專利名稱：勻膠機(jī)基片的固定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是關(guān)于一種基片固定裝置，尤其是指用于薄膜工藝設(shè)備勻膠機(jī) 的基片固定裝置。
背景技術(shù)：
隨著薄膜工藝技術(shù)的迅速發(fā)展，旋轉(zhuǎn)涂覆式勻膠機(jī)的應(yīng)用日趨廣泛，作旋 轉(zhuǎn)勻膠的基片的類型也陳出不窮。通常基片是通過帶有真空吸附通孔的圓形平 盤式基片固定裝置實(shí)現(xiàn)與電機(jī)的同步高速旋轉(zhuǎn)。但對于帶有通孔的方形基片， 則無法采用真空吸附方式固定基片。 發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型所欲解決的技術(shù)問題是提供一種基片固定裝置，以解決帶有通 孔的基片旋轉(zhuǎn)勻膠時(shí)在勻膠機(jī)上的固定問題。
按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，所述勻膠機(jī)基片的固定裝置，包括承片 平臺，其特征是在承片平臺的上表面設(shè)置用于承接工件的盤面，在承片平臺 的邊緣設(shè)置數(shù)個(gè)用于定位工件的定位卡，所述定位卡的定位端指向承片平臺的 中心，所述定位端呈錐形，并且，所述定位端位于盤面的一側(cè)。
在所述承片平臺的下表面設(shè)置數(shù)個(gè)定位槽，所述定位卡被一一對應(yīng)地定位 于所述定位槽內(nèi)；定位槽的走向指向承片平臺的中心。所述定位卡上有定位座， 所述定位端位于所述定位座的上面。所述定位座呈長條狀；并且，所述定位端 的長軸與所述定位座的長軸方向一致。所述定位端的端部的正投影面呈銳角三 角形，所述銳角小于30度。
所述定位卡與所述承片平臺利用螺紋件相互連接。所述定位卡有均勻分布 的4個(gè)。在承片平臺的下表面設(shè)置向下突出的環(huán)形體，所述環(huán)形體的中軸線與 盤面的中軸線重合。
勻膠機(jī)馬達(dá)軸心設(shè)有真空管道，將承片平臺下面的環(huán)形體與勻膠機(jī)馬達(dá)軸 相扣并真空吸附，本實(shí)用新型將帶有通孔的基片(即所述工件)固定，再同時(shí) 配合勻膠機(jī)的馬達(dá)旋轉(zhuǎn)，帶動基片髙速旋轉(zhuǎn)，從而達(dá)到將光刻膠旋轉(zhuǎn)涂覆于基 片表面的目的。
本實(shí)用新型所能達(dá)到的技術(shù)效果是，采用本實(shí)用新型的固定裝置，可以將 含有通孔的基片直接采用旋轉(zhuǎn)方式涂覆光刻膠。

圖l是承片平臺的俯視示意圖。
圖2是承片平臺的仰視示意圖。
圖3是擋卡的示意圖。
圖4是承片平臺與擋卡的組合示意圖。
具體實(shí)施方式

所述勻膠機(jī)基片的固定裝置，包括承片平臺1,其特征是在承片平臺1的 上表面設(shè)置用于承接工件的盤面3，在承片平臺1的邊緣設(shè)置四個(gè)用于定位工件 的定位卡9，所述定位卡9的定位端7指向承片平臺1的中心，所述定位端7呈 錐形，并且，所述定位端7位于盤面3的一側(cè)。
在所述承片平臺1的下表面設(shè)置四個(gè)定位槽2，所述定位卡9被一一對應(yīng)地 定位于所述定位槽2內(nèi)；定位槽2的走向指向承片平臺1的中心。
所述定位卡9上有定位座6，所述定位端7位于所述定位座6的上面。所述 定位座6呈長條狀；并且，所述定位端7的長軸與所述定位座6的長軸方向一 致。所述定位端7的端部的正投影面呈銳角三角形，所述銳角小于30度。
所述定位卡9與所述承片平臺1利用螺紋件相互連接。所述定位卡有均勻 分布的4個(gè)。在承片平臺1的下表面設(shè)置向下突出的環(huán)形體4，所述環(huán)形體4的 中軸線與盤面3的中軸線重合。
安裝時(shí)，承片平臺1和定位卡9需要固定在一起，所述承片平臺1和定位 卡9可以采用螺釘連接。所述的帶有通孔的基片放置在承片平臺1上表面的圓 形盤面3上，并由設(shè)置在承片平臺1四周的定位卡9固定，使帶有通孔的基片 不能前后左右的滑動。承片平臺1與勻膠機(jī)之間的固定是通過其下方的環(huán)形體4 與勻膠機(jī)的馬達(dá)軸相扣。
本實(shí)用新型的工作原理如下當(dāng)勻膠機(jī)開始工作時(shí)，真空會通過馬達(dá)軸心 的管道將承片平臺1固定，馬達(dá)帶動承片平臺1同步旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動承片平臺1 上的基片同步旋轉(zhuǎn)。光刻膠從上方滴落于基片中心處，在離心力的作用下平鋪 于基片表面。
圖中的5與8分別為安裝螺栓的孔。
權(quán)利要求1、一種勻膠機(jī)基片的固定裝置，包括承片平臺(1)，其特征是在承片平臺(1)的上表面設(shè)置用于承接工件的盤面(3)，在承片平臺(1)的邊緣設(shè)置數(shù)個(gè)用于定位工件的定位卡(9)，所述定位卡(9)的定位端(7)指向承片平臺(1)的中心，所述定位端(7)呈錐形，并且，所述定位端(7)位于盤面(3)的一側(cè)。
2、 如權(quán)利要求1所述勻膠機(jī)基片的固定裝置，其特征是在所述承片平 臺(1)的下表面設(shè)置數(shù)個(gè)定位槽(2)，所述定位卡(9)被一一對應(yīng)地定位 于所述定位槽(2)內(nèi)；定位槽(2)的走向指向承片平臺(1)的中心。
3、 如權(quán)利要求1所述勻膠機(jī)基片的固定裝置，其特征是所述定位卡(9) 上有定位座(6)，所述定位端(7)位于所述定位座(6)的上面。
4、 如權(quán)利要求3所述勻膠機(jī)基片的固定裝置，其特征是所述定位座(6) 呈長條狀；并且，所述定位端(7)的長軸與所述定位座(6)的長軸方向一 致。
5、 如權(quán)利要求l、 3或4所述勻膠機(jī)基片的固定裝置，其特征是所述 定位端(7)的端部的正投影面呈銳角三角形，所述銳角小于30度。
6、 如權(quán)利要求1所述勻膠機(jī)基片的固定裝置，其特征是所述定位卡(9) 與所述承片平臺(1)利用螺紋件相互連接。
7、 如權(quán)利要求1所述勻膠機(jī)基片的固定裝置，其特征是所述定位卡有均勻分布的4個(gè)。
8、 如權(quán)利要求1所述勻膠機(jī)基片的固定裝置，其特征是在承片平臺(l) 的下表面設(shè)置向下突出的環(huán)形體(4)，所述環(huán)形體(4)的中心與盤面(3) 的中心重合。
專利摘要本實(shí)用新型是關(guān)于一種基片固定裝置，尤其是指用于薄膜工藝設(shè)備勻膠機(jī)的基片固定裝置。按照本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案，所述勻膠機(jī)基片的固定裝置，包括承片平臺，其特征是在承片平臺的上表面設(shè)置用于承接工件的盤面，在承片平臺的邊緣設(shè)置數(shù)個(gè)用于定位工件的定位卡，所述定位卡的定位端指向承片平臺的中心，所述定位端呈錐形，并且，所述定位端位于盤面的一側(cè)。本實(shí)用新型能實(shí)現(xiàn)帶有通孔的方形基片采用旋轉(zhuǎn)方式涂覆光刻膠。
文檔編號B05C13/02GK201410458SQ20092004525
公開日2010年2月24日 申請日期2009年5月22日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月22日
發(fā)明者劉立安 申請人:無錫華測電子系統(tǒng)有限公司