位于該高架式輸送軌道的一第一位置、一第二位置以及一第三位置的下方。
前述的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其中所述的至少一輸送系統(tǒng)包含一輸送帶回路以及一上下貨載臺(tái),該上下貨載臺(tái)是被設(shè)置鄰靠于該輸送帶回路以供接收高架式輸送軌道上的高架式輸送車(chē)上的晶圓盒。
前述的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其中所述的至少一輸送系統(tǒng)包含至少一長(zhǎng)型輸送帶,設(shè)于該高架式輸送軌道下方,以供接收高架式輸送軌道上的高架式輸送車(chē)上的晶圓盒。
前述的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其中所述的至少一輸送系統(tǒng)包含至少一旋轉(zhuǎn)輸送裝置,設(shè)于該高架式輸送軌道下方,以供接收高架式輸送軌道上的高架式輸送車(chē)上的晶圓盒。
前述的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其更包含一控制器,其是可操作地連接于該至少一輸送系統(tǒng)以控制該至少一輸送系統(tǒng)的輸送移動(dòng)方向。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點(diǎn)和有益效果。由以上可知,為達(dá)到上述目的,本發(fā)明提供了一種高效能的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,可以分別吸收在制程機(jī)臺(tái)與倉(cāng)儲(chǔ)裝置間或是制程機(jī)臺(tái)間的晶圓傳送盒(FOUP)或是其他晶圓容器(wafer container)的過(guò)大的運(yùn)輸交通流量。例如,可以促進(jìn)于半導(dǎo)體制造廠中,在前后制程機(jī)臺(tái)間具有一種有秩序且有效率的晶圓輸送流量。該高效率的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置包含一高架式輸送軌道以及一水平輸送系統(tǒng)。高架式輸送軌道分別輸送晶圓容器(如,晶圓傳送盒,F(xiàn)OUP)到一倉(cāng)儲(chǔ)裝置或是制程機(jī)臺(tái)位置。該水平輸送系統(tǒng)接收由高架式輸送軌道上輸送車(chē)所承載的每一個(gè)晶圓容器,并沿一水平輸送路徑輸送晶圓容器。當(dāng)高架式輸送軌道可以接收額外的晶圓容器時(shí),水平輸送系統(tǒng)將晶圓容器回傳送至高架式輸送軌道上的輸送車(chē)。本發(fā)明可包含多數(shù)個(gè)水平輸送系統(tǒng),以接收于高架式輸送軌道上不同位置的晶圓容器,并且回傳送晶圓容器到高架式輸送軌道上的不同位置。本發(fā)明更可包含一垂直旋轉(zhuǎn)輸送裝置,以接收高架式輸送軌道上的每一個(gè)晶圓容器、沿一垂直輸送路徑輸送晶圓容器以及將晶圓容器回傳送回高架式輸送軌道上。
借由上述技術(shù)方案,本發(fā)明高效能緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置至少具有下列優(yōu)點(diǎn)及有益效果該緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置可吸收晶圓盒在倉(cāng)儲(chǔ)裝置與制程機(jī)臺(tái)間移動(dòng)的過(guò)多流量;例如可促進(jìn)在半導(dǎo)體制造廠中多數(shù)個(gè)輸送車(chē)間具有一種有秩序且高效率的移動(dòng)流量。
綜上所述,本發(fā)明是有關(guān)于一種緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,包含一高架式輸送軌道以及至少一輸送系統(tǒng)或輸送帶。高架式輸送軌道是供支撐多數(shù)個(gè)用來(lái)輸送晶圓盒的高架式輸送車(chē)。至少一輸送系統(tǒng)或輸送帶是設(shè)于該高架式輸送軌道下方,以供接收高架式輸送軌道上的高架式輸送車(chē)中的晶圓盒。舉例來(lái)說(shuō),該緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置可吸收晶圓盒在倉(cāng)儲(chǔ)裝置與制程機(jī)臺(tái)間移動(dòng)的過(guò)多流量;例如可促進(jìn)在半導(dǎo)體制造廠中多數(shù)個(gè)輸送車(chē)間具有一種有秩序且高效率的移動(dòng)流量。本發(fā)明具有上述諸多優(yōu)點(diǎn)及實(shí)用價(jià)值,其不論在裝置結(jié)構(gòu)或功能上皆有較大改進(jìn),在技術(shù)上有顯著的進(jìn)步,并產(chǎn)生了好用及實(shí)用的效果,且較現(xiàn)有的高架式緩沖裝置具有增進(jìn)的突出功效,從而更加適于實(shí)用,并具有產(chǎn)業(yè)的廣泛利用價(jià)值,誠(chéng)為一新穎、進(jìn)步、實(shí)用的新設(shè)計(jì)。
上述說(shuō)明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述,為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段,而可依照說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容予以實(shí)施,并且為了讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂,以下特舉較佳實(shí)施例,并配合附圖,詳細(xì)說(shuō)明如下。


圖1是繪示現(xiàn)有的制造廠中所使用的三種不同倉(cāng)儲(chǔ)裝置配置的示意圖。
圖2是繪示典型的自動(dòng)化物料搬運(yùn)系統(tǒng)(AMHS)使用一中央通道、多數(shù)個(gè)制程區(qū)間(bay)以及多數(shù)個(gè)不同性質(zhì)的機(jī)臺(tái)的示意圖。
圖3是繪示現(xiàn)有的高架式輸送車(chē)(Overhead transport vehicle,OHT)的立體圖。
圖4A是繪示本發(fā)明一實(shí)施例的一高效率緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置的部分示意俯視圖。
圖4B是繪示第4A圖中的高效率緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置的部分示意立體圖。
圖5A是繪示本發(fā)明第二實(shí)施例的一高效率緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置的部分示意俯視圖。
圖5B是繪示第5A圖中的高效率緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置的部分示意立體圖。
圖6A是繪示本發(fā)明第三實(shí)施例的一高效率緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置的部分示意俯視圖。
圖6B是繪示第6A圖中的高效率緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置的部分示意立體圖。
圖7A是繪示本發(fā)明四實(shí)施例的一高效率緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置的部分示意俯視圖。
圖7B是繪示第7A圖中的高效率緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置的部分示意立體圖。
圖7C是繪示第7A圖與第7B圖中的實(shí)施例的一旋轉(zhuǎn)輸送裝置的側(cè)視圖。
1第一位置85a上下貨載臺(tái)2第二位置86輸送帶回路3第三位置87輸送路徑4第四位置88晶圓盒5第五位置88a晶圓盒6第六位置88b晶圓盒10倉(cāng)儲(chǔ)裝置 88c晶圓盒12倉(cāng)儲(chǔ)裝置 89中層輸送系統(tǒng)14倉(cāng)儲(chǔ)裝置 89a上下貨載臺(tái)22中央通道 90輸送帶回路24制程區(qū)間 91控制器26機(jī)臺(tái) 93下層輸送系統(tǒng)30倉(cāng)儲(chǔ)裝置 93a上下貨載臺(tái)
32高架式緩沖裝置94輸送帶回路34輸送車(chē)98緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置36輸送車(chē)99高架式輸送軌道38軌道 100輸送車(chē)40輸入載臺(tái) 100a輸送車(chē)42輸出載臺(tái) 100b輸送車(chē)44晶圓盒100c輸送車(chē)50緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置 101上層輸送帶51控制器102中層輸送帶52高架式輸送軌道103下層輸送帶54輸送車(chē)104晶圓盒54a輸送車(chē) 104a晶圓盒54b輸送車(chē) 104b晶圓盒54c輸送車(chē) 104c晶圓盒55晶圓盒105緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置55a晶圓盒 106高架式輸送軌道55b晶圓盒 107輸送車(chē)55c晶圓盒 107a輸送車(chē)56上層輸送系統(tǒng) 107b輸送車(chē)57輸送帶回路107c輸送車(chē)58上下貨輸送帶 108旋轉(zhuǎn)輸送裝置59輸送路徑 108a第一旋轉(zhuǎn)輸送裝置60箭頭 108b第二旋轉(zhuǎn)輸送裝置61箭頭 108c第三旋轉(zhuǎn)輸送裝置62橫向輸送帶109下降通道63縱向輸送帶110下方橫向通道64中層輸送系統(tǒng) 111上升通道66上下貨輸送帶 112上方橫向通道72下層輸送系統(tǒng) 113盒體載臺(tái)74上下貨輸送帶 114晶圓盒82緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置 114a晶圓盒83高架式輸送軌道114b晶圓盒84輸送車(chē)114c晶圓盒84a輸送車(chē) 115控制器84b輸送車(chē) 116馬達(dá)84c輸送車(chē) 117開(kāi)口
85上層輸送系統(tǒng)118控制器具體實(shí)施方式
為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明為達(dá)成預(yù)定發(fā)明目的所采取的技術(shù)手段及功效,以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例,對(duì)依據(jù)本發(fā)明提出的高效能緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置其具體實(shí)施方式
、結(jié)構(gòu)、特征及其功效,詳細(xì)說(shuō)明如后。
本發(fā)明是在半導(dǎo)體制造廠中,特別是關(guān)于在搬運(yùn)晶圓盒如SMIF晶圓盒或是晶圓傳送盒(FOUP)上具有有益的實(shí)用性。然而,雖然本發(fā)明可能以參閱半導(dǎo)體制造廠作說(shuō)明,但本發(fā)明的應(yīng)用并非應(yīng)受到如此的限制。本發(fā)明也可應(yīng)用各種不同的工業(yè)制造廠中的物料搬運(yùn)系統(tǒng)上。
請(qǐng)參閱圖4A與圖4B所示,繪示了依據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的一高效率緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,圖4A是繪示本發(fā)明一實(shí)施例的一高效率緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置的部分示意俯視圖,圖4B是繪示第4A圖中的高效率緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置的部分示意立體圖。為方便敘述起見(jiàn),高效率緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置于以下敘述中簡(jiǎn)稱緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置(buffer stocker),并以符號(hào)50代表。緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置50包含一高架式(OHT)輸送軌道52。多數(shù)個(gè)輸送車(chē)54設(shè)于高架式輸送軌道52上。輸送車(chē)54可以使用現(xiàn)有的輸送車(chē),例如,在半導(dǎo)體制造廠的制程機(jī)臺(tái)(未繪示)間或是制程機(jī)臺(tái)與現(xiàn)有倉(cāng)儲(chǔ)裝置(未繪示)間作傳輸。每一輸送車(chē)54可以載運(yùn)一晶圓盒5 5,例如SMIF晶圓盒或是晶圓傳送盒(FOUP),晶圓盒55中容置有晶圓,而晶圓上可被制作集成電路于其上。
緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置50進(jìn)一步包含一上層輸送系統(tǒng)56、一中層輸送系統(tǒng)64以及一下層輸送系統(tǒng)72,其中,中層輸送系統(tǒng)64是在上層輸送系統(tǒng)56的下方,下層輸送系統(tǒng)72是在中層輸送系統(tǒng)64的下方。上層輸送系統(tǒng)56、中層輸送系統(tǒng)64以及下層輸送系統(tǒng)72分別包含有一方形輸送帶回路57。輸送帶回路57包含一對(duì)互平行設(shè)置的橫向輸送帶62以及一對(duì)互平行設(shè)置的縱向輸送帶63??v向輸送帶63分別設(shè)置于橫向輸送帶62的兩端部位置。上層輸送系統(tǒng)56包含一上下貨輸送帶58,當(dāng)高架式輸送車(chē)54a停止于高架式輸送軌道52上的一第一位置1時(shí),上下貨輸送帶58可以接收來(lái)自高架式輸送車(chē)54a的一晶圓盒55a,并傳送該晶圓盒55a到上層輸送系統(tǒng)56的輸送帶回路57上。相似的,中層輸送系統(tǒng)64包含一上下貨輸送帶66,當(dāng)高架式輸送車(chē)54b停止于高架式輸送軌道52上的一第二位置2時(shí),上下貨輸送帶66可以接收來(lái)自高架式輸送車(chē)54b的一晶圓盒55b,并傳送該晶圓盒55b到中層輸送系統(tǒng)64的輸送帶回路57上。下層輸送系統(tǒng)72包含一上下貨輸送帶74,當(dāng)高架式輸送車(chē)54c停止于高架式輸送軌道52上的一第三位置3時(shí),上下貨輸送帶58可以接收來(lái)自高架式輸送車(chē)54c的一晶圓盒55c,并傳送該晶圓盒55c到下層輸送系統(tǒng)72的輸送帶回路57上。如第4A圖所示,上層輸送系統(tǒng)56的上下貨輸送帶58、中層輸送系統(tǒng)64的上下貨輸送帶66以及下層輸送系統(tǒng)72的上下貨輸送帶74分別位于高架式輸送軌道5 2上的第一位置1、第二位置2以及第三位置3的下方。如第4A圖所示,上層輸送系統(tǒng)5 6、中層輸送系統(tǒng)64以及下層輸送系統(tǒng)72可操作地連接設(shè)有一控制器51,以控制各輸送帶回路57的行進(jìn)方向。
在緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置50的一般操作中,每一輸送車(chē)54可以承載一晶圓盒55沿高架式輸送軌道52的其中一輸送方向移動(dòng)。晶圓盒55中容置有晶圓(未繪示),而晶圓上可被制作集成電路于其上。一般來(lái)說(shuō),輸送車(chē)54是輸送晶圓盒55由一制程機(jī)臺(tái)到一現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置(未繪示),或是由一現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置到一下游制程機(jī)臺(tái)。然而,現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置對(duì)晶圓盒55的接收能力經(jīng)常被填滿,或是制程機(jī)臺(tái)經(jīng)常無(wú)法接收額外的晶圓盒55,以對(duì)其中的晶圓進(jìn)行處理。因此,高架式輸送軌道52在鄰近現(xiàn)有倉(cāng)儲(chǔ)裝置或是機(jī)臺(tái)的附近,輸送車(chē)54經(jīng)常發(fā)生輸送交通的瓶頸。
因此,請(qǐng)參閱圖4B所示,當(dāng)輸送車(chē)54于高架式輸送軌道52移動(dòng)時(shí),而其中一臺(tái)輸送車(chē)54a到達(dá)高架式輸送軌道52上的第一位置1后,輸送車(chē)54a所輸送的晶圓盒55a可以被下貨到上層輸送系統(tǒng)56的上下貨輸送帶58上。上下貨輸送帶58并傳送該晶圓盒55a到上層輸送系統(tǒng)56的輸送帶回路57上(如載入箭頭60所示)。輸送帶回路57沿著一輸送路徑59載運(yùn)輸送晶圓盒55a。同時(shí),無(wú)負(fù)載的輸送車(chē)54a繼續(xù)沿著高架式輸送軌道52移動(dòng)到半導(dǎo)體制造廠中的下一目的地,例如對(duì)制造廠中另一晶圓盒55進(jìn)行載入與輸送作業(yè)。當(dāng)多數(shù)個(gè)輸送車(chē)54a分別載運(yùn)晶圓盒55a時(shí),輸送車(chē)54a可以依序停留于第一位置1并以相同的方式將晶圓盒55a下貨到上下貨輸送帶58上。因此,許多晶圓盒55a可同時(shí)于上層輸送系統(tǒng)56的輸送帶回路57循環(huán)移動(dòng)。
當(dāng)現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置中,具有可供存放晶圓盒55的可用空間或是制程機(jī)臺(tái)的狀態(tài)變成可以處理晶圓盒55的晶圓時(shí),如箭頭61所示,將在上層輸送系統(tǒng)56的輸送帶回路57中循環(huán)移動(dòng)的其中一個(gè)晶圓盒55a送回上下貨輸送帶58,并反向操作上下貨輸送帶58。晶圓盒55a可以再度由上下貨輸送帶58被上貨到一臺(tái)停留于高架式輸送軌道52的第一位置1且是空車(chē)狀態(tài)的輸送車(chē)54a中。然后,該輸送車(chē)54a可以輸送晶圓盒55a到現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置進(jìn)行存放晶圓盒55a或是到制程機(jī)臺(tái)對(duì)晶圓盒55a中的晶圓進(jìn)行晶圓制程處理。
請(qǐng)參閱圖4B所示,當(dāng)上層輸送系統(tǒng)5 6已經(jīng)達(dá)到滿載狀態(tài),亦即,上層輸送系統(tǒng)56中已經(jīng)具有許多晶圓盒55a,此時(shí),下一臺(tái)輸送車(chē)54b可停留于高架式輸送軌道52的第二位置2,并將其所載送的晶圓盒55b下貨到中層輸送系統(tǒng)64的上下貨輸送帶66上。上下貨輸送帶66輸送每一個(gè)晶圓盒55b到中層輸送系統(tǒng)64的輸送帶回路57上(如載入箭頭60所示)。輸送帶回路57沿著一輸送路徑59載運(yùn)輸送晶圓盒55a,直到現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置具有晶圓盒55a的存放空間或是制程機(jī)臺(tái)可對(duì)晶圓盒55a中的晶圓進(jìn)行制程處理。此時(shí),將在中層輸送系統(tǒng)6的輸送帶回路5 7中循環(huán)移動(dòng)的其中一個(gè)晶圓盒55b送回上下貨輸送帶66,并反向操作上下貨輸送帶66。晶圓盒55b可以再度由上下貨輸送帶66被上貨到一臺(tái)停留于高架式輸送軌道52的第二位置2且是空車(chē)狀態(tài)的輸送車(chē)54b中。然后,該輸送車(chē)54b可以輸送晶圓盒55b到現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置進(jìn)行存放晶圓盒55b或是到制程機(jī)臺(tái)對(duì)晶圓盒55b中的晶圓進(jìn)行晶圓制程處理。
請(qǐng)參閱圖4B,當(dāng)上層輸送系統(tǒng)56與中層輸送系統(tǒng)64兩者都已經(jīng)達(dá)到滿載狀態(tài),亦即,上層輸送系統(tǒng)56與中層輸送系統(tǒng)64中分別已經(jīng)具有許多晶圓盒55a與晶圓盒55b,此時(shí),下一臺(tái)輸送車(chē)54c可停留于高架式輸送軌道52的第三位置3,并將其所載送的晶圓盒55c下貨到下層輸送系統(tǒng)72上。下層輸送系統(tǒng)72沿著一輸送路徑59載運(yùn)輸送晶圓盒55c,直到現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置具有晶圓盒5 5c的存放空間或是制程機(jī)臺(tái)可對(duì)晶圓盒55c中的晶圓進(jìn)行制程處理。此時(shí),將在下層輸送系統(tǒng)72的輸送帶回路57中循環(huán)移動(dòng)的其中一個(gè)晶圓盒55c送回上下貨輸送帶74,并反向操作上下貨輸送帶74。晶圓盒55c可以再度由上下貨輸送帶74被上貨到一臺(tái)停留于高架式輸送軌道52的第三位置3且是空車(chē)狀態(tài)的輸送車(chē)54c中。然后,該輸送車(chē)54c可以輸送晶圓盒55c到現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置進(jìn)行存放晶圓盒55c或是到制程機(jī)臺(tái)對(duì)晶圓盒55c中的晶圓進(jìn)行晶圓制程處理。
請(qǐng)參閱圖5A與圖5B,圖5A是繪示本發(fā)明第二實(shí)施例的一高效率緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置的部分示意俯視圖,圖5B是繪示圖5A中的高效率緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置的部分示意立體圖。依據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施例的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置82包含一高架式(OHT)輸送軌道83以及多數(shù)個(gè)高架式輸送車(chē)84(以下簡(jiǎn)稱輸送車(chē)),輸送車(chē)84設(shè)于高架式輸送軌道8 3上移動(dòng)。每一輸送車(chē)8 4可以承載一晶圓盒88,以于制程機(jī)臺(tái)間或是制程機(jī)臺(tái)與倉(cāng)儲(chǔ)裝置間輸送晶圓盒88。緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置82進(jìn)一步包含有一上層輸送系統(tǒng)85、一中層輸送系統(tǒng)89以及一下層輸送系統(tǒng)93。下層輸送系統(tǒng)93是在上層輸送系統(tǒng)85下方,中層輸送系統(tǒng)89是在上層輸送系統(tǒng)85與下層輸送系統(tǒng)93之間。上層輸送系統(tǒng)85、中層輸送系統(tǒng)89以及下層輸送系統(tǒng)9 3分別包含有一方形配置的輸送帶回路86、輸送帶回路90以及輸送帶回路94。上層輸送系統(tǒng)85包含一上下貨載臺(tái)(load point)85a,上下貨載臺(tái)85a位于高架式輸送軌道83上的一第一位置1下方。相似的,中層輸送系統(tǒng)89包含一上下貨載臺(tái)89a,上下貨載臺(tái)89a位于高架式輸送軌道83上的一第二位置2下方。下層輸送系統(tǒng)93包含一上下貨載臺(tái)93a,上下貨載臺(tái)93a位于高架式輸送軌道83上的一第三位置3下方。如第5A圖所示,上層輸送系統(tǒng)85的上下貨輸送帶89、中層輸送系統(tǒng)93可操作地連接設(shè)有一控制器91,以控制各輸送帶回路86、90與94的行進(jìn)方向。
緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置82的一般操作時(shí)機(jī),是當(dāng)由高架式輸送軌道8 3提供服務(wù)的現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置(未繪示)中,已經(jīng)存放滿晶圓盒84而無(wú)存放空間,或是由高架式輸送軌道83提供服務(wù)的制程機(jī)臺(tái)的狀態(tài)于法再處理額外的晶圓盒84的晶圓時(shí)。因此,當(dāng)輸送車(chē)84a停止于高架式輸送軌道83的第一位置1時(shí),輸送車(chē)84a上的晶圓盒88a可以被下貨到上層輸送系統(tǒng)85的上下貨載臺(tái)85a上。上層輸送系統(tǒng)85沿著一輸送路徑87載運(yùn)輸送晶圓盒8 8a,直到一個(gè)或一個(gè)以上的晶圓盒88a可以被存放于現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置中,或是輸送到制程機(jī)臺(tái)上。因此,每一晶圓盒88a可經(jīng)由上下貨載臺(tái)85a再度被上貨到一臺(tái)停止于高架式輸送軌道83的第一位置1且為空車(chē)狀態(tài)的輸送車(chē)84a上后,再被輸送到現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置或是制程機(jī)臺(tái)中。
當(dāng)上層輸送系統(tǒng)85已經(jīng)達(dá)到滿載狀態(tài),亦即,上層輸送系統(tǒng)85中已經(jīng)具有許多晶圓盒88a,此時(shí),下一臺(tái)輸送車(chē)84b可停留于高架式輸送軌道83的第二位置2,并將其所載送的晶圓盒88b下貨到輸送帶回路90的上下貨載臺(tái)89a上并于中層輸送系統(tǒng)89上輸送。相似的,當(dāng)中層輸送系統(tǒng)89已經(jīng)達(dá)到滿載狀態(tài),亦即,中層輸送系統(tǒng)89中已經(jīng)具有許多晶圓盒88b,此時(shí),下一臺(tái)輸送車(chē)84c可停留于高架式輸送軌道83的第三位置3,并將其所載送的晶圓盒88c下貨到輸送帶回路94的上下貨載臺(tái)93a上并于下層輸送系統(tǒng)94上輸送。當(dāng)現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置或是制程機(jī)臺(tái)可以接收晶圓盒84時(shí),一個(gè)或一個(gè)以上的晶圓盒88b可經(jīng)由中層輸送系統(tǒng)89的上下貨載臺(tái)89a再度被上貨到一臺(tái)停止于高架式輸送軌道83的第二位置2且為空車(chē)狀態(tài)的輸送車(chē)84b上后,再被輸送到現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置或是制程機(jī)臺(tái)中。相似的,一個(gè)或一個(gè)以上的晶圓盒88c可經(jīng)由下層輸送系統(tǒng)93的上下貨載臺(tái)93a再度被上貨到一臺(tái)停止于高架式輸送軌道83的第三位置3且為空車(chē)狀態(tài)的輸送車(chē)84c上后,再被輸送到現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置或是制程機(jī)臺(tái)中。
請(qǐng)參閱圖6A與圖6B,圖6A是繪示本發(fā)明第三實(shí)施例的一高效率緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置的部分示意俯視圖,圖6B是繪示圖6A中的高效率緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置的部分示意立體圖。依據(jù)本發(fā)明的第三實(shí)施例的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置98包含一高架式(OHT)輸送軌道99以及多數(shù)個(gè)高架式輸送車(chē)100(以下簡(jiǎn)稱輸送車(chē)),輸送車(chē)100設(shè)于高架式輸送軌道99上移動(dòng)。每一輸送車(chē)100可以承載一具有晶圓(wafer-containing)的晶圓盒104,以于制程機(jī)臺(tái)間或是制程機(jī)臺(tái)與倉(cāng)儲(chǔ)裝置間輸送晶圓盒104。緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置98進(jìn)一步包含有一上層輸送帶101、一中層輸送帶102以及一下層輸送帶103。其中,中層輸送帶102是位于上層輸送帶101與下層輸送帶103之間。如6A圖所示,上層輸送帶101、中層輸送帶102以及下層輸送帶103可操作地連接設(shè)有一控制器115,以控制各輸送帶的行進(jìn)方向。
在緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置98的操作中,輸送車(chē)100可以分別承載晶圓盒104并沿高架式輸送軌道99于不同機(jī)臺(tái)(未繪示)間或是機(jī)臺(tái)與現(xiàn)有倉(cāng)儲(chǔ)裝置間(未繪示)移動(dòng)。當(dāng)現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置中已經(jīng)無(wú)存放空間時(shí),輸送車(chē)100a可以停止于高架式輸送軌道99的第一位置1。輸送車(chē)100a上的晶圓盒104a可以被下貨到上層輸送帶101的一端,并被輸送到上層輸送帶101的另一端。當(dāng)現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置中或制程機(jī)臺(tái)再度成為可接收晶圓盒104a的狀態(tài)時(shí),晶圓盒104a經(jīng)由上層輸送帶101的另一端再度被上貨到一臺(tái)停止于高架式輸送軌道99的第四位置4且為空車(chē)狀態(tài)的輸送車(chē)100a上后,再被輸送到現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置或是制程機(jī)臺(tái)中。
當(dāng)上層輸送帶101已經(jīng)達(dá)到滿載狀態(tài),亦即,上層輸送帶101中已經(jīng)具有許多晶圓盒104a,此時(shí),下一臺(tái)輸送車(chē)100b可停留于高架式輸送軌道99的第二位置2,并將其所載送的晶圓盒104b下貨到中層輸送帶102的一端上并被輸送到中層輸送帶102的另一端。相似的,當(dāng)現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置中或制程機(jī)臺(tái)再度成為可接收晶圓盒104b的狀態(tài)時(shí),晶圓盒104b經(jīng)由中層輸送帶102的另一端再度被上貨到一臺(tái)停止于高架式輸送軌道99的第五位置5且為空車(chē)狀態(tài)的輸送車(chē)100b上后,再被輸送到現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置或是制程機(jī)臺(tái)中。
當(dāng)中層輸送帶102已經(jīng)達(dá)到滿載狀態(tài),亦即,中層輸送帶102中已經(jīng)具有許多晶圓盒104b,此時(shí),下一臺(tái)輸送車(chē)100c可停留于高架式輸送軌道99的第三位置3,并將其所載送的晶圓盒104c下貨到下層輸送帶103的一端上并被輸送到下層輸送帶103的另一端。相似的,當(dāng)現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置中或制程機(jī)臺(tái)再度成為可接收晶圓盒104c的狀態(tài)時(shí),晶圓盒104c經(jīng)由下層輸送帶103的另一端再度被上貨到一臺(tái)停止于高架式輸送軌道99的第六位置6且為空車(chē)狀態(tài)的輸送車(chē)100c上后,再被輸送到現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置或是制程機(jī)臺(tái)中。對(duì)于此技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者來(lái)說(shuō),可以依據(jù)高架式輸送軌道99上輸送車(chē)100的行進(jìn)方向并藉由控制器11 5控制選擇上層輸送帶101、中層輸送帶102以及下層輸送帶103的方向。
請(qǐng)參閱圖7A、圖7B與圖7C,圖7A是繪示本發(fā)明第四實(shí)施例的一高效率緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置的部分示意俯視圖,圖7B是繪示圖7A中的高效率緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置的部分示意立體圖,圖7C是繪示圖7A與圖7B中的實(shí)施例的一旋轉(zhuǎn)輸送裝置的側(cè)視圖。依據(jù)本發(fā)明的第四實(shí)施例的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置105包含一高架式(OHT)輸送軌道106以及多數(shù)個(gè)高架式輸送車(chē)107(以下簡(jiǎn)稱輸送車(chē)),輸送車(chē)107設(shè)于高架式輸送軌道106上移動(dòng)。每一輸送車(chē)107可以承載一的晶圓盒114,以于制程機(jī)臺(tái)(未繪示)間或是制程機(jī)臺(tái)與倉(cāng)儲(chǔ)裝置(未繪示)間輸送晶圓盒114。高架式輸送軌道106下方設(shè)有至少一個(gè)旋轉(zhuǎn)輸送裝置(carousel)108。在本實(shí)施例中,高架式輸送軌道106下方設(shè)有多數(shù)個(gè)旋轉(zhuǎn)輸送裝置108。該些旋轉(zhuǎn)輸送裝置108包含一第一旋轉(zhuǎn)輸送裝置108a、一第二旋轉(zhuǎn)輸送裝置108b以及一第三旋轉(zhuǎn)輸送裝置108c(如第7A圖與第7B圖所示)。每一旋轉(zhuǎn)輸送裝置108包含一下降通道(descendingconduit)109、一下方橫向通道110、一上升(ascending)通道111以及一上方橫向通道112。下降通道109、下方橫向通道110、上升通道111以及上方橫向通道112中設(shè)有多數(shù)個(gè)盒體載臺(tái)(container support platform)113。盒體載臺(tái)113連結(jié)于一馬達(dá)116(如第7C圖所示),以使馬達(dá)116帶動(dòng)盒體載臺(tái)113于旋轉(zhuǎn)輸送裝置108中移動(dòng)(如虛線箭頭所示)。在每一個(gè)上方橫向通道112上,設(shè)有一開(kāi)口117,以供一晶圓盒114a經(jīng)由開(kāi)口117進(jìn)入旋轉(zhuǎn)輸送裝置108中。如第7A圖所示,每一個(gè)上方橫向通道112上的開(kāi)口117是位于高架式輸送軌道106下方。如第7A圖所示,第一旋轉(zhuǎn)輸送裝置108a、第二旋轉(zhuǎn)輸送裝置108b以及第三旋轉(zhuǎn)輸送裝置108c可操作地連接設(shè)有一控制器118,以控制各旋轉(zhuǎn)輸送裝置的行進(jìn)方向。
在此緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置105的操作中,每一輸送車(chē)107可以承載一晶圓盒114于制程機(jī)臺(tái)間或是現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置與制程機(jī)臺(tái)間移動(dòng)。當(dāng)現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置中或是制程機(jī)臺(tái)已經(jīng)無(wú)法接收晶圓盒時(shí),輸送車(chē)104a可以停止于高架式輸送軌道106的第一位置1。輸送車(chē)107a上的晶圓盒114a可以經(jīng)由開(kāi)口117被下貨到第一旋轉(zhuǎn)輸送裝置108a中的其中一個(gè)盒體載臺(tái)113上。透過(guò)盒體載臺(tái)113間的移動(dòng),使晶圓盒114a可于第一旋轉(zhuǎn)輸送裝置108a中移動(dòng),并將一空的盒體載臺(tái)113移動(dòng)至開(kāi)口117下方以承載其他被下貨的晶圓盒114a。當(dāng)?shù)谝恍D(zhuǎn)輸送裝置108a已經(jīng)達(dá)到滿載狀態(tài),亦即,第一旋轉(zhuǎn)輸送裝置108a中的盒體載臺(tái)113已經(jīng)全部載滿晶圓盒114a時(shí)。此時(shí),下一臺(tái)輸送車(chē)107b可停留于高架式輸送軌道106的第二位置2,并將其所載送的晶圓盒114b經(jīng)由開(kāi)口117下貨到第二旋轉(zhuǎn)輸送裝置108b。相似的,當(dāng)?shù)诙D(zhuǎn)輸送裝置108b已經(jīng)達(dá)到滿載狀態(tài),亦即,第二旋轉(zhuǎn)輸送裝置108b中的盒體載臺(tái)113已經(jīng)全部載滿晶圓盒114b時(shí)。此時(shí),下一臺(tái)輸送車(chē)107c可停留于高架式輸送軌道106的第三位置3,并將其所載送的晶圓盒114c經(jīng)由開(kāi)口117下貨到第三旋轉(zhuǎn)輸送裝置108c。
當(dāng)現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置中或制程機(jī)臺(tái)再度成為可接收晶圓盒114的狀態(tài)時(shí),其中一個(gè)晶圓盒114a經(jīng)由開(kāi)口117再度被上貨到一臺(tái)停止于高架式輸送軌道106的第一位置1且為空車(chē)狀態(tài)的輸送車(chē)107a上后,再被輸送到現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置或是制程機(jī)臺(tái)中。相似的,晶圓盒114b經(jīng)由開(kāi)口117再度被上貨到停止于高架式輸送軌道106的第二位置2且為空車(chē)狀態(tài)的輸送車(chē)107b上后,再被輸送到現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置或是制程機(jī)臺(tái)中。晶圓盒114c經(jīng)由開(kāi)口117再度被上貨到停止于高架式輸送軌道106的第三位置3且為空車(chē)狀態(tài)的輸送車(chē)107c上后,再被輸送到現(xiàn)有的倉(cāng)儲(chǔ)裝置或是制程機(jī)臺(tái)中。
以上所述,僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已,并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制,雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上,然而并非用以限定本發(fā)明,任何熟悉本專(zhuān)業(yè)的技術(shù)人員,在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi),當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動(dòng)或修飾為等同變化的等效實(shí)施例,但凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容,依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾,均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其特征在于其至少包含一高架式輸送軌道,以供支撐多數(shù)個(gè)分別輸送晶圓盒的高架式輸送車(chē);至少一輸送系統(tǒng),設(shè)于該高架式輸送軌道下方,以供接收高架式輸送軌道上的高架式輸送車(chē)上的晶圓盒。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其特征在于其中所述的至少一輸送系統(tǒng)包含一輸送帶回路以及一上下貨輸送帶,該上下貨輸送帶是被設(shè)置鄰靠于該輸送帶回路以供接收高架式輸送軌道上的高架式輸送車(chē)上的晶圓盒。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其特征在于其中所述的至少一輸送系統(tǒng)包含一上層輸送系統(tǒng)以及一下層輸送系統(tǒng),其中該下層輸送系統(tǒng)位于該上層輸送系統(tǒng)下方。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其特征在于其中所述的至少一輸送系統(tǒng)包含一中層輸送系統(tǒng),其中該中層輸送系統(tǒng)位于該上層輸送系統(tǒng)以及該下層輸送系統(tǒng)之間。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其特征在于其中所述的上層輸送系統(tǒng)、該中層輸送系統(tǒng)以及該下層輸送系統(tǒng)分別包含一輸送帶回路以及一上下貨輸送帶,該上下貨輸送帶是被設(shè)置鄰靠于該輸送帶回路以供接收高架式輸送軌道上的高架式輸送車(chē)的晶圓盒。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其特征在于其中所述的上層輸送系統(tǒng)的上下貨輸送帶、該中層輸送系統(tǒng)的上下貨輸送帶以及該下層輸送系統(tǒng)的上下貨輸送帶分別位于該高架式輸送軌道的一第一位置、一第二位置以及一第三位置的下方。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其特征在于其中所述的上層輸送系統(tǒng)、該中層輸送系統(tǒng)以及該下層輸送系統(tǒng)分別包含一輸送帶回路以及一上下貨載臺(tái),該上下貨載臺(tái)是被設(shè)置鄰靠于該輸送帶回路以供接收高架式輸送軌道上的高架式輸送車(chē)上的晶圓盒。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其特征在于其中所述的上層輸送系統(tǒng)的上下貨載臺(tái)、該中層輸送系統(tǒng)的上下貨載臺(tái)以及該下層輸送系統(tǒng)的上下貨載臺(tái)分別位于該高架式輸送軌道的一第一位置、一第二位置以及一第三位置的下方。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其特征在于其中所述的至少一輸送系統(tǒng)包含一輸送帶回路以及一上下貨載臺(tái),該上下貨載臺(tái)是被設(shè)置鄰靠于該輸送帶回路以供接收高架式輸送軌道上的高架式輸送車(chē)上的晶圓盒。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其特征在于其中所述的至少一輸送系統(tǒng)包含至少一長(zhǎng)型輸送帶,設(shè)于該高架式輸送軌道下方,以供接收高架式輸送軌道上的高架式輸送車(chē)上的晶圓盒。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其特征在于其中所述的至少一輸送系統(tǒng)包含至少一旋轉(zhuǎn)輸送裝置,設(shè)于該高架式輸送軌道下方,以供接收高架式輸送軌道上的高架式輸送車(chē)上的晶圓盒。
12.根據(jù)權(quán)利要求1至11任一項(xiàng)所述的緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,其特征在于其更包含一控制器,其是可操作地連接于該至少一輸送系統(tǒng)以控制該至少一輸送系統(tǒng)的輸送移動(dòng)方向。
全文摘要
本發(fā)明是有關(guān)于一種緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置,包含一高架式輸送軌道以及至少一輸送系統(tǒng)或輸送帶。高架式輸送軌道是供支撐多數(shù)個(gè)用來(lái)輸送晶圓盒的高架式輸送車(chē)。至少一輸送系統(tǒng)或輸送帶是設(shè)于該高架式輸送軌道下方,以供接收高架式輸送軌道上的高架式輸送車(chē)中的晶圓盒。舉例來(lái)說(shuō),該緩沖倉(cāng)儲(chǔ)裝置可吸收晶圓盒在倉(cāng)儲(chǔ)裝置與制程機(jī)臺(tái)間移動(dòng)的過(guò)多流量;例如可促進(jìn)在半導(dǎo)體制造廠中多數(shù)個(gè)輸送車(chē)間具有一種有秩序且高效率的移動(dòng)流量。
文檔編號(hào)B65G49/07GK101071760SQ20071009791
公開(kāi)日2007年11月14日 申請(qǐng)日期2007年4月18日 優(yōu)先權(quán)日2006年5月9日
發(fā)明者馬國(guó)蕾, 黃智洪, 江文忠, 謝敏瑜, 李虹慧 申請(qǐng)人:臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
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