專利名稱：疊層基板輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種疊層基板的輸送裝置，特別涉及一種把通過上部輸送機構(gòu)輸送的基板很容易地輸送到下部輸送機構(gòu)的疊層基板輸送裝置。
背景技術(shù)：
一般情況下，應用于平板顯示器(FPDFlat Panel Display)、半導體基板、LCD、光掩模用玻璃等領(lǐng)域的基板，要經(jīng)過一系列的處理流程，進行蝕刻、剝離、清洗等工序后，進行清洗。
對上述的基板進行處理和清洗時，為了向各道工序傳送基板，必須使用輸送裝置。
上述基板輸送裝置的結(jié)構(gòu)有多種多樣，但目前通常采用的是水平接收/供應基板的輸送裝置。即，為了對基板進行處理，這種輸送裝置以水平狀態(tài)輸送基板，供給加工線入口處的裝載機，或從卸載機一側(cè)接收經(jīng)處理的基板，而后輸送到其他處理工序。
疊層基板輸送裝置通過上部輸送機構(gòu)輸送基板，并通過可上下反復移動的緩沖裝置(buffer hand)接收/供應所述基板，然后通過緩沖裝置向下部輸送機構(gòu)接收/供應基板。
但是，這種結(jié)構(gòu)的疊層基板輸送裝置因基板的大面積趨勢，從而使現(xiàn)有的上部輸送機構(gòu)不適用。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種通過改善上部輸送機構(gòu)的結(jié)構(gòu)，可簡便地上下輸送所述基板的疊層基板輸送裝置。
本發(fā)明的另一目的在于通過加大輸送輥直徑，提高基板的輸送速度。通過使用上述的大直徑輥子，可順利實現(xiàn)基板的接收或供應。
本發(fā)明是以如下方式實現(xiàn)的。本發(fā)明的疊層基板輸送裝置，包括架子；設(shè)置于所述架子上，并帶有可在原地旋轉(zhuǎn)和前后移動、用于輸送基板的輥子的上部輸送機構(gòu)；設(shè)置于所述架子的高端，用于輸送基板的至少兩個可旋轉(zhuǎn)的第一輸送輥；設(shè)置于所述架子的低端并可旋轉(zhuǎn)，其直徑大于所述第一輸送輥的直徑，用于從所述第一輸送輥接收基板的至少兩個第二輸送輥；用于使至少兩個所述第二輸送輥同時在所述架子的低端進行前后移動，并可使所述基板沿水平方向移動的移動板；設(shè)置于所述上部輸送機構(gòu)的附近，可上下移動，當所述輸送機構(gòu)向其靠近時，其前端可進入由設(shè)置于所述上部輸送機構(gòu)內(nèi)、且其直徑大于一定數(shù)值的輥子所形成的空間，用于接收/供應所述基板的緩沖裝置；通過從所述緩沖裝置接收、或向緩沖裝置供應所述基板，并向基板處理裝置輸送基板的下部輸送機構(gòu)。
如上所述，本發(fā)明的疊層基板輸送裝置，把兩個輸送部設(shè)置成一列，把其中一側(cè)輸送部設(shè)置于低端，并加大該輸送部的輥子直徑，使該大直徑輥子在自轉(zhuǎn)的同時前后做直線運動，以此讓用于接收所述基板的緩沖裝置可進入基板和輥子之間，從而減少了在疊層基板輸送裝置上，上下輸送基板所需的時間。


圖1是本發(fā)明的疊層基板輸送裝置優(yōu)選實施例一的立體圖；圖2是本發(fā)明的疊層基板輸送裝置實施例的主要部分放大圖；圖3是本發(fā)明的疊層基板輸送裝置實施例的側(cè)視圖；圖4是本發(fā)明的疊層基板輸送裝置實施例的主視圖；圖5是本發(fā)明的疊層基板輸送裝置優(yōu)選實施例二的主視圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明疊層基板輸送裝置進行更為詳細地說明。
如圖1至圖4所示，本發(fā)明優(yōu)選實施例中疊層基板輸送裝置，包括沿垂直及水平方向排列，并形成框架的多個架子1；設(shè)置于所述架子1的上部，并可在其上滑移，用于接收/供應所述基板G的上部輸送機構(gòu)3；從所述上部輸送機構(gòu)3的下側(cè)設(shè)置于架子1，用于接收/供應所述基板的下部輸送機構(gòu)40。
在基板處理單元10的前后，所述下部輸送機構(gòu)40分別形成單獨的輸送機構(gòu)8、12。
本發(fā)明還包括，可從所述上部輸送機構(gòu)3接收，或向所述上部輸送機構(gòu)3供應基板G的緩沖裝置5、7。所述的緩沖裝置5、7可垂直移動，以此實現(xiàn)升降。
從/向所述緩沖裝置5、7接收/供應基板G的第一輸送部9和第二輸送部11構(gòu)成所述上部輸送機構(gòu)3。所述的下部輸送機構(gòu)40從所述緩沖裝置5、7接收所述基板G，而后把該基板G輸送到用于清洗、干燥該基板G的基板處理單元10。所述基板處理單元10可采用該領(lǐng)域的通用設(shè)備，因此省略其詳細說明。
所述的第一輸送部9可在所述架子10的指定位置旋轉(zhuǎn)，所述第二輸送部11設(shè)置于所述第一輸送部9的前方，可自轉(zhuǎn)，并可前后移動。特別是，所述的第二輸送部11的設(shè)置位置低于所述第一輸送部9的設(shè)置位置。
為此，所述的第一輸送部9包括排列于兩側(cè)架子1上的至少一個支架13；設(shè)置于所述支架13上并可旋轉(zhuǎn)的第一旋轉(zhuǎn)軸16；設(shè)置于所述第一旋轉(zhuǎn)軸16，用于支持基板的至少一個第一輸送輥15；用于連接所述的多個第一輸送輥15的連接軸17；用于驅(qū)動所述多個第一旋轉(zhuǎn)軸16的第一電動機組19。
并且，所述的多個第一旋轉(zhuǎn)軸16的一端通過連接軸17相互連接，該連接軸17通過蝸桿及蝸輪等動力傳遞結(jié)構(gòu)，把所述第一電動機組19的旋轉(zhuǎn)力傳遞給所述第一旋轉(zhuǎn)軸16。
因此，當所述電動機組19驅(qū)動時，旋轉(zhuǎn)軸17隨之旋轉(zhuǎn)，并帶動多個第一旋轉(zhuǎn)軸16旋轉(zhuǎn)，而多個第一輸送輥15隨之旋轉(zhuǎn)的同時，帶動基板G移動。
在如上所述的作用下，通過所述第一輸送部9而輸送的基板G，供給到第二輸送輥11。
所述的第二輸送輥11包括一對架子20；設(shè)置于所述架子20上面的軌道21；設(shè)置于所述軌道21上，并可做前后直線運動的移動板23；設(shè)置于所述移動板23上，并可旋轉(zhuǎn)，且可設(shè)置基板G的第二輸送輥25；用于旋轉(zhuǎn)所述第二輸送輥25的電動機組26。
所述第二輸送部11的架子20的安裝位置低于所述第一輸送部9的架子1的位置。
所述軌道21包括LM式軌道，在所述的LM式軌道21上設(shè)置移動板23，使該移動板23沿軌道21前后移動。
在所述移動板23的上部，向上突設(shè)有支撐架31，在所述支撐架31上設(shè)置有可旋轉(zhuǎn)的第二旋轉(zhuǎn)軸27。并且，所述第二旋轉(zhuǎn)軸27通過電動機組26和皮帶28傳遞動力。所述電動機組26的旋轉(zhuǎn)軸30和第二旋轉(zhuǎn)軸27通過皮帶28連接。
所述的多個第二輸送輥25設(shè)置于所述第二旋轉(zhuǎn)軸27。
并且，所述第二旋轉(zhuǎn)軸27帶動第二輸送輥25旋轉(zhuǎn)，從而輸送基板G。
此時，所述的第二輸送棍25采用大直徑r大輥子。所述大輥子的直徑大于所述第一輸送輥15的直徑。
即，如圖3所示，如果所述第二輸送輥25的直徑大于一定值，那么當基板G設(shè)置于所述第二輸送輥25時，在第二旋轉(zhuǎn)軸27和基板G之間可形成一定大小的空間S。該空間S的大小應當足以使所述緩沖裝置5的前端進入。這是確定所述第二輸送輥25的直徑的條件。
即使所述第二輸送輥25的直徑變大，所述的第二輸送部11的位置還是低于第一輸送部9的位置，因此可在水平方向上輸送基板。
所述緩沖裝置5的前端為了接收、供應所述基板而進入所述第二旋轉(zhuǎn)軸27和基板G之間時，進入該空間S，因此可使緩沖裝置5易于進入。所述緩沖裝置5進入所述空間的狀態(tài)下，利用常規(guī)方法將所述緩沖裝置5稍微向上移動，使設(shè)置于所述第二輸送輥25的基板G移向所述緩沖裝置5一側(cè)。
如上所述，在所述第一輸送輥9的作用下，所述基板G向前方輸送時，所述的第二輸送輥11向所述第一輸送輥9方向移動，并接收所述基板G，所述的第二輸送輥11接收所述基板G后，移動板23沿軌道21向前方移動，從而把所述基板G輸送到所述緩沖裝置5。
如此，把原地旋轉(zhuǎn)的所述第一輸送部9和可前后移動的所述第二輸送部11設(shè)置成一列，并使所述第二輸送部11的位置低于所述第一輸送部9的位置，并采用大直徑輥子，以此可加快基板的輸送速度。
圖5所示的是本發(fā)明的另一實施例。如圖5所示，本實施例中第二輸送輥25未采用大直徑輥子，而采用了分離的旋轉(zhuǎn)軸42、44。
即，將所述第二輸送部11的旋轉(zhuǎn)軸27分成兩個旋轉(zhuǎn)軸42、44。所述的兩個旋轉(zhuǎn)軸42、44分別設(shè)置于支撐架46，48，并可旋轉(zhuǎn)。此時，在所述兩個旋轉(zhuǎn)軸42、44上設(shè)置常規(guī)直徑的輸送輥50。以此相分離的兩個旋轉(zhuǎn)軸42、44之間，形成一定大小的空間D。
所述緩沖裝置49為接收所述基板而進入所述輥子50之間時，在該一定大小的空間D可上下移動，由此可接收和供應基板。
上述說明中，通過基板的清洗及干燥工序?qū)宓妮斔脱b置及方法進行了說明，但并不限于上述內(nèi)容，本發(fā)明也可適用于基板的蝕刻(Etching)及剝離(Strip)工序。
上述的說明是對本發(fā)明實施例的詳細描述，但本發(fā)明并不限定于上述實施方式。在權(quán)利要求書和說明書及其附圖所示的范圍之內(nèi)通過一些修改，可實現(xiàn)不同的實施方式，而這種修改應屬于本發(fā)明的保護范圍。
權(quán)利要求
1.一種疊層基板輸送裝置，其特征在于它包括其兩端的高度不同、并設(shè)置成一列的架子；設(shè)置于所述架子的高端，用于輸送基板的至少兩個可旋轉(zhuǎn)的第一輸送輥；設(shè)置于所述架子的低端并可旋轉(zhuǎn)，其直徑大于所述第一輸送輥的直徑，用于從所述第一輸送輥接收基板的至少兩個第二輸送輥；用于使至少兩個所述第二輸送輥同時在所述架子的低端進行前后移動，并可使所述基板沿水平方向移動的移動板；設(shè)置于所述架子的低端，且進入至少兩個所述的第二輸送輥之間，用于接收/供應基板，并可使該基板沿垂直方向上下移動的緩沖裝置；通過所述緩沖裝置接收/供應所述基板，并向基板處理單元輸送基板的下部輸送機構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊層基板輸送裝置，其特征在于所述的至少兩個第一輸送輥和至少兩個第二輸送輥構(gòu)成上部輸送機構(gòu)，其分別設(shè)置于第一旋轉(zhuǎn)軸和第二旋轉(zhuǎn)軸，并通過電動機組實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊層基板輸送裝置，其特征在于所述的至少兩個第一輸送輥設(shè)置于排列在所述架子兩側(cè)上的至少兩個支架，并與用于連接至少兩個所述的第一輸送輥的連接軸相連，以此傳遞動力。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊層基板輸送裝置，其特征在于所述的至少兩個第二輸送輥設(shè)置于可在所述架子上面的軌道上滑動的移動板。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的疊層基板輸送裝置，其特征在于所述第二輸送輥的直徑大小為，當所述基板設(shè)置于所述第二旋轉(zhuǎn)軸時，足以使所述緩沖裝置進入基板和第二旋轉(zhuǎn)軸之間。
6.一種疊層基板輸送裝置，其特征在于它包括架子；設(shè)置于所述架子的一側(cè)，通過在原地旋轉(zhuǎn)的輥子輸送基板的第一輸送部；設(shè)置于所述架子的另一側(cè)，并可前后移動，帶有堆積基板用輥子，用于從所述第一輸送部接收/供應所述基板，分離設(shè)置用于連接所述堆積基板用輥子的旋轉(zhuǎn)軸，以形成一定大小的空間，可使所述緩沖裝置進入的第二輸送部；從所述緩沖裝置接收所述基板，通過基板處理單元輸送基板的下部輸送機構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的疊層基板輸送裝置，其特征在于所述的第二輸送部包括設(shè)置于所述架子上面的軌道；設(shè)置于所述軌道，并可在所述軌道上滑動的移動板；在所述移動板上，向上突出的支撐架；分別設(shè)置于所述支撐架上，并可旋轉(zhuǎn)的分離型旋轉(zhuǎn)軸；分別設(shè)置于所述的分離型旋轉(zhuǎn)軸，用于設(shè)置基板的第二輸送輥；用于旋轉(zhuǎn)所述分離型旋轉(zhuǎn)軸的電動機組。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種疊層基板輸送裝置，包括架子；設(shè)置于所述架子，用于通過直徑大于一定值的輥子輸送基板，在所述輥子的軸和所設(shè)置的基板間形成一定空間的上部輸送機構(gòu)；設(shè)置于所述架子的高端，用于輸送基板的至少兩個可旋轉(zhuǎn)的第一輸送輥；設(shè)置于所述架子的低端并可旋轉(zhuǎn)，其直徑大于所述第一輸送輥的直徑，用于從所述第一輸送輥接收基板的至少兩個第二輸送輥；用于使所述第二輸送輥同時在所述架子的低端進行前后移動，并可使所述基板沿水平方向移動的移動板；設(shè)置于所述架子的一側(cè)，其前端進入所述上部輸送機構(gòu)的所述空間，用于接收/供應基板的緩沖裝置；通過所述緩沖裝置接收/供應所述基板，以此輸送基板的下部輸送機構(gòu)及基板處理裝置。
文檔編號B65G13/11GK1847117SQ200610073030
公開日2006年10月18日 申請日期2006年4月10日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月12日
發(fā)明者樸庸碩, 李碩周 申請人:顯示器生產(chǎn)服務(wù)株式會社