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勻膠機(jī)基片的固定裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3809072

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本實(shí)用新型是關(guān)于一種基片固定裝置,尤其是指用于薄膜工藝設(shè)備勻膠機(jī) 的基片固定裝置。 背景技術(shù)隨著薄膜工藝技術(shù)的迅速發(fā)展,旋轉(zhuǎn)涂覆式勻膠機(jī)的應(yīng)用日趨廣泛,作旋 轉(zhuǎn)勻膠的基片的類型也陳出不窮。通常基片是通過(guò)帶有真空吸附通孔的圓形平 盤(pán)式基片固定裝置實(shí)現(xiàn)與電機(jī)的同步高速旋轉(zhuǎn)。但對(duì)于帶有通孔的方形基片, 則無(wú)法采用真空吸附方式固定基片。 發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所欲解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種基片固定裝置,以解決帶有通 孔的基片旋轉(zhuǎn)勻膠時(shí)在勻膠機(jī)上的固定問(wèn)題。按照本實(shí)用新型...
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