專利名稱：：光致抗蝕劑用聚合性化合物、其聚合物以及含有該聚合物的光致抗蝕劑組合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及光致抗蝕劑用聚合性化合物、其聚合物和該聚合性說，特別涉及光致抗蝕劑平版印刷領(lǐng)域中的光致抗蝕劑用聚合性化物的光致抗蝕劑組合物。
背景技術(shù)：
：已知金剛烷具有四個環(huán)己烷環(huán)稠合而成的籠狀結(jié)構(gòu)、對稱性高、是穩(wěn)定的化合物，其衍生物顯示特異的功能，因此作為藥品原料或高功能性工業(yè)材料的原料等是有用的。例如，由于金剛烷具有光學(xué)特性或耐熱性等，因此有人嘗試了將其用于光盤基板、光纖或透4竟等(例如，專利文獻(xiàn)1日本特開平6-305044號公報和專利文獻(xiàn)2日本特開平9-302077號公報)。另外，還有人嘗試了利用金剛烷酯類具有的酸感應(yīng)性、抗干蝕性、紫外線透射性等性質(zhì)，將其作為光致抗蝕劑用樹脂原料使用(專利文獻(xiàn)3)。另一方面，近年來伴隨著半導(dǎo)體元件微型化的進(jìn)步，要求其制備中的平版印刷步驟更加微型化，使用對應(yīng)于KrF、ArF或F2準(zhǔn)分子激光等短波長的照射光的光致抗蝕劑材料，對形成微型圖案的方法進(jìn)行了各種研究。為了提高基板粘合性，在光致抗蝕劑材料的聚合物結(jié)構(gòu)中導(dǎo)入了親水性部位，由此導(dǎo)致了顯影后圖案發(fā)生膨脹的問題。另外，曝光技術(shù)發(fā)展為液體浸泡平版印刷，由于上述親水性部位的原因還引起了水進(jìn)入樹脂中的問題。例如，已知使用了作為有橋脂環(huán)式化合物的具有三環(huán)癸基結(jié)構(gòu)的化合物的感光性組合物(引用文獻(xiàn)4),但所述感光性組合物作為抗蝕劑以堿顯影形成抗蝕圖案時，像金剛烷骨架或三環(huán)癸基結(jié)構(gòu)這樣的脂環(huán)式結(jié)構(gòu)疏水性非常大，因此與溶解性基團(tuán)、例如羧酸基之間的堿溶解性相差很大，發(fā)生各種問題。上述感光性組合物在顯影時抗蝕膜上規(guī)定區(qū)域的溶解、去除不均勻，導(dǎo)致分辨性下降，由抗蝕圖案顯影后膨脹引起分辨性下降、或者抗蝕膜理應(yīng)殘留的區(qū)域也產(chǎn)生部分溶解而產(chǎn)生裂縫或表面粗糙。并且，抗蝕膜與基板之間的界面浸透堿溶液，抗蝕圖案剝離的情形也經(jīng)常發(fā)生。另外，聚合物中具有脂環(huán)結(jié)構(gòu)的部分與溶解性基團(tuán)、例如羧酸基之間的相分離容易進(jìn)展，難以制備均勻的抗蝕液，其涂布性也不充分。因此，需要使微型圖案的膨脹降低的光致抗蝕劑材料或其單體。專利文獻(xiàn)1:日本特開平6-305044號公報專利文獻(xiàn)2:日本特開平9-302077號公報專利文獻(xiàn)3:日本特開平4-3%65號公報專利文獻(xiàn)4:日本特開平7-199467號公報
發(fā)明內(nèi)容基于上述狀況，本發(fā)明的目的在于提供具有高的基板粘合性、顯影時的膨脹降低、且在水中曝光時的吸水量低、抗干蝕性高的光致抗蝕劑用聚合性化合物、其聚合物和該聚合性化合物的制備方法以及含有該聚合物的光致抗蝕劑組合物。本發(fā)明人為了解決上述課題，深入地研究了可由酸引起脫離、脫保護(hù)，即使供給堿顯影時也可以殘留脂環(huán)式結(jié)構(gòu)的化合物，更進(jìn)一步研究了即使具有顯示基板粘合性的內(nèi)酯基等親水基團(tuán)，仍與脂環(huán)式結(jié)構(gòu)相連的化合物，結(jié)果發(fā)現(xiàn)具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)和末端基團(tuán)的聚合性化合物作為光致抗蝕劑組合物的抗蝕劑是有用的，從而完成了本發(fā)明。本發(fā)明是基于所述發(fā)現(xiàn)完成的。即，本發(fā)明提供1.通式(l)所示的聚合性化合物，其特征在于具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)和聚合性基團(tuán)式中，A表示選自式(2)、(3)和(4)所示基團(tuán)的聚合性基團(tuán)，多個A相同或不同，CH2=CRU——*(2)式中，RG表示氫原子、氟原子、曱基、乙基或三氟曱基；K表示選自式(5)、(6)、(7)、(8)和(9)所示基團(tuán)的連接基團(tuán)，多個K相同或不同，X1X1*~f~CR1R2)"C—X2"fCR3R4)~***~(~CR1R2")~X2—C~f"CR3R4)~**k1k1(5)(6)X1*+CR1R2^X2~(cR3R4)~***_^cR1R2)~l~("CR3R4)~**(7)(8)一R2k—**(9)一R4式中，R1、R2、R3、W和Rs表示氫原子、可以包含雜原子的碳數(shù)為1~10的烷基或卣素原子，k和l表示010的整數(shù)，x'和xs表示氧原子、硫原子和NH基，*表示聚合性基團(tuán)一側(cè)或末端基團(tuán)一側(cè)，**表示脂環(huán)式基團(tuán)一側(cè)；L表示選自通式(IO)、(11)、(12)、(13)、(14)、(15)和(16)所示基團(tuán)的脂環(huán)式基團(tuán)，RRR<formula>formulaseeoriginaldocumentpage14</formula>式中，Y、Y'和YZ表示氫原子、碳數(shù)為110的烷基、卣素原子、羥基、巰基、甲基氰基或兩個Y、兩個Y)和兩個ys分別一起形成的-o或二S，多個Y、多個Y'和多個ys分別相同或不同，m和n表示015的整數(shù)；Z表示選自式(17)和(18)所示基團(tuán)的末端基團(tuán)，多個Z相同或不同，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage14</formula>(17)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage14</formula>(18)式中，R表示碳數(shù)為140的烷基或碳數(shù)為5~30的環(huán)烷基，其部分結(jié)構(gòu)上可以包含雜原子、羥基、巰基、醚基、硫醚基、氰基、酮基、硫酮基、酮縮醇基、酮縮石克醇基、縮醛基、硫縮醛基、內(nèi)酯基、硫代內(nèi)酯基、碳酸酯基、硫代碳酸酯基、胺基、酰胺基、烷基磺?；Ⅴセ?、硫代酯基，f表示氫原子、羥基、巰基、氨基、P03、硝基、OS02CH3、SS02CH3、NHSQ2CH3，a表示1以上的整數(shù)，P和y表示0以上的整數(shù)，5表示1~16的整數(shù)，條件是結(jié)構(gòu)中含有一個以上的A和Z。2.上述l的聚合性化合物，其中通式(l)中，L為式(10)或(11)所示的基團(tuán)。3.上述l的聚合性化合物，其中通式(l)中，至少一個K為選自式(5)和(7)所示的基團(tuán)。4.通式(19)所示的聚合性化合物，其特征在于具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)、聚合性基團(tuán)和末端基團(tuán)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage15</formula>式中，A表示選自式(2)、(3)和(4)所示基團(tuán)的聚合性基團(tuán)，多個A相同或不同，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage15</formula>(2)式中，RG表示氫原子、氟原子、甲基、乙基或三氟甲基；K'和P表示選自式(5)、(6)、(7)、(8)和(9)所示基團(tuán)的連接基團(tuán)，多個K'和K^目同或不同，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>(5)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>(6)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>(7)(8)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>(9)FT式中，R1、R2、R3、W和Rs表示氫原子、可以包含雜原子的碳數(shù)為1~10的烷基或卣素原子，k和l表示010的整數(shù)，X'和X'表示氧原子、硫原子和NH基，*表示聚合性基團(tuán)一側(cè)或末端基團(tuán)一側(cè)，**表示脂環(huán)式基團(tuán)一側(cè)；L表示選自通式(IO)、(11)、(12)、(]3)、(14)、(15)和(16)所示基團(tuán)的脂環(huán)式基團(tuán)，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>(10)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>(12)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>(14)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>式中，Y、Y'和YS表示氫原子、碳數(shù)為110的烷基、鹵素原子、羥基、巰基、曱基氰基或兩個Y、兩個Y'和兩個丫2分別一起形成的=0或=8，多個Y、多個Y'和多個ys分別相同或不同，m和n表示015的整數(shù)；Z表示選自式(17)和(18)所示基團(tuán)的末端基團(tuán)，多個Z相同或不同，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage17</formula>(17)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage17</formula>(18)式中，R〒表示碳數(shù)為130的烷基或碳數(shù)為530的環(huán)烷基，其部分結(jié)構(gòu)上可以包含雜原子、羥基、巰基、醚基、硫醚基、氰基、酮基、硫酮基、酮縮醇基、酮縮」琉醇基、縮醛基、硫縮醛基、內(nèi)酯基、硫代內(nèi)酯基、碳酸酯基、硫代^&友酸酯基、胺基、酰胺基、烷基磺?；?、酯基、硫代酯基，f表示氫原子、羥基、巰基、氨基、P03、硝基、OS02CH3、SS02CH3、NHS02CH3,a和b表示l以上的整數(shù)，c和d表示1~15的整數(shù)，c+dSl6。5.上述4的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個K'為式(5)所示的基團(tuán)，條件是k為O。6.上述4的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個K'為式(5)所示的基團(tuán)，條件是k為O;至少一個K2為式(7)所示的基團(tuán)，條件是1為0。7.上述6的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個W為式(5)所示的基團(tuán)，條件是乂1和乂2表示氧原子、k為O;至少一個K為式(7)所示的基團(tuán)。8.上述7的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個K'為式(5)所示的基團(tuán)，條件是X'和XS表示氧原子、k為0;至少一個P為式(7)所示的基團(tuán)，條件是f表示氧原子、1為o。9.上述4的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個K'為式(5)所示的基團(tuán)，k為0;Z為具有硫代內(nèi)酯基或硫代酯基的末端基團(tuán)。10.上述4的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個^為式(5)所示的基團(tuán)，條件是"和XS表示氧原子、k為0;至少一個P為式(7)所示的基團(tuán)，條件是1為0;Z為具有硫代內(nèi)酯基或硫代酯基的末端基團(tuán)。11.上述10的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個K!為式(5)所示的基團(tuán)，條件是X'和XS表示氧原子、k為0;至少一個P為式(7)所示的基團(tuán)，條件是XZ表示氧原子、1為0;Z為具有硫代內(nèi)酯基或硫代酯基的末端基團(tuán)。12.上述4的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個K'為式(5)所示的基團(tuán)，條件是X'和XS表示氧原子、k為0;至少一個K2為式(7)所示的基團(tuán)，條件是乂2表示氧原子、1為0;L為式(10)或(11)所示的基團(tuán)；Z為具有硫代內(nèi)酯基或硫代酯基的末端基團(tuán)。13.上述12的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個^為式(5)所示的基團(tuán)，條件是乂1和乂2表示氧原子、k為0;至少一個P為式(7)所示的基團(tuán)，條件是XS表示氧原子、l為0;L為式(10)所示的基團(tuán)；Z為具有硫代內(nèi)酯基或硫代酯基的末端基團(tuán)。14.上述4的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個P為式(5)所示的基團(tuán)，條件是X'和XS表示氧原子、k為0;至少一個K2為式(7)所示的基團(tuán)，條件是乂2表示氧原子、1為0;Z為具有內(nèi)酯基或酯基的末端基團(tuán)。15.上述4的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個K'為式(5)所示的基團(tuán)，條件是X'和^表示氧原子、k為0;至少一個K2為式(7)所示的基團(tuán)，條件是Xs表示氧原子、1為0;L為式(10)或(11)所示的基團(tuán)；Z為具有內(nèi)酯基或酯基的末端基團(tuán)。16.上述15的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個^為式(5)所示的基團(tuán)，條件是x'和xs表示氧原子、k為0;至少一個P為式(7)所示的基團(tuán)，條件是乂2表示氧原子、l為0;L為式(10)所示的基團(tuán)；Z為具有內(nèi)酯基或酯基的末端基團(tuán)。17.通式(19a)所示的具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)和末端基團(tuán)的聚合性化合物的制備方法，其特征在于使通式(20)所示的化合物與通式(21)所示的化合物反應(yīng)，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage19</formula>式中，當(dāng)x"表示選自氫原子、面素原子、烷基磺?；趸?、全氟烷基磺?；趸⑼榛〈谋交酋；趸幕鶊F(tuán)時，XS表示選自氫原子、羥基、巰基、NH2基的基團(tuán)；當(dāng)乂4表示選自氫原子、羥基、巰基、NH2基的基團(tuán)時，XS表示選自氫原子、囟素原子、烷基磺?；趸?、全氟烷基磺酰基氧基、烷基取代的苯基磺酰基氧基的基團(tuán)；D'表示X"與《反應(yīng)所產(chǎn)生的結(jié)合基團(tuán)；KS和I^表示連接基團(tuán)；A、K1、L、Z、a、b、c和d與上述相同；e表示0~10的整數(shù)，f表示O以上的整數(shù)。18.通式(19b)所示的具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)和末端基團(tuán)的聚合性化合物的制備方法，其特征在于使通式(22)所示的化合物與通式(23)所示的化合物反應(yīng)，(z~~(k2Hl-^cr11r12^"("K5)—x4)(22)、b厶、ef/cA~fK6)~X5(23)a—f式中，當(dāng)XA表示選自氫原子、面素原子、烷基磺酰基氧基、全氟烷基磺酰基氧基、烷基取代的苯基磺?；趸幕鶊F(tuán)時，XS表示選自氫原子、羥基、巰基、麗2基的基團(tuán)；當(dāng)X"表示選自氫原子、羥基、巰基、NH2基的基團(tuán)時，Xs表示選自氫原子、囟素原子、烷基磺酰基氧基、全氟烷基磺?；趸?、烷基取代的苯基磺?；趸幕鶊F(tuán)；02表示乂4與"反應(yīng)所產(chǎn)生的結(jié)合基團(tuán)；KS和KS表示連接基團(tuán)；A、K2、L、Z、a、b、c和d與上述相同；e表示010的整數(shù)，f表示0以上的整數(shù)。19.聚合物，其特征在于以通式(l)所示的具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)和聚合性基團(tuán)的聚合性化合物作為構(gòu)成成分。20.光致抗蝕劑組合物，其特征在于含有以通式(l)所示的具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)和聚合性基團(tuán)的聚合性化合物作為構(gòu)成成分的聚合物。本發(fā)明的含有以具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)和末端基團(tuán)的聚合性化合物作性高，且具有具備高疏水性的脂環(huán)式結(jié)構(gòu)，因此具有顯影時的膨脹降低、且在水中曝光時的吸水量降低的效果。特別是，當(dāng)導(dǎo)入金剛烷基作為脂環(huán)式結(jié)構(gòu)時，抗干蝕性高，顯示優(yōu)異的性能。實施發(fā)明的最佳方式本發(fā)明涉及通式(l)、通式(19)所示的至少具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)和聚合性基團(tuán)的聚合性化合物。z-k2'-k;2-l一k!一k!'一a在作為連接基團(tuán)(K、K'和K2)的式(5)、(6)、(7)、(8)和(9)中,R1、R2、R3、114和R5的可以包含雜原子的碳數(shù)為1~10的烷基可以例舉曱基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、叔丁基、戊基、仲戊基、叔戊基、己基、庚基、辛基、2-乙基己基、壬基、癸基。鹵素原子可以例舉氟、氯、溴、碘。在作為脂環(huán)式基團(tuán)(L)的式(IO)、(11)、(12)、(13)、(14)、(15)和(16)中，Y、Y'和ys的碳數(shù)為110的烷基可以例舉甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、叔丁基、戊基、仲戊基、叔戊基、己基、庚基、辛基、2-乙基己基、壬基、癸基。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage22</formula>在作為末端基團(tuán)(Z)的式(17)和(18)中,R7的碳數(shù)為1~30的烷基可以例舉曱基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、異丁基、叔丁基、戊基、仲戊基、叔戊基、己基、庚基、辛基、2-乙基己基、壬基、癸基、十二烷基、十四烷基、十六烷基、十八烷基、二十烷基、二十二烷基、二十四烷基、二十六烷基、二十八烷基、三十烷基等。另外，R的碳數(shù)為530的環(huán)烷基可以例舉環(huán)戊基、曱基環(huán)戊基、乙基環(huán)戊基、環(huán)己基、曱基環(huán)己基、乙基環(huán)己基、環(huán)辛基、甲基環(huán)辛基、乙基環(huán)辛基、降水片基、金剛烷基、雙金剛烷基、二金剛烷基等。而且，內(nèi)酯基、酮基、醚基、酯基、硫代酯基可以例舉下述的基團(tuán)。需要說明的是，式中n、m、l與上述相同。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage23</formula>在通式(19)、(20)的化合物和通式(21)、(22)的化合物中，乂4或《的卣素原子可以例舉氟、氯、溴、碘。烷基磺?；趸梢岳e曱磺?；趸?、乙磺酰基氧基、正丙磺?；趸?、異丙磺酰基氧基、正丁磺酰基氧基、異丁磺?；趸?、戊磺?；趸⑿粱酋；趸取Ｈ榛酋；趸梢岳e三氟曱磺?；趸?、全氟乙磺?；趸?、全氟丙磺酰基氧基、全氟丁磺?；趸?、全氟戊磺酰基氧基、全氟辛磺酰基氧基等。烷基取代的苯基磺?；趸梢岳e對曱苯磺酰基氧基、4-乙基苯磺酰基氧基、二曱苯磺酰基氧基、2-均三甲苯磺酰基氧基、4-硝基苯基磺酰基氧基、4-氰基苯基磺酰基氧基、4-三氟甲基苯基磺酖基氧基、4-氯甲基苯基磺?；趸?。例舉下述的化合物。需要說明的是，式中R。表示氫原子、氟原子、甲基、乙基、三氟甲基，F(xiàn)表示全氟烷基磺酰基氧基，n與上述相同。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage26</formula>特別優(yōu)選3-[(2，6-降冰片烷碳內(nèi)酯-5-基)氧基]-l-金剛烷基甲基丙烯酸酯、3-[(2-氧代四氫呋喃-3-基)氧基]-l-金剛烷基曱基丙烯酸酯、3-(2-乙氧基-l-曱基-2-氧代乙氧基)-l-金剛烷基甲基丙烯酸酯、3-(2-叔丁基氧基-2-氧代乙氧基)-1-金剛烷基甲基丙烯酸酯。(22)所示化合物與通式(23)所示化合物反應(yīng)的方法。對于反應(yīng)方法，若以酯化反應(yīng)為例，則反應(yīng)溫度通常為-200~200°C,優(yōu)選為100~150°C。反應(yīng)溫度過低時，反應(yīng)速度降低，反應(yīng)時間變長；反應(yīng)溫度過高時，聚合物的副產(chǎn)物增加。反應(yīng)壓力通常為0.0110Mpa(絕對壓力)，優(yōu)選為常壓10Mpa。反應(yīng)壓力過高時，必需特別的裝置，不經(jīng)濟(jì)。反應(yīng)時間通常為1~48小時。作為反應(yīng)促進(jìn)劑，可以使用堿。作為堿，可以例舉氨基化鈉、三乙胺、三丁胺、三辛胺、吡啶、N,N-二甲基苯胺、1,5-二氮雜雙環(huán)[4,3.0]壬烯-5(DBN)、1,8-二氮雜雙環(huán)[5.4.0]十一碳烯-7(DBU)、氬氧化鈉、氫氧化鉀、氫化鈉、碳酸鉀、氧化銀、曱醇鈉、叔丁醇鉀、磷酸鈉、磷酸氬二鈉、磷酸二氫鈉等。反應(yīng)中可以不使用溶劑，但優(yōu)選懸浮于溶劑中或特別優(yōu)選溶解于溶劑中進(jìn)行反應(yīng)。溶劑優(yōu)選經(jīng)脫水的溶劑。作為溶劑，可以例舉己烷、庚烷等烴類溶劑，二乙醚、四氫呋喃(THF)、二嗯烷等醚類溶劑，二氯甲烷、四氯化碳等囟素類溶劑，二曱亞砜、N，N-二曱基甲酰胺、N-曱基吡咯烷酮(NMP)、y-丁內(nèi)酯等。反應(yīng)產(chǎn)物的純化方法可以使用蒸餾、結(jié)晶、柱分離等，可以根據(jù)反應(yīng)產(chǎn)物的性狀和雜質(zhì)的種類選擇純化方法。以通式(1)或(19)所示的具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)和聚合性基團(tuán)的聚合性化合物作為構(gòu)成成分的聚合物，可以是使通式(1)或(19)所示的具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)和聚合性基團(tuán)的聚合性化合物的一種或兩種以上聚合而得到的均聚物或共聚物，或者是使通式(1)或(19)所示的具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)和聚合性基團(tuán)的聚合性化合物的一種以上與其它可共聚的聚合性化合物聚合而得到的共聚物。是具有聚合性不飽和鍵、可以與該通式(1)或(19)的聚合性化合物共聚的化合物即可，沒有特別限定，將所得共聚物用作光致抗蝕劑組合物的覆膜形成成分時，在不損害其性能(抗千蝕性能、對短波長光的透射性等)的范圍內(nèi)，選^^共聚的聚合性化合物的種類或共聚量至關(guān)重要。由通式(1)或(19)的聚合性化合物得到的均聚物或共聚物的重均分子量，依據(jù)凝膠滲透色鐠法(GPC法)，用聚苯乙烯換算通常在1,00050萬的范圍。當(dāng)該重均分子量不足1,000時，會有覆膜形成性差的情形，若超過50萬則會使用于光致抗蝕劑時的顯影性降低。從覆膜形成性和顯影性的平衡等方面考慮，優(yōu)選重均分子量在2，5005萬的范圍。對制備由通式(1)或(19)的聚合性化合物得到的均聚物或共聚物時的聚合方法沒有特別限定，可以適用自由基聚合、陽離子聚合、陰離子聚合、配位聚合等方法。下面，對各種聚合方法進(jìn)4亍說明。自由基聚合中，反應(yīng)溫度通?？梢赃x定在-100500。C、優(yōu)選在o-i5crc的范圍。反應(yīng)溫度過低時，反應(yīng)有不能順利進(jìn)行的可能性；而反應(yīng)溫度過高，則由于鏈轉(zhuǎn)移容易成為分子量小的聚合物，而且使引發(fā)劑效率降低、收率降低。作為單體濃度，優(yōu)選lxlO-s摩爾/升以上，該單體濃度過低時反應(yīng)難以順利進(jìn)4亍。反應(yīng)溶劑可以根據(jù)需要使用。酮類溶劑等。聚合引發(fā)劑可以根據(jù)需要使用。該聚合引發(fā)劑可以例舉偶氮二異丁腈等偶氮化合物，過氧化苯甲酰、氫過氧化枯烯等有機過氧化物以及過氧化氫'三乙基鋁等。上述聚合引發(fā)劑的用量，相對于單體，通?？梢赃x定在lxlO-3lxio"/。摩爾、優(yōu)選在lxio"ioy。摩爾的范圍。另外，反應(yīng)時間受反應(yīng)溫度或單體的種類、其它各種條件影響，但通常在數(shù)分鐘48小時左右、優(yōu)選30分鐘10小時左右。陽離子聚合中，反應(yīng)溫度通常可以選定在-100200。C、優(yōu)選在0100。C的范圍。反應(yīng)溫度過低時，反應(yīng)有不能順利進(jìn)行的可能性；而反應(yīng)溫度過高，則由于鏈轉(zhuǎn)移產(chǎn)生容易成為分子量小的聚合物等的問題。作為單體濃度，優(yōu)選lxl(^摩爾/升以上，該單體濃度過低時反應(yīng)難以順利進(jìn)4亍。反應(yīng)溶劑可以根據(jù)需要使用。所使用的反應(yīng)溶劑可以例舉曱苯等烴類溶劑或者二氯曱烷或氯仿等卣代烴類溶劑等。另外，作為催化劑可以使用例如對曱苯磺酸、離子交換樹脂、活性白土、沸石、粘土、氯化鋁、三氟化硼等。上述催化劑的用量，相對于單體，通常可以選定在Ixl0-3~lxl0:%摩爾、優(yōu)選在lxio"ioy。摩爾的范圍。另外，反應(yīng)時間受反應(yīng)溫度或單體的種類、其它各種條件影響，但通常在數(shù)分鐘-48小時左右、優(yōu)選30分鐘10小時左右。配位聚合中，反應(yīng)溫度通?？梢赃x定在-100200。C、優(yōu)選在0~100。C的范圍。反應(yīng)溫度過低時，反應(yīng)有不能順利進(jìn)行的可能性；而反應(yīng)溫度過高，則由于鏈轉(zhuǎn)移產(chǎn)生容易成為分子量小的聚合物以及催化劑迅速失活等的問題。作為單體濃度，優(yōu)選1><10-3摩爾/升以上，該單體濃度過低時反應(yīng)難以順利進(jìn)^亍。反應(yīng)溶劑可以根據(jù)需要使用。所使用的反應(yīng)溶劑可以例舉曱苯、環(huán)己烷、庚烷等烴類溶劑或者二氯曱烷或氯仿等卣代烴類溶劑等。另外，作為催化劑可以例舉使四氯化鈦、四氯化鋯等與曱基鋁氧烷等烷基鋁助催化劑組合的齊格勒'納i荅催化劑，使卣化二茂鋯、卣化二茂鈦等與曱基鋁氧烷等烷基鋁助催化劑組合的金屬茂催化劑等。上述催化劑的用量，相對于單體，通常可以選定在Ixl0-3~lxl03%摩爾、優(yōu)選在lxlO"10。/o摩爾的范圍。另外，反應(yīng)時間受反應(yīng)溫度或單體的種類、其它各種條件影響，但通常在數(shù)分鐘48小時左右、優(yōu)選30分鐘10小時左右。本發(fā)明的由通式(1)或(19)的聚合性化合物得到的均聚物或共聚物分子內(nèi)具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)，抗干蝕性能優(yōu)異，對遠(yuǎn)紫外光等短波長光的透射性優(yōu)異，因此可適合作為準(zhǔn)分子激光用、特別是ArF準(zhǔn)分子激光或F2準(zhǔn)分子激光用等的光致抗蝕劑組合物的覆膜形成成分使用。本發(fā)明的含有以通式(1)或(19)所示的具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)和聚合性基成分的聚合物，同時可以包含通過放射性照射生成酸的化合物(以下，稱作酸產(chǎn)生劑)。對酸產(chǎn)生劑沒有特別限定，在以往的化學(xué)放大型光致抗蝕劑中，可以根據(jù)情況從作為酸產(chǎn)生劑使用的公知物質(zhì)中適當(dāng)選擇，優(yōu)選其中在300nm以下、優(yōu)選200nm以下的波長的光下產(chǎn)生酸，且與覆膜形成成分的混合物充分溶解在有機溶劑中，其溶液通過旋涂等制膜方法，能形成均勻涂布膜的化合物。作為酸產(chǎn)生劑可以例舉鏡鹽、重氮曱烷衍生物、乙二坊衍生物、(3-酮砜衍生物、二砜衍生物、磺酸硝基千基酯衍生物、磺酸酯衍生物、亞氨基磺酸酯衍生物等。作為鏡鹽，例如是以三苯基锍鹽衍生物為代表的锍鹽或、碘鐠鹽、轔鹽、重氮鏡鹽、銨鹽等鏡鹽，其例子可以例舉三氟曱磺酸三苯基锍、六氟磷酸三苯基锍、三氟曱磺酸環(huán)己基甲基(2-氧代環(huán)己基)锍、三氟曱磺酸二環(huán)己基(2-氧代環(huán)己基)锍、三氟甲磺酸二甲基(2-氧代環(huán)己基)锍、三氟曱磺酸(4-曱氧基苯基)二苯基锍、三氟甲磺酸二苯基碘鏡、六氟磷酸二苯基碘鏡、三氟曱磺酸(4-曱氧基苯基)苯基碘鏡等。重氮曱烷衍生物可以例舉雙(苯磺?；?重氮曱烷、雙(對曱苯磺?；?重氮甲烷、雙(環(huán)己基磺?；?重氮曱烷、雙(正丁基磺?；?重氮曱烷等，乙二肟衍生物可以例舉雙-O-(對曱苯磺?；?-a-二甲基乙二肟、雙-O-(對曱苯磺?；?-oc-二苯基乙二肟、雙-O-(正丁磺?；?-a-二曱基乙二肟等，(3-酮砜衍生物可以例舉2-環(huán)己基羰基-2-(對曱苯磺?；?丙烷、2-異丙基羰基-2-(對曱苯磺?；?丙烷等，二砜衍生物可以例舉二苯二砜、二環(huán)己基二砜等?；撬嵯趸Щパ苌锟梢岳e對曱苯磺酸-2,6-二硝基千基酯、對甲苯磺酸-2,4-二硝基千基酯等，磺酸酯衍生物可以例舉1，2,3-三(曱磺?；趸?苯、1,2>三(三氟甲磺?；趸?苯等，亞氨基磺酸酯衍生物可以例舉鄰苯二曱酰亞氨基三氟曱磺酸酯、鄰苯二甲酰亞氨基曱苯磺酸酯、5-降水片烷-2，3-二羧基亞氨基三氟曱磺酸酯等。這些酸產(chǎn)生劑中優(yōu)選鏡鹽。本發(fā)明中，該酸產(chǎn)生劑可以單獨z使用一種，也可以將兩種以上組合使用。對其混合量沒有特別限定，基于覆膜形成成分、后述情形下所加入的溶解抑制劑和酸產(chǎn)生劑的總量，通常在0.2~25%質(zhì)量的范圍內(nèi)選擇。酸產(chǎn)生劑的量不足0.2%質(zhì)量時感光度顯著降低，有難以形成圖案的可能性，若超過25%質(zhì)量則難以形成均勻的涂布膜，而且顯影后容易產(chǎn)生殘余物(浮渣)。本發(fā)明的光致抗蝕劑組合物根據(jù)情況可以包含溶解抑制劑或酸擴散防止劑。對溶解抑制劑沒有特別限定，可以根據(jù)各種狀況從多種化合物中適當(dāng)選擇，但特別優(yōu)選具有經(jīng)酸分解的基團(tuán)，對300nm以下、優(yōu)選200nm以下波長的光吸收小，且與覆膜形成成分的聚合物的混合物充分溶解于有機溶劑，將該溶液用旋涂等制膜方法能形成均勻涂布膜的化合物。經(jīng)酸分解的基團(tuán)可以例舉#又丁基、乙基、丙基等烷基，千基、苯乙基等芳烷基，或四氫呋喃-2-基，四氬吡喃-2-基，4-曱氧基四氬吡喃-4-基，1-丁氧基乙基，l-乙氧基乙基，l-丙氧基乙基，3-氧代環(huán)己基等。溶解抑制劑特別優(yōu)選氫原子被上述經(jīng)酸分解的基團(tuán)取代的具有羧基或羥基的降水片烷或金剛烷等脂環(huán)式化合物。這些化合物經(jīng)酸分解后，分別變換為具有游離的羧基或羥基的化合物。上述溶解抑制劑可以例舉2-降冰片烷曱酸、2-降水片烷乙酸、2，3-降冰片烷二曱酸、3-降金剛烷甲酸等羧基的氫原子被上述經(jīng)酸分解的基團(tuán)取代的化合物，2,3-降水片烷二醇、2-降冰片烷甲醇、2,2-降冰片烷二甲醇、降冰片等羥基的氫原子被上述經(jīng)酸分解的基團(tuán)取代的化合物。本發(fā)明中，該溶解抑制劑可以使用一種，也可以將兩種以上組合使用。另外，相對于100質(zhì)量份覆膜形成成分，溶解抑制劑的混合量通常在260質(zhì)量份的范圍內(nèi)選擇。該量不足2質(zhì)量份時不能充分發(fā)揮溶解抑制效果，有難以形成圖案的可能性，若超過60質(zhì)量份則覆膜形成成分的比率下降，防蝕圖案的耐熱性或耐刻蝕性等降j氐，不優(yōu)選。考慮圖案形成性和防蝕圖案的耐熱性或耐刻蝕性等，該溶解抑制劑的優(yōu)選混合量在1050質(zhì)量份的范圍。上述酸擴散防止劑可以例舉各種胺類，例如三甲胺、乙胺、二乙胺、三乙胺、正丙胺、二-正丙胺、三-正丙胺等脂族胺，節(jié)胺、苯胺、N-甲基苯胺、N，N-二甲基苯胺等芳族胺，吡啶、2-甲基吡啶、2-乙基吡啶、2,3-二甲基吡啶等雜環(huán)胺等。酸擴散防止劑可以單獨使用一種，也可以將兩種以上組合使用。從防蝕圖案形狀和感光度等方面考慮，酸擴散防止劑的混合量相對于覆膜形成成分通常在0.01~1%質(zhì)量、優(yōu)選0.050.5%質(zhì)量的范圍。本發(fā)明的光致抗蝕劑組合物在使用時，優(yōu)選以將上述各成分溶解在適當(dāng)?shù)娜軇┲卸玫降娜芤盒问绞褂谩Ｈ軇┑睦涌梢允且宦缺?、二氯化乙烯等鹵代烴類；丙酮、丁酮、環(huán)己酮、曱基異戊基酮等酮類；乙二醇、乙二醇一乙酸酯、二甘醇、二甘醇一乙酸酯、丙二醇、丙二醇一乙酸酯、一縮二丙二醇或一縮二丙二醇一乙酸酯的一甲醚、一乙醚、一丙醚、一丁醚或一苯基醚等多元醇類及其衍生物；二嗯烷等環(huán)式醚類；和乳酸甲酯、乳酸乙酯、乙酸曱酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙酮酸曱酯、丙酮酸乙酯、甲氧基丙酸曱酯、乙氧基丙酸乙酯等酯類。這些溶劑可以單獨使用一種，也可以兩種以上混合使用。在本發(fā)明的光致抗蝕劑組合物中，根據(jù)需要還可以添加具有混合性的添加物，例如為了改良防蝕膜的性能而附加的樹脂、增塑劑、穩(wěn)定劑、著色劑、表面活性劑等常用的添加物。實施例接下來，通過實施例更詳細(xì)地說明本發(fā)明，但本發(fā)明不受這些例子的任何限定。實施例13-[(2,6-降水片烷碳內(nèi)酯-5-基)氧基]-l-金剛烷基甲基丙烯酸酯的合成在50mL的三頸茄形燒瓶上安裝攪拌裝置、冷卻管、進(jìn)氣管，向其中加入3.15g(lOmmol)3-曱磺?；趸?l-金剛烷基甲基丙烯酸酯、12.33g(8Ommo1)5-雍基-2,6-降水片烷碳內(nèi)酯、2,22g(12mmol)三-正丁胺、3mg(1000ppm質(zhì)量)氫醌單甲醚，邊攪拌邊升溫至12(TC。保持在12(TC攪拌2小時后，使用氣相色i脊(GC),確認(rèn)3-曱磺?；趸?l-金剛烷基甲基丙烯酸酯完全消失。接下來，將反應(yīng)溶液冷卻至室溫，然后加入40mL蒸餾水、30mL二乙醚，使用分液漏斗，將目標(biāo)物質(zhì)萃取到有機層中。向該有機層中加入30mL蒸餾水，洗滌有機層2次，接著向有機層中加入20mLl摩爾/L鹽酸，洗滌有機層。接下來，向有機層中加入20mL飽和食鹽水，洗滌有機層2次后，加入無水硫酸鎂，干燥2小時。過濾有機層，去除硫酸鎂后，減壓餾去溶劑，得到粗目標(biāo)物質(zhì)(得量3.25g,純度91.7%)。向該粗目標(biāo)物質(zhì)中加入3mL甲醇均勻溶解后，加入O.lmL蒸餾水，冷卻至0。C，析出結(jié)晶。通過過濾取出該結(jié)晶，用冷卻的蒸餾水洗滌后，減壓去除溶劑，得到白色固體的目標(biāo)物質(zhì)(得量2.36g,純度99.8%)。下面示出該目標(biāo)物質(zhì)的物理性能數(shù)據(jù)。H—NMR(500MHz):1.24-1.27(2H),1.30(1H,sVs2),1.36-1.54(8H),1.55(1H,sors2),1.57(1H),1.63(1H，o1oro2)1.66(1H),1.73(1H),1.76(1H,n),1.88(1H,o1oro2),1.93(3H,b),2.04(1H),2.26(1H,p)'2.66(1H，q),3.37(1H,m),4.22(1H'r),5.58(1H,a2),6.15(1H,a1)"C—畫R(127MHz):18.0(b),21,3(gorh),23.3(gorh)，27.2(o),30.9(q),33.5(s),38.1(i),41.6(n),42.4(fork),43.4(fork),46.3(j),46.8(p),62.5(1),74.6(m)，75.4(e),85.5(r)，125.2(a),136.1(c)'167.2(d),178.9(t)[氣相色譜質(zhì)量分析(GC-MS):EI]372(M+，3,.5%),286(12.8%),219(48.3%),133(18.2%),81(16.8%)，69(100%)實施例23-[(2-氧代四氬呋喃-3-基)氧基]-l-金剛烷基曱基丙烯酸酯的合成在50mL的三頸茄形燒瓶上安裝攪拌裝置、冷卻管、進(jìn)氣管，向其中加入3.15g(lOmmol)3-曱磺?；趸〗饎偼榛鶗趸┧狨ァ?0.41g(200mmol)oc-羥基-Y-丁內(nèi)酯、1.42g(10mmol)磷酸氬二鈉、3mg(1000ppm質(zhì)量)氫醌單甲醚，邊攪拌邊升溫至60°C。保持在6(TC攪拌4小時后，使用氣相色i普(GC),確認(rèn)3-曱磺?；趸?l-金剛烷基曱基丙烯酸酯完全消失。接下來，將反應(yīng)溶液冷卻至室溫，然后加入20mL蒸餾水、30mL二乙醚，使用分液漏斗，將目標(biāo)物質(zhì)萃取到有機層中。向該有機層中加入30mL蒸餾水，洗滌有機層2次后，向有機層中加入20mL飽和食鹽水，洗滌有機層2次。接下來，向有機層中加入無水硫S吏鎂，干燥2小時。過濾有機層，去除硫酸4美后，減壓餾去溶劑，得到粗目標(biāo)物質(zhì)(得量2.17g,純度78.1%)。向該粗目標(biāo)物質(zhì)中加入2mL二乙醚均勻溶解后，加入5mL正己烷，冷卻至0。C，析出結(jié)晶。通過過濾取出該結(jié)晶，用冷卻的正己烷洗滌后，減壓去除溶劑得到白色固體的目標(biāo)物質(zhì)(得量1.45g，純度98.2%)。下面示出該目標(biāo)物質(zhì)的物理性能數(shù)據(jù)。[核磁共振分光法(NMR):溶劑CDC13]"H—NMR(500MHz):1.241.73(13H),1.93(3H，b),2.04(1H),2.11(1H,p1orp2)，2.36(1H,p1orp2),3,65(1H,m),4.25(1H,o'oro2),4.35(1H,o1oro2),5.58(1H'a2),6.15(1H,a1)"C—NMR(127MHz):18.0(b),21.3(gorh),23.3(gorh),23.9(p),38.1(i),42.4(fork),43.4(fork),46.0(j)'61.6(1)，65.0(o),75.4(e),85.8(m),125.2(a)，136.1(c)'167.2(d),173.7(n)[氣相色譜質(zhì)量分析(GC-MS):EI]320(M+，1.0%),234(42.3%),219(25.8%),133(21.9%),91(7.3%)'69(100%)實施例33-(2-乙氧基-1-曱基-2-氧代乙氧基)-1-金剛烷基曱基丙烯酸酯的合成向500mL的燒瓶中加入30g(0.095mol)3-曱磺?；趸?l-金剛烷基曱基丙烯酸酯、168.34g(1.425mo1)乳酸乙酯、19.24g(0.190mol)三乙胺、500ppm質(zhì)量阻聚劑，在120。C下反應(yīng)10小時。接下來，將反應(yīng)溶液冷卻至室溫，加入水、己烷，進(jìn)行己烷萃取后，用200mL水洗滌3次。然后，相對于裝入的3-甲磺酰基氧基-l-金剛烷基曱基丙烯酸酯，加入10%質(zhì)量的活性炭，攪拌1小時后，除去活性炭，除去溶劑，得到目標(biāo)物質(zhì)(得量2Q.27g,純度98.0%)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage38</formula>下面示出該目標(biāo)物質(zhì)的物理性能數(shù)據(jù)。[核磁共振分光法(NMR):溶劑CDC13]'H—雨R(500MHz):1.24-1.27(2H),1.30(3H,q),1.36(1H),1.39(3H，n),1,42-1.73(10H),1.93(3H,b),2.04(1H),3.85(1H,m),4.12(2H,p),5.58(1H,a2),6.15(1H,a1)13C—NMR(127MHz):18.0(b),14.1(q),17.1(n)，21.3(gorh),23.3(gorh)，38.1(i),42.4(fork),43.1(fork),46.0(j),62.3(1),61,6(p),70.9(m),75.4(e)，125.2(a),136.1(c),167.2(d),170.9(o)[氣相色譜質(zhì)量分析(GC-MS):EI]292(M+—CH,0.41%),263(9.8%),219(82.1%),133(22.3%),91(246.3%),69(100%)實施例43-(2-叔丁氧基-2-氧代乙氧基)-1-金剛烷基甲基丙烯酸酯的合成向lOOmL的燒瓶中加入3.9Sg(0.0125mol)3-甲磺?；趸?卜金剛烷基曱基丙烯酸酯、25g(0.1875mo1)乙醇酸叔丁酯、2.55g(0.025mol)三乙胺、500ppm質(zhì)量阻聚劑，在12(TC下反應(yīng)8小時。接下來，將反應(yīng)溶液冷卻至室溫，加入水、己烷，進(jìn)行己烷萃取后，用50mL水洗滌3次。然后，對于己烷萃取物進(jìn)行柱色語分離(展開溶劑正己烷/二乙醚=8/1,硅膠量使用39.5g的量)，得到目標(biāo)物質(zhì)(得量1.67g,純度99.0%)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage39</formula>下面示出該目標(biāo)物質(zhì)的物理性能數(shù)據(jù)。!H—NMR(500MHz):1,241.36(3H),1.40(9H,p&q&r),1.42-1.73(10H),1.93(3H,b),2.04(1H),4.33(2H,m),5.58(1H，a2),6.15(1H,a1)，3C—NMR(127MHz):18.0(b),21.3(gorh),23.3(gorh),28.8(p&q&r),38.1(i),42.4(fork),42.8(fork),45.7(j),62.8(1),64.0(m),75.4(e),82.1(o),125.2(a),136.1(c),167.2(d),169.3(n)[氣相色譜質(zhì)量分析(GC-MS):EI]306(M+—CH，0.24%),294(0.15%),277(1.2%),219(73.4%),13384(55.4%),69(100%)實施例5將作為單體的實施例1得到的9.31g(25mmol)3-[(2,6-降冰片烷碳內(nèi)酯-5-基)氧基金剛烷基甲基丙烯酸酯和5.86g(25mmol)AdamantateMM(出光興產(chǎn)抹式會社制備)溶解于30mL四氬呋喃(THF)中，加入0.82g(5mmol)偶氮二丁腈(AIBN)作為聚合引發(fā)劑。在氮氣氛下，以液氮溫度進(jìn)行3次冷凍脫氣，在氮氣氛、60°C下反應(yīng)12小時。向反應(yīng)液中加入2mL甲醇、反應(yīng)停止后，邊攪拌邊將該反應(yīng)液滴入到300mL曱醇中，進(jìn)行再沉淀。用玻璃過濾器過濾，在60。C下將固體成分真空干燥3天，得到12.93g聚合物。通過凝膠滲透色譜法(GPC法)測定分子量，換算為聚苯乙烯的分子量為12,500，Mw/Mn為2.4。實施例62-{[3-(曱基丙烯酰氧基)-1-金剛烷基]氧基}丙酸的合成向安裝有滴液漏斗、攪拌裝、溫度計的300mL帶有擋板的可分離燒瓶中加入80g曱醇、40g水、16.4g(0.12mol)碳酸鉀，邊攪拌邊將液溫加熱至5(TC。向滴液漏斗中加入實施例3得到的20g(0.06mo1)3-(2-乙氧基-1-曱基-2-氧代乙氧基)-1-金剛烷基曱基丙烯酸酯，滴液。滴液結(jié)束后，反應(yīng)4小時。向反應(yīng)液中加入200mL水，向水層中加入1摩爾/L鹽酸，將pH調(diào)節(jié)為4。然后，用醚萃取。用硫酸鎂干燥醚層，過濾后進(jìn)行濃縮。濃縮后，得到為白色固體的目標(biāo)物質(zhì)(收率83%)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage40</formula>下面示出該目標(biāo)物質(zhì)的各種物理性能數(shù)據(jù)。[核磁共振分光法(NMR):溶劑CDC13]'H—NMR(500MHz):1.24-1.30(2H),1.36(lH)，1.39(3H,n),1.42-1.73(10H),1.93(3H,b),2.04(lH),3,85(lH,m),5.58(lH，a2),6.15(lH'al)"C一NMR(127MHz):17.1(q)'17.1(n),18,0(b),21.3(gorh)，23.3(gorh)，38.1(i)，42.4(fork),43.1(fork),46.0(j),62.3(l),61.6(p),70.9(m),75.4(e),125(a),136.1(c)'167,2(d)'170.9(o)實施例73-{2-[(叔丁氧基)氧基]-1-甲基-2-氧代乙氧基}-1-金剛烷基曱基丙烯酸酯的合成向帶有滴液漏斗、攪拌漿、溫度計的1L三頸燒瓶中加入5.26g(0.071mol)叔丁醇、0.79g(0.0065mol)二曱基氨基吡咬、實施例6得到的20g(0.065mol)2-{[3-(曱基丙烯酰氧基)-1-金剛烷基]氧基}丙酸和100mL己烷。之后，滴加溶解在nOmL己烷中的14.65g(0.071mol)二環(huán)己基碳二亞胺(DCC)。反應(yīng)8小時，反應(yīng)結(jié)束后，向反應(yīng)液中加水，萃取有機層。將萃取的有機層用100mL水洗滌5次。之后，通過濃縮有機層，得到為透明液體的目標(biāo)物質(zhì)(收率76%)。下面示出該目標(biāo)物質(zhì)的各種物理性能數(shù)據(jù)。[核磁共振分光法(NMR):溶劑CDC13]!H—NMR(5OOMHz):1.24-1.36(3H),1.39(3H,n)，1.40(9H,p),1.42-1.73(10H)'1.93(3H,b),2.04(lH),3.85(lH,m),5.58(lH，a2),6.15(lH，al)3C—NMR(127MHz):17.1(q),17.1(n),18,0(b),21.3(gorh),23,3(gorh),28.8(p)，38.1(i),42.4(fork)，43.1(fork),46.0(j),62.3(l),61.6(p),70.9(m)，75.4(e)，82.4(r),125(a)，136.1(c),167,2(d),170.9(。)實施例83-{2-[(2-曱基-2-環(huán)己基)氧基]-1-曱基-2-氧代乙氧基}-1-金剛烷基甲基丙烯酸酯的合成除了將叔丁醇變更為8.11g(0.071mol)曱基環(huán)己醇之外，用與實施例7同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到目標(biāo)物質(zhì)。得到的目標(biāo)物質(zhì)為透明液體、收率為74%。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage42</formula>'H—NMR(500MHz):1,24—1.30(2H),U6(lH),1.39(3H,n),1.42-1.76(23H),1.93(3H，b),2.04(lH)'3.85(lH'm)'5.58(lH,a2),6.15(lH,al)13C—濯R(127MHz):17.1(q)，17.1(n),18.0(b)'19.5(t),21.3(gorh),23.3(gorh),24.1(p)，28.3(u),38.1(i),40.6(s),42.4(fork),43.1(fork),46.0(j),62.3(l),61.6(p),70.9(m),75,4(e)，88.7(r),125(a),136.1(c)'167.2(d)，n0.9(0)實施例93-{2-[(2-乙基-2-環(huán)己基)氧基]-l-曱基-2-氧代乙氧基}-1-金剛烷基曱基丙烯酸酯的合成除了將叔丁醇變更為9.10g(0.071mol)乙基環(huán)己醇之外，用與實施例7同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到目標(biāo)物質(zhì)。得到的目標(biāo)物質(zhì)為透明液體、收率為76%。H—NMR(5OOMHz):0.96(3H,q)'1.24-1.30(2H),1.36(lH),1.39(3H,n),1.42-1.76(23H),1.93(3H'b),2.04(lH),3.85(lH,m),5.58(lH,a2),6.15(lH,al)13C—NMR(127MHz):5.9(q)，17.;Kq〉，17,l(n),18.0(b〉，19.5(t),21.3(gorh)，23.3(gorh),24.1(p),28,3(u),38.1(i),40.6(s),42.4(fork),43.1(fork),46.0(j),62.3(l),61.6(p),70.9(m),75,4(e),88.7(r),125(a)'136.1(c),167.2(d),170.9(0)實施例103-[2-[(環(huán)己基氧基)甲氧基]-l-甲基-2-氧代乙氧基]-l-金剛烷基甲基丙烯酸酯的合成向帶有滴液漏斗、攪拌漿、溫度計的1L三頸燒瓶中加入7.24g(0.072mol)三乙胺、實施例6得到的20g(0.065mol)2-([3-(曱基丙烯酰氧基)-1-金剛烷基]氧基}丙酸和100mL乙酸乙酯。之后，在冰浴下滴加溶解在10mL乙酸乙酯中的10.7g(0.072mol)2-(氯曱氧基)環(huán)己烷。反應(yīng)2小時后，向反應(yīng)液中力口水，萃取有機層。將有機層用100mL水洗滌3次，通過濃縮有機層，得到為透明液體的目標(biāo)物質(zhì)(收率82%)。NMR(500MHz):1.24-1.30(2H),1.36(lH),1.38(3H,n),1.39-1.73(20H),1.93(3H，b)，2.04(lH)，2.79(lH,r),3.85(lH,m)'5.58(lH'a2)'6.15(lH，al)'6.16(2H,q)畫R(127MHz):17.1(q)'17.1(n)，18.0(b),21.3(gorh)'22,l(t)'23.3(gorh)，28.3(u),34.0(s),38.1(i),42.4(fork),43.1(fork),46.0(j),62.3(l),61.6(p),70.9(m),75.4(e),78.5(r),91.2(q),125(a)，136.1(c),167.2(d)'徴9(0)實施例113-{2-[(2-乙基-2-環(huán)戊基)氧基]-1-甲基-2-氧代乙氧基}-1-金剛烷基曱基丙烯酸酯的合成除了將叔丁醇變更為8.1lg(0.071mol)乙基環(huán)戊醇之外，用與實施例7同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到目標(biāo)物質(zhì)。得到的目標(biāo)物質(zhì)為透明液體、收率為90%。t'H—NMR(500MHz):0.96(3H,q),1.24-1.30(2H),1.36(lH),1.39(3H,n),1.42-1.84(18H),1.93(3H，b),2.04(lH),3.85(lH,m),5.58(lH,a2),6.15(lH,al)13C—畫R(127MHz):5.9(q),17.1(q),17.1(n),18.0(b),21.3(gorh),22.2(t)，23.3(gorh),28.3(u),31.6(p),38.1(i)'39.6(s),42.4(fork),43.1(fork),46.0(j),62.3(l),61.6(p),70.9(m),75,4(e),88.7(r)，125(a)，136.1(c),167.2(d)'170,9(0)實施例123-{2-[(2-曱基-2-金剛烷基)氧基]-1-曱基-2-氧代乙氧基}-1-金剛烷基曱基丙烯酸酯的合成除了將叔丁醇變更為11.80g(0.071mol)2-曱基金剛烷-2-醇之夕卜，用與實施例7同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到目標(biāo)物質(zhì)。得到的目標(biāo)物質(zhì)為透明粘性液體、收率為65%。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage45</formula>.H)，3.85(lH,m),5.58(lH，a2),6.15(lH，al)函R(127MHz):17.1(n),18感19.4(q)，21.3(gorh)22.2(t),23.3(gorh)'28.3(u),29.3(s,y,vorw),31.5(torv),31.6(p)'37.8(u),38.1(i),39,6(s),40.0(rorx),42.4(fork),43.1(fork)'46.0(j),62.3(l),70.9(m)，75.4(e),83.4(p),88.7(r)，125(a)，136.1(c)，167.2(d),17().9(o)實施例133-{2-[(2-乙基-2-金剛烷基)氧基]-l-曱基-2-氧代乙氧基}-1-金剛烷基甲基丙烯酸酯的合成除了將叔丁醇變更為12.80g(0.071mol)2-乙基金剛烷-2-醇之夕卜,用與實施例7同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到目標(biāo)物質(zhì)。得到的目標(biāo)物質(zhì)為透明粘性液體、收率為60%。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage45</formula>[核磁共振分光法(NMR):溶劑CDC13]]H—NMR(5OOMHz):0.96(3H,A),1.18(5H),1.36(lH),1.38(3H'n)'1.39-1.91(23H),1.93(3H,b),2.04(lH),3.85(lH,rn),5.58(lH,a2),6.15(lH，al)13C—NMR(127MHz):6.5(A),17.1(n),18.0(b),21.3(gorh)22.2(t),23.3(gorh),27.2(q),28.3(u),29.3(s'y,vorw),3L5(torv),31.6(p),37.8(u),38.1(i),39.6(s)'御(ror〕),42.4(fork)，43.1(fork),46.0(j)，62,3(l),70.9(m),75.4(e)，83.4(p)'88.7(r〉'125(a),136.1(c)'167.2(d)'170.9(0)實施例143-[2-[(環(huán)己基)氧基]-l-曱基-2-氧代乙氧基]-l-金剛烷基曱基丙烯酸酯的合成除了將叔丁醇變更為7.11g(0.071mol)環(huán)己醇之外，用與實施例7同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到目標(biāo)物質(zhì)。得到的目標(biāo)物質(zhì)為透明液體、收率為80%。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage46</formula>'H—NMR(500MHz):1.24-1.36(3H),1.39(5H,nandr)'1.40(9H,p)'1.42-1.80(18H),1.93(3H,b),2.04(lH)，3.85(lH,m),3.91(lH，p),5.58(lH,a2)'6.15(lH,al)13C—NMR(127MHz):17,l(n),18.0(b),21.3(gorh),22,0(r)，23.3(gorh),28.0(s),32.2(q),38.1(i)'42.4(fork),43.1(fork),46.0(j),62.3(l),70.9(m),75.4(e)'75.8(p),125(a)'l36.1(c)'167.2(d),170.9(0)實施例153-[2-[(1,7，7-三曱基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-基)氧基]-1-曱基-2-氧代乙氧基]-1-金剛烷基曱基丙烯酸酯的合成除了將叔丁醇變更為10.95g(0.071mol)冰片之外，用與實施例7同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到目標(biāo)物質(zhì)。得到的目標(biāo)物質(zhì)為透明粘性液體、收率為75%。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage47</formula>NMR(500MHz):1.11(6H'xandy)'1.16(3H'v)'1.24-1.87(l州),1.93(3H'b),3.85(1H'm),3.89(lH,p)'5.58(lH'a2),6.15(lH,al)"C一醒R(127MHz):13.5(v)'17.1(n),18.0(b),19.5(xandy)'21.3(gorh)'22.0(r),23.3(gorh),23.3(s),30,2(t)，32.5(q),32.2(q),38.1(i),42.4(fork)'43.1(fork)'45.4(r)'46.0(j),49.5(u),50,6(w),62.3(l),70.9(m),75.4(e),82.4(p),125(a)'136.1(c),167.2(d)'170.9(o)實施例163-[l-甲基-2-氧代-2-[(2-氧代六氬-2H-3,5-亞曱基環(huán)戊[b]呋喃-6-基)氧基]乙氧基H-金剛烷基曱基丙烯酸酯的合成除了將叔丁醇變更為10.95g(0.071mol)5-羥基-2,6-降水片烷碳內(nèi)酯之外，用與實施例7同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到目標(biāo)物質(zhì)。與實施例2同樣進(jìn)行結(jié)晶析出，得到為白色固體的目標(biāo)物質(zhì)，收率為62%。)H—NMR(500MHz):1.24—1.73(13H),1.93(3H,b),2.04(1H)'2.31(1H，piorp2),2.56(lH,piorp2),3.45(1H,m),4.30(lH,olor。2)'4.55(1H，oloro2),5.58(1H,a2),6.15(lH，al)13C—NMR(127MHz):18.0(b),21.3(gorh),23.3(gorh),38.1(i)'40.5(p),42.4(fork),43.4(fork),46.3(j),59.6(m),61.6(1),75.4(e),75.6(o),125.2(a),136.1(c),167.2(d)'176.1(n)實施例173-[(5-氧代四氫呋喃-3-基)氧基]-1-金剛烷基甲基丙烯酸酯的合成除了將a-羥基t丁內(nèi)酯變更為P-羥基卞丁內(nèi)酯、將反應(yīng)溫度變更為12(TC之外，用與實施例2同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到得量2.20g、純度85.1%的粗目標(biāo)物質(zhì)。接著與實施例2同樣進(jìn)行結(jié)晶析出，得到得量1.85g、純度98.7%的白色固體目標(biāo)物質(zhì)。b[核磁共振分光法(NMR):溶劑CDC13]'H—NMR(500MHz):1.241.73(13H),1.93(3H,b),2.04(lH)'2.31(1H,plorp2),2.56(1H,plorp2)，3.45(lH,m),4.30(lH,olor。2)'4.55(1H,oloro2),5.58(1H,a2),6.15(lH,al)13C—NMR(127MHz):18.0(b),21.3(gorh),23.3(gorh),38.1(i),40.5(p),42.4(fork),43.4(fork),46.3(j),59.6(m),61.6(1)'75.4(e)，75.6(o),125.2(a),136.1(c)，167.2(d),176.1(n)實施例18H2-[(2-氧代六氫-m-3,S-亞曱基環(huán)戊[b]呋喃各基)氧基]乙氧基]-l-金剛烷基曱基丙烯酸酯的合成在50mL的四頸茄形燒瓶上安裝滴液漏斗、攪拌裝置、冷卻管、進(jìn)氣管，向其中加入2.80g(lOmmol)3-(2-羥基乙氧基)-l-金剛烷基甲基丙烯酸酯(出光興產(chǎn)制備)、1.21g三乙胺、3mg(1000ppm質(zhì)量)氬醌單曱醚、20mLTHF,邊攪拌邊用冰浴冷卻至0°C。用5分鐘向反應(yīng)容器中滴加1.26g(llmmol)曱磺酰氯。自滴加結(jié)束起10分鐘后除去冰浴，在室溫下攪拌30分鐘。卸下滴液漏斗和冷卻管，減壓餾去THF。將冷卻管安裝在反應(yīng)容器上，加入12.33g(80mmol)5-羥基-2,6-降水片烷碳內(nèi)酯、2.22g(12mmol)三正丁胺，邊攪拌邊升溫至120°C。保持在120。C攪拌4小時后，用氣相色i普確認(rèn)3-(2-羥基乙氧基)-l-金剛烷基曱基丙烯酸酯完全消失。接下來，與實施例1同樣地進(jìn)行萃取和洗滌，得到得量3.12g，純度85.5。/。的粗目標(biāo)物質(zhì)。向該粗目標(biāo)物質(zhì)中加入3mL曱醇均勻溶解后，加入O.lmL蒸餾水，冷卻至0°C,析出結(jié)晶。通過過濾取出該結(jié)晶，用冷卻的蒸餾水洗滌后，減壓除去溶劑，得到為白色固體的目標(biāo)物質(zhì)(得量1.68g,純度98.3%)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage50</formula>[核磁共振分光法(NMR):溶劑CDC13]'H—NMR(500MHz):1.24-1.90(19H,e-l,p,q,r),1.93(3H,b),2.03(1H,q),2.26(1H,s),2.66(1H,t)'3.37(lH'o)3.54(2H,m,n),4.22(lH,u),5.58(1H,a2)，6.15(1H,al)13C—NMR(127MHz):18,0(b),21.3(gorh)'23.3(gorh)'27.2(r)'30.9(t)'33.5(p),38.1(i),41.0(q),42.4(fork),43,4(fork),46.3(j)'46.8(s),64.4(1)，66.4(m)'69.2(n),75.4(e)，79.0(o)，84.9(u),125.2(a),136.1(c)，167.2(d)，178.9(v)實施例193-(2-乙氧基-1-曱基-2-氧代乙氧基)-1-金剛烷基丙烯酸酯的合成除了將3-曱磺?；趸?1-金剛烷基曱基丙烯酸酯(出光興產(chǎn)制備)變更為28.54g(0.095mol)3-曱磺酰基氧基-l-金剛烷基丙烯酸酯(出光興產(chǎn)制備)之外，用與實施例3同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到目標(biāo)物質(zhì)。所得目標(biāo)物質(zhì)的收率為86%。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage50</formula>)H—NMR(500MHz):1.24-1.27(2H),1.30(3H，q)'1.36(3H),1.39(5H,nandr)，1.40(9H,p),1.42-1.80(18H),2.04(lH),3.85(lH,m),3.91(lH,p)'4.12(2H,p),5.58(lH,a2),6.05(1H,c),6.15(lH'a])"C一畫R(127MHz):14.1(q),17.1(n)'21.3(gorh),22.0(r)'23.3(gorh),28.0(s〉，38.1(i),42.4(fork),43.1(fork),46.0(j),61.6(p)，62.3(l),70.9(m)，75.4(e),125(a),128.3(c),167.2(d〉,170.9(o)實施例202-{[3-(丙烯酰氧基)-1-金剛烷基]氧基}丙酸的合成除了將實施例3得到的3-(2-乙氧基-l-曱基-2-氧代乙氧基)-l-金剛烷基曱基丙烯酸酯變更為實施例19得到的19.34g(0.060mol)3-(2-乙氧基-1-曱基-2-氧代乙氧基)-1-金剛烷基丙烯酸酯之外，用與實施例6同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到目標(biāo)物質(zhì)。所得目標(biāo)物質(zhì)的收率為82%。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage51</formula>[核磁共振分光法(NMR):溶劑CDC13〗]H—NMR(500MHz):1.24-1.30(2H),1.36(lH)，1.39(3H'n),1.42-1.73(10H)'2.04(1H),3,85(lH,m),5.58(lH,a2),6.05(lH,c),6.15(lH,al)13C—NMR(127MHz):17.1(q),17.1(n),21.3(gorh),23.3(gorh),38.1(i)'42.4(fork),43.1(fork),46.0(j),62.3(l)'61.6(p),7O.9(m),75.4(e)'125(a),128.3(c),167.2(d),170.9(o)實施例213-{2-[(叔丁氧基)氧基]-1-曱基-2-氧代乙氧基}-1-金剛烷基丙烯酸酯的合成除了將實施例6得到的2-{[3-(曱基丙烯酰氧基)-1-金剛烷基]氧基}丙酸變更為實施例20得到的19.13g(0.065mo1)2-{[3-(丙烯酰氧基)-1-金剛烷基]氧基}丙酸之外，用與實施例7同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到目標(biāo)物質(zhì)。得到的目標(biāo)物質(zhì)為透明液體、收率為65%。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage52</formula>H—NMR(500MHz):1.24-1.36(3H),1.39(3H,n),1.40(9H,p),1.42-1.73(10H)'2.04(1H),3.85(lH'm),5.58(lH，a2),6.05(lH,c)，6.15(lH,al)13C—廳R(127MHz):17.1(q),17.1(n),21.3(gorh)'23.3(gorh)，28.8(p)，38.1(i),42.4(fork),43.1(fork),46.0(j),62.3(l〉'61.6(p),70.9(m)'75.4(e)'82.4(r),125(a),128.3(c)'167.2(d),170.9(o)實施例223-{2-[(2-甲基-2-環(huán)己基)氧基]-l-曱基-2-氧代乙氧基}-1-金剛烷基丙烯酸酯的合成除了將實施例6得到的2-{[3-(曱基丙烯酰氧基)-l-金剛烷基]氧基}丙酸變更為實施例20得到的19.13g(0.065mol)2-{[3-(丙烯酰氧基)-1-金剛烷基]氧基}丙酸之外，用與實施例8同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到目標(biāo)物質(zhì)。得到的目標(biāo)物質(zhì)為透明液體、收率為60%。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage53</formula>[核磁共振分光法(NMR):溶劑CDC13])H—NMR(500MHz):1.24-1.30(2H),l,36(lH)，1.39(3H,n),1.42-1.76(23H),2.04(1H)'3.85(lH,m),5.58(lH,a2),6.05(lH,c),6.15(lH,al)"C一NMR(127MHz):17.1(q),17.1(n)'19.5(t)'21.3(gorh),23.3(gorh)'24.1(p),28.3(u)'38.1(i),40.6(s),42.4(fork),43.1(fork),46.0(j),62.3(l),61.6(p)'70.9(m),75.4(e),88.7(r),125(a),128.3(c),167.2(d),170.9(o)實施例233-{2-[(2-乙基-2-環(huán)己基)氧基]-1-曱基-2-氧代乙氧基}-1-金剛烷基丙烯酸酯的合成除了將實施例6得到的2-{[3-(曱基丙烯酰氧基)-1-金剛烷基]氧基}丙酸變更為實施例20得到的19.13g(0.065mol)2-{[3-(丙烯酰氧基)-1-金剛烷基]氧基)丙酸之外，用與實施例9同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到目標(biāo)物質(zhì)。得到的目標(biāo)物質(zhì)為透明液體、收率為63%。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage53</formula>)H—NMR(5OOMHz):0.96(3H'q)，1.24-U0(2H)，1.36(lH),1.39(3H,n),1.42-L76(23H),2.04(lH),3.85(lH,m),5.58(lH,a2),6.05(lH,c)，6.15(lH,al)"C—NMR(127MHz):5.9(q)'17.1(q),17.1(n)，19.5(t)'21.3(gorh)，23.3(gorh)'24.1(p),28.3(u),38.1(i),40.6(s)'42.4(fork),43.1(fork)，46.O(j)'62.3(l)，61.6(p)，70.9(m)'75.4(e),88.7(r),125(a)'128.3(c),167.2(d),170.9(o)實施例243-{2-[(環(huán)己基氧基)甲氧基]-1-甲基-2-氧代乙氧基}-1-金剛烷基丙烯酸酯的合成除了將實施例6得到的2-{[3-(曱基丙烯酰氧基)-1-金剛烷基]氧基}丙酸變更為實施例20得到的19.13g(0.065mol)2-{[3-(丙烯酰氧基)小金剛烷基]氧基}丙酸之外，用與實施例10同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到目標(biāo)物質(zhì)。所得目標(biāo)物質(zhì)的收率為60%。h'H—NMR(500MHz):1.24-1.30(2H)，1.36(lH),〗.38(3H,n),1.39-1.73(20H)，2.04(lH)'2,79(lH,r),3.85(lH，m),5.58(lH,a2),6.15(lH，al),6.05(lH,c),6.16(2H,q)"C—NMR(127MHz):17.1(q),17.1(n),18.0(b)，21.3(gorh),22.1(t)，23.3(gorh)'28.3(u)"34.0(s),38.1(i),42.4(fork),43.1(fork),46.0(j),62.3(I),61.6(p),70.9(m),75.4(e),78.5(r),91.2(q),125(a),128.3(c),167.2(d),170.9(。)實施例253-{2-[(2-乙基-2-環(huán)戊基)氧基]-1-曱基-2-氧代乙氧基}-1-金剛烷基丙烯酸酯的合成除了將實施例6得到的2-{[3-(曱基丙烯酰氧基)-1-金剛烷基]氧基}丙酸變更為實施例20得到的19.13g(0.065mol)2-{[3-(丙烯酰氧基)-1-金剛烷基]氧基)丙酸之外，用與實施例11同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到目標(biāo)物質(zhì)。得到的目標(biāo)物質(zhì)為透明液體、收率為80%。'H—NMR(500MHz):0.96(3H,q),1.24—1.30(2H),1.36(m),1.39(3H,n)，1.42—1.84(18H),2.04(lH),3.85(lH,m),5.58(lH，a2),6.05(lH,c),6.15(lH，al)—NMR(127MHz):5.9(q),17.1(Q),17.1(ri),2L3(gorh)22.2(t),23.3(gorh),28.3(u),31.6(p)'38.1(0,39.6(s)'42.4(fork)，43.1(fork)'46.0(j)，62.3(l),61.6(p),70.9(m),75.4(e)，88.7(r),125(a)，128.3(c),167.2(d),170.9(o)實施例263-{2-[(2-曱基-2-金剛烷基)氧基]-1-甲基-2-氧代乙氧基}-1-金剛烷基丙烯酸酯的合成除了將實施例6得到的2-{[3-(曱基丙烯酰氧基)-1-金剛烷基]氧基}丙酸變更為實施例20得到的19.1化(O.OMmol)2-{[3-(丙烯酰氧基)-1-金剛烷基]氧基}丙酸之外，用與實施例12同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到目標(biāo)物質(zhì)。得到的目標(biāo)物質(zhì)為透明<formula>formulaseeoriginaldocumentpage56</formula>液體、收率為55'H—NMR(5OOMHz):1.18(5H),1.36(lH),1.38(3H,n),1.391.91(23H),2.04(lH),3.85(1H,m),5.58(lH,a2),6.05(lH,c)'6.15(lH,al)13C—NMR(127MHz):17.1(n),19.4(q),21.3(gorh),22.2(t),23.3(gorh),28.3(u)，29.3(s'y'vorw),31.5(torv),31.6(p),37.8(u),38.1(i)，39.6(s),40.0(rorx),42.4(fork),43.l(fork),46.0(j),62.3(l),'70.9(m),75.4(e),83.4(p),88.7(r),125(a〉,128.3(c),167.2(d),170.9(o)實施例273-{2-[(2-乙基-2-金剛烷基)氧基]-1-曱基-2-氧代乙氧基}-1-金剛烷基丙烯酸酯的合成除了將實施例6得到的2-{[3-(曱基丙烯酰氧基)-1-金剛烷基]氧基}丙酸變更為實施例20得到的19.13g(0.065mol)2-{[3-(丙烯酰氧基)-1-金剛烷基]氧基}丙酸之外，用與實施例13同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到目標(biāo)物質(zhì)。得到的目標(biāo)物質(zhì)為透明液體、收率為80%。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage56</formula>^一NMR(500MHz):0.96(3H，A),1.18(5H),1.36(lH),1.38(3H,n),1.39-1'91(23H),1.93(3H,b),2.04(lH)，3.85(lH,m)，5.58(lH,a2),6,05(lH,c),6.15(lH，al)13C—NMR(127MHz):6.5(A),17.1(n)，21.3(gorh),22.2(t),23.3(gorh),27.2(q)，28,3(u),29.3(s,y,vorw),31.5(torv),31.6(p),37.8(u),38.1(i)'39.6(s),40.0(rorx),42.4(fork),43.1(fork〉,46.0(j)'62.3(l),70.9(m),75.4(e),83.4(p),88.7(r),125(a),128.3(c),167.2(d),1709(o)實施例283-[2_[(環(huán)己基)氧基]-l-曱基-2-氧代乙氧基]-l-金剛烷基丙烯酸酯的合成除了將實施例6得到的2-{[3-(曱基丙烯酰氧基)-1-金剛烷基]氧基}丙酸變更為實施例20得到的19.13g(0.065mol)2-{[3-(丙烯酰氧基)-1-金剛烷基]氧基}丙酸之外，用與實施例14同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的^喿作，得到目標(biāo)物質(zhì)。得到的目標(biāo)物質(zhì)為透明粘性液體、收率為86%。h'H—NMR(500MHz):1.241.36(3H),1.39(5H,nandr),1.40(9H,p),1.42-1.80(18H)，2.04(lH),3,85(lH'm),3.91(lH，p),5.58(lH'a2),6.05(lH,c),6.15(lH,al)13C—NMR(127MHz):17.1(n),21.3(gorh)'22.0(r),23.3(gorh)'28.0(s),32.2(q),38.1(i)，42.4(fork),43.1(fork),46.0(j)，62.3(l)'70.9(m),75.4(e)'75.8(p)，125(a),128.3(c),167.2(d),170.9(o)實施例293-{2-[(1,7,7-三曱基雙環(huán)[2.2.1]庚-2-基)氧基]-1-曱基-2-氧代乙氧基}-1-金剛烷基丙烯酸酯的合成除了將實施例6得到的2-{[3-(曱基丙烯酰氧基)-1-金剛烷基]氧基}丙酸變更為實施例20得到的19.13g(0.065mol)2-{[3-(丙烯酰氧基)-1-金剛烷基]氧基}丙酸之外，用與實施例15同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到目標(biāo)物質(zhì)。得到的目標(biāo)物質(zhì)為透明粘性液體、收率為76%。<table>tableseeoriginaldocumentpage58</column></row><table>!H—NMR(500MHz):l.l卿,xandy),1.16(3H，v),1.24-1.87(19H)'1.93(3H,b),3.85(1H,m),3.89(lH,p)'5.58(lH'a2),6.05(lH'c)，6.15(lH,al)13C—NMR(127MHz):13.5(v)'17.1(n),18.0(b),19.5(xandy)，21.3(gorh),22.0(r),23.3(goth),23.3(s),30.2(t),32.5(q),32.2(q),38.1(i),42.4(f。rk),43.1(fork)'45.4(r),46.0(j),49.5(u),50.6(w),62,3(l)，70.9(m),75.4(e),82.4(p),125(a)，283.3(c),167.2(d),170.9(0)實施例30Hl-曱基-l氧代-2-[(2-氧代六氫-2H-:3,5-亞曱基環(huán)戊[b]呋喃-6-基)氧基]乙氧基]-l-金剛烷基丙烯酸酯的合成除了將實施例6得到的2-{[3-(曱基丙烯酰氧基)-1-金剛烷基]氧基}丙酸變更為實施例20得到的19.13g(0.065mol)2-{[3-(丙烯酰氧基)-1-金剛烷基]氧基}丙酸之外，用與實施例16同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到目標(biāo)物質(zhì)。得到為白色固體的目標(biāo)物質(zhì)、收率為58%H—NMR(500MHz):1.241.88(21H，d-k,m,q'v),2.03(H,p)'2.26(1H,r),2.66(1H，s),3.85(lH,l),4.49(lH，0ort),4.50(1H'oort)'6.05(lH,b),5.80(1H'a2)6.43(1H，al)"C一函R(127MHz):17.1(m),21.3(forg)'23.3(forg),27.1(q),30.8(s),33.4(v)'38.1(h),39.9(p),42.4(eorj)'43.1(eorj),46.0(i),46.5(r),61.3(k)，71.2(1),75.1(d)，81.6(o),83.8(t),128,3(b)'130.2(a),166.5(c)，170.9(n)，178.9(u)實施例313-[(2,6-降冰片烷碳內(nèi)酯-5-基)氧基]-l-金剛烷基丙烯酸酯的合成除了將3-曱磺?；趸?1-金剛烷基曱基丙烯酸酯(出光興產(chǎn)制備)變更為3.00g(lOmmol)3-曱磺?；趸?l-金剛烷基丙烯酸酯(出光興產(chǎn)制備)之外，用與實施例1同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到得量為3.02g、純度為92.5%的粗目標(biāo)物質(zhì)。與實施例1同樣地進(jìn)行結(jié)晶析出，得到得量為1.72g、純度為99.7%的白色固體目標(biāo)物質(zhì)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage59</formula>[核磁共振分光法(NMR):溶劑CDC13]'H—NMR(500MHz):1.241.88(19H,d—k,m，n，r)，2.26(lH，o)，2.66(1H,p),3.37(IH，I)，4.22(lH，q),5.80(1H，a2),6.05(lH,b),6.43(lH,al)"C一薩R(127MHz):21,3(forg),23.3(forg),27.2(n)'30.9(p),33.5(r),38.1(h),41.0(q),41.6(m),42.4(eorj),43.4(eorj),46.3(i),46.8(o),62.5(k)，74.6(1)'75.1(d),79.0(o)'84.9(u),128.3(b)，130.2(a),166.5(c),178.9(s)實施例32H(2-氧代四氫呋喃-3_基)氧基]-1-金剛烷基丙烯酸酯的合成除了將3-曱磺?；趸?l-金剛烷基曱基丙烯酸酯(出光興產(chǎn)制備)變更為3.00g(lOmmol)3-曱磺酰基氧基-l-金剛烷基丙烯酸酯(出光興產(chǎn)制備)之外，用與實施例2同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到得量為2.01g、純度為80.9%的粗目標(biāo)物質(zhì)。與實施例2同樣地進(jìn)行結(jié)晶析出，得到得量為1.42g、純度為98.9%的白色固體目標(biāo)物質(zhì)。H—NMR(500MHz):1.24-1.88(14H,d-k),2.11(lH,oloro2),2.36(lH,olor。2)'3.65(1H,1),4.25(1H,nlorn2)，4.35(1H,nlorn2),5.80(lHa2)'6.05(lH,b),6.43(〗H,al)13C—NMR(127MHz):21.3(forg)，23.3(forg)，23.9(o),38.1(h),42.4(eorj)，43,1(eorj),46.0(i),61.6(k),65.0(n),75.1(d)'85.8(1),128,3(b)'130,2(a),166.5(c)'173.7(m)實施例333-[(5-氧代四氫呋喃-3-基)氧基]-1-金剛烷基丙烯酸酯的合成除了將3-曱磺?；趸?l-金剛烷基曱基丙烯酸酯(出光興產(chǎn)制備)變更為3.00g(lOmmol)3-曱磺酰基氧基-l-金剛烷基丙烯酸酯(出光興產(chǎn)制備)之外，用與實施例17同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到得量為2.01g、純度為80.9%的粗目標(biāo)物質(zhì)。與實施例2同樣地進(jìn)行結(jié)晶析出，得到得量為1.57g、純度為99.4%的白色固體目標(biāo)物質(zhì)。!H—函R(500MHz):1.24-1.88(14H,d-k),2.31(1H'nlorn2),2.56(lH,nlorn2),3.45(lH,l),4.30(lH'o1or。2),4.55(1H,olor。2)，5.80(1H,a2)'6.05(1H,b),6.43(1H,al)13C—麗R(127MHz):2U(forg),23,3(forg)'38.1(h)'40.5(n)，42.4(eorj),43.4(eorj)'46.3(i),59.6(1),6〗.6(k),75.1(d),75.6(o),128.3(b),130.2(a),166.5(c),176.1(m)實施例343-{2-[(2-氧代六氫-2^3,5-亞曱基環(huán)戊[1)]呋喃-6-基)氧基]乙氧基}-1-金剛烷基丙烯酸酯的合成除了將3-(2-羥基乙氧基)-l-金剛烷基曱基丙烯酸酯(出光興產(chǎn)制備)變更為2.66g(lOmmol)3-(l-羥基乙氧基)-l-金剛烷基丙烯酸酯(出光興產(chǎn)制備)之外，用與實施例18同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到得量為3.15g、純度為89.9%的粗目標(biāo)物質(zhì)。與實施例18同樣地進(jìn)行結(jié)晶析出，得到得量為1.72%、純度為99.7%的白色固體目標(biāo)物質(zhì)。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage62</formula>'H—NMR(50OMHz):1.24-1.89(19H,d-k,o,p,u),2.26(lH,q)'2.66(lH,r),3,37(1H,n),3.54(lH,1orm),3.55(lH,1orm),6.05(lH,b),5.80(a2),6.43(lH,al)13C—NMR(127MHz):21.3(forg)'23.3(forg),27.2(p),30.9(r),33.5(u)'38.1(h)'41.0(o),42.4(eorj),43.1(eorj),46.0(i),46.8(q)，64.4(k)'66.4(1),69.2(m),75.1(d)，79.0(n),84.9(s),128.3(b),130.2(a),166.5(c),178.9(t)實施例35除了將單體由實施例1得到的3-[(2,6-降冰片烷碳內(nèi)酯-5-基)氧基]-l-金剛烷基曱基丙烯酸酯變更為實施例9得到的10.46g(25mmol)3-{2-[(2-乙基-2-環(huán)己基)氧基]-l-曱基-2-氧代乙氧基}-1-金剛烷基曱基丙烯酸酯之外，用與實施例5同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作時，得到12.65g聚合物。通過GPC法測定分子量，換算為聚苯乙烯的分子量為10,300、Mw/Mn為2.6。實施例36除了將單體由AdamantateHM(出光興產(chǎn)制備)變更為4.25g(25mmol)2-氧代四氫呋喃_3-基曱基丙烯酸酯之外，用與實施例5同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到8.21g聚合物。通過GPC法測定分子量，換算為聚苯乙烯的分子量為9,800、Mw/Mn為2.3。實施例37將作為單體的實施例1得到的18.62g(50mmol)3-[(2,6-降冰片烷碳內(nèi)酯-5-基)氧基]-1-金剛烷基甲基丙烯酸酯溶解于200mL2-丁酮中，加入1.15g(Smmo1)V601(和光純藥制備)作為聚合引發(fā)劑。在氮氣氛下，以液氮溫度進(jìn)行3次冷凍脫氣，在氮氣氛、回流條件下反應(yīng)6小時。向反應(yīng)液中加入20mL甲醇、反應(yīng)停止后，邊攪拌邊將該反應(yīng)液滴入到3,000L曱醇中，進(jìn)行再沉淀。用玻璃過濾器過濾，在6(TC下將固體成分干燥3天，得到14.59g聚合物。通過GPC法測定分子量，換算為聚苯乙烯的分子量為11,300，Mw/Mn為3.8。實施例38除了將單體變更為實施例3得到的16.82g(50mmo1)3-(2-乙氧基-l-甲基-2-氧代乙氧基)-l-金剛烷基曱基丙烯酸酯之外，用與實施例37同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到14.65g聚合物。通過GPC法測定分子量，換算為聚苯乙烯的分子量為10,300、Mw/Mn為2.6。實施例39除了將單體變更為實施例14得到的19.52g(50mmo1)3-[2-[(環(huán)己基)氧基]-l-曱基-2-氧代乙氧基]-l-金剛烷基甲基丙烯酸酯之外，用與實施例37同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到12.6^聚合物。通過GPC法測定分子量，換算為聚苯乙烯的分子量為13,200、Mw/Mn為3.1。比4交例1除了將單體變更為8.50g(50mmo1)2-氧代四氫呋喃-3-基曱基丙烯酸酯之外，用與實施例37同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到6.57g聚合物。通過GPC法測定分子量，換算為聚苯乙烯的分子量為8,600、Mw/Mn為2.4。比較例2除了將單體變更為11.1lg(50mmol)2,6-降冰片烷碳內(nèi)酯-5-基曱基丙烯酸酯之外，用與實施例37同樣的裝置、試劑量、反應(yīng)條件，實施同樣的操作，得到9.85g聚合物。通過GPC法測定分子量，換算為聚苯乙烯的分子量為12,300、Mw/Mn為2.7。實施例40使由實施例37、比較例1和比較例2得到的各4.2g聚合物溶解于23.8g1,4-二嗨烷和7gy-丁內(nèi)酯中。將所得溶液旋涂在2英寸的硅片上，通過尺寸掃描電子顯微鏡(CD-SEM)分別確認(rèn)膜厚(初期膜厚)。膜厚如表1所示。反應(yīng)離子蝕刻(RIE)處理該片。作為R正條件，使用CF4和H2氣，在200W、10Mpa下實施30分鐘。通過CD-SEM確認(rèn)R正處理后的膜厚(處理后膜厚)。膜厚如表l所示。通過膜厚的減少量除以RIE處理時間計算蝕刻速度。結(jié)果表明由實施例37得到的聚合物的蝕刻速度最優(yōu)異。<table>tableseeoriginaldocumentpage64</column></row><table>產(chǎn)業(yè)實用性本發(fā)明的以具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)和聚合性基團(tuán)的聚合性化合物作為構(gòu)成成分的聚合物具有高的抗干蝕性能，對短波長的光具有優(yōu)異的透射性，適合作為遠(yuǎn)紫外光、特別是ArF準(zhǔn)分子激光或F2準(zhǔn)分子激光用等的光致抗蝕劑組合物的覆膜形成成分使用。權(quán)利要求1.通式(1)所示的聚合性化合物，其特征在于具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)和聚合性基團(tuán)id="icf0001"file="S2006800172571C00011.gif"wi="65"he="27"top="5"left="5"img-content="drawing"img-format="tif"orientation="portrait"inline="no"/>式中，A表示選自式(2)、(3)和(4)所示基團(tuán)的聚合性基團(tuán)，多個A相同或不同，CH2＝CRO-*CH≡C-*id="icf0002"file="S2006800172571C00012.gif"wi="34"he="21"top="5"left="5"img-content="drawing"img-format="tif"orientation="portrait"inline="no"/>(2)(3)式中，R0表示氫原子、氟原子、甲基、乙基或三氟甲基；K表示選自式(5)、(6)、(7)、(8)和(9)所示基團(tuán)的連接基團(tuán)，多個K相同或不同，id="icf0003"file="S2006800172571C00013.gif"wi="139"he="84"top="5"left="5"img-content="drawing"img-format="tif"orientation="portrait"inline="no"/>式中，R1、R2、R3、R4和R5表示氫原子、可以包含雜原子的碳數(shù)為1～10的烷基或鹵素原子，k和l表示0～10的整數(shù)，X1和X2表示氧原子、硫原子和NH基，*表示聚合性基團(tuán)一側(cè)或末端基團(tuán)一側(cè)，**表示脂環(huán)式基團(tuán)一側(cè)；L表示選自通式(10)、(11)、(12)、(13)、(14)、(15)和(16)所示基團(tuán)的脂環(huán)式基團(tuán)，id="icf0004"file="S2006800172571C00021.gif"wi="138"he="122"top="5"left="5"img-content="drawing"img-format="tif"orientation="portrait"inline="no"/>式中，Y、Y1和Y2表示氫原子、碳數(shù)為1～10的烷基、鹵素原子、羥基、巰基、甲基氰基或兩個Y、兩個Y1和兩個Y2分別一起形成的＝O或＝S，多個Y、多個Y1和多個Y2分別相同或不同，m和n表示0～15的整數(shù)；Z表示選自式(17)和(18)所示基團(tuán)的末端基團(tuán)，多個Z相同或不同，*-X3*-R7(17)(18)式中，R7表示碳數(shù)為1～30的烷基或碳數(shù)為5～30的環(huán)烷基，其部分結(jié)構(gòu)上可以包含下述基團(tuán)雜原子、羥基、巰基、醚基、硫醚基、氰基、酮基、硫酮基、酮縮醇基、酮縮硫醇基、縮醛基、硫縮醛基、內(nèi)酯基、硫代內(nèi)酯基、碳酸酯基、硫代碳酸酯基、胺基、酰胺基、烷基磺酰基、酯基、硫代酯基，X3表示氫原子、羥基、巰基、氨基、PO3、硝基、OSO2CH3、SSO2CH3、NHSO2CH3，α表示1以上的整數(shù)，β和γ表示0以上的整數(shù)，δ表示1～16的整數(shù)，條件是結(jié)構(gòu)中含有一個以上的A和Z。2.權(quán)利要求1的聚合性化合物，其中通式(l)中，L為式(lO)或(ll)所示的基團(tuán)。3.權(quán)利要求1的聚合性化合物，其中通式(l)中，至少一個K為選自式(5)和(7)所示的基團(tuán)。4.通式(19)所示的聚合性化合物，其特征在于具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)、聚合性基團(tuán)和末端基團(tuán)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>(19)式中，A表示選自式(2)、(3)和(4)所示基團(tuán)的聚合性基團(tuán)，多個A相同或不同，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>(2)(3)式中，RQ表示氫原子、氟原子、曱基、乙基或三氟曱基；K'和P表示選自式(5)、(6)、(7)、(8)和(9)所示基團(tuán)的連接基團(tuán)，多個K"和I^相同或不同，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>式中，R1、R2、R3、114和Rs表示氫原子、可以包含雜原子的碳數(shù)為1~]0的烷基或卣素原子，k和l表示010的整數(shù)，x^口xz表示氧原子、硫原子和NH基，*表示聚合性基團(tuán)一側(cè)或末端基團(tuán)一側(cè)，**表示脂環(huán)式基團(tuán)一側(cè)；L表示選自通式(IO)、(11)、(12)、(13)、(14)、(15)和(16)所示基團(tuán)的脂環(huán)式基團(tuán)，(<formula>formulaseeoriginaldocumentpage5</formula>式中，Y、Y'和YZ表示氫原子、碳數(shù)為110的烷基、自素原子、羥基、巰基、甲基氰基或兩個Y、兩個Y'和兩個丫2分別一起形成的=0或-S，多個Y、多個Y'和多個Ys分別相同或不同，m和n表示015的整數(shù)；Z表示選自式(17)和(18)所示基團(tuán)的末端基團(tuán)，多個Z相同或不同，(17)(18)式中，W表示碳數(shù)為1~30的烷基或碳數(shù)為5~30的環(huán)烷基，其部分結(jié)構(gòu)上可以包含下述基團(tuán)雜原子、羥基、巰基、醚基、硫醚基、氰基、酮基、硫酮基、酮縮醇基、酮縮硫醇基、縮醛基、硫縮醛基、內(nèi)酯基、硫代內(nèi)酯基、碳酸酯基、硫代碳酸酯基、胺基、酰胺基、烷基磺酰基、酯基、硫代酯基，Xs表示氫原子、羥基、巰基、氨基、P03、硝基、OS02CH3、SS02CH3、NHS02CH3,a和b表示l以上的整數(shù)，c和d表示1~15的整數(shù)，c+d^16。5.權(quán)利要求4的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個K'為式(5)所示的基團(tuán)，條件是k為0。6.權(quán)利要求4的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個K1為式(5)所示的基團(tuán)，條件是k為0;至少一個K^為式(7)所示的基團(tuán)，條件是1為0。7.權(quán)利要求6的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個K1為式(5)所示的基團(tuán)，條件是X'和XS表示氧原子、k為0;至少一個P為式(7)所示的基團(tuán)。8.權(quán)利要求7的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個K'為式(S)所示的基團(tuán)，條件是X)和XS表示氧原子、k為0;至少一個P為式(7)所示的基團(tuán)，條件是f表示氧原子、l為0。9.權(quán)利要求4的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個K'為式(5)所示的基團(tuán)，k為0;Z為具有硫代內(nèi)酯基或硫代酯基的末端基團(tuán)。10.權(quán)利要求4的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個Ki為式(5)所示的基團(tuán)，條件是X'和XS表示氧原子、k為0;至少一個P為式(7)所示的基團(tuán)，條件是1為0;Z為具有硫代內(nèi)酯基或硫代酯基的末端基團(tuán)。11.權(quán)利要求10的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個！^為式(5)所示的基團(tuán)，條件是X'和XS表示氧原子、k為0;至少一個P為式(7)所示的基團(tuán)，條件是乂2表示氧原子、l為0;Z為具有硫代內(nèi)酯基或硫代酯基的末端基團(tuán)。12.權(quán)利要求4的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個K1為式(5)所示的基團(tuán)，條件是乂1和乂2表示氧原子、k為0;至少一個P為式(7)所示的基團(tuán)，條件是乂2表示氧原子、1為0;L為式(10)或(11)所示的基團(tuán)；Z為具有硫代內(nèi)酯基或硫代酯基的末端基團(tuán)。13.權(quán)利要求12的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個K'為式(5)所示的基團(tuán)，條件是乂1和乂2表示氧原子、k為0;至少一個P為式(7)所示的基團(tuán)，條件是父2表示氧原子、l為0;L為式(10)所示的基團(tuán)；Z為具有硫代內(nèi)酯基或硫代酯基的末端基團(tuán)。14.權(quán)利要求4的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個K'為式(5)所示的基團(tuán)，條件是Xi和XS表示氧原子、k為0;至少一個P為式(7)所示的基團(tuán)，條件是乂2表示氧原子、l為0;Z為具有內(nèi)酯基或酯基的末端基團(tuán)。15.權(quán)利要求4的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個P為式(5)所示的基團(tuán)，條件是Xi和XS表示氧原子、k為0;至少一個P為式(7)所示的基團(tuán)，條件是乂2表示氧原子、1為0;L為式(10)或(11)所示的基團(tuán)；Z為具有內(nèi)酯基或酯基的末端基團(tuán)。16.權(quán)利要求15的聚合性化合物，其中通式(19)中，A為式(2)所示的基團(tuán)；至少一個W為式(5)所示的基團(tuán)，條件是乂1和乂2表示氧原子、k為0;至少一個KS為式("所示的基團(tuán)，條件是X匸表示氧原子、l為0;L為式(10)所示的基團(tuán)；Z為具有內(nèi)酯基或酯基的末端基團(tuán)。17.通式(19a)所示的具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)和末端基團(tuán)的聚合性化合物的制備方法，其特征在于使通式(20)所示的化合物與通式(21)所示的化合物反應(yīng)，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage8</formula>式中，當(dāng)乂4表示選自氫原子、面素原子、烷基磺?；趸?、全氟烷基磺酰基氧基、烷基取代的苯基磺酰基氧基的基團(tuán)時，《表示選自氫原子、羥基、巰基、NH2基的基團(tuán)；當(dāng)乂4表示選自氫原子、羥基、疏基、NH2基的基團(tuán)時，f表示選自氫原子、鹵素原子、烷基磺?；趸?、全氟烷基磺?；趸?、烷基取代的苯基磺?；趸幕鶊F(tuán)；Di表示X44乂5反應(yīng)所產(chǎn)生的結(jié)合基團(tuán)；KS和IC表示連接基團(tuán)；A、K1、L、Z、a、b、c和d與上述相同；e表示0~10的整數(shù)，f表示0以上的整數(shù)。18.通式(19b)所示的具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)和末端基團(tuán)的聚合性化合物的制備方法，其特征在于^使通式(22)所示的化合物與通式(23)所示的化合物反應(yīng)，<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>(22)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>(23)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage9</formula>(19b)式中，當(dāng)乂4表示選自氬原子、卣素原子、烷基磺?；趸?、全氟烷基磺酰基氧基、烷基取代的苯基磺?；趸幕鶊F(tuán)時，XS表示選自氫原子、羥基、巰基、NH2基的基團(tuán)；當(dāng)乂4表示選自氫原子、羥基、巰基、冊2基的基團(tuán)時，XS表示選自氫原子、卣素原子、烷基磺?；趸⑷榛酋；趸?、烷基取代的苯基磺酰基氧基的基團(tuán)；DS表示X44XS反應(yīng)所產(chǎn)生的結(jié)合基團(tuán)；KS和I^表示連接基團(tuán)；A、K2、L、Z、a、b、c和d與上述相同；e表示010的整數(shù)，f表示0以上的整數(shù)。19.聚合物，其特征在于以通式(l)所示的具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)和聚合性基團(tuán)的聚合性化合物作為構(gòu)成成分。20.光致抗蝕劑組合物，其特征在于含有以通式(l)所示的具物。全文摘要本發(fā)明提供由通式(1)或(19)所示的具有脂環(huán)式結(jié)構(gòu)和聚合性基團(tuán)的聚合性化合物、其聚合物和該聚合性化合物的制備方法以及含有該聚合物的光致抗蝕劑組合物，所述聚合性化合物顯示高的基板粘合性、顯影時的膨脹降低、且在水中曝光時的吸水量低、抗干蝕性高。文檔編號C08F20/28GK101180324SQ20068001725公開日2008年5月14日申請日期2006年5月15日優(yōu)先權(quán)日2005年5月20日發(fā)明者伊藤克樹,大野英俊,松本信昭,畠山直良申請人:出光興產(chǎn)株式會社