技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種基因測序芯片、基因測序設(shè)備及基因測序方法。該基因測序芯片包括:基板(1);電極(7),形成在基板(1)上;信號引線(8),與電極(7)連接,用于向電極(7)發(fā)送信號并將電極(7)感測的信號輸出至信號發(fā)送端;第一絕緣層(2),設(shè)置在形成有電極(7)和信號引線(8)的基板(1)上,在第一絕緣層(2)上與電極(7)對應(yīng)的位置設(shè)置有微孔(5),微孔(5)設(shè)置在電極(7)的遠(yuǎn)離基板(1)的一側(cè);微孔(5)與電極(7)之間通過第二絕緣層(3)間隔開。本發(fā)明中的基因測序芯片不需要任何場效應(yīng)管,制造工藝簡單,能夠大大降低制造難度和成本。
技術(shù)研發(fā)人員:龐鳳春;蔡佩芝;耿越
受保護(hù)的技術(shù)使用者:京東方科技集團(tuán)股份有限公司;北京京東方光電科技有限公司
文檔號碼:201710003178
技術(shù)研發(fā)日:2017.01.03
技術(shù)公布日:2017.03.15