專利名稱：搬送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種搬送裝置，沿搬送方向并列地設(shè)置多個搬送機(jī)構(gòu)，設(shè)有控制這些多個搬送機(jī)構(gòu)的運(yùn)轉(zhuǎn)的控制機(jī)構(gòu)，所述搬送機(jī)構(gòu)包括朝向搬送物的下面部送入空氣、以非接觸狀態(tài)支承搬送物的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)；相對于由該送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)支承的前述搬送物來施加搬送方向上的推進(jìn)力的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)。
背景技術(shù)：
上述這種搬運(yùn)裝置通過排列于搬送方向上的多個搬送機(jī)構(gòu)來搬送液晶用的玻璃基板等的搬送物。在各個搬送機(jī)構(gòu)中，相對于由送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)以非接觸狀態(tài)支承的搬送物，利用推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)，例如，通過接觸支承搬送物的兩端部或者搬送物的下端部等的搬送物的一部分并對其施加推進(jìn)力，使搬送物從位于搬送方向的上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)換乘到位于搬送方向的下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)，由此進(jìn)行搬送。
而且，在現(xiàn)有的搬送裝置中，就搬送搬送物時的姿勢而言，例如有以水平姿勢或者近似水平姿勢進(jìn)行搬送的裝置和以豎直姿勢或者近似豎直姿勢搬送的裝置，所以分別進(jìn)行說明。
首先，說明以水平姿勢或者近似水平姿勢搬送搬送物的現(xiàn)有的搬送裝置。送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)，相對于成為水平姿勢或者近似水平姿勢的搬送物，向位于該搬送物的下面部中的兩側(cè)端部之間的中間部分送入空氣。推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)其構(gòu)成為具備驅(qū)動旋轉(zhuǎn)體，其接觸支承成為水平姿勢或者近似水平姿勢的搬送物的兩端部，并對之施加推進(jìn)力。
而且，具備這樣的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)和推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的多個搬送機(jī)構(gòu)以鄰接的狀態(tài)排列于搬送方向上，控制機(jī)構(gòu)根據(jù)運(yùn)轉(zhuǎn)開始的指令等而開始搬送機(jī)構(gòu)的運(yùn)轉(zhuǎn)，由此將水平姿勢或者近似水平姿勢的搬送物換乘到鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)(例如，參照特開2002-321820號公報)。
接著，說明以豎直姿勢或者近似豎直姿勢搬送搬送物的現(xiàn)有的搬送裝置。送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)，相對于成為豎直姿勢或者近似豎直姿勢的搬送物，向位于該搬送物的下面部中的兩側(cè)端部之間的中間部分送入空氣，推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)其構(gòu)成為具備驅(qū)動旋轉(zhuǎn)體，接觸支承變?yōu)樨Q直姿勢或者近似豎直姿勢的搬送物的兩端部，并對其施加推進(jìn)力。
而且，具備這樣的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)和推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的多個搬送機(jī)構(gòu)以鄰接的狀態(tài)排列于搬送方向上，控制機(jī)構(gòu)根據(jù)運(yùn)轉(zhuǎn)開始的指令等而開始搬送機(jī)構(gòu)的運(yùn)轉(zhuǎn)，將豎直姿勢或者近似豎直姿勢的搬送物換乘到鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)(例如，參照特開2002-308423號公報)。
在上述的2個文獻(xiàn)中的搬送裝置中，控制機(jī)構(gòu)只是簡單地根據(jù)開始運(yùn)轉(zhuǎn)的指令等來開始搬送機(jī)構(gòu)的運(yùn)轉(zhuǎn)，所以與其他的搬送機(jī)構(gòu)的狀態(tài)無關(guān)地來控制指定的搬送機(jī)構(gòu)，可能會產(chǎn)生問題。
例如，在現(xiàn)有的搬送裝置中，在鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)不能以非接觸狀態(tài)支承搬送要換乘的搬送物的情況下，也會有開始運(yùn)轉(zhuǎn)位于搬送方向的上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)的危險。因此，可能不會以非接觸狀態(tài)支承并搬送搬送物、由于搬送物與搬送機(jī)構(gòu)等接觸而導(dǎo)致搬送物損傷。
又，在現(xiàn)有的搬送裝置中，控制機(jī)構(gòu)對于作為換乘對象的搬送機(jī)構(gòu)以及比該換乘對象更鄰接于搬送方向的上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)，只是簡單地使送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)和推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)動作，所以在作為換乘對象的搬送機(jī)構(gòu)中，可能不會以非接觸狀態(tài)支承換乘的搬送物、由于搬送物與作為換乘對象的搬送機(jī)構(gòu)等接觸而導(dǎo)致搬送物損傷。即，送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)開始其動作后，向搬送物的下面部送入的空氣的送風(fēng)量不是能馬上以非接觸狀態(tài)支承搬送物的送風(fēng)量，從開始動作到能以非接觸狀態(tài)支承搬送物需要一段時間。
因此，在現(xiàn)有的搬送裝置中，例如，雖然考慮到利用控制機(jī)構(gòu)，對于作為換乘對象的搬送機(jī)構(gòu)，在換乘搬送物的換乘定時中開始送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)的動作，但是在這種情況下，從送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)的開始動作到搬送物換乘為止之間的時間短，所以不能通過送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)以非接觸狀態(tài)來支承搬送物。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明著眼于這些問題而提出，其目的在于提供以其他的搬送機(jī)構(gòu)的搬送狀態(tài)為基礎(chǔ)來控制多個搬送機(jī)構(gòu)中的指定的搬送機(jī)構(gòu)，由此能夠解決上述問題的搬送裝置。
為了達(dá)到該目的，根據(jù)技術(shù)方案1，提供一種搬送裝置，在搬送方向上并列地設(shè)置多個搬送機(jī)構(gòu)、設(shè)有控制這多個搬送機(jī)構(gòu)的運(yùn)轉(zhuǎn)的控制機(jī)構(gòu)，所述搬送機(jī)構(gòu)具備向搬送物的下面部送入空氣、以非接觸狀態(tài)支承搬送物的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)；對于由該送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)支承的前述搬送物施加搬送方向上的推進(jìn)力的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)；前述控制機(jī)構(gòu)基于前述多個搬送機(jī)構(gòu)中的至少一個搬送機(jī)構(gòu)的搬送狀態(tài)，控制前述多個搬送機(jī)構(gòu)中的其他的搬送機(jī)構(gòu)的狀態(tài)地構(gòu)成。根據(jù)這樣的構(gòu)成，可以提供以下搬送裝置對于全部的多個搬送機(jī)構(gòu)并不發(fā)送相同的控制命令、而是基于其他的搬送機(jī)構(gòu)的搬送狀態(tài)來控制指定的搬送機(jī)構(gòu)、可進(jìn)行即時控制，由此能夠避免可能發(fā)生的問題。
根據(jù)技術(shù)方案2，前述一個搬送機(jī)構(gòu)和前述其他的搬送機(jī)構(gòu)分別是鄰接的2個搬送機(jī)構(gòu)的搬送方向的下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)和上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)，前述控制機(jī)構(gòu)在前述下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的情況下，允許前述上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)開始運(yùn)轉(zhuǎn)，在前述下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的情況下，禁止前述上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)開始運(yùn)轉(zhuǎn)。
在這樣的構(gòu)成中，對于不能以非接觸狀態(tài)來支承并搬送搬送物的搬送機(jī)構(gòu)來說，因?yàn)槟芊乐箵Q乘搬送物，所以也可以防止產(chǎn)生鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)不能以非接觸狀態(tài)支承搬送物的情況。
因此，根據(jù)鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)是處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)還是處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，能提供以下搬送裝置只是在鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)能以非接觸狀態(tài)支承搬送物的情況下，能一邊開始運(yùn)轉(zhuǎn)位于搬送方向的上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)，通過鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)以非接觸狀態(tài)支承搬送搬送物，一邊在多個搬送機(jī)構(gòu)之間換乘、搬送搬送物。
根據(jù)技術(shù)方案3，設(shè)置分別對前述多個搬送機(jī)構(gòu)的每一個發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)指令的人為操作式的運(yùn)轉(zhuǎn)指令機(jī)構(gòu)，前述控制機(jī)構(gòu)在前述下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的情況下，通過前述運(yùn)轉(zhuǎn)指令機(jī)構(gòu)對前述上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)的指令，則開始運(yùn)轉(zhuǎn)前述上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)，前述控制機(jī)構(gòu)在前述下游一側(cè)的搬送裝置處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的情況下，即使通過前述運(yùn)轉(zhuǎn)指令機(jī)構(gòu)對前述上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)的指令，也禁止前述上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)開始運(yùn)轉(zhuǎn)。
即，因?yàn)樵O(shè)置分別對前述多個搬送機(jī)構(gòu)的每一個發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)指令的人為操作式的運(yùn)轉(zhuǎn)指令機(jī)構(gòu)，所以能夠通過該運(yùn)轉(zhuǎn)指令機(jī)構(gòu)而僅對搬送機(jī)構(gòu)的一部分發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)的指令，僅僅開始運(yùn)轉(zhuǎn)搬送機(jī)構(gòu)的一部分。
而且，在因?yàn)楣收系榷拱崴臀锿Ｖ乖诙鄠€搬送機(jī)構(gòu)中間的情況下，可以開始運(yùn)轉(zhuǎn)搬送機(jī)構(gòu)的一部分，將停止于中間的搬送物搬送到搬送終端部等可以取出搬送物的地方。
因此，即使搬送物停止于多個搬送機(jī)構(gòu)的中間，也可以只運(yùn)轉(zhuǎn)搬送機(jī)構(gòu)的一部分來除去該搬送物，而且，也可以運(yùn)轉(zhuǎn)搬送機(jī)構(gòu)的一部分或者每一個搬送機(jī)構(gòu)來進(jìn)行維修作業(yè)、提高搬送機(jī)構(gòu)的方便性。
而且，因?yàn)槟芡ㄟ^人為操作式的運(yùn)轉(zhuǎn)指令機(jī)構(gòu)分別對多個搬送機(jī)構(gòu)的每一個發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)的指令，所以存在因?yàn)椴僮髡叩腻e誤而對作為鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的搬送機(jī)構(gòu)發(fā)出錯誤的開始運(yùn)轉(zhuǎn)指令的情況。
即使在這樣的情況下，也如技術(shù)方案1的特征所述，因?yàn)榭刂茩C(jī)構(gòu)對于作為鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的搬送機(jī)構(gòu)，禁止其開始運(yùn)轉(zhuǎn)，所以即使由運(yùn)轉(zhuǎn)指令機(jī)構(gòu)發(fā)出錯誤的開始運(yùn)轉(zhuǎn)指令，也可以防止鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)不能以非接觸狀態(tài)支承搬送物的情況。
因此，也可以一邊提高搬送機(jī)構(gòu)的方便性，一邊通過鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)以非接觸狀態(tài)支承搬送搬送物，在多個搬送機(jī)構(gòu)之間換乘并搬送搬送物。
根據(jù)技術(shù)方案4，前述搬送機(jī)構(gòu)具備檢測在其搬送路徑上是否存在搬送物的載物檢測機(jī)構(gòu)，前述控制機(jī)構(gòu)在前述下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的情況下，若前述上游一側(cè)的搬送裝置的前述載物檢測機(jī)構(gòu)檢測到前述搬送物的存在，則禁止前述上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)開始運(yùn)轉(zhuǎn)。
即，若在搬送路徑上實(shí)際存在搬送物，將其換乘到鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)上，則能夠僅僅對于處在不能通過鄰接于該搬送方向的下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)以非接觸狀態(tài)支承搬送搬送物情況下的搬送機(jī)構(gòu)，禁止其開始運(yùn)轉(zhuǎn)。
因此，檢測在搬送路徑上是否存在搬送物，即使對沒有不能通過鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)以非接觸狀態(tài)支承搬送物之虞的搬送機(jī)構(gòu)來說，也能防止其開始運(yùn)轉(zhuǎn)，能夠可靠地防止不能通過鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)以非接觸狀態(tài)支承搬送物。
根據(jù)技術(shù)方案5，前述一個搬送機(jī)構(gòu)和前述其他的搬送機(jī)構(gòu)分別是鄰接的2個搬送機(jī)構(gòu)的搬送方向的上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)和下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)，前述控制機(jī)構(gòu)控制前述下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)的前述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)，使得在前述上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)中的前述搬送物換乘到前述下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)上的換乘定時之前，能夠通過前述下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)的前述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)以非接觸狀態(tài)支承前述搬送物。
根據(jù)這樣的構(gòu)成，可以延長從換乘對象的搬送機(jī)構(gòu)的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)開始動作到搬送物換乘之間的時間，在此期間，變?yōu)槟芡ㄟ^送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)以非接觸狀態(tài)支承搬送物的狀態(tài)。
根據(jù)技術(shù)方案6，前述控制機(jī)構(gòu)控制前述下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)的前述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)，以使在前述搬送物換乘到前述上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)的上游一側(cè)換乘定時中，變化為能通過前述下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)的前述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)以非接觸狀態(tài)支承搬送物的狀態(tài)，即，因?yàn)榭刂茩C(jī)構(gòu)在上游一側(cè)的換乘定時中，能使送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)開始動作，所以防止能量消耗量的增加，同時在由送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)以非接觸狀態(tài)支承換乘的搬移物的定時中，使送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)開始動作。
加以說明的話，在作為換乘對象的搬送機(jī)構(gòu)中，送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)的開始動作定時比換乘定時越早，使送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)動作的時間就變得越長，導(dǎo)致能量的消耗就越多。相反，在作為換乘對象的搬送機(jī)構(gòu)中，送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)的開始動作定時越接近換乘定時，從送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)的開始動作到換乘搬送物之間的時間就越短，可能會產(chǎn)生不能以非接觸狀態(tài)支承搬送物的問題。
因此，一邊在作為換乘對象的搬送機(jī)構(gòu)中，通過將送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)的開始動作定時設(shè)為上游一側(cè)的換乘定時來防止能量消耗的增大，一邊在送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)能以非接觸狀態(tài)支承換乘的搬送物的定時，使送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)開始動作。
因此，可以一邊通過準(zhǔn)確的定時來使送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)開始動作，節(jié)省能量，一邊通過送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)以非接觸狀態(tài)支承搬送物。
根據(jù)技術(shù)方案7，前述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)通過除塵過濾器向前述搬送物的下面部送入清潔空氣地構(gòu)成，且，自由地變更成將向前述搬送物的下面部送入的清潔的空氣的送風(fēng)量，在作為以非接觸狀態(tài)支承前述搬送物的支承用送風(fēng)量的支承動作狀態(tài)、和作為比前述支承用送風(fēng)量小的小送風(fēng)量的弱風(fēng)狀態(tài)，前述控制機(jī)構(gòu)在前述換乘定時之前將前述下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)的前述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)從作為開始運(yùn)轉(zhuǎn)的狀態(tài)的弱風(fēng)狀態(tài)變更為支承動作狀態(tài)。
即，控制機(jī)構(gòu)通過以微弱動作狀態(tài)使運(yùn)轉(zhuǎn)對象的搬送機(jī)構(gòu)的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)動作，可以用由送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)送入的清潔的空氣來防止灰塵附著于搬送物。
而且，就換乘對象的搬送機(jī)構(gòu)而言，控制機(jī)構(gòu)通過在換乘定時之前將送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)從微弱動作狀態(tài)變更為支承動作狀態(tài)，將從送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)的開始動作到換乘搬送物之間的時間變長，從而能通過送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)以非接觸狀態(tài)支承搬移的搬送物。
因此，能一邊防止灰塵附著于搬送物，一邊在將該搬送物換乘并搬送到換乘對象的搬送機(jī)構(gòu)之際，通過送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)以非接觸狀態(tài)支承搬送物，例如，不僅僅是以非接觸狀態(tài)支承液晶用的玻璃基板等，即使是要求防止灰塵附著的搬送物也能準(zhǔn)確地搬送，所以搬送裝置是有用的。


圖1是第1實(shí)施方式的搬送裝置中省略了一部分的立體圖。
圖2是第1實(shí)施方式的搬送裝置的縱剖正視圖。
圖3是第1實(shí)施方式的搬送裝置的縱剖放大正視圖。
圖4是第1實(shí)施方式的搬送裝置的縱剖側(cè)視圖。
圖5是第1實(shí)施方式的搬送單元的立體圖。
圖6是第1實(shí)施方式的搬送單元的俯視圖。
圖7是表示第1實(shí)施方式的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的搬送裝置的縱剖正視圖。
圖8是表示第1實(shí)施方式的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的主要部分的縱正面剖視圖。
圖9是表示第1實(shí)施方式的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的主要部分的縱剖側(cè)視圖。
圖10是第1實(shí)施方式的搬送裝置的控制框圖。
圖11是第1實(shí)施方式的搬送裝置的概略圖。
圖12是第1實(shí)施方式的手動運(yùn)轉(zhuǎn)的流程圖。
圖13是第2實(shí)施方式的搬送裝置的概略圖。
圖14是第2實(shí)施方式的搬送裝置的流程圖。
圖15是第3實(shí)施方式的搬送裝置中省略了一部分的立體圖。
圖16是第3實(shí)施方式的搬送裝置的部分切口側(cè)視圖。
圖17是其他實(shí)施方式的搬送裝置的流程圖。
具體實(shí)施例方式
基于附圖來說明本發(fā)明的搬送裝置。在以下的實(shí)施方式中，雖然使用玻璃基板作為搬送物的例子，但是不限于此。只要不產(chǎn)生矛盾，就可以組合下述的多個實(shí)施方式的特征，這樣的組合也是本發(fā)明的一部分。
如圖1～圖3以及圖10所示，本搬送裝置搬送液晶用的玻璃基板等的板狀體來作為搬送物，具備多個搬送單元1(搬送機(jī)構(gòu))、作為控制這些多個搬送單元1的運(yùn)轉(zhuǎn)的控制機(jī)構(gòu)的控制部H、以及對該控制部H發(fā)出控制信息指令的人為操作式的指令部S等。
而且，作為搬送機(jī)構(gòu)的各個搬送單元1以水平姿勢或者近似水平姿勢搬送玻璃基板2。
前述搬送單元1如圖1～圖3所示，以沿著玻璃基板2的搬送方向鄰接的狀態(tài)并列設(shè)置，通過使玻璃基板2從位于搬送方向的上游一側(cè)的搬送單元1換乘到位于搬送方向的下游一側(cè)的搬送單元1來搬送玻璃基板2。
又，搬送單元1分為上下2級地并列設(shè)置，就在上側(cè)的搬送單元1和下側(cè)的搬送單元1上的搬送方向而言，不論是相反的方向還是相同的方向都是可以的。例如，在上側(cè)的搬送單元1和下側(cè)的搬送單元1的搬送方向是相反方向的情況下，通過下側(cè)的搬送單元1使由上側(cè)的搬送單元1搬送的玻璃基板2返回，因此可以對玻璃基板2進(jìn)行相同的工序，或?qū)⒉缓玫牟ＡЩ逅突氐皆弧?br> 如圖1～圖4所示，搬送單元1具備向玻璃基板2的下面部送入空氣、以非接觸狀態(tài)支承玻璃基板2的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3；對于由該送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)支承的玻璃基板2施加搬送方向上的推進(jìn)力的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4。
又，搬送單元1如圖11所示，具備作為檢測在搬送路徑上是否存在玻璃基板2的檢測機(jī)構(gòu)的傳感器T。該傳感器T的功能為如果來自投光部的光沒有照射到受光部，則檢測到搬送路徑上存在玻璃基板2；如果從投光部的發(fā)出的光照射到受光部，則檢測到在搬送路徑上不存在玻璃基板2。又，傳感器T也能適當(dāng)?shù)刈兏鋫€數(shù)或者設(shè)置部位，只要能檢測在搬送路徑上是否存在玻璃基板2就可以。
如圖2～圖4所示，前述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3具備除去塵埃的除塵過濾器5、以及經(jīng)過該除塵過濾器5向玻璃基板2的下面部送入清潔的空氣的送風(fēng)風(fēng)扇6。而且，送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3由多個將一個除塵過濾器5和一個送風(fēng)風(fēng)扇6一體組裝而成的風(fēng)扇過濾器單元7構(gòu)成，在這多個風(fēng)扇過濾器單元7的上部設(shè)有進(jìn)行向玻璃基板2的下面部送入的清潔的空氣的風(fēng)向調(diào)整的多孔板狀的調(diào)風(fēng)板8。在殼體上支承有這些除塵過濾器5、送風(fēng)風(fēng)扇6以及調(diào)風(fēng)板8。加以說明的話，如圖5以及圖6所示，在與玻璃基板2的搬送方向垂直的寬度方向的中間部位，以一定的間隔在左右各設(shè)置一個風(fēng)扇過濾器單元7，進(jìn)一步說，在玻璃基板2的搬送方向上也隔開一定的間隔的狀態(tài)下，例如，并列設(shè)有3個，合計(jì)設(shè)有6個風(fēng)扇過濾器單元7。
而且，在一個搬送單元中設(shè)置由6個風(fēng)扇過濾器單元7構(gòu)成的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3，再配置一張調(diào)風(fēng)板8來包覆6個風(fēng)扇過濾器單元7的上方。
又，送風(fēng)風(fēng)扇6如圖2以及圖3所示，吸收比其設(shè)置部位更位于下方一側(cè)的空氣，向位于上方的除塵過濾器5送入該空氣。
這樣，送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3朝向與玻璃基板2的搬送方向垂直的橫向?qū)挾确较虻膬啥瞬恐g的中間部，送入經(jīng)調(diào)風(fēng)板8調(diào)整了風(fēng)向的、通過了除塵過濾器5的清潔空氣，以非接觸狀態(tài)支承玻璃基板2的橫向?qū)挾确较虻闹虚g部分。
在前述搬送單元1中，如圖2以及圖4～圖6所示，在與玻璃基板2的搬送方向垂直的橫向?qū)挾确较虻闹虚g部位以及玻璃基板2的搬送方向的中央一側(cè)的具有間隔的部位上，形成向下方排出清潔空氣的通氣路9。加以說明的話，因?yàn)樵?個風(fēng)扇過濾器單元7之間空有間隙，所以利用該間隙，在風(fēng)扇過濾器單元7的厚度方向上形成相互連通的通氣路9。在調(diào)風(fēng)板8的位于通氣路9的上方的部位上形成有孔部，通氣路9將通過孔部供給的清潔空氣引導(dǎo)至下方一側(cè)，并排入到下方。因此，通過將通氣路9設(shè)置在與玻璃基板2的搬送方向垂直的橫向?qū)挾确较虻闹虚g部位以及玻璃基板2的搬送方向的中央一側(cè)的具有間隔的部位，清潔的空氣就不會滯留于玻璃基板2的橫向?qū)挾确较虻闹虚g部位或者搬送方向的中央一側(cè)，通過通氣路9就會將空氣排入到下方。而且，因?yàn)榍鍧嵉目諝獠粶?，所以玻璃基?不會向上方一側(cè)彎曲、能以水平姿勢或者近似水平姿勢搬送玻璃基板2。
前述推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)3如圖2以及圖7所示，由接觸支承玻璃基板2的橫向?qū)挾确较虻膬啥瞬康尿?qū)動輥14和用于經(jīng)由傳動軸15來驅(qū)動該驅(qū)動輥14的電動馬達(dá)16構(gòu)成。圖7表示的是搬送單元1的縱側(cè)剖視圖，展示了設(shè)置的左右一對的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)3的其中之一的側(cè)面。
加以說明的話，多個驅(qū)動輥14在玻璃基板2的搬送方向上以一定的間隔設(shè)置，傳動軸15在沿搬送方向多根排列的狀態(tài)下由連軸器17連動連結(jié)。設(shè)置電動馬達(dá)16使輸出齒輪16a與傳動軸15具備的直齒輪18a嚙合，傳動軸15通過電動馬達(dá)16的動作來旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。在玻璃基板2的搬送方向上，在對應(yīng)于多個驅(qū)動輥14的配置部位的位置上設(shè)置輸出軸19，如圖8以及圖9所示，在該輸出軸19的一端部上設(shè)有驅(qū)動輥14。驅(qū)動輥14設(shè)置為與輸出軸19一體旋轉(zhuǎn)，在輸出軸19的另一端部上設(shè)有與傳動軸15具備的直齒輪18嚙合的輸入齒輪20。
這樣，就可以通過電動馬達(dá)16的動作來旋轉(zhuǎn)驅(qū)動傳動軸15，通過該傳動軸15的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動來使傳動軸15的直齒輪18與輸入齒輪20嚙合并旋轉(zhuǎn)輸出軸19、從而旋轉(zhuǎn)驅(qū)動輥14。而且，通過電動馬達(dá)16的動作來旋轉(zhuǎn)驅(qū)動輥14，通過該驅(qū)動輥14一邊以非接觸狀態(tài)支承玻璃基板2的橫向?qū)挾确较虻膬啥瞬浚贿厡ΣＡЩ?施加搬送方向上的推進(jìn)力。驅(qū)動輥14的大徑部14a防止玻璃基板2的在橫向?qū)挾确较蛏系奈恢闷啤?br> 前述搬送單元1的框體10如圖3以及圖4所示，由載置支承多個風(fēng)扇過濾器單元7的長方形形狀的單元用框體11和配置于該單元用框體11的兩側(cè)肋的左右一對的收納用框體12構(gòu)成。
前述單元用框體11由配置于底面一側(cè)的平板狀的底面體11a和與該底面體11a的兩端部連結(jié)、朝向上方的側(cè)壁部分11b以及包覆該側(cè)壁部分11b之間的上方的單元用覆蓋體11c構(gòu)成。側(cè)壁部分11b兼為(共用)收納用框體12。
而且，單元用框體11的內(nèi)部空間作為收納由多個風(fēng)扇過濾器單元7構(gòu)成的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3和玻璃基板2的搬送空間A而構(gòu)成，單元用框體11將搬送空間A包覆成密閉狀態(tài)或者近似密閉的狀態(tài)。在底面體11a上，在位于送風(fēng)風(fēng)扇6下方的部位上形成有將外部空氣導(dǎo)入到搬送空間A空氣導(dǎo)入口13。通過送風(fēng)風(fēng)扇6的動作，吸引搬送空間A的空氣，使該吸入的空氣通過除塵過濾器5和調(diào)風(fēng)板8，然后向玻璃基板2的下面部送入清潔的空氣，使搬送空間A內(nèi)部的空氣循環(huán)。通過送風(fēng)風(fēng)扇6的動作，外部空氣從空氣導(dǎo)入口13導(dǎo)入到搬送空間A，加壓搬送空間A，使在搬送空間A內(nèi)的循環(huán)的空氣的一部分從單元用框體11和收納框體12的間隙等排出到外部，由此使在搬送空間A內(nèi)循環(huán)的空氣的一部分與外部空氣進(jìn)行交換。
前述收納用框體12具有從側(cè)面看是コ字狀的收納用框架12a和閉塞該收納用框架12a的側(cè)方的開口部的收納用覆蓋體12b。而且，收納用框體12的內(nèi)部空間作為收納電動馬達(dá)16或者傳動軸15等的驅(qū)動機(jī)構(gòu)的收納空間B而構(gòu)成，收納用框體12將搬送空間B包覆成密閉狀態(tài)或者近似密閉的狀態(tài)地構(gòu)成。在收納空間B中設(shè)置與風(fēng)扇過濾器單元7同樣具備吹風(fēng)功能以及除塵機(jī)構(gòu)的輔助風(fēng)扇過濾器單元(sub-fan-filter unit)21。在玻璃基板2的搬送方向上的配置輔助風(fēng)扇過濾器單元21的部位中，在收納用框架12a的下面部上形成將收納空間B內(nèi)的空氣排出到外部的外部排出口22，在收納用框架12a的側(cè)面部上形成有連通搬送空間A和收納空間B的空氣排出口23。
這樣，通過輔助風(fēng)扇過濾器單元21的動作，搬送空間A的一部分空氣排出到收納空間B，收納空間B內(nèi)的空氣通過輔助風(fēng)扇過濾器單元21的動作而被吸引，然后由輔助風(fēng)扇過濾器21除塵后的空氣經(jīng)過外部排出口22排出到外部。
前述搬送單元1分為上下2級地配置，如圖2所示，上側(cè)的搬送單元1以橫側(cè)部的一端一側(cè)為支點(diǎn)向上方一側(cè)自如地進(jìn)行擺動操作，從而使下側(cè)的搬送單元1的上方開放。加以說明的話，上側(cè)的搬送單元1的框體10可圍繞擺動軸心P自由擺動地鉸接，通過向上方一側(cè)擺動，可以使下側(cè)的搬送單元1的框體10的上方開放。而且，在對下側(cè)的搬送單元1進(jìn)行維修作業(yè)時，擺動操作上側(cè)的搬送單元1之后，在下側(cè)的搬送單元1的框體10中，通過卸下覆蓋體11c可以開放下側(cè)的搬送單元1的搬送空間A。又，在對上側(cè)的搬送單元1進(jìn)行維修作業(yè)時，通過摘下覆蓋體11c可以開放上側(cè)的搬送單元1的搬送空間A。在對搬送單元1的收納空間B進(jìn)行維修作業(yè)時，不管是對于上側(cè)的搬送單元1還是下側(cè)的搬送單元1，通過取下收納用框體12的收納用覆蓋體12b都可以開放收納空間B。
前述控制部H如圖10所示，以指令部S發(fā)出的指令為基礎(chǔ)，控制多個搬送單元1的每一個的開始運(yùn)轉(zhuǎn)以及停止運(yùn)轉(zhuǎn)。具體來說，控制部H通過開始動作電動馬達(dá)16、風(fēng)扇過濾器單元7以及輔助風(fēng)扇過濾器單元21來開始運(yùn)轉(zhuǎn)搬送單元1。相反，控制部H通過停止動作電動馬達(dá)16、風(fēng)扇過濾器單元7以及輔助風(fēng)扇過濾器單元21來停止運(yùn)轉(zhuǎn)搬送單元1?？刂撇縃在搬送單元1處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)時，以非接觸狀態(tài)支承并搬送玻璃基板2。
前述指令部S具備切換自動運(yùn)轉(zhuǎn)和手動運(yùn)轉(zhuǎn)的人為操作式的運(yùn)轉(zhuǎn)切換開關(guān)S1、在手動運(yùn)轉(zhuǎn)時對多個搬送單元1分別發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)以及停止運(yùn)轉(zhuǎn)指令的人為操作式的運(yùn)轉(zhuǎn)指令開關(guān)組S2等。在運(yùn)轉(zhuǎn)指令開關(guān)組S2中，如圖11所示，設(shè)置與在搬送方向上排列的搬送單元1數(shù)目相同的運(yùn)轉(zhuǎn)指令開關(guān)，運(yùn)轉(zhuǎn)指令開關(guān)與搬送單元1是一一對應(yīng)的。
而且，運(yùn)轉(zhuǎn)切換開關(guān)S1一發(fā)出自動運(yùn)轉(zhuǎn)的指令，控制部H就將所有的搬送單元1作為運(yùn)轉(zhuǎn)對象，使電動馬達(dá)16以及輔助風(fēng)扇過濾器單元21動作，并且使送風(fēng)風(fēng)扇6動作，使向玻璃基板2的下面部送入的空氣的送風(fēng)量成為支承用送風(fēng)量。
這樣，在自動運(yùn)轉(zhuǎn)中，運(yùn)轉(zhuǎn)所有的搬送單元1，一邊將玻璃基板2從位于搬送方向的上游一側(cè)的搬送單元1換乘到位于搬送方向的下游一側(cè)的搬送單元1，一邊將玻璃基板2從上游端部搬送到下游端部。
就在自動運(yùn)轉(zhuǎn)中的控制部H的動作而言，它也可以控制多個搬送單元1使只是多個搬送單元1中的一部分同時處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。在控制多個搬送單元1使只是多個搬送單元1中的一部分同時處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的情況下，例如，以傳感器T的檢測信息為基礎(chǔ)，根據(jù)玻璃基板2存在于哪一個搬送單元1的搬送單元1的搬送路徑上，可以選擇開始運(yùn)轉(zhuǎn)的搬送單元1以及停止運(yùn)轉(zhuǎn)的搬送單元1，使得被選擇的搬送單元1開始運(yùn)轉(zhuǎn)以及停止運(yùn)轉(zhuǎn)。
又，運(yùn)轉(zhuǎn)切換開關(guān)S1一發(fā)出手動運(yùn)轉(zhuǎn)的指令，控制部H就只是將由運(yùn)轉(zhuǎn)指令開關(guān)組S2發(fā)出運(yùn)轉(zhuǎn)開始指令的搬送單元1作為運(yùn)轉(zhuǎn)對象，使電動馬達(dá)16、輔助風(fēng)扇過濾器單元21以及送風(fēng)風(fēng)扇6動作地構(gòu)成。這樣，在手動運(yùn)轉(zhuǎn)中，只運(yùn)轉(zhuǎn)由運(yùn)轉(zhuǎn)指令開關(guān)組S2發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)指令的搬送單元1，通過該運(yùn)轉(zhuǎn)的搬送單元1以非接觸狀態(tài)支承并搬送玻璃基板2地構(gòu)成。
而且，控制部H在手動運(yùn)轉(zhuǎn)中，對于由運(yùn)轉(zhuǎn)指令開關(guān)組S2發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)指令的搬送單元1，不是簡單地使其開始運(yùn)轉(zhuǎn)，而是以鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送單元1是否處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)為基礎(chǔ)，只是在能以非接觸狀態(tài)支承并搬送鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送單元1換乘的玻璃基板2的情況下，使該搬送單元1開始運(yùn)轉(zhuǎn)。因此，在該第1實(shí)施方式中，以下游一側(cè)的搬送單元1的搬送狀態(tài)(運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài))為基礎(chǔ)，控制上游一側(cè)的搬送單元1的狀態(tài)。
以下有幾個判斷方法可以判定指定的搬送機(jī)構(gòu)是否處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。例如，在對指定的搬送機(jī)構(gòu)發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)指令的情況下，即，在運(yùn)轉(zhuǎn)開關(guān)接通的情況下，或者，在以其他的方法使控制部H發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)的指令的情況下，能判斷出發(fā)送了開始運(yùn)轉(zhuǎn)信號的搬送機(jī)構(gòu)處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。又，以設(shè)置于送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3和推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)4的傳感器發(fā)出的信號為基礎(chǔ)，也可以判斷搬送機(jī)構(gòu)是否處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)。作為該傳感器，可以使用感知送風(fēng)風(fēng)扇6的旋轉(zhuǎn)的傳感器或者設(shè)置在電動馬達(dá)16附近的旋轉(zhuǎn)傳感器等本領(lǐng)域人員公知的傳感器。
在鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送單元1處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的情況下，運(yùn)轉(zhuǎn)指令開關(guān)組S2一發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)的指令，控制部H就允許上游一側(cè)的搬送單元1開始運(yùn)轉(zhuǎn)。但是，在鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送單元1處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的情況下，運(yùn)轉(zhuǎn)指令開關(guān)組S2即使發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)的指令，控制部H也禁止上游一側(cè)的搬送單元1開始運(yùn)轉(zhuǎn)。
又，控制部H對鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送單元1處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的搬送單元1，不是簡單地禁止其開始運(yùn)轉(zhuǎn)，而是在鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送單元1處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的搬送單元1中，若用傳感器T檢測到玻璃基板2的存在，控制部H就禁止其開始運(yùn)轉(zhuǎn)。具體說明的話，因?yàn)椴淮嬖卩徑佑诎崴头较虻南掠我粋?cè)的搬送單元1，所以運(yùn)轉(zhuǎn)指令開關(guān)組S2一發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)的指令，控制部H就開始無條件地運(yùn)轉(zhuǎn)位于搬送方向的最下游一側(cè)的搬送單元1。
而且，鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送單元1處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，或者，鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送單元1即使處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，只要傳感器T沒有檢測到玻璃基板2的存在，那么運(yùn)轉(zhuǎn)指令開關(guān)組S2一發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)的指令，控制部H就開始運(yùn)轉(zhuǎn)位于搬送方向的最下游一側(cè)的搬送單元1以外的搬送單元1。
又，若鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送單元1處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，且，鄰接的上游一側(cè)的搬送單元1的傳感器T檢測到玻璃基板的存在，則即使由運(yùn)轉(zhuǎn)指令開關(guān)組S2發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)的指令，控制部H也禁止其開始運(yùn)轉(zhuǎn)。
就位于搬送方向的最下游一側(cè)的搬送單元1以外的搬送單元1的開始運(yùn)轉(zhuǎn)以及停止運(yùn)轉(zhuǎn)而言，因?yàn)槿我粋€搬送單元1都進(jìn)行同樣的動作，所以如圖1所示，從排列于搬送方向上的多個搬送單元1中，選取指定的2個，基于流程圖12進(jìn)行說明。在圖11中，將位于搬送方向的上游一側(cè)的搬送單元1作為上游一側(cè)的搬送單元1a，將位于搬送方向的下游一側(cè)的搬送單元1作為下游一側(cè)的搬送單元1b，將運(yùn)轉(zhuǎn)開關(guān)組S2中的對上游一側(cè)的搬送單元1a發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)指令的運(yùn)轉(zhuǎn)指令開關(guān)作為運(yùn)轉(zhuǎn)指令開關(guān)SW1，將運(yùn)轉(zhuǎn)開關(guān)類S2中的對下游一側(cè)的搬送單元1b發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)指令的運(yùn)轉(zhuǎn)指令開關(guān)作為運(yùn)轉(zhuǎn)指令開關(guān)SW2來進(jìn)行說明。
首先，對上游一側(cè)的搬送單元1a來說，運(yùn)轉(zhuǎn)指令開關(guān)SW1一發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)的指令，控制部H就判斷下游一側(cè)的搬送單元1b是否處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，若下游一側(cè)的搬送單元1b處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，則控制部H就開始運(yùn)轉(zhuǎn)上游一側(cè)的搬送單元1a(步驟1～3)。
而且，若下游一側(cè)的搬送單元1b處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，在上游一側(cè)的搬送單元1a中，由傳感器T檢測到玻璃基板2的存在，那么控制部H就禁止上游一側(cè)的搬送單元1a開始運(yùn)轉(zhuǎn)(步驟2、4、5)。
又，即使下游一側(cè)的搬送單元1b處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，若在上游一側(cè)的搬送單元1a中，傳感器T沒有檢測到玻璃基板2的存在，那么控制部H開始運(yùn)轉(zhuǎn)上游一側(cè)的搬送單元1a(步驟2、4、3)。
若在開始運(yùn)轉(zhuǎn)了上游一側(cè)的搬送單元1a的狀態(tài)下，在下游一側(cè)的搬送單元1b中，傳感器T檢測到玻璃基板2的存在，那么前述控制部H就停止運(yùn)轉(zhuǎn)上游一側(cè)的搬送單元1a以及下游一側(cè)的搬送單元1b(步驟6、7)。
接下來說明其他實(shí)施方式的控制部H。在該實(shí)施方式中，除去以下說明的控制部H的動作之外，搬送裝置的自身構(gòu)造與第1實(shí)施方式所記載的構(gòu)造一樣，所以省略與此有關(guān)的詳細(xì)說明。
本實(shí)施方式的前述控制部H也如圖10所示，基于指令部S發(fā)出的指令來控制多個搬送單元1的各自的運(yùn)轉(zhuǎn)?？刂撇縃在搬送單元1處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)時，通過使電動馬達(dá)16、風(fēng)扇過濾器單元7以及輔助風(fēng)扇過濾器單元21動作，以非接觸狀態(tài)來支承并搬送玻璃基板2。
前述風(fēng)扇過濾器單元7其構(gòu)成為可以通過切換風(fēng)扇6的動作狀態(tài)，將向玻璃基板2的下面部送入的清潔的空氣的送風(fēng)量在以非接觸狀態(tài)支承玻璃基板2的支承用送風(fēng)量的支承動作狀態(tài)、與比支承用送風(fēng)量小的小設(shè)定送風(fēng)量的弱風(fēng)狀態(tài)兩者之間進(jìn)行變更。
即，由多個風(fēng)扇過濾器單元7構(gòu)成的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3經(jīng)過除塵過濾器5向玻璃基板2的下面部送入清潔的空氣，且，可以在支承動作狀態(tài)和弱風(fēng)狀態(tài)之間進(jìn)行變更。
控制部H在運(yùn)轉(zhuǎn)多個搬送單元1時，就玻璃基板2換乘的換乘對象的搬送單元1而言，它在玻璃基板2的換乘定時之前，就控制送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3的動作狀態(tài)，以使達(dá)到能由送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3以非接觸狀態(tài)支承玻璃基板2的狀態(tài)。因此，在該第2實(shí)施方式中，基于上游一側(cè)搬送單元1的搬送狀態(tài)來控制下游一側(cè)的搬送單元1的狀態(tài)。在此，為了使玻璃基板2換乘到作為換乘對象的搬送單元1上，將使該搬送單元1的電動馬達(dá)16動作的時刻設(shè)定為換乘定時。
即，控制部H以弱風(fēng)狀態(tài)使送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3動作，就作為換乘對象的搬送單元1而言，在換乘定時之前將送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3從弱風(fēng)狀態(tài)變更為支承動作狀態(tài)。更優(yōu)選地，就作為換乘對象的搬送單元1而言，控制部H將送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3從弱風(fēng)狀態(tài)變更為支承動作狀態(tài)，以使在玻璃基板2換乘到比其換乘對象的搬送單元1更鄰接于搬送方向的上游一側(cè)的搬送單元1上的上游一側(cè)的換乘定時中，可轉(zhuǎn)移到由送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3以非接觸狀態(tài)支承玻璃基板2的狀態(tài)。
檢測使上游一側(cè)的搬送單元1的電動馬達(dá)16動作的時刻來作為上游一側(cè)的換乘定時，以使玻璃基板2換乘到比換乘對象的搬送單元1更鄰接于搬送方向的上游一側(cè)的搬送單元1上。上游一側(cè)的換乘定時通過以下方式設(shè)定基于變更送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3的動作狀態(tài)所需的時間或者玻璃基板2的搬送速度等，通過在上游一側(cè)的換乘定時將送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3從弱風(fēng)狀態(tài)變更為支承動作狀態(tài)，換乘對象的搬送單元1能以非接觸狀態(tài)支承換乘的玻璃基板2。
以下，對由控制部H所進(jìn)行的多個搬送單元1的控制動作中的風(fēng)扇過濾器單元7以及電動馬達(dá)16的動作進(jìn)行具體的說明。
首先，控制部H以弱風(fēng)狀態(tài)使排列于搬送方向上的多個搬送單元1的所有的風(fēng)扇過濾器單元7動作。然后，控制部H對于換乘對象的搬送單元1變更其動作狀態(tài)，使得在換乘定時之前的上游一側(cè)的換乘定時將風(fēng)扇過濾器單元7從弱風(fēng)狀態(tài)切換為支承動作狀態(tài)，并且對于搬送路徑上存在玻璃基板2的搬送單元1和位于該搬送單元1的下游一側(cè)的搬送單元1，使電動馬達(dá)16動作。
這樣，就作為換乘對象的搬送單元1而言，實(shí)際上在玻璃基板2實(shí)際換乘的換乘定時之前的上游一側(cè)的換乘定時，就能夠由送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3以非接觸狀態(tài)支承玻璃基板2，一邊使用送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3以非接觸狀態(tài)支承玻璃基板2，一邊在搬送單元1之間換乘地搬送玻璃基板2。
而且，將上游一側(cè)的換乘定時作為開始動作電動馬達(dá)16的定時，使得玻璃基板2換乘到比換乘對象的搬送單元1更鄰接于搬送方向的上游一側(cè)的搬送單元1上。
又，在最初由指令部S發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)的指令時，控制部H對于位于搬送方向的最上游一側(cè)的搬送單元1以及位于比該搬送單元1更下游一側(cè)的下一個搬送單元1，以支承動作狀態(tài)使風(fēng)扇過濾器單元7動作，且，就其以外的搬送單元1而言，以弱風(fēng)狀態(tài)使風(fēng)扇過濾器單元7動作。
在這樣的動作狀態(tài)中，通過移載裝置，將玻璃基板2裝載到位于搬送方向的最上游一側(cè)的換乘對象的搬送單元的搬送路徑上，將玻璃基板2導(dǎo)入到搬送裝置中。
而且，若導(dǎo)入玻璃基板2，則控制部H基于由載物傳感器T檢測的信息，由于檢測到在位于搬送方向的最上游一側(cè)的搬送單元1的搬送路徑上存在玻璃基板2，對于位于搬送方向的最上游一側(cè)的搬送單元1以及比該搬送單元1更位于下游一側(cè)的下一個搬送單元1，使電動馬達(dá)16動作，將玻璃基板2從位于搬送方向的最上游一側(cè)的搬送單元1換乘到比該搬送單元1的更位于下游一側(cè)的下一個搬送單元1上。
如上所述，通過控制風(fēng)扇過濾器單元7以及電動馬達(dá)16的動作狀態(tài)，一邊以非接觸狀態(tài)支承玻璃基板2并將其從位于搬送方向的上游一側(cè)搬送單元1換乘到位于搬送方向的下游一側(cè)搬送單元1上，一邊以多個搬送單元1將玻璃基板2從搬送裝置的上游端部搬送到下游端部。
在前述多個搬送單元1中，就風(fēng)扇過濾器單元7以及電動馬達(dá)16的動作而言，因?yàn)槿我粋€搬送單元1都進(jìn)行同樣的動作，所以如圖13所示，從排列于搬送方向上的多個搬送單元1中，選取指定的3個，基于流程圖14加以說明。在圖13中，將位于搬送方向的最上游一側(cè)的搬送單元1作為上游一側(cè)的搬送單元1a，將比該上游一側(cè)的搬送單元1a的更位于下游一側(cè)的下一個搬送單元1作為中間的搬送單元1b，將比該中間的搬送單元1b更位于下游一側(cè)的下一個搬送單元1作為下游一側(cè)的搬送單元1c來進(jìn)行說明。
首先，在雖然玻璃基板2存在于上游一側(cè)的搬送單元1a的搬送路徑上，但是玻璃基板2尚未到達(dá)載物傳感器T所在部位的情況下，上游一側(cè)的搬送單元1a的風(fēng)扇過濾器單元7的送風(fēng)風(fēng)扇6處于支承動作狀態(tài)，中間的搬送單元1b和下游一側(cè)的搬送單元1c的送風(fēng)風(fēng)扇6處于弱風(fēng)狀態(tài)。這是前提動作狀態(tài)(步驟1)。
接著，若以上游一側(cè)的搬送單元1a中的載物傳感器T檢測到存在玻璃基板2(步驟2)，則除了上游一側(cè)的搬送單元1a的送風(fēng)風(fēng)扇6之外，也以支承動作狀態(tài)使中間的搬送單元1b的送風(fēng)風(fēng)扇6動作，但是下游一側(cè)的搬送單元1c的送風(fēng)風(fēng)扇6處于弱風(fēng)狀態(tài)。而且，控制部H使在中間的搬送單元1b中的電動馬達(dá)16開始動作，將玻璃基板2從上游一側(cè)的搬送單元1a換乘到中間的搬送單元1b上(步驟3)。通過使在中間的搬送單元1b中的電動馬達(dá)16開始動作，檢測上游一側(cè)的換乘定時，將在作為換乘對象的下游一側(cè)的搬送單元1c中的風(fēng)扇過濾器單元7從弱風(fēng)狀態(tài)變更為支承動作狀態(tài)(步驟4)。從由步驟2中的傳感器T所進(jìn)行的玻璃基板2存在的檢測開始到步驟3的中間的搬送單元1b中的電動馬達(dá)開始動作為止的時間有一定的間隔是可以的，但是在也可以在由載物傳感器T檢測玻璃基板2之際使電動馬達(dá)16開始動作。
其后，若由中間的搬送單元1b中的載物傳感器T檢測到存在玻璃基板2，則控制部H將上游一側(cè)的搬送單元1a中的風(fēng)扇過濾器單元7從支承動作狀態(tài)變更為弱風(fēng)狀態(tài)(步驟5、6)。
就輔助風(fēng)扇過濾器單元21的動作而言，可以在電動馬達(dá)16處于動作狀態(tài)的搬送單元1中，使輔助風(fēng)扇過濾器單元21動作，或者，在所有的搬送單元1中，使輔助風(fēng)扇過濾器單元21動作等，可以適當(dāng)?shù)刈兏?br> 該第3實(shí)施方式表示的是上述第1及第2實(shí)施方式中搬送的搬送物的姿勢的其他的實(shí)施方式，以下，以這一點(diǎn)為中心，基于附圖加以說明。就其他的構(gòu)成而言，因?yàn)榕c上述的第1實(shí)施方式相同，所以省略其詳細(xì)的說明，使用相同的符號等即可。
豎直姿勢用搬送單元24如圖15以及圖16所示，沿玻璃基板2的搬送方向多個排列地設(shè)置，以近似豎直的姿勢來搬送作為搬送物的玻璃基板2，作為搬送機(jī)構(gòu)而起作用地構(gòu)成。
而且，豎直姿勢用搬送單元24具備以近似豎直姿勢設(shè)置的豎直姿勢用送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)25和以近似豎直姿勢設(shè)置的豎直姿勢用推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)26。
順便說一下，在該第3實(shí)施方式中，因?yàn)橐越曝Q直姿勢來搬送玻璃基板2，所以存在豎直姿勢用搬送單元24的一側(cè)成為玻璃基板2的下面部。
前述豎直姿勢用送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)26向以近似豎直姿勢被搬送玻璃基板2的下面部供給清潔的空氣，以非接觸狀態(tài)支承玻璃基板2地構(gòu)成。
順便說一下，該豎直姿勢用送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)26與上述的第1實(shí)施方式中的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3相同，由將除塵過濾器5和送風(fēng)風(fēng)扇6一體化組裝而成的風(fēng)扇過濾器單元7a構(gòu)成，該風(fēng)扇過濾器單元7a將上下排列的2個送風(fēng)風(fēng)扇6和1個除塵過濾器5一體化組裝。
又，也設(shè)有調(diào)整來自風(fēng)扇過濾器單元7a的清潔空氣的風(fēng)向的調(diào)風(fēng)板8。
而且，豎直姿勢用推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)26具備一邊接觸支承玻璃基板2的一端部一邊施加推進(jìn)力的同步皮帶27，對玻璃基板2施加搬送方向上的推進(jìn)力地構(gòu)成。
若加以說明，則豎直姿勢用推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)26其構(gòu)成為包括位于搬送下方一側(cè)、通過電動式馬達(dá)28而旋轉(zhuǎn)的主動輪29、位于搬送上方一側(cè)的旋轉(zhuǎn)自如的從動輪30、卷繞于這些主動輪29和從動輪30上的同步皮帶27。
而且，內(nèi)支承輪31從內(nèi)周面一側(cè)支承同步皮帶27的進(jìn)給路徑部分，外支承輪32從外周面一側(cè)支承同步皮帶27的返回路徑部分。
又，設(shè)置將搬送空間C包覆成密閉狀態(tài)或者近似密閉狀態(tài)的搬送盒34，其中豎直姿勢用送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)26和玻璃基板2的搬送路徑收納于搬送空間C。
又，就豎直姿勢用送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)26而言，也與上述第1實(shí)施方式一樣，風(fēng)扇過濾器單元7a可以在將向玻璃基板2的下面部送入的清潔的空氣的送風(fēng)量作為支承用送風(fēng)量的支承動作狀態(tài)、和將向玻璃基板2的下面部送入的清潔的空氣的送風(fēng)量作為小設(shè)定送風(fēng)量的弱風(fēng)狀態(tài)兩者之間進(jìn)行變更。
前述控制部H與上述第1實(shí)施方式同樣地，可以基于來自指令部S的指令，控制多個豎直姿勢用搬送單元24的各自的運(yùn)轉(zhuǎn)開始以及運(yùn)轉(zhuǎn)停止，進(jìn)行自動運(yùn)轉(zhuǎn)以及手動運(yùn)轉(zhuǎn)。而且，控制部H在豎直姿勢用搬送單元24處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)時，通過使電動式馬達(dá)28以及風(fēng)扇過濾器單元7a動作，能夠以非接觸狀態(tài)支承并搬送玻璃基板2地構(gòu)成。
又，控制部H與上述第1實(shí)施方式同樣地，在手動運(yùn)轉(zhuǎn)中，對于由運(yùn)轉(zhuǎn)指令開關(guān)類S2發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)指令的豎直姿勢用搬送單元24，不是簡單地使其開始運(yùn)轉(zhuǎn)，而是根據(jù)鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的豎直姿勢用搬送單元24是否處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，只在能以非接觸狀態(tài)支承搬送鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的豎直姿勢用搬送單元24換乘的玻璃基板2的情況下，使豎直姿勢用搬送單元24開始運(yùn)轉(zhuǎn)。
在這種情況下，對于作為鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的豎直姿勢用搬送單元24處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的豎直姿勢用搬送單元24，控制部H允許其開始運(yùn)轉(zhuǎn)，對于作為鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的豎直姿勢用搬送單元24處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的豎直姿勢用搬送單元24，控制部H禁止其開始運(yùn)轉(zhuǎn)。
而且，對于作為鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的豎直姿勢用搬送單元24處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的豎直姿勢用搬送單元24，若由運(yùn)轉(zhuǎn)指令開關(guān)類S2發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)的指令，則控制部H就開始其運(yùn)轉(zhuǎn)，對于作為鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的豎直姿勢用搬送單元24處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的豎直姿勢用搬送單元24，即使由運(yùn)轉(zhuǎn)指令開關(guān)類S2發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)的指令，控制部H也禁止其開始運(yùn)轉(zhuǎn)。
又，控制部H也可以與上述的第2實(shí)施方式同樣地構(gòu)成，對作為鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的豎直姿勢用搬送單元24處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的豎直姿勢用搬送單元24，不是簡單地禁止其開始運(yùn)轉(zhuǎn)，而是在作為鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的豎直姿勢用搬送單元24處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的豎直姿勢用搬送單元24中，若由載物傳感器T檢測到玻璃基板2的存在，則控制部H禁止其開始運(yùn)轉(zhuǎn)。
而且，控制部H在使多個豎直姿勢用搬送單元24運(yùn)轉(zhuǎn)之際，就運(yùn)轉(zhuǎn)對象的豎直姿勢用搬送單元24而言，以弱風(fēng)狀態(tài)使豎直姿勢用送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)26動作，且，就換乘對象的豎直姿勢用搬送單元24而言，在換乘定時之前的上游一側(cè)的換乘定時中，將豎直姿勢用送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)26從弱風(fēng)狀態(tài)變更為支承動作狀態(tài)地構(gòu)成。
在該第3實(shí)施方式中，因?yàn)闆]有設(shè)置輔助風(fēng)扇過濾器單元21，所以在作為控制框圖的圖10中省略輔助風(fēng)扇過濾器單元21，將電動馬達(dá)16變更為電動式馬達(dá)28。
(1)在上述的第1實(shí)施方式以及第3實(shí)施方式中，控制部H僅僅在手動運(yùn)轉(zhuǎn)中，對于作為鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送單元1(在第3實(shí)施方式中是豎直姿勢用搬送單元24)處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的搬送單元1，允許其開始運(yùn)轉(zhuǎn)，對于作為鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送單元1處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的搬送單元1，禁止其開始運(yùn)轉(zhuǎn)。但是，也可以在手動運(yùn)轉(zhuǎn)和自動運(yùn)轉(zhuǎn)這兩方面中，或者只在自動運(yùn)轉(zhuǎn)中，實(shí)施以下動作對于作為鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送單元1處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的搬送單元1，允許其開始運(yùn)轉(zhuǎn)，對于作為鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送單元1處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的搬送單元1，禁止其開始運(yùn)轉(zhuǎn)。
(2)在上述的第1實(shí)施方式以及第3實(shí)施方式中，對于作為鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送單元1(在第3實(shí)施方式中是豎直姿勢用搬送單元24)處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的搬送單元1，若傳感器T檢測到玻璃基板2的存在，則控制部H禁止其開始運(yùn)轉(zhuǎn)，但是，對于作為鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送單元1處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的所有的搬送單元1，不管傳感器T是否檢測到玻璃基板2的存在，都可能使控制部H禁止其開始運(yùn)轉(zhuǎn)。在這種情況下，設(shè)置傳感器T與否均可。
(3)在上述的第2實(shí)施方式以及第3實(shí)施方式中，在換乘定時之前的上游一側(cè)的換乘定時中，控制部H將風(fēng)扇過濾器單元7、7a從弱風(fēng)狀態(tài)變更為支承動作狀態(tài)，但對于換乘對象的搬送單元1以及豎直姿勢用搬送單元24，將風(fēng)扇過濾器單元7、7a從弱風(fēng)狀態(tài)變更為支承動作狀態(tài)的定時只要在換乘定時之前即可，例如，可以在上游一側(cè)的換乘定時之前。不管哪種情況，上游一側(cè)的換乘定時考慮到變更送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3的動作狀態(tài)所需時間或者玻璃基板2的搬送速度，為了能使換乘對象的搬送單元1以非接觸狀態(tài)支承換乘的玻璃基板2，優(yōu)選地給予充分的時間。
(4)在上述的第2實(shí)施方式以及第3實(shí)施方式中，控制部H以弱風(fēng)狀態(tài)使送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3以及豎直姿勢用送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)26動作，且，對于換乘對象的搬送單元1以及豎直姿勢用搬送單元24，可以在換乘定時之前，將送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3以及豎直姿勢用送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)26從弱風(fēng)狀態(tài)變更為支承動作狀態(tài)，但是，例如，對于運(yùn)轉(zhuǎn)對象的搬送單元1以及豎直姿勢用搬送單元24，控制部H將送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3以及豎直姿勢用送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)26維持在停止動作的狀態(tài)，且，對于換乘對象的搬送單元1以及豎直姿勢用搬送單元24，在換乘定時之前，可以使送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3以及豎直姿勢用送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)26開始動作，從而變?yōu)橹С袆幼鳡顟B(tài)。
還有，在這種情況下，也可以只以支承動作狀態(tài)來使送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)3以及豎直姿勢用送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)26動作，不在弱風(fēng)狀態(tài)與支承動作狀態(tài)之間變更。
(5)在上述的第2實(shí)施方式以及第3實(shí)施方式中，通過使電動馬達(dá)16動作來檢測上游一側(cè)的換乘定時，以使玻璃基板2換乘到比換乘對象的搬送單元1更鄰接于搬送方向的上游一側(cè)的搬送單元1上，但也可以例如設(shè)置傳感器等，該傳感器可以檢測玻璃基板2換乘到比換乘對象的搬送單元1更鄰接于搬送方向的上游一側(cè)的搬送單元1上，通過該傳感器檢測玻璃基板2的換乘來檢測上游一側(cè)的換乘定時。圖17表示的是比圖14所示流程圖更普遍的流程圖。
(6)在上述的第2實(shí)施方式以及第3實(shí)施方式中，運(yùn)轉(zhuǎn)對象為所有的搬送單元1，但是，例如，也可以將其搬送路徑上存在玻璃基板2的搬送單元1和比該搬送單元更鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送單元1中的2個作為運(yùn)轉(zhuǎn)對象的搬送單元，即，可以將多個搬送單元1的一部分作為運(yùn)轉(zhuǎn)對象的搬送單元，關(guān)于怎樣設(shè)定作為運(yùn)轉(zhuǎn)對象的搬送單元可以適當(dāng)?shù)淖兏?br> (7)在上述的第1實(shí)施方式中，在收納用框架12a的側(cè)面部上形成連通搬送空間A和收納空間B的空氣排出口23，但是也可以不形成空氣排出口23，即不連通搬送空間A和收納空間B地構(gòu)成并實(shí)施。
(8)在上述的第1實(shí)施方式以及第3實(shí)施方式中，列舉了將除塵過濾器5和送風(fēng)風(fēng)扇6一體化組裝而成的風(fēng)扇過濾器單元7、7a的例子，但是不一定非得將除塵過濾器5和送風(fēng)風(fēng)扇6一體化組裝，例如，也可以設(shè)置將由送風(fēng)風(fēng)扇6送入的空氣導(dǎo)引到除塵過濾器5中的導(dǎo)向通路等，分體地構(gòu)成除塵過濾器5和送風(fēng)風(fēng)扇6。
(9)在上述的第1實(shí)施方式以及第3實(shí)施方式中，雖然列舉了以玻璃基板2作為搬送物的例子，但是搬送物也可以是板狀體或者圓盤狀體等各種物體。
(10)可以使用旋轉(zhuǎn)式球形旋鈕或者觸摸式面板取代開關(guān)，作為發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)指令的人為操作式的運(yùn)轉(zhuǎn)指令機(jī)構(gòu)。
權(quán)利要求
1.一種搬送裝置，在搬送方向上并列地設(shè)置多個搬送機(jī)構(gòu)、設(shè)有控制這些多個搬送機(jī)構(gòu)的運(yùn)轉(zhuǎn)的控制機(jī)構(gòu)，所述搬送機(jī)構(gòu)具備向搬送物的下面部送入空氣、以非接觸狀態(tài)支承搬送物的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)；對于由該送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)支承的前述搬送物施加搬送方向上的推進(jìn)力的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)；其特征是，前述控制機(jī)構(gòu)其構(gòu)成為基于前述多個搬送機(jī)構(gòu)中的至少一個搬送機(jī)構(gòu)的搬送狀態(tài)，控制前述多個搬送機(jī)構(gòu)中的其他的搬送機(jī)構(gòu)的狀態(tài)。
2.如權(quán)利要求1所述的搬送裝置，其特征是，前述一個搬送機(jī)構(gòu)和前述其他的搬送機(jī)構(gòu)分別是鄰接的2個搬送機(jī)構(gòu)的搬送方向的下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)和上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)，前述控制機(jī)構(gòu)在前述下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的情況下，允許前述上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)開始運(yùn)轉(zhuǎn)，在前述下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的情況下，禁止前述上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)開始運(yùn)轉(zhuǎn)。
3.如權(quán)利要求2所述的搬送裝置，其特征是，設(shè)置分別對前述多個搬送機(jī)構(gòu)的每一個發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)的指令的人為操作式的運(yùn)轉(zhuǎn)指令機(jī)構(gòu)，前述控制機(jī)構(gòu)在前述下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的情況下，通過前述運(yùn)轉(zhuǎn)指令機(jī)構(gòu)對前述上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)的指令，則開始運(yùn)轉(zhuǎn)前述上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)，在前述下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的情況下，即使通過前述運(yùn)轉(zhuǎn)指令機(jī)構(gòu)對前述上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)發(fā)出開始運(yùn)轉(zhuǎn)的指令，也禁止前述上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)開始運(yùn)轉(zhuǎn)。
4.如權(quán)利要求2或3所述的搬送裝置，其特征是，前述搬送機(jī)構(gòu)具備檢測在其搬送路徑上是否存在前述搬送物的載物檢測機(jī)構(gòu)，前述控制機(jī)構(gòu)在前述下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的情況下，若前述上游一側(cè)的搬送裝置的前述載物檢測機(jī)構(gòu)檢測到前述搬送物的存在，則禁止前述上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)開始運(yùn)轉(zhuǎn)。
5.如權(quán)利要求1所述的搬送裝置，其特征是，前述一個搬送機(jī)構(gòu)和前述其他搬送機(jī)構(gòu)分別是鄰接的2個搬送機(jī)構(gòu)的搬送方向的上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)和下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)，前述控制機(jī)構(gòu)控制前述下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)的前述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)的動作狀態(tài)，使得在前述上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)中的前述搬送物換乘到前述下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)的換乘定時之前，能夠通過前述下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)的前述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)，以非接觸狀態(tài)支承前述搬送物。
6.如權(quán)利要求5所述的搬送裝置，其特征是，前述控制機(jī)構(gòu)控制前述下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)的前述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)的動作狀態(tài)，以使在前述搬送物換乘到前述上游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)的上游一側(cè)的換乘定時中，變化為能通過前述下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)的前述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)來非接觸狀態(tài)支承搬送物的狀態(tài)。
7.如權(quán)利要求5所述的搬送裝置，其特征是，前述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)通過除塵過濾器向前述搬送物的下面部送入清潔的空氣地構(gòu)成，且，自由地變更成將向前述搬送物的下面部送入的清潔空氣的送風(fēng)量作為以非接觸狀態(tài)支承前述搬送物的支承用送風(fēng)量的支承動作狀態(tài)、和作為比前述支承用送風(fēng)量小的小送風(fēng)量的弱風(fēng)狀態(tài)，前述控制機(jī)構(gòu)在前述換乘定時之前將前述下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)的前述送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)從作為開始運(yùn)轉(zhuǎn)的狀態(tài)即弱風(fēng)狀態(tài)變化為支承動作狀態(tài)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能基于其它的搬送機(jī)構(gòu)的搬送狀態(tài)來控制多個搬送機(jī)構(gòu)中的一個搬送機(jī)構(gòu)的搬送裝置。在搬送方向上排列設(shè)置具備向搬送物(2)的下面部送入空氣、以非接觸狀態(tài)支承搬送物(2)的送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)，以及對由該送風(fēng)式支承機(jī)構(gòu)支承的搬送物施加搬送方向上的推進(jìn)力的推進(jìn)力施加機(jī)構(gòu)的搬送機(jī)構(gòu)(1)，并設(shè)有控制這多個搬送機(jī)構(gòu)(1)的運(yùn)轉(zhuǎn)的控制機(jī)構(gòu)(H)的搬送裝置中，控制機(jī)構(gòu)(H)對于作為鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)(1)處于運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的搬送機(jī)構(gòu)(1)，允許其開始運(yùn)轉(zhuǎn)，對于作為鄰接于搬送方向的下游一側(cè)的搬送機(jī)構(gòu)(1)處于非運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)的搬送機(jī)構(gòu)(1)，禁止其開始運(yùn)轉(zhuǎn)。
文檔編號B65G51/03GK1576200SQ200410058750
公開日2005年2月9日 申請日期2004年7月28日 優(yōu)先權(quán)日2003年7月29日
發(fā)明者池畑淑照, 大野隆佳, 森本雄一 申請人:株式會社大福