熱剝離型粘合片的制作方法
【專利摘要】提供一種加熱剝離型的粘合片即熱剝離型粘合片，其具備化學(xué)溶液難以浸入的粘合劑層。本發(fā)明的熱剝離型粘合片依次具備第一粘合劑層、基材、以及第二粘合劑層，該第一粘合劑層包含丙烯酸類粘合劑和熱膨脹性微球，所述丙烯酸類粘合劑含有(甲基)丙烯酸類聚合物，該(甲基)丙烯酸類聚合物包含：源自具有碳數(shù)為2以上的烷基的(甲基)丙烯酸烷基酯的結(jié)構(gòu)單元、以及源自具有OH基的(甲基)丙烯酸類單體的結(jié)構(gòu)單元，該(甲基)丙烯酸類聚合物中，側(cè)鏈烷基的碳(C)與OH基的摩爾比(C/OH)為40～150。
【專利說明】
熱剝離型粘合片
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明涉及熱剝離型粘合片。
【背景技術(shù)】
[0002] -直以來，制造電子裝置所具備的基板時(shí)，為了進(jìn)行保護(hù)而在基板材料上粘貼粘 合片（例如專利文獻(xiàn)1)。例如，對(duì)作為基板材料的銅箱進(jìn)行蝕刻時(shí)，為了防止蝕刻液附著于 銅箱的非處理面，而在銅箱上粘貼粘合片。另外，用氫氟酸等酸對(duì)玻璃基板進(jìn)行表面研磨 時(shí)，也在非處理面上粘貼粘合片。對(duì)于這種用途的粘合片而言，化學(xué)溶液浸入至粘合片的粘 合劑層、粘合劑層與其它層的界面等時(shí)，已侵入的化學(xué)溶液在化學(xué)溶液處理后的后續(xù)工序 中成為排氣的主要原因、或者成為粘合劑層中的添加材料發(fā)生變質(zhì)的主要原因。例如，如專 利文獻(xiàn)1中也記載的那樣，包含為了表現(xiàn)出再剝離性而添加的熱膨脹性微球(發(fā)泡劑）的粘 合劑層產(chǎn)生如下問題:該發(fā)泡劑因酸性或堿性的化學(xué)溶液而發(fā)生化學(xué)變質(zhì)，導(dǎo)致發(fā)泡功能 消失。
[0003] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004] 專利文獻(xiàn)
[0005] 專利文獻(xiàn)1:日本特開2001-019915號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 發(fā)明要解決的問題
[0007] 本發(fā)明是為了解決上述現(xiàn)有問題而做出的，其主要目的在于提供具備化學(xué)溶液難 以浸入的粘合劑層的加熱剝離型粘合片(熱剝離型粘合片）。
[0008] 用于解決問題的方案
[0009] 本發(fā)明的熱剝離型粘合片依次具備第一粘合劑層、基材、以及第二粘合劑層，該第 一粘合劑層包含丙烯酸類粘合劑和熱膨脹性微球，所述丙烯酸類粘合劑含有（甲基)丙烯酸 類聚合物，該（甲基)丙烯酸類聚合物包含:源自具有碳數(shù)為2以上的烷基的（甲基)丙烯酸烷 基酯的結(jié)構(gòu)單元、以及源自具有0H基的（甲基)丙烯酸類單體的結(jié)構(gòu)單元，該（甲基)丙烯酸 類聚合物中，側(cè)鏈烷基的碳(C)與0H基的摩爾比(C/0H)為40~150。
[0010] 在一個(gè)實(shí)施方式中，上述第二粘合劑層包含上述熱膨脹性微球。
[0011] 在一個(gè)實(shí)施方式中，上述第一粘合劑層和/或第二粘合劑層的輪廓算術(shù)平均偏差 粗糙度Ra為lMi以下。
[0012]在一個(gè)實(shí)施方式中，水對(duì)于上述第一粘合劑層和/或第二粘合劑層的接觸角為85° ~115。。
[0013] 在一個(gè)實(shí)施方式中，上述第一粘合劑層包含增粘劑，相對(duì)于該第一粘合劑層100重 量份，該增粘劑的含有比例為40重量份以下。
[0014] 在一個(gè)實(shí)施方式中，上述第二粘合劑層包含增粘劑，相對(duì)于該第二粘合劑層100重 量份，該增粘劑的含有比例為40重量份以下。
[0015]在一個(gè)實(shí)施方式中，上述第一粘合劑層和/或第二粘合劑層的凝膠率為50%以上。 [0016]在一個(gè)實(shí)施方式中，將上述第一粘合劑層側(cè)粘貼于聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯薄膜時(shí) 在23°C下的粘合力為lN/20mm以上。
[0017] 根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)方式，提供電子部件。該電子部件使用上述熱剝離型粘合片 來制造。
[0018] 發(fā)明的效果
[0019] 本發(fā)明中，通過形成包含（甲基)丙烯酸類聚合物作為基礎(chǔ)聚合物的粘合劑層，所 述（甲基)丙烯酸類聚合物包含:源自具有碳數(shù)為2以上的烷基的（甲基)丙烯酸烷基酯的結(jié) 構(gòu)單元、以及源自具有0H基的（甲基)丙烯酸類單體的結(jié)構(gòu)單元，并將該（甲基)丙烯酸類聚 合物中的側(cè)鏈烷基的碳(C)與0H基的摩爾比（C/0H)設(shè)為特定范圍，從而能夠提供具備化學(xué) 溶液難以浸入且粘合力優(yōu)異的粘合劑層的熱剝離型粘合片。另外，本發(fā)明的粘合片具備包 含熱膨脹性微球的粘合劑層，因此通過加熱而表現(xiàn)出優(yōu)異的剝離性。進(jìn)而，本發(fā)明中，由于 化學(xué)溶液難以浸入至上述粘合劑層，因此，能夠提供即使在暴露于酸性或堿性化學(xué)溶液之 類的用途(例如蝕刻時(shí)的保護(hù)用途）中也高度地兼顧粘合性和剝離性而不損害熱膨脹性微 球的功能的熱剝離型粘合片。
【附圖說明】
[0020] 圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的熱剝離型粘合片的截面示意圖。
[0021] 圖2是本發(fā)明的另一實(shí)施方式的熱剝離型粘合片的截面示意圖。
[0022] 附圖標(biāo)記說明
[0023] 10 第一粘合劑層
[0024] 20 基材
[0025] 30 第二粘合劑層
[0026] 40 彈性層
[0027] 1〇〇、200 熱剝離型粘合片
【具體實(shí)施方式】
[0028] A.熱剝離型粘合片的整體構(gòu)成
[0029] 圖1是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的熱剝離型粘合片的截面示意圖。熱剝離型粘合片 100依次具備第一粘合劑層10、基材20、以及第二粘合劑層30。第一粘合劑層10包含熱膨脹 性微球。熱膨脹性微球通過加熱而膨脹或發(fā)泡，因此，包含該熱膨脹性微球的粘合劑層通過 加熱而粘合力降低。本發(fā)明的熱剝離型粘合片通過具備含熱膨脹性微球的粘合劑層，從而 即使在兩面均粘貼有被粘物的情況下，也可以通過加熱而容易剝離該被粘物，能夠防止該 被粘物的破損。需要說明的是，也可以被包含在第二粘合劑層中。
[0030]圖2是本發(fā)明的另一實(shí)施方式的熱剝離型粘合片的截面示意圖。該熱剝離型粘合 片200還具備彈性層40。彈性層40可以與第一粘合劑層10或第二粘合劑層30鄰接地設(shè)置。優(yōu) 選的是，彈性層40與包含熱膨脹性微球的粘合劑層鄰接地設(shè)置。在一個(gè)實(shí)施方式中，如圖示 例那樣，將彈性層40設(shè)置在第一粘合劑層10與基材20之間。通過具備彈性層，對(duì)于具有凹凸 面的被粘物的追隨性提高。另外，若將彈性層與包含熱膨脹性微球的粘合劑層鄰接地設(shè)置， 則在剝離時(shí)經(jīng)加熱時(shí)的粘合劑層的面方向的變形(膨脹)受到抑制，優(yōu)先發(fā)生厚度方向的變 形。其結(jié)果，剝離性提高。
[0031]雖未圖示，但本發(fā)明的熱剝離型粘合片出于在截止至供于使用為止的期間內(nèi)保護(hù) 粘合面的目的，可以在粘合劑層的外側(cè)設(shè)置剝離內(nèi)襯。
[0032]將本發(fā)明的熱剝離型粘合片的第一粘合劑層側(cè)粘貼于聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯 (PET)薄膜時(shí)在23°C下的粘合力優(yōu)選為lN/20mm以上、更優(yōu)選為3N/20mm~20N/20mm、進(jìn)一步 優(yōu)選為4N/20mm~10N/20mm。若為這種范圍，則能夠獲得作為臨時(shí)保護(hù)用粘合片而有用的熱 剝離型粘合片。本說明書中，粘合力是指利用基于JIS Z 0237:2000的方法測(cè)定的粘合力。 具體的測(cè)定方法見后述。需要說明的是，本發(fā)明的熱剝離型粘合片是通過加熱而粘合力降 低的粘合片，上述"23°C下的粘合力"是指使粘合力降低之前的粘合力。
[0033] B.第一粘合劑層
[0034]上述第一粘合劑層包含丙烯酸類粘合劑I和熱膨脹性微球，所述丙烯酸類粘合劑I 包含作為基礎(chǔ)聚合物的（甲基)丙烯酸類聚合物。
[0035] B-1.丙烯酸類粘合劑I
[0036]〈（甲基)丙烯酸類聚合物〉
[0037]作為上述丙烯酸類粘合劑I中包含的（甲基）丙烯酸類聚合物，可以使用以具有碳 數(shù)為2以上的烷基的（甲基)丙烯酸烷基酯(a)和具有0H基的（甲基)丙烯酸類單體(b)作為單 體成分而得到的聚合物。
[0038]作為上述（甲基)丙烯酸烷基酯(a)的具體例，可列舉出（甲基)丙烯酸乙酯、（甲基） 丙烯酸丙酯、（甲基)丙烯酸異丙酯、（甲基）丙烯酸丁酯、（甲基）丙烯酸異丁酯、（甲基）丙烯 酸仲丁酯、（甲基）丙烯酸叔丁酯、（甲基）丙烯酸戊酯、（甲基）丙烯酸己酯、（甲基）丙烯酸庚 酯、（甲基）丙烯酸辛酯、（甲基)丙烯酸2-乙基己酯、（甲基）丙烯酸異辛酯、（甲基)丙烯酸壬 酯、（甲基）丙烯酸異壬酯、（甲基)丙烯酸癸酯、（甲基）丙烯酸異癸酯、（甲基）丙烯酸十一烷 基酯、（甲基)丙烯酸十二烷基酯、（甲基)丙烯酸十三烷基酯、（甲基)丙烯酸十四烷基酯、（甲 基）丙烯酸十五烷基酯、（甲基）丙烯酸十六烷基酯、（甲基）丙烯酸十七烷基酯、（甲基）丙烯 酸十八烷基酯、（甲基)丙烯酸十九烷基酯、（甲基)丙烯酸二十烷基酯等。（甲基)丙烯酸烷基 酯(a)可以單獨(dú)使用或者組合使用2種以上。
[0039] 如上所述，上述（甲基)丙烯酸烷基酯(a)所具有的烷基的碳數(shù)為2以上、優(yōu)選為4以 上、更優(yōu)選為4~20、進(jìn)一步優(yōu)選為6~18。通過使用具有這種烷基的（甲基）丙烯酸烷基酯 (a)，能夠形成化學(xué)溶液(例如，酸性或堿性的化學(xué)溶液)難以浸入的粘合劑層。
[0040] 作為具有0H基的（甲基)丙烯酸類單體(b)的具體例，可列舉出（甲基）丙烯酸羥基 乙酯、（甲基）丙烯酸羥基丙酯、（甲基）丙烯酸羥基丁酯、（甲基）丙烯酸羥基己酯、（甲基）丙 烯酸羥基辛酯、（甲基)丙烯酸羥基癸酯、（甲基)丙烯酸羥基月桂酯、甲基丙烯酸(4-羥基甲 基環(huán)己基）甲酯等。作為（甲基)丙烯酸類單體(b)，也可以使用丙烯酸、甲基丙烯酸、丙烯酸 羧基乙酯、丙烯酸羧基戊酯、衣康酸、馬來酸、富馬酸、巴豆酸等含羧基的（甲基)丙烯酸類單 體。（甲基)丙烯酸類單體(b)可以單獨(dú)使用或者組合使用2種以上。
[0041] 出于內(nèi)聚力、耐熱性、交聯(lián)性等改性的目的，上述丙烯酸類粘合劑I中包含的（甲 基）丙烯酸類聚合物根據(jù)需要可以包含對(duì)應(yīng)于能夠與上述（甲基）丙烯酸烷基酯(a)和/或 (甲基)丙烯酸類單體(b)共聚的其它單體的結(jié)構(gòu)單元。作為這種單體，可列舉出例如（甲基） 丙烯酸甲酯；馬來酸酐、衣康酸酐等酸酐單體;苯乙烯磺酸、烯丙基磺酸、2-(甲基）丙烯酰 胺-2-甲基丙磺酸、（甲基)丙烯酰胺丙磺酸、（甲基)丙烯酸磺基丙酯、（甲基)丙烯酰氧基萘 磺酸等含磺酸基的單體；（甲基)丙烯酰胺、N，N-二甲基（甲基)丙烯酰胺、N-丁基（甲基)丙烯 酰胺、N-羥甲基（甲基）丙烯酰胺、N-羥甲基丙烷（甲基）丙烯酰胺等(N-取代）酰胺系單體； (甲基）丙烯酸氨基乙酯、（甲基）丙烯酸N，N-二甲基氨基乙酯、（甲基）丙烯酸叔丁基氨基乙 酯等（甲基）丙烯酸氨基烷基酯系單體；（甲基）丙烯酸甲氧基乙酯、（甲基)丙烯酸乙氧基乙 酯等（甲基)丙烯酸烷氧基烷基酯系單體;N-環(huán)己基馬來酰亞胺、N-異丙基馬來酰亞胺、N-月 桂基馬來酰亞胺、N-苯基馬來酰亞胺等馬來酰亞胺系單體;N-甲基衣康酰亞胺、N-乙基衣康 酰亞胺、N-丁基衣康酰亞胺、N-辛基衣康酰亞胺、N-2-乙基己基衣康酰亞胺、N-環(huán)己基衣康 酰亞胺、N-月桂基衣康酰亞胺等衣康酰亞胺系單體;N-(甲基）丙烯酰氧基亞甲基琥珀酰亞 胺、N-(甲基)丙烯酰基-6-氧基六亞甲基琥珀酰亞胺、N-(甲基）丙烯?；?8-氧基八亞甲基 琥珀酰亞胺等琥珀酰亞胺系單體;醋酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、N-乙烯基吡咯烷酮、甲基乙烯 基吡咯烷酮、乙烯基吡啶、乙烯基哌啶酮、乙烯基嘧啶、乙烯基哌嗪、乙烯基吡嗪、乙烯基吡 咯、乙烯基咪唑、乙烯基噁唑、乙烯基嗎啉、N-乙烯基羧酸酰胺類、苯乙烯、α-甲基苯乙烯、N-乙烯基己內(nèi)酰胺等乙烯基系單體;丙烯腈、甲基丙烯腈等氰基丙烯酸酯單體；（甲基)丙烯酸 縮水甘油酯等含環(huán)氧基的丙烯酸類單體；（甲基)丙烯酸聚乙二醇酯、（甲基)丙烯酸聚丙二 醇酯、（甲基）丙烯酸甲氧基乙二醇酯、（甲基）丙烯酸甲氧基聚丙二醇酯等二醇系丙烯酸酯 單體；（甲基)丙烯酸四氫糠酯、氟代（甲基)丙烯酸酯、有機(jī)硅（甲基)丙烯酸酯等具有雜環(huán)、 鹵素原子、硅原子等的丙烯酸酯系單體;己二醇二（甲基)丙烯酸酯、（聚）乙二醇二（甲基)丙 烯酸酯、（聚)丙二醇二（甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二（甲基)丙烯酸酯、季戊四醇二（甲基)丙 烯酸酯、三羥甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯、季戊四醇三（甲基）丙烯酸酯、二季戊四醇六（甲 基）丙烯酸酯、環(huán)氧丙烯酸酯、聚酯丙烯酸酯、氨基甲酸酯丙烯酸酯等多官能單體；異戊二 烯、丁二烯、異丁烯等烯烴系單體；乙烯基醚等乙烯基醚系單體等。這些單體成分可以單獨(dú) 使用或者組合使用2種以上。
[0042] 上述丙烯酸類粘合劑I中包含的（甲基)丙烯酸類聚合物是利用任意的適當(dāng)聚合方 法將具有碳數(shù)為2以上的烷基的（甲基)丙烯酸烷基酯(a)、具有0Η基的（甲基)丙烯酸類單體 (b)、以及根據(jù)需要使用的其它單體(c)聚合而得到的。這樣操作而得到的（甲基)丙烯酸類 聚合物包含:源自具有碳數(shù)為2以上(優(yōu)選為4以上、更優(yōu)選為4~20、進(jìn)一步優(yōu)選為6~18)的 烷基的（甲基)丙烯酸烷基酯的結(jié)構(gòu)單元A、以及源自具有0H基的（甲基)丙烯酸類單體的結(jié) 構(gòu)單元B。即，上述（甲基)丙烯酸類聚合物包含:側(cè)鏈具有碳數(shù)為2以上的烷基的結(jié)構(gòu)單元A、 以及具有0H基的結(jié)構(gòu)單元B。
[0043] 相對(duì)于丙稀酸類粘合劑I中的固體成分100重量份，包含結(jié)構(gòu)單元A和結(jié)構(gòu)單元B的 (甲基）丙烯酸類聚合物的含有比例優(yōu)選為50重量份~100重量份，更優(yōu)選為60重量份~98 重量份，進(jìn)一步優(yōu)選為65重量份~90重量份。
[0044] 相對(duì)于上述（甲基）丙烯酸類聚合物100重量份，源自具有碳數(shù)為2以上的烷基的 (甲基)丙烯酸烷基酯的結(jié)構(gòu)單元A的含有比例優(yōu)選為70重量份~98重量份，更優(yōu)選為80重 量份~95重量份，進(jìn)一步優(yōu)選為85重量份~95重量份。
[0045] 相對(duì)于上述（甲基）丙烯酸類聚合物100重量份，源自具有0H基的（甲基）丙烯酸類 單體的結(jié)構(gòu)單元B的含有比例優(yōu)選為1重量份~30重量份，更優(yōu)選為2重量份~20重量份，進(jìn) 一步優(yōu)選為3重量份~10重量份。
[0046]上述丙烯酸類粘合劑I所包含的（甲基)丙烯酸類聚合物中，側(cè)鏈烷基的碳(C)與0H 基的摩爾比（C/0H)優(yōu)選為40~150、更優(yōu)選為42~120、進(jìn)一步優(yōu)選為50~100、特別優(yōu)選為 55~80、最優(yōu)選為55~75。需要說明的是，上述摩爾比（C/0H)可以由用于形成具有側(cè)鏈烷基 的結(jié)構(gòu)單元的單體（即，（甲基）丙烯酸烷基酯（a)、任意使用的（甲基）丙烯酸甲酯）的配混 量、分子量和側(cè)鏈烷基的數(shù)量、以及具有0H基的（甲基)丙稀酸類單體(b)的配混量、分子量 和0H基數(shù)量來求出。例如，作為用于形成具有側(cè)鏈烷基的結(jié)構(gòu)單元的單體而使用單體 ai、單 體&2和單體a3,且作為（甲基)丙烯酸類單體(b)而使用單體h、單體匕時(shí)，上述摩爾比(C/0H) 可利用下述式（1)求出。
[0047][數(shù)學(xué)式1]
[0048] {(單體ai中的烷基數(shù)量）X (單體ai的配混量(g))/(單體ai的分子量)}
[0049] +{(單體a2中的烷基數(shù)量）X (單體a2的配混量(g))/(單體a2的分子量)}
[0050] +{(單體a3中的烷基數(shù)量）X (單體a3的配混量(g))/(單體a3的分子量)}
[0051] /{(單體b沖的羥基數(shù)量）X(單體匕的配混量(g))/(單體匕的分子量)}
[0052] +{(單體b2中的羥基數(shù)量）X(單體出的配混量(g))/(單體出的分子量）} ·，·（1)
[0053]本發(fā)明中，通過使作為基礎(chǔ)聚合物的（甲基)丙烯酸類聚合物中含有規(guī)定量的碳數(shù) 為2以上的烷基，能夠降低粘合劑層的極性、防止化學(xué)溶液(例如，酸性或堿性的化學(xué)溶液） 的浸入。另一方面，粘合劑層的極性過低時(shí)，無法獲得充分的粘合力，但本發(fā)明中，通過使上 述（甲基)丙烯酸類聚合物進(jìn)一步包含0Η基、且使側(cè)鏈烷基的碳(C)與0Η基的摩爾比(C/0H) 為上述范圍，能夠維持粘合性且防止化學(xué)溶液浸入至粘合劑層。具備通過含有規(guī)定量的0Η 基而能夠表現(xiàn)出優(yōu)異粘合性的上述粘合劑層的本發(fā)明的熱剝離型粘合片還能夠有效地防 止化學(xué)溶液侵入至該粘合片與被粘物的界面。若防止化學(xué)溶液侵入，則能夠抑制粘合劑的 劣化，因此能夠維持優(yōu)異的粘合性。另外，由于能夠抑制粘合劑層中的熱膨脹性微球因化學(xué) 溶液而變質(zhì)，因此，即使在酸性或堿性的化學(xué)溶液中使用時(shí)，也不會(huì)損害熱剝離性。進(jìn)而，由 上述（甲基)丙烯酸類聚合物構(gòu)成的粘合劑不易損害熱膨脹性微球的膨脹或發(fā)泡。起到這些 效果的上述熱剝離型粘合片可適合地用作蝕刻處理工序等使用酸性或堿性化學(xué)溶液的工 序中的保護(hù)片。
[0054]上述（甲基）丙烯酸類聚合物的重均分子量(利用凝膠滲透色譜法(溶劑:THF)，使 用標(biāo)準(zhǔn)聚苯乙烯的標(biāo)準(zhǔn)曲線測(cè)定的值）以聚苯乙烯換算優(yōu)選為10萬~300萬、更優(yōu)選為20萬 ~250萬、進(jìn)一步優(yōu)選為30萬~200萬。
[0055] 〈添加劑〉
[0056] 上述丙烯酸類粘合劑I根據(jù)需要可以包含任意的適當(dāng)添加劑。作為該添加劑，可列 舉出例如交聯(lián)劑、增粘劑、增塑劑（例如，苯偏三酸酯系增塑劑、苯均四酸酯系增塑劑）、顏 料、染料、填充劑、防老劑、導(dǎo)電材料、抗靜電劑、紫外線吸收劑、光穩(wěn)定劑、剝離調(diào)節(jié)劑、軟化 劑、表面活性劑、阻燃劑、抗氧化劑等。
[0057] 作為上述增粘劑，可以使用任意的適當(dāng)增粘劑。作為增粘劑，可以使用例如增粘樹 月旨。作為增粘樹脂的具體例，可列舉出松香系增粘樹脂(例如，未改性松香、改性松香、松香 酚系樹脂、松香酯系樹脂等）、萜烯系增粘樹脂(例如，萜烯系樹脂、萜烯酚系樹脂、苯乙烯改 性萜烯系樹脂、芳香族改性萜烯系樹脂、氫化萜烯系樹脂）、烴系增粘樹脂(例如，脂肪族系 烴樹脂、脂肪族系環(huán)狀烴樹脂、芳香族系烴樹脂(例如，苯乙烯系樹脂、二甲苯系樹脂等）、脂 肪族?芳香族系石油樹脂、脂肪族/脂環(huán)族系石油樹脂、氫化烴樹脂、香豆酮系樹脂、香豆酮 茚系樹脂等）、酚系增粘樹脂(例如，烷基酚系樹脂、二甲苯甲醛系樹脂、甲階酚醛樹脂、酚醛 清漆等）、酮系增粘樹脂、聚酰胺系增粘樹脂、環(huán)氧系增粘樹脂、彈性體系增粘樹脂等。其中， 優(yōu)選為松香系增粘樹脂、萜烯系增粘樹脂或烴系增粘樹脂(苯乙烯系樹脂等）。增粘劑可以 單獨(dú)使用或者組合使用2種以上。
[0058]上述增粘劑可以使用市售品。作為市售品的增粘劑的具體例，可列舉出YASUHARA CHEMICAL C0.，LTD·制造的商品名 "YS POLYSTAR S145"、"Mighty Ace K140"、荒川化學(xué)株 式會(huì)社制造的商品名"TAMAN0L 901"等砲稀酸樹脂；Sumitomo Bakelite Company Limited 制造的商品名"SUMILITERESIN PR-12603"、荒川化學(xué)株式會(huì)社制造的商品名"TAMANOL 361"等松香酚樹脂;荒川化學(xué)株式會(huì)社制造的商品名"TAMANOL 1010R"、"TAMANOL 200N"等 烷基酚樹脂;荒川化學(xué)株式會(huì)社制造的商品名"ARKON P-140"等脂環(huán)族系飽和烴樹脂等。 [0059]上述增粘劑的添加量相對(duì)于粘合劑層100重量份優(yōu)選為40重量份以下、更優(yōu)選為 30重量份以下、進(jìn)一步優(yōu)選為25重量份以下、進(jìn)一步優(yōu)選為15重量份~25重量份。為這種范 圍時(shí)，能夠形成粘合力和凹凸追隨性優(yōu)異的粘合劑層。若形成凹凸追隨性優(yōu)異的粘合劑層， 則顯著防止化學(xué)溶液侵入至粘合劑層與被粘物之間。
[0060] 上述增粘劑的羥值優(yōu)選為10mgK0H/g以上、更優(yōu)選為40mgK0H/g~400mgK0H/g。若 為這種范圍，則兼顧粘合性和防止化學(xué)溶液的侵入，本發(fā)明的效果變得顯著。
[0061] 作為上述交聯(lián)劑，可列舉出例如異氰酸酯系交聯(lián)劑、環(huán)氧系交聯(lián)劑、三聚氰胺系交 聯(lián)劑、過氧化物系交聯(lián)劑、以及脲系交聯(lián)劑、金屬醇鹽系交聯(lián)劑、金屬螯合物系交聯(lián)劑、金屬 鹽系交聯(lián)劑、碳二亞胺系交聯(lián)劑、噁唑啉系交聯(lián)劑、氮丙啶系交聯(lián)劑、胺系交聯(lián)劑等。其中， 優(yōu)選為異氰酸酯系交聯(lián)劑或環(huán)氧系交聯(lián)劑。
[0062] 作為上述異氰酸酯系交聯(lián)劑的具體例，可列舉出亞丁基二異氰酸酯、六亞甲基二 異氰酸酯等低級(jí)脂肪族多異氰酸酯類;亞環(huán)戊基二異氰酸酯、亞環(huán)己基二異氰酸酯、異佛爾 酮二異氰酸酯等脂環(huán)族異氰酸酯類;2，4-甲苯二異氰酸酯、4，4 二苯基甲烷二異氰酸酯、 苯二亞甲基二異氰酸酯等芳香族異氰酸酯類;三羥甲基丙烷/甲苯二異氰酸酯三聚體加成 物（日本聚氨酯工業(yè)株式會(huì)社制造、商品名"CORONATE L"）、三羥甲基丙烷/六亞甲基二異氰 酸酯三聚體加成物（日本聚氨酯工業(yè)株式會(huì)社制造、商品名"CORONATE HL"）、六亞甲基二異 氰酸酯的異氰脲酸酯體（日本聚氨酯工業(yè)株式會(huì)社制造、商品名"CORONATE HX"）等異氰酸 酯加成物等。異氰酸酯系交聯(lián)劑的含量可以根據(jù)期望的粘合力設(shè)定為任意的適當(dāng)量，相對(duì) 于丙烯酸類粘合劑I中的基礎(chǔ)聚合物（即，（甲基)丙烯酸類聚合物）1〇〇重量份，代表性地為 0.1重量份~20重量份、更優(yōu)選為0.5重量份~10重量份。
[0063]作為前述環(huán)氧系交聯(lián)劑，可列舉出例如N，N，N'，N'_四縮水甘油基間苯二甲胺、二 縮水甘油基苯胺、1，3_雙(N，N-縮水甘油基氨基甲基)環(huán)己烷(三菱瓦斯化學(xué)株式會(huì)社制造、 商品名"TETRAD C"）、1,6-己二醇二縮水甘油醚（共榮社化學(xué)株式會(huì)社制造、商品名 "Epolight 1600"）、新戊二醇二縮水甘油醚(共榮社化學(xué)株式會(huì)社制造、商品名"Epolight 1500NP"）、乙二醇二縮水甘油醚(共榮社化學(xué)株式會(huì)社制造、商品名"Epolight 40E"）、丙二 醇二縮水甘油醚(共榮社化學(xué)株式會(huì)社制造、商品名"Epolight 70P"）、聚乙二醇二縮水甘 油醚（日本油脂株式會(huì)社制造、商品名"EPI0L E-400"）、聚丙二醇二縮水甘油醚（日本油脂 株式會(huì)社制造、商品名"EPIOL P-200"）、山梨糖醇多縮水甘油醚（Nagase ChemteX Corporation制造、商品名 "Denacol EX-611"）、甘油多縮水甘油釀（Nagase ChemteX Corporation制造、商品名"Denacol EX-314"）、季戊四醇多縮水甘油醚、聚甘油多縮水甘油 釀(Nagase ChemteX Corporation制造、商品名"Denacol EX-512"）、山梨糖醇酐多縮水甘 油醚、三羥甲基丙烷多縮水甘油醚、己二酸二縮水甘油酯、鄰苯二甲酸二縮水甘油酯、三縮 水甘油基-三(2-羥乙基)異氰脲酸酯、間苯二酚二縮水甘油醚、雙酚S-二縮水甘油醚、分子 內(nèi)具有2個(gè)以上環(huán)氧基的環(huán)氧系樹脂等。環(huán)氧系交聯(lián)劑的含量可根據(jù)期望的粘合力而設(shè)定 為任意的適當(dāng)量，相對(duì)于基礎(chǔ)聚合物100重量份，代表性地為0.01重量份~10重量份、更優(yōu) 選為0.03重量份~5重量份。
[0064] B-2.熱膨脹性微球
[0065] 熱膨脹性微球是指通過加熱而能夠膨脹或發(fā)泡的微球。具備包含該熱膨脹性微球 的粘合劑層的熱剝離型粘合片通過加熱而在貼合面產(chǎn)生凹凸，從而粘合力降低，因此在需 要粘合力時(shí)具有充分的粘合力、且需要?jiǎng)冸x時(shí)的剝離性優(yōu)異。如上所述，本發(fā)明中，即使暴 露于酸性或堿性的化學(xué)溶液，熱膨脹性微球也不易變質(zhì)，能夠充分地表現(xiàn)出作為熱膨脹性 微球的上述功能。
[0066] 上述熱膨脹性微球的含有比例可以根據(jù)期望的粘合力降低性等來適當(dāng)設(shè)定。相對(duì) 于丙烯酸類粘合劑I中的上述（甲基)丙烯酸類聚合物1〇〇重量份，熱膨脹性微球的含有比例 例如為1重量份~150重量份、優(yōu)選為10重量份~130重量份、進(jìn)一步優(yōu)選為25重量份~100 重量份。
[0067] 作為上述熱膨脹性微球，可以使用任意的適當(dāng)熱膨脹性微球。作為上述熱膨脹性 微球，例如可以使用使通過加熱而容易膨脹的物質(zhì)內(nèi)含在具有彈性的殼內(nèi)而得到的微球。 這種熱膨脹性微球可以利用任意的適當(dāng)方法、例如凝聚法、界面聚合法等來制造。
[0068]作為通過加熱而容易膨脹的物質(zhì)，可列舉出例如丙烷、丙烯、丁烯、正丁烷、異丁 烷、異戊烷、新戊烷、正戊烷、正己烷、異己烷、庚烷、辛烷、石油醚、甲烷的鹵化物、四烷基硅 烷等低沸點(diǎn)液體;通過熱解而氣化的偶氮二甲酰胺等。
[0069] 作為構(gòu)成上述殼的物質(zhì)，可列舉出例如由下述單體構(gòu)成的聚合物，所述單體為:丙 烯腈、甲基丙烯腈、氯丙烯腈、乙氧基丙烯腈、富馬腈等腈單體;丙烯酸、甲基丙烯酸、衣 康酸、馬來酸、富馬酸、檸康酸等羧酸單體;偏二氯乙烯;醋酸乙烯酯；（甲基）丙烯酸甲酯、 (甲基)丙烯酸乙酯、（甲基)丙烯酸正丁酯、（甲基)丙烯酸異丁酯、（甲基)丙烯酸叔丁酯、（甲 基）丙烯酸異冰片酯、（甲基）丙烯酸環(huán)己酯、（甲基)丙烯酸芐酯、丙烯酸-β_羧基乙酯等（甲 基)丙烯酸酯;苯乙烯、α_甲基苯乙烯、氯苯乙烯等苯乙烯單體;丙烯酰胺、取代丙烯酰胺、甲 基丙烯酰胺、取代甲基丙烯酰胺等酰胺單體等。由這些單體構(gòu)成的聚合物可以是均聚物，也 可以是共聚物。作為該共聚物，可列舉出例如偏二氯乙烯-甲基丙烯酸甲酯-丙烯腈共聚物、 甲基丙烯酸甲酯-丙烯腈-甲基丙烯腈共聚物、甲基丙烯酸甲酯-丙烯腈共聚物、丙烯腈-甲 基丙烯腈-衣康酸共聚物等。
[0070] 作為上述熱膨脹性微球，可以使用無機(jī)系發(fā)泡劑或有機(jī)系發(fā)泡劑。作為無機(jī)系發(fā) 泡劑，可列舉出例如碳酸銨、碳酸氫銨、碳酸氫鈉、亞硝酸銨、硼氫化鈉、各種疊氮化物類等。 另外，作為有機(jī)系發(fā)泡劑，可列舉出例如三氯單氟甲烷、二氯單氟甲烷等氯氟化烷烴系化合 物；偶氮二異丁腈、偶氮二甲酰胺、偶氮二甲酸鋇等偶氮系化合物；對(duì)甲苯磺酰肼、二苯基 砜-3，3'_二磺酰肼、4,4'_氧代雙苯磺酰肼、烯丙基雙磺酰肼等肼系化合物;對(duì)甲苯磺?；?氨基脲、4，4 氧代雙(苯磺?；被?等氨基脲系化合物;5-嗎啉基-1，2，3，4-硫代三唑 等三唑系化合物;Ν，Ν'-二亞硝基五亞甲基四胺、Ν，Ν'-二甲基-N，N'_二亞硝基對(duì)苯二甲酰 胺等N-亞硝基系化合物等。
[0071]上述熱膨脹性微球可以使用市售品。作為市售品的熱膨脹性微球的具體例，可列 舉出松本油脂制藥株式會(huì)社制造的商品名"Matsumoto Microsphere"（等級(jí):F-30、F_30D、 F-36D、F-36LV、F-50、F-50D、F-65、F-65D、FN-100SS、FN-100SSD、FN-180SS、FN-180SSD、F-190D、F-260D、F-2800D)、Japan Fillite Co.，Ltd.制造的商品名 "Expancel"（等級(jí)：053-40、031-40、920-40、909-80、930-120)、吳羽化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造的"04正(^1"（等級(jí) ： H750、H850、H1100、S2320D、S2640D、M330、M430、M520)、積水化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造的 "ADVANCELL"（等級(jí)：EML101、EMH204、EHM301、EHM302、EHM303、EM304、EHM401、EM403、EM501) 等。
[0072] 上述熱膨脹性微球的加熱前的粒徑優(yōu)選為0.5μηι~80μηι、更優(yōu)選為5μηι~45μηι、進(jìn) 一步優(yōu)選為1〇_~20μηι、特別優(yōu)選為ΙΟμπι~15μηι。因此，以平均粒徑來描述上述熱膨脹性微 球的加熱前的顆粒尺寸時(shí)，優(yōu)選為6μηι~45μηι、更優(yōu)選為15μηι~35μηι。上述粒徑和平均粒徑 是利用激光散射法中的粒度分布測(cè)定法求出的值。
[0073] 上述熱膨脹性微球優(yōu)選具有直至體積膨脹率達(dá)到優(yōu)選5倍以上、更優(yōu)選7倍以上、 進(jìn)一步優(yōu)選10倍以上為止均不會(huì)破裂的適當(dāng)強(qiáng)度。使用這種熱膨脹性微球時(shí)，能夠通過加 熱處理而有效地降低粘合力。
[0074] Β-3.第一粘合劑層的特性等
[0075] 上述第一粘合劑層的厚度優(yōu)選為Ιμπι~100μπι、更優(yōu)選為5μηι~80μηι、特別優(yōu)選為10 μπι~50μπι。如上所述，第一粘合劑層是包含熱膨脹性微球的層。因此，第一粘合劑層的厚度 是指:觀察第一粘合劑層的厚度方向截面時(shí)的、第一粘合劑層的外側(cè)面(與基材相反一側(cè)的 表面)至最接近基材的熱膨脹性微球的最內(nèi)側(cè)端部為止的距離。
[0076]上述第一粘合劑層的厚度與該第一粘合劑層中包含的熱膨脹性微球的平均粒徑 之差(厚度-平均粒徑)優(yōu)選為8μηι以上、更優(yōu)選為ΙΟμπι以上、進(jìn)一步優(yōu)選為15μηι以上、特別優(yōu) 選為20μπι以上、最優(yōu)選為25μπι~100μπι。若為這種范圍，則第一粘合劑層具有適當(dāng)?shù)谋砻娲?糙度，能夠獲得化學(xué)溶液難以浸入至第一粘合劑層與被粘物的界面的熱剝離型粘合片。 [0077]上述第一粘合劑層在25°C下利用納米壓痕法測(cè)得的彈性模量?jī)?yōu)選為O.OIMPa~ 50MPa、更優(yōu)選為0.1 MPa~lOMPa、特別優(yōu)選為0.5MPa~5MPa。粘合劑層的彈性模量為上述范 圍時(shí)，能夠獲得粘合性、切斷性和高低差追隨性優(yōu)異的熱剝離型粘合片。利用納米壓痕法測(cè) 得的彈性模量是指:遍及負(fù)載時(shí)、卸載時(shí)地連續(xù)測(cè)定將壓頭壓入試樣時(shí)對(duì)壓頭的負(fù)載載荷 和壓入深度，由所得負(fù)載載荷-壓入深度曲線求出的彈性模量。本說明書中，利用納米壓痕 法測(cè)得的彈性模量是指:將測(cè)定條件設(shè)為載荷：lmN、負(fù)載/卸載速度:0. lmN/s、保持時(shí)間： Is，并如上所述進(jìn)行測(cè)定而得到的彈性模量。
[0078]上述第一粘合劑層的彈性模量可通過該粘合劑層中的構(gòu)成粘合劑的基礎(chǔ)聚合物 的組成等來調(diào)整。另外，也可向第一粘合劑層中添加添加劑來調(diào)整彈性模量。例如，若使第 一粘合劑層中含有微珠，則能夠提高該粘合劑層的彈性模量。作為微珠，可列舉出例如玻璃 微珠、樹脂微珠等。微珠的平均粒徑例如為O.Olym~50μπι。微珠的添加量相對(duì)于粘合劑層整 體100重量份例如為10重量份~200重量份、優(yōu)選為20重量份~100重量份。
[0079]上述第一粘合劑層的貼合面的輪廓算術(shù)平均偏差粗糙度Ra優(yōu)選為Ιμπι以下、更優(yōu) 選為0. Ο?μπι~Ιμπι、進(jìn)一步優(yōu)選為0.03μηι~0.8μηι、特別優(yōu)選為0.06μηι~0.6μηι。若為這種范 圍，則能夠獲得化學(xué)溶液難以浸入至第一粘合劑層與被粘物的界面的熱剝離型粘合片。表 面粗糙度Ra基于JIS Β 0601來測(cè)定。
[0080]水對(duì)于上述第一粘合劑層的接觸角優(yōu)選為85°~115°、更優(yōu)選為87°~115°、特別 優(yōu)選為90°~115°。水的接觸角大于115°時(shí)、即粘合劑層的疏水性高時(shí)，存在無法獲得充分 的粘合特性的擔(dān)心。另一方面，水的接觸角小于85°時(shí)、即粘合劑層的疏水性過低時(shí)，存在化 學(xué)溶液浸入至粘合劑層與被粘物的界面的擔(dān)心。
[0081 ]上述第一粘合劑層的凝膠率優(yōu)選為50%以上、更優(yōu)選為52%~99%、進(jìn)一步優(yōu)選 為55%~99%。若為這種范圍，則能夠防止化學(xué)溶液侵入至粘合劑層。粘合劑層的凝膠率可 通過控制構(gòu)成粘合劑的基礎(chǔ)聚合物的組成、交聯(lián)劑的種類和含量、增粘劑的種類和含量等 來調(diào)整。凝膠率的測(cè)定方法見后述。
[0082] C.第二粘合劑層
[0083] C-1.粘合劑
[0084] 上述第二粘合劑層包含任意的適當(dāng)粘合劑。作為第二粘合劑層中包含的粘合劑， 從密合性的觀點(diǎn)出發(fā)，此外，在第二粘合劑層包含熱膨脹微球的情況下，從加熱時(shí)不會(huì)抑制 熱膨脹性微球的膨脹或發(fā)泡的觀點(diǎn)出發(fā)，可列舉出例如丙烯酸類粘合劑、橡膠系粘合劑、乙 烯基烷基醚系粘合劑、有機(jī)硅系粘合劑、聚酯系粘合劑、聚酰胺系粘合劑、氨基甲酸酯系粘 合劑、苯乙烯-二烯嵌段共聚物系粘合劑、活性能量射線固化型粘合劑等。另外，上述粘合劑 可以是配混有熔點(diǎn)約為200 °C以下的熱熔融性樹脂的蠕變特性改良型粘合劑。蠕變特性改 良型粘合劑的詳情記載于日本特開昭56-61468號(hào)公報(bào)、日本特開昭63-17981號(hào)公報(bào)等。上 述粘合劑之中，可優(yōu)選使用丙烯酸類粘合劑或橡膠系粘合劑。需要說明的是，上述粘合劑可 以單獨(dú)使用或者組合使用2種以上。
[0085] 作為第二粘合劑層中包含的丙烯酸類粘合劑，可以使用任意的適當(dāng)丙烯酸類粘合 劑。可列舉出例如以丙烯酸類聚合物(均聚物或共聚物)作為基礎(chǔ)聚合物的丙烯酸類粘合劑 等，所述丙烯酸類聚合物使用1種或2種以上的（甲基)丙烯酸烷基酯作為單體成分。在一個(gè) 實(shí)施方式中，可以使用上述B項(xiàng)中說明的丙烯酸類粘合劑I。
[0086] 作為上述橡膠系粘合劑，可列舉出例如以下述橡膠作為基礎(chǔ)聚合物的橡膠系粘合 劑，所述橡膠為:天然橡膠;聚異戊二烯橡膠、苯乙烯· 丁二烯(SB)橡膠、苯乙烯?異戊二烯 (SI)橡膠、苯乙烯?異戊二烯?苯乙烯嵌段共聚物(SIS)橡膠、苯乙烯· 丁二烯?苯乙烯嵌 段共聚物（SBS)橡膠、苯乙烯?乙烯?丁烯?苯乙烯嵌段共聚物（SEBS)橡膠、苯乙烯?乙 烯?丙烯?苯乙烯嵌段共聚物(SEPS)橡膠、苯乙烯?乙烯?丙烯嵌段共聚物(SEP)橡膠、再 生橡膠、丁基橡膠、聚異丁烯、它們的改性體等合成橡膠等。
[0087] 作為上述第二粘合劑層中包含的粘合劑，可以使用通過照射活性能量射線而能夠 固化(高彈性模量化）的活性能量射線固化型粘合劑。若使用活性能量射線固化型粘合劑， 則能夠獲得在粘貼時(shí)的彈性低且柔軟性高、處理性優(yōu)異、在需要?jiǎng)冸x時(shí)通過照射活性能量 射線而能夠降低粘合力的熱剝離型粘合片。作為活性能量射線，可列舉出例如伽馬射線、紫 外線、可見光線、紅外線(熱射線）、無線電波、阿爾法射線、貝塔射線、電子束、等離子體流、 電離射線、粒子束等。
[0088]作為構(gòu)成上述活性能量射線固化型粘合劑的樹脂材料，可列舉出例如紫外線固化 系統(tǒng)(加藤清視著、綜合技術(shù)中心發(fā)行、（1989))、光固化技術(shù)(技術(shù)信息協(xié)會(huì)編撰(2000))、 日本特開2003-292916號(hào)公報(bào)、日本特許4151850號(hào)等中記載的樹脂材料。更具體而言，可列 舉出包含成為母劑的聚合物和活性能量射線反應(yīng)性化合物（單體或低聚物）的樹脂材料 (R1)、包含活性能量射線反應(yīng)性聚合物的樹脂材料(R2)等。
[0089]作為上述成為母劑的聚合物，可列舉出例如天然橡膠、聚異丁烯橡膠、苯乙烯?丁 二烯橡膠、苯乙烯?異戊二烯?苯乙烯嵌段共聚物橡膠、再生橡膠、丁基橡膠、聚異丁烯橡 膠、腈橡膠(NBR)等橡膠系聚合物;有機(jī)硅系聚合物;丙烯酸類聚合物等。這些聚合物可以單 獨(dú)使用或者組合使用2種以上。
[0090] 作為上述活性能量射線反應(yīng)性化合物，可列舉出例如包含丙烯酰基、甲基丙烯酰 基、乙烯基、烯丙基、乙炔基等具有碳-碳多重鍵的官能團(tuán)的光反應(yīng)性單體或低聚物。作為該 光反應(yīng)性單體或低聚物的具體例，可列舉出三羥甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯、四羥甲基甲 烷四（甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三（甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四（甲基)丙烯酸酯、二季戊四 醇單羥基五（甲基）丙烯酸酯、二季戊四醇六（甲基）丙烯酸酯、1，4_ 丁二醇二（甲基）丙烯酸 酯、1，6_己二醇二（甲基）丙烯酸酯、聚乙二醇二（甲基）丙烯酸酯等含（甲基）丙烯?；幕?合物;含有該（甲基)丙烯酰基的化合物的2~5聚體等。
[0091] 另外，作為上述活性能量射線反應(yīng)性化合物，可以使用環(huán)氧化丁二烯、甲基丙烯酸 縮水甘油酯、丙烯酰胺、乙烯基硅氧烷等單體;或者由該單體構(gòu)成的低聚物。包含這些化合 物的樹脂材料(R1)可以利用紫外線、電子束等高能量射線進(jìn)行固化。
[0092] 進(jìn)而，作為上述活性能量射線反應(yīng)性化合物，可以使用鑰鹽等有機(jī)鹽類與分子內(nèi) 具有多個(gè)雜環(huán)的化合物的混合物。該混合物通過照射活性能量射線(例如紫外線、電子束） 而使有機(jī)鹽裂解并生成離子，該離子成為引發(fā)種而引發(fā)雜環(huán)的開環(huán)反應(yīng)，從而能夠形成三 維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)。作為上述有機(jī)鹽類，可列舉出例如碘鑰鹽、鱗鹽、銻鹽、锍鹽、硼酸鹽等。作為上 述分子內(nèi)具有多個(gè)雜環(huán)的化合物中的雜環(huán)，可列舉出氧雜環(huán)丙烷、氧雜環(huán)丁烷、氧雜環(huán)戊 烷、硫雜丙環(huán)、氮丙啶等。
[0093]進(jìn)而，作為上述活性能量射線反應(yīng)性化合物，可以使用鑰鹽等有機(jī)鹽類與分子內(nèi) 具有多個(gè)雜環(huán)的化合物的混合物。該混合物通過照射活性能量射線(例如紫外線、電子束） 而使有機(jī)鹽裂解并生成離子，該離子成為引發(fā)種而引發(fā)雜環(huán)的開環(huán)反應(yīng)，從而能夠形成三 維網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)。作為上述有機(jī)鹽類，可列舉出例如碘鑰鹽、鱗鹽、銻鹽、锍鹽、硼酸鹽等。作為上 述分子內(nèi)具有多個(gè)雜環(huán)的化合物中的雜環(huán)，可列舉出氧雜環(huán)丙烷、氧雜環(huán)丁烷、氧雜環(huán)戊 烷、硫雜丙環(huán)、氮丙啶等。
[0094] 上述包含成為母劑的聚合物和活性能量射線反應(yīng)性化合物的樹脂材料(R1)中，相 對(duì)于成為母劑的聚合物1〇〇重量份，活性能量射線反應(yīng)性化合物的含有比例優(yōu)選為0.1重量 份~500重量份、更優(yōu)選為1重量份~300重量份、進(jìn)一步優(yōu)選為10重量份~200重量份。
[0095] 上述包含成為母劑的聚合物和活性能量射線反應(yīng)性化合物的樹脂材料(R1)根據(jù) 需要可以包含任意的適當(dāng)添加劑。作為添加劑，可列舉出例如活性能量射線聚合引發(fā)劑、活 性能量射線聚合促進(jìn)劑、交聯(lián)劑、增塑劑、硫化劑等。作為活性能量射線聚合引發(fā)劑，根據(jù)所 用的活性能量射線的種類，可以使用任意的適當(dāng)引發(fā)劑?；钚阅芰可渚€聚合引發(fā)劑可以單 獨(dú)使用或者組合使用2種以上。包含成為母劑的聚合物和活性能量射線反應(yīng)性化合物的樹 脂材料(R1)中，相對(duì)于成為母劑的聚合物100重量份，活性能量射線聚合引發(fā)劑的含有比例 優(yōu)選為0.1重量份~10重量份、更優(yōu)選為1重量份~5重量份。
[0096] 作為上述活性能量射線反應(yīng)性聚合物，可列舉出例如包含丙烯酰基、甲基丙烯酰 基、乙烯基、烯丙基、乙炔基等具有碳-碳多重鍵的官能團(tuán)的聚合物。作為具有活性能量射線 反應(yīng)性官能團(tuán)的聚合物的具體例，可列舉出由多官能（甲基)丙烯酸酯構(gòu)成的聚合物;光陽 離子聚合型聚合物;聚乙烯基肉桂酸酯等含有肉桂酰基的聚合物;重氮化的氨基酚醛清漆 樹脂;聚丙烯酰胺等。另外，作為包含活性能量射線反應(yīng)性聚合物的樹脂材料(R2)，也可以 使用具有烯丙基的活性能量射線反應(yīng)性聚合物與具有硫醇基的化合物的混合物。需要說明 的是，只要能夠在通過照射活性能量射線進(jìn)行固化之前(例如，粘貼熱剝離型粘合片時(shí)）形 成具有可實(shí)用的硬度(粘度)的粘合劑層前體，則除了具有活性能量射線反應(yīng)性官能團(tuán)的聚 合物之外，還可以使用具有活性能量射線反應(yīng)性官能團(tuán)的低聚物。
[0097] 上述包含活性能量射線反應(yīng)性聚合物的樹脂材料(R2)還可以進(jìn)一步包含上述活 性能量射線反應(yīng)性化合物(單體或低聚物）。另外，上述包含活性能量射線反應(yīng)性聚合物的 樹脂材料(R2)根據(jù)需要還可以包含任意的適當(dāng)添加劑。添加劑的具體例與包含成為母劑的 聚合物和活性能量射線反應(yīng)性化合物的樹脂材料(R1)中可包含的添加劑相同。包含活性能 量射線反應(yīng)性聚合物的樹脂材料(R2)中，相對(duì)于活性能量射線反應(yīng)性聚合物100重量份，活 性能量射線聚合引發(fā)劑的含有比例優(yōu)選為0.1重量份~10重量份、更優(yōu)選為1重量份~5重 量份。
[0098] 上述第二粘合劑層中包含的粘合劑根據(jù)需要可以包含任意的適當(dāng)添加劑。作為所 用添加劑的例子，可列舉出上述B-1項(xiàng)中說明的添加劑。另外，添加劑(增粘劑、交聯(lián)劑等）的 添加量也優(yōu)選為B-1項(xiàng)中說明的添加量。因此，在一個(gè)實(shí)施方式中，第二粘合劑層可以包含 增粘劑，該增粘劑的含有比例相對(duì)于粘合劑層1〇〇重量份優(yōu)選為40重量份以下、更優(yōu)選為30 重量份以下、進(jìn)一步優(yōu)選為25重量份以下、進(jìn)一步優(yōu)選為3重量份~25重量份。
[0099] C-2.熱膨脹性微球
[0100] 在一個(gè)實(shí)施方式中，上述第二粘合劑層還包含B-2項(xiàng)中說明的熱膨脹性微球。第二 粘合劑層中，相對(duì)于形成第二粘合劑層的粘合劑中的基礎(chǔ)聚合物1〇〇重量份，熱膨脹性微球 的含有比例例如也為1重量份~150重量份、優(yōu)選為10重量份~130重量份、進(jìn)一步優(yōu)選為25 重量份~100重量份。
[0101] C-3.第二粘合劑層的特性等
[0102] 上述第二粘合劑層的厚度優(yōu)選為ΙμL?~100μL?、更優(yōu)選為5μηι~80μηι、特別優(yōu)選為10 μπι~50μπι。第二粘合劑層包含熱膨脹性微球時(shí)，第二粘合劑層的厚度與第一粘合劑層的厚 度同樣地為:觀察第二粘合劑層的厚度方向截面時(shí)的、第二粘合劑層的外側(cè)面(與基材相反 一側(cè)的表面)至最接近基材的熱膨脹性微球的最內(nèi)側(cè)端部為止的距離。
[0103]第二粘合劑層包含熱膨脹性微球時(shí)，第二粘合劑層的厚度與該第二粘合劑層中包 含的熱膨脹性微球的平均粒徑之差(厚度-平均粒徑)優(yōu)選為8μπι以上、更優(yōu)選為ΙΟμπι以上、 進(jìn)一步優(yōu)選為15μηι以上、特別優(yōu)選為25μηι以上、最優(yōu)選為25μηι~1 ΟΟμL?。
[0104]上述第二粘合劑層在25°C下利用納米壓痕法測(cè)得的彈性模量?jī)?yōu)選為O.OIMPa~ 50MPa、更優(yōu)選為0.1 MPa~1 OMPa、特別優(yōu)選為0.5MPa~5MPa。
[0105] 上述第二粘合劑層的貼合面的輪廓算術(shù)平均偏差粗糙度Ra優(yōu)選為Ιμπι以下、更優(yōu) 選為0 · Ο?μπι~Ιμπι、進(jìn)一步優(yōu)選為0 · 03μηι~0 · 8μηι、特別優(yōu)選為0 · 06μηι~0 · 6μηι。
[0106] 水對(duì)于上述第二粘合劑層的接觸角優(yōu)選為85°~115°、更優(yōu)選為87°~115°、特別 優(yōu)選為90°~115°。
[0107]上述第二粘合劑層的凝膠率優(yōu)選為50%以上、更優(yōu)選為52%~99%、進(jìn)一步優(yōu)選 為55%~99%。若為這種范圍，則能夠防止化學(xué)溶液侵入至粘合劑層。
[0108] D.基材
[0109] 作為上述基材，可列舉出例如樹脂片、無紡布、紙、金屬箱、織布、橡膠片、發(fā)泡片 等。另外，可以使用由它們的層疊體(尤其是包含樹脂片的層疊體)構(gòu)成的基材、或者以它們 中的多種材料作為原料的復(fù)合基材。作為構(gòu)成樹脂片的樹脂，可列舉出例如聚對(duì)苯二甲酸 乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚對(duì)苯二甲酸丁二醇酯(ΡΒΤ)、聚乙烯(ΡΕ)、聚 丙烯(PP)、乙烯-丙烯共聚物、乙烯-醋酸乙烯酯共聚物(EVA)、聚酰胺(尼龍）、全芳香族聚酰 胺(芳綸）、聚酰亞胺(PI)、聚氯乙烯(PVC)、聚苯硫醚(PPS)、氟系樹脂、聚醚醚酮(PEEK)、氨 基甲酸酯丙烯酸酯、丙烯酸類樹脂(優(yōu)選為UV固化型的丙烯酸類樹脂)等。其中，從耐酸性的 觀點(diǎn)出發(fā)，可優(yōu)選使用PET、PEN、PE或PP。作為無紡布，可列舉出：包含蕉麻的無紡布等由具 有耐熱性的天然纖維形成的無紡布;聚丙烯樹脂無紡布、聚乙烯樹脂無紡布、酯系樹脂無紡 布等合成樹脂無紡布等。
[0110] 上述基材在25 °C下利用納米壓痕法測(cè)得的彈性模量?jī)?yōu)選為lOMPa~lOGPa?；脑?25°C下利用納米壓痕法測(cè)得的彈性模量更優(yōu)選為lOOMPa~5GPa、特別優(yōu)選為500MPa~ 5GPa。若為這種范圍，則能夠獲得切斷性和貼合時(shí)的處理性優(yōu)異的熱剝離型粘合片。
[0111] 上述基材的厚度優(yōu)選為Ιμπι~ΙΟΟΟμL?、更優(yōu)選為2μηι~250μηι、特別優(yōu)選為ΙΟμL?~ 100Μ1。若為這種范圍，則能夠獲得切斷性和貼合時(shí)的處理性優(yōu)異的熱剝離型粘合片。
[0112] 上述基材可以實(shí)施了表面處理。作為表面處理，可列舉出例如電暈處理、鉻酸處 理、臭氧暴露、火焰暴露、尚壓電擊暴露、電尚福射線處理、利用有機(jī)涂布材料的涂布處理 等。如果進(jìn)行這種表面處理，則能夠提高粘合劑層與基材的密合性、抑制化學(xué)溶液侵入至粘 合劑層與基材的界面。尤其是，利用有機(jī)涂布材料的涂布處理在加熱剝離時(shí)能夠抑制粘合 劑層的錨固破壞，故而優(yōu)選。
[0113] 作為上述有機(jī)涂布材料，可列舉出例如塑料硬涂材料II (日文：只テック/、一 Κ η -卜材料n)(CMC出版、（2004))中記載的材料?？蓛?yōu)選使用氨基甲酸酯系聚合物，更優(yōu) 選使用聚丙烯酸氨基甲酸酯、聚酯氨基甲酸酯或它們的前體。這是因?yàn)?對(duì)基材的涂覆簡(jiǎn) 便、并且工業(yè)上可以選擇多種物質(zhì)并能夠廉價(jià)地獲得。該氨基甲酸酯系聚合物例如為由異 氰酸酯單體與含醇性羥基的單體(例如含羥基的丙烯酸類化合物或含羥基的酯化合物）的 反應(yīng)混合物形成的聚合物。有機(jī)涂布材料中，作為任意的添加劑可以包含多胺等擴(kuò)鏈劑、防 老劑、氧化穩(wěn)定劑等。有機(jī)涂布層的厚度沒有特別限定，例如適合為O.lym~ΙΟμπι左右、優(yōu)選 為0. Ιμπι~5μηι左右、更優(yōu)選為0.5μηι~5μηι左右。作為有機(jī)涂布材料，可以使用荒川化學(xué)工業(yè) 株式會(huì)社制造的ARAC0AT系列（例如，商品名"ΑΡ2500Ε"與作為固化劑的商品名"CL2500"的 組合）、大日精化株式會(huì)社制造的商品名"ΝΒ300"、商品名"HR Color"等市售品。
[0114] E.彈性層
[0115] 如上所述，本發(fā)明的熱剝離型粘合片還進(jìn)一步可以具備彈性層。
[0116] 上述彈性層包含基礎(chǔ)聚合物，作為該基礎(chǔ)聚合物，可以使用粘合性的聚合物。作為 構(gòu)成彈性層的基礎(chǔ)聚合物，可列舉出例如（甲基)丙烯酸類聚合物;天然橡膠、合成橡膠(例 如腈系、二烯系、丙烯酸類)等橡膠系聚合物;聚烯烴系、聚酯系等熱塑性彈性體；乙烯基烷 基醚系聚合物;有機(jī)硅系聚合物;聚酯系聚合物;聚酰胺系聚合物;氨基甲酸酯系聚合物;苯 乙烯-二烯嵌段共聚物；乙烯-醋酸乙烯酯共聚物；聚氨酯系聚合物；聚丁二烯；軟質(zhì)聚氯乙 烯;輻射線固化型聚合物等。上述構(gòu)成彈性層的基礎(chǔ)聚合物可以與形成上述粘合劑層(第一 粘合劑層和/或第二粘合劑層）的基礎(chǔ)聚合物相同，也可以不同。上述彈性層也可以是由上 述基礎(chǔ)聚合物形成的發(fā)泡薄膜。該發(fā)泡薄膜可以利用任意的適當(dāng)方法得到。需要說明的是， 彈性層與第一粘合劑層(和包含熱膨脹性微球的第二粘合劑層)可以通過有無熱膨脹性微 球(彈性層不含熱膨脹性微球)來進(jìn)行區(qū)別。
[0117] 作為構(gòu)成彈性層的基礎(chǔ)聚合物的（甲基)丙烯酸類聚合物例如是使用1種或2種以 上的（甲基)丙烯酸烷基酯作為單體成分而得到的丙烯酸類聚合物(均聚物或共聚物）。作為 該（甲基）丙烯酸烷基酯的具體例，可列舉出具有碳數(shù)為20以下的直鏈狀或支鏈狀烷基的 (甲基)丙烯酸烷基酯。另外，上述丙烯酸類聚合物還可以包含對(duì)應(yīng)于能夠與（甲基)丙烯酸 烷基酯共聚的其它單體成分的單元。作為這種單體成分，可列舉出例如丙烯酸、甲基丙烯 酸、衣康酸、丙烯酸羥基乙酯、甲基丙烯酸羥基乙酯、丙烯酸羥基丙酯、甲基丙烯酸羥基丙 酯、N-羥甲基丙烯酰胺、丙烯腈、甲基丙烯腈、丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、 醋酸乙烯酯、苯乙烯、異戊二烯、丁二烯、異丁烯、乙烯基醚等。
[0118] 上述彈性層根據(jù)需要可以包含任意的適當(dāng)添加劑。作為該添加劑，可列舉出例如 交聯(lián)劑、硫化劑、增粘劑、增塑劑、柔軟劑、填充劑、防老劑等。作為基礎(chǔ)聚合物而使用聚氯乙 烯等硬質(zhì)樹脂時(shí)，優(yōu)選組合使用增塑劑和/或柔軟劑來形成具有期望彈性的彈性層。
[0119] 上述彈性層的厚度優(yōu)選為3μηι~200μηι、更優(yōu)選為5μηι~100μπι。若為這種范圍，則能 夠充分發(fā)揮出彈性層的上述功能。
[0120] 上述彈性層在25°C下的拉伸模量?jī)?yōu)選不足lOOMpa、更優(yōu)選為O.IMPa~50MPa、進(jìn)一 步優(yōu)選為〇. IMPa~lOMPa。若為這種范圍，則能夠充分地發(fā)揮出彈性層的上述功能。
[0121] F.熱剝離型粘合片的制造方法
[0122] 本發(fā)明的熱剝離型粘合片可利用任意的適當(dāng)方法來制造。關(guān)于本發(fā)明的熱剝離型 粘合片，例如可列舉出如下的方法:在基材的一個(gè)面上直接涂覆第一粘合劑層形成用組成 物，并在基材的另一個(gè)面上涂覆第二粘合劑層形成用組成物的方法;將涂覆在任意的適當(dāng) 基體上而形成的涂覆層轉(zhuǎn)印至基材，從而形成第一粘合劑層和第二粘合劑層的方法等。另 外，包含熱膨脹性微球的粘合劑層也可以如下形成:利用包含粘合劑的組成物形成粘合劑 涂覆層后，將熱膨脹性微球撒在該粘合劑涂覆層上，然后使用層壓機(jī)等將該熱膨脹性微球 嵌入到該涂覆層中，從而形成。
[0123] 上述第一粘合劑層形成用組成物包含上述丙烯酸類粘合劑I和上述熱膨脹性微 球，根據(jù)需要包含任意的適當(dāng)溶劑。上述第二粘合劑層形成用組成物包含任意的適當(dāng)粘合 劑，根據(jù)需要包含上述熱膨脹性微球和/或任意的適當(dāng)溶劑。
[0124] 上述熱剝離型粘合片具有上述彈性層時(shí)，該彈性層和與該彈性層鄰接的粘合劑層 例如可以通過在基材上涂覆彈性層形成用組成物、接著涂覆粘合劑層形成用組成物來形 成。例如，通過在基材上涂覆含有用于形成彈性層的材料(基礎(chǔ)聚合物、添加劑等）的彈性層 形成用組成物，接著在彈性層形成用組成物的涂覆層上涂覆第一粘合劑形成用組成物，從 而可以從基材側(cè)起依次形成彈性層和第一粘合劑層。
[0125] 作為上述各組成物的涂覆方法，可以采用任意的適當(dāng)涂覆方法。例如，可以在涂布 后進(jìn)行干燥從而形成各層。作為涂布方法，例如可列舉出使用了例如多道涂布機(jī)(Multi-coater )、模涂機(jī)、凹版涂布機(jī)、涂抹器等的涂布方法。作為干燥方法，可列舉出例如自然干 燥、加熱干燥等。加熱干燥時(shí)的加熱溫度可以根據(jù)成為干燥對(duì)象的物質(zhì)的特性而設(shè)定為任 意的適當(dāng)溫度。
[0126] G.用途
[0127] 本發(fā)明的熱剝離型粘合片可適合地用作制造電子部件時(shí)的保護(hù)片。尤其是在使用 酸性或堿性化學(xué)溶液對(duì)電子部件進(jìn)行處理(例如蝕刻處理)時(shí)，可適合地用作用于保護(hù)該電 子部件的保護(hù)片。
[0128] 本發(fā)明的熱剝離型粘合片是雙面粘合片，通過在該粘合片的兩面粘貼作為被處理 物的電子部件，并將該電子部件供于處理工序，從而能夠防止該電子部件的翹曲。另外，通 過這樣操作來進(jìn)行處理工序，能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)效率的提高。
[0129] 實(shí)施例
[0130] 以下，通過實(shí)施例來具體說明本發(fā)明，但本發(fā)明不限定于這些實(shí)施例。另外，實(shí)施 例中，在沒有特別寫明的情況下，"份"和"％"是重量基準(zhǔn)。
[0131 ][制造例1 ]丙烯酸類粘合劑I (i)的制備
[0132] 將（甲基)丙烯酸類聚合物(丙烯酸丁酯(BA)與丙烯酸(AA)的共聚物、源自Μ的結(jié) 構(gòu)單元:源自ΑΑ的結(jié)構(gòu)單元(重量比）=95:5)100重量份與環(huán)氧系交聯(lián)劑(三菱瓦斯化學(xué)株 式會(huì)社制造、商品名"TETRAD C"）0.6重量份與萜烯酚系增粘樹脂（YASUHARA CHEMICAL CO.，LTD.制造、商品名"YS POLYSTAR T130"）30重量份進(jìn)行混合，從而制備丙烯酸類粘合劑 工⑴。
[0133] [制造例2~9]丙稀酸類粘合劑I(ii)~（ix)的制備
[0134] 將表1所示的（甲基)丙烯酸類聚合物、交聯(lián)劑和增粘樹脂以表1所示的配混量進(jìn)行 混合，從而制備丙稀酸類粘合劑K i i)~（ix)。
[0135] TETRAD X:環(huán)氧系交聯(lián)劑;三菱瓦斯化學(xué)株式會(huì)社制造、商品名"TETRAD X"
[0136] CORONATE L:異氰酸酯系交聯(lián)劑；日本聚氨酯工業(yè)株式會(huì)社制造、商品名 "CORONATE L"
[0137] SUPER ESTER A-75:松香系增粘樹脂;荒川化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造、商品名"SUPER ESTER A-75"
[0138] TAMAN0L 200:烷基酚系增粘樹脂;荒川化學(xué)工業(yè)株式會(huì)社制造、商品名"TAMAN0L 200"
[0139] 藍(lán)
[0140]
[0141] [實(shí)施例1]
[0142] 將制造例1中得到的丙烯酸類粘合劑I(i)130.6重量份、熱膨脹性微球(松本油脂 制藥株式會(huì)社制造、商品名"Matsumoto Microsphere F-50D"）25重量份、以及甲苯210重量 份進(jìn)行混合，從而制備粘合劑層形成用組成物（i)。
[0143] 將該粘合劑層形成用組成物（i)涂覆在作為基材的PET薄膜(東麗株式會(huì)社制造、 商品名"Lumirror S10"、厚度：100μπι)的兩面，開$成厚度為40μηι的第一粘合劑層和第二粘合 劑層。
[0144] 通過上述操作，得到依次具備第一粘合劑層(40μπι)、基材（100μπι)、以及第二粘合 劑層(40μπι)的熱剝離型粘合片。
[0145] [實(shí)施例2]
[0146] 將制造例1中得到的丙烯酸類粘合劑I(i)130.6重量份、熱膨脹性微球(松本油脂 制藥株式會(huì)社制造、商品名"Matsumoto Microsphere F-48D"）30重量份、以及甲苯210重量 份進(jìn)行混合，從而制備粘合劑層形成用組成物（i i)。
[0147] 另外，作為彈性層形成用組成物（i)，準(zhǔn)備了丙烯酸類粘合劑I(i)130.6重量份與 甲苯210重量份的混合物。另外，作為彈性層形成用組成物(ii)，準(zhǔn)備了制造例2中得到的丙 烯酸類粘合劑K i i) 130.1重量份與甲苯210重量份的混合物。
[0148] 在作為基材的聚酯薄膜(三菱樹脂株式會(huì)社制造、商品名"DIAF0IL"、厚度:50μπι) 的單面上依次涂覆彈性層形成用組成物（i)和粘合劑層形成組成物（i i )，從而形成彈性層 (厚度:20μπι)和第一粘合劑層(厚度:40μπι)。進(jìn)而，在該基材的另一個(gè)面上依次涂覆彈性層 形成用組成物（ii)和粘合劑層形成組成物（ii)，從而形成彈性層(厚度：20μπι)和第二粘合 劑層（20μπι)。
[0149] 通過上述操作，得到依次具備第一粘合劑層(40μπι)、彈性層(20μπι)、基材(50μπι)、 彈性層(20μπι)、以及第二粘合劑層(20μπι)的熱剝離型粘合片。
[0150] [實(shí)施例3]
[0151] 將制造例3中得到的丙烯酸類粘合劑(iii)151重量份、熱膨脹性微球(松本油脂制 藥株式會(huì)社制造、商品名"]^七811111〇1:〇]\1;[(31'08口116代？1^-10030"）40重量份、以及甲苯210重 量份進(jìn)行混合，從而制備粘合劑層形成用組成物（i i i)。
[0152] 另外，作為彈性層形成用組成物（iii)，準(zhǔn)備了制造例4中得到的丙烯酸類粘合劑I (i v) 1 〇 1重量份與甲苯210重量份的混合物。
[0153]在作為基材的PET薄膜(東麗株式會(huì)社制造、商品名"Lumirror S10"、厚度：100μπι) 的單面上依次涂覆彈性層形成用組成物（iii)和粘合劑層形成組成物（iii)，從而形成彈性 層(厚度:30μπι)和第一粘合劑層(厚度:30μπι)。進(jìn)而，在該基材的另一個(gè)面上依次涂覆彈性 層形成用組成物（iii)和粘合劑層形成組成物（iii)，從而形成彈性層(厚度：15μπι)和第二 粘合劑層(厚度:20μπι)。
[0154] 通過上述操作，得到依次具備第一粘合劑層(30μπι)、彈性層(30μπι)、基材（100μπι)、 彈性層(15μπι)、以及第二粘合劑層(20μπι)的熱剝離型粘合片。
[0155] [實(shí)施例4]
[0156] 將制造例5中得到的丙烯酸類粘合劑（ν) 122重量份、熱膨脹性微球（Japan Fillite Co.，LtcL制造、商品名"Expancel 909-DU80"）30重量份、以及甲苯210重量份進(jìn)行 混合，從而制備粘合劑層形成用組成物（iv)。
[0157] 另外，作為彈性層形成用組成物（iv)，準(zhǔn)備了制造例6中得到的丙烯酸類粘合劑I (vi) 112重量份與甲苯210重量份的混合物。
[0158]在作為基材的PET薄膜(東麗株式會(huì)社制造、商品名"Lumirror S10"、厚度:50μπι) 的單面上依次涂覆彈性層形成用組成物（iv)和粘合劑層形成組成物（iv)，從而形成彈性層 (厚度:25μπι)和第一粘合劑層(厚度:50μπι)。進(jìn)而，在該基材的另一個(gè)面上依次涂覆彈性層 形成用組成物（iv)和粘合劑層形成組成物（iv)，從而形成彈性層(厚度：20μπι)和第二粘合 劑層(厚度:30μηι)。
[0159] 通過上述操作，得到依次具備第一粘合劑層(50μπι)、彈性層(25μπι)、基材(50μπι)、 彈性層(20μπι)、以及第二粘合劑層(30μπι)的熱剝離型粘合片。
[0160][比較例1]
[0161 ]將制造例7中得到的丙烯酸類粘合劑I (vii) 140.7重量份、熱膨脹性微球(松本油 脂制藥株式會(huì)社制造、商品名"Matsumoto Microsphere F-50D"）25重量份、以及甲苯210重 量份進(jìn)行混合，從而制備粘合劑層形成用組成物(V)。
[0162] 將該粘合劑層形成用組成物(v)涂覆在作為基材的PET薄膜(東麗株式會(huì)社制造、 商品名"Lumirror S10"、厚度：100μπι)的兩面，從而形成厚度為45μηι的第一粘合劑層和第二 粘合劑層。
[0163] 通過上述操作，得到依次具備第一粘合劑層(45μπι)、基材（100μπι)、以及第二粘合 劑層(45μπι)的熱剝離型粘合片。
[0164] [比較例2]
[0?65]將制造例8中得到的丙稀酸類粘合劑I (vi i i ) 127重量份、熱膨脹性微球(Japan Fillite Co.，LtcL制造、商品名"Expancel 909-DU80"）30重量份、以及甲苯210重量份進(jìn)行 混合，從而制備粘合劑層形成用組成物(vi)。
[0166] 另外，作為彈性層形成用組成物(vi)，準(zhǔn)備了制造例9中得到的丙烯酸類粘合劑I (ix) 117重量份與甲苯210重量份的混合物。
[0167] 在作為基材的PET薄膜(東麗株式會(huì)社制造、商品名"Lumirror S10"、厚度：100μπι) 的單面上依次涂覆彈性層形成用組成物(vi)和粘合劑層形成組成物(vi)，從而形成彈性層 (厚度:20μπι)和第一粘合劑層(厚度:40μπι)。進(jìn)而，在該基材的另一個(gè)面上涂覆粘合劑層形 成組成物(vi)，從而形成第二粘合劑層(40μπι)。
[0168] 通過上述操作，得到依次具備第一粘合劑層(40μπι)、彈性層(20μπι)、基材（100μπι)、 以及第二粘合劑層(40μπι)的熱剝離型粘合片。
[0169][評(píng)價(jià)]
[0170]將實(shí)施例和比較例中得到的熱剝離型粘合片供于下述評(píng)價(jià)。將結(jié)果示于表2。
[0171] (1)輪廓算術(shù)平均偏差粗糙度Ra
[0172] 基于JIS B 0601測(cè)定第一粘合劑層側(cè)的輪廓算術(shù)平均偏差粗糙度Ra。具體而言， 使用光學(xué)式表面粗糙度計(jì)(Veeco Metrogy Group公司制造、商品名"Wyko NT9100"），如下 設(shè)定測(cè)定條件來測(cè)定。將縱、橫分別測(cè)定5次而得到的測(cè)定值的平均值示于表2。
[0173] (評(píng)價(jià)條件）
[0174] 樣品尺寸:50mm X 50mm
[0175] 測(cè)定范圍：2.534mmX 1.901mm
[0176] 測(cè)定模式:VSL
[0177] 物鏡:2.5 倍
[0178] 內(nèi)部透鏡：1.0倍
[0179] (2)接觸角
[0180] 使用接觸角計(jì)(協(xié)和界面株式會(huì)社制造、商品名"CX-A型"），在23 °C/50 % RH的環(huán)境 下，將2μ1純水滴落至第一粘合劑層的表面，滴落5秒后測(cè)定液滴的接觸角。將測(cè)定5次而得 到的測(cè)定值的平均值示于表2。
[0181] (3)凝膠率
[0182] 用網(wǎng)狀片包裹從第一樹脂層取樣的評(píng)價(jià)用樣品O.lg，在室溫下在甲苯50ml中靜置 1星期，使甲苯浸滲至該樣品。其后，取出甲苯不溶成分，以70°C耗費(fèi)2小時(shí)使其干燥后，稱量 干燥后的甲苯不溶成分。
[0183] 利用下式，由浸漬甲苯前的樣品重量和甲苯不溶成分的重量算出樹脂層的凝膠 率。
[0184] 凝膠率（％ )=[(甲苯不溶成分的重量)/(浸漬甲苯前的樣品重量)]X 100
[0185] (4)粘合力測(cè)定方法
[0186] 將熱剝離型粘合片裁切成寬度：20mm、長(zhǎng)度：140mm的尺寸，基于JIS Z 0237(2000 年），在溫度:23 ± 2°C和濕度:65 ± 5 % RH的氣氛下，使2kg的輥往復(fù)1次將作為被粘物的聚對(duì) 苯二甲酸乙二醇酯薄膜(商品名"Lumirror S-10"，東麗株式會(huì)社制造;厚度:25μηι、寬度： 20mm)壓接在第一粘合劑層上并使其貼合。接著，將附帶被粘物的熱剝離型粘合片設(shè)置于設(shè) 定為23 °C的附帶恒溫槽的拉伸試驗(yàn)機(jī)(株式會(huì)社島津制作所制造、商品名"島津AUTOGRAPH AG-120kN"），放置30分鐘。放置后，在23°C的溫度下，測(cè)定在剝離角度：180°、剝離速度(拉伸 速度）：300mm/分鐘的條件下從熱剝離型粘合片剝離被粘物時(shí)的載荷，求出此時(shí)的最大載荷 (除了測(cè)定初期的峰頂之外的載荷最大值），將該最大載荷作為第一粘合劑層的粘合力(N/ 20mm)〇
[0187] (5)化學(xué)溶液侵入評(píng)價(jià)
[0188] 將熱剝離型粘合片裁切成50mmX 50mm的尺寸，在第一粘合劑層側(cè)配置硅晶片，在 第二粘合劑層側(cè)配置玻璃板(厚度:1_)，在溫度60 °C、壓力0.5MPa、時(shí)間3分鐘的條件下，對(duì) 它們進(jìn)行壓接而制作評(píng)價(jià)用樣品。其后，將該評(píng)價(jià)用樣品在溫度40°C、濃度60重量％的硝酸 溶液中浸漬10分鐘。浸漬后，根據(jù)自粘合片端部起算的液體侵入距離來評(píng)價(jià)第一粘合劑層 側(cè)的化學(xué)溶液侵入量。
[0189] (6)加熱剝離性
[0190] 與上述(5)化學(xué)溶液侵入評(píng)價(jià)同樣操作來制作評(píng)價(jià)用樣品。將該評(píng)價(jià)用樣品以130 °C加熱1分鐘。目視確認(rèn)加熱后的硅晶片的剝離狀況。表2中，將粘合劑層喪失粘合力而硅晶 片發(fā)生剝離的情況記作?、將粘合劑層具有粘合力而硅晶片未發(fā)生剝離的情況記作X。
[0191] 整
[0192]
[0193] 產(chǎn)業(yè)上的可利用性
[0194] 本發(fā)明的熱剝離型粘合片可適合地用作供給至蝕刻液等處理液的電子部件的保 護(hù)帶。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種熱剝離型粘合片，其依次具備第一粘合劑層、基材、以及第二粘合劑層， 該第一粘合劑層包含丙烯酸類粘合劑和熱膨脹性微球，所述丙烯酸類粘合劑含有（甲 基)丙烯酸類聚合物， 該（甲基）丙烯酸類聚合物包含:源自具有碳數(shù)為2以上的烷基的（甲基)丙烯酸烷基酯 的結(jié)構(gòu)單元、以及源自具有OH基的（甲基)丙烯酸類單體的結(jié)構(gòu)單元， 該（甲基)丙烯酸類聚合物中，側(cè)鏈烷基的碳(C)與OH基的摩爾比即C/0H為40~150。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱剝離型粘合片，其中，所述第二粘合劑層包含所述熱膨脹性 微球。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱剝離型粘合片，其中，所述第一粘合劑層和/或第二粘合劑 層的輪廓算術(shù)平均偏差粗糙度Ra為Iym以下。4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱剝離型粘合片，其中，水對(duì)于所述第一粘合劑層和/或第二 粘合劑層的接觸角為85°~115°。5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱剝離型粘合片，其中，所述第一粘合劑層包含增粘劑，相對(duì) 于該第一粘合劑層100重量份，該增粘劑的含有比例為40重量份以下。6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱剝離型粘合片，其中，所述第二粘合劑層包含增粘劑，相對(duì) 于該第二粘合劑層100重量份，該增粘劑的含有比例為40重量份以下。7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱剝離型粘合片，其中，所述第一粘合劑層和/或第二粘合劑 層的凝膠率為50%以上。8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱剝離型粘合片，其中，將所述第一粘合劑層側(cè)粘貼于聚對(duì)苯 二甲酸乙二醇酯薄膜時(shí)在23°C下的粘合力為lN/20mm以上。9. 一種電子部件，其使用權(quán)利要求1所述的熱剝離型粘合片來制造。
【文檔編號(hào)】C09J133/08GK105907317SQ201610093369
【公開日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年2月19日
【發(fā)明人】平山高正, 下川大輔, 西尾昭徳
【申請(qǐng)人】日東電工株式會(huì)社