電熱管氣相沉積裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種電熱管氣相沉積裝置,包括高溫爐,所述高溫爐的前側(cè)設(shè)有回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),所述回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)筒、連接轉(zhuǎn)筒的轉(zhuǎn)軸以及連接轉(zhuǎn)軸的電機(jī),所述高溫爐的前側(cè)面設(shè)有通孔,所述轉(zhuǎn)筒穿過通孔伸入高溫爐加熱腔中,所述轉(zhuǎn)筒包括筒體和設(shè)置于筒體端面的若干根固定桿,所述固定桿上穿設(shè)石英玻璃管,所述高溫爐左側(cè)設(shè)有曲柄滑塊機(jī)構(gòu),所述曲柄滑塊機(jī)構(gòu)連接高壓噴槍,所述高壓噴槍上的進(jìn)液口通過軟管連接儲(chǔ)液瓶,所述高壓噴槍上的進(jìn)氣口通過軟管連接高壓氣泵,所述高溫爐的左側(cè)面上設(shè)有缺口,所述高壓噴槍的噴霧口穿過缺口伸入高溫爐加熱腔中且曲柄滑塊機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)高壓噴槍使噴霧口在缺口內(nèi)做直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新型生產(chǎn)效率高,有利于工人的健康。
【專利說明】電熱管氣相沉積裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型涉及一種電熱管氣相沉積裝置。 技術(shù)背景
[0002] 電熱膜溶液氣壓加壓成混合霧氣采用氣相沉積技術(shù)噴向高溫爐內(nèi)的石英玻璃管, 使石英玻璃管均勻煙附混合霧氣形成電熱膜管。
[0003] 現(xiàn)有的的電熱管氣相沉積設(shè)備大多采用人工操作,生產(chǎn)效率低下,人工成本較高, 而且高溫?fù)]發(fā)的氣體不利于工人的健康。 實(shí)用新型內(nèi)容
[0004] 本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題就是提供一種電熱管氣相沉積裝置,自動(dòng)完成石 英玻璃管表面的電熱膜溶液氣相沉積,生產(chǎn)效率高,成本低,有利于工人的健康。
[0005] 為解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:
[0006] 電熱管氣相沉積裝置,包括高溫爐,所述高溫爐的前側(cè)設(shè)有回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu),所述回轉(zhuǎn)機(jī) 構(gòu)包括轉(zhuǎn)筒、連接轉(zhuǎn)筒的轉(zhuǎn)軸以及連接轉(zhuǎn)軸的電機(jī),所述高溫爐的前側(cè)面設(shè)有通孔,所述轉(zhuǎn) 筒穿過通孔伸入高溫爐加熱腔中,所述轉(zhuǎn)筒包括筒體和設(shè)置于筒體端面的若干根固定桿, 所述固定桿上穿設(shè)石英玻璃管,所述高溫爐左側(cè)設(shè)有曲柄滑塊機(jī)構(gòu),所述曲柄滑塊機(jī)構(gòu)連 接高壓噴槍,所述高壓噴槍上的進(jìn)液口通過軟管連接儲(chǔ)液瓶,所述高壓噴槍上的進(jìn)氣口通 過軟管連接高壓氣泵,所述高溫爐的左側(cè)面上設(shè)有缺口,所述高壓噴槍的噴霧口穿過缺口 伸入高溫爐加熱腔中且曲柄滑塊機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)高壓噴槍使噴霧口在缺口內(nèi)做直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
[0007] 優(yōu)選的,所述電機(jī)固定于支桿上端,所述支桿下端滑動(dòng)連接于滑軌上。
[0008] 優(yōu)選的,所述固定桿周向分布于筒體的端面且固定桿的頭端設(shè)有耐熱橡膠帽。
[0009] 優(yōu)選的,所述曲柄滑塊機(jī)構(gòu)包括滑塊,所述滑塊上設(shè)有兩塊彈性片,所述高壓噴槍 底座嵌入兩塊彈性片之間的間隙中。
[0010] 優(yōu)選的,所述高溫爐上端設(shè)有貫通高溫爐加熱腔的出氣管,所述出氣管與高溫爐 的連接端設(shè)有離心風(fēng)機(jī)。
[0011] 優(yōu)選的,所述高壓噴槍與高壓氣泵之間的軟管上設(shè)有氣壓表。
[0012] 本實(shí)用新型采用上述技術(shù)方案,儲(chǔ)液瓶中的電熱膜溶液進(jìn)入高壓噴槍進(jìn)液口通過 高壓氣泵輸入的高壓氣體加壓成混合氣體,高壓噴槍通過曲柄滑塊機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)使噴霧口在缺 口內(nèi)做直線往復(fù)運(yùn)動(dòng),從而使噴霧口噴出的霧化電熱膜溶液均勻的噴灑至高溫爐加熱腔 內(nèi),石英玻璃管固定于固定桿上通過回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn),從而使高溫爐內(nèi)的霧化電熱膜溶液經(jīng) 高溫氣相沉積均勻的附著在石英玻璃管表面形成電熱膜管。本實(shí)用新型取代了人工操作握 持高壓噴槍以及轉(zhuǎn)動(dòng)旋轉(zhuǎn)石英玻璃管,具有更高的生產(chǎn)效率,更低的成本,而且能夠避免工 人因貼近高溫爐工作而吸入有毒揮發(fā)氣體的危險(xiǎn)。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0013] 以下結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步描述:
[0014] 圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0015] 圖2是圖1的左視圖;
[0016] 圖3是本實(shí)用新型中轉(zhuǎn)筒的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0017] 圖4是本實(shí)用新型中滑塊的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018] 下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作詳細(xì)說明。
[0019] 如圖1和圖2所示,本實(shí)用新型包括高溫爐1,所述高溫爐的前側(cè)設(shè)有回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)2, 所述回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)筒201、連接轉(zhuǎn)筒的轉(zhuǎn)軸202以及連接轉(zhuǎn)軸的電機(jī)203,所述高溫爐的 前側(cè)面設(shè)有通孔101,所述轉(zhuǎn)筒穿過通孔伸入高溫爐加熱腔中,所述轉(zhuǎn)筒包括筒體201a和 設(shè)置于筒體端面的若干根固定桿201b,所述固定桿上穿設(shè)石英玻璃管,所述高溫爐左側(cè)設(shè) 有曲柄滑塊機(jī)構(gòu)3,所述曲柄滑塊機(jī)構(gòu)連接高壓噴槍4,所述高壓噴槍上的進(jìn)液口通過軟管 連接儲(chǔ)液瓶5,所述高壓噴槍上的進(jìn)氣口通過軟管連接高壓氣泵6,所述高溫爐的左側(cè)面上 設(shè)有缺口 102,所述高壓噴槍的噴霧口穿過缺口伸入高溫爐加熱腔中且曲柄滑塊機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng) 高壓噴槍使噴霧口在缺口內(nèi)做直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
[0020] 所述電機(jī)203固定于支桿204上端,所述支桿下端滑動(dòng)連接于滑軌205上。通過 支桿204與滑軌205的滑動(dòng)連接,進(jìn)行石英玻璃管的裝料和卸料,操作方便。
[0021] 所述高溫爐1上端設(shè)有貫通高溫爐加熱腔的出氣管104,所述出氣管與高溫爐的 連接端設(shè)有離心風(fēng)機(jī)l〇4a。所述離心風(fēng)機(jī)104a將高溫爐加熱腔內(nèi)的有害氣體抽離并通過 出氣管104排放至氣體處理池進(jìn)行凈化處理。所述高溫爐1底部設(shè)有若干塊加熱體103對(duì) 加熱腔進(jìn)行加熱。
[0022] 所述高壓噴槍4與高壓氣泵6之間的軟管上設(shè)有氣壓表601,便于觀察和調(diào)試氣壓 大小。
[0023] 如圖3所示,所述固定桿201b周向分布于筒體201a的端面且固定桿的頭端設(shè)有 耐熱橡膠帽,防止石英玻璃管從固定桿上滑出。
[0024] 如圖4所示,所述曲柄滑塊機(jī)構(gòu)3包括滑塊301,所述滑塊上設(shè)有兩塊彈性片 301a,所述高壓噴槍4底座嵌入兩塊彈性片之間的間隙中。
[0025] 本實(shí)用新型的電熱管氣相沉積方法為:
[0026] 首先,將高溫爐1的加熱腔的溫度加熱至700°C?900°C,將石英玻璃管分別套接 于固定桿201b上,并在固定桿頭端套接耐熱橡膠帽防止石英玻璃管從固定桿上滑出;
[0027] 其次,推動(dòng)電機(jī)203將轉(zhuǎn)筒201推入高溫爐1的加熱腔內(nèi),啟動(dòng)電機(jī)使石英玻璃管 繞轉(zhuǎn)筒軸心旋轉(zhuǎn),之后開啟高壓噴槍4的開關(guān)和高壓氣泵6開關(guān),然后啟動(dòng)控制曲柄滑塊機(jī) 構(gòu)3的電動(dòng)機(jī),加熱時(shí)間為15min;
[0028] 最后,加熱完成后,依次關(guān)閉高壓噴槍開關(guān)、控制曲柄滑塊機(jī)構(gòu)的電動(dòng)機(jī)以及電機(jī) 203,拉動(dòng)電機(jī)將轉(zhuǎn)筒拉入高溫爐,取下石英玻璃管轉(zhuǎn)移至冷卻工位。
[0029] 以上就本實(shí)用新型較佳的實(shí)施例做了說明,但不能理解為是對(duì)權(quán)利要求的限制。 本實(shí)用新型不僅局限于以上實(shí)施例,其具體結(jié)構(gòu)允許有變化,本領(lǐng)域技術(shù)人員可以根據(jù)本 實(shí)用新型作出各種改變和變形,只要不脫離本實(shí)用新型的精神,均屬于本實(shí)用新型所附權(quán) 利要求所定義的范圍。
【權(quán)利要求】
1. 電熱管氣相沉積裝置,包括高溫爐⑴,其特征在于:所述高溫爐的前側(cè)設(shè)有回轉(zhuǎn)機(jī) 構(gòu)(2),所述回轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)筒(201)、連接轉(zhuǎn)筒的轉(zhuǎn)軸(202)以及連接轉(zhuǎn)軸的電機(jī)(203), 所述高溫爐的前側(cè)面設(shè)有通孔(101),所述轉(zhuǎn)筒穿過通孔伸入高溫爐加熱腔中,所述轉(zhuǎn)筒包 括筒體(201a)和設(shè)置于筒體端面的若干根固定桿(201b),所述固定桿上穿設(shè)石英玻璃管, 所述高溫爐左側(cè)設(shè)有曲柄滑塊機(jī)構(gòu)(3),所述曲柄滑塊機(jī)構(gòu)連接高壓噴槍(4),所述高壓噴 槍上的進(jìn)液口通過軟管連接儲(chǔ)液瓶(5),所述高壓噴槍上的進(jìn)氣口通過軟管連接高壓氣泵 (6),所述高溫爐的左側(cè)面上設(shè)有缺口(102),所述高壓噴槍的噴霧口穿過缺口伸入高溫爐 加熱腔中且曲柄滑塊機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)高壓噴槍使噴霧口在缺口內(nèi)做直線往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電熱管氣相沉積裝置,其特征在于:所述電機(jī)(203)固定于 支桿(204)上端,所述支桿下端滑動(dòng)連接于滑軌(205)上。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的電熱管氣相沉積裝置,其特征在于:所述固定桿(201b)周向 分布于筒體(201a)的端面且固定桿的頭端設(shè)有耐熱橡膠帽。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的電熱管氣相沉積裝置,其特征在于:所述曲柄滑塊機(jī)構(gòu)(3) 包括滑塊(301),所述滑塊上設(shè)有兩塊彈性片(301a),所述高壓噴槍(4)底座嵌入兩塊彈性 片之間的間隙中。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電熱管氣相沉積裝置,其特征在于:所述高溫爐(1)上 端設(shè)有貫通高溫爐加熱腔的出氣管(104),所述出氣管與高溫爐的連接端設(shè)有離心風(fēng)機(jī) (104a)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電熱管氣相沉積裝置,其特征在于:所述高壓噴槍(4)與高 壓氣泵(6)之間的軟管上設(shè)有氣壓表¢01)。
【文檔編號(hào)】B05D7/22GK203866380SQ201420307863
【公開日】2014年10月8日 申請(qǐng)日期:2014年6月10日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月10日
【發(fā)明者】施吉承, 衛(wèi)正強(qiáng) 申請(qǐng)人:長(zhǎng)興宏能電熱膜元件廠