專利名稱：噴出裝置、材料涂布方法、濾色片基板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及噴出裝置及材料涂布方法，特別涉及適于濾色片基板的制造、電致發(fā)光顯示裝置的制造及等離子體顯示裝置的制造的噴出裝置及材料涂布方法。
背景技術(shù)：
已知有在濾色片的制造或電致發(fā)光顯示裝置等的制造中使用的噴墨裝置(例如專利文獻1)。
當向濾色片等被像素化了的區(qū)域噴出濾色片材料時，噴出材料的噴嘴和不噴出材料的噴嘴被固定。這樣，總是噴出的噴嘴的壽命就是噴頭的壽命。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于所述問題而完成的，其目的在于提供能夠降低噴出工序的噴頭的消耗的噴出裝置及材料涂布方法。
本發(fā)明的噴出裝置是向基體的被噴出部涂布液狀的材料的噴出裝置，其中包括放置所述基體的臺架、具有多個噴出噴嘴的噴頭和掃描部；所述噴頭的多個噴出噴嘴分別屬于沿X軸方向相鄰的第1噴嘴組及第2噴嘴組中的某一個；所述掃描部，在第1掃描期間內(nèi)及第2掃描期間內(nèi)，將所述臺架及所述噴頭中的至少一方相對于另一方沿與所述X軸方向正交的Y軸方向相對移動。構(gòu)成所述第1噴嘴組的噴出噴嘴分別在整個所述第1掃描期間位于所述被噴出部的沿所述X軸方向的可以噴出范圍內(nèi)；構(gòu)成所述第2噴嘴組的噴出噴嘴分別在整個所述第1掃描期間地位于所述可以噴出范圍外。所述掃描部在所述第1掃描期間和所述第2掃描期間之間，使所述臺架及所述噴頭中的至少一方相對于另一方沿所述X軸方向相對移動，以使構(gòu)成所述第2噴嘴組的噴出噴嘴分別位于所述可以噴出范圍內(nèi)。所述噴頭，在所述第1掃描期間，從構(gòu)成所述第1噴嘴組的噴出噴嘴向所述被噴出部噴出所述液狀的材料。所述噴頭，在所述第2掃描期間，從構(gòu)成所述第2噴嘴組的噴出噴嘴向所述被噴出部噴出所述液狀的材料。
利用所述構(gòu)成獲得的效果之一是，可以延長噴頭的壽命。這是因為，可以使不與被噴出部對應(yīng)的噴出噴嘴也分擔噴出任務(wù)。
本發(fā)明的材料涂布方法是使用噴出裝置在所述基體的被噴出部上涂布液狀材料的材料涂布方法，所述噴出裝置包括放置基體的臺架和具有多個噴出噴嘴的噴頭，所述噴頭的多個噴出噴嘴分別屬于沿X軸方向相鄰的第1噴嘴組及第2噴嘴組中的某一個。所述材料涂布方法，包括在第1掃描期間內(nèi)，在使構(gòu)成所述第1噴嘴組的噴出噴嘴分別位于所述被噴出部的沿所述X軸方向的可以噴出范圍內(nèi)、并且使構(gòu)成所述第2噴嘴組的噴出噴嘴分別位于所述可以噴出范圍外的同時，使所述臺架及所述噴頭中的至少一方相對于另一方沿與所述X軸方向正交的Y軸方向相對移動的步驟(A)；在第2掃描期間內(nèi)，在使構(gòu)成所述第2噴嘴組的噴出噴嘴分別位于所述可以噴出范圍的同時、使所述臺架及所述噴頭中的至少一方相對于另一方沿與所述X軸方向正交的Y軸方向相對移動的步驟(B)；在所述第1掃描期間內(nèi)，從構(gòu)成所述第1噴嘴組的噴出噴嘴分別向所述被噴出部噴出所述液狀的材料的步驟(C)；在所述第2掃描期間內(nèi)，從構(gòu)成所述第2噴嘴組的噴出噴嘴分別向所述被噴出部噴出所述液狀的材料的步驟(D)。
利用所述構(gòu)成獲得的效果之一是，可以延長噴頭的壽命。這是因為，可以使不與被噴出部對應(yīng)的噴出噴嘴也分擔噴出任務(wù)。
本發(fā)明能夠以各種形態(tài)來實現(xiàn)，例如，能夠以濾色片基板的制造方法、電致發(fā)光顯示裝置的制造方法、等離子體顯示裝置的制造方法等形態(tài)來實現(xiàn)。


圖1是表示實施方式1的噴出裝置的示意圖。
圖2是表示實施方式1的噴頭的噴嘴的配置的示意圖。
圖3(a)及(b)是表示實施方式1的噴頭的噴出部的示意圖。
圖4是實施方式1的噴出裝置的控制部的功能方框圖。
圖5(a)是表示實施方式1的基體的剖面的示意圖，(b)是表示實施方式1的基體的俯視面的示意圖。
圖6是表示實施方式1的涂布工序的示意圖，是表示對基體的第1掃描期間的示意圖。
圖7是表示實施方式1的涂布工序的示意圖，是表示對基體的第2掃描期間的示意圖。
圖8說明實施方式1～5的“X軸方向的可以噴出范圍”的圖。
圖9是實施方式2的濾色片基板的制造裝置的示意圖。
圖10是表示實施方式2的濾色片基板的制造方法的示意圖。
圖11(a)是表示實施方式3的基體的剖面的示意圖，(b)是表示實施方式3的基體的俯視面的示意圖。
圖12是表示實施方式3的電致發(fā)光顯示裝置的制造裝置的示意圖。
圖13是表示實施方式3的噴出裝置的示意圖。
圖14是說明實施方式3的電致發(fā)光顯示裝置的制造方法的圖。
圖15(a)是表示實施方式4的基體的剖面的示意圖，(b)是表示實施方式4的基體的俯視面的示意圖。
圖16是表示實施方式4的等離子體顯示裝置的制造裝置的示意圖。
圖17是表示實施方式4的噴出裝置的示意圖。
圖18是說明實施方式4的等離子體顯示裝置的制造方法的圖。
圖19是表示利用實施方式4的制造方法制造的等離子體顯示裝置的剖面的示意圖。
圖20(a)是表示實施方式5的基體的剖面的示意圖，(b)是表示實施方式5的基體的俯視面的示意圖。
圖21是表示實施方式5的顯示裝置的制造裝置的示意圖。
圖22是表示實施方式5的噴出裝置的示意圖。
圖23是表示實施方式5的顯示裝置的制造方法的示意圖。
圖24是表示實施方式5的顯示裝置的制造方法的示意圖。
圖25是表示利用實施方式5的制造方法制造的顯示裝置的剖面的示意圖。
圖26是說明實施方式1～5的掃描范圍的示意圖。
圖中1-制造裝置，10A-基體，100R、100G、100B-噴出裝置，111R、111G、111B-濾色片材料，118T-噴出噴嘴，GA-第1噴嘴組，GB-第2噴嘴組。
具體實施例方式
(實施方式1)對本實施方式將以下述順序來說明。
A.噴出裝置100R的整體構(gòu)成B.噴頭C.控制部D.濾色片基板E.涂布工序(A.噴出裝置100R的整體構(gòu)成)圖1的噴出裝置100R是具備保持液狀的濾色片材料111R的液罐101R、管道110R、借助管道110R從液罐101R供給液狀的濾色片材料111R的噴出掃描部102的材料涂布裝置。此外，噴出掃描部102具備基礎(chǔ)臺架GS、噴頭部103、第1位置控制裝置104、臺架106、第2位置控制裝置108、控制部112。
噴頭部103保持有向臺架106側(cè)噴出液狀的濾色片材料111R的多個噴頭114(圖2)。這些噴頭114分別根據(jù)來自控制部112的信號，噴出液狀的濾色片材料111R的液滴。此外，液罐101R和噴頭部103的多個噴頭114由管道110R連接，從液罐101向多個噴頭114分別供給液狀的濾色片材料111R。
這里，液狀的濾色片材料111R與本發(fā)明的“液狀的材料”對應(yīng)。
所謂“液狀的材料”是指具有可以從噴頭114的噴嘴(后述)作為液滴噴出的粘度的材料。此時，不考慮材料是水性還是油性。只要具有可以從噴嘴中噴出的流動性(粘度)即可，即使混入固體物質(zhì)，只要作為整體為流體即可。
第1位置控制裝置104根據(jù)來自控制部112的信號，使噴頭部103沿X軸方向及與X軸方向正交的Z軸方向移動。另外，第1位置控制裝置104還具有使噴頭部103繞著與Z軸平行的軸旋轉(zhuǎn)的功能。本實施方式中，Z軸方向是與豎直方向(即重力加速度的方向)平行的方向。
具體來說，第1位置控制裝置104具備沿X軸方向延伸的一對線性馬達、沿X軸方向延伸的一對X軸導(dǎo)軌、X軸氣動滑塊、轉(zhuǎn)動部、支撐構(gòu)造體14。支撐構(gòu)造體14將這一對線性馬達、一對X軸導(dǎo)軌、一對X軸氣動滑塊、轉(zhuǎn)動部固定在沿Z軸方向離開臺架106特定距離的位置上。另一方面，X軸氣動滑塊被可以移動地支撐在一對X軸導(dǎo)軌上。而且，X軸氣動滑塊利用一對線性馬達的作用，沿著一對X軸導(dǎo)軌在X軸方向移動。噴頭部103由于借助轉(zhuǎn)動部與X軸氣動滑塊連接，因此，噴頭部103與X軸氣動滑塊一起在X軸方向上移動。而且，噴頭部103被按照使噴頭部103的噴嘴(后述)朝向臺架106側(cè)的方式支撐在X軸氣動滑塊上。而且，轉(zhuǎn)動部具有伺服馬達，具有使噴頭部103繞著與Z軸平行的軸旋轉(zhuǎn)的功能。
第2位置控制裝置108根據(jù)來自控制部112的信號，使臺架106沿與X軸方向及Z軸方向兩者正交的Y軸方向移動。另外，第2位置控制裝置108還具有使臺架106繞著與Z軸平行的軸旋轉(zhuǎn)的功能。具體來說，第2位置控制裝置108具備沿Y軸方向延伸的一對線性馬達、沿Y軸方向延伸的一對Y軸導(dǎo)軌、Y軸氣動滑塊、支撐基座、θ臺。一對線性馬達及一對Y軸導(dǎo)軌位于基礎(chǔ)臺架GS上。另一方面，Y軸氣動滑塊被可以移動地支撐在一對Y軸導(dǎo)軌上。此外，Y軸氣動滑塊利用一對線性馬達的作用，沿著一對Y軸導(dǎo)軌在Y軸方向移動。Y軸氣動滑塊由于借助支撐基座及θ臺與臺架106的背面連接，因此臺架106就與Y軸滑塊一起沿Y軸方向移動。而且，θ臺具有馬達，具有使臺架106繞著與Z軸平行的軸旋轉(zhuǎn)的功能。
而且，本說明書中，也將第1位置控制裝置104及第2位置控制裝置108表述為“掃描部”。
本實施方式的X軸方向、Y軸方向及Z軸方向與噴頭部103及臺架106的某一方相對于另一方相對移動的方向一致。另外，規(guī)定X軸方向、Y軸方向及Z軸方向的XYZ坐標系的假想的原點被固定在噴出裝置100R的基準部分。本說明書中，所謂X坐標、Y坐標及Z坐標是此種XYZ坐標系的坐標。而且，所述的假想的原點也可以不固定在基準部分，既可以固定在臺架106上，也可以固定在噴頭部103上。
如上所述，噴頭部103被第1位置控制裝置104沿X軸方向移動。另一方面，臺架106被第2位置控制裝置108沿Y軸方向移動。即，利用第1位置控制裝置104及第2位置控制裝置108，改變噴頭114相對于臺架106的相對位置。更具體來說，利用它們的動作，在噴頭部103、噴頭114或噴嘴118(圖2)相對于被定位在臺架106上的被噴出部沿Z軸方向保持特定的距離的同時，沿X軸方向及Y軸方向相對移動，即相對地進行掃描。這里，也可以是相對于靜止的被噴出部，噴頭部103沿Y軸方向移動。此外，也可以在噴頭部103沿Y軸方向在特定的2點間移動的期間內(nèi)，從噴嘴118(圖2)向靜止的被噴出部噴出材料111。所謂“相對移動”或“相對掃描”包括將噴出液狀的濾色片材料111R的一側(cè)和來自那里的噴出物所命中的一側(cè)(被噴出部側(cè))的至少一方相對于另一方移動的意思。
另外，所謂噴頭部103、噴頭114或噴嘴118(圖2)相對移動是指它們相對于臺架、基體或被噴出部的相對位置改變的意思。由此，本說明書中，在即使噴頭部103、噴頭114或噴嘴118相對于噴出裝置100R靜止，僅臺架106移動時，也表述為噴頭部103、噴頭114或噴嘴118相對于臺架106、基體或被噴出部相對移動。另外，也有將相對掃描或相對移動和材料的噴出的組合表述為“涂布掃描”的情況。
噴頭部103及臺架106還具有所述以外的平行移動及旋轉(zhuǎn)的自由度。但是，本實施方式中，為了使說明更簡單，關(guān)于所述自由度以外的自由度的記載被省略。
控制部112被按照從外部信息處理裝置接收表示應(yīng)當噴出液狀的濾色片材料111R的相對位置的噴出數(shù)據(jù)的方式構(gòu)成?？刂撇?12的詳細的構(gòu)成及功能將在后面敘述。
(B.噴頭)圖2所示的噴頭114是噴頭部103所具有的多個噴頭114中的一個。圖2是從臺架106側(cè)遠觀噴頭114的圖，表示出噴頭114的底面。噴頭114具有沿X軸方向延伸的噴嘴列116。噴嘴列116由沿X軸方向大致均等地排列的多個噴嘴118構(gòu)成。這些噴嘴118被按照使噴頭114的X軸方向的噴嘴間距HXP達到大約70μm的方式配置。這里“噴頭114的X軸方向的噴嘴間距HXP”相當于將噴頭114的全部噴嘴118從與X軸方向正交的方向向X軸上投影而得到的多個噴嘴像間的間距。
噴嘴列116的噴嘴118的數(shù)目為180個。其中，噴嘴列116的兩端的各10個噴嘴被作為“暫停噴嘴”設(shè)定。此外，從這20個“暫停噴嘴”中不噴出液狀的濾色片材料111R。由此，噴頭114的180個噴嘴118當中的160個噴嘴118作為噴出液狀的濾色片材料111R的噴嘴118發(fā)揮作用。本說明書中，也將這160個噴嘴118表述為“噴出噴嘴118T”。
而且，1個噴頭114的噴嘴118的數(shù)目并不限定于180個。也可以在1個噴頭114上設(shè)置360個噴嘴。
如圖3(a)及(b)所示，各個噴頭114為噴墨噴頭。更具體來說，各個噴頭114具備振動板126、噴嘴板128?？偸翘畛溆袕?個液罐101R(圖1)經(jīng)過孔131供給的液狀的濾色片材料111R的貯液室129位于振動板126和噴嘴板128之間。
另外，多個隔壁122位于振動板126和噴嘴板128之間。此外，由振動板126、噴嘴板128、1對隔壁122包圍的部分為空腔120。由于空腔120被與噴嘴118對應(yīng)地設(shè)置，因此空腔120的數(shù)目與噴嘴118的數(shù)目相同。經(jīng)過位于1對隔壁122之間的供給口130，從貯液室129向空腔120供給液狀的濾色片材料111R。
振子124與各個空腔120對應(yīng)地位于振動板126上。振子124包括壓電元件124C、夾著壓電元件124C的1對電極124A、124B。通過向該1對電極124A、124B之間提供驅(qū)動電壓，就會從對應(yīng)的噴嘴118中噴出液狀的濾色片材料111R。而且，按照從噴嘴118向Z軸方向噴出液狀的濾色片材料111R的方式，調(diào)整噴嘴118的形狀。
這里，本說明書中所謂“液狀的材料”是指具有可以從噴嘴中噴出的粘度的材料。此時，不考慮材料為水性還是油性。只要具有可以從噴嘴中噴出的流動性(粘度)即可，即使混入固體物質(zhì)，只要作為整體為流體即可。
控制部112(圖1)也可以被按照向多個振子124分別相互獨立地提供信號的方式構(gòu)成。即，也可以根據(jù)來自控制部112的信號對每個噴嘴118控制從噴嘴118中噴出的液狀的材料的體積。此種情況下，從各個噴嘴118中噴出的液狀的材料的體積也可以在0pl～42pl(皮升)之間變動。另外，控制部112也可以像后述那樣，設(shè)定在涂布掃描期間進行噴出動作的噴嘴118、和不進行噴出動作的噴嘴118。
本說明書中，有時也將包括1個噴嘴118、與噴嘴118對應(yīng)的空腔120、與空腔120對應(yīng)的振子124的部分表述為“噴出部127”。根據(jù)該表述，1個噴頭114具有與噴嘴118的數(shù)目相同的數(shù)目的噴出部127。噴出部127也可以取代壓電元件，而具有電熱轉(zhuǎn)換元件。即，噴出部127也可以具有利用電熱轉(zhuǎn)換元件產(chǎn)生的材料的熱膨脹而噴出材料的構(gòu)成。
(C.控制部)下面，對控制部112的構(gòu)成進行說明。如圖4所示，控制部112具有輸入緩沖存儲器200、存儲機構(gòu)202、處理部204、掃描驅(qū)動部206、噴頭驅(qū)動部208。緩沖存儲器200和處理部204被可以相互通信地連接。處理部204和存儲機構(gòu)202被可以相互通信地連接。處理部204和掃描驅(qū)動部206被可以相互通信地連接。處理部204和噴頭驅(qū)動部208被可以相互通信地連接。另外，掃描驅(qū)動部206與第1位置控制裝置104及第2位置控制裝置108被可以相互通信地連接。同樣，噴頭驅(qū)動部208與多個噴頭114分別被可以相互通信地連接。
輸入緩沖存儲器200從位于噴出裝置100R的外部的主機(未圖示)接收用于噴出濾色片材料111R的噴出數(shù)據(jù)。輸入緩沖存儲器200將噴出數(shù)據(jù)提供給處理部204，處理部204將噴出數(shù)據(jù)存儲在存儲機構(gòu)202中。圖4中，存儲機構(gòu)202為RAM。而且，噴出裝置100R也可以在控制部112內(nèi)具有發(fā)揮外部的主機的功能的計算機。
處理部204基于存儲機構(gòu)202內(nèi)的噴出數(shù)據(jù)，將表示噴嘴118相對于被噴出部的相對位置的數(shù)據(jù)提供給掃描驅(qū)動部206。掃描驅(qū)動部206將與該數(shù)據(jù)和噴出周期對應(yīng)的驅(qū)動信號提供給第2位置控制裝置108。其結(jié)果，噴頭114相對于被噴出部進行相對掃描。另一方面，處理部204基于存儲在存儲機構(gòu)202中的噴出數(shù)據(jù)，將液狀的濾色片材料111R的噴出所必需的噴出信號分別提供給多個噴頭114。其結(jié)果是，從多個噴頭114的各自的噴嘴118中，噴出液狀的濾色片材料111R的液滴D(圖3)。
控制部112也可以是包括CPU、ROM、RAM、總線的計算機。該情況下，控制部112的所述功能也可以利用由計算機執(zhí)行的軟件程序來實現(xiàn)。當然，控制部112也可以利用專用的電路(硬件)來實現(xiàn)。
(D.濾色片基板)圖5(a)及(b)所示的基體10A是經(jīng)過在后述的實施方式2中說明的制造裝置1的處理而成為濾色片基板10的基板?；w10A具有配置成矩陣狀的多個被噴出部18R、18G、18B。
具體來說，基體10A包括具有透光性的支撐基板12、形成于支撐基板12上的黑矩陣14、形成于黑矩陣14上的圍堰16。黑矩陣14由具有遮光性的材料形成。此外，黑矩陣14和黑矩陣14上的圍堰16被規(guī)定矩陣狀的多個透光部分、即矩陣狀的多個像素區(qū)域地位于支撐基板12上。
在各個像素區(qū)域中，由支撐基板12、黑矩陣14及圍堰16規(guī)定的凹部與被噴出部18R、被噴出部18G、被噴出部18B對應(yīng)。被噴出部18R是應(yīng)當形成僅透過紅的波長區(qū)域的光線的過濾層111FR的區(qū)域，被噴出部18G是應(yīng)當形成僅透過綠的波長區(qū)域的光線的過濾層111FG的區(qū)域，被噴出部18B是應(yīng)當形成僅透過藍的波長區(qū)域的光線的過濾層111FB的區(qū)域。
圖5(b)所示的基體10A位于與X軸方向和Y軸方向兩者平行的假想平面上。此外，多個被噴出部18R、18G、18B所形成的矩陣的行方向及列方向分別與X軸方向及Y軸方向平行。在基體10A中，被噴出部18R、被噴出部18G及被噴出部18B沿Y軸方向以該順序周期性地排列。另一方面，被噴出部18R彼此間沿X軸方向拉開特定的一定間隔而排成1列，另外，被噴出部18G彼此間沿X軸方向拉開特定的一定間隔而排成1列，此外，被噴出部18B彼此間沿X軸方向拉開特定的一定間隔而排成1列。而且，X軸方向及Y軸方向相互正交。
被噴出部18R彼此間的沿著Y軸方向的間隔LRY即間距大約為560μm。該間隔與被噴出部18G彼此間的沿著Y軸方向的間隔LGY相同，也與被噴出部18B彼此間的沿著Y軸方向的間隔LBY相同。另外，被噴出部18R的俯視圖像為由長邊和短邊確定的多角形。具體來說，被噴出部18R的Y軸方向的長度大約為100μm，X軸方向的長度大約為300μm。被噴出部18G及被噴出部18B也具有與被噴出部18R相同的形狀·大小。被噴出部彼此間的所述間隔及被噴出部的所述大小在40英寸左右的大小的高清晰度電視中，與對應(yīng)于相同顏色的像素區(qū)域彼此間的間隔或大小對應(yīng)。
(E.涂布工序)對使用噴出裝置100R在基體10A的被噴出部18R上涂布液狀的濾色片材料111R的工序進行說明。
(第1掃描期間)如圖6所示，將具有被噴出部18R的第1基體10A配置在臺架106上。具體來說，按照使多個被噴出部18R所形成的矩陣的行方向及列方向分別與X軸方向及Y軸方向平行的方式，將基體10A配置在臺架106上。另外，本實施方式中，按照此時使各個被噴出部18R的長邊方向與X軸方向平行，并且短邊方向與Y軸方向平行的方式，將基體10A在臺架106上取向。
這里，在圖6中描繪了18個噴出噴嘴118T。為了說明上的方便，將這18個噴出噴嘴118T從X坐標小的噴嘴開始依次(從圖6的上方開始依次)表述為噴嘴N1、N2、N3、～N18。而且，接在符號“N”后面的數(shù)字為偶數(shù)的噴出噴嘴118T屬于第1噴嘴列116A(圖2)，接在符號“N”后面的數(shù)字為奇數(shù)的噴出噴嘴屬于第2噴嘴列116B(圖2)。
另外，如圖6所示，噴嘴N1～N5構(gòu)成第1噴嘴組GA。噴嘴N7～N11構(gòu)成另一個第1噴嘴組GA。噴嘴N13～N17又形成另一個第1噴嘴組GA。另一方面，噴嘴N6、N12、N18分別構(gòu)成各個第2噴嘴組GB。本說明書中，即使構(gòu)成第1噴嘴組GA或第2噴嘴組GB的噴嘴數(shù)為1，也表述為“噴嘴組”。如圖6所示，第1噴嘴組GA和第2噴嘴組GB沿X軸方向相鄰。
如圖6所示，噴頭114相對于臺架106的相對x坐標被維持為x1。這里，所謂“噴頭114相對于臺架106的相對x坐標”是固定在臺架106上的內(nèi)部坐標系中的x坐標。該內(nèi)部坐標系的x軸、y軸及z軸的方向分別與先前分別定義的X軸方向、Y軸方向及Z軸方向別一致。另外，所謂“噴頭114的相對x坐標”是噴頭114的特定的基準點的相對x坐標。例如“噴頭114的相對x坐標”也可以用噴頭114的第1基準噴嘴118R1的相對x坐標來表示。
在噴頭114的相對x坐標為x1的情況下，屬于第1噴嘴組GA的全部噴出噴嘴118T都位于被噴出部18R的X軸方向的可以噴出范圍內(nèi)。另一方面，屬于第2噴嘴組GB的全部噴出噴嘴118T都位于被噴出部18R的X軸方向的可以噴出范圍外。
這里，使用圖8，對“被噴出部18R的X軸方向的可以噴出范圍”進行說明。如圖8所示，如果噴出噴嘴118在被噴出部18R的X軸方向的可以噴出范圍XE內(nèi)，則可以使液滴D正常地命中被噴出部18R內(nèi)。另一方面，在噴出噴嘴118T位于X軸方向的可以噴出范圍XE外的情況下，則來自噴出噴嘴118T的液滴D無法正常地命中被噴出部18R。例如，如圖8所示，來自噴出噴嘴118T的液滴D會在命中被噴出部18R之前與圍堰16碰撞。X軸方向的可以噴出范圍XE的長度能夠依賴所噴出的液滴D的大小而變化。
被噴出部18R的X軸方向的可以噴出范圍XE的長度在被噴出部18R的X坐標范圍EXT的長度以下。這里，所謂“被噴出部18R的X坐標范圍EXT”是沿著X軸方向的從被噴出部18R的端部到端部的范圍。本實施方式中，“被噴出部18R的X坐標范圍EXT”的長度與被噴出部18R的長邊的長度相等。
本說明書中，有時也將位于被噴出部18R的X軸方向的可以噴出范圍XE內(nèi)的噴出噴嘴118T簡單地表述為“與被噴出部18R對應(yīng)的噴出噴嘴118T”。
控制部112開始第1掃描期間。具體來說，在第1掃描期間中，根據(jù)來自控制部112的信號，掃描部使噴頭114相對于臺架106的相對位置沿Y軸方向的正方向(從圖6的右向左)變化。涵蓋第1掃描期間地將噴頭114的相對x坐標維持為x1。利用該操作，屬于第1噴嘴組GA的噴出噴嘴118T就分別會到達與被噴出部18R對應(yīng)的區(qū)域。
此外，在屬于第1噴嘴組GA的噴出噴嘴118T到達與被噴出部18R對應(yīng)的區(qū)域的情況下，從噴出噴嘴118T中噴出液狀的濾色片材料111R。本實施方式中，在第1掃描期間中，5個噴出噴嘴118T與1個被噴出部18R對應(yīng)。此外，在第1掃描期間中，從這5個噴出噴嘴118T中向?qū)?yīng)的被噴出部18R噴出液狀的濾色片材料111R。
另一方面，在第1掃描期間中，屬于第2噴嘴組GB的噴出噴嘴118T(噴嘴N6、N12、N18)不與任何的被噴出部18R重合。由此，在第1掃描期間中，就不會從屬于第2噴嘴組GB的噴出噴嘴118T中噴出一點兒液狀的濾色片材料111R。
這里，所謂“掃描期間”是指，噴頭114或噴頭部103相對于臺架106的相對位置沿著Y軸方向從掃描范圍134的一端到達另一端或從另一端到達一端的期間。有時也將1次的掃描期間表述為“1行程的期間”。
這里，所謂“掃描范圍”是指，如圖26所示，按照可以在基體10A上的全部被噴出部18R上涂布材料的方式，噴頭部103的一邊相對于臺架106進行相對移動的范圍。由此，全部的被噴出部18R就被掃描范圍134所覆蓋。本實施方式中，噴頭部103在1次的掃描期間內(nèi)走過掃描范圍134。
而且，根據(jù)情況不同，用語“掃描范圍”有時指1個噴嘴118(圖2)相對于臺架106相對移動的范圍、有時指1個噴嘴列116A(116B)(圖2)相對于臺架106相對移動的范圍，有時指噴頭114(圖2)相對于臺架106相對移動的范圍。
另外，所謂相對于臺架106，噴頭部103、噴頭114(圖2)或噴嘴118(圖2)進行相對移動是指，它們相對于臺架106、基體10A或被噴出部18R的相對位置改變。由此，本說明書中，即使噴頭部103、噴頭114或噴嘴118相對于噴出裝置100R靜止，而僅臺架106移動時，也表述為噴頭部103、噴頭114或噴嘴118相對于臺架106、基體10A或被噴出部18R相對移動。另外，有時也將相對掃描或相對移動與材料的噴出的組合表述為“涂布掃描”。
(向X軸方向的相對移動(換行))當?shù)?掃描期間結(jié)束時，根據(jù)來自控制部112的信號，掃描部按照噴頭114的相對x坐標從x1變化為x2的方式，使噴頭114在X軸方向進行相對移動。
當噴頭114的相對x坐標變?yōu)閤2時，屬于第2噴嘴組GB的全部噴出噴嘴118T就位于被噴出部18R的X軸方向的可以噴出范圍內(nèi)。這里，在噴頭114的相對x坐標為x2的情況下，屬于第1噴嘴組GA的噴出噴嘴118T既可以位于被噴出部18R的X軸方向的可以噴出范圍內(nèi)、也可以不位于被噴出部18R的X軸方向的可以噴出范圍內(nèi)。
如圖7所示，構(gòu)成第2噴嘴組GB的噴嘴N6位于右上的被噴出部18R的X軸方向的可以噴出范圍內(nèi)。同時，構(gòu)成第1噴嘴組GA的噴嘴當中的噴嘴N3、N4、N5位于右上的被噴出部18R的X軸方向的可以噴出范圍內(nèi)。另一方面，構(gòu)成第1噴嘴組GA的噴嘴當中的噴嘴N1和噴嘴N2不位于與被噴出部18R對應(yīng)的位置上。即，在第1掃描期間結(jié)束后開始的第2掃描期間中，4個噴出噴嘴118T與1個被噴出部18R對應(yīng)。此外，在第2掃描期間中，從這4個噴出噴嘴118T向?qū)?yīng)的被噴出部18R噴出液狀的濾色片材料111R。而且，在第2掃描期間中所使用的這4個噴出噴嘴118T中，包含在第1掃描期間中未被使用的噴出噴嘴118T。
另外，通過按照使噴頭114的相對x坐標變?yōu)閤1和x2的方式，改變相對于臺架106的相對位置，就可以使分布在噴嘴分布范圍EXT內(nèi)的全部的噴出噴嘴118T位于第1掃描期間或第2掃描期間的某一個中，位于被噴出部18R的X軸方向的可以噴出范圍內(nèi)。即，分布于噴嘴分布范圍EXT內(nèi)的全部的噴出噴嘴118T可以噴出濾色片材料111R。
(第2掃描期間)然后，如圖7所示，控制部112開始第2掃描期間。具體來說，在第2掃描期間中，根據(jù)來自控制部112的信號，掃描部使噴頭114相對于臺架106的相對位置沿Y軸方向的負方向(從圖7的左向右)相對移動。涵蓋第2掃描期間地將噴頭114的相對x坐標維持為x2。利用該操作，屬于第2噴嘴組GA的噴出噴嘴118T分別就會到達與被噴出部18R對應(yīng)的區(qū)域。而且，在屬于第2噴嘴組GA的噴出噴嘴118T到達與被噴出部18R對應(yīng)的區(qū)域的情況下，從屬于第2噴嘴組GB的噴出噴嘴118T的分別會噴出濾色片材料111R。另外，從屬于第1噴嘴組GA的噴出噴嘴118T當中的位于被噴出部18R的X軸方向的可以噴出范圍內(nèi)的噴出噴嘴118T中，也與屬于第2噴嘴組GB的噴出噴嘴118T相同地在第2掃描期間內(nèi)噴出濾色片材料111R。
根據(jù)本實施方式，就可以延長噴頭114的壽命。這是因為，可以使不與被噴出部18R對應(yīng)的噴出噴嘴118T(屬于第2噴嘴組GB的噴出噴嘴118T)也分擔濾色片材料111R的噴出任務(wù)。
另外，根據(jù)本實施方式，就可以在維持噴出裝置100R的噴出穩(wěn)定性的狀態(tài)下進行涂布工序。這是因為，由于噴頭114的全部的噴出噴嘴118T在第1掃描期間及第2掃描期間的至少一方當中，噴出濾色片材料111R的液滴D，因此就不存在長時間不進行噴出的噴出噴嘴118T。由此，就可以防止在涂布工序中材料固著在噴嘴內(nèi)的情況。
(實施方式2)實施方式1中，對向被噴出部18R上涂布濾色片材料111R的工序進行了說明。下面，將對直到利用制造裝置1獲得濾色片基板10的一連串的工序進行說明。
圖9所示的制造裝置1是向圖5的基體10A的被噴出部18R、18G、18B分別噴出對應(yīng)的濾色片材料的裝置。具體來說，制造裝置1具有向全部被噴出部18R涂布濾色片材料111R的噴出裝置100R、使被噴出部18R上的濾色片材料111R干燥的干燥裝置150R、向全部被噴出部18G涂布濾色片材料111G的噴出裝置100G、使被噴出部18G上的濾色片材料111G干燥的干燥裝置150G、向全部被噴出部18B涂布濾色片材料111B的噴出裝置100B、使被噴出部18B上的濾色片材料111B干燥的干燥裝置150B、對濾色片材料111R、111G、111B進行再次加熱(后烘烤)的烤爐160、在被后烘烤了的濾色片材料111R、111G、111B的層上設(shè)置保護膜20的噴出裝置100C、使保護膜20干燥的干燥裝置150C、對被干燥了的保護膜20進行再次加熱而硬化的硬化裝置165。另外，制造裝置1還具有按照噴出裝置100R、干燥裝置150R、噴出裝置100G、干燥裝置150G、噴出裝置100B、干燥裝置150B、噴出裝置100C、干燥裝置150C、硬化裝置165的順序搬送基體10A的搬送裝置170。搬送裝置170具有抓叉部、使抓叉部上下移動的驅(qū)動部、自行部。
噴出裝置100R的構(gòu)成由于已經(jīng)在實施方式1中說明，因此將該說明省略。噴出裝置100G的構(gòu)成、噴出裝置100B的構(gòu)成、噴出裝置100C的構(gòu)成都基本上與噴出裝置100R的構(gòu)造相同。但是，取代噴出裝置100R的液罐101R和管道110R，噴出裝置100G具備濾色片材料111G用的液罐和管道，在這一點上，噴出裝置100G的構(gòu)成與噴出裝置100R的構(gòu)成不同。同樣，取代液罐101R和管道110R，噴出裝置100B具備濾色片材料111B用的液罐和管道，在這一點上，噴出裝置100B的構(gòu)成與噴出裝置100R的構(gòu)成不同。另外，取代液罐101R和管道110R，噴出裝置100C具備保護膜材料用的液罐和管道，在這一點上，噴出裝置100C的構(gòu)成與噴出裝置100R的構(gòu)成不同。而且，本實施方式的液狀的濾色片材料111R、111G、111B為本發(fā)明的“液狀的材料”的一個例子。
首先，依照以下的順序制成圖5的基體10A。首先，利用濺射法或蒸鍍法，在支撐基板12上形成金屬薄膜。其后，利用光刻工序從該金屬薄膜中形成格子狀的黑矩陣14。黑矩陣14的材料的例子為金屬鉻或氧化鉻。而且，支撐基板12為相對于可見光具有透光性的基板、例如玻璃基板。然后，按照覆蓋支撐基板12及黑矩陣14的方式，涂布由負型的感光性樹脂組合物制成的光刻膠層。此后，在該光刻膠層上密接被制成了矩陣圖案形狀的掩模薄膜的同時，將該光刻膠層曝光。其后，通過用蝕刻處理將光刻膠層的未曝光部分除去，獲得圍堰16。利用以上的工序，得到基體10A。
而且，也可以取代圍堰16，使用由樹脂黑制成的圍堰。此時，就不需要金屬薄膜(黑矩陣14)，圍堰層變?yōu)閮H1層。
然后，利用大氣壓下的氧等離子體處理，將基體10A親液化。利用該處理，由支撐基板12、黑矩陣14、圍堰16所規(guī)定的各個凹部(像素區(qū)域的一部分)的支撐基板12的表面、黑矩陣14的表面、圍堰16的表面就會呈現(xiàn)親液性。另外，其后，對基體10A進行以四氟化甲烷(四氟化碳)為處理氣體的等離子體處理。利用使用了四氟化甲烷的等離子體處理，將各個凹部的圍堰16的表面進行氟化處理(處理成疏液性)，通過該操作使圍堰16的表面呈現(xiàn)疏液性。而且，利用使用了四氟化甲烷的等離子體處理，雖然先前被賦予了親液性的支撐基板12的表面及黑矩陣14的表面喪失了一定的親液性，但是即使這樣這些表面也維持親液性。像這樣，通過對由支撐基板12、黑矩陣14、圍堰16規(guī)定的凹部的表面實施特定的表面處理，凹部的表面即成為被噴出部18R、18G、18B。
而且，有時利用支撐基板12的材質(zhì)、黑矩陣14的材質(zhì)及圍堰16的材質(zhì)，即使不進行如上所述的表面處理，也可以獲得呈現(xiàn)所需的親液性及疏液性的表面。在此種情況下，即使不實施所述表面處理，由支撐基板12、黑矩陣14、圍堰16規(guī)定的凹部的表面也為被噴出部18R、18G、18B。
形成了被噴出部18R、18G、18B的基體10A被搬送裝置170向噴出裝置100R的臺架106搬運。此外，如圖10(a)所示，噴出裝置100R按照在全部被噴出部18R上形成濾色片材料111R的層的方式，根據(jù)來自控制部112的信號，從噴頭114中噴出濾色片材料111R。更具體來說，噴出裝置100R通過進行實施方式1中說明的涂布工序，向多個被噴出部18R上分別涂布濾色片材料111R。
在基體10A的全部被噴出部18R上形成了濾色片材料111R的層的情況下，搬送裝置170使基體10A位于干燥裝置150R內(nèi)。此后，通過使被噴出部18R上的濾色片材料111R完全干燥，即在被噴出部18R上獲得濾色片層111FR。
然后，搬送裝置170使基體10A位于噴出裝置100G的臺架106上。此后，如圖10(b)所示，噴出裝置100G按照在全部被噴出部18G上形成濾色片材料111G的層的方式，根據(jù)來自控制部112的信號，從噴頭114中噴出濾色片材料111G。更具體來說，噴出裝置100G通過進行實施方式1中說明的涂布工序，向多個被噴出部18G上分別涂布濾色片材料111G。
在基體10A的全部被噴出部18G上形成了濾色片材料111G的層的情況下，搬送裝置170使基體10A位于干燥裝置150G內(nèi)。此后，通過使被噴出部18G上的濾色片材料111G完全干燥，即在被噴出部18G上獲得濾色片層111FG。
然后，搬送裝置170使基體10A位于噴出裝置100B的臺架106上。此后，如圖10(c)所示，噴出裝置100B按照在全部被噴出部18B上形成濾色片材料111B的層的方式，根據(jù)來自控制部112的信號，從噴頭114中噴出濾色片材料111B。更具體來說，噴出裝置100B通過進行實施方式1中說明的涂布工序，向多個被噴出部18B上分別涂布濾色片材料111B。
在基體10A的全部被噴出部18B上形成了濾色片材料111B的層的情況下，搬送裝置170使基體10A位于干燥裝置150B內(nèi)。此后，通過使被噴出部18B上的濾色片材料111B完全干燥，即在被噴出部18B上獲得濾色片層111FB。
然后，搬送裝置170使基體10A位于烤爐160內(nèi)。其后，烤爐160對濾色片層111FR、111FG、111FB進行再次加熱(后烘烤)。
然后，搬送裝置170使基體10A位于噴出裝置100C的臺架106上。此后，噴出裝置100C按照覆蓋濾色片層111FR、111FG、111FB及圍堰16而形成保護膜20的方式，噴出液狀的保護膜材料。在形成了覆蓋濾色片層111FR、111FG、111FB及圍堰16的保護膜20后，搬送裝置170使基體10A位于烤爐150C內(nèi)。此后，在烤爐150C使保護膜20完全干燥后，通過硬化裝置165加熱保護膜20而完全硬化，基體10A即成為濾色片基板10。
根據(jù)本實施方式，可以延長噴出裝置100R、100G、100B的噴頭114的壽命。這是因為，可以使不與被噴出部18R、18G、18B對應(yīng)的噴出噴嘴118T(屬于第2噴嘴組GB的噴出噴嘴118T)也分擔濾色片材料111R、111G、111B的噴出任務(wù)。
另外，根據(jù)本實施方式，可以在維持制造裝置1的穩(wěn)定性的狀態(tài)下進行涂布工序。這是因為，由于噴出裝置100R、100G、100B的噴頭114的全部的噴出噴嘴118T在第1掃描期間及第2掃描期間的至少一方當中，噴出濾色片材料的液滴D，因此其結(jié)果是，不存在長時間不進行噴出的噴出噴嘴118T。由此，就可以防止在涂布工序中濾色片材料固著在噴出噴嘴118T內(nèi)的情況。
(實施方式3)下面，對將本發(fā)明應(yīng)用于電致發(fā)光顯示裝置的制造裝置中的例子進行說明。
圖11(a)及(b)所示的基體30A是利用后述的制造裝置2(圖12)的處理而成為電致發(fā)光顯示裝置30的基板?；w30A具有被配置為矩陣狀的多個被噴出部38R、38G、38B。
具體來說，基體30A具有支撐基板32、形成于支撐基板32上的電路元件層34、形成于電路元件層34上的多個像素電極36、形成于多個像素電極36之間的圍堰40。支撐基板是對可見光有透光性的基板、例如為玻璃基板。多個像素電極36分別是對可見光具有透光性的電極，例如為ITO(Indium-Tin Oxide)電極。另外，多個像素電極36在電路元件層34上被配置為矩陣狀，分別規(guī)定像素區(qū)域。此外，圍堰40具有格子狀的形狀，將多個像素電極35分別包圍。另外，圍堰40由形成于電路元件層34上的無機物圍堰40A和位于無機物圍堰40A上的有機物圍堰40B構(gòu)成。
電路元件層34是具有在支撐基板32上沿特定的方向延伸的多個掃描電極、按照覆蓋多個掃描電極的方式形成的絕緣膜42、位于絕緣膜42上并且沿與多個掃描電極延伸的方向正交的方向延伸的多個信號電極、位于掃描電極及信號電極的交點附近的多個開關(guān)元件44、按照覆蓋多個開關(guān)元件44的方式形成的聚亞酰胺等的層間絕緣膜45的層。各個開關(guān)元件44的門電極44G及源電極44S分別與對應(yīng)的掃描電極及對應(yīng)的信號電極電連接。多個像素電極36位于層間絕緣膜45上。在層間絕緣膜45上，在與各開關(guān)元件44的漏電極44D對應(yīng)的部位上設(shè)有通孔44V，借助該通孔44V，形成開關(guān)元件44和對應(yīng)的像素電極36之間的電連接。另外，各個開關(guān)元件44位于與圍堰40對應(yīng)的位置上。即，當從與圖11(b)的紙面垂直的方向觀察時，多個開關(guān)元件44各自的位置被圍堰40覆蓋。
由基體30A的被像素電極36和圍堰40規(guī)定的凹部(像素區(qū)域的一部分)與被噴出部38R、被噴出部38G、被噴出部38B對應(yīng)。被噴出部38R是應(yīng)當形成發(fā)出紅的波長區(qū)域的光線的發(fā)光層211FR的區(qū)域，被噴出部38G是應(yīng)當形成發(fā)出綠的波長區(qū)域的光線的發(fā)光層211FG的區(qū)域，被噴出部38B是應(yīng)當形成發(fā)出藍的波長區(qū)域的光線的發(fā)光層211FB的區(qū)域。
圖11(b)所示的基體30A位于與X軸方向和Y軸方向兩者平行的假想平面上。此外，多個被噴出部38R、38G、38B所形成的矩陣的行方向及列方向分別與X軸方向及Y軸方向平行。在基體30A中，被噴出部38R、被噴出部38G、被噴出部38B沿Y軸方向以該順序周期性地排列。另一方面，被噴出部38R彼此間沿X軸方向拉開特定的一定間隔而排成1列，另外，被噴出部38G彼此間沿X軸方向拉開特定的一定間隔而排成1列，同樣，被噴出部38B彼此間沿X軸方向拉開特定的一定間隔而排成1列。而且，X軸方向及Y軸方向相互正交。
被噴出部38R彼此間的沿著Y軸方向的間隔LRY、即間距大約為560μm。該間隔與被噴出部38G彼此間的沿著Y軸方向的間隔LGY相同，與被噴出部38B彼此間的沿著Y軸方向的間隔LBY也相同。另外，被噴出部38R的俯視圖像(平面圖像)為由長邊和短邊決定的矩形。具體來說，被噴出部38R的Y軸方向的長度約為100μm，X軸方向的長度約為300μm。被噴出部38G及被噴出部38B也具有與被噴出部38R相同的形狀·大小。被噴出部彼此間的所述間隔及被噴出部的所述大小在40英寸左右的大小的高清晰度電視中，與對應(yīng)于相同顏色的像素區(qū)域彼此間的間隔或大小對應(yīng)。
圖12所示的制造裝置2是向圖11的基體30A的被噴出部38R、38G、38B分別噴出對應(yīng)的發(fā)光材料的裝置。制造裝置2具備向全部被噴出部38R涂布發(fā)光材料211R的噴出裝置200R、使被噴出部38R上的發(fā)光材料211R干燥的干燥裝置250R、向全部被噴出部38G涂布發(fā)光材料211G的噴出裝置200G、使被噴出部38G上的發(fā)光材料211G干燥的干燥裝置250G、向全部被噴出部38B涂布發(fā)光材料211B的噴出裝置200B、使被噴出部38B上的發(fā)光材料211B干燥的干燥裝置250B。另外，制造裝置2還具備以噴出裝置200R、干燥裝置250R、噴出裝置200G、干燥裝置250G、噴出裝置200B、干燥裝置250B的順序搬送基體30A的搬送裝置270。搬送裝置270具有抓叉部、使抓叉部上下移動的驅(qū)動部、和自行部。
圖13所示的噴出裝置200R具備保持液狀的發(fā)光材料211R的液罐201R、管道210R、經(jīng)過管道210R從液罐201R中供給發(fā)光材料211R的噴出掃描部102。由于噴出掃描部102的構(gòu)成與實施方式1的噴出掃描部102(圖1)的構(gòu)成相同，因此對于相同的構(gòu)成要素使用相同的參照符號，并且將重復(fù)的說明省略。另外，噴出裝置200G的構(gòu)成和噴出裝置200B的構(gòu)成都基本上與噴出裝置200R的構(gòu)造相同。但是，取代液罐201R和管道210R，噴出裝置200G具備發(fā)光材料211G用的液罐和管道，在這一點上，噴出裝置200G的構(gòu)成與噴出裝置200R的構(gòu)成不同。同樣，取代液罐201R和管道210R，噴出裝置200B具備發(fā)光材料211B用的液罐和管道，在這一點上，噴出裝置200B的構(gòu)成與噴出裝置200R的構(gòu)成不同。而且，本實施方式的液狀的發(fā)光材料211R、211B、211G為本發(fā)明的液狀的材料的一個例子。
對使用了制造裝置2的電致發(fā)光顯示裝置30的制造方法進行說明。首先，使用公知的制膜技術(shù)和圖案形成技術(shù)，制造圖11所示的基體30A。
然后，利用大氣壓下的氧等離子體處理，將基體30A親液化。利用該處理，由像素電極36和圍堰40所規(guī)定的各個凹部(像素區(qū)域的一部分)的像素電極36的表面、無機物圍堰40A的表面、及有機物圍堰40B的表面就會呈現(xiàn)親液性。并且，其后，對基體30A進行以四氟化甲烷為處理氣體的等離子體處理。利用使用了四氟化甲烷的等離子體處理，對各個凹部的有機物圍堰40B的表面進行氟化處理(處理為疏液性)，通過該操作使有機物圍堰40B的表面呈現(xiàn)疏液性。而且，利用使用了四氟化甲烷的等離子體處理，雖然先前被賦予了親液性的像素電極36的表面及無機物圍堰40A的表面喪失了一些親液性，但是即使這樣也維持親液性。像這樣，通過對由像素電極36和圍堰40規(guī)定的凹部的表面實施特定的表面處理，凹部的表面即成為被噴出部38R、38G、38B。
而且，根據(jù)像素電極36的材質(zhì)、無機物圍堰40A的材質(zhì)及有機物圍堰40B的材質(zhì)，有時即使不進行如上所述的表面處理，也可以獲得呈現(xiàn)所需的親液性及疏液性的表面。在此種情況下，即使不實施所述表面處理，由像素電極36和圍堰40規(guī)定的凹部的表面也為被噴出部38R、38G、38B。
這里，在實施了表面處理的多個像素電極36上，分別也可以形成對應(yīng)的空穴輸送層37R、37G、37B。空穴輸送層37R、37G、37B如果位于像素電極36和后述的發(fā)光層211RF、211GF、211BF之間，則電致發(fā)光顯示裝置的發(fā)光效率就會提高。在多個像素電極36上分別設(shè)置空穴輸送層37R、37G、37B的情況下，由空穴輸送層和圍堰40規(guī)定的凹部就與被噴出部38R、38G、38B對應(yīng)。
而且，也可以利用噴墨法形成空穴輸送層37R、37G、37B。此時，將含有用于形成空穴輸送層37R、37G、37B的材料的溶液在各像素區(qū)域上涂布特定量，其后通過使之干燥，就可以形成空穴輸送層。
形成有被噴出部38R、38G、38B的基體30A被搬送裝置270向噴出裝置200R的臺架106搬運。此外，如圖14(a)所示，噴出裝置200R按照在全部被噴出部38R上形成濾色片材料211R的層的方式，根據(jù)來自控制部112的信號，從噴頭114中噴出發(fā)光材料211R。更具體來說，噴出裝置200R通過進行實施方式1中說明的涂布工序，向多個被噴出部38R上分別涂布發(fā)光材料211R。
在基體30A的全部被噴出部38R上形成了發(fā)光材料211R的層的情況下，搬送裝置270使基體30A位于干燥裝置250R內(nèi)。而且，通過使被噴出部38R上的發(fā)光材料211R完全干燥，可在被噴出部38R上獲得發(fā)光層211FR。
然后，搬送裝置270使基體30A位于噴出裝置200G的臺架106上。此后，如圖14(b)所示，噴出裝置200G按照在全部被噴出部38G上形成發(fā)光材料211G的層的方式，根據(jù)來自控制部112的信號，從噴頭114中噴出發(fā)光材料111G。更具體來說，噴出裝置200G通過進行實施方式1中說明的涂布工序，向多個被噴出部38G分別涂布發(fā)光材料211G。
在基體30A的全部被噴出部38G上形成了發(fā)光材料211G的層的情況下，搬送裝置270使基體30A位于干燥裝置250G內(nèi)。此后，通過使被噴出部38G上的發(fā)光材料G完全干燥，而在被噴出部38G上獲得發(fā)光層211FG。
然后，搬送裝置270使基體30A位于噴出裝置200B的臺架106上。此后，如圖14(c)所示，噴出裝置200B按照在全部被噴出部38B上形成發(fā)光材料211B的層的方式，根據(jù)來自控制部112的信號，從噴頭114中噴出發(fā)光材料211B。更具體來說，噴出裝置200B通過進行實施方式1中說明的涂布工序，向多個被噴出部38B上分別涂布發(fā)光材料211B。
在基體30A的全部被噴出部38B上形成了發(fā)光材料211B的層的情況下，搬送裝置270使基體30A位于干燥裝置250B內(nèi)。此后，通過使被噴出部38B上的發(fā)光材料211B完全干燥，即在被噴出部38B上獲得發(fā)光層211FB。
如圖14(d)所示，然后，按照覆蓋發(fā)光層211FR、211FG、211FB及圍堰40的方式設(shè)置對置電極46。對置電極46作為陰極發(fā)揮作用。
其后，通過將密封基板48和基體30A在相互的周邊部粘接，就獲得如圖14(d)所示的電致發(fā)光顯示裝置30。而且，在密封基板48和基體30A之間封入惰性氣體49。
在電致發(fā)光顯示裝置30中，從發(fā)光層211FR、211FG、211FB中發(fā)出的光經(jīng)過像素電極36、電路元件層34、支撐基板32而射出。像這樣經(jīng)過電路元件層34射出光的電致發(fā)光顯示裝置被稱為底發(fā)射型的顯示裝置。
根據(jù)本實施方式，可以延長噴出裝置200R、200G、200B的噴頭114的壽命。這是因為，可以使不與被噴出部38R、38G、38B對應(yīng)的噴出噴嘴118T(屬于第2噴嘴組GB的噴出噴嘴118T)也分擔發(fā)光材料211R、211G、211B的噴出任務(wù)。
另外，根據(jù)本實施方式，可以在維持制造裝置2的穩(wěn)定性的狀態(tài)下進行涂布工序。這是因為由于噴出裝置200R、200G、200B的噴頭114的全部的噴出噴嘴118T在第1掃描期間及第2掃描期間的至少一方當中，噴出發(fā)光材料的液滴D，因此其結(jié)果是，不存在長時間不進行噴出的噴出噴嘴118T。由此，就可以防止在涂布工序中發(fā)光材料固著在噴出噴嘴118T內(nèi)的情況。
(實施方式4)對將本發(fā)明應(yīng)用于等離子體顯示裝置的背面基板的制造裝置的例子進行說明。
圖15(a)及(b)所示的基體50A是利用后述的制造裝置3(圖16)的處理而成為等離子體顯示裝置的背面基板50B的基板?；w50A具有被配置為矩陣狀的多個被噴出部58R、58G、58B。
具體來說，基體50A包括支撐基板52、以矩陣狀形成于支撐基板52上的多個地址電極54、按照覆蓋地址電極54的方式形成的電介質(zhì)玻璃層56、具有格子狀的形狀并且規(guī)定多個像素區(qū)域的隔壁60。多個像素區(qū)域的位置呈矩陣狀，多個像素區(qū)域所形成的矩陣的列分別與多個地址電極54的各自對應(yīng)。此種基體50A是利用公知的絲網(wǎng)印刷技術(shù)形成的。
在基體50A的各個像素區(qū)域中，由電介質(zhì)玻璃層56及隔壁60規(guī)定的凹部與被噴出部58R、被噴出部58G、被噴出部58B對應(yīng)。被噴出部58R是應(yīng)當形成發(fā)出紅的波長區(qū)域的光線的熒光層311FR的區(qū)域，被噴出部58G是應(yīng)當形成發(fā)出綠的波長區(qū)域的光線的熒光層311FG的區(qū)域，被噴出部58B是應(yīng)當形成發(fā)出藍的波長區(qū)域的光線的熒光層311FB的區(qū)域。
圖15(b)所示的基體50A位于與X軸方向和Y軸方向兩者平行的假想平面上。此外，多個被噴出部58R、58G、58B所形成的矩陣的行方向及列方向分別與X軸方向及Y軸方向平行。在基體50A中，被噴出部58R、被噴出部58G、被噴出部58B沿Y軸方向以該順序周期性地排列。另一方面，被噴出部58R彼此間沿X軸方向拉開特定的一定間隔而排成1列，另外，被噴出部58G彼此間沿X軸方向拉開特定的一定間隔而排成1列，同樣，被噴出部58B彼此間沿X軸方向拉開特定的一定間隔而排成1列。而且，X軸方向及Y軸方向相互正交。
被噴出部58R彼此間的沿著Y軸方向的間隔LRY即間距大約為560μm。該間隔與被噴出部58G彼此間的沿著Y軸方向的間隔LGY相同，與被噴出部58B彼此間的沿著Y軸方向的間隔LBY也相同。另外，被噴出部58R的俯視圖像為由長邊和短邊決定的矩形。具體來說，被噴出部58R的Y軸方向的長度約為100μm，X軸方向的長度約為300μm。被噴出部58G及被噴出部58B也具有與被噴出部58R相同的形狀·大小。被噴出部彼此間的所述間隔及被噴出部的所述大小在40英寸左右的大小的高清晰度電視中，與對應(yīng)于相同顏色的像素區(qū)域彼此間的間隔或大小對應(yīng)。
圖16所示的制造裝置3是向圖15的基體50A的被噴出部58R、58G、58B分別噴出對應(yīng)的熒光材料的裝置。制造裝置3具備向全部被噴出部58R涂布熒光材料311R的噴出裝置300R、使被噴出部58R上的熒光材料311R干燥的干燥裝置350R、向全部被噴出部58G涂布熒光材料311G的噴出裝置300G、使被噴出部58G上的熒光材料311G干燥的干燥裝置350G、向全部被噴出部58B涂布熒光材料311B的噴出裝置300B、使被噴出部58B上的熒光材料311B干燥的干燥裝置350B。另外，制造裝置3還具備以噴出裝置300R、干燥裝置350R、噴出裝置300G、干燥裝置350G、噴出裝置300B、干燥裝置350B的順序搬送基體50A的搬送裝置370。搬送裝置370具有抓叉部、使抓叉部上下移動的驅(qū)動部、自行部。
圖17所示的噴出裝置300R具備保持液狀的熒光材料311R的液罐301R、管道310R、經(jīng)過管道310R從液罐301R中供給熒光材料的噴出掃描部102。由于噴出掃描部102的構(gòu)成在實施方式1中已經(jīng)說明，因此將重復(fù)的說明省略。
噴出裝置300G的構(gòu)成和噴出裝置300B的構(gòu)成都基本上與噴出裝置300R的構(gòu)造相同。但是，取代液罐301R和管道310R，噴出裝置300G具備熒光材料311G用的液罐和管道，在這一點上，噴出裝置300G的構(gòu)成與噴出裝置300R的構(gòu)成不同。同樣，取代液罐301R和管道310R，噴出裝置300B具備熒光材料311B用的液罐和管道，在這一點上，噴出裝置300B的構(gòu)成與噴出裝置300R的構(gòu)成不同。而且，本實施方式的液狀的熒光材料311R、311B、311G為發(fā)光材料的一種，并且與本發(fā)明的“液狀的材料”對應(yīng)。
對使用了制造裝置3的等離子體顯示裝置的制造方法進行說明。首先，使用公知的絲網(wǎng)印刷技術(shù)，在支撐基板52上，形成多個地址電極54、電介質(zhì)玻璃層56、隔壁60，得到圖15所示的基體50A。
然后，利用大氣壓下的氧等離子體處理，使基體50A親液化。利用該處理，由隔壁60及電介質(zhì)玻璃層56所規(guī)定的各個凹部(像素區(qū)域的一部分)的隔壁60的表面、電介質(zhì)玻璃層56的表面就會呈現(xiàn)親液性，它們的表面即成為被噴出部58R、58G、58B。而且，根據(jù)材質(zhì)，即使不進行如上所述的表面處理，有時也可以獲得呈現(xiàn)所需的親液性的表面。在此種情況下，即使不實施所述表面處理，由隔壁60、電介質(zhì)玻璃層56規(guī)定的凹部的表面也為被噴出部58R、58G、58B。
形成了被噴出部58R、58G、58B的基體50A被搬送裝置370向噴出裝置300R的臺架106搬運。此外，如圖18(a)所示，噴出裝置300R按照在全部被噴出部58R上形成熒光材料311R的層的方式，根據(jù)來自控制部112的信號，從噴頭114中噴出熒光材料311R。更具體來說，噴出裝置300R通過進行實施方式1中說明的涂布工序，在多個被噴出部58R上分別涂布熒光材料311R。
在基體50A的全部被噴出部58R上形成了熒光材料311R的層的情況下，搬送裝置370使基體50A位于干燥裝置350R內(nèi)。此后，通過使被噴出部58R上的熒光材料311R完全干燥，而在被噴出部58R上獲得熒光層311FR。
然后，搬送裝置370使基體50A位于噴出裝置300G的臺架106上。而且，如圖18(b)所示，噴出裝置300G按照在全部被噴出部58G上形成熒光材料311G的層的方式，根據(jù)來自控制部112的信號，從噴頭114中噴出熒光材料311G。更具體來說，噴出裝置300G通過進行實施方式1中說明的涂布工序，在多個被噴出部58G上分別涂布熒光材料311G。
在基體50A的全部被噴出部58G上形成了熒光材料311G的層的情況下，搬送裝置370使基體50A位于干燥裝置350G內(nèi)。而且，通過使被噴出部58G上的熒光材料311G完全干燥，而在被噴出部58G上獲得熒光層311FG。
然后，搬送裝置370使基體50A位于噴出裝置300B的臺架106上。而且，如圖18(c)所示，噴出裝置300B按照在全部被噴出部58B上形成熒光材料311B的層的方式，根據(jù)來自控制部112的信號，從噴頭114中噴出熒光材料311B。更具體來說，噴出裝置300B通過進行實施方式1中說明的涂布工序，在多個被噴出部58B上分別涂布熒光材料311B。
在基體50A的全部被噴出部58B上形成了熒光材料311B的層的情況下，搬送裝置370使基體50A位于干燥裝置350B內(nèi)。而且，通過使被噴出部58B上的熒光材料311B完全干燥，而在被噴出部58B上獲得熒光層311FB(圖19)。
利用以上的工序，基體50A即成為等離子體顯示裝置的背面基板50B(圖19)。
然后，如圖19所示，將背面基板50B和前面基板50C利用公知的方法貼合，即獲得等離子體顯示裝置50。前面基板50C具有玻璃基板68、在玻璃基板68上被相互平行地形成了圖案的顯示電極66A及顯示掃描電極66B、按照覆蓋顯示電極66A及顯示掃描電極66B的方式形成的電介質(zhì)玻璃層64、形成于電介質(zhì)玻璃層64上的MgO保護層62。背面基板50B和前面基板50C被按照使背面基板50B的地址電極54和前面基板50C的顯示電極66A·顯示掃描電極66B相互正交的方式對正。在被各隔壁60包圍的單元(像素區(qū)域)中，以特定的壓力封入放電氣體69。
根據(jù)本實施方式，可以延長噴出裝置300R、300G、300B的噴頭114的壽命。這是因為可以使不與被噴出部58R、58G、58B對應(yīng)的噴出噴嘴118T(屬于第2噴嘴組GB的噴出噴嘴118T)也分擔熒光材料311R、311G、311B的噴出任務(wù)。
另外，根據(jù)本實施方式，可以在維持制造裝置3的穩(wěn)定性的狀態(tài)下進行涂布工序。這是因為由于噴出裝置300R、300G、300B的噴頭114的全部的噴出噴嘴118T在第1掃描期間及第2掃描期間的至少一方當中，噴出熒光材料的液滴D，因此其結(jié)果，不存在長時間不進行噴出的噴出噴嘴118T。由此，就可以防止在涂布工序中發(fā)光材料固著在噴出噴嘴118T內(nèi)的情況。
(實施方式5)下面，對將本發(fā)明應(yīng)用于由電子發(fā)射元件的圖像顯示裝置的制造裝置的例子進行說明。
圖20(a)及(b)所示的基體70A是利用后述的制造裝置3(圖21)的處理，而成為圖像顯示裝置的電子源基板70B的基板?；w70A具有被配置為矩陣狀的多個被噴出部78。
具體來說，基體70A具備基體72、位于基體72上的鈉擴散防止層74、位于鈉擴散防止層74上的多個元件電極76A、76B、位于多個元件電極76A上的多條金屬配線79A、位于多個元件電極76B上的多條金屬配線79B。多條金屬配線79A分別具有沿Y軸方向延伸的形狀。另一方面，多條金屬配線79B分別具有沿X軸方向延伸的形狀。由于在金屬配線79A和金屬配線79B之間形成有絕緣膜75，因此金屬配線79A和金屬配線79B被電絕緣。
包括1對元件電極76A及元件電極76B的部分與1個像素區(qū)域?qū)?yīng)。1對元件電極76A及元件電極76B相互離開特定的間隔而在鈉擴散防止層74上相面對。與某個像素區(qū)域?qū)?yīng)的元件電極76A被與對應(yīng)的金屬配線79A電連接。另外，與該像素區(qū)域?qū)?yīng)的元件電極76B被與對應(yīng)的金屬配線79B電連接。而且，本說明書中，有時也將使基體72和鈉擴散防止層74合并的部分表述為“支撐基板”。
在基體70A的各個像素區(qū)域中，元件電極76A的一部分、元件電極76B的一部分、在元件電極76A和元件電極76B之間露出的鈉擴散防止層74與被噴出部78對應(yīng)。更具體來說，被噴出部78是應(yīng)當形成導(dǎo)電性薄膜411F(圖24)的區(qū)域，導(dǎo)電性薄膜411F被按照覆蓋元件電極76A的一部分、元件電極76B的一部分、元件電極76A、76B之間的間隙的方式形成。如圖20(b)中虛線所示，本實施方式的被噴出部78的俯視形狀為圓形。像這樣，本發(fā)明的被噴出部的俯視形狀也可以是由X坐標范圍和Y坐標范圍決定的圓形。
圖20(b)所示的基體70A位于與X軸方向和Y軸方向兩者平行的假想平面上。而且，多個被噴出部78所形成的矩陣的行方向及列方向分別與X軸方向及Y軸方向平行。即，在基體70A中，多個被噴出部78沿X軸方向及Y軸方向排列。而且，X軸方向及Y軸方向相互正交。
被噴出部78彼此間的沿著Y軸方向的間隔LRY、即間距大約為190μm。另外，被噴出部78R的X軸方向的長度(X坐標范圍的長度)約為100μm，Y軸方向的長度(Y坐標范圍的長度)也約為100μm。被噴出部78彼此間的所述間隔及被噴出部的所述大小在40英寸左右的大小的高清晰度電視中，與像素區(qū)域彼此間的間隔或大小對應(yīng)。
圖21所示的制造裝置4是向圖27的基體70A的被噴出部78分別噴出導(dǎo)電性薄膜材料411的裝置。具體來說，制造裝置4具備向全部被噴出部78涂布導(dǎo)電性薄膜材料411的噴出裝置400、使被噴出部78上的導(dǎo)電性薄膜材料411干燥的干燥裝置450。另外，制造裝置4還具備以噴出裝置400、干燥裝置450的順序搬送基體70A的搬送裝置470。搬送裝置470具有抓叉部、使抓叉部上下移動的驅(qū)動部、自行部。
圖22所示的噴出裝置400具備保持液狀的導(dǎo)電性薄膜材料411的液罐401、管道410、經(jīng)過管道410從液罐401中供給導(dǎo)電性薄膜材料411的噴出掃描部102。由于噴出掃描部102的說明已經(jīng)在實施方式1中說明，因此省略。本實施方式中，液狀的導(dǎo)電性薄膜材料411為有機鈀溶液。而且，本實施方式的狀的導(dǎo)電性薄膜材料411為本發(fā)明的“液狀的材料”的一個例子。
對使用了制造裝置4的圖像顯示裝置的制造方法進行說明。首先，在由鈉玻璃等形成的基體72上，形成以SiO2為主成分的鈉擴散防止層74。具體來說，通過使用濺射法在基體72上形成厚度1μm的SiO2膜，來獲得鈉擴散防止層74。然后，在鈉擴散防止層74上，利用濺射法或真空蒸鍍法形成厚度5nm的鈦層。此外，使用光刻技術(shù)及蝕刻技術(shù)，從該鈦層中，形成多對相互以特定的距離分離的1對元件電極76A及元件電極76B。
其后，通過使用絲網(wǎng)印刷技術(shù)，在鈉擴散防止層74及元件電極76A上，涂布Ag糊狀物而煅燒，形成沿Y軸方向延伸的多條金屬配線79A。然后，通過使用絲網(wǎng)印刷技術(shù)，在各金屬配線79A的一部分上涂布玻璃糊狀物而煅燒，形成絕緣膜75。此后，通過使用絲網(wǎng)印刷技術(shù)，在鈉擴散防止層74及多個元件電極76B上涂布Ag糊狀物而煅燒，形成沿X軸方向延伸的多條金屬配線79B。而且，在制作金屬配線79B的情況下，按照使金屬配線79B夾隔絕緣膜75而與金屬配線79A交叉的方式涂布Ag糊狀物。利用如上的工序，即獲得圖20所示的基體70A。
然后，利用大氣壓下的氧等離子體處理，將基體70A親液化。利用該處理，元件電極76A的表面的一部分、元件電極76B的表面的一部分、在元件電極76A和元件電極76B之間露出的支撐基板的表面就被親液化。而且，它們的表面成為被噴出部78。而且，根據(jù)材質(zhì)，即使不進行如上所述的表面處理，有時也可以獲得呈現(xiàn)所需的親液性的表面。在此種情況下，即使不實施所述表面處理，元件電極76A的表面的一部分、元件電極76B的表面的一部分、在元件電極76A和元件電極76B之間露出的鈉擴散防止層74的表面也成為被噴出部78。
形成有被噴出部78的基體70A被搬送裝置470向噴出裝置400的臺架106搬運。此外，如圖23所示，噴出裝置400按照在全部被噴出部78上形成導(dǎo)電性薄膜411F的方式，根據(jù)來自控制部112的信號，從噴頭114中噴出導(dǎo)電性薄膜材料411。更具體來說，噴出裝置400通過進行實施方式1中說明的涂布工序，在多個被噴出部78上分別涂布導(dǎo)電性薄膜材料411。
另外，本實施方式中，按照命中被噴出部78上的導(dǎo)電性薄膜材料411的液滴的直徑處于60μm～80μm的范圍的方式，控制部112向噴頭114發(fā)出信號。在基體70A的全部被噴出部78上形成了導(dǎo)電性薄膜材料411的層的情況下，搬送裝置470使基體70A位于干燥裝置450內(nèi)。而且，通過使被噴出部78上的導(dǎo)電性薄膜材料411完全干燥，在被噴出部78上獲得以氧化鈀為主成分的導(dǎo)電性薄膜411F。這樣，在各個像素區(qū)域中，就形成覆蓋元件電極76A的一部分、元件電極76B的一部分、在元件電極76A和元件電極76B之間露出的鈉擴散防止層74的導(dǎo)電性薄膜411F。
根據(jù)本實施方式，可以延長噴出裝置400的噴頭114的壽命。這是因為可以使不與被噴出部78對應(yīng)的噴出噴嘴118T(屬于第2噴嘴組GB的噴出噴嘴118T)也分擔導(dǎo)電性薄膜材料411的噴出任務(wù)。
另外，根據(jù)本實施方式，可以在維持制造裝置4的穩(wěn)定性的狀態(tài)下進行涂布工序。這是因為由于噴出裝置400的噴頭114的全部的噴出噴嘴118T在第1掃描期間及第2掃描期間的至少一方當中，噴出導(dǎo)電性薄膜材料的液滴D，因此其結(jié)果，不存在長時間不進行噴出的噴出噴嘴118T。由此，就可以防止在涂布工序中發(fā)光材料固著在噴出噴嘴118T內(nèi)的情況。
然后，通過在元件電極76A及元件電極76B之間加上脈沖狀的特定的電壓，就在導(dǎo)電性薄膜411F的一部分上形成電子發(fā)射部411D。而且，最好將元件電極76A及元件電極76B間的電壓的施加在有機物氣氛下及真空條件下分別進行。這是因為這樣的話，來自電子發(fā)射部411D的電子發(fā)射效率就會進一步提高。元件電極76A、對應(yīng)的元件電極76B、設(shè)置了電子發(fā)射部411D的導(dǎo)電性薄膜411F為電子發(fā)射元件。另外，各個電子發(fā)射元件與各個像素區(qū)域?qū)?yīng)。
利用以上的工序，如圖24所示，基體70A成為電子源基板70B。
然后，如圖25所示，將電子源基板70B和前面基板70C利用公知的方法貼合，獲得圖像顯示裝置70。前面基板70C具有玻璃基板82、位于玻璃基板82上的矩陣狀的多個熒光部84、覆蓋多個熒光部84的金屬板86。金屬板86作為用于加速來自電子發(fā)射部411D的電子束的電極發(fā)揮作用。電子源基板70B和前面基板70C被按照使多個電子發(fā)射元件分別與多個熒光部84相面對的方式對正。另外，電子源基板70B和前面基板70C之間被保持成真空狀態(tài)。
而且，具備所述的電子發(fā)射元件的圖像顯示裝置70也被稱為SED(Surface-Conduction Electron-Emitter Display)或FED(Field EmissionDisplay)。另外，本說明書中，有時也將液晶顯示裝置、電致發(fā)光顯示裝置、等離子體顯示裝置、利用了電子發(fā)射元件的圖像顯示裝置等表述為“電光學(xué)裝置”。這里，本說明書中所說的所謂“電光學(xué)裝置”并不限定于利用雙折射性的變化、旋光性的變化、光散射性的變化等光學(xué)的特性的變化(所謂的電光學(xué)效應(yīng))的裝置，而指根據(jù)信號電壓的施加而將光射出、透過或反射的所有裝置。
權(quán)利要求
1.一種噴出裝置，是向基體的被噴出部涂布液狀的材料的噴出裝置，其中包括放置所述基體的臺架、具有多個噴出噴嘴的噴頭和掃描部，所述噴頭的多個噴出噴嘴分別屬于沿X軸方向相鄰的第1噴嘴組及第2噴嘴組中的某一個，所述掃描部，在第1掃描期間內(nèi)及第2掃描期間內(nèi)，使所述臺架及所述噴頭中的至少一方相對于另一方沿與所述X軸方向正交的Y軸方向相對移動，構(gòu)成所述第1噴嘴組的噴出噴嘴分別在整個所述第1掃描期間位于所述被噴出部的沿所述X軸方向的可以噴出范圍內(nèi)，構(gòu)成所述第2噴嘴組的噴出噴嘴分別在整個所述第1掃描期間位于所述可以噴出范圍外，所述掃描部在所述第1掃描期間和所述第2掃描期間之間，使所述臺架及所述噴頭中的至少一方相對于另一方沿所述X軸方向相對移動，以使構(gòu)成所述第2噴嘴組的噴出噴嘴分別位于所述可以噴出范圍內(nèi)，所述噴頭，在所述第1掃描期間，從構(gòu)成所述第1噴嘴組的噴出噴嘴向所述被噴出部噴出所述液狀的材料，所述噴頭，在所述第2掃描期間，從構(gòu)成所述第2噴嘴組的噴出噴嘴向所述被噴出部噴出所述液狀的材料。
2.一種材料涂布方法，是使用噴出裝置向所述基體的被噴出部涂布液狀材料的材料涂布方法，所述噴出裝置包括放置基體的臺架和具有多個噴出噴嘴的噴頭，且所述噴頭的多個噴出噴嘴分別屬于沿X軸方向相鄰的第1噴嘴組及第2噴嘴組中的某一個，其中所述材料涂布方法包括在第1掃描期間內(nèi)，在使構(gòu)成所述第1噴嘴組的噴出噴嘴分別位于所述被噴出部的沿所述X軸方向的可以噴出范圍內(nèi)、并且使構(gòu)成所述第2噴嘴組的噴出噴嘴分別位于所述可以噴出范圍外的同時，使所述臺架及所述噴頭中的至少一方相對于另一方沿與所述X軸方向正交的Y軸方向相對移動的步驟(A)；在第2掃描期間內(nèi)，在使構(gòu)成所述第2噴嘴組的噴出噴嘴分別位于所述可以噴出范圍的同時、使所述臺架及所述噴頭中的至少一方相對于另一方沿與所述X軸方向正交的Y軸方向相對移動的步驟(B)；在所述第1掃描期間內(nèi)，從構(gòu)成所述第1噴嘴組的噴出噴嘴分別向所述被噴出部噴出所述液狀的材料的步驟(C)；在所述第2掃描期間內(nèi)，從構(gòu)成所述第2噴嘴組的噴出噴嘴分別向所述被噴出部噴出所述液狀的材料的步驟(D)。
3.一種濾色片基板的制造方法，是使用了噴出裝置的濾色片基板的制造方法，所述噴出裝置包括放置基體的臺架和具有多個噴出噴嘴的噴頭，且所述噴頭的多個噴出噴嘴分別屬于沿X軸方向相鄰的第1噴嘴組及第2噴嘴組中的某一個，其中所述濾色片基板的制造方法包括在第1掃描期間內(nèi)，在使構(gòu)成所述第1噴嘴組的噴出噴嘴分別位于所述被噴出部的沿所述X軸方向的可以噴出范圍內(nèi)、并且使構(gòu)成所述第2噴嘴組的噴出噴嘴分別位于所述可以噴出范圍外的同時，使所述臺架及所述噴頭中的至少一方相對于另一方沿與所述X軸方向正交的Y軸方向相對移動的步驟(A)；在第2掃描期間內(nèi)，在使構(gòu)成所述第2噴嘴組的噴出噴嘴分別位于所述可以噴出范圍的同時，使所述臺架及所述噴頭中的至少一方相對于另一方沿與所述X軸方向正交的Y軸方向相對移動的步驟(B)；在所述第1掃描期間內(nèi)，從構(gòu)成所述第1噴嘴組的噴出噴嘴分別向所述被噴出部噴出液狀的濾色片材料的步驟(C)；在所述第2掃描期間內(nèi)，從構(gòu)成所述第2噴嘴組的噴出噴嘴分別向所述被噴出部噴出所述液狀的濾色片材料的步驟(D)。
4.一種電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，是使用了噴出裝置的電致發(fā)光顯示裝置的制造方法，所述噴出裝置包括放置基體的臺架和具有多個噴出噴嘴的噴頭，且所述噴頭的多個噴出噴嘴分別屬于沿X軸方向相鄰的第1噴嘴組及第2噴嘴組中的某一個，其中所述電致發(fā)光顯示裝置的制造方法包括在第1掃描期間內(nèi)，在使構(gòu)成所述第1噴嘴組的噴出噴嘴分別位于所述被噴出部的沿所述X軸方向的可以噴出范圍內(nèi)、并且使構(gòu)成所述第2噴嘴組的噴出噴嘴分別位于所述可以噴出范圍外的同時，使所述臺架及所述噴頭中的至少一方相對于另一方沿與所述X軸方向正交的Y軸方向相對移動的步驟(A)；在第2掃描期間內(nèi)，在使構(gòu)成所述第2噴嘴組的噴出噴嘴分別位于所述可以噴出范圍的同時，使所述臺架及所述噴頭中的至少一方相對于另一方沿與所述X軸方向正交的Y軸方向相對移動的步驟(B)；在所述第1掃描期間內(nèi)，從構(gòu)成所述第1噴嘴組的噴出噴嘴分別向所述被噴出部噴出液狀的發(fā)光材料的步驟(C)；在所述第2掃描期間內(nèi)，從構(gòu)成所述第2噴嘴組的噴出噴嘴分別向所述被噴出部噴出所述液狀的發(fā)光材料的步驟(D)。
5.一種等離子體顯示裝置的制造方法，是使用了噴出裝置的等離子體顯示裝置的制造方法，所述噴出裝置包括放置基體的臺架和具有多個噴出噴嘴的噴頭，且所述噴頭的多個噴出噴嘴分別屬于沿X軸方向相鄰的第1噴嘴組及第2噴嘴組中的某一個，其中所述等離子體顯示裝置的制造方法包括在第1掃描期間內(nèi)，在使構(gòu)成所述第1噴嘴組的噴出噴嘴分別位于所述被噴出部的沿所述X軸方向的可以噴出范圍內(nèi)、并且使構(gòu)成所述第2噴嘴組的噴出噴嘴分別位于所述可以噴出范圍外的同時，使所述臺架及所述噴頭中的至少一方相對于另一方沿與所述X軸方向正交的Y軸方向相對移動的步驟(A)；在第2掃描期間內(nèi)，在使構(gòu)成所述第2噴嘴組的噴出噴嘴分別位于所述可以噴出范圍的同時，使所述臺架及所述噴頭中的至少一方相對于另一方沿與所述X軸方向正交的Y軸方向相對移動的步驟(B)；在所述第1掃描期間內(nèi)，從構(gòu)成所述第1噴嘴組的噴出噴嘴分別向所述被噴出部噴出液狀的熒光材料的步驟(C)；在所述第2掃描期間內(nèi)，從構(gòu)成所述第2噴嘴組的噴出噴嘴分別向所述被噴出部噴出所述液狀的熒光材料的步驟(D)。
全文摘要
本發(fā)明提供噴出裝置、材料涂布方法、濾色片基板的制造方法、電致發(fā)光顯示裝置的制造方法及等離子體顯示裝置的制造方法，該材料涂布方法包括在第1掃描期間內(nèi)，在使構(gòu)成第1噴嘴組的噴出噴嘴分別位于可以噴出范圍內(nèi)、并且使構(gòu)成所述第2噴嘴組的噴出噴嘴分別位于可以噴出范圍外的同時，使臺架及噴頭中至少一方相對于另一方沿與所述X軸方向正交的Y軸方向相對移動的步驟；在第2掃描期間內(nèi)，在使構(gòu)成第2噴嘴組的噴出噴嘴分別位于可以噴出范圍的同時，使臺架及噴頭中至少一方相對于另一方沿與X軸方向正交的Y軸方向相對移動的步驟。該材料涂布方法可以降低涂布工序的噴頭的損耗。
文檔編號B05D1/26GK1657287SQ20051000780
公開日2005年8月24日 申請日期2005年2月2日 優(yōu)先權(quán)日2004年2月19日
發(fā)明者宮阪洋一 申請人:精工愛普生株式會社