專利名稱:密封膠涂布機(jī)和密封膠涂布方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及將密封膠涂布到基板上的密封膠涂布機(jī)和密封膠涂布方法。
背景技術(shù):
一般來說,平板顯示器(FPD)是比使用陰極射線管的傳統(tǒng)電視或監(jiān)視器更薄更 輕的視頻顯示器。已經(jīng)開發(fā)并使用的FPD的實(shí)例是液晶顯示器(LCD)、等離子體顯示面 板(PDP)、場致發(fā)射顯示器(FED)以及有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)。其中,LCD是向以矩陣方式排列的液晶單元單獨(dú)提供基于圖像信息的數(shù)據(jù)信 號,因此控制液晶單元的光可傳輸性,從而顯示希望的圖像的顯示器。由于LCD的優(yōu) 點(diǎn)在于其薄、輕且功率消耗和操作電壓低,因此它們被廣泛使用。以下將描述一般用于 LCD的液晶顯示面板的制造方法。首先,在上基板上形成彩色濾光片和共用電極,同時在與上基板相對的下基板 上形成薄膜晶體管(TFT)和像素電極。隨后,在涂敷配向膜到基板上之后,摩擦配向膜 以便為將要在配向膜之間形成的液晶層的液晶分子提供預(yù)傾角和排列方向。此外,為了保持基板間的預(yù)定間隙,防止液晶漏出,并且密封基板間的間隙, 以預(yù)定的圖案向基板的任一個涂敷密封膠,形成密封膠圖案。此后,在基板之間形成液 晶層。用這種方法,制造了液晶顯示面板。在制造液晶顯示面板時,使用密封膠涂布機(jī)在基板上形成密封膠圖案。密封膠 涂布機(jī)包括在其上安裝基板的托臺、具有排出密封膠的噴嘴的頭單元、和支撐頭單元的 頭支承件。這樣的密封膠涂布機(jī)在改變每個噴嘴和基板之間的相對位置時在基板上形成密 封膠圖案。也就是說,密封膠涂布機(jī)在X-軸和Y-軸方向上水平移動噴嘴和/或基板, 并通過在ζ-軸方向上下移動每個頭單元的噴嘴保持噴嘴和基板之間的均勻間隙,并從噴 嘴排出密封膠到基板上,從而形成密封膠圖案。為了保持噴嘴和基板之間的間隙均勻,并在基板上形成密封膠圖案,將激光位 移傳感器安裝到每個頭單元上。激光位移傳感器將通過測量噴嘴和基板之間的間隙獲得 的間隙數(shù)據(jù)提供到涂布機(jī)的控制單元,因此使得控制單元基于所述間隙數(shù)據(jù)均勻控制在 噴嘴和基板之間的間隙。也就是說,當(dāng)噴嘴和基板的至少一個在X-軸方向或在Y-軸方 向上水平移動并且形成密封膠圖案時,如果由于不均勻的基板表面或其他原因,噴嘴與 基板之間的間隙變化,則所形成的密封膠圖案的寬度、高度和其他尺寸可能偏離預(yù)定范 圍,從而產(chǎn)生有缺陷的密封膠圖案。為了防止該問題,為密封膠涂布機(jī)提供激光位移傳 感器。激光位移傳感器包括發(fā)射激光的發(fā)射部件以及接收發(fā)射部件發(fā)射并由基板反射 的激光的接收部件。激光位移傳感器輸出電信號到控制單元,所述電信號對應(yīng)于發(fā)射部 件發(fā)射并從基板反射的激光的圖像形成位置而產(chǎn)生,因此測量基板與噴嘴之間的間隙。同時,在制造液晶顯示面板的過程中,可以在基板上形成配向膜。密封膠可以涂布到配向膜的上表面上或者配向膜和基板的連接處。圖像形成點(diǎn)可以定位在配向膜的 上表面上或者在上述連接處,從激光位移傳感器發(fā)射的激光從該點(diǎn)被反射。在這種情況 下,可能發(fā)生激光位移傳感器發(fā)射的激光和配向膜之間的干涉。此外,可以在基板上形 成多個密封膠圖案。當(dāng)密封膠圖案之間的間隔小時,從激光位移傳感器發(fā)出的激光的圖 像形成點(diǎn)可能處在相鄰的密封膠圖案上。在這種情況下,可能發(fā)生由激光位移傳感器發(fā) 射的激光和相鄰的密封膠圖案之間的干涉。因此,當(dāng)從激光位移傳感器發(fā)射的激光與配 向膜或相鄰的密封膠圖案干涉時,不可能平穩(wěn)地測量基板與噴嘴之間的距離。因此,在 涂布密封膠時,基板和噴嘴之間的間隙不會獲得精密的調(diào)節(jié),因此密封膠圖案的寬度、 高度和其他尺寸可能偏離預(yù)定的范圍,因此導(dǎo)致產(chǎn)生有缺陷的密封膠圖案。傳統(tǒng)的密封膠涂布機(jī)存在的問題在于激光位移傳感器固定到與噴嘴相鄰的位置上,因此不可能合適地與配向膜配合,導(dǎo)致激光的干涉。特別是當(dāng)密封膠圖案之間的 間隔小時,激光與相鄰的密封膠圖案干涉,因此對于減小密封膠圖案的間隔存在限制。
發(fā)明內(nèi)容
因此,根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)中發(fā)生的上述問題做出了本發(fā)明,本發(fā)明的一個目的是提 供一種密封膠涂布機(jī)和一種密封膠涂布方法,其中,激光位移傳感器的位置相對于噴嘴 可以調(diào)節(jié),并且調(diào)節(jié)激光位移傳感器的圖像形成點(diǎn)的位置使得圖像形成點(diǎn)位于不與激光 干涉的區(qū)域內(nèi),因此精確測量基板與噴嘴之間的間隙,從而改善密封膠圖案的質(zhì)量。為了實(shí)現(xiàn)以上目的,本發(fā)明提供了一種密封膠涂布機(jī),其包括具有用于排出密 封膠的噴嘴的頭單元、激光位移傳感器,提供在靠近噴嘴的位置并且具有發(fā)射激光的發(fā) 射部件和接收由發(fā)射部件發(fā)射并由基板反射的激光的接收部件、用于相對于噴嘴調(diào)節(jié)激 光位移傳感器位置的傳感器移動單元、和用于控制傳感器移動單元的控制單元。所述傳感器移動單元可以包括支撐激光位移傳感器的第一部件、在其上安裝第 一部件的第二部件,安裝第一部件的方式是可以在第一方向上滑動、和在其上安裝第二 部件的第三部件,其安裝方式為可以在與第一方向垂直的第二方向上滑動。同時,第一驅(qū)動單元可以提供在第一部件和第二部件之間并連接到第一部件, 因此在第一方向上移動第一部件,以及第二驅(qū)動單元可以提供在第二部件與第三部件之 間并連接到第二部件,因此在第二方向上移動第二部件。第一和第二驅(qū)動單元的每一個可以包含直線電動機(jī)。所述控制單元可以根據(jù)將要形成在基板上的密封膠圖案方面的數(shù)據(jù)控制傳感器 驅(qū)動單元,因此相對于噴嘴移動激光位移傳感器。此外,為了實(shí)現(xiàn)以上目的,本發(fā)明提供了用于在基板上形成多個密封膠圖案的 密封膠涂布方法,包括(a)在基板上形成至少一個密封膠圖案,和(b)在步驟(a)中形成 的密封膠圖案附近并且不與步驟(a)中所形成的密封膠圖案重疊的位置上形成密封膠圖 案,同時相對于噴嘴移動激光位移傳感器,使得從測量基板與噴嘴之間間隙的激光位移 傳感器發(fā)射的激光的圖像形成點(diǎn)不位于步驟(a)所形成的密封膠圖案上。步驟(a)可以包括根據(jù)密封膠圖案方面的預(yù)設(shè)數(shù)據(jù)在基板上形成密封膠圖案,步 驟(b)可以包括根據(jù)密封膠圖案方面的預(yù)設(shè)數(shù)據(jù)在基板上形成密封膠圖案,并且根據(jù)密 封膠圖案方面的預(yù)設(shè)數(shù)據(jù)相對于噴嘴移動激光位移傳感器。
此外,步驟(b)可以包括相對于噴嘴移動激光位移傳感器,使得激光位移傳感器的圖像形成點(diǎn)位于其上不形成配向膜的基板位置上,因此防止由激光位移傳感器發(fā)射 的激光與配向膜干涉。此外,為了實(shí)現(xiàn)以上目的,本發(fā)明提供了密封膠涂布方法,包括(a)在將密封膠 涂布到基板上之前掃描基板,(b)根據(jù)在步驟(a)掃描的基板的數(shù)據(jù),測量其上形成配向 膜的基板區(qū)域,和(c)在基板上形成密封膠圖案,同時相對于噴嘴移動激光位移傳感器, 使得從測量基板與噴嘴之間間隙的激光位移傳感器發(fā)射的激光的圖像形成點(diǎn)不位于步驟 (b)測量的具有配向膜的基板區(qū)域。根據(jù)本發(fā)明的密封膠涂布機(jī)優(yōu)點(diǎn)在于激光位移傳感器的位置相對于噴嘴可以 調(diào)節(jié),并且調(diào)節(jié)激光位移傳感器的圖像形成點(diǎn)的位置使得圖像形成點(diǎn)位于不被激光干涉 的區(qū)域內(nèi),從而精確測量基板與噴嘴之間的間隙。
從結(jié)合附圖的以下詳細(xì)描述可以更清楚地理解本發(fā)明的上述和其他目的、特征 和優(yōu)點(diǎn),其中圖1是表示根據(jù)本發(fā)明的密封膠涂布機(jī)的透視圖;圖2是表示根據(jù)本發(fā)明的密封膠涂布機(jī)的頭單元的部分的透視圖;圖3是表示圖2的頭單元的分解透視圖;圖4是表示根據(jù)本發(fā)明的密封膠涂布機(jī)的控制框圖;圖5是表示圖3的頭單元的另一個實(shí)施例的分解透視圖;圖6是表示根據(jù)本發(fā)明的密封膠涂布機(jī)的頭單元的另一個實(shí)施例的透視圖;圖7是表示根據(jù)本發(fā)明的密封膠涂布機(jī)中噴嘴的排出孔的位置和從激光位移傳 感器發(fā)出的激光的圖像形成點(diǎn)的位置的示意圖;圖8和9是表示根據(jù)本發(fā)明的密封膠涂布機(jī)的操作的圖;圖10是表示在圖8和9操作中噴嘴的排出孔的位置和從激光位移傳感器發(fā)出的 激光的圖像形成點(diǎn)的位置的示意圖;圖11是表示根據(jù)本發(fā)明的密封膠涂布方法的流程圖;和圖12是表示根據(jù)本發(fā)明的另一個密封膠涂布方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式下文中,將參考附圖描述根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方案的密封膠涂布機(jī)。如圖1至4所示,根據(jù)本發(fā)明的密封膠涂布機(jī)包括框架10、托臺20、一對支承 件移動導(dǎo)引件30、頭支承件40、多個頭單元50、和控制單元80。托臺20安裝在框架10 上,基板S位于托臺20上。支承件移動導(dǎo)引件30安裝在托臺20的兩側(cè)上,其安裝方式 為在Y-軸方向上延伸。頭支承件40安裝在托臺20上方,其安裝方式為使頭支承件40 的兩端由一對支承件移動導(dǎo)引件30支撐,并在X-軸方向上延伸。多個頭單元50安裝到 頭支承件40上,其安裝方式是可以在X-軸方向上移動。每個頭單元50包括用于排出密 封膠的噴嘴53和激光位移傳感器54??刂茊卧?0控制密封膠涂布操作。用于在X-軸方向上移動托臺20的X-軸移動單元21和用于在Y-軸方向上移動托臺20的Y-軸移動單元22可以安裝在框架10上。也就是說,Y-軸移動單元22的 Y-軸導(dǎo)引件221安裝在框架10上,X-軸移動單元21的X-軸導(dǎo)引件211安裝在Y-軸 導(dǎo)引件221上,托臺20安裝在X-軸導(dǎo)引件211上。這種構(gòu)造允許托臺20被X-軸導(dǎo)引 件211在X-軸方向上導(dǎo)引和移動,并且X-軸導(dǎo)引件211被Y-軸導(dǎo)引件221導(dǎo)引和移 動,因此托臺20在Y-軸方向上移動。同時,本發(fā)明不限于Y-軸導(dǎo)引件221安裝在框 架10上和X-軸導(dǎo)引件211安裝在Y-軸導(dǎo)引件221上的這種構(gòu)造,而是可以具有X-軸 導(dǎo) 引件211安裝在框架10上和Y-軸導(dǎo)引件221安裝在X-軸導(dǎo)引件211上的構(gòu)造。當(dāng) 然,可以構(gòu)造本發(fā)明的密封膠涂布機(jī),通過應(yīng)用X-軸移動單元21和X-軸導(dǎo)引件211或 Y-軸移動單元22和Y-軸導(dǎo)引件221的任一種,使得托臺20僅在X-軸和Y-軸方向之 一上移動。支承件移動單元41安裝在頭支承件40的兩端,以連接到支承件移動導(dǎo)引件30 上。通過支承件移動導(dǎo)引件30與支承件移動單元41之間的相互作用,頭支承件40可以 在每個支承件移動導(dǎo)引件30的長度方向上移動,即在Y-軸方向上移動。因此,每個頭 單元50可以通過頭支承件40的Y-軸移動而在Y-軸方向上移動。頭移動導(dǎo)引件42安裝到頭支承件40上,以在X-軸方向上延伸,并且頭移動單 元51提供在每個頭單元50上,以連接到頭支承件40的頭移動導(dǎo)引件42上。通過在頭 移動導(dǎo)引件42與頭移動單元51之間的相互作用,頭單元50在頭支承件40的長度方向上 移動,即在X-軸方向上移動。如圖2所示,頭單元50包括充有密封膠的注射器52。噴嘴53與注射器52連通 并排出密封膠。激光位移傳感器54放置在靠近噴嘴53處,以測量噴嘴53與基板S之間 的間隙數(shù)據(jù)。傳感器移動單元70用來相對于噴嘴53移動激光位移傳感器54,因此相對 于噴嘴53調(diào)節(jié)激光位移傳感器54的位置。激光位移傳感器54包括發(fā)射激光的發(fā)射部件541,和與發(fā)射部件541隔開預(yù)定距 離并接收基板S反射的激光的接收部件542。激光位移傳感器54輸出電信號到控制單元 80,所述電信號對應(yīng)于發(fā)射部件541發(fā)射和從基板S反射的激光的圖像形成位置而產(chǎn)生, 因此測量在基板S與噴嘴53之間的間隙數(shù)據(jù)。如圖3所示,傳感器移動單元70可以包括支撐激光位移傳感器54的第一部件 71、在其上安裝第一部件71的第二部件72,安裝第一部件的方式是可以在Y-軸方向上 滑動、在其上安裝第二部件72的第三部件73,其安裝方式為可以在與Y-軸方向垂直的 X-軸方向上滑動。因此,通過第一部件71相對于第二部件72在Y-軸方向上的移動和 第二部件72相對于第三部件73在X-軸方向上的移動,激光位移傳感器54可以在Y-軸 方向和X-方向上移動。此外,Y-軸驅(qū)動單元81可以安裝在第一部件71和第二部件72 之間并連接到第一部件71,以便在Y-軸方向上移動第一部件71。X-軸驅(qū)動單元82可 以安裝在第二部件72和第三部件73之間并連接到第二部件72,以便在X-軸方向上移動 第二部件72。因此,通過由于Y-軸驅(qū)動單元81的操作產(chǎn)生的第一部件71的Y-軸移 動,激光位移傳感器54可以在Y-軸方向上移動,并且通過由于X-軸驅(qū)動單元82的操 作產(chǎn)生的第二部件72的X-軸移動,激光位移傳感器54可以在X-軸方向上移動。在將 密封膠涂布到基板S上時,由控制單元80控制激光位移傳感器54的移動。優(yōu)選地,Y-軸驅(qū)動單元81和X-軸驅(qū)動單元82的每一個包含直線電動機(jī),因此可以平穩(wěn)地移動第一部件71和第二部件72。也就是說,Y-軸驅(qū)動單元81包括直線 電動機(jī)811和LM引導(dǎo)件812,直線電動機(jī)811以在Y-軸方向延伸的方式放置在第一部 件71上,LM引導(dǎo)件812以在Y-軸方向延伸的方式放置在第二部件72上。X軸驅(qū)動單 元82包括直線電動機(jī)821和LM引導(dǎo)件822,直線電動機(jī)821以在X-軸方向延伸的方式 放置在第二部件72上,LM引導(dǎo)件822以在X-軸方向上延伸的方式放置在第三部件73 上。同時,根據(jù)本發(fā)明,Y-軸驅(qū)動單元81和X-軸驅(qū)動單元82的每一個可以包含滾珠 絲桿或壓電元件而不限于上述的直線電動機(jī)。圖5表示圖3中所示的傳感器移動單元70的另一個實(shí)施例。圖5的結(jié)構(gòu)與圖3 的結(jié)構(gòu)的不同之處在于第一和第二部件71和72的滑動方向以及X-軸驅(qū)動單元82和Y-軸 驅(qū)動單元81的安裝位置。也就是說,如圖5所示,傳感器移動單元70可以包括支撐激 光位移傳感器的第一部件71、在其上以在X-軸方向上滑動的方式安裝第一部件71的第 二部件72、和在其上以在Y-軸方向上滑動的方式安裝第二部件72的第三部件73,Y-軸 方向垂直于X-軸方向。因此,通過第一部件相對于第二部件在X-軸方向上的移動和第 二部件相對于第三部件在Y-軸方向上的移動,激光位移傳感器54可以在X-軸方向上和 Y-軸方向上移動。此外,X-軸驅(qū)動單元82可以安裝在第一部件71和第二部件72之間 并且連接到第一部件71,以便在X-軸方向上移動第一部件71。Y-軸驅(qū)動單元81可以 安裝在第二部件72和第三部件73之間并連接到第二部件72上,以便在Y-軸方向上移動 第二部件72。因此,通過由X-軸驅(qū)動單元82的操作導(dǎo)致的第一部件71的X-軸移動, 可以在X-軸方向上移動激光位移傳感器54,并且通過由Y-軸驅(qū)動單元81的操作導(dǎo)致的 第二部件72的Y-軸移動,可以在Y-軸方向上移動激光位移傳感器54。在密封膠涂布 到基板S時,激光位移傳感器54的移動由控制單元80來控制。圖6表示根據(jù)本發(fā)明的密封膠涂布機(jī)的頭單元的另一個實(shí)施例。頭單元50包括 注射器52,注射器52放置在Y-軸方向上與激光位移傳感器54分開預(yù)定距離的位置上。 噴嘴53定位在激光位移傳感器54的發(fā)射部件541和接收部件542之間。連接桿55提供 在注射器52和噴嘴53之間,其放置方式為在Y-軸方向上延伸并且將注射器52與噴嘴 53連接。如圖6所示構(gòu)造的頭單元50也提供有圖3或5的傳感器移動單元,因此使得激 光位移傳感器54在X-軸方向和Y-軸方向上移動。如圖7所示,由于這種構(gòu)造,可以在噴嘴53的排出孔周圍調(diào)節(jié)基板S上反射激 光位移傳感器54所發(fā)射的激光的點(diǎn),即圖像形成點(diǎn)545的位置。下文中,將參考圖8-10描述根據(jù)本發(fā)明的密封膠涂布機(jī)的操作。圖8-10是表 示與預(yù)先在基板S上形成的密封膠圖案Pl距離小間隔并且不與密封膠圖案Pl重疊的位置 處形成密封膠圖案P2的示意圖。 如圖8所示,當(dāng)密封膠圖案P2在預(yù)先形成的密封膠圖案Pl附近的位置上形成 時,激光位移傳感器54的圖像形成點(diǎn)545可以放在預(yù)先形成的密封膠圖案Pl上。在這 種情況下,從激光位移傳感器54的發(fā)射部件541發(fā)出的激光不會合適地從基板S的上表 面反射,而是可能與預(yù)先形成的密封膠圖案干涉。因此,不能夠平穩(wěn)地進(jìn)行使用激光位 移傳感器54測量在基板S和噴嘴53之間的間隙。為了克服這個問題,如圖9所示,激光位移傳感器54在X-軸方向或Y-軸方向從噴嘴53移動,使得激光位移傳感器54的圖像形成點(diǎn)不會與預(yù)先形成的密封膠圖案Pl 重疊。因此,在防止激光與預(yù)先形成的密封膠圖案Pl干涉的狀態(tài)下,密封膠圖案P2形 成在基板上。這里,因為X-軸驅(qū)動單元82和Y-軸驅(qū)動單元81在控制單元80的控制 下操作,激光位移傳感器54可以移動。因此,如圖10所示,在靠 近預(yù)先形成的密封膠圖案Pl的位置處形成密封膠圖案 P2的情況下,激光位移傳感器54的圖像形成點(diǎn)545可以定位在噴嘴53的排出孔535周 圍,使得圖像形成點(diǎn)545不會與預(yù)先形成的密封膠圖案Pl重疊。因此,從激光位移傳感 器54的發(fā)射部件發(fā)射的激光不與預(yù)先形成的密封膠圖案Pl干涉,因此基板S和噴嘴53之 間的間隙可以使用激光位移傳感器54精確地測量。此外,與傳統(tǒng)的密封膠涂布機(jī)相比, 在密封膠圖案Pl和P2之間的間隔可以最小化。當(dāng)激光位移傳感器相對于噴嘴53移動使 得激光位移傳感器的圖像形成點(diǎn)545不放在預(yù)先形成的密封膠圖案上時,在激光位移傳 感器54移動后的激光的圖像形成點(diǎn)545優(yōu)選的是位于其上沒有形成配向膜的基板S上的 區(qū)域內(nèi),以便防止激光與配向膜干涉。同時,在形成多個相鄰密封膠圖案Pl和P2時,如圖11所示,在基板S上將要 形成的多個密封膠圖案Pl和P2的數(shù)據(jù)在步驟Sl預(yù)先設(shè)定。根據(jù)密封膠圖案Pl和P2的 預(yù)先設(shè)定的數(shù)據(jù),密封膠在步驟S2涂布到基板S。在步驟S3,激光位移傳感器54根據(jù) 密封膠圖案Pl和P2的數(shù)據(jù)相對于噴嘴移動,使得激光的圖像形成點(diǎn)545不位于預(yù)先形成 的密封膠圖案Pl上。在步驟S4,根據(jù)預(yù)先設(shè)定的密封膠圖案P2的數(shù)據(jù),在不與所形成 的密封膠圖案Pl重疊的位置處形成密封膠圖案P2。這樣,在激光位移傳感器54根據(jù)密封膠圖案Pl和P2的預(yù)先設(shè)定數(shù)據(jù)相對于噴 嘴53移動時,形成相鄰的密封膠圖案Pl和P2,因此允許激光位移傳感器54的移動最小 化,并且能使激光位移傳感器54的移動位置可以預(yù)測。同時,如上所述,當(dāng)密封膠圖案Pl和P2隔開窄的間隙時,激光位移傳感器54 相對于噴嘴53移動,因此防止從激光位移傳感器54發(fā)出的激光與預(yù)先形成的密封膠圖案 Pl干涉。此外,在形成密封膠圖案時,激光位移傳感器54相對于噴嘴53移動,因此防 止由激光位移傳感器54發(fā)出的激光與配向膜干涉。也就是說,為了防止由激光位移傳感 器54發(fā)出的激光與基板S上形成的配向膜干涉,激光位移傳感器54可以相對于噴嘴53 移動,使得激光的圖像形成點(diǎn)位于基板S上沒有形成配向膜的區(qū)域內(nèi)。如圖12所示,在步驟S10,在密封膠涂布到基板S之前,該方法在可以包括掃 描整個基板S。在步驟S20,根據(jù)掃描的基板S的數(shù)據(jù),測量基板S上施加有配向膜的區(qū) 域。在步驟S30,當(dāng)激光位移傳感器54從噴嘴53水平移動時,涂布密封膠,使得激光 位移傳感器54的圖像形成點(diǎn)545不位于具有配向膜的區(qū)域。因此,當(dāng)將密封膠涂布到基 板S時,由激光位移傳感器54的發(fā)射部件541發(fā)射的激光不與配向膜干涉,因此可以使 用激光位移傳感器54精確測量基板S與噴嘴53之間的間隙。這里,可以使用照相機(jī)或 激光掃描儀掃描整個基板S并獲得基板S的數(shù)據(jù),所掃描的基板S的數(shù)據(jù)可以是激光反射 率的波形或捕獲的圖像。如上所述,本發(fā)明提供密封膠涂布機(jī)和密封膠涂布方法,其中,在激光位移傳 感器54相對于噴嘴53移動時,在基板S上形成密封膠圖案,使得從激光位移傳感器54 的發(fā)射部件541發(fā)射的激光不與預(yù)先在基板S上形成的密封膠圖案或配向膜干涉,從而可以精確測量基板與噴嘴之間的間隙,并防止有缺陷的密封膠圖案。
本發(fā)明的實(shí)施方案中所述的技術(shù)方案可以單獨(dú)進(jìn)行或者相互組合進(jìn)行。雖然為 了說明的目的已經(jīng)公開了本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方案,但是本領(lǐng)域技術(shù)人員可以預(yù)期各種改進(jìn)、添加和替代是可能的,但不背離所附權(quán)利要求公開的本發(fā)明的范圍和實(shí)質(zhì)。
權(quán)利要求
1.一種密封膠涂布機(jī),包括頭單元,所述頭單元包括用于排出密封膠的噴嘴;激光位移傳感器,提供在靠近噴嘴的位置處,并具有發(fā)射激光的發(fā)射部件和接收由 所述發(fā)射部件發(fā)射并從基板反射的激光的接收部件;傳感器移動單元,用于相對于所述噴嘴調(diào)節(jié)激光位移傳感器的位置;和控制單元,用于控制所述傳感器移動單元。
2.如權(quán)利要求1所述的密封膠涂布機(jī),其中,所述傳感器移動單元包括第一部件,支撐所述激光位移傳感器;第二部件,第一部件以在第一方向上滑動的方式安裝在第二部件上;和第三部件,第二部件以在第二方向上滑動的方式安裝在第三部件上,第二方向與第 一方向垂直。
3.如權(quán)利要求2所述的密封膠涂布機(jī),其中,第一驅(qū)動單元提供在第一部件和第二部 件之間并連接到第一部件,從而在第一方向上移動第一部件,并且,第二驅(qū)動單元提供 在第二部件和第三部件之間并連接到第二部件,從而在第二方向上移動第二部件。
4.如權(quán)利要求3所述的密封膠涂布機(jī),其中,第一和第二驅(qū)動單元的每一個包含直線 電動機(jī)。
5.如權(quán)利要求1所述的密封膠涂布機(jī),其中,所述控制單元根據(jù)基板上將要形成的密 封膠圖案的數(shù)據(jù)控制所述傳感器移動單元。
6.一種在基板上形成多個密封膠圖案的密封膠涂布方法,包括(a)在基板上形成至少一個密封膠圖案;和(b)在不與步驟(a)形成的所述密封膠圖案重疊的位置形成密封膠圖案,同時相對于 噴嘴移動激光位移傳感器,使得測量基板與噴嘴之間間隙的激光位移傳感器發(fā)射的激光 的圖像形成點(diǎn)不位于步驟(a)所形成的所述密封膠圖案上。
7.如權(quán)利要求6所述的方法,其中,步驟(a)包括根據(jù)密封膠圖案的預(yù)先設(shè)定的數(shù)據(jù) 在基板上形成密封膠圖案,并且,步驟(b)包括根據(jù)密封膠圖案的預(yù)先設(shè)定數(shù)據(jù)在基板 上形成密封膠圖案,并且根據(jù)密封膠圖案的預(yù)先設(shè)定數(shù)據(jù)相對于噴嘴移動激光位移傳感O
8.如權(quán)利要求6或7所述的方法,其中,步驟(b)包括相對于噴嘴移動激光位移傳感 器,使得激光位移傳感器的圖像形成點(diǎn)位于基板上沒有形成配向膜的位置處。
9.一種密封膠涂布方法,包括(a)在涂布密封膠到基板上之前,掃描基板;(b)根據(jù)步驟(a)掃描的基板的數(shù)據(jù),測量基板上形成配向膜的區(qū)域;和(c)在相對于噴嘴移動激光位移傳感器的同時在基板上形成密封膠圖案,使得測量基 板與噴嘴之間間隙的激光位移傳感器所發(fā)射的激光的圖像形成點(diǎn)不位于步驟(b)測量的 具有配向膜的基板區(qū)域。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種密封膠涂布機(jī)和一種密封膠涂布方法。所述密封膠涂布機(jī)構(gòu)造為使得激光位移傳感器的位置相對于噴嘴可以調(diào)節(jié),并調(diào)節(jié)激光位移傳感器的圖像形成點(diǎn)的位置,使得該圖像形成點(diǎn)位于不被激光干涉的區(qū)域內(nèi),從而精確測量基板與噴嘴之間的間隙。
文檔編號B05C11/00GK102023416SQ20091025005
公開日2011年4月20日 申請日期2009年12月3日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月14日
發(fā)明者樸日星, 鄭載寬 申請人:塔工程有限公司