專利名稱：具有空檢測能力的基于襯里的液體儲存和分配系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于儲存與分配化學(xué)試劑和組合物，例如用于制造 微電子器件產(chǎn)品的高純液體試劑和化學(xué)機(jī)械拋光組合物(拋光劑) 的基于襯里的液體容納系統(tǒng)，其具有在分配操作期間在所容納的液 體處于或4妄近肆4盡時的空^企測的能力。
背景技術(shù)：
在許多工業(yè)應(yīng)用中，化學(xué)試劑和組合物都需要以高純狀態(tài)供 應(yīng)，并且已經(jīng)開發(fā)了專用包裝，以確保所供應(yīng)的材料在整個包裝填 充、儲存、運(yùn)輸和最后的分配操作中維持純的和合適的形式。
在微電子器件制造領(lǐng)域，對于各種各樣的液體和含液體組合物 尤其迫切需要合適的包裝，因?yàn)樵谒b的材料中的任何污染物， 和/或任何環(huán)境污染物進(jìn)入到包裝內(nèi)容納(容納)的材料中，可有害
得樣i電子器件產(chǎn)品產(chǎn)生缺陷或甚至對其所計劃的用途變得無用。
出于這些因素的考慮，許多類型的高純包裝已經(jīng)開發(fā)出來，用 于微電子器件制造中所用的液體和含液體組合物，如光刻膠、蝕刻
劑、化學(xué)氣相沉積劑、容劑、晶片和i殳備清洗制劑、4匕學(xué)積4成4炮光劑等。
已進(jìn)入這樣的應(yīng)用的高純包裝的一種類型包括，包含在柔性襯 里或袋中容納液體或液體-基組合物的剛性外包裝，該襯里或袋通過 保留結(jié)構(gòu)(retaining structure )如蓋子或^1蓋物:故固定在剛性外包裝 的適當(dāng)位置。這種包裝通常稱之為"盒套袋(bag-in-box)"包裝。 該包裝的剛性外包裝，例如可以由高密度聚乙烯或其他聚合物或金 屬形成，而襯里可以作為聚合物膜材料如聚四氟乙烯(PTFE)、低
密度聚乙烯、PTFE-基多層結(jié)構(gòu)、聚氨酯等的預(yù)清潔的、消毒的可
呈惰'1"生。這種類型的包裝可以以商才示NOWPAK 乂人ATMI Inc. (Danbury， CT, USA)商購獲得。
在涉及這樣的液體和液體-基組合物的襯里包裝的分配#:作中， 通過將包括汲耳又管的分配組件連4妄至該襯里的端口 ，其中汲取管浸 沒在所容納的液體中，液體就,人^于里進(jìn)4亍分配。在分配組件如此連 接于襯里之后，流體壓力就施加到襯里的外表面，使得襯里逐漸收 縮并迫<吏液體通過用于釋方文到相關(guān)流^各的分配組件而流到最終4吏 用位置。
已經(jīng)i正明，釆用的坤于里包裝中的頂空(容器中液面上空間，head space)最小，并且優(yōu)選為零頂空是有利的，以l更抑制該液體或液體 基組合物中的顆粒和微氣泡的產(chǎn)生。
另外，在^諸存與分配來自4十里包裝中的液體和液體基組4、物 中，期望控制分配操作，以便檢測所分配材料的耗盡或接近耗盡的 情況，以便能夠及時實(shí)施下游操作的終止，或者新材料包的替換。 因此，在結(jié)束階段監(jiān)控分配操作的可靠性，尤其是空狀況(空條件， empty condition )或接近空狀況的檢測使得能夠最大利用襯里包裝， 并且這是這樣的包裝的布置和實(shí)現(xiàn)的期望目標(biāo)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明涉及用于4渚存與分配液體和液體-基組合物(liquid-based composition)的包裝i殳備詳口方;^。
在一個方面，本發(fā)明涉及一種流體儲存和分配系統(tǒng)，包括 具有內(nèi)部容積的容器；
在所述內(nèi)部容積中的襯里，布置用于以零或接近零的頂空構(gòu)造 容納液體介質(zhì)；
適于配合所述容器的分配組件，用于在分配才喿作期間將液體介
質(zhì)/人一十里耳又出；和
集成流量計，布置用于監(jiān)控在分配操作期間從襯里取出的液體 介質(zhì)，并用于在出現(xiàn)空或接近空的狀況時產(chǎn)生空或接近空的狀況相 關(guān)的輸出。
在另一方面，本發(fā)明涉及一種襯里包裝分配系統(tǒng)，包括
具有內(nèi)部容積的容器；
在所述內(nèi)部容積中的襯里，布置用于以零或接近零的頂空構(gòu)造
容納液體介質(zhì)；
適于配合所述容器的分配組件，用于在分配操作期間從村里取 出(或遞送)液體介質(zhì)；
與分配組件連接并布置用于在分配操作期間液體介質(zhì)通過其 5荒動的；^j5各；
這樣的流路包括干線(in-line)部分和可選的支線部分；
布置用于分配的液體介質(zhì)的第二容積，以4吏第二容積的分配直 到液體介質(zhì)的主容積已被完全分配后才進(jìn)行，其中所迷主容積包括 一于里中的至少一部分液體介質(zhì)，而第二容積由以下中的一個或多個 構(gòu)成
(ii)在流》各的干線部》
和(iii)在流-各的支線部《
和
空才全測器(empty detector),布置用于監(jiān)控所述分配操作，以 及用于在主容積液體介質(zhì)已一皮分配后，在所述第二容積分配開始時 由于空或4妻近空的狀況而產(chǎn)生空^r測U全空，empty detect)車敘出。
本發(fā)明的進(jìn)一步方面涉及一種襯里包裝分配系統(tǒng)，包括 具有內(nèi)部容積的容器；
在所述內(nèi)部容積中的襯里，布置用于容納由頂空覆蓋的液體介
質(zhì)；
儲罐，用氣壓計與頂空和襯里中的液體介質(zhì)以流體聯(lián)通地連 接，并布置用于容納由氣體覆蓋的液體介質(zhì)以確定儲罐中的液位； 和
空檢測器，布置用于監(jiān)控儲罐中的液位并在儲罐中的液位由于 襯里的空或接近空的狀況而發(fā)生改變時產(chǎn)生空4全測輸出。
本發(fā)明的另一方面涉及一種襯里包裝分配系統(tǒng)，包括 具有內(nèi)部容積的容器；
在所述內(nèi)部容積內(nèi)的襯里，布置用于容納由頂空覆蓋的液體介
質(zhì)；
相分離器；
分配管線，以流體聯(lián)通地連接襯里與相分離器；
液體介質(zhì)流動管線，與相分離器連接以從其中釋放液體介質(zhì)；
儲罐，位于相分離器之上，布置用于容納確定儲罐中液體介質(zhì) 液位的液體介質(zhì)；
高架管線(overhead line ),以流體聯(lián)通地連接相分離器與儲罐；
第 一液位傳感器，布置用于檢測儲罐中的第 一液體介質(zhì)液位，
在該液位處儲罐容納預(yù)定量的儲備液體介質(zhì)；
在所述高架管線中的第二液位傳感器，布置用于在所述儲備液
體介質(zhì)分配期間檢測高架管線中的第二液體介質(zhì)液位；
在所述高架管線中的第 一流量控制閥，在所述第二液位傳感器
填充4渚罐，以及用于在第一液位傳感器一企測到第一液體介質(zhì)液位時 關(guān)閉；
在分配管線中的壓力檢測致動器，操作性地布置用于在關(guān)閉高 架管線中的第 一 流量控制閥后檢測襯里的空或4姿近空的狀況，并且 在^r測到襯里的空或4妄近空的狀況時打開第 一 流量控制閥，以通過 相分離器和液體介質(zhì)流動管線分配儲備液體介質(zhì)。
本發(fā)明的進(jìn)一步方面涉及一種襯里包裝分配系統(tǒng)，包括 具有內(nèi)部容積的容器；
在該內(nèi)部容積中的襯里，布置用于容納由頂空覆蓋的液體介
質(zhì)；
儲罐，布置用于容納確定儲罐中的液體介質(zhì)液位的液體介質(zhì)；
分配管線，以流體耳關(guān)通地連接襯里與儲罐；
與儲罐連接并從其中排放液體介質(zhì)的液體介質(zhì)流動管線；
第 一液位傳感器，布置用于才企測儲罐中的第 一液體介質(zhì)液位；
第二液位傳感器，布置用于4企測儲罐中的第二液體介質(zhì)液位， 其中儲罐中的所述第二介質(zhì)液位高于儲罐中的所述第 一介質(zhì)液位；
氣體聯(lián)通管線，用于將儲罐與以下進(jìn)行連接(i)儲罐的周圍 環(huán)境，通過放空管線，該放空管線以流體聯(lián)通地連接氣體聯(lián)通管線 與該周圍環(huán)境，以及，可選地，(ii)加壓氣體源，操作性地布置用
于壓力輔助分配來自儲罐的儲備液體介質(zhì)，通過以流體聯(lián)通地連接 氣體聯(lián)通管線與加壓氣體源的加壓管線，該i文空管線具有在其中的 第 一 流體聯(lián)通控制閥，而第二加壓管線具有在其中的第二流體聯(lián)通 流量控制閥，其中第 一流體聯(lián)通控制閥操作性地連接于第二液位傳 感器，以打開并調(diào)節(jié)儲罐至第二液體介質(zhì)液位的填充，以及在達(dá)到 第二液體介質(zhì)液位時關(guān)閉，在分配操作期間，用于隨后來自襯里的
液體介質(zhì)通過分配管線和儲罐分配到液體介質(zhì)流動管線；和
在分配管線中的壓力才全測致動器，才喿作性地布置用于4全測襯里 的空或接近空的狀況，并在檢測到襯里的所述空或接近空的狀況時
打開第一和第二流體4關(guān)通控制閥之一，用于在4全測到空狀況之后持
續(xù)分配來自儲罐的液體介質(zhì)。
本發(fā)明的進(jìn)一步方面涉及一種襯里包裝分配系統(tǒng)，包括 具有第一內(nèi)部容積的容器；
在所述第一內(nèi)部容積內(nèi)的第一襯里，布置用于容納由第一頂空 覆蓋的第 一容積的液體介質(zhì)；
放空通道，適于從第一頂空排出頂空氣體；
具有第二內(nèi)部容積的空^r測々者罐(empty detect reservoir );
在第二內(nèi)部容積中的第二襯里，布置用于容納由第二頂空覆蓋 的第二容積的液體介質(zhì)；
加壓氣體源；
第一導(dǎo)管(conduit),連接于加壓氣源并布置用于使加壓氣體 流動到容器內(nèi)以向其中的第 一襯里施加壓力；
分配組件，適配于所述容器，以在分配才喿作期間在通過加壓氣 源在第 一襯里上施加壓力時從第 一襯里分配液體介質(zhì)；
第二導(dǎo)管，連接分配組件和空檢測儲罐，以向空檢測儲罐遞送 分配的液體介質(zhì)；
第三導(dǎo)管，連接于相同的或不同的加壓氣體源，并布置用于使 加壓氣體流入空才僉測儲罐中，以對其中的第二襯里施加壓力；
第二放空導(dǎo)管，與空檢測儲罐的第二內(nèi)部容積聯(lián)通，并布置用 于從第二頂空排出頂空氣體；
第四導(dǎo)管，以分配聯(lián)通地連接于空檢測儲罐中的第二襯里，并
布置用于從其中釋放液體介質(zhì)；
在所述第 一導(dǎo)管中的第 一流量控制閥； 在所述第 一放空導(dǎo)管中的第二流量控制閥； 在所述第二導(dǎo)管中的第三流量控制閥； 在所述第二放空導(dǎo)管中的第四流量控制閥； 在所述第三導(dǎo)管中的第五流量控制閥； 在所述第四導(dǎo)管中的第六流量控制閥；
第一液位指示器，布置用于檢測在所述第一放空導(dǎo)管中存在液 體介質(zhì)；
第二液位指示器，布置用于一全測所述第二力文空導(dǎo)管中存在液體 介質(zhì)；
第三液位指示器，布置用于4全測在第二襯里內(nèi)存在液體介質(zhì)；
和
控制器，布置用于執(zhí)行包括以下步驟的分配操作
打開第一和第二流量控制閥，以從第一頂空排氣；
使加壓氣體流入容器中以對第 一襯里施加壓力，從而實(shí)現(xiàn)液體 介質(zhì)的加壓分配；
在第一液位指示器感測到在第一放空導(dǎo)管中存在液體介質(zhì)時 關(guān)閉第二流量控制閥； 打開第三和第四流量控制閥，以使液體介質(zhì)從第 一襯里通過分 配組件和第二導(dǎo)管流到在空檢測儲罐中的第二襯里，以及通過第二
放空導(dǎo)管對第二頂空力文空；
當(dāng)?shù)诙何恢甘酒鞲袦y到在第二放空導(dǎo)管中存在液體介質(zhì)時 關(guān)閉第四流量控制閥；
打開第五流量控制閥；
使加壓氣體流入空^^測儲罐中以向第二襯里施加預(yù)定壓力，該 預(yù)定壓力低于在第一襯里上施加的壓力；
打開第六流量控制閥并/人第二襯里向第四導(dǎo)管分配液體介質(zhì)， 直至第二襯里中的壓力由于第一襯里中的空或接近空的狀況而降 低；
在第三液位指示器一全測到在所述第二4于里中的液體介質(zhì)處于 空或沖妄近空的狀況的指示時關(guān)閉第三和第 一 流量控制閥；和
在第一襯里中出現(xiàn)空或4妻近空的狀況之后，乂人第二襯里繼續(xù)分 配-液體介質(zhì)。
本發(fā)明的仍進(jìn)一步方面涉及一種襯里包裝分配系統(tǒng)，包括
具有內(nèi)部容積的容器；
在該內(nèi)部容積中的一十里，布置用于容納液體介質(zhì)；
分配組件，適配于所述容器，以在分配操作期間從襯里取出液
體介質(zhì)；和
傳感器，布置用于檢測分配相關(guān)的狀況，以及用于產(chǎn)生指示所 述狀況的相關(guān)l餘出。
在另一方面，本發(fā)明涉及流體儲存與分配方法，包括
提供具有內(nèi)部容積的容器和在該內(nèi)部容積中的襯里，以零或接 近零的頂空構(gòu)造容納液體介質(zhì)；
/人4于里分配液體介質(zhì)；和
在分配期間利用集成流量計監(jiān)控從襯里排出的液體介質(zhì)，并在 出SL空或4妻近空的狀況時乂人集成流量計產(chǎn)生與空或4妻近空的狀況
相關(guān)的llr出。
本發(fā)明的另 一方面涉及一種制造微電子器件的系統(tǒng)，其包括本 發(fā)明的一個或多個容器和一個或多個用于將在這樣的容器中容納 的材料施加至這樣的微電子器件的子系統(tǒng)。
本發(fā)明的進(jìn)一步方面涉及一種制造包含孩t電子器件的產(chǎn)品的 方法，包括從一個或多個容器將一種或多種材料施加至微電子器 件，以及將這樣的器件結(jié)合到這樣的產(chǎn)品中。
本發(fā)明又 一 方面涉及利用本發(fā)明的容器制造的改進(jìn)微電子器 件并且該微電子器件具有減少的缺陷。
本發(fā)明其他方面涉及對應(yīng)于以上舉例i兌明地鑒定的但缺少以
上描述的襯里特4正的那些類型的流體分配系統(tǒng)和方法。
本發(fā)明的進(jìn)一步方面涉及一種材料分配系統(tǒng)，包括其中容納有 襯里的材料儲存與分配包裝，所述襯里適于容納對其進(jìn)行壓力分配 的材料，其中該包裝通過分配管線連接于利用所分配材料的設(shè)備， 并且分配管線具有操作性地設(shè)置在其中的伺服液壓分配泵，而在該 包裝與該泵之間的空檢測壓力傳感器操作性地布置用于提供指示 該包裝接近空狀態(tài)的輸出。
本發(fā)明又一方面涉及一種材料分配系統(tǒng)，包括其中容納有襯里 的材料儲存與分配包裝，所述襯里適于容納對其進(jìn)行壓力分配的材
分配管線連接于布置用于從所述包裝按照周期補(bǔ)充進(jìn)度表接收抗
蝕劑(或光刻膠，resist)以流到所述設(shè)備的分配器，而監(jiān)視器適于 沖企測指示該包裝4妻近空狀態(tài)而補(bǔ)充分配器所需的時間的增加，以及 響應(yīng)性地才是供所述4妄近的輸出。
在另一方面，本發(fā)明涉及一種供應(yīng)才才沖牛的方法，包4舌通過乂人材
用材料的設(shè)備，所述遞送包括從該包裝將材料泵送至所述設(shè)備；以 及監(jiān)控所述泵所分配材料上游的壓力以確定出現(xiàn)其壓力逐漸增加 地快速下降，作為該包裝內(nèi)的材料開始耗盡的指示。
在又一方面，本發(fā)明涉及一種供應(yīng)材料的方法，包括從材料 儲存與分配包裝中的襯里通過壓力分配材并牛而將所述材料遞送到
利用材料的設(shè)備，所述遞送包括材料從所述包裝流到分配器，該分 配器布置用于從所述包裝按照周期補(bǔ)充進(jìn)度表接收抗蝕劑以流到 該設(shè)備，監(jiān)控該噴注室(杯，cup)的補(bǔ)充時間，以及在檢測到對 于補(bǔ)充分配器所需的時間的逐漸更快速的增加時響應(yīng)性地產(chǎn)生輸 出，作為該包裝中的材料開始耗盡的指示。
在進(jìn)一步方面，本發(fā)明涉及一種壓力分配系統(tǒng)，包括封閉有 內(nèi)部容積的容器；設(shè)置于該內(nèi)部容積中并適于在其內(nèi)容納用于壓力 分配的材料的襯里，以及適合于在該襯里上施加外部流體壓力以進(jìn) 4于/￡力^"酉己6勺A力纟iH牛(pressure assembly),其中該壓力分配系統(tǒng) 包括用于所述材料的第二容積，其中這樣的第二容積構(gòu)成了襯里的
襯里主容積的材料的壓力分配所需的加壓條件。所述壓力組件包括 流體加壓傳動裝置(drive train),其適合于在乂人主容積分配材沖+期 間和從第二容積分配材料期間，將加壓流體遞送到內(nèi)部容積中以對 襯里施加壓力，從而將從主容積和第二容積分配的材料在整個分配 過程中保持在相同壓力下。
本發(fā)明的另 一方面涉及一種4鼓電子產(chǎn)品制造裝置，包括如上所
述的壓力分配系統(tǒng)，和樣i電子產(chǎn)品制造i殳備，連4妄于壓力分配系統(tǒng)
以接收來自其的所述分配的材料。
本發(fā)明又一方面涉及一種供應(yīng)材料的方法，包括提供一種如 上所述的壓力分配系統(tǒng)；致動用于分配的壓力裝置；從襯里的主容 積分配材料；以及之后的從襯里的第二容積分配材料；其中在從襯 里的主容積分配和從襯里的第二容積的分配的整個過程中材料是 在相同壓力下進(jìn)4亍分配的。
本發(fā)明的進(jìn)一步方面涉及一種制造微電子產(chǎn)品的方法，包括通 過如上所述的方法供應(yīng)這樣的材料，以及在微電子產(chǎn)品制造過程中 利用來自這樣的分配的材料。
本發(fā)明的其它方面、特征和具體實(shí)施方式
#4居以下公開內(nèi)容和 所附;f又利要求將會更充分地明顯。


圖1是具有布置用于監(jiān)控液體介質(zhì)分配操作的空檢測傳感器的 襯里包裝分配系統(tǒng)的圖示。
圖2是具有液體介質(zhì)的主容積和第二容積的4于里包裝分配系統(tǒng) 的圖示，其布置以4吏在主容積的液體介質(zhì)凈皮完全沖毛盡之后第二容積 才開始進(jìn)4于分配，而第二容積液體介質(zhì)的分配啟動布置用于監(jiān)控液 體介質(zhì)分配4喿作的空 一企測傳感器。
圖3 5是在分配操作期間用于襯里包裝的空檢測監(jiān)控的可選替 換的儲罐組件。
圖6是根據(jù)另一具體實(shí)施方式
的儲罐空檢測系統(tǒng)的圖示。
圖7是根據(jù)又一個具體實(shí)施方式
的儲罐空^r測系統(tǒng)的圖示。
圖8是特定實(shí)施方式中的襯里包裝和儲罐空檢測系統(tǒng)的圖示。
圖9是一種分配系統(tǒng)的圖示，包括集成有伺服液壓分配泵的基 襯里的壓力分配供應(yīng)容器并利用空檢測壓力傳感器，以確定作為接 近供應(yīng)容器的切換所需的空狀況指示的壓降開始。
圖10是對于本發(fā)明一個具體實(shí)施方式
的材料遞送系統(tǒng)，供應(yīng) 包裝出口壓力作為分配的材料容積的函數(shù)的定性曲線。
圖11是根據(jù)本發(fā)明另一具體實(shí)施方式
，包括壓力分配供應(yīng)容 器的晶片涂覆系統(tǒng)的圖示，其中的壓力分配供應(yīng)容器具有將所述包 裝連接至分配器單元的分配管線。
圖12是用于如圖11所示類型的材料遞送系統(tǒng)中的分配器單元 (稱為"CRD")的時間-補(bǔ)充關(guān)系的定性曲線。
圖13是如在圖11材:扦遞送系統(tǒng)中所采用類型的COT(旋涂子 系統(tǒng))模塊的示意圖。
圖14是對于如在圖11的材術(shù)牛遞送系統(tǒng)中所采用類型的COT 模塊，作為分配抗蝕材料的容積(mL)的函數(shù)，在各自校正高度的 壓力下的時間4卜充分配器的圖示。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明涉及用于儲存和分配各種不同特性的化學(xué)試劑和組合 物的液體容納系統(tǒng)。盡管本發(fā)明后文中主要參儲存與分配照用于微 電子產(chǎn)品制造中所用的液體或含液體組合物進(jìn)行描述，但是應(yīng)該理
解本發(fā)明的利用并不局限于此，而是本發(fā)明拓展至和涵蓋各種廣泛 的其他應(yīng)用和容納的材料。
盡管本發(fā)明下文是參照包括各種襯里-基包裝和容器的具體實(shí) 施方式進(jìn)行討論的，但是應(yīng)該理解，各種各樣的這樣的具體實(shí)施方 式，例如涉及本發(fā)明的壓力分配構(gòu)造或其他特征，可以在無襯里包 裝和容器系統(tǒng)中實(shí)施。
本發(fā)明在多個方面涉及用于儲存與分配化學(xué)試劑和組合物，例 如在制造微電子器件產(chǎn)品中使用的高純液體試劑和化學(xué)機(jī)械拋光 劑的液體容納系統(tǒng)，其具有在分配操作期間當(dāng)所容納液體處于或接 近誶毛盡時的空4企測能力。
如本文使用的，術(shù)語"微電子器件"是指涂覆抗蝕劑的半導(dǎo)體
襯底、平板顯示器、薄膜記錄頭、微型電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)和
其他先進(jìn)的孩i電子組件。微電子器件可以包括圖樣化和/或包覆的硅 晶片、平板顯示襯底或聚合物，例如含氟聚合物襯底。而且，微電 子器件可以包括中孔性或樣史孔性無機(jī)固體。
在液體和含液體組合物(此后稱為液體介質(zhì))的襯里包裝中， 要求最小化襯里中液體介質(zhì)的頂空。頂空是襯里中覆蓋液體介質(zhì)的 氣體的容積(體積)。
本發(fā)明襯里基液體介質(zhì)容納系統(tǒng)特別適用于在制造微電子器 件產(chǎn)品中所用的液體介質(zhì)。另外，這才羊的系統(tǒng)也適用于多種其他應(yīng) 用，包括醫(yī)療和藥物產(chǎn)品、成型和結(jié)構(gòu)材料、食品等，只要是需要 包裝液體介質(zhì)或液體材并+的環(huán)境，都是適用的。
如本文所用的，參照襯里中的流體才是及的，術(shù)語"零頂空(zero head space)"是指襯里完全被液體介質(zhì)填充滿，并且襯里中沒有覆 蓋液體的氣體容積。
相應(yīng)地，如本文參照襯里中的流體提及的，術(shù)語"近零頂空(near zero head space )"是指襯里基本上完全被液體介質(zhì)填充滿，只是存 在非常小的覆蓋襯里中液體介質(zhì)的氣體容積，例如該氣體容積低于 襯里中液體介質(zhì)總?cè)莘e的5%,優(yōu)選低于襯里中流體總?cè)莘e的3%, 更優(yōu)選低于流體總?cè)莘e的2%,而最優(yōu)選^氐于流體總?cè)莘e的1%(或， 換種方式表達(dá)，襯里中的液體體積超過了襯里總?cè)莘e的95%,優(yōu)選 超過該總?cè)莘e的97%,更優(yōu)選超過該總?cè)莘e的98%,而最優(yōu)選超過 該總?cè)莘e的99%)。
頂空容積越大，覆蓋氣體被曳留和/或溶解在液體介質(zhì)中的可能 性就越大，因?yàn)橐后w介質(zhì)在襯里將會受到晃蕩、潑灑和位移，以及 在包裝的運(yùn)輸過程襯里受到剛性外圍容器的沖擊。這種情況又導(dǎo)致 在液體介質(zhì)中產(chǎn)生氣泡、纟效泡和顆粒，這會使液體介質(zhì)降低等級， 并使得液體介質(zhì)有可能不適合其預(yù)計的使用目的。出于這個原因的 考慮，要求頂空最小化，避過優(yōu)選用液體介質(zhì)完全填充襯里內(nèi)部容 積而消除(即處于零或近零頂空構(gòu)造)。
在襯里中存在頂空的情況下，與分配頭連接的汲取管用作與襯 里包裝配合的分配組件，分配操作的結(jié)束通過汲取管氣泡入口很容 易確定，這種氣泡表明襯里中的液體介質(zhì)已經(jīng)耗盡，僅有最初覆蓋 液體的剩余液體介質(zhì)能夠流過汲取管和分配組件的其余部分。
然而，采用零頂空或近零頂空構(gòu)造，是不可能利用這樣的氣體 進(jìn)入汲耳又管以;險測空或近空a犬況。
正如本文所用的，參照襯里或其他容器中的液體介質(zhì)提及的術(shù) 語"空"是指襯里或其他容器中的液體介質(zhì)^皮完全庫毛盡。如本文4吏 用的，參照襯里或其他容器中的液體介質(zhì)提及的術(shù)語"近空"是指 襯里或其他容器中的液體介質(zhì)基本上一皮完全一€盡，例如，襯里或其 他容器中剩余液體介質(zhì)的容積低于襯里或其他容器總?cè)莘e的5%,
優(yōu)選低于襯里或其他容器總?cè)莘e的3%,更優(yōu)選低于襯里或其他容 器總?cè)莘e的2%,而最優(yōu)選低于襯里或其他容器總?cè)莘e的1%。術(shù)語 "空檢測(檢空，empty detect)"是指襯里或容器中的空或近空狀 況的一全測，而術(shù)語"空頭檢測器"是指用于一企測這樣的狀況的一種 儀器。應(yīng)該理解，通過這種檢測器能夠感測液體介質(zhì)接近全部豸€盡， 實(shí)際上根據(jù)所采用的具體儀器和其靈敏度、標(biāo)度等是不同的，而本
統(tǒng)能夠很容易地確定合適的檢測器，而不需要過度勞動。
隨著襯里中的液體介質(zhì)4妻近壽毛盡，在零或近零頂空包裝中朝著 分配^^喿作結(jié)束的方向存在流量的顯著降^氐。例如，在容納聚乙二醇 曱基醚乙酸酯(PGMEA)的示例性商購4-L箱包袋式襯里包裝中， 在99%的分配點(diǎn)處相對于分配#:作早期階,殳的流速可測到液體 流速出現(xiàn)20%的降低。
在一個方面，本發(fā)明利用了襯里包裝的零或近零頂空構(gòu)造中的 液體介質(zhì)接近用光的這種流速下降現(xiàn)象，通過讓分配的液體介質(zhì)流 過一個集成流量計，而進(jìn)4于空或近空狀況的一全測。因此，集成流量 計能夠用于監(jiān)控液體分配速率，而提供指示接近空狀況的流速降低 的輸出，以便耗盡的襯里包裝脫離分配操作，有利于容納液體介質(zhì) 的新襯里包裝以所需流速進(jìn)行繼續(xù)分配。因此，這樣的集成流量計 的使用，解決了設(shè)定點(diǎn)流速的任何降低是不可接受的應(yīng)用中存在的 潛在流速問題。
集成流量計可以商購獲得，基于本文公開的內(nèi)容，本技術(shù)領(lǐng)域 的技術(shù)人員很容易確定這樣的流量計的合適類型。在一個具體實(shí)施 方式中，集成流量計是一種電子輸出集成流量計，其提供的空檢測 輸出信號，該輸出信號可通過相關(guān)監(jiān)控和控制設(shè)備處理。例如，襯
里包裝可以用RFID標(biāo)簽作為配^牛，例如配備到^)"里自身上，或配 備在襯里所倚靠的剛性第二層包裝上。RFID標(biāo)簽可以包括一個RF 天線，用于標(biāo)簽與查詢該標(biāo)簽的處理控制器之間的信息傳輸。因布 置用于監(jiān)控分配流體介質(zhì)流速的該電子Mr出集成流量計能夠向包 裝上的RFID標(biāo)簽提供空檢測信號，以便處理控制器接收與襯里包 裝液體介質(zhì)耗盡或接近耗盡相關(guān)聯(lián)的相應(yīng)空警告信號，并執(zhí)行自動 切換到新的包裝，或者另外地從用光的包裝終止分配才乘作。
可替換地，出于相同的目的，電子輸出集成流量計能夠被布置 成直接將液體介質(zhì)接近耗盡相關(guān)的控制信號發(fā)送給處理控制器。
圖1是具有布置用于監(jiān)控液體介質(zhì)分配操作的空檢測傳感器的 襯里包裝分配系統(tǒng)的圖示。
如舉例說明的，襯里包裝分配系統(tǒng)包括一個包括剛性第二層包 裝12的襯里包裝10,該第二層包裝12限定了一個內(nèi)部容積14, 該內(nèi)部容積14中方文置了一個柔性、可4斤疊一于里16，用于容納液體 介質(zhì)18。覆蓋液體介質(zhì)18的是包含氣體的頂空20。結(jié)合到第二層 包裝12,與其中的內(nèi)部容積14流體聯(lián)通的是加壓氣體進(jìn)料管24。 氣體進(jìn)料管24又連接于加壓氣源(氣源在圖1中未顯示)，通過該 加壓氣源，加壓氣體按照箭頭A所示方向流進(jìn)氣體進(jìn)料管24。
由氣體進(jìn)料管24引入的氣體進(jìn)入內(nèi)部容積14并對襯里16的 外部表面施加壓力，由此實(shí)現(xiàn)襯里的掛縮和液體介質(zhì)18從此處的 壓力分配。
液體介質(zhì)18的分配通過汲取管22是有利的，其中汲耳又管22 延伸到剛性第二層包裝12和襯里16中(例如，穿過襯里端口結(jié)構(gòu)， 在圖1中為了方^更描述，未顯示)。汲耳又管22下端開口，來自S十里 (襯里內(nèi)部)的液體介質(zhì)18在加壓氣體在襯里上施加壓力的推動 作用下流動，通過汲取管22和連接到汲取管的流動管線30，到達(dá) 其中包含空檢測傳感器32的液體介質(zhì)排放管34。液體介質(zhì)從排放 管34"l安照箭頭B所示的方向排》文出來。
^/,向內(nèi)部容積14引入加壓氣體，外壓也能夠通過液壓或積j 械方式施加到襯里上，以實(shí)現(xiàn)襯里中液體介質(zhì)的分配。
隨著液體介質(zhì)分配過程的推進(jìn)，襯里16逐漸坍塌，直至液體 介質(zhì)4€盡。在該結(jié)合處，來自坤于里中頂空20的氣體，而不是液體 介質(zhì)，流進(jìn)汲取管22、流動管線30和液體介質(zhì)排放管34。氣體而 不是液體介質(zhì)穿過空一企測傳感器32，從而啟動所述傳感器的襯里空 4犬況或近空 一犬況的4全測。
這種空4企測傳感器可通過各種才莫式工作，以;險測氣體進(jìn)入到液 體介質(zhì)分配流^各。例如，空4企測傳感器能夠利用光學(xué)感測氣體穿過 了適當(dāng)物料的主干線透明管或儲罐，例如含氟塑料聚合物，如聚四 氟乙烯和全氟乙烯醚(PFA)的聚合物，或者可替換地是包括這種 PFA管或儲罐的傳感器布置中的容量電效應(yīng)。
盡管前述用于空4僉測^喿作的布置對于確定何時襯里的液體4毛 盡是有效的，但是它要依靠襯里中覆蓋液體介質(zhì)的頂空氣體的存 在。如果是襯里中完全充滿液體介質(zhì)的零頂空構(gòu)造的情況，就沒有 氣體可用于檢測從襯里供應(yīng)液體介質(zhì)的終點(diǎn)。
圖2是具有主容積液體介質(zhì)和第二 (附加)容積液體介質(zhì)的零 或近零頂空襯里包裝分配系統(tǒng)的圖示，其中的主容積液體介質(zhì)和第
二容積液體介質(zhì)的布置為使主容積液體介質(zhì)被完全用光之前不進(jìn) 行第二容積液體介質(zhì)的分配，而第二容積液體介質(zhì)的分配啟動布置 用于監(jiān)控液體介質(zhì)分配操作的空檢測傳感器。正如圖2所舉例說明 的那樣，舉例說明的村里包裝分配系統(tǒng)包括襯里包裝10，其包含一
個剛性第二層包裝12,限定一個內(nèi)部容積14,在這個內(nèi)部容積14 中放置了一個柔性、可坍縮襯里16,用于容納液體介質(zhì)18。該襯 里中沒有頂空，但是襯里中除了其間的主容積液體介質(zhì)外，還包括 圖示在實(shí)線40之內(nèi)的第二容積。第二容積液體介質(zhì)是襯里中主容 積液體介質(zhì)相同類型的液體介質(zhì)，4又有的差別在于布置的第二液體 介質(zhì)只有在主容積液體介質(zhì)分配完成后才能夠進(jìn)4于分配。第二容積 可以是襯里中相對于村里中主容積分隔開的空間。
可替換地，第二容積可以;改置于流動管線30的干線上，如所 示的第二容積42,或者第二容積可以/人流動管線30分支，如所示 第二容積放置在三通管48上。管線上的第二容積42優(yōu)選支線型的 第二容積46,因?yàn)?艮難翻轉(zhuǎn)和吹洗死角以將新鮮大量的液體介質(zhì)供 應(yīng)到下游工藝過程中。內(nèi)部第二容積40是最優(yōu)選的，其優(yōu)點(diǎn)在于 減少了分配傳動組件的需要，和比第二容積42和/或46的成本都4氐， 以及內(nèi)部第二容積40每個循環(huán)都4是供新鮮的第二容積的高純液體 介質(zhì)。
在圖2系統(tǒng)中，連"t妾到第二層包裝12并與其中的內(nèi)部容積14 流體聯(lián)通的是加壓氣體進(jìn)料管24。氣體進(jìn)料管24又連接于加壓氣 源(在圖2中未顯示氣源)，通過這種布置，加壓氣體^l安照箭頭B 指示的方向流進(jìn)氣體進(jìn)料管24。
由氣體進(jìn)料管24引入的氣體進(jìn)入內(nèi)部容積14并在襯里16的 外部表面施壓，由此實(shí)現(xiàn)襯里的坍縮和液體介質(zhì)18的壓力分配。
液體介質(zhì)18的分配通過汲耳又管22是有利的，該汲耳又管22延 伸進(jìn)到剛性第二層包裝12和襯里16(例如，通過襯里的端口結(jié)構(gòu)， 在圖2中為了方《更描述而未顯示)。汲取管22在其下端開口， 4于里 的液體介質(zhì)18在加壓氣體施加在襯里上施加壓力的4侏動下流動， 通過汲取管22和連接到汲取管的流動管線30，而進(jìn)入液體介質(zhì)排 放管34。液體介質(zhì)從排放管34按照箭頭A所示的方向排出。
在主干管線上的外部第二容積42安裝在流動管線30上或與之 3f關(guān)通，示出的是具有壓力(箭頭C示意性描述)施加于其上。支線 第二容積46處于三通管48上或與之耳關(guān)通，例如，三通管48連才妻 于這種支線管的末端，示出的是具有壓力(箭頭D示意性描述)施 加于其上。
體介質(zhì)隔開部分，則通過引入氣體進(jìn)^1"管24的加壓氣體在襯里上 施力口的壓力，足以實(shí)現(xiàn)內(nèi)部第二容積液體介質(zhì)的分配。然而，如果 該第二容積是在襯里包裝的外部，在對應(yīng)的第二容積襯里中，第二 容積4于里必須具有施加于其上的附加壓力，T者如通過力。壓氣體的單 獨(dú)施用，或通過液壓或才幾才成方式在其上施力口壓力。
第二容積的布置和實(shí)施必須確保第二容積在主容積液體介質(zhì) 完全耗盡之前不會開始坍縮。例如，這通過使第二容積坍縮的力大 于主容積坍縮的力就能實(shí)現(xiàn)。在第二容積液體介質(zhì)上施加的掛縮力 能夠以"推，，(在第二容積液體介質(zhì)上施加主動壓力)或"拉"(從 第二容積才由或4立'液體介質(zhì))方式施力口。
第二容積的液體介質(zhì)能夠容納在類似于容納在主容積液體介 質(zhì)的襯里的聚合物膜襯里中，或者第二容積液體介質(zhì)可以容納在通 過氣嚢、隔膜或掛縮管限定的區(qū)域，或者通過其他合適的結(jié)構(gòu)確保 主容積液體介質(zhì)首先庫€盡后才開始分配任何第二容積液體介質(zhì)?；诒疚墓_的內(nèi)容，特定布置的第二容積限制區(qū)域是易于確定的， 但需要考慮成本、流通效率、流動通道中出現(xiàn)死區(qū)等因素。
在分配期間，隨著主容積液體介質(zhì)被完全耗盡，第二容積液體 介質(zhì)承擔(dān)向下游工藝過程或4吏用分配液體介質(zhì)的其他位點(diǎn)供應(yīng)液 體介質(zhì)的4壬務(wù)。 一旦出現(xiàn)從本發(fā)明的主容積液體介質(zhì)向第二容積液 體介質(zhì)的切換，則分配系統(tǒng)中的空檢測檢測器就必須檢測到這種變化。
一般而言，對第二容積的分配開始的檢測可以通過安裝在流動通道上的檢測器(在圖2中未顯示)或沖丸4亍沖全測的其他結(jié)構(gòu)以任何 合適的方式進(jìn)行。有用的檢測方案的示例性例子包括但不限于，布 置用于檢測主容積液體介質(zhì)向下游使用點(diǎn)流動的壓力衰減的壓力 傳感器；與系統(tǒng)中"推"和"拉"元件使用相關(guān)的負(fù)載變化，因?yàn)?可以才企測隨限定的第二容積液體介質(zhì)分配增多而增加的負(fù)載增加； 流量測定，如果第二容積安裝在支線的三通管上；和/或測定第二容 積液體介質(zhì)的位移。在這樣的片企測方案中能夠使用的特定儀器，各 種各樣地包括電子壓力傳感器；熱或其他流量傳感器；電流荷載監(jiān) ^L器；容量的、感應(yīng)的、霍耳效應(yīng)、或光學(xué)位移元件等。
在一個具體實(shí)施方式
中，第二容積液體介質(zhì)可以以一個比用于 分配第 一襯里包裝主容積液體介質(zhì)所需的壓縮力更4氐的獨(dú)立加壓 氣體的壓縮力用于分配第二容積液體介質(zhì)的第二襯里包裝4是供。
在一個特定的具體實(shí)施方式
中，襯里包裝利用了焊接至襯里的 彈性(柔性)構(gòu)件，其中彈性構(gòu)件在性質(zhì)上比構(gòu)建襯里的襯里膜更 硬。彈性構(gòu)件的布置使得在襯里內(nèi)形成了 一個限定的子容積液體介 質(zhì)，例如，在襯里內(nèi)部容積中的一個夾套結(jié)構(gòu)，其可以伸縮而釋方文 夾套內(nèi)的液體介質(zhì)。由此彈性構(gòu)件就產(chǎn)生了一個小壓降，例如1 3 psig大小，但是相當(dāng)精確地分配液體介質(zhì)的量。然后壓力傳感器或泵扭矩(通過泵產(chǎn)生的安培數(shù)測定)就能用 于檢測液體介質(zhì)分配管線中的壓降。如果襯里包裝自身被用作泵， 通過在襯里的外表面上施加壓力進(jìn)行壓縮而使襯里坍縮并將液體 介質(zhì)從襯里排出，那么在襯里中的彈性構(gòu)件將會產(chǎn)生一個維持分配 管線壓力所需傳動壓力的增加。
換句話說，當(dāng)襯里另外變空時，為了維持連接于襯里包裝的分 配管線中具有的相同壓力(與襯里總?cè)莘e液體介質(zhì)早期分配期間的 壓力相同)，通過傳動例如加壓氣體遞送流^各，其例如可以包4舌在 襯里上施加氣體壓縮力的空壓機(jī)或流體泵，而施加到襯里上的壓縮 力的大小就需要增加，以克^^與彈性構(gòu)件相關(guān)的附加增加的壓降。
空才全測警才艮可能響應(yīng)于當(dāng)大多翁:液體介質(zhì)乂人襯里內(nèi)部容積—皮 耗盡時出現(xiàn)的傳動壓力和分配管線壓力之間的細(xì)微壓差變化而被 啟動，然后，傳動壓力增加，而維持所需壓力和彈性構(gòu)件限定的子 容積限定的分配液體介質(zhì)的流速。
在襯里內(nèi)部容積中，彈性構(gòu)件限定的受限子容積可以是任何合 適的形式。在一個具體實(shí)施方式
中，彈性構(gòu)件以以下形式提供"V" -形板元件，例如通過超聲波焊接、溶劑焊接或其他任何合適的方式 焊接至襯里的邊沿(底部、側(cè)面或頂邊)，"V"-形一反元件的每一邊 焊接至襯里的每一邊。在另一個具體實(shí)施方式
中，彈性構(gòu)件是以平 的或微曲的矩形構(gòu)件焊接至襯里平面部分的形式提供。在又 一個具 體實(shí)施方式中，彈性構(gòu)件布置成-萊狀構(gòu)件，而焊4妻至襯里的平面部 分，例如接近襯里中部的部分。
因此，本發(fā)明構(gòu)思的壓力分配系統(tǒng)，包括一個封閉內(nèi)部容積的 容器，設(shè)置在所述內(nèi)部容積中并適合容納壓力分配材料的襯里，以 及適合用于在襯里上施加外部壓力用于壓力分配的壓力組件(裝 置)，其中壓力分配系統(tǒng)包括用于所述材料的第二容積，其中第二
容積構(gòu)成了襯里的子容積，其壓力分配所需的加壓條件不同于不包 括這種子容積的^"里主容積材并+壓力分配所需的加壓條件。壓力組 件包括適用于在主容積材4+分配期間和第二容積材沖牛分配期間遞 送加壓流體進(jìn)入內(nèi)部容積而在襯里上施加壓力以維持分配材料在 主容積和第二容積整個分配操作期間處于相同壓力的流體加壓傳 動裝置。
流體加壓傳動裝置，在一個實(shí)施方式中，包括適用于維持主容 積和第二容積的整個分配才喿作/人頭至尾期間處于相同壓力的空氣
壓縮才幾或;危體泵的;庇3各(flow circuitry )。
襯里使用時，容納適合計劃應(yīng)用特性的材料，例如制造微電子 產(chǎn)品的材料。以上描述的壓力分配系統(tǒng)能夠作為微電子產(chǎn)品制造設(shè) 備的一個部件才是供，與壓力分配系統(tǒng)連4妻而4妄收其分配的材料的微 電子產(chǎn)品制造設(shè)備組合使用。
以上描述的壓力分配系統(tǒng)能夠用于供應(yīng)材料的方法中，其中壓 力裝置啟動后，接著首先進(jìn)行襯里主容積材料的分配，隨后是襯里 第二容積材料的分配，而襯里主容積材料分配和襯里第二容積材料 分配的整個過程中，材料的分配是在同一壓力下進(jìn)行的。例如分配 的材料可以包含微電子產(chǎn)品制造中的材料，由此材料可以如所描述 那樣進(jìn)行分配，并在微電子產(chǎn)品的制造加工過程中利用。
在另 一個具體實(shí)施方式
中，襯里包裝空檢測系統(tǒng)包括一個改進(jìn) 的氣壓計，以提供用于微電子器件器制造操作中的晶片加工所用液 體的儲罐。在這種布置中，襯里包裝在襯里中具有頂空，從那兒能 夠抽出頂空氣體，以在襯里包裝中提供最小頂空。該頂空的容積例 如可以在數(shù)量級上為100 150 mL，其向儲罐容器排氣，用于液位 檢測，以提供當(dāng)襯里中所存液體介質(zhì)達(dá)到、或接近耗盡狀態(tài)時感測 襯里包裝空檢測狀況的能力。
在這種空檢測系統(tǒng)中所用的儲罐能夠是任何合適的類型，例如 如圖3 5中所示的備選形式之一，其中相應(yīng)部件和特4正在各自的附 圖中都相應(yīng):l也才示號。
參照附圖3 ，儲罐系統(tǒng)60布置用于接收進(jìn)料管64中襯里包的 液體介質(zhì)，進(jìn)入儲罐62后在那兒形成液體介質(zhì)容積66，而進(jìn)料管 64的多余氣體形成氣體空間70，從那里多余的氣體可以被排掉， 在4非空管線76中包4舌一個流量^:制閥78。
從儲罐，容積66的液體介質(zhì)可以排放到其中包括流量控制閥 74的管線72中，通過這里后，到達(dá)下游4吏用i殳施或位置，例如孩吏 電子器件制造設(shè)施。
為了監(jiān)控空狀況或近空狀況的出現(xiàn)，放空閥78和液體介質(zhì)流 量閥74被關(guān)閉，向襯里包中中的襯里外表面施加分配壓力，以使 頂空氣體從襯里^皮迫到達(dá)儲罐62的頂部區(qū)域。當(dāng)液體介質(zhì)被完全 從襯里排出時，儲罐62頂部區(qū)域的氣體處于壓力下，就能夠?qū)崿F(xiàn) 儲罐中液體介質(zhì)的壓力分配而到達(dá)下游過程，以完成液體介質(zhì)的進(jìn) 泮+，而不用纟冬止;充動。
從儲罐到下游工藝過程的液體介質(zhì)分配期間，容納現(xiàn)存液體介 質(zhì)的新襯里包裝能夠連接到液體介質(zhì)分配系統(tǒng)的流路中，或者以其 他方式"切換進(jìn)來"以更新襯里包裝分配才喿作。
在襯里包裝"耗干"期間從儲罐62分配的液體介質(zhì)量，如圖3 中用交叉陰影線畫出的容積68所示。隨著這個補(bǔ)充量的液體介質(zhì) (容積68 )分配到下游工藝過程中，這種液體介質(zhì)的下降液位將會 一皮液位一企測單元80 一全測。液位4企測單元80可以引入任何合適類型 的液位傳感器元件，例如紅外液位傳感器或容量傳感器，通過4全測 單元80感測的空狀況或近空狀況，可以4吏4企測單元啟動合適的警
報，并送出控制信號到自動切換系統(tǒng)，以換入分配所用的新襯里包 裝，或者采取其他合適的行動。
圖3的儲罐系統(tǒng)設(shè)置在過程流路管線上，既起到襯里包裝排干 分配材料時供應(yīng)液體介質(zhì)的緩沖罐或儲存罐的作用，又起到即使在 襯里包裝的襯里中存在頂空時用于提供合適的警報或相關(guān)行動的 液位4全測裝置的作用。
在圖4中儲罐系統(tǒng)中，儲罐的結(jié)構(gòu)除了儲罐在中間部分具有一 個直徑縮小部分82用于液^M企測傳感以外，與圖3所示的相同， 而直徑縮小的部分，如所示，由截頭錐形過渡部分84和86位于兩側(cè)。
除了直徑縮小部分82相對于圖4的檢測系統(tǒng)中該部分長度具 有一個^立長特^E外，如圖5所示的沖企測系統(tǒng)是圖4中的4企測系統(tǒng)相 同的結(jié)構(gòu)，而圖5系統(tǒng)中直徑縮小部分82在其下端如所示那樣具 有一個流量限制器90。
圖3 5的三個儲罐空檢測系統(tǒng)布置用于最小化分配液體介質(zhì)中 溶解氣體的引入，因?yàn)槿魏稳芙鈿怏w都能在后來以氣泡形式出現(xiàn)。 圖4和5的空檢測系統(tǒng)具有一個直徑縮小的中間部分82，限制了氣 體擴(kuò)散進(jìn)入分配的液體介質(zhì)。圖5的系統(tǒng)已經(jīng)證實(shí)，為氣體的引入 提供了更長的障礙(即圖5的系統(tǒng)提供了氣體從液體介質(zhì)離析的長 通道)。作為另一個變體，儲罐能夠制成上部氣體段和下部液體部 分，中間通過一個長長的盤管互連，以給儲罐各個氣液部分提供良 好的隔離。
圖5的儲罐提供了一個外來氣泡的捕獲器，捕獲的氣泡在頂空 氣體從襯里包裝進(jìn)行最初排出之后通過襯里而被排除。如果氣泡上 升通過儲罐直徑縮小的中間部分，這種氣泡的移動可能會導(dǎo)致儲罐
顯著的對流混合，這將會加速液體介質(zhì)的氣體吸收。在頂空氣體初 始轉(zhuǎn)移期間，壓力逐漸增加將會迫使氣體上升到儲罐的頂部。
圖6是根據(jù)另 一個具體實(shí)施方式
的儲罐頂空檢測系統(tǒng)的圖示，
并描述了正常分配期間儲罐的加壓過程。先前描述的圖3 5的氣壓
中。該液體介質(zhì)混合后進(jìn)入下面的儲罐，而氣泡可能隨后與液體介 質(zhì)分配。圖6的系統(tǒng)在^諸罐中于常壓下儲存儲備液體介質(zhì)。
圖6的襯里包裝和儲罐系統(tǒng)100包括如圖示的襯里包裝116， 其連4妾于包含4立于壓力開關(guān)或傳感器上游的止回閘或閥門的分配 管線118。從壓力開關(guān)或傳感器，液體介質(zhì)和頂空氣體流過管線112 進(jìn)入相分離器，其中氣體通過止回閥、相分離器、儲罐102和閥門 V3和(如果存在)VI排空。當(dāng)液體介質(zhì)液位升高到液位傳感器1 時，閥門V3關(guān)閉，而儲存儲備量的液體介質(zhì)。
儲罐102連接于氣體排;改管線106,該管線106又連接到其上 具有閥門VI的排;改管110 (到排氣口 )和其上包含閥門V2的分支 管線108(到N2)。儲罐102位于相分離器的上方，在相分離器的 上部與上面疊置的4諸罐通過其上具有液位傳感器2和閥門V3的高 架管線104流體耳關(guān)通連4妄。相分離器在其下部又連4秦于其上含有閥 門V4的液體介質(zhì)流動管線。
當(dāng)襯里包裝準(zhǔn)備向下游工藝過程分配液體介質(zhì)時，閥門V4打 開，液體介質(zhì)開始流動。浮動氣泡通過相分離器而^l捕獲，而液體 介質(zhì)繼續(xù)分配。當(dāng)襯里包裝116流空時，分配管線中的壓力下降， 壓力開關(guān)/傳感器將會啟動。然后閥門V3就打開，液體介質(zhì)從儲罐 進(jìn)料到分配過程。當(dāng)液體液位下降至液位傳感器2時，閥門V3和 V4關(guān)閉，則襯里包裝116將需要切換。由于在管線118上存在止回閥/閥，坤t里包裝116能夠在液^f立傳 感器1啟動時脫開管線，而在下游工藝過程從儲罐中的儲備液體介 質(zhì)進(jìn)料的同時切換襯里包裝。
閥門VI和V2是可選的系統(tǒng)組件，其能簡單地在4諸罐打開排 空時工作。但是，出于安全考慮和最小化溶劑蒸發(fā)的目的而言，在 屬于或含有揮發(fā)性材料的情況下，優(yōu)選使用閥門VI,并在儲罐填 充時打開。當(dāng)儲罐填充到液位傳感器1時，Vl將會關(guān)閉。管線118 上的壓力開關(guān)或傳感器一旦啟動，表明襯里包裝已空，閥門V3打 開，閥門l也打開，而允許^f吏用儲備液體介質(zhì)。另外，如果壓力分 配需要，閥門V2將會代替閥門VI打開。
如果閥門VI在乂人4諸罐分配液體介質(zhì)期間4吏用，下游泵就有可 能由此產(chǎn)生的負(fù)壓條件而產(chǎn)生氣泡。^f吏用閥門V2代替閥門VI進(jìn) 行加壓，就會出現(xiàn)這種負(fù)壓事故。溶解的氣體可能存在于從儲罐中 出來的儲備供應(yīng)液體介質(zhì)中，但是由于所涉及的操作時間短，這種 結(jié)果應(yīng)該是最小或根本不存在。
圖7是根據(jù)還有的另 一個具體實(shí)施方式
的儲罐空檢測系統(tǒng)的圖 示。圖7中并未顯示出襯里包裝，但是可以包含的襯里包裝類型能 夠乂人ATMI, Inc. (Danbury， CT, USA)以商標(biāo)名PDMPak商購獲得， 該襯里包裝連接于液體介質(zhì)進(jìn)料管線126 ("PDMPak")。進(jìn)料管線 126含有止回閥或其^也類型的閥門，這種閥門的下游就是壓力開關(guān) 或傳感器。
進(jìn)料管線126連接于在其上部具有液位傳感器2的儲罐122, 液位傳感器1安裝于其下部。卩諸罐的下部連4妻到其上具有流量控制 閥V3的排放管124。在其上部末端，儲罐連接于管線128，該管線 又連接到其上具有閥門VI的分支管線130 (到排氣口 )，以及其上 含有閥門V2的分支管線132 (到N2 )。
在圖7的系統(tǒng)啟動時，頂空氣體,人坤于里包裝凈皮迫通過止回閥/
閘，向上穿過4諸罐并乂人管線128和130 4非出，VI處于打開狀態(tài)。
當(dāng)液體開始流向儲罐，開始對其進(jìn)行填充時，液位開始上升，當(dāng)達(dá)
到液^f立傳感器2時，閥門V1關(guān)閉。然后系統(tǒng)準(zhǔn)備向下游工藝i殳施 例如樣i電子器4牛制造i殳備分配液體介質(zhì)。應(yīng)該注意，液4立傳感器2 可能換種方式安裝于管線128上，由此使儲罐完全填充滿化學(xué)品， 而進(jìn)一步最小化氣體曳留。當(dāng)襯里包裝達(dá)到空狀況時，壓力開始下 降，而這種壓降就啟動壓力開關(guān)。4吏用者可選4奪i殳定閥門VI或V2 之一在這種工作階段下打開。如果閥門V1選I奪打開，則系統(tǒng)中的 壓力將會從分配壓力降回到常壓。如果閥門V2選擇打開，則儲罐 的壓力將會升高到系統(tǒng)4吏用作為襯里包裝分配"l喿作加壓氣體的氮 氣的供應(yīng)壓力。
在圖7系統(tǒng)中，使用者有能力在液位傳感器1和液位傳感器2 之間遞送液體介質(zhì)。
當(dāng)液位傳感器1啟動時，襯里包裝應(yīng)該切換而分配操作應(yīng)該終止。
在管線126上存在止回閥，就使得使用者能夠在液位傳感器2 啟動時移走和切換襯里包裝，由此限制了下游^:用液體介質(zhì)的工藝 過禾呈的1亭才幾時間。
圖8是一個特定實(shí)施方式中的襯里包裝和儲罐空或近空檢測系 統(tǒng)的圖示。這個具體實(shí)施方式
4吏用了壓力分配和液位一全測，而不需 要分配氣體(加壓氣體)4妻觸液體介質(zhì)。
圖8的系統(tǒng)<吏用了 "弁瓦套袋/氣嚢(bag/bellow in bottle )"型的 襯里包裝作為空檢測容器，布置用于空檢測監(jiān)控襯里包裝和儲備液
體介質(zhì)向下游工藝過程設(shè)施的壓力分配，而不用分配氣體直接4妻觸 液體介質(zhì)。
在圖8系統(tǒng)啟動時，閥門VI和V2打開并乂人4于里包裝200頂 空排氣，所述襯里包裝200包括容納襯里204的容器202,并經(jīng)由 蓋208與包括汲耳又管206的分配組件連4妾。加壓氣體(N2 )通過加 壓氣體進(jìn)料管210引入到容器202的內(nèi)部容積，向襯里上施加壓力， 而實(shí)^見液體介質(zhì)的壓力分配。
圖8系統(tǒng)中的襯里包裝能夠是任何合適的類型。這種類型的容 器可以/人ATMI, Inc. (Danbury, CT, USA)以商標(biāo)名NOWPAK商購獲 得，具有4-L液體介質(zhì)容量，以及3-端口探測器設(shè)計，如舉例說明 的所示。
當(dāng)液位指示器1傳感液體時，閥門V2關(guān)閉，這就中斷了頂空 氣體流出閥門V2 。然后閥門V3和V4打開，讓液體介質(zhì)經(jīng)由液體 介質(zhì)傳輸管線220進(jìn)入空4企測容器226?？找黄鬁y容器布置成直通端 口結(jié)構(gòu)，而4吏氣體乂人閥門V4和4非氣管222逸出。
一旦液位指示器2感知液體的存在(液4立指示器3布置成液4立 指示器2啟動之前啟動)，閥門V4就關(guān)閉，由此終止液體介質(zhì)流過 這個排氣閥。經(jīng)過一個短延遲后，閥門V5打開，由此讓加壓氣體 (N2)引入，以向空檢測容器內(nèi)部容積提供壓力。該空檢測容器的 供應(yīng)壓力設(shè)置成稍微低于向襯里包裝內(nèi)部容積施加的供應(yīng)壓力。通 過這種布置，只要液體介質(zhì)處于襯里包裝內(nèi)，液體介質(zhì)就會從襯里 包裝進(jìn)行分配，而不會從空4企測容器226進(jìn)行分配。
一旦所需壓力通過加壓氣體流過閥門V5達(dá)到，閥門V6就打 開，將液體介質(zhì)排放管228中的液體介質(zhì)供應(yīng)到下游過程設(shè)備250。 下游過程設(shè)備250可以是任何合適的類型，例如微電子器件制造設(shè)
備，其包括一個淀積室，用于在半導(dǎo)體坤十底上沉積光刻月交； 一個離
子注入設(shè)備，用于半導(dǎo)體襯底的離子注入； 一個化學(xué)氣相沉積設(shè)備，
用于接收在平板顯示器襯底上沉積金屬的有機(jī)金屬試劑等。實(shí)際 上，襯里包裝進(jìn)料設(shè)備中的液體介質(zhì)被完全用光。當(dāng)這種情況發(fā)生
時，空沖全測容器內(nèi)的壓力就會下降。流過閥門V5的氮?dú)猱a(chǎn)生的分 配壓力進(jìn)行了補(bǔ)償代替并繼續(xù)從檢測容器向下游工藝過程分配 液體介質(zhì)。
液位指示器3在空4全測容器進(jìn)行分配時一皮啟動，這表明襯里包 裝需要替換。閥門V3和VI在液位指示器3啟動時將會關(guān)閉，由 此容許襯里包裝安全切換而同時下游的工藝過程繼續(xù)在空4企測容 器儲備液體介質(zhì)供應(yīng)下工作?？諜z測容器布置成具有最小液體介質(zhì) 儲備，以便空檢測容器能夠供應(yīng)足夠的液體介質(zhì)用于繼續(xù)操作，例 如在一個特定的實(shí)施方式中，分配的樣l電子器件試劑的lt量足夠2 船載晶片(即2營業(yè)地用(two lots)晶片(=50晶片))。 一旦襯里包裝一皮切換出來，就重復(fù)液體介質(zhì)分配過程。
空檢測容器能夠以任何合適的方式進(jìn)行構(gòu)造和操作。在一 個具 體實(shí)施方式中，空才全測容器用可坍縮膜制成，其可在不向液體介質(zhì) 直接施加壓力的情況下^皮加壓，因此避免了成泡氣體飽和的液體介質(zhì)。
其也可以用于避免加壓氣體4妄觸、液體介質(zhì)的加壓結(jié)構(gòu)包括袋、氣嚢、坍縮管等。
另 一可替換結(jié)構(gòu)采用 一根管，具有一個浮球?yàn)榭找黄鬁y容器加壓，同時保持液體介質(zhì)與加壓氣體分開。這種方法的一個變體，應(yīng) 用柱塞或活塞都能夠起到同樣的效果，其中的活動部件能夠進(jìn)行調(diào) 節(jié)，而不會對分配液體的所需純度狀況產(chǎn)生負(fù)面影響。
在又一個實(shí)施方式中，本發(fā)明設(shè)想了具有集成傳感器的超高純 包裝，以增加包裝的功能性，例如改進(jìn)了在其儲存期間、運(yùn)輸和隨
后的使用中的包裝內(nèi)容物的識別，以及從包裝到工廠自動化/控制的 集中IT系統(tǒng)之間的連接信息，由此實(shí)現(xiàn)成本降低，生產(chǎn)效益增加，
/人而增強(qiáng)包裝盒包裝產(chǎn)品的成本核算效益。
出于這種目的4吏用的傳感器，可以采用一皮動無線電頻率識別
(RFID)技術(shù)，術(shù)語"被動(passive)"是指這種技術(shù)不使用電池 供應(yīng)能量，而是在詢問RF信號中使用RF能量。在這種信號中的 電能，其也可以包含信息，通過天線-接收。簡單的電^各就能處理所 感知的電信號，例如通過二才及管電^各整流，以及例如通過電容電鴻^ 儲存，以便于在合適的積分時間之后，所處理的信號可以用于喚醒 并才喿作^皮動RFID芯片。
被動RFID,盡管用于只讀或讀寫非易失性存儲器操作，在本 發(fā)明的各種包裝應(yīng)用中，也能用于傳感器中，特別是所感知的所需 數(shù)據(jù)密度足以低至通過被動方法中能量限制就能滿足的環(huán)境。各種 ,皮動RFID方案都可以利用，包4舌ISO 14443 (類型A、 B和C ), 在13.56MHz下才喿作，和EPC Gen-2 ，在約900MHz才喿作。
在本發(fā)明廣泛的實(shí)踐中能夠使用的傳感器包括但不限于，液體 或固體水平(液位)傳感器，以及物質(zhì)性質(zhì)傳感器。
液位傳感器能夠是各種類型的，包括重力傳感器。當(dāng)采用箱-包-袋型包如由ATMI, Inc. (Danbury, CT, USA)以商標(biāo)名NOWPAK 商購獲得的，則襯里壁一般是無支撐的，整個襯里由分配噴嘴自由 懸掛。在這種結(jié)構(gòu)中，應(yīng)力量和由此在分配噴嘴物理支撐上產(chǎn)生的 機(jī)械變形(應(yīng)變)，通過傳感器是能夠進(jìn)行測量的，由此確定襯里 中剩下的材料量。例如，這種測量方法可能精度較低，為總襯里容 積的l/8級別，類似于汽車燃料計量表，而傳感器在工廠時就設(shè)定 為零。為了改進(jìn)這種傳感器應(yīng)用的具體實(shí)施方式
的靈壽丈度，分配噴 嘴能夠用具有特定物質(zhì)厚度的特定物質(zhì)制成，其上可以安裝應(yīng)變
4義，以測定應(yīng)變，例4。， -使用惠其斤通電橋(Wheatstone bridge )電 阻陣列，使其中一個或多個制成的支腳具有應(yīng)變每文感性。
因?yàn)閼?yīng)變與溫度有關(guān)，因此也能通過熱傳感器同時測定溫度， 而作溫度效應(yīng)的校正。組合的應(yīng)變儀/溫度傳感器能夠作為電池供電 的石更連線傳感器實(shí)施，而經(jīng)由4十里包裝分配部分的安裝法蘭形變測 定襯里包裝中的材料重量。這種類型的襯里包裝液位傳感器也能夠 進(jìn)4亍石更連線(hardwired)供電和耳關(guān)通，和/或能夠適用于無線耳關(guān)通， 采用電池供電(例如主動RFID )，或者采用被動RFID傳感器。例 如，傳感器放置于安裝在分配噴嘴上的可處理襯里上，如被動RFID 方案，成本較低，易于實(shí)現(xiàn)物質(zhì)存量傳感。這類型的無線傳感器能 夠?qū)崿F(xiàn)關(guān)于物質(zhì)^艮蹤系統(tǒng)的天線/讀出器組件的集成方式，或者它們 獨(dú)立執(zhí)行。
可替換地，應(yīng)變傳感器能夠配置到分配噴嘴的設(shè)備(下游工藝 過程)一側(cè)，以采用相同或類似的硬件和硬連線(數(shù)據(jù)和供電)接 口測定連接到設(shè)備的容納材料襯里的重量。
本發(fā)明構(gòu)思在箱-裝-袋或袋-套-袋襯里應(yīng)用中的液位傳感器用 途。在這些情況下，液體介質(zhì)從襯里包裝中移出，通過泵加壓流體
(氣體或液體)進(jìn)入箱或外袋內(nèi)的中間空間，壓縮沖齊壓襯里的外部 表面，就能實(shí)現(xiàn)或輔助進(jìn)行，這樣襯里坍縮而使其中的液體介質(zhì)排 出。由于在這種包裝布置中的外部容器具有固定容積，中間的空間
(襯里和外部容器之間)的容積提供了襯里中剩余材料量的直接指 示。
在一個實(shí)施方式中，這種中間空間的容積通過以下方式傳感 1)暫時關(guān)閉出口或一十里的下游導(dǎo)管，2)遞送已知量的氣體進(jìn)入箱
-裝-袋或袋套袋型包裝中的中間空間，和3)測定由于材料進(jìn)入包 裝內(nèi)中間空間的這種增加脈沖導(dǎo)致的壓力增加。這種傳感器布置優(yōu) 選硬連線，在加壓流體的進(jìn)口點(diǎn)用一個接到外部容器外部上的模塊 實(shí)現(xiàn)。這種布置在襯里內(nèi)容物的可壓縮度和加壓氣體之間存在顯著 差別時特別有利。
關(guān)于物質(zhì)性質(zhì)傳感器，在襯里中的液體介質(zhì)各種性質(zhì)能夠用于 物質(zhì)性質(zhì)監(jiān)控，以最優(yōu)化下游過程使用這種液體介質(zhì)，而剔出已經(jīng) 變質(zhì)的液體介質(zhì)，以回收超過其標(biāo)準(zhǔn)〗呆質(zhì)期的液體介質(zhì)，以檢查和 確保材料包裝的精度等。
在這種應(yīng)用中，材料性質(zhì)傳感器能夠是任何合適的類型，例如， 硬連線纟斂型傳感器、無線電池供電孩t型傳感器、或集成到超高純可 拋棄襯里包裝中的被動傳感器、或在其它可拋棄產(chǎn)品包裝組件中。
將一皮動RFID傳感器直4妄集成到襯里包裝中，可以以有效和有
成本效益的方式實(shí)現(xiàn)材料性質(zhì)的精確監(jiān)查和跟蹤。
本發(fā)明在一個特定方面包括使用一個嵌入式流體分析傳感器，
其集成到分配噴嘴或^H"里包裝上，例如，經(jīng)由石更連線的電^t據(jù)4妻口 ，
以監(jiān)控在使用期間的高純可拋棄包裝內(nèi)的材料。
因此，本發(fā)明廣泛地構(gòu)思用于各種類型的傳感器包裝中，包括 例如(i)用于在儲存、運(yùn)輸或安裝環(huán)境中安裝后監(jiān)控產(chǎn)品及其包裝 的平tf的熱傳感器，(ii)用于監(jiān)控產(chǎn)品保存期的電化學(xué)傳感器，如
通過原位分析由于老化、環(huán)境污染、pH值變化、氣體滲透等作用 而生成的有機(jī)物、無機(jī)物或副產(chǎn)物，和(iii)光學(xué)散射傳感器，用 于監(jiān)控包裝產(chǎn)品應(yīng)用中產(chǎn)品組合物的均一性和混合/混合度。
另夕卜，本發(fā)明構(gòu)思用于采用壓力分配的襯里-基包裝的材料的遞 送系統(tǒng)，以及易于檢測到材料供應(yīng)包裝耗盡的材料遞送系統(tǒng)。
在一個具體實(shí)施方式
中，本發(fā)明—提供的材料分配系統(tǒng)包括一種 其中容納有襯里的材料儲存與分配包裝，適用于容納其壓力分配的 材料，其中該包裝通過分配管線連接于使用分配材料的設(shè)備，而分 配管線4喿作上在其中力文置了 一個伺力l液壓分配泵，以及在包與泵之 間的空檢測壓力傳感器，操作上布置用于提供指示包裝接近空狀態(tài)
的豐lr出。
系統(tǒng)可以進(jìn)一步包括一個儲罐氣體分離器和排氣裝置，設(shè)置于 包裝和伺月i液壓分配泵之間的分配管線上。可選i也，系統(tǒng)還可以包 括一個過濾器，設(shè)置于儲罐氣體分離器和排氣裝置與泵之間的分配 管線之間，以及一個泵分配管線下游的氣動順序閥裝置(放空閥/
順序閥，或AV/SV,裝置)。
襯里可以合適地容納化學(xué)試劑，如光刻膠或其它微電子產(chǎn)品如 半導(dǎo)體儀和平板顯示器制造中使用的材料。
在上述系統(tǒng)中，壓力傳感器能夠在操作上連接于獨(dú)立于包的控 制器，使之能夠在包接近空狀態(tài)時切換出。
本發(fā)明的另一具體實(shí)施方式
涉及材料分配系統(tǒng)，包括其內(nèi)包括 襯里的材料儲存與分配包裝，適用于容納其壓力分配的材料，其中 包裝通過分配管線連接于利用分配材料的設(shè)備，分配管線連接于分 配器，布置用于按周期補(bǔ)充安排接收所述包裝的抗蝕劑，使之流向 制造設(shè)備，以及監(jiān)控器，適用于檢測包裝接近空狀態(tài)的分配器指令 補(bǔ)充所需時間的增加，并響應(yīng)性地提供這種接近空狀態(tài)的輸出。 在這種實(shí)施方式中的分配器能夠包括一個泵，例如氣動泵、液 壓泵等，其中在旋涂子系統(tǒng)中的噴注室(杯，cup)的不同高度有 變化，其中分配器(泵)裝置的分配室填充高度是經(jīng)過校正的。正 如在上下文中所使用那樣，術(shù)語"噴注室"是指腔室(泵腔)，其 具有一個觸片旋轉(zhuǎn)位置，并與分配臂和噴嘴、雙轉(zhuǎn)子電動才幾、以及 硅片夾相聯(lián)。分配器系統(tǒng)能夠在包裝和分配器之間的分配管線上包 括儲罐氣體分離器和排氣裝置。在儲罐氣體分離器排氣裝置和分離
分配器之間的分配管線上可以提供一個過濾器，而AV/SV閥裝置能 夠提供在分配器分配管線下游。AV/SV閥裝置包括一個氣動自動閥 (作為裝置的開/關(guān)AV部分)和一個回吸閥(作為裝置SV部分)， 其中SV部分反向置換容積，以使所分配的材料微微被吸高到噴嘴， 這樣在旋涂之后液體彎月面就不會地落在旋片上。
襯里可以適合地容納化學(xué)試劑，如用于微電子產(chǎn)品例如半導(dǎo)體 儀器和平板顯示器制造所用的光刻膠或其他材料。
在以上描述的系統(tǒng)中，監(jiān)控器能夠在操作上連接于控制器，以 使包裝一旦接近空狀態(tài)就能夠分開包裝，使其切換出來，和/或監(jiān)控 器能夠適配用于執(zhí)行系統(tǒng)中的其他操作，例如工藝過程控制功能。
在另一方面，本發(fā)明涉及的基于襯里的材料儲存與分配包裝用 于材料如光刻膠的直接壓力分配。這種包裝布置成在分配之前移出 頂空氣體是有利的，這樣可以實(shí)現(xiàn)零或近零頂空狀況，由此避免在 包裝的分配材料中產(chǎn)生微小氣泡。
通過具體的實(shí)施例的方式，在半導(dǎo)體制造設(shè)備中，這種基于襯 里的光刻"交存4諸分S己包裝可以集成伺"良液壓連4妻的分配泵，用于向
半導(dǎo)體晶片涂覆設(shè)備遞送光刻月交。
在這種類型的分配系統(tǒng)中，分配壓力能夠通過傳感器監(jiān)控，這
種壓力的下降逐漸迅速增大的情況，稱為"垂降(droop)",是由于 分配容器4妄近空狀況，能夠用作過程參^:，確定供應(yīng)包裝有必要切
^:出來的時間。
這種類型的分配系統(tǒng)300示于圖9中，包括一個基于襯里的壓 力分配供應(yīng)容器302,其集成的伺服液壓分配泵包括一個伺服活塞 液壓馬達(dá)308和一個液壓流體耳關(guān)軸器310。該系統(tǒng)利用了空4企測壓 力傳感器306,確定壓力垂降開始，以作為供應(yīng)容器接近空狀況必 須切換出來的指示器。
伺月良液壓分配泵安裝于分配管線312上，帶有一個上游流量控 制閥314和一個下游流量4空制閥316。分配管線312 -進(jìn)一步包含一 個儲罐氣體分離器320。排氣管線322連接于儲罐氣體分離器320, 并在其中包括一個流量控制閥324，用于調(diào)節(jié)儲罐的氣體排放。
儲罐氣體分離器320的下游是一個過濾器326。該過濾器又安 裝在分配管線312上的伺服液壓分配泵的上游。同時在分配管線312 上還安裝了一個氣動順序閥328 (放空閥/順序閥，或AV/SV)，作 為一個閥門一前一后提供了開/關(guān)回吸操作，既有利于將光刻膠遞送 到晶片330操作的分配模式，也有利于該操作的補(bǔ)充模式。
在圖9系統(tǒng)中，在伺月良液壓分配泵中的泵振動膜是分配和補(bǔ)充 模式的傳動器。分配和補(bǔ)充的時間是泵工作參lt。供應(yīng)包裝302空 狀況的開始，通過傳感器306 4企測，空狀況與接近空狀況一樣選4奪 一個預(yù)定的壓力垂降。供應(yīng)包裝出口壓力作為分配材料容積的函數(shù) 的定性曲線，3口圖10所示。
盡管以上描述的利用空一全測壓力傳感器4企測光刻"交供應(yīng)容器 空狀況開始的方法是一般可靠性的，但是傳感器不但相當(dāng)昂貴的， 還不能監(jiān)控分配^喿作的工作情況的各個方面。
因此，在一個具體實(shí)施方式
中，本發(fā)明設(shè)想基于襯里的材料儲 存分配包能夠提供用于直接壓力分配材料如光刻膠，并集成了分配
器單元，例如Hideyuki Takamori的美國專利6319317描述的那些類 型，其全部內(nèi)容在此引入，作為參考。
圖11是晶片涂覆系統(tǒng)400的圖示，包括一個具有分配管線412 與之連接的壓力分配供應(yīng)容器402。在分配管線412上安裝的分配 器(泵)單元包括一個氣動聯(lián)接器部分410。如果閥門處于打開狀 態(tài)，分配器單元能夠從這種閥門經(jīng)過排放管線446進(jìn)行排氣。通過 進(jìn)料管線448與三通閥444連接的是電-氣動調(diào)節(jié)器450。分配器單 元包4舌一個補(bǔ)充原4立置傳感器452。
圖11系統(tǒng)參照圖9的描述，另外布置成分配管線412上i殳置 儲罐氣體分離器420,連接于其上安裝流量控制閥424的排氣管線 422。儲罐氣體分離器420處于過濾器426的上游。分配器單元上 游和下游各有一個:;克量控制閥414和416與之相耳關(guān)，例如可以作為 一個分配器單元的集成組件，而AV/SV串耳關(guān)閥428安裝在分配管線 412上的晶片430的上游。
在圖11系統(tǒng)中，泵隔膜是分配操作中僅有的傳動器。在補(bǔ)充 模式中，壓力分配包裝是傳動器，而分配器隔膜是跟隨器，補(bǔ)充時 間是包裝壓力、抗蝕劑粘度、分配器相對于供應(yīng)包裝的高度、過濾 器選擇、分配器分配容積、過濾器載荷、分配管線幾何形狀和流量 限制條件的函數(shù)。補(bǔ)充分配器單元所需時間是供應(yīng)容器接近空狀況 的一個早期指示，與空條件出現(xiàn)的壓力垂降是一個反比關(guān)系。
空狀況(條件)的選"^按照抗蝕劑涂覆單元("COT")晶片噴 注室模塊的每一噴注室高度的預(yù)定容器補(bǔ)充時間進(jìn)行，同時選擇出
以上"i兌明的其^也參^L分配器單元補(bǔ)充時間關(guān)系的定性曲線如圖12所示。
如圖11所示的系統(tǒng)布置避免了使用昂貴壓力傳感器的需要， 并提供了補(bǔ)充操作特征的指示。
圖13是從Tokyo Electron Ltd. (Tokyo, Japan)以商標(biāo)名LITHIUS
II商購的COT才莫塊的圖示，其中含有5個晶片噴注室(杯)(噴注 室1，噴注室2,噴注室3，噴注室4和噴注室5)。在COT才莫^:上 的每一條線A廣As表示從分配器到各個晶片噴注室之間的恒定分配 距離和高度。每一條線BrB4表示作為供應(yīng)容器到分配器位置的函 數(shù)的不同高度。所示COT模塊包含兩個壓力分配包裝500和502, 其適于按序使用，以便于供應(yīng)包裝500接近用光時能夠切換出來， 而新供應(yīng)包裝502然后》文入分配i殳施。
每一條線A廣A5表示相關(guān)分配器獨(dú)特補(bǔ)充時間。如在COT'模 塊高度上所示，每一水平高度表示對于l g/mL抗蝕劑密度的0.5m (4.898 kPa， 0.710 psi)。
每一 COT模塊高度之上就有一個工作驅(qū)動壓力，而壓力在分 配器i真充時間的層流條件下是線性相關(guān)的。發(fā)現(xiàn)補(bǔ)充時間與減去高 度的驅(qū)動壓力之比為一常數(shù)，由此證明了經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù)與校正高度的驅(qū) 動勢能是一致的。在所有其他因素都相等同的情況下，例如過濾器 負(fù)載、分配管線長度、粘度、過濾器選擇、補(bǔ)充的分配器分配容積， 以及分配管線的構(gòu)造等，補(bǔ)充時間在每一個噴注室水平就固定，而 反映供應(yīng)容器空狀況開始的時間上的增加也固定。
在上述系統(tǒng)中分配結(jié)束的空檢測能力取決于以下事實(shí)對于每 一個噴注室水平，補(bǔ)充-時間與供應(yīng)包裝壓力垂降，同校正高度的驅(qū) 動壓力相比，呈正比上升。
圖14是對于如圖13所示的COT才莫塊，作為分配的抗蝕劑才才 料容積(以毫升計)的函數(shù)，在各個校正高度的壓力下時間-補(bǔ)充分 配器的曲線。
應(yīng)該注意到，在圖14中，在更高的噴注室高度下，由于供應(yīng) 包裝壓力垂降在這種情況下校正高度的驅(qū)動壓力百分?jǐn)?shù)更大，而在 更高的噴注室高度下補(bǔ)充時間曲線上升變陡趨勢越快。
的實(shí)施方式進(jìn)行了描述，但是應(yīng)該理解到，本發(fā)明的用途并不僅限 于此，而是要擴(kuò)展到和涵蓋許多其他變體、改進(jìn)和可替換的實(shí)施方 式，基于本文公開的內(nèi)容，這些會啟示給本發(fā)明技術(shù)領(lǐng)域的普通技 術(shù)人員。相應(yīng)地，要求保護(hù)的本發(fā)明在其精神和范圍內(nèi)計劃作為包 括所有的這樣的變體、改進(jìn)和可替換實(shí)施方式而進(jìn)行廣泛地解釋和 說明。
權(quán)利要求
1.一種流體儲存和分配的系統(tǒng)，包括具有內(nèi)部容積的容器；在所述內(nèi)部容積中的襯里，布置用于在零或近零頂空構(gòu)造中容納液體介質(zhì)；適于與所述容器配合的分配組件，用于在分配操作期間將液體介質(zhì)從所述襯里中排出；以及集成流量計，布置用于監(jiān)控在分配操作期間從所述襯里排出的所述液體介質(zhì)，以及用于產(chǎn)生在出現(xiàn)空檢測狀況時的與空檢測狀況相關(guān)聯(lián)的輸出。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體儲存和分配系統(tǒng)，其中所述集成 流量計監(jiān)控所述液體介質(zhì)分配速率，并響應(yīng)于作為所述空4僉測 狀況的所述液體介質(zhì)流速顯著降^f氐而產(chǎn)生所述輸出。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體儲存和分配系統(tǒng)，其中所述集成 流量計包括電子輸出集成流量計。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的流體儲存和分配系統(tǒng)，進(jìn)一步包括適 于在響應(yīng)于接收到的出現(xiàn)空檢測狀況的信息而終止所述分配 操作的RF-響應(yīng)性控制器，以及在所述襯里和所述容器的至少 一個上的RFID標(biāo)簽，其中所述RFID標(biāo)簽包括布置用于從所 述RFID標(biāo)簽將信息傳遞給所述控制器的RF天線，而所述電 子輸出集成流量計被布置用于將所述輸出提供給所述RFID標(biāo) 簽，由此將指示所述空檢測狀況的所述輸出的產(chǎn)生傳遞給所述 RFID標(biāo)簽，而指示所述空檢測狀況的相應(yīng)信息通過所述RF天線傳送到所述RF-響應(yīng)性控制器，以在出現(xiàn)所述空檢測狀況時終止所述分配操作。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的流體儲存和分配系統(tǒng)，所述RF-響應(yīng)性控制器適于實(shí)現(xiàn)從所述容器和襯里到第二容器和襯里的轉(zhuǎn)換以繼續(xù)進(jìn)行分配操作。
6. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的流體儲存和分配系統(tǒng)，進(jìn)一步包括一個控制器，其適于接收來自所述電子輸出集成流量計的所述輸出信息，并響應(yīng)性地終止所述分配操作。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的流體儲存和分配系統(tǒng)，其中所述控制器適于實(shí)現(xiàn)從所述容器和襯里到第二個容器和襯里的轉(zhuǎn)換以繼續(xù)進(jìn)行分配操作。
8. —種村里包裝分配系統(tǒng)，包括具有內(nèi)部容積的容器；在所述內(nèi)部容積中的襯里，布置用于在零或近零頂空構(gòu)造中容納液體介質(zhì)；適于與所述容器配合的分配組件，用于在分配操作期間將液體介質(zhì)從所述襯里排出；與所述分配組件連接的流路，布置用于所述分配操作期間液體介質(zhì)在其中流過；所述流路包括干線部分和可選的支線部分；用于分配的液體介質(zhì)的第二容積被布置成在主容積的 流體介質(zhì)一皮完全分配后才進(jìn)行分配，其中所述主容積包括所述襯里中所述液體介質(zhì)的至少一部分，而所述第二容積由以下之一或多種構(gòu)成(i) 當(dāng)所述主容積小于所述坤于里中的全部液體介質(zhì)時，所述襯里中的不同于構(gòu)成所述主容積的液體介質(zhì)的所述液體介質(zhì)的一部分；(ii) 在所述流路的所述干線部分之中或與之聯(lián)通的液體介質(zhì)的干線容積；和(iii) 在所述流路的所述干線部分之中或與之聯(lián)通的液體介質(zhì)的支線容積； 以及空檢測器，布置用于監(jiān)控所述分配操作，并在所述主容 積的液體介質(zhì)被分配之后開始所述第二容積分配之時產(chǎn)生空檢測輸出。
9. 才艮據(jù)4又利要求8所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中液體介質(zhì)的所述第二容積是所述村里中的一個分隔區(qū)域。
10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，進(jìn)一步包括加壓氣體源，布置用于在所述襯里上施加壓縮氣體壓力以在所述分配操作期間介導(dǎo)液體介質(zhì)的分配。
11. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述分配組件包括連接汲取管的分配頭，并且所述汲耳又管適于在所述分配操作期間來自所述襯里的液體介質(zhì)從其中流過。
12. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，進(jìn)一步包括加壓氣體源，布置用于介導(dǎo)來自所述液體介質(zhì)的主容積和第二容積至少之一的液體介質(zhì)的壓力分配。
13. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，進(jìn)一步包括連接于所述流路的泵。
14. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述液體介質(zhì)的第二容積包含在聚合物膜的襯里中。
15. 才艮據(jù)4又利要求8所述的一于里包裝分配系統(tǒng)，其中所述液體介 質(zhì)的第二容積包含在所述襯里的限制區(qū)域中。
16. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述襯里中 的所述限制區(qū)域是由選自由氣嚢、隔膜和坍縮管組成的組中的 限制結(jié)構(gòu)形成。
17. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述空檢測 器執(zhí)行選自由以下組成的組中的檢測方案檢測通過所述流路 的主容積液體介質(zhì)流動的壓力衰減；^r測載荷變化，所述載荷液體介質(zhì)的第二容積分配的載荷；當(dāng)所述第二容積由在所述流成時的流量一僉測；以及測量在分配才喿作期間所述液體介質(zhì)的第 二容積的位移。
18. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述液體介 質(zhì)的第二容積包含在第二坤于里中，并且所述液體介質(zhì)的主容積 和第二容積的每一個從它們各自的襯里通過在其上施加的氣 體的壓縮力而一皮壓力分配。
19. 根據(jù)權(quán)利要求18所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述空檢測 器執(zhí)行基于相對于分配所述主容積液體介質(zhì)所需壓縮力的分 西己第二容積液體介質(zhì)所需的不同壓縮力的檢測方案。
20. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述第二容 積由柔性構(gòu)件限定的在所述襯里中的受限子容積構(gòu)成，所述柔性構(gòu)件固定至所述襯里并由比構(gòu)成所述襯里的材料更堅硬的材料形成。
21. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述柔性構(gòu) 件焊接至所述襯里。
22. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述柔性構(gòu) 件包括焊接至所述襯里邊纟彖的V-形才反元件，其中所述V-形板 元件的各個側(cè)邊分別焊接至所述襯里的側(cè)邊。
23. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述柔性構(gòu) 件包括平的或微曲的矩形構(gòu)件，其被焊接至所述襯里的平的部 分。
24. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述柔性構(gòu) 件包括焊接至所述襯里的平的部分的盤形構(gòu)件。
25. 根據(jù)權(quán)利要求20所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述襯里的 平的部分包括接近所述襯里中間的一個部分。
26. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述第二容 積由柔性構(gòu)件限定的在所述襯里中的受限子容積構(gòu)成，所述受限子容積釋放液體介質(zhì)。
27. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述空檢測 器布置用于檢測在所述分配的液體介質(zhì)中的壓降，并響應(yīng)性i也 產(chǎn)生所述空檢測輸出。
28. 根據(jù)權(quán)利要求27所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述空檢測 器包括壓力傳感器。
29. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，進(jìn)一步包括電動泵，用于在分配期間泵送液體介質(zhì)，并且其中所述空4企測器布置用于監(jiān)控所述泵導(dǎo)致的安培^:,以在所述安培數(shù)在開始分配 來自第二容積的液體介質(zhì)而發(fā)生變化時產(chǎn)生所述空檢測輸出。
30. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述分配系統(tǒng)進(jìn)一步包括傳動裝置，布置用于產(chǎn)生用于壓力分配所述主容積 和第二容積的液體介質(zhì)的壓力，并且其中所述空一企測器布置用 于才企測在從所述主容積到所述第二容積的液體介質(zhì)分配的過 渡期間為維持預(yù)定壓力所需的傳動壓力的變化。
31. —種坤寸里包裝分配系統(tǒng)，包4舌具有內(nèi)部容積的容器；在所述內(nèi)部容積中的襯里，布置用于容納由頂空覆蓋的 液體介質(zhì)；儲罐，用氣壓計與所述頂空和所述襯里中的液體介質(zhì)以 流體聯(lián)通地連接，并布置用于容納由氣體覆蓋的液體介質(zhì)以限 定所述4諸罐的液位；以及空檢測器，布置用于監(jiān)控所述儲罐中的液位并在所述儲 罐中的液位由于所述襯里的空狀況而變化時產(chǎn)生空檢測輸出。
32. 根據(jù)權(quán)利要求31所述的一于里包裝分配系統(tǒng)，其中所述儲罐與 所述頂空和所述一于里中的液體介質(zhì)通過它們之間的供沖+管線 而以；虎體聯(lián)通;也連4妻。
33. 根據(jù)權(quán)利要求31所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述儲罐是 垂直4立長形式，其上部適于容納所述氣體而下部適于容納由氣 體4隻蓋的所述液體介質(zhì)，其中排氣管線與所述上部連接而液體 排放管線與所述下部連接。
34. 根據(jù)權(quán)利要求33所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述排氣管線和液體排放管線安裝有流量控制閥。
35. 根據(jù)權(quán)利要求34所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述流量控制閥布置成在向所述襯里施加分配壓力時關(guān)閉，從而使襯里中 頂空氣體進(jìn)入所述儲罐的上部而覆蓋其中的液體介質(zhì)，由此當(dāng)液體介質(zhì)從所述襯里被全部分配時，在所述儲罐上部中的氣體被加壓以在所述襯里的液體介質(zhì)耗盡后實(shí)現(xiàn)壓力分配用于繼 續(xù)分配液體介質(zhì)的所述儲罐的液體介質(zhì)。
36. 根據(jù)權(quán)利要求35所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述儲罐布置成所述液體介質(zhì)持續(xù)分配的時間足以將容納第二襯里的第 二容器轉(zhuǎn)換到分配操作中。
37. 根據(jù)權(quán)利要求31所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述空檢測器致動作為所述空檢測輸出的警報。
38. 根據(jù)權(quán)利要求31所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述空檢測器包括選自由紅外液位傳感器和容量傳感器組成的組中的液位傳感器元件。
39. 根據(jù)權(quán)利要求36所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，進(jìn)一步包括自動轉(zhuǎn)換裝置，布置成通過空檢測器的空檢測輸出而啟動，以在所述足夠?qū)⑷菁{第二襯里的第二容器轉(zhuǎn)換到分配操作中的時間期間轉(zhuǎn)換入新的襯里包裝。
40. 根據(jù)權(quán)利要求31所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述儲罐具有垂直拉長形式，并且在其長度方向上的中間部分具有用于通過所述液位檢測器感測的液位檢測的縮小直徑部分。
41. 根據(jù)權(quán)利要求40所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述儲罐的 所述中間部分包括在其中的限流器。
42，根據(jù)權(quán)利要求40所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述儲罐的 所述中間部分包括盤管結(jié)構(gòu)。
43.—種襯里包裝分配系統(tǒng)，包括 具有內(nèi)部容積的容器；在所述內(nèi)部容積中的襯里，布置用于容納由頂空覆蓋的液體介質(zhì)；相分離器；以流體4關(guān)通地連接所述襯里與所述相分離器的分配管線；與所述相分離器連4妾以而乂人其中4非》文液體介質(zhì)的液體介 質(zhì)流動管線；位于所述相分離器上方的儲罐，布置用于容納限定所述 4諸罐中液體介質(zhì)的液位的液體介質(zhì)；以流體聯(lián)通地連接所述相分離器與所述儲罐的高架管線；第一液位傳感器，布置用于4企測所述儲罐中第一液體介 質(zhì)液位，在所述第 一 液體介質(zhì)液位處所述儲罐容納預(yù)定量的儲 備液體介質(zhì)；在所述高架線^各中的第二液位傳感器，布置用于在所述 儲備液體介質(zhì)分配期間檢測在所述高架線路中的第二液體介 質(zhì)液位；在所述高架管線中的第 一流量控制閥，在所述第二液位 傳感器和所述儲罐之間，布置成在所述襯里的液體介質(zhì)分配期 間打開以填充所述儲罐，而在所述第 一液位立傳感器一全測到所述第一液體介質(zhì)液位時關(guān)閉；在所述分配管線中的壓力 一企測致動器，操作地布置用于 在關(guān)閉所述高架管線中的所述第 一流量控制閥之后4企測所述 襯里的空或近空狀況，并在檢測到所述襯里的所述空或近空狀 況時打開所述第 一流量控制閥，以通過所述相分離器和所述液 體介質(zhì)流動管線分配所述4諸備液體介質(zhì)。
44. 根據(jù)權(quán)利要求43所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述分配管 線包含止回閥，用于調(diào)節(jié)從所述襯里到所述相分離器的液體介 質(zhì)的流量。
45. 根據(jù)權(quán)利要求43所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述儲罐對 所述系統(tǒng)的周圍環(huán)境是可排空的。
46. 根據(jù)權(quán)利要求43所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述儲罐連 接于加壓氣源，操作地布置用于從所述儲罐壓力輔助分配儲備液體介質(zhì)。
47. 根據(jù)權(quán)利要求43所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中第二流量控 制閥設(shè)置在所述液體介質(zhì)流動管線中，并布置成在分S己所述襯 里的液體介質(zhì)期間和在分配所述4諸罐的4諸備液體介質(zhì)期間打 開。
48. 根據(jù)權(quán)利要求47所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述第二流量控制閥才喿作地與所述第二液位傳感器連接，以在所述第二液 位傳感器在分配所述儲備液體介質(zhì)期間才企測到在所述高架管 線中的第二液體介質(zhì)液位時關(guān)閉。
49. 根據(jù)權(quán)利要求48所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述第一流量控制閥操作地連接所述第二液位傳感器，以在所述第二液位傳感器在分配所述儲備液體介質(zhì)期間檢測到在高架管線中的 第二液體介質(zhì)液位時關(guān)閉。
50. —種一于里包裝分配系鄉(xiāng)充，包4舌具有內(nèi)部容積的容器；在所述內(nèi)部容積中的襯里，布置用于容納由頂空覆蓋的液體介質(zhì)；儲罐，布置用于容納限定所述儲罐中的液體介質(zhì)液位的 液體介質(zhì)；以流體if關(guān)通地連4姿所述襯里與所述儲罐的分配管線；與所述儲罐連接以從其排放液體介質(zhì)的液體介質(zhì)流動管線；第一液位傳感器，布置用于4企測所述〗諸罐中的第一液體 介質(zhì)液位；第二液位傳感器，布置用于4企測所述4諸罐中的第二液體 介質(zhì)液位，其中所述儲罐中的所述第二液體介質(zhì)液位高于所述 4諸罐中的所述第一液體介質(zhì)液位；氣體耳關(guān)通管線，用于將所述 儲罐連接至(i)所述儲罐的周圍環(huán)境，其中通過放空管線以 流體聯(lián)通地連接所述氣體聯(lián)通管線與所述周圍環(huán)境；以及可選 地，(ii)加壓氣源，、操作地布置用于壓力輔助分配所迷儲罐 的〈諸備液體介質(zhì)，其中通過加壓管線以流體耳關(guān)通3也連4姿所述氣 體耳關(guān)通管線與所述加壓氣源，所述力i空管線具有在其中的第一 流體聯(lián)通控制閥，而第二加壓管線具有在其中的第二流體聯(lián)通 流量控制閥，其中所述第 一流體耳關(guān)通控制閥操作地連4妻于所述 第二液位傳感器，以打開和調(diào)節(jié)將所述儲罐填充到所述第二液 體介質(zhì)液位，并在達(dá)到所述第二液體介質(zhì)液位時關(guān)閉，用于隨和儲罐分配到所述液體介質(zhì)流動管線；以及在所述分配管線中的壓力檢測致動器，操作地布置用于 才全測所述一于里的空或近空狀況，并在一企測到所述一于里的所述空 或近空狀況時打開所述第 一和第二流體聯(lián)通控制閥之一 ，以在 才全測到所述空或近空狀況后乂人所述4諸罐繼續(xù)分配液體介質(zhì)。
51. 根據(jù)權(quán)利要求50所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，進(jìn)一步包括在所述液體介質(zhì)流動管線中的流量控制閥，其中所述第 一液位傳感 器操作地布置為(i)所述第一和第二流體聯(lián)通控制閥之一的所述打開，和(ii)所述流量控制閥，以當(dāng)所述第 一液位傳感 器檢測到所述儲罐中的所述第 一液體介質(zhì)液位時關(guān)閉所述打 開的所述第 一和第二流體耳關(guān)通控制閥之一和所述流量控制閥。
52. 根據(jù)權(quán)利要求50所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述分配管 線包含調(diào)節(jié)從所述襯里到所述儲罐的液體介質(zhì)流量的止回閥。
53. —種一于里包裝分配系統(tǒng)，包括具有第 一 內(nèi)部容積的容器；在所述內(nèi)部容積中的第一襯里，布置用于容納由第一頂 空覆蓋的第 一容積的液體介質(zhì)；朝卜氣通道，適于乂人所述第一頂空排方文頂空氣體；具有第二內(nèi)部容積的空^r測儲罐；在所述第二內(nèi)部容積中的第二襯里，布置用于容納由第 二頂空覆蓋第二容積的所述液體介質(zhì)；加壓氣源； 第一導(dǎo)管，連接于所述加壓氣源并布置用于使加壓氣體 流入所述容器中以向其中的所述第 一襯里施加壓力；適配于所述容器的分配組件，以在分配操作期間通過加 壓氣源在所述第一襯里上施加壓力時從所述第一襯里分配液體介質(zhì)；第二導(dǎo)管，連接所述分配組件和所述空4企測儲罐，以向 所述空檢測儲罐遞送所分配的液體介質(zhì)；第三導(dǎo)管，連接于相同或不同的加壓氣源并布置用于使 加壓氣體流入所述空檢測儲罐以對所述第二襯里施加壓力；第二放空導(dǎo)管，與所述空檢測儲罐的所述第二內(nèi)部容積 聯(lián)通并布置用于從所述第二頂空排放頂空氣體；第四導(dǎo)管，以分配聯(lián)通地連接于所述空檢測儲罐中的所 述第二襯里并布置用于從其中排;改液體介質(zhì)；在所述第 一導(dǎo)管中的第 一流量控制閥；在所述第 一放空導(dǎo)管中的第二流量控制閥；在所述第二導(dǎo)管中的第三流量控制閥；在所述第二放空導(dǎo)管中的第四流量控制閥；在所述第三導(dǎo)管中的第五流量控制閥；在所述第四導(dǎo)管中的第六流量控制閥；第一液位指示器，布置用于檢測在所述第一放空導(dǎo)管中 存在液體介質(zhì)；第二液位指示器，布置用于檢測在所述第二放空導(dǎo)管中 存在液體介質(zhì)；第三液位指示器，布置用于^^測在所述第二襯里中存在 液體介質(zhì)；以及控制器，布置用于執(zhí)行分配才喿作，所述分配才乘作包括以下步驟打開所述第 一 和第二流量控制閥以所述第 一 頂空放空，使加壓氣體流入所述容器以對所述第一襯里施壓，從而 實(shí)現(xiàn)'液體介質(zhì)的加壓分配；在所述第一液位指示器感測到在所述第一i文空導(dǎo)管中存 在液體介質(zhì)時關(guān)閉所述第二流量控制閥；打開所述第三和第四流量控制閥，以^吏液體介質(zhì)乂人所述 第一襯里通過所述分配組件和第二導(dǎo)管流到在所述空檢測儲 罐中的所述第二襯里，并通過所述第二放空導(dǎo)管對所述第二頂 空放空；當(dāng)所述第二液位指示器感測到在所述第二放空導(dǎo)管中存 在液體介質(zhì)時關(guān)閉所述第四流量控制閥；打開所述第五控制閥；使加壓氣體流入所述空檢測儲罐中以向低于在所述第一 襯里上施加的壓力的所述第二襯里施加預(yù)定的壓力；打開所述第六流量控制閥并從所述第二襯里向所述第四 導(dǎo)管分配液體介質(zhì)，直至在所述第二襯里中的壓力由于在所述 第 一襯里中的空狀況而降低；在所述第三液位指示器檢測到所述空狀況指示的在所述 第二襯里中的液體介質(zhì)液位時關(guān)閉所述第三和第 一流量控制 閥；和在所述第一襯里中出現(xiàn)所述空狀況之后，乂人所述第二襯 里繼續(xù)分配液體介質(zhì)。
54. —種襯里包裝分配系統(tǒng)，包^r:具有內(nèi)部容積的容器；在所述內(nèi)部容積中的4t里，布置用于容納液體介質(zhì)；適配于所述容器的分配組件，用于在分配操作期間從所述襯里4非出液體介質(zhì)；和傳感器，布置用于^r測分配相關(guān)的狀況，以產(chǎn)生指示所 述狀況的相關(guān)輸出。
55. 根據(jù)權(quán)利要求54所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述傳感器 感測選自由液位；材一牛性質(zhì)；來自所述^H"里中的液體介質(zhì)在分 配組件上的應(yīng)變；在分配期間所述襯里的位移；所述襯里外的 所述容器中的的空間的容積；分配的液體介質(zhì)的溫度、壓力、 流速；所述襯里中的液體介質(zhì)的重量；以及液體介質(zhì)的均一性 組成的組中的分配相關(guān)狀況。
56. 一艮據(jù)4又利要求54所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，進(jìn)一步包括加壓 氣源，布置用于4吏加壓氣體流入所述容器以在所述^N"里上施加 外部壓力。
57. 根據(jù)權(quán)利要求54所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述傳感器 包括"故動RFID傳感器。
58. 才艮據(jù)—又利要求57所述的^H"里包裝分配系統(tǒng)，其中所述—皮動 RFID傳感器的特4正在于選自由IS014443 ( A、 B和C型)和 EPC Gen-2組成的組中的l喿作方案。
59， 根據(jù)權(quán)利要求54所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述分配組 件包括分配嘴，而所述襯里懸掛于所述分配嘴。
60. 根據(jù)權(quán)利要求59所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述傳感器才企測在所述分配嘴上的應(yīng)變。
61. 根據(jù)權(quán)利要求60所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述傳感器 輸出包括利用所述^H"里的填充狀態(tài)的可視標(biāo)識的填充計量儀。
62. 根據(jù)—又利要求60所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述傳感器 包括應(yīng)變4義。
63. 根據(jù)權(quán)利要求60所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述傳感器 還沖企測溫度。
64. 根據(jù)權(quán)利要求63所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述系統(tǒng)包 括用于裝配所述襯里的裝配法蘭，其中所述傳感器^皮布置用于 通過檢測所述裝配法蘭的形變而確定所述襯里中液體介質(zhì)的 重量。
65. 根據(jù)權(quán)利要求54所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述傳感器 適于檢測所述容器中襯里上的壓力脈沖，并且所述傳感器輸出 包括所述一十里中液體介質(zhì)的容積。
66. 根據(jù)權(quán)利要求54所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述傳感器 是硬連線微型傳感器、無線電池供電微型傳感器、或集成在所 述系統(tǒng)中或組件中或其子組件中的被動傳感器。
67. 根據(jù)片又利要求54所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述傳感器 包括芯片上的流體分析傳感器。
68. 根據(jù)權(quán)利要求67所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述分配組 件包括分配嘴，并且所述傳感器用硬連線功率-數(shù)據(jù)接口集成 在所述分配。觜中，以在其分配期間監(jiān)控所述液體介質(zhì)。
69. 根據(jù)權(quán)利要求54所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述傳感器 的類型選自由以下組成的組中一種用于監(jiān)控在安裝于儲存、傳感器；用于監(jiān)控所述液體介質(zhì)的保存期的電化學(xué)傳感器；和 用于監(jiān)控所述液體介質(zhì)的均一性和混合/混合度的光學(xué)散射傳 感器。
70. —種流體4諸存與分配方法，包括提供具有內(nèi)部容積和在所述內(nèi)部容積中的襯里的容器， 在零或近零頂空構(gòu)造中容納液體介質(zhì)；從所述襯里分配液體介質(zhì)；和在分配期間用集成流量計監(jiān)控從所述襯里排出的所述液 體介質(zhì)，并在出現(xiàn)空檢測狀況時從所述集成流量計產(chǎn)生與所述 空檢測狀況相關(guān)的輸出。
71. 根據(jù)權(quán)利要求70所述的方法，其中所述集成流量計監(jiān)控所述 液體介質(zhì)分配速率，并響應(yīng)于作為所述空檢測狀況的所述流體介質(zhì)流速的顯著降低而產(chǎn)生所述輸出。
72. 根據(jù)權(quán)利要求70所述的方法，其中所述集成流量計包括電子輸出集成流量計。
73. 根據(jù)權(quán)利要求72所述的方法，進(jìn)一步包括使用適于響應(yīng)于所 接收到的出現(xiàn)空檢測狀況的信息而終止所述分配操作的RF-響應(yīng)性控制器；并在所述襯里和所述容器的至少之一上安裝 RFID標(biāo)簽，其中所述RFID標(biāo)簽包括RF天線，所述RF天線 布置用于將信息從RFID標(biāo)簽傳遞給所述控制器，并將來自所 述電子輸出集成流量計的所述輸出提供給所述RF1D標(biāo)簽，由 此將指示所述空檢測狀況的所述輸出的生成傳遞給所述RFID標(biāo)簽，并且相應(yīng)的指示所述空^企測狀況的信息通過所述RF天線傳送到所述RF-響應(yīng)性控制器以在出現(xiàn)所述空檢測狀況時終止所述分配操作。
74. 才艮據(jù)權(quán)利要求73所述的方法，其中所述RF-響應(yīng)性控制器適 于實(shí)現(xiàn)從所述容器和襯里到第二容器和坤十里的轉(zhuǎn)換以繼續(xù)分 配才喿作。
75. 根據(jù)權(quán)利要求72所述的方法，進(jìn)一步包括操作控制器以從所 述電子輸出集成流量計4妄收所述4#出，并響應(yīng)i也終止所述分配操作。
76. 根據(jù)權(quán)利要求75所述的方法，其中所述控制器適于實(shí)現(xiàn)從所 述容器和襯里到第二容器和襯里的轉(zhuǎn)換以繼續(xù)分配操作。
77. —種液體介質(zhì)分配方法，包括提供根據(jù)權(quán)利要求8所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，以零或 近零的頂空構(gòu)造在所述襯里中容納液體介質(zhì)；從所述容器的襯里中分配主容積液體介質(zhì)并使這樣的主 容積液體介質(zhì)流過所述分配流路；檢測何時所述主容積液體介質(zhì)一皮完全分配；以及立即啟動第二容積液體介質(zhì)的分配。
78. 根據(jù)權(quán)利要求77所述的方法，其中所述液體介質(zhì)的第二容積 是所述襯里中的一個分隔區(qū)域。
79. 根據(jù)權(quán)利要求77所述的方法，進(jìn)一步包括在所述襯里上施加 力口壓壓縮性氣體壓力，以介導(dǎo)主容積液體介質(zhì)在分配期間的液 體介質(zhì)的分配。
80. 根據(jù)權(quán)利要求77所述的方法，其中所述分配包括使用分配組件，所述分配組件包括與汲取管連接的分配頭，并且所述汲取管適于在所述分配操作期間延伸到所述襯里中的液體介質(zhì)中。
81. 根據(jù)權(quán)利要求77所述的方法，進(jìn)一步包括從液體介質(zhì)的所述主容積和第二容積的至少之一壓力分配液體介質(zhì)。
82. 根據(jù)權(quán)利要求77所述的方法， 其中所述第二容積液體介質(zhì)容納在聚合物膜的襯里中。
83. 根據(jù)權(quán)利要求77所述的方法， 其中所述第二容積液體介質(zhì)容納在襯里的限制區(qū)域中。
84. 根據(jù)權(quán)利要求77所述的方法， 其中所述襯里的所述限制區(qū)域由選自由氣嚢、隔膜、坍縮管、 柱塞和活塞組成的組中的限定結(jié)構(gòu)形成。
85. 根據(jù)權(quán)利要求77所述的方法，其中所述檢測何時所述主容積液體介質(zhì)被完全分配包括執(zhí)行檢測操作，所述檢測操作包括選自由以下組成的組中的步驟檢測通過所述流路的主容積液體介質(zhì)流動中的壓力衰減；檢測載荷變化，所述栽荷變化趨向相對于所述液體介質(zhì)的主容積分配的載荷增加的所述液體介質(zhì)的第二容積分配的載荷；測量在所述第二容積由在所述流路中的流量；以及測量在分配期間所述第二容積液體介質(zhì)的位移。
86. 沖艮據(jù)權(quán)利要求77所述的方法，其中所述第二容積液體介質(zhì)容納于第二襯里中，并且所述主容積液體介質(zhì)和第二容積液體介質(zhì)的每一個從其各自的襯里通過施加于其上的氣體壓縮力而被壓力分配。
87. 根據(jù)權(quán)利要求86所述的方法，其中所述檢測何時所述主容積 液體介質(zhì)被完全分配包括執(zhí)行基于相對于分配所述主容積液體介質(zhì)所需壓縮力的分配第二容積液體介質(zhì)所需的不同壓縮 力的一檢測方案。
88. 根據(jù)權(quán)利要求77所述的方法，其中所述第二容積由柔性構(gòu)件 限定的在所述襯里中的受限子容積構(gòu)成，所述柔性構(gòu)件固定至所 述襯里并由此構(gòu)成所述襯里的材料更堅硬的材料形成。
89. 根據(jù)權(quán)利要求88所述的方法，其中所述柔性構(gòu)件被焊接至所 述襯里。
90. 根據(jù)權(quán)利要求88所述的方法，其中所述柔性構(gòu)件包括焊接至 所述襯里邊緣的V-形板元件，其中所述V-形板元件的各個側(cè) 邊分別焊接至所述襯里的側(cè)邊。
91. 根據(jù)權(quán)利要求88所述的方法，其中所述柔性構(gòu)件包括平的或 微曲的矩形構(gòu)件，其被焊接至所述襯里的平的部分。
92. 根據(jù)權(quán)利要求88所述的方法，其中所述柔性構(gòu)件包括焊接至 所述襯里的平的部分的盤形構(gòu)件。
93. 根據(jù)權(quán)利要求92所述的方法，其中所述襯里的平的部分包括 接近所述襯里中間的一個部分。
94. 根據(jù)權(quán)利要求77所述的方法，其中所述第二容積由柔性構(gòu)件限定的在所述襯里中的受限子容積構(gòu)成，所述柔性構(gòu)件在所述 主容積的液體介質(zhì)被分配后發(fā)生收縮而從所述受限子容積釋放液體介質(zhì)。
95. 根據(jù)權(quán)利要求77所述的方法，其中所述空檢測器布置用于檢測在所述分配的液體介質(zhì)中的壓降，并響應(yīng)性地產(chǎn)生所述空沖檢測輸出。
96. 根據(jù)權(quán)利要求95所述的方法，其中所述空檢測器包括壓力傳感器。
97. 根據(jù)權(quán)利要求77所述的方法，進(jìn)一步包括操作電動泵，用于 在分配期間泵送液體介質(zhì)，以及監(jiān)控所述泵的安培數(shù),以在所 述安培數(shù)一旦在開始分配來自第二容積的液體介質(zhì)而發(fā)生變 化時產(chǎn)生所述空檢測輸出。
98. 根據(jù)權(quán)利要求77所述的方法，進(jìn)一步包括操作傳動裝置以產(chǎn)生用于壓力分配所述主容積和第二容積的液體介質(zhì)的壓力，以 及檢測在從所述主容積到所述第二容積的液體介質(zhì)分配的過 渡期間為維持預(yù)定壓力所需的傳動壓力的變化。
99. 一種'液體介質(zhì)分配方法，包括提供根據(jù)權(quán)利要求31所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，在所述 襯里中容納由頂空覆蓋的液體介質(zhì)；分配來自所述容器襯里中的液體介質(zhì)并使這樣的液體介 質(zhì)流入儲罐；監(jiān)控所述儲罐中的液位；以及在所述儲罐中的液位由于所述襯里的空狀況而變化時產(chǎn) 生空4企測車命出。
100. 根據(jù)權(quán)利要求99所述的方法，其中所述儲罐是垂直拉長形式， 其上部適于容納所述氣體而下部適于容納由氣體覆蓋的所述液體介質(zhì)，其中排氣管線與所述上部連^妾而液體排;改管線與所 述下部連4妄。
101. 根據(jù)權(quán)利要求100所述的方法，其中所述排氣管線和液體排放管線安裝有流量控制閥。
102. 根據(jù)權(quán)利要求101所述的方法，包括在向所述襯里施加分配 壓力時關(guān)閉所述流量控制閥，從而使襯里中頂空氣體進(jìn)入所述 儲罐的上部而覆蓋其中的液體介質(zhì)，由此當(dāng)液體介質(zhì)從所述襯里被全部分配時，在所述儲罐上部中的氣體被加壓以在所述神于 里的液體介質(zhì)耗盡后實(shí)現(xiàn)壓力分配用于繼續(xù)分配液體介質(zhì)的 所述儲罐的液體介質(zhì)。
103. 沖艮據(jù)斥又利要求102所述的方法，其中所述儲罐布置成所述液 體介質(zhì)持續(xù)分配的時間足以將容納第二襯里的第二容器轉(zhuǎn)換 到分配才乘作中。
104. 根據(jù)權(quán)利要求99所述的方法，包括致動作為所述空檢測輸出 的警報。
105. 根據(jù)權(quán)利要求99所述的方法，包括利用選自由紅外液位傳感 器和容量傳感器組成的組中的液位傳感器元件。
106. 根據(jù)權(quán)利要求103所述的方法，進(jìn)一步包括在所述足夠?qū)⑷?納第二襯里的第二容器轉(zhuǎn)換到分配操作中的時間期間轉(zhuǎn)換入 新的襯里包裝。
107. 根據(jù)權(quán)利要求99所述的方法，其中所述儲罐具有垂直拉長形 縮小直徑部分。
108. 根據(jù)權(quán)利要求107所述的方法，其中所述儲罐的所述中間部分包括在其中的限流器。
109. 根據(jù)權(quán)利要求108所述的方法，其中所述儲罐的所述中間部 分包括盤管結(jié)構(gòu)。
110. —種液體介質(zhì)分配方法，包4舌提供根據(jù)權(quán)利要求43所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，在所述 襯里中容納由頂空覆蓋的液體介質(zhì)；用來自襯里的液體介質(zhì)填充所述儲罐以在其中建立儲備 液體介質(zhì)的量；和在液體介質(zhì)已從所述襯里被完全分配之后從所述儲罐分 酉己-液體介質(zhì)。
111. 一種供應(yīng)液體介質(zhì)的制造系統(tǒng)，包4舌適于利用液體介質(zhì)的制造設(shè)備；和與所述制造設(shè)備流體聯(lián)通地連接的液體介質(zhì)源，以向所 述制造設(shè)備分配所述液體介質(zhì)；其中所述液體介質(zhì)源包括選自由以下組成的組中的 一種源(A )根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體儲存和分配系統(tǒng)，其中 所述襯里容納所述液體介質(zhì)；(B )根據(jù)權(quán)利要求8所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所 述襯里容納所述液體介質(zhì)；(C)根據(jù)權(quán)利要求31所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中 所述襯里容納所述液體介質(zhì)；(D) 根據(jù)權(quán)利要求42所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述襯里容納所述液體介質(zhì)；(E) 根據(jù)權(quán)利要求50所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中 所述襯里容納所述液體介質(zhì)；(F) 根據(jù)權(quán)利要求53所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中 所述襯里容納所述液體介質(zhì)；和(G) 根據(jù)權(quán)利要求54所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中 所述襯里容納所述液體介質(zhì)。
112. 根據(jù)權(quán)利要求111所述的供應(yīng)液體介質(zhì)的制造系統(tǒng)，其中所述 制造設(shè)備包括微電子器件制造設(shè)備。
113. 根據(jù)權(quán)利要求112所述的供應(yīng)液體介質(zhì)的制造系統(tǒng)，其中所 述微電子器件制造設(shè)備包括選自由沉積設(shè)備和離子注入設(shè)備 組成的組中的i殳備。
114. 根據(jù)權(quán)利要求111所述的供應(yīng)液體介質(zhì)的制造系統(tǒng)，其中所述 液體介質(zhì)包括微電子器件制造試劑。
115. 根據(jù)權(quán)利要求114所述的供應(yīng)液體介質(zhì)的制造系統(tǒng)，其中所 述微電子器件制造試劑包括選自由光刻膠、蝕刻劑、化學(xué)氣相 沉積劑、容劑、晶片和i殳備清潔制劑、以及化學(xué)枳機(jī)械拋光組合 物組成的組中的試劑。
116. —種通過涉及利用液體介質(zhì)的工藝制造產(chǎn)品的方法，所述方工藝，其中所述基于襯里的源選自由以下組成的組(A)根據(jù)權(quán)利要求1所述的流體儲存和分配系統(tǒng)，其中 所述襯里容納所述液體介質(zhì)；(B )才艮據(jù)權(quán)利要求8所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述襯里容納所述液體介質(zhì)；(C) 根據(jù)權(quán)利要求31所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述襯里容納所述液體介質(zhì)；(D) 根據(jù)權(quán)利要求42所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述襯里容納所述液體介質(zhì)；(E) 根據(jù)權(quán)利要求50所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述襯里容納所述液體介質(zhì)；(F) 根據(jù)權(quán)利要求53所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述襯里容納所述液體介質(zhì)；(G) 根據(jù)權(quán)利要求54所述的襯里包裝分配系統(tǒng)，其中所述襯里容納所述液體介質(zhì)。
117. 根據(jù)權(quán)利要求114所述的方法，其中所述液體介質(zhì)包括微電子器件制造試劑。
118. 根據(jù)權(quán)利要求115所述的方法，其中所述微電子器件制造試劑包括選自由光刻膠、蝕刻劑、化學(xué)氣相沉積劑、溶劑、晶片和設(shè)備清潔制劑、以及化學(xué)機(jī)械拋光組合物組成的組中的試劑。
119. 一種材料分配系統(tǒng)，包括其中包含有的襯里的材料儲存和分配包裝，適于容納用于壓力分配的材料，其中所述包裝通過分配管線連接于利用所分配材料的設(shè)備，并且所述分配管線操作地在其中設(shè)置有伺服液壓分配泵，和在所述包裝和所述泵之間的檢空壓力傳感器，操作地布置用于提供指示所述包裝接近空 狀態(tài)的輸出。
120. 根據(jù)權(quán)利要求119所述的系統(tǒng)，進(jìn)一步包括儲罐氣體分離器 和排空組件，設(shè)置在所述包裝和所述伺服液壓分配泵之間的所述分配管線上。
121. 根據(jù)權(quán)利要求120所述的系統(tǒng)，進(jìn)一步包括過濾器，設(shè)置在 所述儲罐氣體分離器和排空組件與所述泵之間的分配管線上。
122. 根據(jù)權(quán)利要求121所述的系統(tǒng)，進(jìn)一步包括在所述泵下游的 所述分配管線上的AV/SV閥組-f牛。
123. 根據(jù)權(quán)利要求119所述的系統(tǒng)，其中所述襯里容納半導(dǎo)體制造試劑。
124. 根據(jù)權(quán)利要求119所述的系統(tǒng)，其中所述襯里容納光刻膠。
125. 根據(jù)權(quán)利要求119所述的系統(tǒng)，其中所述壓力傳感器搡作地 連接于控制器，用于隔離所述包裝以使其在所述包裝的所述接 近空狀態(tài)時能夠切換出來。
126. —種材料分配系統(tǒng)，包括其中包含有襯里的材料儲存和分配 包裝，適于容納壓力分配的材料，其中所述包裝通過分配管線 連接于利用所分配材料的設(shè)備，并且所述分配管線連接于分配 器和監(jiān)控器，所述分配器布置用于接收按照周期補(bǔ)充進(jìn)度從所 述包裝流向所述設(shè)備的抗蝕劑，而所述監(jiān)纟見器適于檢測指示所 述包裝4妾近空狀態(tài)的用于補(bǔ)充所述分配器所需的時間的增加， 并響應(yīng)性地提供所述接近的輸出。
127. 根據(jù)權(quán)利要求126所述的系統(tǒng)，其中所述分配器包括泵。
128. 根據(jù)權(quán)利要求127所述的系統(tǒng)，其中所述分配器的補(bǔ)充進(jìn)行 了高度校正。
129.根據(jù)權(quán)利要求126所述的系統(tǒng)，進(jìn)一步包括儲罐氣體分離器和排空組件，設(shè)置在所述包裝和所述分配器之間的所述分配管 線上。
130. 根據(jù)權(quán)利要求129所述的系統(tǒng)，進(jìn)一步包括過濾器，設(shè)置在 所述儲罐氣體分離器和所述排空組件與所述分配器之間的分 配管線上。
131. 根據(jù)權(quán)利要求130所述的系統(tǒng)，進(jìn)一步包括在所述分配器下 游的所述分配管線上的AV/SV閥門紅"牛。
132. 根據(jù)權(quán)利要求126所述的系統(tǒng)，其中所述襯里容納半導(dǎo)體制 造試劑。
133. 根據(jù)權(quán)利要求126所述的系統(tǒng)，其中所述襯里容納光刻膠。
134. 根據(jù)權(quán)利要求126所述的系統(tǒng)，其中所述監(jiān)視器操作地連接 于控制器，用于隔離所述包裝以使其在所述包裝的所述接近空 狀態(tài)時能夠切換出來。
135. —種供應(yīng)材料的方法，包括通過從材料儲存和分配包裝的襯里壓力分配所述材料而將所述材料遞送到利用材料的設(shè)備，所述襯里遞送包括從所述包裝將材料泵送至所述設(shè)備；以及監(jiān)控所述泵上游的所分配材料的壓力以確定出現(xiàn)其壓力逐漸更快的下降，作為所述包裝中的材料耗盡開始的指示。
136. 根據(jù)權(quán)利要求135所述的方法，其中所述襯里容納半導(dǎo)體制 造試劑。
137. 根據(jù)權(quán)利要求135所述的方法，其中所述襯里容納光刻膠。
138. 才艮據(jù)權(quán)利要求135所述的方法，進(jìn)一步包括在所述情況出現(xiàn)時將所述包裝與所述材料的遞送隔離，并將隔離的包裝切換出來，以引入新的材4H諸存和分配包裝用于所述遞送。
139. —種供應(yīng)材料的方法，包括從材料儲存和分配包裝中的襯備，所述遞送包括將材料從所述包裝流到分配器，所述分配器 布置用于4妻收4耍照周期補(bǔ)充進(jìn)度,人所述包裝流到所述設(shè)備的抗蝕劑，監(jiān)控用于所述分配器的補(bǔ)充時間，并在才僉測到用于補(bǔ)充所述分配器所需的時間的逐漸更快的增加時響應(yīng)性地產(chǎn)生 輸出，作為所述包裝中的材料耗盡開始的指示。
140. 根據(jù)權(quán)利要求139所述的方法，其中所述襯里容納半導(dǎo)體制造試劑。
141. 根據(jù)權(quán)利要求139所述的方法，其中所述襯里容納光刻膠。
142. 根據(jù)權(quán)利要求139所述的方法，進(jìn)一步包括在所述檢測發(fā)生時將所述包裝與所述材料遞送隔離，并將隔離的包裝切換出來，以引入新的材料儲存和分配包裝用于所述遞送。
143. —種壓力分配系統(tǒng)，包括封閉有內(nèi)部容積的容器；設(shè)置在所述內(nèi)部容積中并適于在其中容納用于壓力分配的材料的襯里；以及適于在所述3于里上施加外部流體壓力以用于所述壓力 分配的壓力組件，其中所述壓力分配系統(tǒng)包4舌用于所述材沖牛的第二容積，所述第二容積構(gòu)成所述襯里的子容積，其加壓條件 不同于壓力分配沒有包4舌所述子容積的所述4十里的主容積材 料所需的加壓條件，并且其中所述壓力組件包括流體加壓傳動裝置，適于在分配所述主容積材料期間和分配所述第二容積材 料期間將加壓流體遞送到所述內(nèi)部容積中以對所述襯里施加壓力，其將整個從所述主容積和所述第二容積的所述分配將所 分配的材料維持在相同壓力下。
144. 根據(jù)權(quán)利要求143所述的系統(tǒng)，其中所述流體加壓傳動裝置 包括流路，所述流路包括空氣壓縮才幾或流體泵，適于在整個從 所述主容積和所述第二容積的所述分配維持所述相同壓力。
145. 根據(jù)權(quán)利要求143所述的系統(tǒng)，其中所述襯里容納用于制造 孩史電子產(chǎn)品的材料。
146. —種微電子產(chǎn)品制造裝置，包括4艮據(jù)纟又利要求143所述的壓 力分配系統(tǒng)，和與所述壓力分配系統(tǒng)連接以接收來自其的所分 配材料的微電子產(chǎn)品制造設(shè)備。
147. —種供應(yīng)材料的方法，包括提供根據(jù)權(quán)利要求143所述的 壓力分配系統(tǒng)；啟動用于分配的所述壓力組件；從所述襯里的 所述主容積分配材料；以及之后從所述襯里的所述第二容積分 配材料；其中在從所述襯里的所述主容積和從所述襯里的所述 第二容積的整個所述分配中在相同壓力下分配材泮十。
148. 根據(jù)權(quán)利要求147所述的方法，其中所述分配的材料包括用 于制造微電子產(chǎn)品的材料。
149. 一種制造微電子產(chǎn)品的方法，包括通過根據(jù)權(quán)利要求148所 述的方法供應(yīng)所述材料，以及在微電子產(chǎn)品制造過程中利用所 述分配的材料。
全文摘要
本發(fā)明公開了用于儲存和分配化學(xué)試劑和組合物，例如用于制造微電子器件產(chǎn)品的高純液體試劑和化學(xué)機(jī)械拋光劑的流體供應(yīng)系統(tǒng)，該流體供應(yīng)系統(tǒng)具有在分配操作期間在所容納的液體處于或接近耗盡時檢測空或接近空的情形的能力。本發(fā)明描述了采用空檢測檢測布置的流體遞送系統(tǒng)，其包括壓力傳感器，用于監(jiān)控在供料包裝和液壓伺服分配泵中間分配的材料，或監(jiān)控在周期進(jìn)度表上被補(bǔ)充的分配器中的分配室補(bǔ)充次數(shù)，以將材料從分配器流到利用所分配的材料的下游設(shè)備。
文檔編號B67D99/00GK101208256SQ200680022747
公開日2008年6月25日 申請日期2006年4月25日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月25日
發(fā)明者凱文·T·奧多爾蒂, 唐納德·D·韋爾, 彼得·C·范巴斯柯克, 明娜·霍維寧, 柯克·米克爾森, 格倫·M·湯姆, 約翰·R·金格里 申請人:高級技術(shù)材料公司