螺旋涂敷裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明根據(jù)實(shí)施形態(tài)，提供具備載物臺(tái)、噴嘴、移動(dòng)單元、氣體供給部、洗凈液供給部和噴嘴洗凈部的螺旋涂敷裝置。載物臺(tái)具有載置涂敷對(duì)象物的載置面。噴嘴往載置在載物臺(tái)上的涂敷對(duì)象物吐出液體。移動(dòng)單元使噴嘴相對(duì)于載物臺(tái)相對(duì)地移動(dòng)。氣體供給部提供氣體。洗凈液供給部提供洗凈液。噴嘴洗凈部具有氣體供給口和洗凈液供給口，從氣體供給口向噴嘴噴射從氣體供給部提供來(lái)的氣體，從洗凈液供給口向噴嘴吐出從洗凈液供給部提供來(lái)的洗凈液。
【專利說(shuō)明】螺旋涂敷裝置
[0001]本發(fā)明申請(qǐng)基于2013年9月18日提出的日本專利申請(qǐng)N0.2013-193286號(hào)并主張?jiān)撋暾?qǐng)的優(yōu)先權(quán)，引用該申請(qǐng)的全部?jī)?nèi)容并入本發(fā)明中。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002]本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)涉及螺旋涂敷裝置。

【背景技術(shù)】
[0003]在例如半導(dǎo)體等領(lǐng)域中，作為在基板上形成膜的裝置有螺旋涂敷裝置。螺旋涂敷裝置使將圓盤(pán)狀的基板固定的圓形旋轉(zhuǎn)臺(tái)旋轉(zhuǎn)，邊從涂敷噴嘴吐出材料邊使涂敷噴嘴從基板中央向基板外周直線狀地移動(dòng)，描繪螺旋狀(旋渦狀)的涂敷軌跡，通過(guò)這樣在整個(gè)基板面形成膜。此時(shí)，通過(guò)精度良好地將涂敷噴嘴頂端面(吐出面)與基板表面之間的距離控制在大致一定的值，能夠形成厚度更均勻的膜。
[0004]如果涂敷噴嘴的頂端被污染了的話，則膜的厚度產(chǎn)生參差不齊，因此一般情況下，螺旋涂敷裝置在形成膜后用例如有機(jī)溶劑等洗凈液將附著在涂敷噴嘴上的附著物洗凈。但是，如果在涂敷噴嘴的頂端殘留有洗凈液的話，則涂敷開(kāi)始部的膜厚產(chǎn)生參差不齊。涂敷噴嘴的洗凈工序復(fù)雜。因此，希望涂敷噴嘴的洗凈工序簡(jiǎn)化。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明想要解決的問(wèn)題是提供一種能夠簡(jiǎn)化涂敷噴嘴的洗凈工序的螺旋涂敷裝置。
[0006]本發(fā)明為一種螺旋涂敷裝置，具備:載物臺(tái)，具有載置涂敷對(duì)象物的載置面；噴嘴，往載置在上述載物臺(tái)上的上述涂敷對(duì)象物吐出液體；移動(dòng)單元，使上述噴嘴相對(duì)于上述載物臺(tái)相對(duì)地移動(dòng)，該移動(dòng)單元具有使上述噴嘴沿與上述載物臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸平行的方向移動(dòng)的第I移動(dòng)機(jī)構(gòu)部、以及使上述噴嘴沿與上述旋轉(zhuǎn)軸交叉的方向沿著上述載置面移動(dòng)的第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)部；氣體供給部，提供氣體；洗凈液供給部，提供洗凈液；以及，噴嘴洗凈部，具有氣體供給口和洗凈液供給口，從上述氣體供給口向上述噴嘴噴射從上述氣體供給部提供來(lái)的上述氣體，從上述洗凈液供給口向上述噴嘴吐出從上述洗凈液供給部提供的上述洗凈液。
[0007]利用上述結(jié)構(gòu)，能夠提供能夠簡(jiǎn)化涂敷噴嘴的洗凈工序的螺旋涂敷裝置。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0008]圖1為表示本發(fā)明實(shí)施形態(tài)的螺旋涂敷裝置的示意俯視圖；
[0009]圖2A及圖2B為表示本實(shí)施形態(tài)的噴嘴洗凈部的示意圖；
[0010]圖3A?圖3F為說(shuō)明噴嘴洗凈部的作用及噴嘴的洗凈方法的示意俯視圖；
[0011]圖4A?圖4F為說(shuō)明比較例的噴嘴的洗凈方法的示意俯視圖；
[0012]圖5A及圖5B為舉例說(shuō)明本實(shí)施形態(tài)的噴嘴洗凈部的變形例的示意俯視圖；
[0013]圖6A及圖6B為舉例說(shuō)明本實(shí)施形態(tài)的擦去部的具體例的示意俯視圖。

【具體實(shí)施方式】
[0014]根據(jù)實(shí)施形態(tài)，提供具備載物臺(tái)、噴嘴、移動(dòng)單元、氣體供給部、洗凈液供給部和噴嘴洗凈部的螺旋涂敷裝置。上述載物臺(tái)具有載置涂敷對(duì)象物的載置面。上述噴嘴往載置在上述載物臺(tái)上的上述涂敷對(duì)象物吐出液體。上述移動(dòng)單元使上述噴嘴相對(duì)于上述載物臺(tái)相對(duì)地移動(dòng)。上述移動(dòng)單元具有第I移動(dòng)機(jī)構(gòu)部和第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)部。上述第I移動(dòng)機(jī)構(gòu)部使上述噴嘴沿與上述載物臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸平行的方向移動(dòng)。上述第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)部使上述噴嘴沿與上述旋轉(zhuǎn)軸交叉的方向沿著上述載置面移動(dòng)。上述氣體供給部提供氣體。上述洗凈液供給部提供洗凈液。上述噴嘴洗凈部具有氣體供給口和洗凈液供給口，從上述氣體供給口向上述噴嘴噴射從上述氣體供給部提供來(lái)的上述氣體、從上述洗凈液供給口向上述噴嘴吐出從上述洗凈液供給部提供來(lái)的上述洗凈液。
[0015]下面參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。另外，各附圖中相同的構(gòu)成要素附加相同的標(biāo)記，適當(dāng)省略詳細(xì)的說(shuō)明。
[0016]圖1為表示本發(fā)明實(shí)施形態(tài)的螺旋涂敷裝置的示意俯視圖。
[0017]圖1所示的螺旋涂敷裝置100具備載物臺(tái)101、噴嘴102、涂敷液供給部103、檢測(cè)部104、移動(dòng)單元105、噴嘴洗凈部110、氣體供給部14、洗凈液供給部20和擦去部30。
[0018]在載物臺(tái)101的載置面1la上載置有作為涂敷對(duì)象物的基板W。載物臺(tái)101保持載置的基板W。載物臺(tái)101被形成為例如圓形狀，在驅(qū)動(dòng)部107的驅(qū)動(dòng)下能夠在水平面內(nèi)(沿著載置面1la的面內(nèi))旋轉(zhuǎn)?；錡被例如使用了未圖示的真空泵等的吸附機(jī)構(gòu)保持在載物臺(tái)101上。
[0019]驅(qū)動(dòng)部107能夠在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)地支承載物臺(tái)101，用例如電動(dòng)機(jī)等使載物臺(tái)101以載物臺(tái)101的中心為旋轉(zhuǎn)中心在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)。由此，載置在載物臺(tái)101上的基板W在水平面內(nèi)旋轉(zhuǎn)。
[0020]噴嘴102從頂端朝基板W的表面吐出涂敷液L。噴嘴102連續(xù)地吐出涂敷液L，將涂敷液L涂敷到基板W的表面上。例如，基板W為半導(dǎo)體晶片等。例如，涂敷液L為抗蝕劑液等。
[0021]涂敷液供給部103通過(guò)噴嘴102將涂敷液L提供給基板W的表面。例如，涂敷液供給部103具有儲(chǔ)存容器、泵、供給閥和吐出閥。儲(chǔ)存容器收容涂敷液L。泵向噴嘴102提供涂敷液L。供給閥和吐出閥根據(jù)從未圖示的控制部發(fā)送來(lái)的信號(hào)開(kāi)閉，控制涂敷液L向基板W表面的提供。
[0022]檢測(cè)部104檢測(cè)到基板W的表面或載物臺(tái)101的載置面1la的距離。噴嘴102的頂端面(吐出面)102a與基板W的表面之間的距離由未圖示的控制部根據(jù)檢測(cè)到的到基板W表面的距離進(jìn)行控制。或者，噴嘴102的頂端面102a與載物臺(tái)101的載置面1la之間的距離由未圖示的控制部根據(jù)檢測(cè)到的到載物臺(tái)101的載置面1la的距離進(jìn)行控制。作為檢測(cè)部104能夠列舉例如反射型激光傳感器等。
[0023]移動(dòng)單元105具有升降部(第I移動(dòng)機(jī)構(gòu)部)105a和移動(dòng)部(第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)部)105b，使噴嘴102相對(duì)于載物臺(tái)101相對(duì)移動(dòng)。升降部105a保持噴嘴102使噴嘴102升降。S卩，升降部105a使噴嘴102沿與載物臺(tái)101的旋轉(zhuǎn)軸平行的方向移動(dòng)。移動(dòng)部105b保持升降部105a，使噴嘴102沿與升降方向正交的方向移動(dòng)。即，移動(dòng)部105b使噴嘴102沿與載物臺(tái)101的旋轉(zhuǎn)軸垂直的方向沿著載置面1la移動(dòng)。作為移動(dòng)單元105，能夠列舉例如雙軸控制的機(jī)械手等。
[0024]噴嘴洗凈部110用從氣體供給部14提供的氣體202和從洗凈液供給部20提供的洗凈液201洗凈噴嘴102的頂端部。有關(guān)噴嘴洗凈部110的詳細(xì)結(jié)構(gòu)后述。
[0025]氣體供給部14具有供給部14a、壓力控制部14b和開(kāi)閉閥14c，通過(guò)氣體供給流路14d向噴嘴洗凈部110提供氣體202。供給部14a為例如收容有高壓氣體202的儲(chǔ)存容器和工廠管線等。壓力控制部14b使從供給部14a提供來(lái)的氣體202的壓力在規(guī)定范圍內(nèi)地進(jìn)行控制。開(kāi)閉閥14c控制氣體202的供給和停止。
[0026]這種情況下，具有壓力控制部14b和開(kāi)閉閥14c的組也可以設(shè)置多組。在具有壓力控制部14b和開(kāi)閉閥14c的組設(shè)置有多組的情況下，能夠與附著在噴嘴102上的附著物的粘度等相對(duì)應(yīng)地切換噴射的氣體202的流速。
[0027]例如，對(duì)于粘度低的附著物，能夠通過(guò)降低壓力設(shè)定的壓力控制部14b而使氣體202噴射。并且，對(duì)于粘度高的附著物，能夠通過(guò)提高了壓力設(shè)定的壓力控制部14b而使氣體202噴射。由此，能夠容易地除去粘度高的附著物，能夠抑制粘度低的附著物飛散。
[0028]洗凈液供給部20具有收容部22、送液部23和流量控制部24，通過(guò)洗凈液供給流路20a向噴嘴洗凈部110提供洗凈液201。
[0029]收容部22收容洗凈液201。對(duì)于洗凈液201沒(méi)有特別限制，能夠根據(jù)附著物的材質(zhì)而適當(dāng)選擇。例如，在附著物為抗蝕劑的情況下，洗凈液201包括酮系溶劑或乙醇系溶劑坐寸ο
[0030]送液部23通過(guò)給收容部22的內(nèi)部提供氣體而將收容在收容部22中的洗凈液201朝噴嘴洗凈部110壓送。
[0031]送液部23具有壓力控制部23a、開(kāi)閉閥23b和供給部23c。
[0032]壓力控制部23a控制從供給部23c提供到收容部22內(nèi)部的氣體的壓力。對(duì)于從供給部23c提供的氣體沒(méi)有特別限制，包括例如空氣或氮?dú)獾取?br> [0033]開(kāi)閉閥23b進(jìn)行氣體向收容部22的供給和停止。
[0034]供給部23c為例如收容有高壓氣體的儲(chǔ)存容器或工廠管線等。
[0035]流量控制部24具有流量調(diào)整閥24a和開(kāi)閉閥24b。
[0036]流量調(diào)整閥24a調(diào)整提供給噴嘴洗凈部110的洗凈液201的流量。
[0037]開(kāi)閉閥24b進(jìn)行洗凈液201向噴嘴洗凈部110的供給和停止。
[0038]圖2A及圖2B為表示本實(shí)施形態(tài)的噴嘴洗凈部的示意圖。
[0039]圖2A為表示本實(shí)施形態(tài)的噴嘴洗凈部的示意俯視圖。圖2B為圖2A中表示的截面A-A中的示意剖視圖。
[0040]本實(shí)施形態(tài)的噴嘴洗凈部110具有殼體111和升降機(jī)構(gòu)部(第3移動(dòng)機(jī)構(gòu)部)119。
[0041]殼體111為例如容器等，呈中空形狀。如圖2A及圖2B所示，噴嘴102中的至少一部分插入殼體111的內(nèi)部。即，殼體111覆蓋噴嘴102外周的至少一部分。
[0042]升降機(jī)構(gòu)部119保持殼體111，使殼體111升降。即，升降機(jī)構(gòu)部119使殼體111沿與噴嘴102的軸平行的方向相對(duì)于噴嘴102相對(duì)地升降。升降機(jī)構(gòu)部119保持在移動(dòng)部105b上，能夠沿與升降方向正交的方向移動(dòng)。即，升降機(jī)構(gòu)部119能夠沿與載物臺(tái)101的旋轉(zhuǎn)軸垂直的方向沿著載置面1la與噴嘴102—起移動(dòng)。由此，本實(shí)施形態(tài)的噴嘴洗凈部110能夠沿升降方向相對(duì)于噴嘴102相對(duì)地移動(dòng)，同時(shí)能夠沿與載物臺(tái)101的旋轉(zhuǎn)軸垂直的方向沿著載置面1la與噴嘴102 —起移動(dòng)。
[0043]殼體111具有氣體通道113和洗凈液通道115。
[0044]氣體通道113的一端連接在氣體供給流路14d上。氣體通道113的另一端形成氣體供給口 113a。例如，氣體通道113遍布噴嘴102的全周地被設(shè)置成環(huán)形?；蛘?，氣體通道113也可以隔開(kāi)規(guī)定的間隔而遍布噴嘴102的全周地配置有多個(gè)。像圖2A所示的箭頭Al及A2那樣，通過(guò)氣體供給流路14d和氣體通道113提供來(lái)的氣體202從氣體供給口 113a朝噴嘴102的頂端部噴射。
[0045]洗凈液通道115的一端連接在洗凈液供給流路20a上。洗凈液通道115的另一端形成洗凈液供給口 115a。例如，洗凈液通道115遍布噴嘴102的全周被設(shè)置成環(huán)形?；蛘撸磧粢和ǖ?15也可以隔開(kāi)規(guī)定間隔遍布噴嘴102的全周地配置有多個(gè)。如圖2A所示的箭頭A3和A4那樣，通過(guò)洗凈液供給流路20a和洗凈液通道115提供來(lái)的洗凈液從洗凈液供給口 115a朝噴嘴102的頂端部吐出。
[0046]如圖2A所示，氣體供給口 113a設(shè)置在比洗凈液供給口 115a靠上方。
[0047]圖3A?圖3F為說(shuō)明噴嘴洗凈部的作用和噴嘴的洗凈方法的示意俯視圖。
[0048]圖4A?圖4F為說(shuō)明比較例的噴嘴的洗凈方法的示意俯視圖。
[0049]首先，參照?qǐng)D4A?圖4F說(shuō)明比較例的噴嘴的洗凈方法。
[0050]如圖4A所示，往附著有附著物211的噴嘴102的頂端部適當(dāng)?shù)貒娚錃怏w。接著，像圖4B所示那樣，利用移動(dòng)單元105使噴嘴102移動(dòng)，使噴嘴102的頂端部進(jìn)入收容在洗凈槽221內(nèi)的洗凈液201中。然后，從噴嘴102吐出涂敷液L。通過(guò)使噴嘴102的頂端部進(jìn)入洗凈液201中，洗凈液201混入位于噴嘴102頂端部的涂敷液L中。因此，排出混入了洗凈液201的涂敷液L。
[0051]接著，如圖4B所示的箭頭All和圖4C所示，利用移動(dòng)單元105使噴嘴102移動(dòng)，插入噴吹容器223中。然后，像圖4C所示的箭頭A13和箭頭A14那樣，從噴吹容器223的噴射孔223a往噴嘴102的頂端部噴射氣體。
[0052]接著，像圖4C所示的箭頭A12那樣，利用移動(dòng)單元105使噴嘴102移動(dòng)到擦去部30的上方。然后像圖4D所示的箭頭A15和箭頭A16那樣使噴嘴102的頂端面102a與擦去部30的布部接觸，通過(guò)使其在保持接觸的狀態(tài)下在擦去部30的布部上移動(dòng)，能夠擦拭噴嘴102的頂端面102a。
[0053]接著，像圖4E所示那樣，利用移動(dòng)單元105使噴嘴102移動(dòng)，就這樣放置。由此，使附著在噴嘴102的頂端面102a及噴嘴102的頂端部上的洗凈液201干燥。接著，像圖4F所示那樣，利用移動(dòng)單元105使噴嘴102移動(dòng)到載物臺(tái)101之上，進(jìn)行螺旋涂敷。
[0054]這樣，比較例的噴嘴102的洗凈方法中使將噴嘴102放置，使噴嘴102的頂端面102a和附著在噴嘴102的頂端部上的洗凈液201干燥。因此，在噴嘴102的洗凈工序中有時(shí)花費(fèi)比較長(zhǎng)的時(shí)間。并且，在例如使噴嘴102從洗凈槽221向噴吹容器223移動(dòng)的情況下，噴嘴102的移動(dòng)有時(shí)花費(fèi)比較長(zhǎng)的時(shí)間。
[0055]與此不同，本實(shí)施形態(tài)中螺旋涂敷裝置100具備噴嘴洗凈部110。像有關(guān)圖2A及圖2B的前述那樣，噴嘴洗凈部110能夠沿升降方向相對(duì)于噴嘴102相對(duì)地移動(dòng)，同時(shí)能夠沿與載物臺(tái)101的旋轉(zhuǎn)軸垂直的方向沿著載置面1la與噴嘴102 —起移動(dòng)。
[0056]參照?qǐng)D3A?圖3F說(shuō)明本實(shí)施形態(tài)的噴嘴102的洗凈方法。
[0057]像圖3A所示那樣，在附著物211附著在噴嘴102的頂端部的狀態(tài)下，像圖3B所示的箭頭A21和箭頭A22那樣，從氣體供給口 113a向噴嘴102的頂端部噴射氣體202。
[0058]接著，像例如圖3C所示的箭頭A21及箭頭A22那樣，從氣體供給口 113a向噴嘴102的頂端部噴射氣體202，同時(shí)像圖3C所示的箭頭A23及箭頭A24那樣從洗凈液供給口115a向噴嘴102的頂端部吐出洗凈液201。由此，洗凈液201遍及噴嘴102頂端部的大致全周。
[0059]接著，像圖3D所示的箭頭A21、箭頭A22及箭頭A25那樣，從氣體供給口 113a向噴嘴102的頂端部噴射氣體202，并且升降機(jī)構(gòu)部119使殼體111向噴嘴102的頂端部下降。由此，使附著在噴嘴102頂端部的大致全周上的洗凈液201飛散。
[0060]接著，從氣體供給口 113a向噴嘴102的頂端部噴射氣體202，并且利用移動(dòng)單元105使噴嘴102移動(dòng)到擦去部30的上方。像前述那樣，氣體供給口 113a被設(shè)置在比洗凈液供給口 115a靠上方。由此，在用氣體202使附著在噴嘴102頂端部的洗凈液201飛散后，能夠抑制洗凈液201再次附著在噴嘴102的頂端部殘留。
[0061]像圖3E所示的箭頭A21、箭頭A22及箭頭A26那樣，從氣體供給口 113a向噴嘴102的頂端部噴射氣體202，并且升降機(jī)構(gòu)部119使殼體111向與噴嘴102的頂端部相反一側(cè)上升。接著，像例如圖3E所示的箭頭A21及箭頭A22那樣從氣體供給口 113a向噴嘴102的頂端部噴射氣體202，并且像圖3E所示的箭頭A27那樣使噴嘴102的頂端面102a與擦去部30的布部接觸，在接觸狀態(tài)不變的情況下在擦去部30的布部上移動(dòng)，通過(guò)這樣擦拭噴嘴102的頂端面102a。
[0062]接著，像圖3F所示那樣，使從氣體供給口 113a噴射的氣體202停止，利用移動(dòng)單元105使噴嘴102移動(dòng)到載物臺(tái)101上，進(jìn)行螺旋涂敷。
[0063]根據(jù)本實(shí)施形態(tài)，能夠省略將噴嘴102放置、使噴嘴102的頂端部干燥的工序。因此，能夠縮短噴嘴102的洗凈工序所花費(fèi)的時(shí)間，能夠簡(jiǎn)化噴嘴102的洗凈工序。并且，在使噴嘴102移動(dòng)的過(guò)程中或者用擦去部30擦拭噴嘴102的頂端面102a的過(guò)程中等能夠從氣體供給口 113a向噴嘴102的頂端部持續(xù)地噴射氣體202。由此，能夠謀求促進(jìn)干燥，能夠縮短噴嘴102的洗凈工序所花費(fèi)的時(shí)間。
[0064]并且，由于不需要有關(guān)圖4B的前述洗凈槽221，因此能夠謀求節(jié)省空間，能夠簡(jiǎn)化螺旋涂敷裝置100。而且，由于往噴嘴102的頂端部吐出洗凈液201、噴射氣體202，因此與使噴嘴102的頂端部進(jìn)入收容在洗凈槽221中的洗凈液201中的情況相比，能夠提高噴嘴102的洗凈效率。
[0065]圖5A及圖5B為舉例說(shuō)明本實(shí)施形態(tài)的噴嘴洗凈部的變形例的示意俯視圖。
[0066]圖5A為舉例說(shuō)明噴嘴洗凈部的變形例的一個(gè)例子的示意俯視圖。圖5B為舉例說(shuō)明噴嘴洗凈部的變形例的另一個(gè)例子的示意俯視圖。
[0067]圖5A所示的噴嘴洗凈部IlOa具有洗凈液通道117。洗凈液通道117設(shè)置在殼體111下端部的外周部。洗凈液通道117的一端連接在洗凈液供給流路20a上。洗凈液通道117的另一端形成洗凈液供給口 117a。例如，洗凈液通道117遍布噴嘴102頂端部的全周地被設(shè)置成環(huán)形。或者，洗凈液通道117也可以隔開(kāi)規(guī)定的間隔遍布噴嘴102頂端部的全周地被配置有多個(gè)。如圖5A所示的箭頭A31及箭頭A32那樣，通過(guò)洗凈液供給流路20a及洗凈液通道117提供來(lái)的洗凈液從洗凈液供給口 117a向噴嘴102的頂端部噴射。除此以外的結(jié)構(gòu)與有關(guān)圖2A及圖2B的前述噴嘴洗凈部110的結(jié)構(gòu)相同。
[0068]根據(jù)本變形例，噴嘴洗凈部IlOa從洗凈液供給口 117a向噴嘴102的頂端部噴射洗凈液201。因此，能夠使洗凈液201更確實(shí)地遍及噴嘴102頂端部的大致全周。
[0069]另外，從氣體供給口 113a噴射、通過(guò)殼體111中的氣體202的氣流最好成為層流。由此，能夠抑制位于噴嘴102頂端部的涂敷液L被氣體202的氣流從噴嘴102拖出去。
[0070]圖5B所示的噴嘴洗凈部IlOb與圖5A所示的噴嘴洗凈部IlOa相比，還具有底座118。由此，能夠更容易地使從氣體供給口 113a噴射、經(jīng)過(guò)殼體111中的氣體202的氣流變成層流。由此,能夠更容易地抑制位于噴嘴102頂端部的涂敷液L被氣體202的氣流從噴嘴102拖出去。
[0071]接著，參照附圖對(duì)本實(shí)施形態(tài)的擦去部30的具體例進(jìn)行說(shuō)明。
[0072]圖6A及圖6B為舉例說(shuō)明本實(shí)施形態(tài)的擦去部的具體例的示意俯視圖。
[0073]另外，圖6A為圖6B所示的截面C-C的示意剖視圖。圖6B為圖6A所示截面B-B的示意剖視圖。
[0074]如圖6A及圖6B所示，擦去部30具有基座31、支承部32、引導(dǎo)部33、保持部34、襯墊35、彈性部36、支承板37、壓板38、布部39、供給部40和卷取部41。
[0075]基座31呈板狀，被設(shè)置在供給部40與卷取部41之間。
[0076]支承部32分別被設(shè)置在基座31的長(zhǎng)度方向的兩端部。支承部32呈柱狀。
[0077]引導(dǎo)部33設(shè)置在支承部32上。引導(dǎo)部33沿支承部32的軸線方向延伸。
[0078]保持部34在保持襯墊35的同時(shí)還沿引導(dǎo)部33移動(dòng)。
[0079]襯墊35與布部39的與噴嘴102的頂端面接觸側(cè)的相反一側(cè)接觸。襯墊35呈板狀，兩端部被保持部34保持著。襯墊35的長(zhǎng)度方向與基座31的長(zhǎng)度方向相同。
[0080]彈性部36設(shè)置在基座31與襯墊35之間，朝布部39對(duì)襯墊35施力。彈性部36為例如壓縮彈簧等。
[0081]支承板37與布部39的與噴嘴102的頂端面接觸側(cè)的相反一側(cè)接觸。支承板37在與襯墊35的長(zhǎng)度方向正交的方向上夾著襯墊35而設(shè)置2個(gè)。支承板37例如被保持在支承部32上。
[0082]壓板38分別設(shè)置在2塊支承板37的上方。即，壓板38夾著布部39與支承板37相對(duì)峙地設(shè)置。壓板38被未圖示的彈性部朝支承板37施力。
[0083]另外，雖然舉例說(shuō)明了設(shè)置2組支承板37和壓板38的情況，但組數(shù)能夠適當(dāng)變更。例如，既可以設(shè)置I組支承板37和壓板38，也可以設(shè)置3組以上。
[0084]布部39呈帶狀。布部39的一端被供給部40的卷心40a保持，另一端被卷取部41的卷心41a保持。
[0085]布部39經(jīng)過(guò)供給部40 —側(cè)的支承板37與壓板38之間、襯墊35的上面、以及卷取部41 一側(cè)的支承板37與壓板38之間。
[0086]通過(guò)使噴嘴102的頂端面與布部39接觸，在保持接觸的狀態(tài)下使其在布部39上移動(dòng)，能夠擦拭噴嘴102的頂端面。此時(shí)，在彈性部36的作用下，通過(guò)襯墊35將布部39推頂?shù)絿娮?02的頂端面上。因此，能夠維持布部39與噴嘴102的頂端面之間的密合性。
[0087]供給部40保持纏繞有布部39的卷心40a。并且，卷心40a能夠旋轉(zhuǎn)。
[0088]卷取部41保持卷心41a。并且，用未圖示的驅(qū)動(dòng)裝置使卷心41a旋轉(zhuǎn)，來(lái)卷取布部39。
[0089]本實(shí)施形態(tài)的擦去部30中布部39被夾在支承板37與壓板38之間。因此，即使襯墊35的位置被噴嘴102推頂而移動(dòng)到下方，也能夠抑制布部39在供給部40 —側(cè)與卷取部41 一側(cè)之間撓曲。因此，能夠有效地除去附著在噴嘴102上的附著物。
[0090]以上雖然說(shuō)明了本發(fā)明的幾個(gè)實(shí)施形態(tài)，但這些實(shí)施形態(tài)只是作為例子提出，并沒(méi)有限定發(fā)明范圍的意圖。這些新的實(shí)施形態(tài)能夠以各種各樣的形態(tài)實(shí)施，在不超出發(fā)明宗旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行種種省略、置換和變更。這些實(shí)施形態(tài)或其変形在包含在發(fā)明范圍或宗旨內(nèi)的同時(shí)，還包含在權(quán)利要求的范圍中記載的發(fā)明及其均等的范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種螺旋涂敷裝置，具備: 載物臺(tái)，具有載置涂敷對(duì)象物的載置面； 噴嘴，往載置在上述載物臺(tái)上的上述涂敷對(duì)象物吐出液體； 移動(dòng)單元，使上述噴嘴相對(duì)于上述載物臺(tái)相對(duì)地移動(dòng)，該移動(dòng)單元具有使上述噴嘴沿與上述載物臺(tái)的旋轉(zhuǎn)軸平行的方向移動(dòng)的第I移動(dòng)機(jī)構(gòu)部、以及使上述噴嘴沿與上述旋轉(zhuǎn)軸交叉的方向沿著上述載置面移動(dòng)的第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)部； 氣體供給部，提供氣體； 洗凈液供給部，提供洗凈液；以及 噴嘴洗凈部，具有氣體供給口和洗凈液供給口，從上述氣體供給口向上述噴嘴噴射從上述氣體供給部提供來(lái)的上述氣體，從上述洗凈液供給口向上述噴嘴吐出從上述洗凈液供給部提供來(lái)的上述洗凈液。
2.如權(quán)利要求1所述的螺旋涂敷裝置，上述噴嘴洗凈部具有設(shè)置了上述氣體供給口及上述洗凈液供給口的殼體，上述殼體覆蓋上述噴嘴外周中的至少一部分。
3.如權(quán)利要求2所述的螺旋涂敷裝置，上述殼體為呈中空形狀的容器。
4.如權(quán)利要求2所述的螺旋涂敷裝置，上述噴嘴中的至少一部分被插入到上述殼體的內(nèi)部。
5.如權(quán)利要求2所述的螺旋涂敷裝置，上述殼體具有一端形成上述氣體供給口的氣體通道。
6.如權(quán)利要求5所述的螺旋涂敷裝置，上述氣體通道遍布上述噴嘴的全周地被設(shè)置成環(huán)形。
7.如權(quán)利要求5所述的螺旋涂敷裝置，上述氣體通道隔開(kāi)規(guī)定的間隔而遍布上述噴嘴的全周地配置有多個(gè)。
8.如權(quán)利要求2所述的螺旋涂敷裝置，上述殼體具有一端形成上述洗凈液供給口的洗凈液通道。
9.如權(quán)利要求8所述的螺旋涂敷裝置，上述洗凈液通道遍布上述噴嘴的全周地被設(shè)置成環(huán)形。
10.如權(quán)利要求8所述的螺旋涂敷裝置，上述洗凈液通道隔開(kāi)規(guī)定的間隔而遍布上述噴嘴的全周地配置有多個(gè)。
11.如權(quán)利要求8所述的螺旋涂敷裝置，上述洗凈液通道被設(shè)置在上述殼體下端部的外周部上。
12.如權(quán)利要求11所述的螺旋涂敷裝置，上述洗凈液通道遍布上述噴嘴頂端部的全周地被設(shè)置成環(huán)形。
13.如權(quán)利要求11所述的螺旋涂敷裝置，上述洗凈液通道隔開(kāi)規(guī)定的間隔而遍布上述噴嘴頂端部的全周地配置有多個(gè)。
14.如權(quán)利要求1所述的螺旋涂敷裝置，上述氣體供給口被設(shè)置在比上述洗凈液供給口靠上方。
15.如權(quán)利要求2所述的螺旋涂敷裝置，上述噴嘴洗凈部具有保持上述殼體的第3移動(dòng)機(jī)構(gòu)部，上述第3移動(dòng)機(jī)構(gòu)部使上述殼體沿與上述噴嘴的軸平行的方向相對(duì)于上述噴嘴相對(duì)地移動(dòng)。
16.如權(quán)利要求15所述的螺旋涂敷裝置，上述第3移動(dòng)機(jī)構(gòu)部被保持在上述第2移動(dòng)機(jī)構(gòu)部上，能夠沿與上述旋轉(zhuǎn)軸交叉的方向沿著上述載置面與上述噴嘴一起移動(dòng)。
17.如權(quán)利要求1所述的螺旋涂敷裝置，上述噴嘴洗凈部從上述氣體供給口向上述噴嘴噴射從上述氣體供給部提供來(lái)的上述氣體，同時(shí)從上述洗凈液供給口向上述噴嘴吐出從上述洗凈液供給部提供來(lái)的上述洗凈液。
18.如權(quán)利要求15所述的螺旋涂敷裝置，上述噴嘴洗凈部從上述氣體供給口向上述噴嘴噴射從上述氣體供給部提供來(lái)的上述氣體，同時(shí)利用上述第3移動(dòng)機(jī)構(gòu)部使上述殼體向上述噴嘴的頂端部移動(dòng)。
19.如權(quán)利要求18所述的螺旋涂敷裝置，上述噴嘴洗凈部在使上述殼體向上述噴嘴的頂端部下降后，從上述氣體供給口向上述噴嘴噴射從上述氣體供給部提供來(lái)的上述氣體，同時(shí)利用上述第3移動(dòng)機(jī)構(gòu)部使上述殼體向與上述噴嘴的頂端部相反一側(cè)移動(dòng)。
20.如權(quán)利要求19所述的螺旋涂敷裝置，還具備擦去部，該擦去部具有能夠與上述噴嘴的頂端面接觸地設(shè)置的布部； 上述噴嘴洗凈部在使上述殼體向與上述噴嘴的頂端部相反一側(cè)移動(dòng)后，從上述氣體供給口向上述噴嘴噴射從上述氣體供給部提供來(lái)的上述氣體，同時(shí)， 上述移動(dòng)單元使上述噴嘴的頂端面在保持與上述布部接觸的狀態(tài)下在上述布部上移動(dòng)。
【文檔編號(hào)】B05C13/02GK104437932SQ201410437598
【公開(kāi)日】2015年3月25日 申請(qǐng)日期:2014年8月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月18日
【發(fā)明者】貴志壽之, 淵上安彥, 大城健一 申請(qǐng)人:株式會(huì)社東芝