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一種清洗液的制作方法

文檔序號:40545094發(fā)布日期:2025-01-03 11:04閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種清洗液,其特征在于,其原料包括下列質(zhì)量分數(shù)的組分:0.1-40%氧化劑、胺類有機物、緩蝕劑、螯合劑、表面活性劑以及水,水補足余量,各組分質(zhì)量分數(shù)之和為100%;所述的胺類有機物為氮烷基氫氧化銨和/或醇胺;所述的螯合劑為未取代或被一個或多個c1-c4烷基取代的n乙烯m胺、多乙烯多胺和含氮有機酸中的一種或多種;n為2-10的整數(shù),m為3-10的整數(shù);所述的表面活性劑為聚醚酰亞胺和/或聚乙酸乙烯酯;所述的清洗液不含氟化銨;所述的清洗液不含金屬離子;

2.如權(quán)利要求1所述的清洗液,其特征在于,所述的清洗液滿足如下條件中的一種或多種:

3.如權(quán)利要求2所述的清洗液,其特征在于,所述的清洗液滿足如下條件中的一種或多種:

4.如權(quán)利要求1所述的清洗液,其特征在于,所述的清洗液滿足如下條件中的一種或多種:

5.如權(quán)利要求4所述的清洗液,其特征在于,所述的清洗液滿足如下條件中的一種或多種:

6.如權(quán)利要求5所述的清洗液,其特征在于,所述的清洗液滿足如下條件中的一種或多種:

7.如權(quán)利要求1所述的清洗液,其特征在于,所述的清洗液為如下方案1或方案2;

8.如權(quán)利要求1所述的清洗液,其特征在于,所述的清洗液的原料包括下列質(zhì)量分數(shù)的組分的任一組合:

9.如權(quán)利要求1-8中任一項所述的清洗液,其特征在于,所述的清洗液的原料由下述質(zhì)量分數(shù)的組分組成:所述的氧化劑、所述的胺類有機物、所述的緩蝕劑、所述的螯合劑、所述的表面活性劑和所述的水,水補足余量。

10.一種試劑盒,其特征在于,所述的試劑盒包含在一個或多個容器,如權(quán)利要求1-8中任一項所述的氧化劑、如權(quán)利要求1-8中任一項所述的胺類有機物、如權(quán)利要求1-8中任一項所述的緩蝕劑,如權(quán)利要求1-8中任一項所述的螯合劑、如權(quán)利要求1-8中任一項所述的表面活性劑和如權(quán)利要求1-8中任一項所述的水,置于一個或多個容器中。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種清洗液。本發(fā)明的清洗液的原料包括下列質(zhì)量分數(shù)的組分:0.1?40%氧化劑、胺類有機物、緩蝕劑、螯合劑、表面活性劑以及水,水補足余量,各組分質(zhì)量分數(shù)之和為100%;所述的胺類有機物為氮烷基氫氧化銨和/或醇胺;所述的螯合劑為未取代或被一個或多個C1?C4烷基取代的n乙烯m胺、多乙烯多胺和含氮有機酸中的一種或多種;n為2?10的整數(shù),m為3?10的整數(shù);所述的表面活性劑為聚醚酰亞胺和/或聚乙酸乙烯酯;所述的清洗液不含氟化銨;所述的清洗液不含金屬離子。本發(fā)明的清洗液具有如下的一個或多個優(yōu)點:對刻蝕后殘余物有較佳的清洗效果,具有較佳的腐蝕效果,可以選擇性移除TiN硬遮罩,可以抑制銅或銅合金及鈷或鈷合金的損傷。

技術(shù)研發(fā)人員:王溯,蔣闖,馮強強,陳曉顏,張敏康
受保護的技術(shù)使用者:上海新陽半導體材料股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/2
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