專(zhuān)利名稱(chēng)：薄板支持容器用蓋體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及容納半導(dǎo)體晶片、記憶磁盤(pán)、液晶玻璃基板等的薄板的，在保管、運(yùn)送、制造步驟等中所使用的薄板支持容器用蓋體。
背景技術(shù)：
容納半導(dǎo)體晶片等薄板用來(lái)保管、運(yùn)送的薄板支持容器是眾所周知的。
該薄板支持容器主要由容器本體及塞住該容器本體上部開(kāi)口的蓋體構(gòu)成。容器本體內(nèi)部設(shè)有用來(lái)支持半導(dǎo)體晶片等薄板用的構(gòu)件。在該薄板支持容器中，為防止收容在其內(nèi)部的半導(dǎo)體晶片等薄板表面被污染，運(yùn)送時(shí)必須保持容器內(nèi)清潔干凈。因此，容器內(nèi)是密封的。換句話說(shuō)，是將蓋體固定于容器本體上，使容器本體成密封狀態(tài)。將該蓋體固定于容器本體上的構(gòu)造有各種形式。
運(yùn)送到半導(dǎo)體制造工廠等的薄板支持容器，放置在生產(chǎn)線上由專(zhuān)用裝置來(lái)自動(dòng)地裝卸蓋體。
對(duì)應(yīng)于該專(zhuān)用裝置的蓋體有一種是專(zhuān)利文獻(xiàn)1所記載的形態(tài)。該蓋體1，如圖2所示，由本體2、凸輪構(gòu)件3、閂鎖桿4及支點(diǎn)5構(gòu)成。
凸輪構(gòu)件3是可轉(zhuǎn)動(dòng)的安裝在本體2上。凸輪構(gòu)件3上設(shè)有凸輪部分6。該凸輪部分6上設(shè)有長(zhǎng)形洞孔狀的連結(jié)開(kāi)口部7。
閂鎖桿4的基端部設(shè)置有S字形凸輪隨動(dòng)部分8，該S字形凸輪隨動(dòng)部分8嵌合于連結(jié)開(kāi)口部7上捕捉其動(dòng)作。
支點(diǎn)5由設(shè)于本體2上的突起構(gòu)件構(gòu)成，用來(lái)支持閂鎖桿4。
根據(jù)該構(gòu)成，通過(guò)凸輪構(gòu)件3的轉(zhuǎn)動(dòng)，使得連結(jié)開(kāi)口部7所捕捉到的S字形凸輪隨動(dòng)部分8一方面向圖中的右方移動(dòng)而一方面向上方頂起。由此，閂鎖桿4一方面從本體2延伸出，一方面以支點(diǎn)5為中心而轉(zhuǎn)動(dòng)，將閂鎖桿4的前端向下方頂下。
此時(shí)，閂鎖桿4的前端嵌合于容器本體側(cè)的孔部而向下方頂下，因而將蓋體頂向容器本體側(cè)的進(jìn)行固定。
(專(zhuān)利文獻(xiàn)1)日本專(zhuān)利特開(kāi)2001-512288號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容但是，如上所述蓋體1，因?yàn)殚V鎖桿4的基端部是用凸輪構(gòu)件3捕捉的一邊向外延伸一邊向上方頂起，使得閂鎖桿4能以支點(diǎn)5為中心而旋轉(zhuǎn)的構(gòu)成，若換成杠桿原理的話，可以將閂鎖桿4的基端作為力點(diǎn)，前端為作用點(diǎn)，支點(diǎn)5成為支點(diǎn)。
在這樣的情形下，為了提高容器本體內(nèi)的密閉性，要將蓋體1強(qiáng)力壓在容器本體上，因此必須將閂鎖桿4的前端強(qiáng)力頂壓在容器本體側(cè)的孔部上。
為實(shí)現(xiàn)這樣的效果，必須提高凸輪構(gòu)件3和閂鎖桿4的強(qiáng)度。這是因?yàn)殚V鎖桿4前端部和支點(diǎn)5之間的間隔比較長(zhǎng)的關(guān)系。在此狀況下，只要將支點(diǎn)5和閂鎖桿4的前端側(cè)錯(cuò)開(kāi)，即可不需提高凸輪構(gòu)件3和閂鎖桿4的強(qiáng)度，也能將閂鎖桿4的前端強(qiáng)力地頂壓在容器本體側(cè)的孔部上。
但是，若使支點(diǎn)5和前端側(cè)錯(cuò)開(kāi)，就必須將閂鎖桿4的基端部向上方推上的距離拉長(zhǎng)，因此造成為了保持該推上的距離而必須加厚蓋體1厚度的問(wèn)題。
此外，蓋體內(nèi)表面通常都設(shè)有抵壓晶片的壓片，從上方抵壓住容納在容器本體內(nèi)的半導(dǎo)體晶片的進(jìn)行支持，但是當(dāng)半導(dǎo)體晶片直徑增大時(shí)，支持各半導(dǎo)體晶片的力量也需要增加。因此晶片壓片所承受的來(lái)自半導(dǎo)體晶片的反作用力也跟著增加。而且，在半導(dǎo)體晶片的容納片數(shù)增加的情形下也同樣地，會(huì)使來(lái)自半導(dǎo)體晶片的反作用力增加。其結(jié)果，反作用力會(huì)使蓋體以及晶片壓片向外側(cè)彎曲而使晶片壓片中央部分的抵壓力減弱，因此在來(lái)自外部的震動(dòng)傳達(dá)到時(shí)，會(huì)造成半導(dǎo)體晶片旋轉(zhuǎn)的問(wèn)題。
本發(fā)明是針對(duì)上述問(wèn)題點(diǎn)而設(shè)的，故本發(fā)明之目的為提供一種薄板支持容器用蓋體，能夠不增加體積而強(qiáng)力可靠地加以固定，即使在來(lái)自外部的震動(dòng)傳達(dá)到內(nèi)時(shí)也能防止薄板的轉(zhuǎn)動(dòng)。解決問(wèn)題的手段第1發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，是將內(nèi)部容納有多片薄板的進(jìn)行搬運(yùn)的薄板支持容器的容器本體塞住的薄板支持容器用蓋體，其特征為具備能輕易對(duì)上述容器本體進(jìn)行固定及固定解除的可裝卸的簡(jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)，該簡(jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)，具備接合構(gòu)件，能夠伸出而接合于上述容器本體側(cè)；推出構(gòu)件，能夠跟該接合構(gòu)件連結(jié)而伸出縮入；前端側(cè)凸輪，在利用上述推出構(gòu)件推出上述接合構(gòu)件時(shí)，將上述接合構(gòu)件的前端側(cè)頂向一邊；以及基端側(cè)凸輪，在推出上述接合構(gòu)件時(shí)，將上述接合構(gòu)件的基端側(cè)頂向另一邊。
根據(jù)上述構(gòu)成，在用推出構(gòu)件將接合構(gòu)件推出時(shí)，前端側(cè)凸輪將接合構(gòu)件的前端側(cè)頂向一邊，同時(shí)基端側(cè)凸輪也將接合構(gòu)件的基端側(cè)頂向另一側(cè)。如此，蓋體即可固定于容器本體側(cè)上。
第2發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，特征是在第1發(fā)明的薄板支持容器用蓋體中的，上述前端側(cè)凸輪，具備將上述接合構(gòu)件的前端側(cè)頂向一邊的斜面。
根據(jù)上述構(gòu)成，用前端側(cè)凸輪的斜面，即可將接合構(gòu)件的前端側(cè)頂向一邊，接合在容器本體側(cè)上。
第3發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，特征是在第1或第2發(fā)明的薄板支持容器用蓋體中，上述基端側(cè)凸輪，具備將上述接合構(gòu)件的基端側(cè)頂向另一邊的斜面。
根據(jù)上述構(gòu)成，用基端側(cè)凸輪的斜面，即可將接合構(gòu)件的基端側(cè)頂向另一邊，接合在容器本體側(cè)上。
第4發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，特征是在第1到第3發(fā)明中任一的薄板支持容器用蓋體中，其中上述接合構(gòu)件的前端側(cè)，設(shè)有接合構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)的支點(diǎn)部。
根據(jù)上述構(gòu)成，接合構(gòu)件以支點(diǎn)部為中心而旋轉(zhuǎn)。支點(diǎn)部因?yàn)樵O(shè)在接合構(gòu)件的前端側(cè)，根據(jù)杠桿原理可以將蓋體強(qiáng)力頂壓于容器本體上。
第5發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，特征是在第1到第4發(fā)明中任一的薄板支持容器用蓋體中，上述簡(jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)，設(shè)為可自由裝卸，同時(shí)其構(gòu)成零件也組裝為可分開(kāi)拆解。
根據(jù)上述構(gòu)成，在清洗的時(shí)候，可輕易拆卸分解成各構(gòu)成零件的取出，并分別清洗。如此，不但可將所有角落清洗干凈，同時(shí)還可迅速干燥。
第6發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，是將內(nèi)部容納有多片薄板的進(jìn)行搬運(yùn)的薄板支持容器的容器本體塞住的薄板支持容器用蓋體，其特征為備有能用來(lái)對(duì)容納于上述容器本體內(nèi)薄板進(jìn)行支持的薄板抵壓件，該薄板抵壓件具有相互交替配置的支持片。
根據(jù)上述構(gòu)成，互相交替配置的支持片即可支持薄板周?chē)吘?。此時(shí)，薄板周?chē)吘壣贤ㄟ^(guò)各支持片相互交替頂接，可靠地進(jìn)行支持。
第7發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，是將內(nèi)部容納有多片薄板的進(jìn)行搬運(yùn)的薄板支持容器的容器本體塞住的薄板支持容器用蓋體，其特征為備有用于支持容納在上述容器本體內(nèi)的薄板的薄板抵壓件，上述薄板抵壓件，由具有相互交替配設(shè)的支持片的兩個(gè)頂接片，和彈性支持該各頂接片的彈性支持板部所組成，上述彈性支持板部安裝為可支持各頂接片之間以及兩側(cè)，同時(shí)，各頂接片之間的彈性支持板部，以稍微浮起的狀態(tài)來(lái)支持各頂接片。
根據(jù)上述構(gòu)成，因?yàn)閷⒏黜斀悠g的彈性支持板部以距離安裝面稍微浮起的狀態(tài)，支持頂接片，所以通?？梢杂貌⒉惶珡?qiáng)的力量來(lái)支持薄板。在薄板支持容器不小心掉落等情形發(fā)生等，受到來(lái)自外部的較大沖擊時(shí)，各頂接片之間的彈性支持板部與支持面頂接，而強(qiáng)力地支持各頂接片。如此，即可保護(hù)薄板不受強(qiáng)力沖擊影響。
第8發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，是將內(nèi)部容納有多片薄板的進(jìn)行搬運(yùn)的薄板支持容器的容器本體塞住的薄板支持容器用蓋體，其特征為備有蓋體固定件，在安裝在上述容器本體上的狀態(tài)下從外側(cè)覆蓋的進(jìn)行固定。
根據(jù)上述構(gòu)成，可以將蓋體固定件安裝在容器本體上的支持蓋體。如此，即使掉落等強(qiáng)烈沖擊發(fā)生，蓋體也不會(huì)離開(kāi)容器本體。
第9發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，是將內(nèi)部容納有多片薄板的進(jìn)行搬運(yùn)的薄板支持容器的容器本體塞住的薄板支持容器用蓋體，其特征為備有用于對(duì)容納于上述容器本體內(nèi)的薄板進(jìn)行支持的薄板抵壓件，該薄板抵壓件具有多數(shù)并列配設(shè)而且分別直接頂接上述多片薄板的頂接片，上述并列的各頂接片，形成為使位于中央側(cè)的部分比位于其兩側(cè)的部分，更向上述薄板側(cè)隆起。
根據(jù)上述構(gòu)成，配設(shè)為中央側(cè)比兩側(cè)更向薄板側(cè)隆起的各頂接片，可吸收蓋體的彎曲，而用均等的力量來(lái)支持各薄板。
第10發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，特征是在第9發(fā)明的薄板支持容器用蓋體中，上述薄板抵壓件，具備固定于蓋體內(nèi)表面?zhèn)壬系幕酥С植恳约坝稍摶酥С植克С侄謩e支持上述各頂接片一端的多個(gè)彈性支持板部，支持著上述各頂接片的各彈性支持板部，形成為使位于中央側(cè)的上述頂接片比位于其兩側(cè)的上述頂接片，更向上述薄板側(cè)隆起。
根據(jù)上述構(gòu)成，各彈性支持板部，因?yàn)樵诓⒘信湓O(shè)的各頂接片當(dāng)中，中央側(cè)比兩側(cè)更向薄板側(cè)隆起的進(jìn)行支持，所以能夠吸收蓋體的彎曲，而用均等的力量來(lái)支持各薄板。
第11發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，特征是在第9發(fā)明的薄板支持容器用蓋體中，上述薄板抵壓件，具備固定于蓋體內(nèi)表面?zhèn)鹊幕酥С植?，由該基端支持部所支持而分別支持上述頂接片一端的多個(gè)一側(cè)彈性支持板部，以及分別支持上述各頂接片另一端而頂接于上述蓋體內(nèi)表面?zhèn)鹊亩鄠€(gè)另一側(cè)彈性支持板部，支持著上述各頂接片的各個(gè)一側(cè)彈性支持板部以及另一側(cè)彈性支持板部其中之一或兩者，形成為使位于中央側(cè)的上述頂接片比位于其兩側(cè)的上述頂接片，更向上述薄板側(cè)隆起。
根據(jù)上述構(gòu)成，因?yàn)橐粋?cè)的彈性支持板部或者另一側(cè)支持板部，在并列配設(shè)的各頂接片當(dāng)中，中央側(cè)比兩側(cè)更向薄板側(cè)隆起的進(jìn)行支持，故可吸收蓋體的彎曲，而用均等的力量來(lái)支持各薄板。
第12發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，特征是在第9發(fā)明的薄板支持容器用蓋體中，上述薄板抵壓件，具備固定于蓋體內(nèi)表面?zhèn)鹊幕酥С植?，由該基端支持部所支持而分別支持上述各頂接片一端的多個(gè)一側(cè)彈性支持板部，分別支持上述各頂接片另一端而頂接于上述蓋體內(nèi)表面?zhèn)鹊亩鄠€(gè)另一側(cè)彈性支持板部，以及設(shè)于上述蓋體內(nèi)表面?zhèn)榷斀佑谏鲜隽硪粋?cè)彈性支持板部以支持該另一側(cè)支持板部的支持用凸條，上述支持用凸條以及另一側(cè)彈性支持板部其中之一或兩者，形成為使位于中央側(cè)的上述頂接片比位于其兩側(cè)的上述頂接片，更向上述薄板側(cè)隆起。
根據(jù)上述構(gòu)成，因?yàn)橹С钟猛箺l或者另一側(cè)支持板部，在并列配設(shè)的各頂接片當(dāng)中，中央側(cè)比兩側(cè)更向薄板側(cè)隆起的進(jìn)行支持，故可吸收蓋體的彎曲，而用均等的力量來(lái)支持各薄板。
第13發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，特征是在第9到第12發(fā)明中任一的薄板支持容器用蓋體中，上述頂接片具有傾斜角度為40°～44°的V字形溝槽。
根據(jù)上述構(gòu)成，因?yàn)楸“宓倪吘壊?，嵌合于具有傾斜角度為40°～44°的V字形溝槽，所以該V字形溝槽可抓住薄板邊緣，更可靠地支持各薄板。
第14發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，是將內(nèi)部容納有多片薄板的進(jìn)行搬運(yùn)的薄板支持容器的容器本體塞住的薄板支持容器用蓋體，其特征為備有用于對(duì)容納于上述容器本體內(nèi)薄板進(jìn)行支持的薄板抵壓件，該薄板抵壓件具有兩個(gè)基端支持部，固定于蓋體內(nèi)表面?zhèn)?；頂接片，沿上述薄板周?chē)吘壟湓O(shè)有多數(shù)個(gè)并直接頂接于該薄板上；兩個(gè)彈性支持板部，分別由上述各基端支持部所支持而能支持上述多個(gè)頂接片當(dāng)中的兩端的頂接片的外側(cè)端；連接支持板部，將上述各頂接片之間互相連接的支持各頂接片；以及，支持用構(gòu)件，防止沿該連接支持板部的上述蓋體內(nèi)表面的位移發(fā)生，并容許在上述蓋體內(nèi)表面的垂直方向上的變動(dòng)。
根據(jù)上述構(gòu)成，多片頂接片當(dāng)中，兩端的頂接片的外側(cè)端，用彈性支持板部進(jìn)行支持，各頂接片之間則用連接支持板部進(jìn)行支持，同時(shí)，用支持用構(gòu)件來(lái)支持該連接支持板部，而能使各頂接片可靠地支持薄板的周?chē)吘?。尤其，各頂接片之間，是用支持用構(gòu)件進(jìn)行支持的連接支持板部來(lái)支持，故可防止各頂接片沿蓋體內(nèi)表面位移，可靠地支持薄板。
第15發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，特征是在第14發(fā)明的薄板支持容器用蓋體中，上述支持用構(gòu)件，具備可個(gè)別支持上述各連接支持板部的支持用肋，使其不沿上述蓋體內(nèi)面發(fā)生位移。
根據(jù)上述構(gòu)成，因用支持用肋來(lái)支持連接支持板部，故可防止各頂接片沿蓋體內(nèi)面位移，可靠地支持薄板。
第16發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，特征是在第14發(fā)明的薄板支持容器用蓋體中，上述支持用構(gòu)件，具備嵌合突起，用來(lái)嵌合于設(shè)在上述連接支持板部上的嵌合孔，來(lái)防止上述連接支持板部沿上述蓋體內(nèi)表面發(fā)生位移，并容許其在上述蓋體內(nèi)面垂直方向上的變動(dòng)。
根據(jù)上述構(gòu)成，嵌合突起可嵌合于設(shè)在連接支持板部的嵌合孔內(nèi)，而對(duì)連接支持板部進(jìn)行支持，故可防止各頂接片沿蓋體內(nèi)表面位移，可靠地支持薄板。
第17發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，特征是在第14發(fā)明的薄板支持容器用蓋體中，上述連接支持板部用來(lái)支持上述頂接片的彈性力，比上述彈性支持板部用來(lái)支持上述頂接片的彈性力更為強(qiáng)力。
根據(jù)上述構(gòu)成，因連接支持板部用來(lái)支持頂接片的彈性力更強(qiáng)，故可消除薄板抵壓件的中央部和端部之間彈性力(支持力)的差異，而使抵壓薄板的力量在整體上都能平均，更可靠地支持薄板。
第18發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，是將內(nèi)部容納有多片薄板的進(jìn)行搬運(yùn)的薄板支持容器的容器本體塞住的薄板支持容器用蓋體，其特征為備有用于對(duì)容納于上述容器本體內(nèi)薄板進(jìn)行支持的薄板抵壓件，該薄板抵壓件具有直接的頂接上述薄板的支持該薄板的頂接片，該頂接片，具有與上述薄板的邊緣部嵌合的V字溝，該V字溝的傾斜角設(shè)定為20°-60°。
根據(jù)上述構(gòu)成，將上述頂接片的V字溝與薄板嵌合，該薄板的邊緣部切入V字溝。此時(shí)，V字溝的傾斜角設(shè)定為20°-60°，通過(guò)薄板的邊緣部切入V字溝的進(jìn)行支持。進(jìn)而，將頂接片從薄板脫離的時(shí)候，切入V字溝的薄板，并不與V字溝拉出的，平滑的分離。V字溝的傾斜角設(shè)定為20°以下的話，在將頂接片從薄板脫離的時(shí)候，會(huì)使得薄板從V字溝中拉出的掉出來(lái)。V字溝的傾斜角設(shè)定為60°以上的話，朝向頂接片的V字溝的薄板的缺口不夠使得產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)。將V字溝的傾斜角設(shè)定為20°-60°，能夠兼有防止朝向薄板的V字溝的缺口導(dǎo)致的旋轉(zhuǎn)，和平滑的分離的效果。
第19發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，特征是在第18發(fā)明的薄板支持容器用蓋體中，上述V字溝上，具有在將上述薄板的邊緣部嵌合的狀態(tài)下該薄板的邊緣部和該V字溝的底部之間具有間隙。
根據(jù)上述構(gòu)成，頂接片的V字溝與薄板嵌合，該薄板的邊緣部切入V字溝，此時(shí)，由于薄板的邊緣部和V字溝的底部之間具有間隙使得相互之間不發(fā)生接觸，能夠?qū)⒈“宓倪吘壊颗cV字溝的傾斜面強(qiáng)力抵壓的進(jìn)行安裝。如此，能夠通過(guò)將薄板切入V字溝的可靠地進(jìn)行支持。
第20發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，是將內(nèi)部容納有多片薄板的進(jìn)行搬運(yùn)的薄板支持容器的容器本體塞住的薄板支持容器用蓋體，其特征為備有用于對(duì)容納于上述容器本體內(nèi)薄板進(jìn)行支持的薄板抵壓件，該薄板抵壓件具有直接的頂接上述薄板的支持該薄板的頂接片，該頂接片，具有與上述薄板的邊緣部的邊緣角相同的傾斜角度的V字溝，同時(shí)，在該V字溝與上述薄板的邊緣部嵌合的狀態(tài)下該薄板的邊緣部和上述V字溝的底部之間具有間隙。
根據(jù)上述構(gòu)成，頂接片的V字溝與薄板嵌合，該薄板的邊緣部的邊緣角與V字溝的傾斜角度匹配，在大面積范圍內(nèi)進(jìn)行接觸。此時(shí)，由于薄板的邊緣部和V字溝的底部之間具有間隙使得相互之間不發(fā)生接觸，能夠讓薄板的邊緣部和V字溝的傾斜面在大面積范圍進(jìn)行接觸的狀態(tài)下強(qiáng)力抵壓的安裝。
第21發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，特征是在第20發(fā)明的薄板支持容器用蓋體中，上述頂接片的V字溝的傾斜角度設(shè)定為44°。
根據(jù)上述構(gòu)成，邊緣角度設(shè)定為44°的薄板，與設(shè)定為44°的傾斜角度的頂接片的V字溝嵌合，薄板的邊緣部和V字溝之間匹配，以大面積范圍進(jìn)行接觸的狀態(tài)下強(qiáng)力抵壓的安裝。
第22發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，是將內(nèi)部容納有多片薄板的進(jìn)行搬運(yùn)的薄板支持容器的容器本體塞住的薄板支持容器用蓋體，其特征為備有用于對(duì)容納于上述容器本體內(nèi)薄板進(jìn)行支持的薄板抵壓件，將該薄板抵壓件頂接上述薄板的支持該薄板的時(shí)候，因它的反作用力而向外側(cè)變形的中央部上，預(yù)先形成有朝向上述容器本體側(cè)的凹陷，使得能夠抵消該變形。
根據(jù)上述構(gòu)成，通過(guò)使得薄板支持容器用蓋體的中央部隆起，在用薄板抵壓件與薄板頂接的支持該薄板的時(shí)候，能夠吸收它的反作用力。在支持薄板的時(shí)候的反作用力使得薄板支持容器用蓋體的中央部向外側(cè)變形，該彎曲使得預(yù)先凹陷的中央部成為平坦的狀態(tài)而抵消，能夠以平均的力支持整個(gè)薄板。
第23發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，是將內(nèi)部容納有多片薄板的進(jìn)行搬運(yùn)的薄板支持容器的容器本體塞住的薄板支持容器用蓋體，其特征為備有用于對(duì)容納于上述容器本體內(nèi)薄板進(jìn)行支持的薄板抵壓件，將該薄板抵壓件頂接上述薄板的支持該薄板的時(shí)候，將因它的反作用力而向外側(cè)變形的周?chē)脑鰪?qiáng)用凸緣，預(yù)先形成為朝向上述容器本體側(cè)彎曲，使得能夠抵消該變形。
根據(jù)上述構(gòu)成，通過(guò)將薄板支持容器用蓋體的周?chē)脑鰪?qiáng)用凸緣進(jìn)行預(yù)先的彎曲，在用薄板抵壓件與薄板頂接的支持該薄板的時(shí)候，能夠吸收它的反作用力。支持薄板的時(shí)候的反作用力使得增強(qiáng)用凸緣向外側(cè)變形，該變形使得預(yù)先形成為彎曲的增強(qiáng)用凸緣成為直線形狀而抵消，能夠以平均的力支持整個(gè)薄板。
第24發(fā)明的薄板支持容器用蓋體，是將內(nèi)部容納有多片薄板的進(jìn)行搬運(yùn)的薄板支持容器的容器本體塞住的薄板支持容器用蓋體，其特征為在周?chē)纬傻脑鰪?qiáng)用凸緣上加入增強(qiáng)構(gòu)件的嵌入(insert)成形。
根據(jù)上述構(gòu)成，由于在薄板支持容器用蓋體的周?chē)纬傻脑鰪?qiáng)用凸緣上加入增強(qiáng)用構(gòu)件的嵌入(insert)成形，在用薄板抵壓件與薄板頂接的支持該薄板的時(shí)候，能夠抵抗它的反作用力，能夠以平均的力支持整個(gè)薄板。
發(fā)明效果如同以上所詳述，如使用本發(fā)明的薄板支持容器，可獲得以下功效(1)因?yàn)榻雍蠘?gòu)件是用杠桿原理推出，故可將生產(chǎn)線用蓋體強(qiáng)力并可靠地固定于容器本體上。
(2)因?yàn)楹?jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)可輕易拆卸分解成各構(gòu)成零件，在清洗時(shí)可卸下取出的各零件分別清洗，不但可將所有角落清洗干凈，也可迅速干燥。
(3)因?yàn)榛ハ嘟惶媾湓O(shè)支持片，薄板周?chē)吘壣嫌懈髦С制嗷ソ惶骓斀?，所以能夠可靠地進(jìn)行支持。
(4)因?yàn)椴⒘械母黜斀悠?dāng)中，位于中央側(cè)的比位于兩側(cè)的更向薄板側(cè)隆起，故可吸收蓋體的彎曲，而用均等的力量來(lái)支持各薄板。
(5)因?yàn)楦鲝椥灾С职宀?，在并列的配設(shè)的各頂接片當(dāng)中，位于中央側(cè)的比位于兩側(cè)的更向薄板側(cè)隆起，故可吸收蓋體的彎曲，而用均等的力量來(lái)支持各薄板。
(6)因?yàn)橐粋?cè)的彈性支持板部或者另一側(cè)彈性支持板部，在并列的配設(shè)的各頂接片當(dāng)中，位于中央側(cè)的比位于兩側(cè)的更向薄板側(cè)隆起，故可吸收蓋體的彎曲，而用均等的力量來(lái)支持各薄板。
(7)因?yàn)橹С钟猛箺l或者另一側(cè)彈性支持板部，在并列的配設(shè)的各頂接片當(dāng)中，位于中央側(cè)的比位于兩側(cè)的更向薄板側(cè)隆起，故可吸收蓋體的彎曲，而用均等的力量來(lái)支持各薄板。
(8)因各頂接片之間的連接支持板部，是通過(guò)支持用構(gòu)件進(jìn)行支持的，故可防止各頂接片沿蓋體內(nèi)表面位移，可靠地支持薄板。
(9)因以支持用肋來(lái)支持連接支持板部，故可防止各頂接片沿蓋體內(nèi)表面位移，可靠地支持薄板。
(10)因嵌合突起部分可嵌合于設(shè)在連接支持板部的嵌合孔內(nèi)，而對(duì)連接支持板部進(jìn)行支持，故可防止各頂接片沿蓋體內(nèi)表面位移，可靠地支持薄板。
(11)因連接支持板部用來(lái)支持頂接片的彈性力更強(qiáng)，故可消除薄板抵壓件的中央部和端部之間的支持力的差異，而使抵壓薄板的力量在整體上都能平均，更確實(shí)的支持薄板。
(12)由于頂接片的V字溝的傾斜角設(shè)定為20°-60°，薄板的邊緣部切入V字溝的進(jìn)行支持，防止了薄板的旋轉(zhuǎn)。進(jìn)而，將頂接片從薄板脫離的時(shí)候，也能夠?qū)⑶腥隫字溝的薄板，不從V字溝中拉出的，平滑的分離。如此，能夠可靠地支持薄板，同時(shí)，容易的卸下蓋體。
(13)由于薄板的邊緣部和頂接片的V字溝的底部之間具有間隙，V字溝與薄板嵌合的時(shí)候，薄板的邊緣部和V字溝的底部相互不發(fā)生接觸，使得薄板的邊緣部和V字溝的傾斜面強(qiáng)力抵壓的安裝。如此，將薄板切入V字溝的可靠地支持。
(14)由于頂接片，備有具有與薄板的邊緣角相同的傾斜角度的V字溝，同時(shí)，在該V字溝與上述薄板的邊緣部嵌合的狀態(tài)下該薄板的邊緣部和上述V字溝的底部之間具有間隙，使得薄板的邊緣部的邊緣角和V字溝的傾斜角度相匹配的以較大面積范圍的進(jìn)行接觸，根據(jù)薄板的邊緣部和V字溝的底部之間的間隙，將薄板的邊緣部和V字溝強(qiáng)力抵壓的安裝。換句話說(shuō)，即使頂接片沒(méi)有強(qiáng)力抵壓的安裝在薄板上，也能夠?qū)⒈“宓倪吘壊繌?qiáng)力抵壓的安裝在V字溝的傾斜面上。其結(jié)果是，即使薄板抵壓件用不怎么強(qiáng)的抵壓安裝薄板，也能夠通過(guò)該薄板抵壓件可靠地支持該薄板，防止振動(dòng)等導(dǎo)致的薄板的旋轉(zhuǎn)。如此，不必增強(qiáng)蓋體的強(qiáng)度，即使用不怎么強(qiáng)的力將蓋體安裝在容器本體上也能夠可靠地支持薄板。
(15)由于頂接片的V字溝的傾斜角度設(shè)定為44°，該V字溝，與邊緣角設(shè)定為44°的薄板匹配，以較大的面積范圍進(jìn)行接觸的強(qiáng)力抵壓的安裝。其結(jié)果是，即使薄板抵壓件用不怎么強(qiáng)的抵壓安裝薄板，也能通過(guò)該薄板抵壓件可靠地支持薄板，防止振動(dòng)等導(dǎo)致的薄板的旋轉(zhuǎn)。如此，即使蓋體用不怎么強(qiáng)的抵壓安裝在容器本體上，也能夠可靠地支持薄板，防止振動(dòng)等導(dǎo)致的薄板的旋轉(zhuǎn)。如此，不必增強(qiáng)蓋體的強(qiáng)度，即使用不怎么強(qiáng)的力將蓋體安裝在容器本體上也能夠可靠地支持薄板。
(16)由于薄板支持容器用蓋體的中央部凹陷，通過(guò)上述凹陷抵消了在薄板抵壓件與薄板頂接的支持該薄板的時(shí)候的反作用力導(dǎo)致的薄板支持容器用蓋體的中央部的變形，能夠用均勻的力支持整個(gè)薄板，所以能夠防止振動(dòng)等導(dǎo)致的薄板的旋轉(zhuǎn)。
在薄板支持容器用蓋體的周?chē)脑鰪?qiáng)用凸緣向上述容器本體側(cè)變形的場(chǎng)合也是，通過(guò)向上述容器本體側(cè)的變形抵消了在薄板抵壓件與薄板頂接的支持該薄板的時(shí)候的反作用力導(dǎo)致的增強(qiáng)用凸緣的彎曲，能夠用均勻的力支持整個(gè)薄板，所以能夠防止振動(dòng)等導(dǎo)致的薄板的旋轉(zhuǎn)。
(17)由于本體部的周?chē)脑鰪?qiáng)用凸緣上加入了增強(qiáng)用構(gòu)件的形成嵌入(insert)的進(jìn)行增強(qiáng)，在薄板抵壓件支持薄板的時(shí)候，抵抗它的反作用力的用均勻的力支持整個(gè)薄板，所以能夠防止振動(dòng)等導(dǎo)致的薄板的旋轉(zhuǎn)。


圖1為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例的生產(chǎn)線用蓋體的部分立體圖。
圖2為顯示先前技術(shù)的薄板支持容器用蓋體的側(cè)面剖面圖。
圖3為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例的薄板支持容器的立體圖。
圖4為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例的薄板支持容器在取下蓋體時(shí)的立體圖。
圖5為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例的薄板支持容器的蓋體支承部分的立體圖。
圖6為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例的薄板支持容器的蓋體承受部的部分剖面圖。
圖7為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例的生產(chǎn)線用蓋體的上面立體圖。
圖8為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例的生產(chǎn)線用蓋體的下面立體圖。
圖9為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例的接合構(gòu)件的上面立體圖。
圖10為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例的接合構(gòu)件的下面立體圖。
圖11為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例的接合構(gòu)件的側(cè)面剖面圖。
圖12為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例的推出構(gòu)件的上面立體圖。
圖13為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例的推出構(gòu)件的下面立體圖。
圖14為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例的推出構(gòu)件的俯視圖。
圖15為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例的推出構(gòu)件的內(nèi)面圖。
圖16為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例的保持蓋的上面立體圖。
圖17為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例的保持蓋的下面立體圖。
圖18為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例的蓋體壓件的上面立體圖。
圖19為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例的蓋體壓件的下面立體圖。
圖20為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例的晶片抵壓件的側(cè)面圖。
圖21為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例的晶片抵壓件的立體圖。
圖22為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例的晶片抵壓件的立體圖。
圖23為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例的蓋體固定件的立體圖。
圖24(A)～(D)為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例的簡(jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)動(dòng)作的模式圖。
圖25為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例第1變形例的晶片抵壓件的側(cè)面圖。
圖26為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例第1變形例的晶片抵壓件的立體圖。
圖27為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例第1變形例的晶片抵壓件的立體圖。
圖28為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例第2變形例的晶片抵壓件的立體圖。
圖29為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例第2變形例的晶片抵壓件的前視圖。
圖30為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例第3變形例的晶片抵壓件的立體圖。
圖31為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例第3變形例的晶片抵壓件的重要部位剖面圖。
圖32為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例第4變形例的晶片抵壓件的立體圖。
圖33為顯示本發(fā)明第1實(shí)施例第4變形例的晶片抵壓件的前視圖。
圖34為顯示本發(fā)明第2實(shí)施例的晶片抵壓件的重要部位立體圖。
圖35為顯示本發(fā)明第2實(shí)施例的包含晶片抵壓件的蓋體內(nèi)面立體圖。
圖36為顯示本發(fā)明第2實(shí)施例的包含晶片抵壓件的蓋體內(nèi)面的部分立體圖。
圖37為顯示本發(fā)明第2實(shí)施例的卸下晶片抵壓件后的蓋體內(nèi)面狀態(tài)的重要部分立體圖。
圖38為顯示本發(fā)明第2實(shí)施例的卸下晶片抵壓件后的蓋體內(nèi)面狀態(tài)的部分立體圖。
圖39為顯示本發(fā)明第2實(shí)施例的支持用肋剖面狀態(tài)的立體圖。
圖40為顯示本發(fā)明第2實(shí)施例的晶片抵壓件的重要部分?jǐn)U大圖。
圖41為顯示本發(fā)明第2實(shí)施例的晶片抵壓件的頂接片的重要部分?jǐn)U大圖。
圖42為顯示本發(fā)明第2實(shí)施例的晶片抵壓件的頂接片的重要部分?jǐn)U大圖。
圖43為顯示本發(fā)明第2實(shí)施例的晶片抵壓件的頂接片的重要部分剖面圖。
圖44為顯示本發(fā)明第2實(shí)施例變形例的重要部分立體圖。
圖45為顯示本發(fā)明第2實(shí)施例變形例的重要部分剖面圖。
(附圖標(biāo)記說(shuō)明)1 蓋體2 本體3 凸輪構(gòu)件4 閂鎖桿5 支點(diǎn)6 凸輪部分7 連結(jié)開(kāi)口部8 S字形凸輪隨動(dòng)部分11 薄板支持容器12 容器本體12A、12B、12C、12D側(cè)壁部12E底板部12F開(kāi)口13 薄板支持部
14 運(yùn)送用蓋體15 生產(chǎn)線用蓋體16 頂端凸緣17 搬運(yùn)用把手21 蓋體承接部21A垂直板部21B水平板部21C密封溝槽22 舌簧片23 第一被嵌合部24 第二被嵌合部26 運(yùn)輸用簡(jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)30 本體部31 舌簧片承受部32 簡(jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)33 凹部34 開(kāi)口36 旋轉(zhuǎn)支持軸37 擋止件37A承受部38 接合爪39 基端下側(cè)凸輪39A斜面40 前端側(cè)凸輪40A斜面40B嵌合凹部42 接合構(gòu)件43 推出構(gòu)件44 凸輪機(jī)構(gòu)45 保持蓋46 蓋板壓件51 連結(jié)軸52 基端側(cè)滑動(dòng)接面53 基端上側(cè)凸輪53A斜面54 上側(cè)溝部
55 支點(diǎn)部55A前端側(cè)滑動(dòng)接面56 前端嵌合部57 基端側(cè)板部58 前端側(cè)板部61 頂板部62 鍵溝63 旋轉(zhuǎn)筒部64 長(zhǎng)孔部64A一端部64B另一端部64C壁面65 系合片65A突起部66 缺口69 頂壓凸輪的突起71 推出構(gòu)件保持部72 接合構(gòu)件保持部74 周邊板75 頂板76 鍵孔78 側(cè)板78A寬幅部78B窄幅部79 頂板80 支持用突起81 縫隙82 隆起部82A中央隆起片82B左右接合片85 側(cè)板86 頂板86A十字狀缺口87 上側(cè)支持板片88 下側(cè)支持板片88A楔子
91 晶片抵壓件92 基端支持部93 彈性支持板部93A第一支持板片93B第二支持板片94 頂接片94A第一頂接片94B第二頂接片96 角塊96A傾斜面96B頂接面97 支持爪100蓋體固定件101支持板部102鉤部103嵌合突起110基端支持部111彈性支持板部112頂接片112A 傾斜面112B 頂接面113支持爪115角塊115A 頂接面120半導(dǎo)體晶片121晶片抵壓件122基端支持部123彈性支持板部124頂接片124A V字型嵌合溝125連接支持板部125A、125B縱向板部125C 橫向板部126支持用肋127蓋體128鉤狀支持部
129、130支持壁部131支持用凸條133支持板片134分隔板片141崁合孔142崁合突起S 間隙具體實(shí)施方式
以下，基于

本發(fā)明的實(shí)施例。本發(fā)明的薄板支持容器，是使用在容納半導(dǎo)體晶片、記憶磁盤(pán)、液晶玻璃基板等的薄板的保管、運(yùn)送、生產(chǎn)線等過(guò)程中的容器。此外，在此是以容納半導(dǎo)體晶片的薄板支持容器為例進(jìn)行說(shuō)明。塞住薄板支持容器的蓋體，分為運(yùn)送用蓋體及生產(chǎn)線上用蓋體而分開(kāi)使用。
第1實(shí)施例本實(shí)施例的薄板支持容器11，如圖3～8所示，是由內(nèi)部可容納多片半導(dǎo)體晶片(并未圖示)的容器本體12、分別設(shè)在該容器本體12內(nèi)相對(duì)的兩側(cè)壁上用來(lái)從兩側(cè)支持容納于內(nèi)部的半導(dǎo)體晶片的2個(gè)薄板支持部13、塞住容器本體12的運(yùn)送用蓋體14和生產(chǎn)線用蓋體15、以工廠內(nèi)搬運(yùn)裝置(并未圖示)的腕部所握持住的頂端凸緣16、以及作業(yè)員用手搬運(yùn)薄板支持容器11時(shí)所抓握的搬運(yùn)用手把17所構(gòu)成。
容器本體12如圖3、4所示，整體是大致形成立方體。此容器本體12在縱向放置的狀態(tài)(圖3、4所示之狀態(tài))，是由形成周?chē)拿姹诘?片側(cè)壁部12A、12B、12C、12D和底板部12E所構(gòu)成，其上部設(shè)有開(kāi)12F。此容器本體12在半導(dǎo)體晶片生產(chǎn)線等上和晶片搬運(yùn)用機(jī)器人(并未圖示)相對(duì)而進(jìn)行安裝時(shí)是呈橫向放置。此橫向放置狀態(tài)下作為底部的側(cè)壁部12A的外側(cè)，設(shè)有用來(lái)為薄板支持容器11定位的裝置(并未圖示)。在橫向放置狀態(tài)下作為頂板部的側(cè)壁部12A的外側(cè)上安裝有可自由裝卸的頂端凸緣16。在橫向放置狀態(tài)下作為橫向壁部的側(cè)壁部12C、12D的外側(cè)上則安裝有可自由裝卸的握持搬運(yùn)用手把17。
容器本體12的各側(cè)壁部12A、12B、12C、12D的上端部，如圖5和圖6所示，設(shè)有用來(lái)嵌合蓋體4的蓋體承接部21。此蓋體承接部21是將容器本體12的上端部擴(kuò)張到蓋體4的尺寸大小而形成。如此，蓋體4即可嵌合于蓋體承接部21的垂直板部21A的內(nèi)側(cè)，頂接于水平板部21B，而可安裝在蓋體承接部21上。此外，水平板部21B上也于其整個(gè)周?chē)吘壣显O(shè)有一整圈密封溝槽21C，安裝于運(yùn)送用蓋體14的下側(cè)面上的舌簧片22則嵌合的使薄板支持容器11的內(nèi)部密封。蓋體承接部21的四個(gè)角落的垂直板部21A的內(nèi)側(cè)面設(shè)有第一被嵌合部23，用來(lái)將后述運(yùn)輸用簡(jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)26的蓋體接合爪(并未圖示)嵌合的將運(yùn)送用蓋體14固定于容器本體12側(cè)上。該第一被嵌合部23，是使垂直板部21A凹陷成四角形狀而形成，使蓋體接合爪可以嵌合在其內(nèi)側(cè)上表面。
此外，在各第一被嵌合部23附近設(shè)第二被嵌合部24。此第二被嵌合部24是在生產(chǎn)線上所使用。第二被嵌合部24嵌合有生產(chǎn)線用蓋體15的簡(jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)32的接合構(gòu)件42，將生產(chǎn)線用蓋體15固定于容器本體12側(cè)。
運(yùn)送用蓋體14是公知的蓋體。此運(yùn)送用蓋體14呈盤(pán)狀，使其中央部呈圓桶狀向上拱起，以避免接觸到容納于內(nèi)部的半導(dǎo)體晶片的上部。
運(yùn)送用蓋體14的四角，如圖3、4所示，設(shè)有運(yùn)輸用簡(jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)26，可將運(yùn)送用蓋體14自由裝卸的固定在容器本體12上。此運(yùn)輸用簡(jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)26具備有蓋體接合爪(并未圖示)，呈由運(yùn)送用蓋體14周邊突起的狀態(tài)。此蓋體接合爪形成為能夠嵌合于第一被嵌合部23上。
生產(chǎn)線用蓋體15，是可將運(yùn)送來(lái)的薄板支持容器11的容器本體12原封不動(dòng)直接使用在工廠內(nèi)的生產(chǎn)線上的蓋體。此生產(chǎn)線用蓋體15是和上述薄板支持容器11分別單獨(dú)設(shè)置的制品而放置在半導(dǎo)體制造工廠等地。生產(chǎn)線用蓋體15如圖7、8所示，由本體部30、蓋板(并未圖示)和簡(jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)32所構(gòu)成。
本體部30整體為薄壁的大致形成四角形狀同時(shí)它的周?chē)纬稍鰪?qiáng)用凸緣，在容器本體12的蓋體承接部21裝上的狀態(tài)下并不突出于外部。本體部30下部周?chē)惭b有舌簧片承受部31。此舌簧片承受部31上設(shè)有(并未圖示)的舌簧片，在本體部30安裝在蓋體承接部21上的狀態(tài)下，嵌合于密封溝槽21C而使得容器本體12內(nèi)能被密封。此外，舌簧片和運(yùn)送用蓋體14的舌簧片22同樣可配合密封溝槽21C的形狀而適當(dāng)形成。
生產(chǎn)線用蓋體15的本體部30當(dāng)中，較長(zhǎng)方向的兩側(cè)(圖7中為左上、右下方向兩側(cè))的端部上，分別設(shè)置有可安裝簡(jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)32的凹部33。此凹部33是將本體部30端部大致呈長(zhǎng)方形凹陷而形成的。凹部33的長(zhǎng)方向兩端部(圖7中右上、左下方向兩端部)上，設(shè)有可讓后述的接合構(gòu)件42的前端嵌合部56進(jìn)出的開(kāi)口34。此開(kāi)口34所設(shè)置的位置，是在本體部30嵌合于蓋體承接部21的狀態(tài)下，可和蓋體承接部21的第二被嵌合部24匹配的位置。凹部33底部上分別安裝有旋轉(zhuǎn)支持軸36、擋止件37、接合爪38、基端下側(cè)凸輪39、前端側(cè)凸輪40。凹部33安裝有可自由裝卸的蓋板。此蓋板在清洗設(shè)于凹部33內(nèi)的簡(jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)32時(shí)可以卸下。
旋轉(zhuǎn)支持軸36是用來(lái)支持如后所述的推出構(gòu)件43而使其能旋轉(zhuǎn)的構(gòu)件。旋轉(zhuǎn)支持軸36是設(shè)為由底部隆起成圓柱狀。此旋轉(zhuǎn)支持軸36，嵌合于推出構(gòu)件43的旋轉(zhuǎn)筒部63，支持住推出構(gòu)件43而使其能夠旋轉(zhuǎn)。擋止件37是將推出構(gòu)件43以保持在所定角度旋轉(zhuǎn)的狀態(tài)下進(jìn)行支持的構(gòu)件。此擋止件37在旋轉(zhuǎn)支持軸36周?chē)膬商?，由底部上升的板狀?gòu)件所構(gòu)成。使此板狀構(gòu)件彎曲形成承受部37A。將推出構(gòu)件43的系合片65的突起部65A嵌合于此承受部37A，即可以用預(yù)定的角度支持推出構(gòu)件43。
接合爪38，是用于將后述的蓋板壓件46固定于凹部33底部的構(gòu)件。因?yàn)樯w板壓件46分別安裝在凹部33的長(zhǎng)方向兩側(cè)上，配合于此接合爪38也在凹部33較長(zhǎng)方向兩側(cè)上分別各安裝6個(gè)。接合爪38是以L字型的構(gòu)件構(gòu)成，能讓蓋板壓件46的下側(cè)支持板片88嵌合。
基端下側(cè)凸輪39和前端側(cè)凸輪40是構(gòu)成后述的凸輪機(jī)構(gòu)44的構(gòu)件。此外，基端下側(cè)凸輪39和后述的基端上側(cè)凸輪53，構(gòu)成了在接合構(gòu)件42推出時(shí)，將接合構(gòu)件42的基端側(cè)向下推壓的基端側(cè)凸輪。
基端下側(cè)凸輪39，如圖1以及圖7所示，是伴隨接合構(gòu)件42的推出，而用來(lái)將其基端側(cè)推向(推下)另外一方(圖1的下方)的構(gòu)件。此基端下側(cè)凸輪39分別設(shè)在旋轉(zhuǎn)支持軸36兩側(cè)?；讼聜?cè)凸輪39的側(cè)面剖面形狀大致成三角形，具備有使得接合構(gòu)件42的基端側(cè)能上下的斜面39A。此斜面39A精加工成鏡面，以減少和接合構(gòu)件42的基端側(cè)滑動(dòng)接面52之間的摩擦阻力。
前端側(cè)凸輪40，是伴隨接合構(gòu)件42的推出，而用來(lái)將其前端嵌合部56頂向(往上推)一側(cè)(圖1的上方)的構(gòu)件。此前端側(cè)凸輪40是在凹部33的長(zhǎng)方向兩端部，以面對(duì)開(kāi)口34的狀態(tài)而設(shè)置。前端側(cè)凸輪40的側(cè)面剖面形狀大致成三角形，具備有能將接合構(gòu)件42的前端側(cè)向上方舉上的斜面40A。此斜面40A精加工成鏡面，以減少其和接合構(gòu)件42的支點(diǎn)部55的前端側(cè)滑動(dòng)接面55A之間的摩擦阻力。斜面40A上端部設(shè)置有嵌合凹部40B。此嵌合凹部40B是將接合構(gòu)件42的支點(diǎn)部55嵌合的部分。
凹部33內(nèi)設(shè)有簡(jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)32。此簡(jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)32是使得生產(chǎn)線用蓋體15能夠輕易裝卸于容器本體12的裝置。簡(jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)32，如圖1所示，由接合構(gòu)件42、推出構(gòu)件43、凸輪機(jī)構(gòu)44、保持蓋45、以及蓋板壓件46所構(gòu)成。
接合構(gòu)件42，是用于在生產(chǎn)線用蓋體15裝在容器本體12的蓋體承接部21上的狀態(tài)下，從本體部30的開(kāi)口34伸出，嵌合于蓋體承接部21的第二被嵌合部24的構(gòu)件。此接合構(gòu)件42，如圖1、圖9～圖11所示，由連結(jié)軸51、基端側(cè)滑動(dòng)接面52、基端上側(cè)凸輪53、上側(cè)溝部54、支點(diǎn)部55、前端嵌合部56、基端側(cè)板部57、以及前端側(cè)板部58所構(gòu)成。
連結(jié)軸51，嵌合于后述的推出構(gòu)件43的長(zhǎng)孔部64，是用來(lái)將推出構(gòu)件43和接合構(gòu)件42互相連結(jié)的構(gòu)件。連結(jié)軸51形成為圓棍狀，在接合構(gòu)件42的基端部上朝向上側(cè)而設(shè)。
基端側(cè)滑動(dòng)接面52，可滑動(dòng)的接于基端下側(cè)凸輪39的斜面39A，是用來(lái)使接合構(gòu)件42的基端部上下運(yùn)動(dòng)的部分。此基端側(cè)滑動(dòng)接面52，是將接合構(gòu)件42的基端部下側(cè)斜向切削而形成。基端側(cè)滑動(dòng)接面52，精加工成鏡面，以減少其和基端下側(cè)凸輪39的斜面39A之間的摩擦阻力。在將此基端側(cè)滑動(dòng)接面52可滑動(dòng)的接于基端下側(cè)凸輪39的斜面39A的狀態(tài)下，通過(guò)推出接合構(gòu)件42的方法，將接合構(gòu)件42的基端部向下方抵壓，通過(guò)將接合構(gòu)件42收進(jìn)的方法，將接合構(gòu)件42的基端部向上方頂起。
基端上側(cè)凸輪53，是和基端下側(cè)凸輪39一同，使接合構(gòu)件42的基端部上下動(dòng)作的部分。此基端上側(cè)凸輪53，是在杠桿原理中的著力點(diǎn)的部分。此外，連結(jié)軸51并非作為杠桿原理的著力點(diǎn)，而僅僅是在接合構(gòu)件42出入動(dòng)作時(shí)接受長(zhǎng)方向力量的部分。
基端上側(cè)凸輪53，設(shè)置于接合構(gòu)件42的基端部附近朝向上側(cè)處?；松蟼?cè)凸輪53的側(cè)面剖面形狀大致成三角形狀，具備可使接合構(gòu)件42的基端側(cè)上下的斜面53A而構(gòu)成。此基端上側(cè)凸輪53的斜面53A，和基端下側(cè)凸輪39的斜面39A同樣的，精加工成鏡面，以便和后述的保持蓋45側(cè)的頂壓凸輪的突起69滑接。基端上側(cè)凸輪53的斜面53A，設(shè)定為和基端下側(cè)凸輪39的斜面39A大致平行。如此，在頂壓凸輪的突起69和基端上側(cè)凸輪53的斜面53A滑接的狀態(tài)下，將接合構(gòu)件推出時(shí)，用頂壓凸輪的突起69頂壓基端上側(cè)凸輪53的使得接合構(gòu)件42的基端部向下方壓下。此外，當(dāng)接合構(gòu)件42被收入時(shí)，基端側(cè)滑動(dòng)接面52被抵壓在基端下側(cè)凸輪39的斜面39A上，而使接合構(gòu)件42的基端部被向上方頂起。
支點(diǎn)部55，是支持接合構(gòu)件42的前端部而成為旋轉(zhuǎn)中心的部分。此支點(diǎn)部55，是作為杠桿原理的支點(diǎn)部分。支點(diǎn)部55，在接合構(gòu)件42的前端附近下側(cè)，形成大致成直角的尖角。此尖角的支點(diǎn)部55的頂點(diǎn)部分上形成有前端側(cè)滑動(dòng)接面55A。此前端側(cè)滑動(dòng)接面55A，是滑接于前端側(cè)凸輪40的斜面40A，用來(lái)使接合構(gòu)件42的前端嵌合部56上下動(dòng)作的部分。前端側(cè)滑動(dòng)接面55A，是將支點(diǎn)部55的頂點(diǎn)部分斜向切削形成的。前端側(cè)滑動(dòng)接面55A，精加工成鏡面，以減少其和前端側(cè)凸輪40的斜面40A之間的摩擦阻力。此前端側(cè)滑動(dòng)接面55A滑接于前端側(cè)凸輪40的斜面40A的狀態(tài)下，利用接合構(gòu)件42的推出動(dòng)作，將接合構(gòu)件42的前端嵌合部56抵壓向上方，而利用接合構(gòu)件42收回的動(dòng)作，則將接合構(gòu)件42前端部頂向下方頂壓。
并且，支點(diǎn)部55，嵌合于前端側(cè)凸輪40的嵌合凹部40B，即可以此嵌合凹部40B為中心而旋轉(zhuǎn)。
前端嵌合部56，從凹部33的開(kāi)口34向外部伸出，是直接嵌合于蓋體承接部21的第二被嵌合部24的部分。此前端嵌合部56，是杠桿原理中的作用點(diǎn)。為了使前端嵌合部56在嵌合于蓋體承接部21的第二被嵌合部24狀態(tài)下，能夠充分發(fā)揮能力，故設(shè)在距離支點(diǎn)部55非常近的位置。
基端側(cè)板部57和前端側(cè)板部58，是支持接合構(gòu)件42而用于容許其來(lái)回運(yùn)動(dòng)的構(gòu)件。
推出構(gòu)件43，是連結(jié)于接合構(gòu)件42而用于使接合構(gòu)件42伸出收入動(dòng)作的構(gòu)件。此推出構(gòu)件43，可旋轉(zhuǎn)的安裝于凹部33的旋轉(zhuǎn)支持軸36上。推出構(gòu)件43，如圖1、7、12～15所示，由頂板部61、鍵溝62、旋轉(zhuǎn)筒部63、長(zhǎng)孔部64、以及系合片65所構(gòu)成。
頂板部61大致形成為圓盤(pán)形。在和此頂板部61相對(duì)的兩處所，開(kāi)設(shè)有用來(lái)設(shè)置系合片65的缺口66。
鍵溝62，是在用蓋體裝卸裝置(并未圖標(biāo))，自動(dòng)的裝卸生產(chǎn)線用蓋體15之際，用來(lái)嵌合裝置的閂鎖鍵的構(gòu)槽。此鍵溝62，設(shè)于頂板部61的上側(cè)面的中心。
旋轉(zhuǎn)筒部63，是用于將推出構(gòu)件43可旋轉(zhuǎn)的安裝于凹部33的旋轉(zhuǎn)支持軸36上的構(gòu)件。此旋轉(zhuǎn)筒部63，設(shè)于頂板部61下側(cè)面的中央部。并且使鍵溝62位于此旋轉(zhuǎn)筒部63的中心。
長(zhǎng)孔部64，是用來(lái)將推出構(gòu)件43的轉(zhuǎn)動(dòng)，變換成接合構(gòu)件42的出入動(dòng)作的部分。長(zhǎng)孔部64分別設(shè)置在和頂板部61相對(duì)的兩處所。此長(zhǎng)孔部64的一端部64A在頂板部61的中心附近，另一端部64B則在比較遠(yuǎn)處，構(gòu)成螺旋的一部分。接合構(gòu)件42的連結(jié)軸51在和長(zhǎng)孔部64的一端部64A嵌合時(shí)，接合構(gòu)件42被拉進(jìn)，而在另一端部64B嵌合時(shí)，接合構(gòu)件42則伸出。
長(zhǎng)孔部64當(dāng)中在頂板部61的下側(cè)面上，設(shè)有平緩傾斜的壁面64C。此壁面64C，在長(zhǎng)孔部64的一端部64A和頂板部61的下側(cè)面同樣高度上，設(shè)定為越接近另一端部就會(huì)越高。這是因?yàn)橐獙⒔雍蠘?gòu)件42和推出構(gòu)件43可靠地連結(jié)的原因。換句話說(shuō)，接合構(gòu)件42的連結(jié)軸51在長(zhǎng)孔部64的另一端部64B嵌合而伸出的狀態(tài)下，因?yàn)榻雍蠘?gòu)件42的基端部被向下方推壓，即使在此基端部被壓下的狀態(tài)下，連結(jié)軸51也能可靠地嵌合于長(zhǎng)孔部64。
系合片65，是支持推出構(gòu)件43使其只能旋轉(zhuǎn)預(yù)定角度的構(gòu)件。系合片65，分別設(shè)在和頂板部61周?chē)吘壪鄬?duì)的兩處所。系合片65，由從頂板部61開(kāi)始沿著周?chē)吘壯由斓陌鍫顦?gòu)件所構(gòu)成。系合片65的前端部，設(shè)有嵌合于擋止件37的承受部37A的突起部65A。并且，系合片65具有彈性，彈性的支持突起部65A。此突起部65A嵌合于擋止件37的承受部37A，即可在推出構(gòu)件43旋轉(zhuǎn)所定角度時(shí)(使得接合構(gòu)件42伸出而將生產(chǎn)線用蓋體15固定于容器本體12上的角度)進(jìn)行支持。
凸輪機(jī)構(gòu)44，是用推出構(gòu)件43將伸出的接合構(gòu)件42的前端嵌合部56嵌合于蓋體承接部21的第二被嵌合部24的狀態(tài)下，頂接于此第二被嵌合部24的上表面的，將生產(chǎn)線用蓋體15壓下的固定于容器本體12側(cè)的構(gòu)件。此凸輪機(jī)構(gòu)44，可將用推出構(gòu)件43伸出的接合構(gòu)件42的前端嵌合部56向上壓的頂接于第二被嵌合部24上表面的同時(shí)，根據(jù)將基端部向下頂壓的方法中的杠桿原理將生產(chǎn)線用蓋體15壓下并固定于容器本體12側(cè)。凸輪機(jī)構(gòu)44，由基端下側(cè)凸輪39、基端上側(cè)凸輪53、基端側(cè)滑動(dòng)接面52、頂壓凸輪的突起69、前端側(cè)凸輪40以及前端側(cè)滑動(dòng)接面55A所構(gòu)成。附帶說(shuō)明，基端下側(cè)凸輪39、基端上側(cè)凸輪53、基端側(cè)滑動(dòng)接面52、前端側(cè)凸輪40以及前端側(cè)滑動(dòng)接面55A都和上述相同。
頂壓凸輪的突起69，頂接于基端上側(cè)凸輪53的斜面53A，是用來(lái)隨著接合構(gòu)件42的推出而將接合構(gòu)件42的基端部壓下的構(gòu)件。此頂壓凸輪的突起69，設(shè)在保持蓋45的下側(cè)面。具體而言，是在將接合構(gòu)件42的基端側(cè)滑動(dòng)接面52滑接于基端下側(cè)凸輪39的斜面39A的狀態(tài)下，設(shè)置為使得頂壓凸輪的突起69和基端上側(cè)凸輪53的斜面53A之間毫無(wú)間隙的滑接的位置上。
保持蓋45，是用來(lái)保持接合構(gòu)件42和推出構(gòu)件43的構(gòu)件。保持蓋45，如圖16、17所示，由推出構(gòu)件保持部71和接合構(gòu)件保持部72所構(gòu)成。
推出構(gòu)件保持部71，用于支持推出構(gòu)件43同時(shí)容許其轉(zhuǎn)動(dòng)的構(gòu)件。此推出構(gòu)件保持部71，由周邊板74和頂板75所構(gòu)成。周邊板74覆蓋推出構(gòu)件43的周邊的形成。頂板75則覆蓋推出構(gòu)件43的上側(cè)的形成。頂板75的中央部，設(shè)有和推出構(gòu)件43的鍵溝62同樣大小的鍵孔76。此鍵孔76，在頂板75覆蓋住推出構(gòu)件43的狀態(tài)下，和推出構(gòu)件43的鍵溝62匹配。如此，接合構(gòu)件42在收進(jìn)的狀態(tài)下，鍵溝62和鍵孔76即可匹配。
接合構(gòu)件保持部72，是在容許接合構(gòu)件42的那種來(lái)回運(yùn)動(dòng)的狀態(tài)下用來(lái)支持接合構(gòu)件42的構(gòu)件。此接合構(gòu)件保持部72，分別設(shè)在推出構(gòu)件保持部71的左右兩側(cè)。各接合構(gòu)件保持部72，由側(cè)板78和頂板79所構(gòu)成。
側(cè)板78，是為從左右支持接合構(gòu)件42基端附近用的構(gòu)件。側(cè)板78由寬幅部78A和窄幅部78B所構(gòu)成。寬幅部78A是接合構(gòu)件42的基端側(cè)板部57插入的部分。窄幅部78B則為插入接合構(gòu)件42的基端側(cè)板部57和前端側(cè)板部58之間的部分。
頂板79，用來(lái)從上側(cè)支持接合構(gòu)件42的構(gòu)件。此頂板的下側(cè)面的基端部，設(shè)有上述的頂壓凸輪的突起69。頂板79的下側(cè)面的前端，設(shè)有嵌合于接合構(gòu)件42的上側(cè)溝部54的支持用突起80。在頂板的前端側(cè)設(shè)有縫隙81，此縫隙81的前端設(shè)有隆起部82。此隆起部82，由中央隆起片82A和左右接合片82B所構(gòu)成，而由縫隙81彈性的進(jìn)行支持。此隆起部82的中央隆起片82A和左右接合片82B，通過(guò)嵌合于蓋板壓件46的十字狀缺口86A的方式，在保持蓋45和蓋板壓件46之間定位。
蓋板壓件46，如圖1、18、19所示，是用來(lái)將保持蓋45固定于生產(chǎn)線用蓋體15的凹部33上的構(gòu)件。具體而言，兩個(gè)蓋板壓件46分別支持住接合構(gòu)件保持部72，而將保持蓋45固定于凹部33上。此蓋板壓件46，由側(cè)板85、頂板86、上側(cè)支持板片87和下側(cè)支持板片88所構(gòu)成。
各側(cè)板85分別覆蓋住接合構(gòu)件42左右兩邊，容許接合構(gòu)件42的來(lái)回動(dòng)作。頂板86在一體地支持各側(cè)板85的同時(shí)，也覆蓋接合構(gòu)件42的上側(cè)，容許接合構(gòu)件42的來(lái)回動(dòng)作。上側(cè)支持板片87，是從下側(cè)支持住保持蓋45的接合構(gòu)件保持部72的頂板79的構(gòu)件。接合構(gòu)件保持部72的頂板79，是以蓋板壓件46的頂板86和上側(cè)支持板片87從上下分別支持住。下側(cè)支持板片88，是用來(lái)將蓋板壓件46固定于凹部33的部分。下側(cè)支持板片88在各側(cè)板85的下端部分別設(shè)有三個(gè)。各下側(cè)支持板片88，通過(guò)嵌合于設(shè)在凹部33上的接合爪38的方式，將蓋板壓件46固定于凹部33上。各下側(cè)支持板片88上都分別設(shè)有楔子88A，以使接合爪38更容易嵌合。
運(yùn)送用蓋體14和生產(chǎn)線用蓋體15的下側(cè)面，如圖20、21、22所示，設(shè)有晶片抵壓件91作為薄板固定用。此晶片抵壓件91，是用來(lái)從上側(cè)支持住容納于容器本體12內(nèi)的多片半導(dǎo)體晶片的構(gòu)件。晶片抵壓件91由基端支持部92、彈性支持板部93以及頂接片94所構(gòu)成。
基端支持部92，是用于支持彈性支持板部93和頂接片94的構(gòu)件?；酥С植?2橫跨晶片抵壓件91的全部長(zhǎng)度而形成為四角棒狀，固定于蓋體的下側(cè)面。
彈性支持板部93，是用于彈性的支持頂接片94的構(gòu)件。彈性支持板部93并列設(shè)置的數(shù)目和容納于容器本體12內(nèi)的半導(dǎo)體晶片片數(shù)相當(dāng)。各彈性支持板部93，在橫列排列成一列的狀態(tài)下分別固定在基端支持部92上。彈性支持板部93，由側(cè)面形狀彎曲成S字型的第一支持板片93A、以及彎曲成U字型的第二支持板片93B所構(gòu)成。第一支持板片93A的基端部固定于基端支持部92上，前端部則固定在第一頂接片94A上。第二支持板片93B，它的基端部通過(guò)第一頂接片94A而和第一支持板片93A連結(jié)成一體，前端部則固定有第二頂接片94B。
頂接片94，是用于直接支持各半導(dǎo)體晶片的構(gòu)件。各頂接片94，由第一頂接片94A和第二頂接片94B所構(gòu)成，從兩處所分別支持住半導(dǎo)體晶片。各頂接片94由兩個(gè)角塊96和作為交互交替配設(shè)的支持片的支持爪97所構(gòu)成。
角塊96，具備傾斜面96A和頂接面96B。傾斜面96A，是在兩個(gè)角塊96互相相對(duì)安裝的狀態(tài)下形成為可向外側(cè)打開(kāi)，讓半導(dǎo)體晶片周?chē)吘壊靠奢p易插入兩個(gè)角塊96之間。頂接面96B，是在兩個(gè)角塊96相對(duì)安裝的狀態(tài)下，構(gòu)成具有一定幅寬(比半導(dǎo)體晶片厚度稍微寬一點(diǎn)的幅度)的溝槽而形成。
支持爪97，是用于直接接觸半導(dǎo)體晶片周?chē)吘壊慷M(jìn)行支持的構(gòu)件。此支持爪97，分別設(shè)于各角塊96的頂接面96B上。支持爪97是用細(xì)長(zhǎng)形的凸條構(gòu)成，此支持爪97分別交替配設(shè)在相對(duì)的各頂接面96B上。具體而言，通過(guò)在其中之一的頂接面96B兩端設(shè)兩個(gè)支持爪97，而在另一頂接面96B中央則設(shè)一個(gè)支持爪97的方式，使得相對(duì)的各支持爪97互相交替配設(shè)。各支持爪97用彈性材料形成，可彈性地支持半導(dǎo)體晶片周?chē)吘壊?。兩個(gè)頂接面96B之間的幅寬因?yàn)閮H僅比半導(dǎo)體晶片厚度稍微寬一點(diǎn)，故配設(shè)于各頂接面96B上的支持爪97前端的間隔則比半導(dǎo)體晶片厚度稍微窄一點(diǎn)。因此，半導(dǎo)體晶片在插入各支持爪97之間時(shí)，將互相交替配設(shè)的彈性材料構(gòu)成的各個(gè)支持爪97稍微壓扁一點(diǎn)而插入。如此，互相交替配設(shè)的支持爪97即可可靠地支持住半導(dǎo)體晶片的周?chē)吘壊俊?br> 在生產(chǎn)線用蓋體15外側(cè)，設(shè)有如圖23所示的蓋體固定件100。此蓋體固定件100，是用于防止生產(chǎn)線用蓋體15從容器本體12上脫落的構(gòu)件。蓋體固定件100由支持板部101、鉤部102以及嵌合突起103所構(gòu)成。
支持板部101，是用來(lái)支持鉤部102和嵌合突起103的構(gòu)件。在支持板部101的兩端部分別設(shè)置鉤部102。用此鉤部102來(lái)鉤住容器本體12的凸緣。
嵌合突起103設(shè)于支持板部101的一側(cè)面上。嵌合突起103形成為和鍵溝62同樣形狀，通過(guò)鍵孔76而嵌合于鍵溝62。嵌合突起103設(shè)置有兩個(gè)，分別位于和兩個(gè)鍵溝62匹配的位置上。如此，即可使鉤部102在鉤住容器本體12的凸緣的狀態(tài)下，使得各嵌合突起103嵌合于各鍵溝62內(nèi)而將推出構(gòu)件43固定住。這是因?yàn)?，在薄板支持容器運(yùn)輸過(guò)程中，要防止推出構(gòu)件43因震動(dòng)或者沖擊而轉(zhuǎn)動(dòng)，造成對(duì)生產(chǎn)線用蓋體15的容器本體12的固定松脫之故。
如以上說(shuō)明構(gòu)成的薄板支持容器11，可如下所說(shuō)明那樣的使用在從容器本體12將生產(chǎn)線用蓋體15取下的時(shí)候，將閂鎖鍵嵌合于鍵溝62而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。如此，即可從圖24(A)的狀態(tài)，轉(zhuǎn)動(dòng)推出構(gòu)件43而使得接合構(gòu)件42逐漸收入。如此，接合構(gòu)件42的支點(diǎn)部55的前端側(cè)滑動(dòng)接面55A即可滑動(dòng)接于前端側(cè)凸輪40的斜面40A，如圖24(B)、(C)、(D)所示，將前端嵌合部56向下壓下。在此同時(shí)，接合構(gòu)件42的基端側(cè)滑動(dòng)接面52滑動(dòng)接于基端下側(cè)凸輪39的斜面39A，而將接合構(gòu)件42的基端部向上頂起。如此，前端嵌合部56即可完全容納于本體部30內(nèi)。而且，生產(chǎn)線用蓋體15也可從容器本體12取下。
在將生產(chǎn)線用蓋體15安裝于容器本體12時(shí)，在蓋體承接部21上安裝生產(chǎn)線用蓋體15的，將閂鎖鍵嵌合于鍵溝62而進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。如此即可和上述說(shuō)明相反的，將接合構(gòu)件42從本體部30壓出。此時(shí)，接合構(gòu)件42的支點(diǎn)部55滑動(dòng)接于前端側(cè)凸輪40的斜面40A而將前端嵌合部56向上方頂起。而且，基端上側(cè)凸輪53的斜面53A也頂接于頂壓凸輪的突起69，將接合構(gòu)件42的基端部向下壓。如此，接合構(gòu)件42的基端側(cè)滑動(dòng)接面52即可沿著基端下側(cè)凸輪39的斜面39A而頂向下方。
接合構(gòu)件42的支點(diǎn)部55上，將前端側(cè)滑動(dòng)接面55A嵌合于嵌合凹部40B，使得接合構(gòu)件42以嵌合凹部40B為中心而旋轉(zhuǎn)。
在接合構(gòu)件42的基端部中，在基端側(cè)滑動(dòng)接面52滑動(dòng)接于基端下側(cè)凸輪39的斜面39A的同時(shí)，頂壓凸輪的突起69也頂接于基端上側(cè)凸輪53的斜面53A，而將接合構(gòu)件42的基端部向下壓下。
如此，接合構(gòu)件42，以嵌合于嵌合凹部40B的支點(diǎn)部55為支點(diǎn)，發(fā)揮杠桿作用，在前端嵌合部56嵌合于蓋體承接部21的第二被嵌合部24的狀態(tài)下，將生產(chǎn)線用蓋體15向容器本體12側(cè)強(qiáng)力壓下的固定。
在將生產(chǎn)線用蓋體15安裝于容器本體12的狀態(tài)下，裝上蓋體固定件100。具體而言，是將鉤部102鉤上容器本體12的凸緣部。如此，即可使得嵌合突起103嵌合于鍵溝62而將推出構(gòu)件43進(jìn)行固定。
在容器本體12的內(nèi)部，半導(dǎo)體晶片的周?chē)吘壊壳逗嫌陧斀悠?4。頂接片94中，使半導(dǎo)體晶片的周?chē)吘壊壳度牖ハ嘟惶媾湓O(shè)的支持爪97之間，用各支持爪97可靠地進(jìn)行支持。
在薄板支持容器11受到來(lái)自外部的強(qiáng)烈沖擊時(shí)，因?yàn)榻雍蠘?gòu)件42可藉由杠桿原理來(lái)將生產(chǎn)線用蓋體15強(qiáng)力頂向容器本體12，故生產(chǎn)線用蓋體15不會(huì)從容器本體12脫落。而且，因?yàn)橐陨w體固定件100將推出構(gòu)件43固定，故也不會(huì)發(fā)生推出構(gòu)件43轉(zhuǎn)動(dòng)而使得接合構(gòu)件42從第二被嵌合部24上脫落的情況。
另一方面，薄板支持容器11內(nèi)的半導(dǎo)體晶片，因?yàn)榍逗嫌诰謮杭?1的頂接片94，且用互相交替配設(shè)的支持爪97從兩側(cè)支持，故半導(dǎo)體晶片也不會(huì)從頂接片94脫落。并且，頂接片94因?yàn)橛蓮椥灾С职宀?3支持，故第一支持板片93A和第二支持板片93B可以用本身的彈性，抵于生產(chǎn)線用蓋體15下側(cè)面而支持住半導(dǎo)體晶片，防止半導(dǎo)體晶片的破損。
在清洗的時(shí)候，通過(guò)錯(cuò)開(kāi)蓋板壓件46而從接合爪38取下的方式，簡(jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)32，即可使接合構(gòu)件42、推出構(gòu)件43、凸輪機(jī)構(gòu)44、保持蓋45以及蓋板壓件46全部分開(kāi)，而能各自的進(jìn)行清洗并干燥。
如上所述，依照薄板支持容器11，可實(shí)現(xiàn)以下功效(1)因?yàn)槔酶軛U原理來(lái)將接合構(gòu)件42推出，故可強(qiáng)力并且可靠地將生產(chǎn)線用蓋體15固定于容器本體12。
(2)因?yàn)楹?jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)的各構(gòu)成零件都能輕易分解，故在清洗的時(shí)候，可將卸下的各構(gòu)成零件進(jìn)行分解，不但能徹底清洗每個(gè)角落，也能迅速進(jìn)行干燥。
(3)因?yàn)橹С肿?7互相交替配設(shè)，故各支持爪97對(duì)半導(dǎo)體晶片的周?chē)吘壏謩e交替頂接，而能更可靠地進(jìn)行支持。
(第2實(shí)施例)接下來(lái)，就本發(fā)明第2實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。本實(shí)施例，是改良晶片抵壓件。
薄板支持容器在運(yùn)送途中會(huì)因?yàn)榉N種因素造成震動(dòng)。這些震動(dòng)傳達(dá)于半導(dǎo)體晶片時(shí)，半導(dǎo)體晶片可能因此產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)，是非常不利的。因此，在薄板支持容器可能發(fā)生震動(dòng)的情形下時(shí)，即可使用本實(shí)施例的晶片抵壓件(薄板抵壓件)。基于圖34～圖43，說(shuō)明本實(shí)施例的晶片抵壓件121。附帶說(shuō)明，除了晶片抵壓件121之外，因?yàn)槎己蜕鲜龅?實(shí)施例的薄板支持容器11同樣，故同樣構(gòu)件都使用同樣的附圖標(biāo)記而省略其說(shuō)明。
晶片抵壓件121，如圖40所示，由基端支持部122、彈性支持板部123、頂接片124、連接支持板部125以及支持用肋126所構(gòu)成。
基端支持部122，是用來(lái)直接支持分別設(shè)于晶片抵壓件121兩端的兩個(gè)彈性支持板部123的構(gòu)件。基端支持部122不但形成四角棒狀，也跨越晶片抵壓件121長(zhǎng)方向的全長(zhǎng)(圖35的上下方向)而形成。蓋體127的下側(cè)面分別設(shè)有兩個(gè)鉤狀支持部128。基端支持部122嵌入各鉤狀支持部128，而固定于蓋體內(nèi)面?zhèn)取?br> 彈性支持板部123是用來(lái)彈性支持頂接片124的外側(cè)端的構(gòu)件。兩個(gè)彈性支持板部123，有和容納于容器本體12內(nèi)的半導(dǎo)體晶片120片數(shù)同樣的數(shù)量而并列的設(shè)置。各彈性支持板部123，在橫向并列成一列的狀態(tài)下分別固定于基端支持部122。彈性支持板部123彎曲成側(cè)面形狀成S字型而構(gòu)成。兩個(gè)彈性支持板部123的基端部分別固定于兩個(gè)基端支持部122上，其前端部分別安裝有頂接片124，并彈性地支持各頂接片124。
頂接片124，是直接頂接于各半導(dǎo)體晶片120的周?chē)吘壊康挠脕?lái)直接支持各半導(dǎo)體晶片120的構(gòu)件。各頂接片124的一側(cè)面，設(shè)有如圖42和圖43所示的嵌合半導(dǎo)體晶片120的V字型嵌合溝124A。此嵌合溝124A成為兩階段的V字溝。第一段是具有角度124°的和緩傾斜的溝槽。第二段則為具有角度44°傾斜的溝槽。如此，在半導(dǎo)體晶片120邊緣接觸到第一段溝槽時(shí)，此半導(dǎo)體晶片120邊緣受到和緩的斜坡導(dǎo)引而進(jìn)入第二段溝槽，以此第二段溝槽來(lái)支持半導(dǎo)體晶片120。第二段溝槽的底部，形成和半導(dǎo)體晶片120厚度大致相同寬幅的平坦面狀。此第二段溝槽的傾斜角度和底部的幅度，是配合半導(dǎo)體晶片120邊緣的尺寸而形成的。因?yàn)榘雽?dǎo)體晶片120的邊緣被截角成44°的緣角，故溝槽的傾斜角度也設(shè)定為44°。并且，溝槽底部的寬度，也配合半導(dǎo)體晶片120邊緣的尺寸而形成。如此，第二段溝槽，即可抓住半導(dǎo)體晶片120的邊緣部，而在更大面積上接觸半導(dǎo)體晶片120并可靠地進(jìn)行支持，震動(dòng)時(shí)也能抑制半導(dǎo)體晶片120旋轉(zhuǎn)。附帶說(shuō)明，第二段溝槽，配合半導(dǎo)體晶片120的邊緣角而設(shè)定為44°，不過(guò)因?yàn)轫斀悠?24材質(zhì)的關(guān)系，也可稍微設(shè)定為較狹窄的角度。具體而言，依照彈性力的不同而適度的設(shè)定在40°～44°左右的范圍內(nèi)均可。不過(guò)因?yàn)榈诙螠喜鄣慕嵌忍脑?，就?huì)夾死半導(dǎo)體晶片120的邊緣部，在抬起蓋體127的時(shí)候會(huì)產(chǎn)生連同半導(dǎo)體晶片120也一起抬起的情況，故將半導(dǎo)體晶片120設(shè)定為不會(huì)夾死半導(dǎo)體晶片120的角度。此外，在半導(dǎo)體晶片120的斜角角度不同的情形，或者半導(dǎo)體晶片120之外的其它薄板等情形下，可以配合將角度適當(dāng)?shù)脑O(shè)定在20°～60°左右的范圍內(nèi)。
嵌合溝124A的底部，如圖40和圖41所示，設(shè)定為沿半導(dǎo)體晶片120的外周?chē)吘壭螤畹慕嵌?，也就是設(shè)定成半導(dǎo)體晶片120的外周?chē)吘壍那芯€方向，如同后述，彈性力和晶片抵壓件121的彎曲度成比例增強(qiáng)，因此各頂接片124壓住半導(dǎo)體晶片120的力量整體都很平均。換句話說(shuō)，兩個(gè)頂接片124的其中之一變化量增加的話，因此變化量增強(qiáng)而使另一頂接片124側(cè)的彈性力增強(qiáng)而將半導(dǎo)體晶片120略為壓下，最后讓兩個(gè)頂接片124的彈性力在同樣強(qiáng)度的點(diǎn)上平衡，因此結(jié)果使得左右兩側(cè)可自動(dòng)調(diào)整成同樣的彈性力。并且，在蓋體127安裝于容器本體12上的狀態(tài)下，設(shè)定在嵌合溝124A的大致中央部附近(圖41中的接點(diǎn)A)的和底部接觸。
連接支持板部125，是用來(lái)將兩個(gè)頂接片124互相連接而進(jìn)行支持的構(gòu)件。連接支持板部125的兩端部分別連接于各頂接片124而彈性地支持各頂接片124。連接支持板部125彎曲成側(cè)面大致成U字狀形成。具體而言，由兩側(cè)的縱向板部125A、125B和橫向板部125C所構(gòu)成?？v向板部125A、125B配設(shè)在和蓋體127的內(nèi)表面垂直的方向，幾乎完全不彎曲的支持各頂接片124。
橫向板部125C可彈性的彎曲。連接支持板部125的彈性支持各頂接片124的功能，主要由橫向板部125C擔(dān)當(dāng)。橫向板部125C的兩端在分別連接縱向板部125A、125B的狀態(tài)下，沿著蓋體127的內(nèi)表面的方向配設(shè)。橫向板部125C，它的中央部是以后述的支持用凸條131所支持，以該支持用凸條131為中心而使其兩端部彎曲。
橫向板部125C的變形所發(fā)生的彈性力(即連接支持板部125用來(lái)支持頂接片124的彈性力)，設(shè)定為比彈性支持板部123支持頂接片124的彈性力更強(qiáng)。如此，兩個(gè)頂接片124的內(nèi)側(cè)端以較強(qiáng)的彈性力支持，而外側(cè)端則以較弱的彈性力支持。而且，兩個(gè)頂接片124的嵌合溝124A的底部，如同上述，是配設(shè)在半導(dǎo)體晶片120的外周?chē)吘壍那芯€方向上。如此，晶片抵壓件121對(duì)于半導(dǎo)體晶片120的支持力，設(shè)定為隨著半導(dǎo)體晶片120的移動(dòng)量(震動(dòng)量)成比例增強(qiáng)。換句話說(shuō)，在一般的狀態(tài)下，如圖41中的實(shí)線所示，半導(dǎo)體晶片120在嵌合溝124A底部大致中央部附近(圖41中的接點(diǎn)A)接觸而進(jìn)行支持。半導(dǎo)體晶片120發(fā)生震動(dòng)的話，以連接支持板部125的強(qiáng)力彈性力所支持的頂接片124內(nèi)側(cè)端幾乎不發(fā)生變化，而由彈性支持板部123的較弱彈性力所支持的外側(cè)端則大幅變化，如圖41中的雙點(diǎn)虛線所示，半導(dǎo)體晶片120(圖41中的接點(diǎn)B側(cè))由嵌合溝124A底部的支持移動(dòng)到其內(nèi)側(cè)端側(cè)。如此，半導(dǎo)體晶片120的震動(dòng)量較小(晶片抵壓件121的彎曲量也較小)的時(shí)候，半導(dǎo)體晶片120以其外側(cè)端側(cè)(圖41中的接點(diǎn)A側(cè))接觸嵌合溝124A而由較弱的彈性力所支持，當(dāng)半導(dǎo)體晶片120的震動(dòng)量增大(晶片抵壓件121的彎曲量也增大)時(shí)，半導(dǎo)體晶片120的接觸點(diǎn)就移動(dòng)到嵌合溝124A的內(nèi)側(cè)端側(cè)(圖41中的接點(diǎn)B側(cè))而由強(qiáng)力的彈性力所支持。并且，半導(dǎo)體晶片120的接觸點(diǎn)朝內(nèi)側(cè)端側(cè)移動(dòng)的移動(dòng)量越大，加諸于連接支持板部125的力也比彈性支持板部123大的越多，而彈性力也越增強(qiáng)，因此能更有效率的抑制半導(dǎo)體晶片120的震動(dòng)。
支持用肋126，是用來(lái)支持連接支持板部125防止在沿著蓋體內(nèi)表面的方向上的位移的支持用構(gòu)件。支持用肋126，設(shè)于如圖34～圖40所示的蓋體127內(nèi)表面的中央部。支持用肋126設(shè)為能夠整個(gè)覆蓋所有配有多數(shù)的晶片抵壓件121的連接支持板部125。具體而言，設(shè)定為能夠?qū)此菁{的半導(dǎo)體晶片120的片數(shù)的份并列設(shè)置的連接支持板部125全部嵌合的長(zhǎng)度。支持用肋126用兩個(gè)支持壁部129、130所構(gòu)成。
各支持壁部129、130互相相對(duì)平行設(shè)置。各支持壁部129、130由支持板片133和分隔板片134所構(gòu)成。
支持板片133是用來(lái)支持連接支持板部125的縱向板部125A、125B，使其不向半導(dǎo)體晶片120的圓周方向(圖40的左右方向)位移的構(gòu)件。支持板片133通過(guò)直接支持住連接支持板部125的縱向板部125A、125B的方法，間接支持頂接片124使其不在半導(dǎo)體晶片120的圓周方向上發(fā)生位移。
分隔板片134，是用來(lái)將多數(shù)配設(shè)的連接支持板部125個(gè)別區(qū)隔的板片。各分隔板片134，分別設(shè)置于最外側(cè)以及各連接支持板部125之間。如此，各分隔板片134可在寬度方向上從兩側(cè)支持各連接支持板部125。如此，各分隔板片134通過(guò)直接支持連接支持板部125的方法，而間接支持頂接片124，使其在和半導(dǎo)體晶片120圓周方向的正交方向上不會(huì)發(fā)生位移。
通過(guò)上述支持板片133和分隔板片134的方法，可由周?chē)?和容納于容器本體12內(nèi)的半導(dǎo)體晶片120的圓周方向的正交方向)夾住連接支持板部125而分別進(jìn)行支持的方式，防止沿連接支持板部125蓋體內(nèi)表面方向的位移發(fā)生，而能允許蓋體內(nèi)表面在垂直方向的變動(dòng)。
支持板片133以及分隔板片134，和連接支持板部125之間，設(shè)定開(kāi)有很微小的間隙，在小幅震動(dòng)的時(shí)候可以避免接觸。換句話說(shuō)，半導(dǎo)體晶片120在只有很微小幅度震動(dòng)時(shí)，連接支持板部125可以略彎曲吸收震動(dòng)而不會(huì)和支持板片133、分隔板片134接觸。在震動(dòng)加劇時(shí)，因?yàn)榻?jīng)各頂接片124而使連接支持板部125震動(dòng)劇烈，連接支持板部125即可和支持板片133、分隔板片134接觸而進(jìn)行支持。
支持用肋126的兩個(gè)支持壁部129、130之間，設(shè)有如圖34、圖37～圖39所示的支持用凸條131。支持用凸條131，是用于直接頂接各連接支持板部125的進(jìn)行支持的構(gòu)件。具體而言，各連接支持板部125的橫向板部125C中央部分頂接于支持用凸條131而被支持，橫向板部125C的兩端部可自由彎曲。支持用凸條131，在互相相對(duì)而平行設(shè)置的兩個(gè)支持壁部129、130之間的中央部上，設(shè)為和支持壁部129、130平行并且大致相同長(zhǎng)度。
支持用凸條131，成如圖38以及圖39所示。換句話說(shuō)，形成的頂接片124中央側(cè)(圖38的a側(cè))較厚而兩側(cè)(圖38的b側(cè))較薄，使得位于中央側(cè)的頂接片124，比位于兩側(cè)的頂接片124，較朝向半導(dǎo)體晶片120側(cè)隆起。在本實(shí)施例中，整體成弓狀彎曲形成。如此，晶片抵壓件121裝于蓋體127的狀態(tài)下，和各連接支持板部125之間的間隔，如圖39所示，設(shè)定為兩側(cè)較寬而中央側(cè)較窄。此支持用凸條131的具體尺寸，依照蓋體127的彎曲量而適當(dāng)?shù)脑O(shè)定。
支持用凸條131之所以要如此形成，是依如下的理由。若在容器本體12內(nèi)容納了多片半導(dǎo)體晶片120的狀態(tài)下安裝上蓋體127的話，對(duì)蓋體127會(huì)發(fā)生一定的反作用力。裝于蓋體內(nèi)表面的晶片抵壓件121，因?yàn)閷?duì)每片半導(dǎo)體晶片120都分別以一定的力量支持，故當(dāng)半導(dǎo)體晶片120的直徑加大而對(duì)該片半導(dǎo)體晶片120的支持力越大，或者片數(shù)越多的話，回壓晶片抵壓件121的反作用力也會(huì)越大。此反作用力，使得裝上晶片抵壓件121的蓋體127稍微向外側(cè)彎曲。而且，蓋體127向外側(cè)彎曲的話，以晶片抵壓件121支持半導(dǎo)體晶片120的力量在中央部就會(huì)隨之減弱。為了消除這樣的支持半導(dǎo)體晶片120的力量不均勻的問(wèn)題，設(shè)置了支持用凸條131。中央側(cè)較厚的支持用凸條131可以吸收蓋體127的彎曲，使得晶片抵壓件121能以均等的力量支持各半導(dǎo)體晶片120。
以上所構(gòu)成的薄板支持容器可作用如下在容器本體12內(nèi)容納多片半導(dǎo)體晶片120的狀態(tài)下，安裝上蓋體127的話，晶片抵壓件121就嵌合于各半導(dǎo)體晶片120。具體而言，各頂接片124的嵌合溝124A會(huì)分別嵌合于各半導(dǎo)體晶片120的周?chē)吘墸瑢⒏靼雽?dǎo)體晶片120的周?chē)吘壱龑?dǎo)到嵌合溝124A的底部。此時(shí)，在半導(dǎo)體晶片120的邊緣部嵌合于第二段溝槽內(nèi)的狀態(tài)下，第二段溝槽，抓住半導(dǎo)體晶片120的邊緣部，而能以大面積接觸半導(dǎo)體晶片120而可靠地進(jìn)行支持。各頂接片124，則以彈性支持板部123和連接支持板部125進(jìn)行支持。
彈性支持板部123，在其基端部用固定于蓋體127內(nèi)表面的基端支持部122支持的狀態(tài)下，以其前端部來(lái)彈性的支持各頂接片124的外側(cè)端。連接支持板部125，在支持用肋126支持住其中央部的狀態(tài)下，以其兩側(cè)端部彈性地支持各頂接片124的內(nèi)側(cè)端。
并且，彎曲成弓狀的支持用凸條131，在吸收蓋體127彎曲的狀態(tài)下，支持各頂接片124。如此，各頂接片124即可以均等的力量支持各半導(dǎo)體晶片120。
此外，各頂接片124的內(nèi)側(cè)端是以比較強(qiáng)力的彈性力所支持，其外側(cè)端則以比較弱的力量彈性的支持。此時(shí)，各頂接片124，在其嵌合溝124A底部沿各半導(dǎo)體晶片120周?chē)吘壍那芯€方向的狀態(tài)和各半導(dǎo)體晶片120接觸，同時(shí)自動(dòng)調(diào)整使兩個(gè)頂接片124的彈性力成為同樣強(qiáng)度而使得抵壓住半導(dǎo)體晶片120整體的力量都能均等，更加穩(wěn)定的支持住半導(dǎo)體晶片120。
在薄板支持容器運(yùn)送等狀態(tài)中，如薄板支持容器發(fā)生震動(dòng)，則各半導(dǎo)體晶片120也會(huì)發(fā)生震動(dòng)。而且，各頂接片124也會(huì)隨著半導(dǎo)體晶片120的震動(dòng)而震動(dòng)。
此時(shí)，震動(dòng)較小的情形，因?yàn)楦黜斀悠?24的振幅較小，故半導(dǎo)體晶片120和頂接片124的接點(diǎn)在外側(cè)(例如圖41中的接點(diǎn)A附近)，主要是彈性支持板部123發(fā)生彎曲，以較弱的彈性力支持之。
震動(dòng)強(qiáng)烈時(shí)，各頂接片124的振幅也較大，但隨著頂接片124大幅震動(dòng)而使得半導(dǎo)體晶片120和各頂接片124之接點(diǎn)朝向內(nèi)側(cè)(例如圖41中的接點(diǎn)B附近)移動(dòng)，相應(yīng)于此移動(dòng)量而使連接支持板部125作用的力量比彈性支持板部123大，彈性力也加強(qiáng)。因此，半導(dǎo)體晶片120要大幅震動(dòng)的時(shí)候，頂接片124就會(huì)以強(qiáng)力的彈性回壓而抑制住半導(dǎo)體晶片120的震動(dòng)。如此，依照震動(dòng)的強(qiáng)烈程度，支持半導(dǎo)體晶片120的力量也自動(dòng)變化，而能可靠地支持半導(dǎo)體晶片120。
其結(jié)果，所有半導(dǎo)體晶片120都能以均等的力量支持，同時(shí)對(duì)于來(lái)自外部的震動(dòng)，也能將半導(dǎo)體晶片120的震動(dòng)抑制到最小限度，而能防止半導(dǎo)體晶片120的旋轉(zhuǎn)。
變形例(1)在上述第1實(shí)施例中，是用基端支持部92、彈性支持板部93、以及頂接片94來(lái)構(gòu)成品片抵壓件91，而如圖25、26、27所示，則以基端支持部110、彈性支持板部111以及頂接片112所構(gòu)成。彈性支持板部111，是將基端部固定于基端支持部110的狀態(tài)下支持頂接片112的一端。并且，從頂接片112另一端將彈性支持板部111在生產(chǎn)線用蓋體15下側(cè)面上延伸的形成的。頂接片112上的傾斜面112A和頂接面112B，和上述實(shí)施例的傾斜面96A和頂接面96B具備大致同樣的功能。支持爪113，是相對(duì)分別交替各配設(shè)三個(gè)。此支持爪113的數(shù)目，依需要而設(shè)定。
這樣的構(gòu)成，也和上述實(shí)施例具有同樣作用、可獲得同樣功效。
(2)在上述第1實(shí)施例中，晶片抵壓件91是為單邊支持構(gòu)造，也可例如圖28、圖29所示之雙邊支持構(gòu)造。彈性支持板部安裝為能支持頂接片之間以及兩側(cè)，同時(shí)，各頂接片之間的彈性支持板部，在距離生產(chǎn)線用蓋體15下側(cè)面僅僅離開(kāi)間隙S的狀態(tài)下支持各頂接片。
如此，各頂接片之間的彈性支持板部，在距離安裝面僅有很小距離的狀態(tài)下支持住頂接片，因此通常是以并不太強(qiáng)的力量來(lái)支持薄板。在例如不小心將薄板支持容器掉落等情形，遭到來(lái)自外部的強(qiáng)大沖擊時(shí)，間隙S的緩沖消失而使各頂接片之間的彈性支持板部頂接于支持面，強(qiáng)力的支持住各頂接片。如此即可保護(hù)薄板不受沖擊的影響。
(3)在上述第1實(shí)施例中，是用支持爪97來(lái)支持半導(dǎo)體晶片，也可以角塊來(lái)支持。如圖30、31所示，和上述實(shí)施例同樣的，將兩個(gè)角塊115相對(duì)的狀態(tài)下，互相交替配置。換句話說(shuō)，兩個(gè)相對(duì)配置的一組角塊115互相保持一定間隔距離，四組一個(gè)單位分別排列，同時(shí)也互相交替配置。并且，一組角塊115當(dāng)中的各頂接面115A，分別設(shè)定為對(duì)垂直面呈20°傾斜以及呈4°傾斜。而且，頂接于半導(dǎo)體晶片的一側(cè)設(shè)定為4°角。如此，半導(dǎo)體晶片的周?chē)吘壖纯捎靡粋?cè)4°(兩側(cè)為8°)的角度挾持，而不使半導(dǎo)體晶片發(fā)生滑動(dòng)的就能可靠地進(jìn)行支持。
在此情形下，各角塊也可設(shè)置成如圖32、33所示。這是和基于上述圖28、29所說(shuō)明的例子幾乎同樣的構(gòu)成，也可發(fā)揮同樣作用及功效。
(4)在上述第1實(shí)施例中，是用在生產(chǎn)線上使用的薄板支持容器用蓋體的例子說(shuō)明，而在保管、運(yùn)送等情形下也都同樣能使用。此等場(chǎng)合也可發(fā)揮與上述實(shí)施例同樣作用及功效。
(5)在上述第1實(shí)施例中，是在生產(chǎn)線用蓋體15上設(shè)有兩個(gè)簡(jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)32為例說(shuō)明，而依照規(guī)格等條件，也可設(shè)一個(gè)、或者三個(gè)以上。
(6)在上述第1實(shí)施例中，是用薄板支持容器用蓋體使用于容納半導(dǎo)體晶片的容器為例加以說(shuō)明，但并不限于半導(dǎo)體晶片，容納其它薄板的容器也可同樣使用。此情形也發(fā)揮和上述實(shí)施例同樣作用及功效。
(7)在上述第1實(shí)施例以及變形例中，是用晶片抵壓件作為支持容納在容器本體內(nèi)的薄板的薄板壓件，使用于上述實(shí)施例的薄板支持容器11，但本發(fā)明并不限于此例，其它構(gòu)造的薄板支持容器也都可使用。此情形，也可發(fā)揮和上述實(shí)施例同樣作用及功效。
(8)在上述第1實(shí)施例中，是將蓋體固定件100使用于薄板支持容器11，但本發(fā)明并不限于此例，其它構(gòu)造的薄板支持容器也都可使用。此情形，也可發(fā)揮和上述實(shí)施例同樣作用及功效。
(9)在上述第2實(shí)施例中，是設(shè)置了兩個(gè)晶片抵壓件121的頂接片124，但是也可設(shè)置三個(gè)以上。設(shè)置三個(gè)以上頂接片124的情形，在各頂接片124之間設(shè)有連接支持板部125和支持用肋126。此情形，也可發(fā)揮和上述實(shí)施例同樣作用及功效。
(10)在上述第2實(shí)施例中，是用支持用凸條131來(lái)支持橫向板部125C，但也可在橫向板部125C中央部設(shè)支持用突起。在設(shè)支持用突起的情形下，支持用凸條131也可設(shè)也可不設(shè)。支持用突起，在設(shè)有支持用凸條131的情形，頂接于支持用凸條131，而在不設(shè)支持用凸條131的情形，則頂接于蓋體127內(nèi)表面，以支持橫向板部125C。
在不設(shè)支持用凸條131的情形，橫向板部125C中央部支持用突起的高度，如上述第2實(shí)施例，設(shè)定為中央側(cè)比兩側(cè)高。而在設(shè)有支持用凸條131的情形，則設(shè)定橫向板部125C中央部的支持用突起和支持用凸條131兩者的高度總合，使其中央側(cè)比兩側(cè)高度高。此情形，也可發(fā)揮和上述第2實(shí)施例同樣作用及功效。
(11)在上述第2實(shí)施例中，頂接片124的嵌合溝124A是成V字狀的形成，但也可如上述第1實(shí)施例的頂接片94般，對(duì)頂接片124配備互相交替配設(shè)的支持片。換句話說(shuō)，第2實(shí)施例的頂接片124，也可如同第1實(shí)施例的頂接片94那樣，用兩個(gè)角塊96和互相交替配設(shè)的支持爪97(支持片)構(gòu)成。如此，互相交替配設(shè)的支持片對(duì)半導(dǎo)體晶片120的周?chē)吘壔ハ嘟惶骓斀?，即可可靠地支持半?dǎo)體晶片120。其結(jié)果，對(duì)于來(lái)自外部的震動(dòng)，可將半導(dǎo)體晶片120的震動(dòng)抑制在最小限度內(nèi)，而且還能可靠地防止半導(dǎo)體晶片120旋轉(zhuǎn)。
(12)用來(lái)支持晶片抵壓件121的頂接片124的構(gòu)成，并不限于第2實(shí)施例，也可是其它構(gòu)成。例如可以使位于中央側(cè)的頂接片124比位于兩側(cè)的，更向半導(dǎo)體晶片120側(cè)隆起而配設(shè)的構(gòu)成。
例如，也可形成彈性支持板部123，使得位于中央側(cè)的頂接片124比位于兩側(cè)的頂接片124更向半導(dǎo)體晶片120側(cè)隆起配設(shè)，也可配設(shè)彈性支持板部123或者連接支持板部125的其中之一或兩者，使得位于中央側(cè)的頂接片124比位于兩側(cè)的頂接片124更向半導(dǎo)體晶片120隆起。
(13)在上述第2實(shí)施例中，是用支持用肋126來(lái)支持連接支持板部125，但是也可以突起來(lái)支持。具體而言，如圖44所示，通過(guò)與設(shè)于連接支持板部125上的嵌合孔141嵌合的，防止沿連接支持板部125蓋體內(nèi)表面的位移而容許其在蓋體內(nèi)面垂直方向上變動(dòng)的嵌合突起142，來(lái)支持連接支持板部125。此情形，也可發(fā)揮和上述第2實(shí)施例同樣作用及功效。
(14)上述第2實(shí)施例中，頂接片124的V字狀的嵌合溝124A的底部形成為平坦面狀，且與半導(dǎo)體晶片120的厚度大致相同，但如圖45所示那樣的底部形成的很細(xì)也可以。具體而言，頂接片151具有V字溝151A，其具有與半導(dǎo)體晶片152的邊緣部的邊緣角44°相同的傾斜角度44°。此外，此V字狀溝151A，還可以設(shè)定為2段的角度，或者1段的角度。
此V字狀溝151A的底部，形成的比半導(dǎo)體晶片152的熱度還薄。如此，在半導(dǎo)體晶片152嵌合入V字狀溝151A的狀態(tài)下，在該半導(dǎo)體晶片152的邊緣部和上述V字溝151A的底部之間形成間隙153，通過(guò)上述V字狀溝151A的傾斜面支持半導(dǎo)體晶片152。此時(shí)，由于半導(dǎo)體晶片152的邊緣部的邊緣角與頂接片151的V字狀溝151A的傾斜角都是44°，半導(dǎo)體晶片152的邊緣部和V字狀溝151A的傾斜面能夠以較大的面積接觸。
并且，由于在半導(dǎo)體晶片152的邊緣部和V字狀溝151A的底部之間存在間隙153，不是直接的支持半導(dǎo)體晶片152的邊緣部，結(jié)果是把半導(dǎo)體晶片152的邊緣部V字狀的嵌入V字溝151A。如此，將半導(dǎo)體晶片152的邊緣部強(qiáng)力的頂壓安裝到V字溝151A的傾斜面上。
結(jié)果是，即使將薄板抵壓件用不怎么強(qiáng)的抵壓安裝到半導(dǎo)體晶片152上，也能夠用此薄板抵壓件的頂接片151可靠地支持半導(dǎo)體晶片152，防止振動(dòng)等導(dǎo)致的半導(dǎo)體晶片152的旋轉(zhuǎn)。如此，將蓋體用不怎么強(qiáng)的按壓安裝在容器本體上也能夠可靠地支持半導(dǎo)體晶片152，防止振動(dòng)等導(dǎo)致的半導(dǎo)體晶片152的旋轉(zhuǎn)。如此，不用增加蓋體的強(qiáng)度。如此，能夠輕易的進(jìn)行蓋體的裝卸工作的自動(dòng)化。
此外，頂接片151的V字狀溝151A的傾斜角設(shè)定為20°-60°，也能夠獲得與上述同樣的作用，效果。此情況下，半導(dǎo)體晶片152嵌合于頂接片151的V字狀溝151A，該半導(dǎo)體晶片152的邊緣部嵌入V字狀溝151A中。此時(shí)，V字狀溝151A得傾斜角設(shè)定為20°-60°，能夠可靠而且輕易的進(jìn)行半導(dǎo)體晶片152的支持和裝卸。換句話說(shuō)，將半導(dǎo)體晶片152嵌合在V字狀溝151A上，將半導(dǎo)體晶片152的邊緣部嵌入V字狀溝151A的進(jìn)行支持。此時(shí)，將V字狀溝151A的傾斜角設(shè)定為60°以上的話，半導(dǎo)體晶片152向V字狀溝151A的嵌入不夠?qū)е庐a(chǎn)生旋轉(zhuǎn)。實(shí)際上，從V字狀溝151A的傾斜角設(shè)定為60°的實(shí)驗(yàn)看來(lái)，很少發(fā)生由于外部傳來(lái)的振動(dòng)導(dǎo)致的旋轉(zhuǎn)。傾斜角超過(guò)60°的話，就容易發(fā)生外部傳來(lái)的振動(dòng)導(dǎo)致的旋轉(zhuǎn)。并且，在將頂接片151從半導(dǎo)體晶片152上脫離的時(shí)候，也不用將嵌入V字狀溝151A的半導(dǎo)體晶片152，從V字狀溝151A上拉出的，可以平滑的分離。此時(shí)，V字狀溝151A的傾斜角設(shè)定在20°以下的話，在頂接片151從半導(dǎo)體晶片152上脫離的時(shí)候，會(huì)發(fā)生將半導(dǎo)體晶片152從V字狀溝151A上拉出的將該半導(dǎo)體晶片152取下的情況。實(shí)際上，從將V字狀溝151A的傾斜角設(shè)定為20°的實(shí)驗(yàn)看來(lái)，半導(dǎo)體晶片152很少發(fā)生將半導(dǎo)體晶片152從V字狀溝151A上拉出的，將半導(dǎo)體晶片152從容器本體上取下。傾斜角在20°以下的話，容易發(fā)生拉出的情況。
由此，優(yōu)選將V字狀溝151A的傾斜角設(shè)定為20°-60°。如此，能夠兼有防止半導(dǎo)體晶片152的向V字狀溝151A的嵌入導(dǎo)致的旋轉(zhuǎn)，和平滑的分離的效果。
如此，在可靠地支持半導(dǎo)體晶片152的同時(shí)，還能夠輕易的進(jìn)行蓋體的裝卸，實(shí)現(xiàn)蓋體的裝卸的自動(dòng)化。
此外，在V字狀溝151A的傾斜角設(shè)定為20°-60°的同時(shí)，優(yōu)選在半導(dǎo)體晶片152的邊緣部和頂接片151的V字狀溝151A的底部之間設(shè)置間隙。此情況下，將半導(dǎo)體晶片152嵌合在V字狀溝151A上時(shí)，使得半導(dǎo)體晶片152的邊緣部和V字狀溝151A的底部相互不發(fā)生接觸的，強(qiáng)力抵壓的安裝半導(dǎo)體晶片152的邊緣部和V字狀溝151A的傾斜面，將半導(dǎo)體晶片152嵌入V字狀溝151A的可靠地支持。而且，上述方法也能夠輕易的裝卸。
(15)上述第2實(shí)施例中，蓋體127的支持用凸條131的中央側(cè)設(shè)置的厚吸收了蓋體127的彎曲，晶片抵壓件121用均等的力支持各半導(dǎo)體晶片120，還可以對(duì)蓋體127自身進(jìn)行改良。
具體而言，平板狀的蓋體127的中央部向容器本體側(cè)凹陷，抵消各半導(dǎo)體晶片120導(dǎo)致的彎曲。換句話說(shuō)，將蓋體127安裝在容器本體上時(shí)，各半導(dǎo)體晶片120，回壓蓋體127的使它的中央部向外側(cè)彎曲，預(yù)先將蓋體127的中央部形成向上述容器本體側(cè)的凹陷來(lái)抵消此彎曲。如此，蓋體127的中央部向外側(cè)彎曲的時(shí)候，此彎曲通過(guò)凹陷的吸收形成平坦的狀態(tài)而抵消，能夠通過(guò)晶片抵壓件用均等的力支持所有各個(gè)半導(dǎo)體晶片120。
該蓋體127的中央部向容器本體側(cè)的凹陷的尺寸，相應(yīng)于半導(dǎo)體晶片120的片數(shù)等引起的不同的發(fā)作用力等等條件進(jìn)行設(shè)定。此外，凹陷的形狀，也可以相應(yīng)于球面狀，橢圓體，非球面狀等的反作用力等導(dǎo)致的變形的狀態(tài)，根據(jù)能夠用抵消它們的均等的力來(lái)支持半導(dǎo)體晶片120的狀態(tài)適當(dāng)?shù)脑O(shè)定。如此，能夠用均等的力支持所有各半導(dǎo)體晶片120，防止振動(dòng)等導(dǎo)致的半導(dǎo)體晶片120的旋轉(zhuǎn)。此外，此情況下，蓋體127的支持用凸條131，設(shè)定為兩端側(cè)和中央側(cè)具有同樣的厚度。而且，蓋體127的彎曲，用蓋體127的中央部的凹陷和支持用凸條131的厚度兩者來(lái)吸收，還可以對(duì)這些蓋體127的中央部的凹陷和支持用凸條131的厚度的兩者進(jìn)行調(diào)整。
還可以使蓋體127的周?chē)脑鰪?qiáng)用凸緣彎曲。換句話說(shuō)，各半導(dǎo)體晶片120產(chǎn)生的反作用力，在蓋體127的周?chē)纬傻脑鰪?qiáng)用凸緣造成的變形，還可以用預(yù)先形成向容器本體側(cè)的彎曲來(lái)抵消該增強(qiáng)用凸緣的變形。
薄板抵壓件頂接于半導(dǎo)體晶片120的支持半導(dǎo)體晶片120的時(shí)候，它的反作用力也使得形成在蓋體周?chē)脑鰪?qiáng)用凸緣也向外側(cè)變形，通過(guò)將此增強(qiáng)用凸緣預(yù)先向容器本體側(cè)的彎曲，來(lái)吸收該向外側(cè)的變形。換句話說(shuō)，預(yù)先彎曲的增強(qiáng)用凸緣相對(duì)于向外側(cè)的變形將其抵消形成直線狀，用均勻的力支持所有各半導(dǎo)體晶片120。增強(qiáng)用凸緣的具體的尺寸，與蓋體127的中央部的場(chǎng)合相同的，適當(dāng)?shù)脑O(shè)置為能夠吸收變形將其抵消的的尺寸和形狀。還可以將增強(qiáng)用凸緣的彎曲的形態(tài)，和上述蓋體127的中央部凹陷的形態(tài)，以及調(diào)整支持用凸條131的厚度的形態(tài)進(jìn)行適當(dāng)?shù)慕M合。
而且，還可以在蓋體127的周?chē)纬傻脑鰪?qiáng)用凸緣上加入增強(qiáng)構(gòu)件的進(jìn)行嵌入(insert)成形。如此，增加了增強(qiáng)用凸緣的強(qiáng)度，能夠抵抗各半導(dǎo)體晶片120的反作用力，用均勻的力支持所有各半導(dǎo)體晶片120。此情況下也是，可以將在增強(qiáng)用凸緣中加入增強(qiáng)構(gòu)件的增強(qiáng)的形態(tài)，和增強(qiáng)用凸緣彎曲的形態(tài)，和上述蓋體127的中央部凹陷的形態(tài)，以及調(diào)整支持用凸條131的厚度的形態(tài)進(jìn)行適當(dāng)?shù)慕M合。
這些情況下，也能獲得和上述各實(shí)施例同樣的作用，效果。
權(quán)利要求
1.一種薄板支持容器用蓋體，將內(nèi)容多片薄板加以搬運(yùn)的薄板支持容器的容器本體塞住的薄板支持容器用蓋體，其特征為具備能輕易對(duì)上述容器本體作固定及固定解除的可裝卸式簡(jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)；該簡(jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)，具備接合構(gòu)件，其能夠伸出而接合于上述容器本體側(cè)；推出構(gòu)件，其能夠跟該接合構(gòu)件連結(jié)而伸出縮入；前端側(cè)凸輪，其在利用上述推出構(gòu)件推出上述接合構(gòu)件時(shí)，將上述接合構(gòu)件的前端側(cè)頂向一邊；以及基端側(cè)凸輪，其在推出上述接合構(gòu)件時(shí)，將上述接合構(gòu)件的基端側(cè)頂向另一邊。
2.如權(quán)利要求1的薄板支持容器用蓋體，其中，上述前端側(cè)凸輪具備將上述接合構(gòu)件前端側(cè)頂向一邊的斜面。
3.如權(quán)利要求1或2的薄板支持容器用蓋體，其中，上述基端側(cè)凸輪具備將上述接合構(gòu)件基端側(cè)頂向另一邊的斜面。
4.如權(quán)利要求1-3的任意一項(xiàng)的薄板支持容器用蓋體，其中，在上述接合構(gòu)件前端側(cè)設(shè)有接合構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)的支點(diǎn)部。
5.如權(quán)利要求1-4的任意1項(xiàng)的薄板支持容器用蓋體，其中，上述簡(jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)，設(shè)為可自由裝卸，同時(shí)其構(gòu)成零件也組裝為可分開(kāi)拆解的。
6.一種薄板支持容器用蓋體，是將內(nèi)部容納有多片薄板加以搬運(yùn)的薄板支持容器的容器本體塞住的薄板支持容器用蓋體，其特征為備有能用來(lái)對(duì)容納于上述容器本體內(nèi)的薄板進(jìn)行支持的薄板抵壓件，該薄板抵壓件具有相互交替配置的支持片。
7.一種薄板支持容器用蓋體，是將內(nèi)部容納有多片薄板加以搬運(yùn)的薄板支持容器的容器本體塞住的薄板支持容器用蓋體，其特征為備有能用來(lái)對(duì)容納于上述容器本體內(nèi)的薄板進(jìn)行支持的薄板抵壓件，其中，上述薄板抵壓件，由具有相互交替配設(shè)的支持片兩個(gè)頂接片，和彈性支持該各頂接片的彈性支持板部所組成，上述彈性支持板部安裝為支持各頂接片之間以及兩側(cè)，同時(shí)，各頂接片之間的彈性支持板部，以稍微浮起的狀態(tài)來(lái)支持各頂接片。
8.一種薄板支持容器用蓋體，是將內(nèi)部容納有多片薄板加以搬運(yùn)的薄板支持容器的容器本體塞住的薄板支持容器用蓋體，其特征為備有蓋體固定件，在安裝于上述容器本體的狀態(tài)下從外側(cè)覆蓋并固定。
9.一種薄板支持容器用蓋體，是將內(nèi)部容納有多片薄板加以搬運(yùn)的薄板支持容器的容器本體塞住的薄板支持容器用蓋體，其特征為備有能用來(lái)對(duì)容納于上述容器本體內(nèi)的薄板進(jìn)行支持的薄板抵壓件，該薄板抵壓件具有多數(shù)并列配設(shè)而分別直接頂接上述多片薄板的頂接片，上述并列的各頂接片，形成為使位于中央側(cè)者比位于其兩側(cè)者，更向上述薄板側(cè)隆起。
10.如權(quán)利要求9的薄板支持容器用蓋體，其中，上述薄板抵壓件，具備固定于蓋體內(nèi)表面?zhèn)鹊幕酥С植恳约坝稍摶酥С植克С侄謩e支持上述各頂接片一端的多個(gè)彈性支持板部，支持著上述各頂接片的各彈性支持板部，形成為使位于中央側(cè)的上述頂接片比位于其兩側(cè)的上述頂接片，更向上述薄板側(cè)隆起。
11.如權(quán)利要求9的薄板支持容器用蓋體，其中，上述薄板抵壓件，具備固定于蓋體內(nèi)面?zhèn)鹊幕酥С植?，由該基端支持部所支持而分別支持上述各頂接片一端的多個(gè)一側(cè)彈性支持板部，以及分別支持上述各頂接片另一端而頂接于上述蓋體內(nèi)面?zhèn)鹊亩鄠€(gè)另一側(cè)彈性支持板部，支持著上述各頂接片的各個(gè)一側(cè)彈性支持板部以及另一側(cè)彈性支持板部其中之一或兩者，形成為使位于中央側(cè)的上述頂接片比位于其兩側(cè)的上述頂接片，更向上述薄板側(cè)隆起。
12.如權(quán)利要求9的薄板支持容器用蓋體，其中，上述薄板抵壓件，具備固定于蓋體內(nèi)面?zhèn)鹊幕酥С植浚稍摶酥С植克С侄謩e支持上述各頂接片一端的多個(gè)一側(cè)彈性支持板部，分別支持上述各頂接片另一端而頂接于上述蓋體內(nèi)面?zhèn)鹊亩鄠€(gè)另一側(cè)彈性支持板部，以及設(shè)于上述蓋體內(nèi)面?zhèn)榷斀佑谏鲜隽硪粋?cè)彈性支持板部以支持該另一側(cè)支持板部的支持用凸條，上述支持用凸條以及另一側(cè)彈性支持板部其中之一或兩者，形成為使位于中央側(cè)的上述頂接片比位于其兩側(cè)的上述頂接片，更向上述薄板側(cè)隆起。
13.如權(quán)利要求9-12的任意1項(xiàng)的薄板支持容器用蓋體，其中，上述頂接片具有傾斜角度為40°～44°的V字形溝槽。
14.一種薄板支持容器用蓋體，將內(nèi)部容納有多片薄板加以搬運(yùn)的薄板支持容器的容器本體塞住的薄板支持容器用蓋體，其特征為備有能用來(lái)對(duì)容納于上述容器本體內(nèi)的薄板進(jìn)行支持的薄板抵壓件，該薄板抵壓件具有兩個(gè)基端支持部，其固定于蓋體內(nèi)面?zhèn)龋豁斀悠?，其沿上述薄板周?chē)吘壟湓O(shè)有多數(shù)個(gè)并直接頂接于該薄板上；兩個(gè)彈性支持板部，分別由上述各基端支持部所支持而能支持上述多個(gè)頂接片當(dāng)中的兩端的頂接片的外側(cè)端；連接支持板部，將上述各頂接片之間互相連接而支持各頂接片；以及支持用構(gòu)件，防止沿該連接支持板部的上述蓋體內(nèi)表面的位移發(fā)生，并容許在上述蓋體內(nèi)面垂直方向上的變動(dòng)。
15.如權(quán)利要求14的薄板支持容器用蓋體，其中，上述支持用構(gòu)件，具備可個(gè)別支持上述各連接支持板部的支持用肋，使其不沿上述蓋體內(nèi)面發(fā)生位移。
16.如權(quán)利要求14的薄板支持容器用蓋體，其中，上述支持用構(gòu)件，具備嵌合突起，用來(lái)嵌合于設(shè)在上述連接支持板部上的嵌合孔，以防止上述連接支持板部沿上述蓋體內(nèi)面發(fā)生位移，并容許其在上述蓋體內(nèi)面垂直方向上的變動(dòng)。
17.如權(quán)利要求14的薄板支持容器用蓋體，其中，上述連接支持板部用以支持上述頂接片的彈性力，比上述彈性支持板部用以支持上述頂接片的彈性力更為強(qiáng)力。
18.一種薄板支持容器用蓋體，將內(nèi)部容納有多片薄板加以搬運(yùn)的薄板支持容器的容器本體塞住的薄板支持容器用蓋體，其特征為備有能用來(lái)對(duì)容納于上述容器本體內(nèi)的薄板進(jìn)行支持的薄板抵壓件，該薄板抵壓件具有，直接的頂接于上述薄板的支持該薄板的頂接片，該頂接片具有，嵌合于上述薄板的邊緣部的V字溝，該V字溝的傾斜角設(shè)定為20°-60°。
19.如權(quán)利要求18的薄板支持容器用蓋體，其中，上述V字溝上，在與上述薄板的邊緣部嵌合的狀態(tài)下該薄板的邊緣部和該V字溝的底部之間具有間隙。
20.一種薄板支持容器用蓋體，將內(nèi)部容納有多片薄板加以搬運(yùn)的薄板支持容器的容器本體塞住的薄板支持容器用蓋體，其特征為備有能用來(lái)對(duì)容納于上述容器本體內(nèi)的薄板進(jìn)行支持的薄板抵壓件，該薄板抵壓件具有，直接的頂接于上述薄板的支持該薄板的頂接片，該頂接片具有，有與上述薄板的邊緣部的邊緣角相同的傾斜角度的V字溝的同時(shí)，在與上述薄板的邊緣部嵌合的狀態(tài)下該薄板的邊緣部和該V字溝的底部之間具有間隙。
21.如權(quán)利要求20的薄板支持容器用蓋體，其中，上述頂接片的V字溝的傾斜角度設(shè)定為44°。
22.一種薄板支持容器用蓋體，將內(nèi)部容納有多片薄板加以搬運(yùn)的薄板支持容器的容器本體塞住的薄板支持容器用蓋體，其特征為備有能用來(lái)對(duì)容納于上述容器本體內(nèi)的薄板進(jìn)行支持的薄板抵壓件，在該薄板抵壓件頂接于上述薄板的支持該薄板的時(shí)候，它的反作用力導(dǎo)致的向外側(cè)變形的中央部，用預(yù)先形成向上述容器本體側(cè)的凹陷的方法抵消此變形。
23.一種薄板支持容器用蓋體，將內(nèi)部容納有多片薄板加以搬運(yùn)的薄板支持容器的容器本體塞住的薄板支持容器用蓋體，其特征為備有能用來(lái)對(duì)容納于上述容器本體內(nèi)的薄板進(jìn)行支持的薄板抵壓件，在該薄板抵壓件頂接于上述薄板的支持該薄板的時(shí)候，它的反作用力導(dǎo)致的向外側(cè)變形的周?chē)脑鰪?qiáng)用凸緣，用預(yù)先形成向上述容器本體側(cè)的彎曲的方法抵消此變形。
24.一種薄板支持容器用蓋體，將內(nèi)部容納有多片薄板加以搬運(yùn)的薄板支持容器的容器本體塞住的薄板支持容器用蓋體，其特征為在周?chē)纬傻脑鰪?qiáng)用凸緣中加入增強(qiáng)構(gòu)件的進(jìn)行嵌入成形。
全文摘要
本發(fā)明將蓋體可靠地固定于容器本體，同時(shí)能輕易進(jìn)行各部的清洗、干燥，抑制震動(dòng)所造成的半導(dǎo)體晶片旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明的生產(chǎn)線用蓋體15可塞住薄板支持容器11的容器本體12。簡(jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)32，可伸出而接合于容器本體側(cè)上的接合構(gòu)件42，連結(jié)于接合構(gòu)件且能伸出縮入的推出構(gòu)件43，在推出構(gòu)件推出接合構(gòu)件時(shí)，將其前端面向一邊頂上的前端側(cè)凸輪40，將基端面向另一邊頂下的基端下側(cè)凸輪39，基端下側(cè)凸輪同樣將基端側(cè)向另一邊頂下的基端上側(cè)凸輪53和頂壓凸輪的突起69。簡(jiǎn)易裝卸機(jī)構(gòu)設(shè)為可自由裝卸且可分開(kāi)拆解，并有支持用肋126和支持用凸條131。
文檔編號(hào)B65D85/57GK1760092SQ20041008564
公開(kāi)日2006年4月19日 申請(qǐng)日期2004年10月14日 優(yōu)先權(quán)日2004年10月14日
發(fā)明者松島千明, 大林忠弘, 小山貴立 申請(qǐng)人:未來(lái)兒株式會(huì)社