專利名稱：：固化性樹脂組合物、固化膜的形成方法和固化膜的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種含有特定樹脂的固化性樹B鎺，，艦該組，的間隔物(spacer)、層間絕緣膜、微透鏡(microlens)或保護(hù)膜等固化膜的形成方法以及固化膜。io背景駄<關(guān)于間隔物的現(xiàn)有技》一直以來，在液晶顯示元件中，為了使2±媳明繊間的間隔保^~定，fOT具有規(guī)定粒徑的玻璃球、塑料球等間隔物粒子，但這些間隔物粒子存在的問題在于，由于絲玻璃繊等透明mJi呈無規(guī)散布，因此，當(dāng)象素形成區(qū)15J^在間,粒子時(shí)，會發(fā)生間隔物粒子的映入J，，或使入射光散射，液晶顯示元件的對比度陶氐。因此，為了解決這些問題，采用禾,照相平版印刷術(shù)形成間,的方銜例如參照特開2001-261761號公報(bào))。該方法是在,上涂布方M線,性樹月離合物，通過規(guī)定的掩模進(jìn)微外線照射后進(jìn)行顯影，形成點(diǎn)械條狀間隔物，20由于可以只在象素形成區(qū)域以夕卜的規(guī)定位置形成間隔物，因此，基本解決了上述問題。但是，現(xiàn)有的艦線敏感性樹脂組合物在為了形成間隔物而進(jìn)行燒結(jié)時(shí)產(chǎn)生的升華物可能會污染生產(chǎn)線或設(shè)備，因此希望有可M^升，產(chǎn)生的放射線敏感性樹月離合物。25<關(guān)于層間鄉(xiāng)，膜和^的現(xiàn)有^>在薄膜晶體管(以下記為"TFT")型液晶顯示元件、磁頭元件、集成電路元件、固體攝像元件等電子部件中，通常為了^M狀配置的配線間絕緣而設(shè)置層間絕緣膜。由于形成層間絕緣膜的材料,得到所要的圖案^t^f需的工序數(shù)少且具有充分的平坦性的材料，因ltkT泛^ffi,線敏感性樹脂組^I(參照30特開2001-354822號公報(bào)和特開2001-343743號公報(bào))。^b悉電子部i牛中，例如TFT型液晶顯示元件是經(jīng)過在Ji^層間絕緣膜上形成透明電極膜，再在其上形成液晶取向膜的工序制造的，因此層間絕緣膜，明電極膜的形成工序中要暴高溫斜牛下，或者置于用于形成電極圖案的光刻膠的剝離液中，因此，需要對這些^f特充分的耐性。而且，蹄來TFT5型液晶顯示元^特向大畫面化、高亮度化、高精細(xì)化、高速應(yīng)答化、薄型化等發(fā)展的趨勢，這要求用于其的層間絕緣膜形成用組合物的靈敏度高的，要求形成的層間絕緣膜在介電常數(shù)、透光率等方面具有高于I見有膜的性能。另一方面，通常艦具有3100拜左右的纖徑的^或?qū)⑦@樣的多個(gè)M鏡規(guī)則排列的M鏡陣列作為傳真機(jī)、電子復(fù)印機(jī)、固體攝像元件等晶10載彩色濾光片的成像光學(xué)系統(tǒng)^纖連接器的光學(xué)材料。m^或1tii^陣列的形成方法已知有在形成了與所要的it^W應(yīng)的圖案^g，將其進(jìn)行加熱鵬鵬鵬動(dòng)，直接用作透鏡的方法；將熔體流動(dòng)好的纖圖案作成掩模，禾,干嫩鵬透鏡形狀轉(zhuǎn)印在基底上的方法等。在Jd^t^圖案的形成中，廣泛f頓TO線敏感性樹月離合物(參照特開平6-1518702號公報(bào)和特開平6-136239號公報(bào))。然后將形成如上戶瓶的^或^陣列的元<鞭供給如下工序，即為了除去作為配線形成部分的焊接區(qū)上的各種絕緣膜，涂布平坦化膜和，U用保護(hù)膜，用所需的掩微行曝光、顯影，除去焊接區(qū)部分的防蝕涂層，然后il31嫩i滁去平坦化膜、各種鄉(xiāng)條膜，露出焊接區(qū)部分的工序。因此，M^或微20纖陣列在平坦化膜和防蝕涂層的涂膜形成工序以及嫩lj工序中，需要有耐溶劑性、耐熱性。為了形成這樣的微皿而使用的放射線敏感性樹J離^tl除了要求是高靈敏度的之外，還要求形成的鏡具有所需的曲率半徑，并且耐熱性高、透光率高等。25另外，如上戶脫的層間^^膜、^t鏡存在工序管理方面的問題艮P在形成這些的顯影工序中，即使顯影時(shí)間稍稍超過最佳時(shí)間，有時(shí)顯影液也會浸透至圖案和繊之間而容易發(fā)生剝離，因ltt^、須嚴(yán)鵬制顯影時(shí)間。如上所述，由娜線敏感性樹脂組合物形鵬間絕緣膜、mit^時(shí)，要求組合物是髙靈的，還要求在形成工序中的顯影工序中，即^M影時(shí)間艦30規(guī)定時(shí)間時(shí)，也不會發(fā)生圖案的剝離，顯示出良好的密合性，且由其形成的層間絕緣膜耐熱性高、耐翻雌高、介電常數(shù)低、透光率高等。在此基礎(chǔ)上，形成鵬鏡時(shí)，除了上述諸性能之外，要求具有作為微透鏡的良好的iti^狀(所需的曲率半徑)、耐熱性高、耐、皿u性高、透光率高，但目前還沒有滿足這樣的要求的方，線敏感性樹S離合物。5而且，在用于形鵬間絕緣膜、^而進(jìn)療燒結(jié)時(shí)產(chǎn)生的升糊可能會污染生產(chǎn)線、設(shè)備，希望有可M^升華物的產(chǎn)生的皿線敏感性樹B彰且合物?！搓P(guān)于微膜的現(xiàn)有脅在帝i臘LCD(液晶顯示元件)、CCD(電荷,:^牛，ChaiBeCoupledDevice)、CMOS(互補(bǔ)型金屬氧化物半導(dǎo)體，ComplementaryMetalOxideSemiconductor)io等光設(shè)備的工序中，由于顯示元件要用翻U、酸、堿等進(jìn)行浸漬處理，而且利用濺射形成配線電f媳時(shí)元件表面局部會暴露在高溫下，因此，為了防止由于這樣的處理而f頓示元件發(fā)生劣化或受至躓傷，通常在顯示元件的表面設(shè)置可耐^^樣的M的，膜。要求這樣的傲戶膜相對于要形成該保護(hù)膜的繊鵬層、以及形成于保護(hù)15膜上的層的密合性高。另外，要求保護(hù)膜自身具有如下性能平滑且強(qiáng)度高；具有高度透明性；耐熱性和耐光性高，長時(shí)間^頓不會發(fā)生熟、變黃、泛白等頓；耐水性、ii)m^性、耐酸性和耐堿性好等性能。而且，用于形成具有戰(zhàn)各種性能,娥膜的材料，特開平5-78453號公報(bào)公開了包含具有縮水甘油基的聚合物的熱固性組合物。20將這樣的保護(hù)膜用在LCD、CCD、CMOS傳S^的彩色濾光片上時(shí)，要求可以將由形成于基底mh的彩色濾光片引起的高度差平坦化。另外，在彩色液晶顯示元件，例如STN(超扭曲向列，SuperTwistedNematic)方式或TFTCTtoiFilmTransister)方式的彩色液晶顯示元件中，為了保掙液晶層的盒間隙均勻，是將球狀間隔物散布在保護(hù)膜上再與面板貼合，然后將片材進(jìn)行熱壓接，由此將25液晶盒密封，但這時(shí)存在的問題在于，在這樣的熱和壓力下，可以看到間隔物存在的部分的保護(hù)膜發(fā)生凹陷現(xiàn)象，盒間隙錯(cuò)亂。特別是在制造STN方式的彩色液晶顯示元件時(shí)，必須以極高的精度嚴(yán)格J&it行彩色濾光片和對置基板的貼合，要求{，膜具有極高的高，平坦化性能和耐熱耐壓性能。另外，近年來還采用在彩色濾光片的保護(hù)膜上利用濺射將配線電極30(TTO:IndiumTinOxide)鵬，用強(qiáng)酸或強(qiáng)堿等將HO構(gòu)圖的方式。這時(shí)，{緣膜在鵬時(shí)表面局部會暴驗(yàn)高溫下，廳進(jìn)行多種試劑處理。因而，要求其能耐，些M，還要求具有與,電極的密合性，以使rro在試劑M時(shí)不會從傲戶歡剝離。在lcd面板中，以髙亮度化為目的，開發(fā)了將rro等透明電極和tft元5件通，明性高的層間絕緣膜作成積層結(jié)構(gòu)，使開口面積增大的面板。另外，目前彩色濾光片和TFT元件是用另外的基板制作而成的，但也開發(fā)了在TFT元件上形成彩色濾光片的技術(shù)。而且，在這樣的M背景下，希望開發(fā)耐熱性高且將形成于基底基板上的彩色濾光片的高度差平坦化的性能(平坦化性能)好的做膜。10而且，隨著蹄來面板鎌的鄉(xiāng)化，存在如下問題即在由熱固性組合物形成保護(hù)膜的燒結(jié)工序中產(chǎn)生升糊，堆積在燒結(jié)爐內(nèi)部，污染烘箱，4賺結(jié)條件難以控制，或堆積的升附著在面板上發(fā)生污染，引發(fā)顯示不良等問題。^^色濾光片用保護(hù)膜的形成中，使用具有可以簡便皿麗，好的15f默膜的優(yōu)點(diǎn)的固化性樹MI糊是合適的，但目前還沒有育,繊腿明性割乍為保護(hù)膜的一般性能要求以外，還育嫩適應(yīng)如上所述的各種新的高要求的保護(hù)膜的、且作為組合物的保存穩(wěn)定性也優(yōu)良的材料。
發(fā)明內(nèi)容20本發(fā)明是基于上述瞎況誠的，其第一目的在于樹共一種固化性樹月識合物，其具有高的感娜線靈敏度、^fJI率足夠高、與繊、或者基底祉層的密合性優(yōu)良，且可以抑帝ij^形成工序中燒結(jié)時(shí)產(chǎn)生升華物。i^固化性樹脂組合物棚于形成間隔物時(shí)，提供圖案微、壓縮3雖和耐摩擦性優(yōu)良的間,；25棚于形鵬間絕緣膜時(shí)，可以形成"顯影容限竭像7—、:;;/)"大、且耐熱性髙、it31性髙、介電常數(shù)低的層間絕緣膜，所述"顯影容限"是在顯影工序中即使^1S佳顯影時(shí)間繼續(xù)顯影，仍能形成良好圖案的指標(biāo)；在用于形成鏡時(shí)，可以形成具有高度顯影容限、且具有髙透光率和良好熔30本發(fā)明的第二目的在于衝共一種固化性樹月離，，其可以形成一種保護(hù)膜，該保護(hù)膜與繊、或者基底或上層的密合性優(yōu)良、且可以抑制^成工序的燒結(jié)時(shí)產(chǎn)生升，，而且滿足髙透明性、高耐熱性及高表面硬度，同時(shí)在加熱條4牛下的耐負(fù)荷性優(yōu)良，而且將形成于基底基板上的彩色濾光片的高度差平坦化的性能優(yōu)良。5本發(fā)明的第三目的在于衝共一種由Jd^任一種固化性柳離合物形成固化膜的方法。本發(fā)明的第四目的在于衝共一種禾,，方法形成的固化膜。根據(jù)本發(fā)明，本發(fā)明的Jd^第一目的M—種含有(A)聚合物的固化性樹月旨組合物實(shí)現(xiàn)，所述(A)聚合物M過在下式(l)或下式(2)所示化^t/存在下的io活性自由驟合進(jìn)行聚合，用繊滲透色譜法須i淀的聚苯乙烯換算的重均舒量(Mw)和數(shù)均^量(Mn)之比(Mw/Mn)為1.7或1.7以下，且具，基以及環(huán)氧乙^S(oxiranyl)皿^fr教oxetanyl)的聚，，15(式(1)中，p為1或1以上的纖，^為織子、羧基、基團(tuán)-RA、基團(tuán)-ORA、基團(tuán)-NR、、基團(tuán)-COORA、基團(tuán)-C(O)NR、、基團(tuán)-P(0)R、基團(tuán)-P(O)(0RA)2或基團(tuán)-NRANRA-CH))RA，RA獨(dú)^itk為鹵原子、氰基、羥基、碳原Tlfe為l20的烷基、碳原預(yù)為220的烯基碳原子數(shù)為620的芳基碳原子數(shù)為720的芳職"l^》牛幾基)繊原子與雜原子的射十原預(yù)為320的120價(jià)雜環(huán)基團(tuán)，RA為烷基、烯基、芳基、芳烷基或雜環(huán)基團(tuán)時(shí)，RA所具有的氫原子中的1個(gè)或多個(gè)可以被鹵原子、氰基、羥基^(代；p=l時(shí)，R1為氫原子、氰基、基團(tuán)-RB、基團(tuán)-ORB、基團(tuán)-NRB2、基團(tuán)-SRB，RB獨(dú)忠也為碳原子數(shù)為120的烷基、碳原子數(shù)為320的1價(jià)脂環(huán)族烴基、碳原子數(shù)為220的烯基、碳原子數(shù)為620的芳基碳原子數(shù)為720的芳烷25基或碳原子與雜原子的合計(jì)原子數(shù)為320的1價(jià)雜環(huán)基團(tuán)，RB所具有的氫原子中的1個(gè)或多個(gè)可以被鹵原子、氰基羥基、羧基或環(huán)氧乙'^S^代，其中，Z和W不同時(shí)為氫原子；p為2或2以上時(shí)，R1Ji^碳原子數(shù)為120的縱中除去p愧原子得到的p價(jià)基團(tuán)、從碳原子數(shù)為620的芳烴中除去p個(gè)氫原子得到的p價(jià)基團(tuán)、或從碳原子與雜原子的合計(jì)原子數(shù)為320的1價(jià)雜環(huán)化，中除去p個(gè)氫原子得到的p價(jià)基團(tuán)，這些基團(tuán)所具有的氫原子中的1個(gè)或多個(gè)可以被卣原子、氰基、羥基、羧基艦氧乙'^代)；(式(2)中，m為2或2以上的,Z2Ji^碳原子數(shù)為120的縱中除去m賴原子得到的m價(jià)基團(tuán)、從碳原子數(shù)為620的芳烴中除去m個(gè)氫原子得至啲m價(jià)基團(tuán)、從碳原子與雜原子的^i十原子數(shù)為320的1價(jià)雜環(huán)化，中io除去m^原子得到的m價(jià)基團(tuán)，這些基團(tuán)所具有的氫原子中的1個(gè)或多個(gè)可以被鹵原子、氰基、羥基、羧基或環(huán)氧乙烷Mt代，R2為氫原子、氰基、基團(tuán)-Re、基團(tuán)-ORe、基團(tuán)-NR^、基團(tuán)-SRe，Re獨(dú)立地為碳原子數(shù)為120的烷基碳原子數(shù)為320的1價(jià)月P^族烴基、碳原子數(shù)為220的烯基、碳原子數(shù)為620的芳基碳原子數(shù)為720的芳烷基繊原子與雜原子的^i十原子15數(shù)為320的1價(jià)糾基團(tuán)，Re所具有的氫原子中的1個(gè)或多個(gè)可以被卣原子、氰基、羥基、羧基或環(huán)氧乙烷魏代)。iM合物iM用于間,的形成、層間絕緣膜就皿鏡的形成、1^#保護(hù)膜的形成。本發(fā)明的上述第二目的通過一種含有(A')聚合物和(E)陽離子聚合性化合20物，用于形成保護(hù)膜的固化性樹脂組合物實(shí)現(xiàn)，其中，所述(A，)聚合物是通過在戰(zhàn)式(l)社賦(2)所示化^/存在下的活性自由^4行聚合，用}賺滲透色譜法測定的聚苯乙烯換算重均分子量(Mw)和數(shù)均分子量(Mn)之比(Mw/Mn)為1.7或1.7以下，且具有環(huán)氧乙烷基或氧雜環(huán)丁基的聚合物。本發(fā)明的J^第三目的通過^ffi，任一種固化性組合吻的間隔物、層間25絕緣膜或^m或者微膜的形成方法實(shí)現(xiàn)。本發(fā)明的上鄉(xiāng)四目的fflil根據(jù)Ji^方法形成的間隔物、層間絕緣膜或微纖、或者微膜實(shí)現(xiàn)。圖1是鄉(xiāng)際出間,的截面微的示意圖。圖2是表示^ii鏡的截面微的示意圖，(a)是半凸透鏡靴，(b)是大致梯形微。具體實(shí)施方式個(gè)化性樹月離激》本發(fā)明的固化性樹月離，含有i^(A)聚合物爽A，)聚合物。(A)聚合物魏過在戰(zhàn)式(1)^J^式(2)表示的化合物存在下的活性自由io皿^a行聚合，用凝膠滲透色譜法測定的聚苯乙烯換算重均^T量(Mw)與數(shù)均^T量(Mn)之比(Mw/Mn)為1.7或1.7以下，且具有羧基以及環(huán)氧乙烷基或氧^FT基的聚，。另一方面，(A，)聚溯是Mii在J^;(i)^m式(2)標(biāo)的化合物雜下的活性自由錢合進(jìn)行聚合，用;賺滲跪譜法測定的棘乙烯換算重均肝15量(Mw)與數(shù)均分子量(Mn)之比(Mw/Mn)為1.7或1.7以下，且具有環(huán)氧乙烷基或旨環(huán)丁基的聚，，iM分子中具有2個(gè)或2個(gè)以上環(huán)氧乙烷基或氧，丁基和選自縮醛結(jié)構(gòu)、縮酮結(jié)構(gòu)和叔丁氧基羰基結(jié)構(gòu)中的至少一種結(jié)構(gòu)的聚合物(以下稱為"聚合頓A，1)，,或肝中具有2個(gè)或2個(gè)以上環(huán)氧乙烷基^f^環(huán)丁基且不具有羧基、羧酸酐基縮醛結(jié)構(gòu)、縮酮結(jié)構(gòu)和叔丁氧基羰基結(jié)構(gòu)中20的任一種的共聚鯫以下稱為"聚合物(A，2)")。i^f醛結(jié)構(gòu)或縮酮結(jié)構(gòu)是指如下所述的縮醛形成性基團(tuán)或縮酮形成性基團(tuán)與碳原合形成的結(jié)構(gòu)。聚合物具有縮醛結(jié)構(gòu)或縮酮結(jié)構(gòu)是指如下所述的縮醛形成性基團(tuán)^f酮形成性基團(tuán)直接^131羰基等鍵結(jié)合在聚合物中的碳原子上的聚，。25可以形成縮醛結(jié)構(gòu)的官能歐以下稱為"縮醛形成性基團(tuán)")例如有1-甲氧基乙氧基、1-乙氧基乙氧基、1-正丙氧基乙氧基、1-異丙氧基乙氧基、1-正丁縫乙氧基1-異丁乙氧基、1-仲丁氧基乙氧基、1-叔丁氧基乙氧基、1-環(huán)戊氧基乙氧基、1-環(huán)己氧基乙氧基、1-降冰片氧基乙氧基、l孫片氧基乙氧基、1-苯氧基乙氧基、l-(l-織基)乙氧基、1-賴基乙氧基、1-苯乙氧基乙竊、(環(huán)30as)(甲氧基)甲竊、(環(huán)己基x乙氧萄甲氧基、(環(huán)己基x正丙氧萄甲氧基、(環(huán)ea)(異丙氧萄甲氧基、(環(huán)a^)(環(huán)己氧基)甲氧基、(環(huán)己基x苯氧萄甲氧基、(環(huán)BS)(賴萄甲氧基(苯基X甲氧基)甲氧基、(苯基X乙ft^)甲氧基、(苯基x正丙氧基)甲氧基、(苯基)(異丙氧基)甲氧基、(苯基x環(huán)己氧基)甲氧基、(苯基x苯氧基)甲氧基、(苯基)(^s)甲氧基(節(jié)基x甲fi^)甲氧基、(節(jié)基)(乙氧基)甲5氧基、(節(jié)基)(正丙氧萄甲氧基(節(jié)基)(異丙氧基)甲氧基、(節(jié)基)(環(huán)己氧萄甲氧基、(節(jié)基x苯f(S)甲縫、(節(jié)基x賴蜀甲氧基2-四氫呋喃基氧基、2-四氣吡喃基tt等。在這些縮醛形成性基團(tuán)中，1-乙乙氧基、i-正丙氧基乙氧基、l-環(huán)己氧基乙縫、2-四割夫喃魏基或2-四都比喃基竊。另外，可以形成縮酮結(jié)構(gòu)的官能團(tuán)(以下稱為"縮酮形成性基團(tuán)")例如有10i-甲基i-甲氧基乙氧基i-甲基i-乙氧基乙氧基、i-甲基i-正丙氧基乙氧基、i-甲基i-異丙氧基乙竊、i-甲基i-正丁竊乙氧基、i-甲基i-異丁氧基乙氧基l-甲^i-仲丁氧基乙氧基、i-甲基i-叔丁氧基乙氧基、i-甲晷i-環(huán)戊氧基乙氧基i-甲募i-環(huán)己氧基乙氧基、i-甲基-i-降冰片氧基乙氧基、i-甲基-i-冰片氧基乙氧基、i-甲基i-苯氧基乙縫、l-甲基Hi-萘i^)乙氧基i-甲基i-15節(jié)氧基乙氧基、l-甲基-l-苯乙氧基乙氧基、l-環(huán)己基l-甲氧基乙氧基、1-環(huán)己基i-乙氧基乙氧基i-環(huán)己蟇i-正丙縫乙氧基、i-環(huán)練i-異丙氧基乙M、i-環(huán)己蟇i-環(huán)己氧基乙氧基、i-環(huán)己蟇i-魏基乙氧基i-環(huán)己蟇i-節(jié)氧基乙氧基、i-苯基i-甲氧基乙氧基、i-苯蟇i-乙氧基乙氧基i-苯吝i-正丙氧基乙氧基、i-苯基i-異丙氧基乙氧基i-苯基i-環(huán)己氧基乙氧基、i-苯基i-苯氧基20乙氧基、l-苯基l-豫基乙氧基、l-節(jié)基l-甲氧基乙竊、l-節(jié)基l-乙氧基乙氧基、l-節(jié)基-l-正丙氧基乙氧基、l-節(jié)蟇l-異丙氧基乙氧基、l-節(jié)蟇l-環(huán)己氧基乙氧基、l-節(jié)基l-苯氧基乙氧基、l-節(jié)基-l-節(jié)氧基乙氧基、1-甲氧基環(huán)戊氧基、1-甲氧基環(huán)己氧基、2<2-甲基四氫呋喃萄氧基、2<2-甲基四氫枇喃萄氧基等。在這些縮酮形成性官能團(tuán)中，雌l-甲S4-甲氧基乙氧基或l-甲基l-25環(huán)己氧基乙氧基。(A)聚合物優(yōu)選是含有(al)、(a2)以及(a3)的聚合性混合物在上述式(l)或上i2^(2)標(biāo)的化糊的雜下進(jìn)行活性自由錢合得至啲聚合物，其中，所述(al)為選自不飽和羧酸和不飽和羧酸斷以下將這些總稱為"化，(al)")中的至少一種；所述(a2)為含有環(huán)氧乙烷基或氧雜環(huán)丁基的不飽和化合物(以下稱為30"化合物(a2)");所逸a3)為除(al)和(a2)以外的不飽和化合物，是M中沒有縮醛結(jié)構(gòu)、縮酮結(jié)構(gòu)或叔丁氧基羰基結(jié)構(gòu)的不飽和化合物(以下稱為"化合物(a3)")。例如，(A)聚合物可以通過如下方法制備在適當(dāng)?shù)娜軇┲?，在聚合引發(fā)齊訴口上述式(1)或(2)表示的化合物的存在下，使含有化合物(al)、化合物(a2)和5化合物(a3)的聚合性混合物進(jìn)行活性自由錄合。由此得到的(A)聚合物所具有的羧基來自化合,，環(huán)氧乙織或氧雜環(huán)丁基來自化糊(a2)。聚合物(A'1)雌魏過在適當(dāng)?shù)姆瓫_，在聚合弓1發(fā)齊卿上述式(1)爽2)表示的化合物的存在下，使含有化合物(a2)、化合物(a3)和化合物(a4)的聚合性混合物進(jìn)行活性自由基聚合得至啲聚合物，其中，所述化合物(a4)為分子中具io有選自縮醛結(jié)構(gòu)、縮酮結(jié)構(gòu)和叔丁氧基羰基結(jié)構(gòu)中的至少一種結(jié)構(gòu)的不飽和化合物(以下稱為"化合物(a4)")。另外，聚合物(A'2)雌在適當(dāng)?shù)姆?，在聚合弓l發(fā)齊訴口上述式(l)爽2)標(biāo)的化，的雜下，使含有化合物(a2)和化合物(a3)的聚合性混糊進(jìn)fr活性自由錢合得到的聚，。i^化合物(al)(a4)都，是具有自由合性的化，。15下面，對用于制it(A)聚^^(A')聚合物的活性自由S^合進(jìn)行說明。關(guān)于將聚合性不飽和化働或其混合物進(jìn)行自由錢合的自由錢合弓l發(fā)劑體系，有多種提案，例如M.K.Georgesetal.，Macromolecules,1993，Vol.26，p.2987中公開了所謂的TEMPO體系；Matjjaszewski改al.，Macromolecules,1997，Vol.30，p.7348中公開了含有溴化銅和含溴酯化合物的組合的體系；20Hamasaki，S.etal,，Macromolecules,2002，Vol.35，p.2934中公開了含有四氯化碳和釕(II)絡(luò)，的組合的體系；i)fi午3639859號(特表2000-515181號)、特表2002-500251號、特表2004-518773號、特表2002-508409號、特表2002-512653號、特表2003-527458號、特i午3634843號(特表2003-536105號公報(bào))及,2005-503452號中公開了含有25鏈轉(zhuǎn)移常數(shù)大于0.1的硫羰化，和自由基弓l發(fā)劑的組合的體系。但是，本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，含有某種聚合物的固化性樹脂組，滿足作為固化膜所要求的各種特性，且可以抑制膜形成工序中燒結(jié)時(shí)升華物的產(chǎn)生，從而完成了本發(fā)明，所述聚合物，過使用特定的硫羰化合物的活性自由基聚合得到的具有特定結(jié)構(gòu)的聚，。30在合成本發(fā)明中4頓的聚合物的活性自由錢合中，鵬上述式(1)或(2)標(biāo)的化糊。在j^:(i)中，p為i或i以上的皿，,為i4的m，更,為l或2。作為戰(zhàn)式(1)中的Z的鹵原子，例如可列舉氯原于、溴原于、氟原子等；5作為碳原子數(shù)為120的織，例如可列舉甲基、乙基正丙基異丙基正丁基異丁基仲丁基叔丁基正戊基l，l-二甲基丙基、新戊基、正己基、正庚基、正辛基、1,1-二甲^3，3-二甲基丁基、正壬基正癸基、正十二烷基、正十四烷基、正十7^烷基、正十八烷基、正二"h^等；作為碳原子數(shù)為220的烯基，例如可列舉乙烯基、烯丙基、l-丙烯基、2-丙10烯基、異丙烯基、l曙丁烯基、2-丁烯基等；作為碳原子f^620的芳基搬呵列舉苯基、l-織、2-萘基、l-蒽基、9-蒽基等；作為碳原子數(shù)為720的芳烷基，例如可列舉節(jié)基、a-甲基節(jié)基、cm-二甲基節(jié)基、苯乙基等；15作為碳原子與雜原子的合計(jì)原子數(shù)為320的1價(jià)雜環(huán)基團(tuán)，例如可列舉環(huán)氧乙麟、吖丙啶基、2-呋喃基、3-呋喃基、2-四氫呋喃基3-四氫呋喃基、1-卩比咯基、2-吡咯基、3-吡咯基、l-吡咯院基、2-吡咯烷基、34i比咯烷基、吡陣l-基吡唑-3-基、2-四氫吡喃基、3-四氫吡喃基、4-四氫吡喃基、2-于7二幾基、3-于7二Jl/基、4-于7二Jl/基、2-吡啶基、3-吡啶基、4-吡噴基、2-哌啶基、3-哌淀20基4-哌啶基、2-嗎啉基、3-嗎啉基、2-咪唑基、4-咪唑基、吲哚-l-基等。作為戰(zhàn)式(l)中的Z1的雌具體例子，例如可列舉氫原子、氟基、氯原子、羧基、十二離、十八烷基乙氧基、丁氧基羰基、苯基苯氧基、二甲基氮基、二乙基氨基、二甲基氨基羰基、二乙基氨基羰基、2-咪唑基、1-吡唑基l-柳維、基團(tuán)-P(^OXOCft)2、基團(tuán)-P(OXC晶)2、基團(tuán)-P(OX0QH^、25基團(tuán)-N(CA)N(CH》QK))CH2F、基團(tuán)-N(QH^、基團(tuán)-N(CeH5)CH3等。在J:iM(l)中，作為"l時(shí)的W的碳原子數(shù)為120的烷基、碳原子數(shù)為320的1價(jià)脂環(huán)族烴基、碳原子數(shù)為220的烯基、碳原子數(shù)為620的芳基碳原子數(shù)為720的芳烷基或碳原子與雜原子的合計(jì)原子數(shù)為320的1價(jià)，基團(tuán)和鹵原子，可以列舉與上述Z1的分別對應(yīng)的基團(tuán)或原子同樣的基30團(tuán)或原子。另外，作為碳原子數(shù)為320的1價(jià)脂環(huán)族烴基，例如可列舉環(huán)戊基、環(huán)己基、環(huán)，基、環(huán)己烯基等。作為，式(l)中『l時(shí)的Ri的,具體例子，例如可列舉氫原子、氰基、叔丁基、節(jié)基、2-(2-氰萄丙基2-縣乙基2-(2-羥萄丙基、2-羥基苯基、2<2-羧基)丙基、2<2-乙#^羰萄丙基、2<2-環(huán)氧乙'^^丙基等。5上^:(1)中p為2或2以上時(shí)R1為從碳原子數(shù)為120的烷烴中除去p愧原子得到的p價(jià)基團(tuán)、從碳原子數(shù)為620的芳烴中除去p個(gè)氫原子得到的p價(jià)基團(tuán)、或從碳原子與雜原子的^i十原子數(shù)為320的1價(jià)雜環(huán)化合物中除去p個(gè)氫原子得到的p價(jià)基團(tuán)，作為il^碳原子數(shù)為120的烷烴，例如可列舉甲烷、乙烷、丙烷、正丁烷、異丁烷、正鵬、異鵬、新鵬、正己烷、io正庚院、正辛院、正壬烷、正癸院、正十二烷、正十四烷、正十六烷、正十八烷、正二十烷等；作為碳原子數(shù)為620的芳烴，例如可列舉苯、1,4-二甲基苯、1，2,4,5-四甲基苯、1,2,3,4,5,6-六甲基苯、1,4-二異丙基苯、萘、蒽等；作為碳原子與雜原子的合計(jì)原子數(shù)為320的1價(jià)雜環(huán)化合物，例如可列舉環(huán)15氧乙烷、吖丙啶、呋喃、四氫呋喃、吡咯、吡咯烷、吡唑、四氫吡喃、于7〉、吡啶、哌啶、嗎啉等。另外，作為齒原子，可以列舉和，力的鹵原子同樣的離原子。作為，式(l)中p=2時(shí)的R1的，具體例子，例如可列舉下式g的2價(jià)基團(tuán)等。20一c—ch2—c一II6mcni^(2)中，m為2或2以上的麟，雌為24的纖，更雌為2。J^(2)中的Z2為從碳原子數(shù)為120的烷烴中除去m個(gè)氫原子得到的m價(jià)基團(tuán)、從碳原子數(shù)為620的芳烴中除去m個(gè)氫原子得到的m價(jià)基團(tuán)、25或從碳原子與雜原子的合計(jì)原子數(shù)為320的1價(jià)雜環(huán)化合物中除去m個(gè)氫原子得到的m價(jià)基團(tuán)，作為戰(zhàn)碳原子數(shù)為120的烷烴、碳原子數(shù)為620的芳烴和碳原子與雜原子的合計(jì)原子數(shù)為320的1價(jià)雜環(huán)化合吻，可以列舉和戰(zhàn)式(l)中p為2或2以上時(shí)的R1的分另樹應(yīng)的化糊同樣的化激。上述式(2)中p=2時(shí)Z2的雌具體例昔咖有1,4-棘基等。作為，式(2)中R2的碳原子數(shù)為120的烷基、碳原子數(shù)為320的1價(jià)月新族烴基、碳原子數(shù)為220的烯基、碳原子數(shù)為620的芳基、碳原子數(shù)為720的芳、碳原子與雜原子的^i十原子數(shù)為320的1價(jià)雜環(huán)基團(tuán)5和鹵原子，可以列舉和i^:(l)中p=l時(shí)的R1的分別對應(yīng)的基團(tuán)或原子同樣的基團(tuán)或原子。作為戰(zhàn)式(2)中R2的雌具體例子，可以列舉和作為J^^(1)中p=l時(shí)的R1的雌具體例子的i^基團(tuán)同樣的基團(tuán)。作為上述式(1)或戰(zhàn)式(2)所示化合物的具體例子，可以列舉下式(T-1)io(T-21)録的化，等。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage18</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage19</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage20</formula><formula>formulaseeoriginaldocumentpage21</formula>這些硫羰基硫化合物既可以單獨(dú)使用，也可以將兩種或兩種以上混合使用。5Xt活性自由錢合中艦的自由錢合引發(fā)劑沒有特別限制，可以艦通常作為自由基聚合引發(fā)劑已知的物質(zhì)，例如有27-偶氮二異丁腈、2，2'-偶氮二(2,4-二甲基戊職、2，2，-偶氮二(4-甲氧蟇2，4-二甲基戊職等偶氮化合物；過氧化苯甲酰、過氧化月桂酰、l,l'-雙(叔丁基過氧)環(huán)己烷、過氧化新戊酸叔丁酉旨等有機(jī)過氧化物；過氧化氫；含有這些過氧化物和還原劑的氧化還原類引發(fā)10劑等。這些自由基引發(fā)劑既可以賴蟲使用，也可以將兩種或兩種以上混合使用。對于活性自由錢合中頓的翻IJ，只要活性自由基不失活就沒有特另順制，例如有丙二醇一甲基醚、丙二醇一乙基醚等丙二醇一^^化^th乙二醇甲基醚乙酸酯、乙二醇乙基醚乙^IB、二乙二醇甲基醚乙酸酯、二乙二15醇乙基醚乙酸酯、丙二醇甲基醚乙酸酯、丙二醇乙基醚乙酸酯、二丙二醇甲基醚乙酸酯、二丙二醇乙基醚乙酸酯寧聚)亞皿二醇烷Si!乙酸酯化^th二乙二醇二甲基醚、二乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二乙基醚、二丙二醇二甲基醚、二丙二醇甲基乙基醚、二丙二醇二乙基醚寧聚)亞烷基二醇二皿醚化她20四氫卩夫喃等其它il化合物；甲基乙基酮、環(huán)己酮、2-庚酮、3-庚酮等酮化合物；雙丙酮斷即4-羥S4-甲基Zfe^-2-,、4-羥S4-甲基己爍2-酮等酮醇化合物；乳酸甲酯、學(xué)L酸乙酯等乳麟基酯化，；2-羥吝2-甲基丙酸乙酯、羥基乙酸乙酯、2-羥基3-甲基丁酸甲酯、3-甲氧基丙25酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、3-甲蟇3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基3-甲錢丁基丙酸酯、乙酸乙酉旨、乙酸正丙酯、乙酸異丙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、甲酸正戊酯、乙酸異戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸異丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸乙酯等其它酯化，；5甲苯、二甲苯等芳烴化合吻；N-甲掛比咯烷酮、N,N-二甲基甲醐安、N,N-二甲基乙醐安等醐刻七^tl等。在這些翻J中，考慮到帝喊固化性樹月離，時(shí)各成分的溶解性、鵬形成性等，雌丙二醇一甲基醚、乙二醇一甲基醚乙酸酯、丙二醇一甲繊乙酸酉旨、丙二醇一乙基醚乙酸酯、二丙二醇甲基醚乙酸酯、二乙二醇二甲、二io乙二醇甲基乙基醚、二丙二醇二甲基醚、環(huán)己酮、2-庚酮、3-庚酮、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酉旨、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、甲酸正戊酯、乙,戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸異丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸乙酯等。Jl^翻J既可以單獨(dú)使用，也可以將兩種或兩種以上混合使用。l5在活性自由錢合中，相對于全部不飽和化合物100重量份，戰(zhàn)式(l)或戰(zhàn)式(2)標(biāo)的化合物的{頓量雌為0.150重量份，更雌為0.216重量份。相對于飾不飽和化合物100重量份，自由錢合引發(fā)齊啲^頓量優(yōu)選為0.150重量份，更雌為0.120重量份。聚合鵬雌為0150。C，更雌為50120。C，聚合時(shí)間雌為10辦中20小時(shí)，更雌為30辦中206小時(shí)。為了合爽A)聚合物而^^使用的化合物(al)皿自具有自由合性的不飽和羧酸和不飽和羧酸酐中的至少一種?；痎t/(al)例如有一元羧酸、二元羧酸、二元羧酸酐、多元羧酸的一[(甲萄丙烯酰氧基烷基]酯、兩鄉(xiāng)分別具有羧凝啦基的聚合物的-i甲基)丙烯酸25酯、具有羧基的多環(huán)化^tl及其酸酐等。另外，在本說明書中，"(甲萄丙烯酸酯"是將丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯綜合了的船。"(甲萄丙烯?？?等其它類似的用語也應(yīng)作同樣的。作為它們的具體例子，可列舉如下一元羧酸有例如丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸等；30二元羧酸有例如馬來酸、富馬酸、檸康酸、中康酸、衣條二元羧酸酐有例如作為，二元羧,lj舉的上述化合物的酸酐等；多元羧酸的一[(甲萄丙烯酰氧基烷萄酯有例如琥珀酸一[2"(甲萄丙烯酰氧基乙蜀酯、苯二甲酸一[2《甲萄丙烯酰氧基乙萄酯等；兩末端分別具有羧凝啦基的聚合物的1甲萄丙烯酸酯有例如碰錢己內(nèi)5酉旨1甲萄丙烯酸酯條具有羧基的多環(huán)化合物及其酸酐有例如5-羧基二環(huán)[2.2.1庚-2-烯、5，6-二羧基二環(huán)[2.2.1庚曙2-烯、5誦羧基5-甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基二環(huán)[2.2.1]庚畫2-烯、5-羧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5醫(yī)羧勒-乙基二環(huán)[2.2.1]庚醫(yī)2-烯、5，6>二羧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯的酸酐等；10在這，質(zhì)中，，f，一元羧酸、二元羧酸的酸酐，從共聚反應(yīng)性、相對于堿性7jC溶液的溶解'隨容易獲得的角度考慮，特別雌{頓丙烯酸、甲基丙烯酸、馬來酸酐。這，質(zhì)既可以單獨(dú)使用，也可以組合使用。另外，在活性自由錢合時(shí)，可以在利用適當(dāng)?shù)腲^^^戰(zhàn)化^/(al)具有的羧基或酸酐基進(jìn)行聚合后，進(jìn)行脫傲戶。15為了合賄A)聚合物爽A，)聚合物而雌4頓的化儲(a2)是具有自由錢合性、且含有環(huán)氧乙烷基戯^jfr基的不飽和化合物。具有環(huán)氧乙烷基的化合物(a2)有例如丙烯酸縮7K甘油酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、a-乙基丙烯酸縮7jC甘油酯、a-正丙基丙烯酸縮水甘油酯、a-正丁基丙烯酸縮7jC甘油酯、丙烯酸3,4-環(huán)氧乙烷基丁酯、甲基丙烯酸3，4-環(huán)氧乙烷基丁20酯、a-乙基丙烯酸3，4-環(huán)氧乙烷基丁酯、丙烯酸6，7-環(huán)氧乙烷基庚酯、甲基丙烯酸6,7-環(huán)氧乙烷基庚酯、a-乙基丙烯酸6，7-環(huán)氧乙烷基庚酯、丙烯酸p-甲基縮7jC甘油酯、甲基丙烯酸p-甲基縮水甘油酯、丙烯酸P"乙基縮水甘油酯、甲基丙烯酸P-乙基縮7jC甘油酯、丙烯酸P-正丙基縮7jC甘油酯、甲基丙烯酸IHE丙基縮水甘油酯、丙烯酸3,4-環(huán)氧乙烷餅己酯、甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧乙烷fflF己25酉縛具有環(huán)氧乙織的羧酸酯化，；鄰乙烯基節(jié)基縮7K甘油醚、間乙烯基節(jié)基縮水甘油醚、對乙烯基節(jié)水甘油,具有環(huán)氧乙烷基的醚化^l等。另外，具有氧雜5fT基的化合物(a2)有例如丙烯酸3-乙基3-氧糾丁酯、甲基丙烯酸3-乙蟇3-氧雜ifT酯等。30在這些化^tl(a2)中，從共聚反應(yīng)性和提高得到的固4的強(qiáng)度方面考慮，優(yōu)選甲基丙烯,7K甘油酯、甲基丙烯酸6，7-環(huán)氧乙^^庚酯、甲基丙烯酸3,4-環(huán)氧乙烷餅己酯、甲基丙烯酸P-甲基縮7K甘油酯、鄰乙烯基節(jié)基縮水甘油醚、間乙烯基節(jié)基縮7jC甘油醚、對乙烯基節(jié)基縮7jC甘油醚、甲基丙烯酸3-乙基3-氧雜環(huán)丁酯等。5Jd^化合物(a2)既可以斜蟲使用，也可以將兩種或以上混合使用。為了合爽A)聚合物或(A')聚合物而，使用的化合物(a3)是斷al)和(a2)以夕卜的具有自由錢合性的不飽和化合物，是分子中沒有縮醛結(jié)構(gòu)、縮酮結(jié)構(gòu)或叔丁氧基羰基結(jié)構(gòu)的不飽和化，。化合物(a3)有例如甲基丙烯酸烷基酯、丙烯酸烷基酯、甲基丙烯酸環(huán)烷基io酯、具有羥基的甲基丙烯酸酯、丙烯酸環(huán)烷基酯、甲基丙烯酸芳基酯、丙烯酸芳基酯、不飽和二元羧酸二酯、二環(huán)不飽和化合物、馬來酰3BK化合物、不飽和芳香族化糊、共軛二麟。作為這些化，的具體例子，甲基丙烯M^酯有例如甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸仲丁酯、甲基丙烯酸叔丁酯、15甲基丙烯酸2-乙基己酯、甲基丙烯^^癸酯、甲基丙烯酸正十二皿酯、甲基丙烯酸十三麟酯、甲基丙烯酸正十八驢酯等；丙烯麟基酯有例如丙烯酸甲酯、丙烯麟丙酯等；甲基丙烯酸環(huán)烷基酯有例如甲基丙烯酸環(huán)己酯、甲基丙烯酸2-甲,己酯、三環(huán)[5,2丄(P]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯、三環(huán)[521伊6]癸烷-8-基氧基乙基甲基丙烯20酸酯、甲基丙烯^)K片萄々乂求口二^)酯等；具有羥基的甲基丙烯酸酯有例如甲基丙烯酸羥基甲酯、甲基丙烯酸2-羥基乙酯、甲基丙烯酸3-羥基丙酯、甲基丙烯酸4-羥基丁酯、二乙二醇一甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸2,3-二羥基丙酯、2-甲基丙烯酰氧乙基糖苷(2—y夕夕U口豐^工于^^U〕廿^卜0、甲基丙烯酸4-羥基苯酯、聚乙二醇一25甲基丙烯酸酯、聚丙二醇一甲基丙烯酸酯等；丙烯酸環(huán)^S酯有例如丙烯酸環(huán)己酯、丙烯酸2-甲餅己酯、三環(huán)[5.2丄0^6]癸烷國8-基丙烯酸酯、三環(huán)[5.2丄0^]癸烷-8-難基乙基丙烯酸酯、丙烯酸^ftK片基酯等；甲基丙烯酸芳基酯例如東甲基丙烯酸苯酯、甲基丙烯,酯導(dǎo)30丙烯酸芳基酯有例如丙烯酸苯酯、丙烯,酯等；不飽和二元羧酸二酯有例如馬來酸二乙酯、富馬酸二乙酯、衣康酸二乙酯等；二環(huán)不飽和化合鵬例如二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-乙基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-甲氧基二環(huán)[2.2.1〗庚-2-烯、5-乙氧基1[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二甲氧基二環(huán)[2.2.1〗庚-2-烯、5，6-二乙氧基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-叔丁氧基羰基5二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-環(huán)己flS羰基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-苯f(S羰基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5,6-r(叔丁氧基羰基)二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5,6-r(環(huán)B^竊羰基)二環(huán)[2.2.1]庚畫2-烯、5<2，-羥基乙萄二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5,6曙二羥基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(羥基甲萄二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(2，-羥基乙萄二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥蟇5-甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥蟇5-乙基二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、5-羥基甲蟇5-10甲基二環(huán)[2.2.1]庚-2-,;馬來M胺化合物有例如N-苯基馬來酰亞胺、N-環(huán)己基馬來酰亞胺、N-芐基馬來酰亞胺、N-琥珀酰亞氨募3-馬來酰亞氨基苯甲酸酯、N-琥珀酰亞氨基"4-馬來酰亞氨基丁酸酯(71^三卜7于k一卜)、N-琥珀酰亞氨S"6-馬來M氨基己酸酯、N-琥珀StM氨蟇3-馬來mM氨基丙酸酯、N《9-吖啶萄馬來酰鵬等；15不飽和芳香族化糊有例如苯乙烯、a-甲基苯乙烯、間甲基苯乙烯、對甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、對甲氧基苯乙烯等；共軛二烯有例如1，3-丁二烯、異戊二烯、2,3-二甲基1,3-丁二烯等；其它不飽和化合物有例如丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏氯乙烯、丙烯,、甲基丙烯,、乙酸乙烯酯、(甲萄丙烯酸四漏縛。20其中，使用甲基丙烯,基酯、甲基丙烯酸環(huán)烷基酯、具有羥基的甲基丙烯酸酯、二環(huán)不飽和化合物、不飽和芳香族化合物、共軛二烯，其中，從共聚反應(yīng)性和相對于堿性7jC溶液的溶解性的角度考慮，特別雌苯乙烯、甲基丙烯酸叔丁酯、三環(huán)[5.2丄0^6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯、對甲縫苯乙烯、丙烯酸2-甲基環(huán)己酯、1，3-丁二烯、聚乙二醇一甲基丙烯酸酯、聚丙二醇一甲基丙25烯酸酯、二環(huán)[2.2.1]庚-2-烯、甲基丙烯酸四氮糠酯。這些化合物物既可以單獨(dú)使用，也可以組合使用。為了合成(A')聚合物而優(yōu)選使用的化合物(a4)是分子中具有選自縮醛結(jié)構(gòu)、縮酮結(jié)構(gòu)和叔丁氧基羰基結(jié)構(gòu)中的至少一種結(jié)構(gòu)的不飽和化合物?；衔?a4)有例如具有選自縮醛結(jié)構(gòu)、縮酮結(jié)構(gòu)和叔丁氧基羰基結(jié)構(gòu)中的30結(jié)至少一種構(gòu)的降冰片烯類化合物(以下稱為"特定降冰片烯類化合物")、具有選自縮醛結(jié)構(gòu)和縮酮結(jié)構(gòu)中的至少一種結(jié)構(gòu)的(甲萄丙烯酸酯化合物(以下稱為"特定(甲萄丙烯酸酯化合物")、(甲萄丙烯膨叔丁酯等。J^特定降冰片烯類化合物的具體例子有例如2,3-二(1-甲氧基乙氧基羰基"-降冰片烯、2,3-;1-叔丁氧基乙氧基羰萄畫5-降冰片烯、2,3-ZXl-賴基乙5f(^羰基)-5-降冰片烯、2,3-1!(1-甲吝1-甲氧基乙氧基羰基>5-降冰片烯、2，3-二(1-甲基1-異丁氧基乙^^羰基)-5-降冰片烯、2，3-二((環(huán)己基)(乙氧蜀甲氧基羰基)-5-降冰片烯、2,3-二((節(jié)基)(乙^^)甲錢羰基)~5-降冰片烯、2，3-ZX四氫呋喃-2-^(S羰基)-5-降冰片烯、2,3-ZX四都比膝2-基HS羰基"-降冰片烯、2，3-;叔丁氧基羰基)-5-降冰片,。ioJd^特定(甲萄丙烯酸酯化合物的具體例子有例如(甲萄丙烯酸1-乙氧基乙酯、(甲萄丙烯酸1-正丙氧基乙酯、(甲萄丙烯酸1-正丁氧基乙酯、(甲萄丙烯酸1-異丁氧基乙酯、(甲蜀丙烯酸K環(huán)戊氧基)乙酯、(甲萄丙烯酸1<環(huán)己氧萄乙酯、(甲萄丙烯酸l"(l，l-二甲基乙氧蜀乙酯、(甲萄丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酯等。15在這些化合物(a4)中，tt^特定(甲萄丙烯酸酯化^I或(甲萄丙烯酸叔丁酯，特別雌甲基丙烯酸1-乙乙酯、甲基丙烯酸1-異丁縫乙酯、甲基丙烯酸l-(環(huán)戊氧萄乙酯、甲基丙烯酸K環(huán)己氧基)乙酯、甲基丙烯酸l"(U-二甲基乙氧基)乙酯、(甲基)丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酯或甲基丙烯酸叔丁酯。這，選的化合物(a4)共聚反應(yīng)性高，得到保存穩(wěn)定性和平坦化性能優(yōu)良的固化20性樹月離，的同時(shí)，對提高得至啲固j機(jī)的耐熱性、表面5頓是有效的。，不飽和化合物(a4)既可以單獨(dú)使用，也可以將兩種或兩種以上混合使用。如J^f述，(A)聚，雌是含有化合tKal)、化^l(a2)和化^t/(a3)的聚合性混合物&id^(l)爽2)所示的化合物存在下進(jìn)fr活性自由S^合得到的聚25，o另一方面，作為(A，)聚，的雌方式之一的聚^;(A，i)雌是含有化合物(a2)、化合物(a3)和化合物(a4)的聚合性混合物在，式(l)爽2)所示的化合物存在下進(jìn)行活性自由錢合得到的聚合物。另外，作為(A')聚合物的另一種優(yōu)選方式的聚合物(A，2)，是含有化合物(a2)和化合物(a3)的聚合性混合物在上30述式(l)^(2)所示的化^J存在下進(jìn)fi^活性自由,合得到的聚合物。在(A)聚合物中，以由化合物(al)、(a2)和(a3)銜生的結(jié)構(gòu)單元總量為基準(zhǔn)，由化合物(al)衍生的結(jié)構(gòu)單元的含量優(yōu)選為550重1%，更優(yōu)選為10~40重M%，進(jìn)一步優(yōu)選為1030重量％。這時(shí)，如果該結(jié)構(gòu)單元的含量低于5重量%，則得到的固化膜的強(qiáng)度贓、耐熱性、耐化學(xué)藥品性有降低的傾向，另一方面，5如果超過50重*%，貝陏時(shí)固化性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性降低。以由化合物(al)、(a2)和(a3)衍生的結(jié)構(gòu)單元總量為基準(zhǔn)，本發(fā)明中使用的(A)聚合物含有由化化合物(a2)銜生的結(jié)構(gòu)單元1070重量％,特別優(yōu)選含有2060重量%。當(dāng)該結(jié)構(gòu)單元低于10重量%時(shí)，得到的固化膜的耐熱性、表面硬度有降低的傾向，另一方面，當(dāng)該結(jié)構(gòu)單元的量超過70重量%時(shí)，固化性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性有降低的傾向。以由化合物(al)、(a2)及(a3)衍生的全部結(jié)構(gòu)單元為基準(zhǔn)，本發(fā)明中使用的(A)聚合物優(yōu)選含由化合物(a3)衍生的結(jié)構(gòu)單元570重量％,更優(yōu)選含有1060重量%，進(jìn)一步i優(yōu)選含有2050重量%。當(dāng)該結(jié)構(gòu)單元低于5重量%時(shí)，固化性樹脂組合物的保存穩(wěn)定性有降低氏的傾向，另一方面，當(dāng)超過70重量%時(shí)，在形成固化膜的顯影工序中，有時(shí)難以溶解于堿性水溶液。祖(A'1)聚合物中，相對于所有重復(fù)單元，來自化合物(a2)的重復(fù)單元的含量優(yōu)選為1070重量％，特別優(yōu)選為2060重量％。當(dāng)來自化合物(a2)的重復(fù)單元的含量低于10重5%時(shí)，保護(hù)膜的耐熱性、表面硬度有降低的傾向，另一方面，當(dāng)超過70%時(shí)，組合物的保存穩(wěn)定性有降低的傾向。(A，l)聚合物中來自化合物(a4)的重復(fù)單元的含量優(yōu)選為5—0重量％，特別優(yōu)選為1050重量％。通過將來自化合物(a4)的重復(fù)單元的含量設(shè)定在該范圍內(nèi)，可以實(shí)現(xiàn)保護(hù)膜的良好的耐熱性和表面硬度。(A，l)聚合物中來自化合物(a3)的重復(fù)單元的含量為從100重量％中減去來自化合物a2)和化合物(a4)的重復(fù)單元的合計(jì)含量得到的量，相對于全部重復(fù)單元，其優(yōu)選為1080重量％，更,為優(yōu)選2060重量％。在(A'2)聚合物中，來自化合物(a2)的重復(fù)單元相對于所有重復(fù)單元的含量優(yōu)選為190重量％，特別優(yōu)選為4090重量％。當(dāng)來自化合物a2)的重復(fù)單元的含量低于1重量％時(shí)，固化膜的耐熱性、表面硬度有降低的傾向，另一方面，如果超過90重量,則組合物的保存穩(wěn)定性有降低的傾向。(A'2)聚合物中來自化合物(a3)的重復(fù)單元的含量為從100重量％中減去來自化^(a2)的重復(fù)單元的含量得到的量。如JJf述，本發(fā)明中^ffl的(A)聚^tJ爽A')聚合物Ji3I31將不飽和化合物進(jìn)療活性自由基聚合得到的，在活性自由錢合時(shí)，將戰(zhàn)式(l)或Jd^式(2)表示的化合物用作舒量控制劑。因此，(A)聚糊、(A，)聚合物中具有來自于上5^;(l)表示的化合物的下式(i)^的基團(tuán)或來自于，式(2)表示的化，的下式00表示的基團(tuán)。SII——C一S—(i)(式①中，Z和戰(zhàn)攻l)中的定義相同，式(ii)中，2和m與上述式(2)中的定義io相同)。其中，上喊i)標(biāo)的基團(tuán)^t位于(A)聚合物魂A，謬，的^^0本發(fā)明中4頓的(A)聚合物爽A')聚^t/用繊滲跪譜法測定的聚苯乙烯換算重均肝量(以下稱為"Mw")與棘乙烯換算數(shù)均舒量(以下稱為"Mn")之比(Mw/Mn)為1.7或1.7以下，優(yōu)選為1.5或1.5以下。如果Mw/Mn1.7，15貝U有附尋到的固4鵬的耐熱性不足。Mw雌為2X1031X105，更雌為5X1035X104。如果Mw低于2X103,則有時(shí)組合物的涂布性不夠，或者得至啲固化膜的耐熱性不足。另一方面，如果Mw超過lX105，則有時(shí)靈鵬或得到的固化膜的平坦化性能不夠。MniM為1.2X1031X105，更雌為2.9X1W5X104。要說明的是，，比Mw/Mn應(yīng)以2位有效數(shù)字(小數(shù)點(diǎn)以后201位)的精確;gi^ffi刊介。而且，本發(fā)明中f頓的(A)聚合物爽A')聚^tl滯賺滲跪譜法測定的殘留單體量雌小于5.0%，更雌小于3.0%，特別雌小于2.0%。MiH頓這樣的殘留單體含量的共聚物，可以得到燒結(jié)時(shí)的升減少的固化性樹脂組合物。25本發(fā)明的固化性樹臌且，含有如上戶牖的(A)聚合物爽A')聚合物。在不影響本發(fā)明的效果的范圍內(nèi)，本發(fā)明的固化性樹月離^)可以將(a:)聚，爽a，)聚合物的一部分用其它聚，代替。這時(shí)，在制備組合物時(shí)，可以將另外合成的其它聚合物混合j鯛，或者也可以在合爽a)聚合物爽a，)聚合物時(shí)，S31將Jd^(l)爽2)，的化合物和其它^^量控制劑，例如ct-甲基苯乙烯二聚物、5叔十二烷硫醇等一種或一種以上并用，將其它聚^t/與(A)聚，^(A，)聚合物—起合成而艦的方法。含有(a)聚合物的固化性樹月彰且^tHM為:除了聚，(a)之外，還含有(B)聚合性不飽和化儲和(c)鄉(xiāng)線鵬性聚合引發(fā)齊啲組^tl(以下有時(shí)稱為"第一組合物")；除了(A)聚合物之外，還含有p)l》醌二疊氮化合物io(1，2—牛乂；^7^F化合物)的組，(以下有時(shí)稱為"第二組糊")；或除了(a;)聚合物之外，還含有(e)陽離子聚合性化合物的組^tl(以下有時(shí)稱為"第三組^tl")。第三組^^^含有(f)固化劑^(g)自生劑。另一方面，含有(a')聚合物的固化性樹脂組合物，為除了(a')聚合物之外，還含有(e)陽離子聚合性化，的組合頓以下有時(shí)稱為"第四組，")，15或者含有第一液和第二液的二液型固化性樹脂組合物，所述第一液含有(a')聚合物和(e)陽離子聚合性化合物，所述第二液含有(io固化劑(以下有時(shí)稱為"第五組，")。在此，作為(a，)聚，，碟四組合物中雌為上述(a，1)聚合物爽a，2)聚合物，在第五組合物中優(yōu)選為上述(a，2)聚合物。第四組合物優(yōu)選還含有(f)固化劑爽g),生劑。20下面對第一至第五組，依次進(jìn)，明。<第一組^#>第一組合物雌為含有(a)聚合物、(B)聚合性不飽和化，和(c)娜線敏感性聚合弓l發(fā)劑的娜線idi性樹脂組^Jo25作為用于第一組合物的(a)聚合物的tm具體例子，可列舉例如苯乙烯/甲基丙烯酚三環(huán)[5.2.1伊6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯/甲基丙烯酸縮水甘油酯共聚物、苯乙烯/甲基丙烯酶三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基甲基丙烯酸醵甲基丙烯酸縮水甘油酉i/l,3-丁二烯共聚物、苯乙烯/甲基丙烯敏丙烯酶甲基丙烯酸節(jié)酚甲基丙烯酸正丁醱甲基丙烯酸3-乙基-3-氧雜環(huán)丁酯共聚物、苯乙烯/甲基丙烯膨甲30基丙烯^f酉g/甲基丙烯酸四織酉^甲基丙烯酸甲基縮7K甘油酯共聚物等。第一組合物中伏選^的(B)聚合性不飽和化^Wt選2官能或2官能以上的(甲萄丙烯酸酯。作為2官能(甲萄丙烯酸酯，可列鄉(xiāng)咖乙二醇丙烯酸酯、乙二醇甲基丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、1，6-己二醇二甲基丙烯酸酯、1,9-壬二醇二丙5烯酸酯、1,9-壬二醇二甲基丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、四乙二醇二甲基丙烯酸酯、聚丙二醇二丙烯酸酯、聚丙二醇二甲基丙烯酸酯、)^氧基乙醇荷二丙烯酸酯、)51^乙,二甲基丙烯酸酯等。這樣的2官能的(甲萄丙烯酸酯的市售品有例如7口二、:;夕義M-210、7口二、v夕乂M-240、7口二、v夕又M-6200(以上為東亞合成(株)制)、10KAYARADHDDA、KAYARADHX-220、KAYARADR掘、UX陽2201、UX曙2301、UX-3204、UX-3301、UX4101、UX4101、UX-710KUX-810KMU-2100、MU400i(以上為日本化藥(株)制)、匕7:n—卜260、匕x:i—卜312、匕7〕一卜335HP(以上為大阪有機(jī)化學(xué)IDlk(株)帶J)等。3官能或3官能以上的(甲萄丙烯酸酯有例如三羥甲基丙^H丙烯酸酯、15三羥甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、^戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇五甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、三(2-丙烯酰氧基乙基)磷酸酯、三(2-甲基丙烯酰氧基乙萄磷酸酯等，除Jlfct外，還有由具有1MM烷M鵬環(huán)結(jié)構(gòu)且具有2個(gè)或2個(gè)以上異氰酸酯基20的化，與肝內(nèi)具有1個(gè)或1個(gè)以上羥基且具有351X甲萄丙烯酰M的化糊反應(yīng)得到的尿烷丙烯酸,urethaneacrylate誘化糊等。3官能或3官能以上的(甲萄丙烯酸酯的市售品有例如r口二y夕久M-309、7口二、:;夕又400、7口二y夕久402、7口二7夕久405、7口二、y夕又450、7口二y夕又-1310、7口二y夕又-1600、7口二、y夕又-251960、7口二"夕又-7100、7口二y夕又-8030、7口二、v夕又-8060、7口二y夕久-8100、7口二、V夕又-8530、7口二、V夕又-8560、f口二y夕又-9050、7口二、:;夕又TO-1450(以上為東亞合成(株)銅J)、KAYARADTMPTA、KAYARADDPHA、KAYARADDPCA-20、KAYARADDPCA-30、KAYARADDPCA-60、KAYARADDPCA-120、KAYARADMAX-3510(以上為日本化藥30(株)制)、匕X〕一卜295、t:'7:3—卜300、匕Xn—卜360、tl'7〕一卜GPT、匕'7〕一卜3PA、匕7〕一卜400(以上為大阪有機(jī)化學(xué)工業(yè)(株)糊、作為尿烷丙烯酸酯類化合物的二工一7口:/于7R-1150(第一工業(yè)制藥(株)鄉(xiāng)、KAYARADDPHA-40H(日本化藥(株)帝ij)等。在本發(fā)明中，(B)聚合性不飽和化合物既可以單獨(dú)使用，也可以將兩種或5兩種以上混合艦。相對于100重量^(A)聚^tl，第一組^/中(B)聚合性不^^口化^t/的使用量雌為10150錢份，進(jìn)一步雌為20120重量份。當(dāng)(B)聚合性不飽和化，的{頓量低于10重量份時(shí)，有形鵬厚均勻的涂膜變得困難的傾向，另一方面，如果^1150M份，則有其與的密合性斷氐的傾向。10第一組合物中優(yōu)選使用的(C)放射線敏感性聚合引發(fā)劑是感應(yīng)放射線而產(chǎn)生可以弓l發(fā)問聚合性不飽和化合物聚合的活性種的成分。這樣的(C)放射線敏感性聚合弓l發(fā)劑可以^t使用例如放射線敏感性自由錄合引發(fā)劑。作為±^方謝線性自由錢合弓l發(fā)劑，可列鄉(xiāng)i洳丁二酮等a-二酮；15苯偶姻等偶姻；苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻異丙醚等偶姻醚；噻噸酮、2,4-二乙基噻噸酮、噻噸H4遞酸、Z^甲酮、4,4，-觀二甲基氨萄二苯甲酮、4,4，-雙(二乙基氨蜀二苯甲酮等二苯甲酮類；苯乙酮、對二甲基氨基苯乙酮、4-(叫，-二甲氧基乙酰氧萄二苯甲酮、27-二甲氧S"2-苯基苯乙酮、對甲氧基苯乙酮、2-甲基2-嗎啉Hl-(4-甲硫基苯教methylthiophenyl》-l-丙酮、2-芐20蟇2-二甲基氨蟇K4-嗎啉代苯基》丁烷-l-,苯乙,；蒽醌、1,4-萘醌等醌;苯甲酰甲基氯、三溴甲基苯基砜、三(三氯甲基)-s-三嗪等卣化物；2，4，6-三甲基苯甲酰二苯基氧化膦、雙(2,6-二甲氧基苯甲酰)-2,4,4-三甲基戊基氧化膦、雙(2,4，6-三甲基苯甲酰)苯魏化,?；?揚(yáng)；二-叔丁基過氧化物等有機(jī)過氧化物等。25放射線敏感性自由基聚合引發(fā)劑的市售品有例如IRGACURE"124、IRGACURE-149、IRGACURE484、IRGACURE"369、IRGACUR&500、IRGACURE-651、IRGACURE819、IRGACURE"907、IRGACUR&腦、IRGACURE^1700、IRGACUR&1800、IRGACURE"1850、IRGACURE"2959、Darocur-1116、Darocur-1173、Darocur-1664、Darocur-2959、Darocur"4034(以上30為于八*久《、〉中^于Y亇^力^X公司制)、KAYACURE"DETX、KAYACURE-MBP、KAYACURE~DMBI、KAYACUR&"EPA、KAYACURE"OA(以上為日本化藥(株)制)、LUCIRINTPO(BASF公司制)、VICUR&10、VICURE-55(以上為STAUFFER公司制)、TRIG0NALP1(AKZ0公司制)、SANDORAYIOOO(SANDOZ公司制)、DEAP(APJOHN公司制)、5QUANTACUR&PDO、QUANTACURE"TDC、QUANTACURE"EPD(以上為WARDBLEKINSOP公司帶J)等。這樣的(C)放射線敏感性聚合弓l發(fā)齊呵以單獨(dú)艦，也可以將兩種或兩種以上混合艦。相對于100重量你A)聚，，第一組，中(C)方熵線敏感性聚合引發(fā)劑io的f頓量鵬為l40重量份，進(jìn)—步雌為335重量份。當(dāng)(C)娜線敏感性聚合引發(fā)齊啲4頓量低于1重量份時(shí)，有時(shí)得到的固鵬的耐熱性職面硬度、耐化學(xué)藥品性斷氐，另一方面，如果艦40重量份，貝隨明性有斷氐的，一組合物中，通過將1種或多種放射線敏感的敏化劑和(C)放射線敏15感性聚合引發(fā)劑并用，還可以得到由空氣中的氧導(dǎo)致的失活少、髙靈鵬的放射線敏感性固化性樹脂組糊。這樣的放射線敏感的敏化齊陏例如N-甲基Z1乙醇胺、4,4，-雙(二甲基氨基)二苯甲酮、4,4，-雙(二乙基氨萄二苯甲酮、對二甲基氨基苯甲酸乙酯、對二甲基氨基苯甲酸異戊酯、2,4-二乙基噻噸酮、噻噸酮4-磺酸等。在這些敏化劑20中，雌4，4，-觀二乙基氨萄1甲酮或2，4-二乙基噻噸酮。這些方謝線敏感的敏化齊阿以同時(shí)艦兩種或兩種以上。相對于100重量斷C)方M線敏感性聚合引發(fā)劑，JL^Mt線敏感的敏化劑的使用比例iM為40重量份或40M份以下，進(jìn)一步,為20重量份或20重量份以下。如果方鄉(xiāng)線敏感的敏化劑的艦比例鵬40重量份，貝瞎時(shí)容25易發(fā)生顯^留。除了上述(A)聚合物、(B)聚合性不飽和化合物和(C)放射線敏感性聚合引發(fā)劑以外，在不影響本發(fā)明的效果的范圍內(nèi)，第一組合物可以根據(jù)需要含有除上述以外的任意添加劑。可以配合例如粘結(jié)助劑、表面活性劑、保存穩(wěn)定劑、耐熱性提高劑等任繊口劑。30上述粘結(jié)助劑是可用于提高得到的固化膜與的粘結(jié)性的成分。這樣的粘結(jié)助劑雌具有羧基、甲基丙烯?；⒁蚁┗惽杷狨セ?、環(huán)氧基等反應(yīng)性官能團(tuán)的官能性^偶聯(lián)劑，其具體例子有三甲氧基甲，基苯甲酸、，甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙酰氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、，異氰酸酯基丙基三乙氧基硅烷、Y-環(huán)氧丙氧丙基三甲氧基硅5烷、|3-(3，4-環(huán)氧環(huán)己萄乙基三甲*1麟等。這些粘結(jié)助齊阿以鄲似頓，也可以將兩種或兩種以上混合娜。相對于100錢傲A)聚，，粘結(jié)助劑的配^t雌為20SS份或20重量份以下，進(jìn)1，為15重量份或15重量份以下。如果粘結(jié)助劑的配合M3120重量份，貝陏時(shí)容易發(fā)頻繊留。ioJ^面活性劑是可用于提高涂布性的成分。這樣的表面活性齊l鵬例如氟類表面活性劑、聚職烷類表面活性劑等。戰(zhàn)麟表面活性布K^m主鏈和側(cè)鏈的至少任一，位具有氟代烷基和/或氟代亞烷基的化合物，其具體例子有例如1，1,2,2-四氟正辛對1,152,2-四氟正丙基)醚、1，U,2-四氟正辛教正己萄醚、六乙二醇二(1,1,2,2,3,3-六氟正15戊蜀醚、八乙二醇二(1,1,2,2-四氟正丁萄醚、六丙二醇Zl(l,1^2又^-六氟正戊萄醚、八丙二醇qi，l，2;2-四氟正丁基)醚、魏正十二烷基磺,、U，2，2,3,3-六氟正癸烷、l丄2，2,8,8,9,9,10,10-十氟正十二烷、氟代烷基苯磺酸鈉、氟代垸基磷,、氟代'驢羧,、二甘油四(氟代烷錢氧乙烯i&、氟代烷基碘化銨、氟f^S甜娜、其它氟f^S^氧乙烯醚、全^S^羥基乙lf(perfluoro20alkylpolyoxyethanol)、全氟烷基烷氧基化物(perfluoroalkylalkoxylate)、羧酸氟代縫酯等。M^表面活性劑的市售品有例如:BM-1000、BM-1100(以上為BMCHEMIE公司制)、/對77、乂夕F142D、y"7:r、:/夕Fl72、y對7:r、:/夕Fl73、/"7:r、乂夕F183、y"77、:/夕F178、乂力77、乂夕F191、25乂對7:r7夕F471、/方7:r、乂夕F476(以上為大日本4>*化學(xué)工業(yè)(株)制J)、7口，一HFO170C、7口，一H-171、7口，一H430、:7口，一H"431(以上為住友》U—工厶(株)制)、廿一7口〉S-112、廿一7口〉S-113、廿一7口〉S-131、廿一7口〉S-141、廿一7口〉S-145、廿一!7口〉S-382、廿一7口〉SC-101、廿一7口〉SC-102、廿一7口〉SCM03、廿一7口〉SC-30104、廿一7口〉SC-105、廿一:7口〉SC-106(以上為旭硝子(株)制)、工7卜、乂:/EF301、工:7卜、乂7EF303、工:7卜y7。EF352(以上為新秋田化成(株)制)、7夕一^工〉卜FT誦100、7夕一2工〉卜FT-110、7夕一2工〉卜FT-140A、7夕一2工〉卜FT-150、7夕一^工〉卜FT-250、7夕一^工〉卜FT-251、7夕一;^工〉卜FT-300、7夕一2工>卜FT-310、57夕一^工〉卜FT400S、7夕一^工〉卜FTX-218、7夕一2工^卜FTX-251(以上為(株)木才》帶J)等。J^聚硅酮類表面活性劑，可以歹U舉用如下商品名市售的物質(zhì)，例如有1~WJ〕一〉DC3PA、J"WJ〕一〉DC7PA、卜一WJ〕一^SH11PA、J~WJ:3—〉SH21PA、io1^—WJ〕一〉SH28PA、1~U^U〕一〉SH29PA、11/^U〕一〉SH30PA、卜一I^〉U〕一〉SH-190、卜一l^U〕一〉SH-193、卜一WJ〕力SZ德2、1WJ〕一〉SF-8428、1^一WJ〕一〉DC-57、卜一l^〉U〕一〉DC-190(以上為東l/.歹0〕一二>^〕一>(株)15帝ij)、TSF4440、TSF4300、TSF4445、TSF4446、TSF4460、TSF4452(以上為GE東芝〉D〕一>(株)鄉(xiāng)等。另外，作為戰(zhàn)以外的表面活性劑，可以歹U舉聚氧乙烯十二^、聚氧乙烯十八烷基醚、聚氧乙烯油基醚等聚氧乙烯烷基醚；聚氧乙烯正辛基苯基醚、聚氧乙烯正壬基苯基醚等聚氧乙烯芳基醚；聚氧乙烯二月桂酸酯、聚氧乙20烯二硬脂酸酯等聚氧乙烯二烷基酯等非離子型表面活性劑、有機(jī)硅氧織合物KP341(信越化學(xué)工業(yè)(株)制)、(甲基)丙烯酸類共聚物求ij7口一No.57、求U7C3—No.95(以上為共榮社化學(xué)(株)娜等。這驟面活性劑可以斜蟲鵬，也可以將兩種或兩種以上混合艦。相對于100重量斷A)聚糊，表面活性齊啲配賴雌為1.0重量份或1.025重量份以下，進(jìn)一步雌為0.5重量份或0.5重量份以下。這時(shí)，如驗(yàn)面活性劑的配合翻過1.0重量份，則有時(shí)容易發(fā)生膜厚度不勻。作為戰(zhàn)保存穩(wěn)定劑，可列咖硫、酉跌、氫醌類、多氧化，、胺類、硝基亞硝基化合物等，更具體地可以列舉4-甲氧基苯酚、N-亞硝募N-苯基羥胺鋁等。30這對呆存穩(wěn)定齊呵以斜蟲艦，也可以將兩種或兩種以上混合^頓。相對于100錢斷A)聚，，保存穩(wěn)定劑的配縫雌為3.0重量份或3.0重量份以下，進(jìn)一步雌為0.5重量份或0.5重量份以下。這時(shí)，如果保存穩(wěn)定齊啲配^S^13.0錢份，可能會使靈鵬陶氐，圖案微劣化。作為上述耐熱性提髙劑，可列鄉(xiāng)ij如N《烷氧基甲萄甘脲化合物、N-(烷5氧基甲萄蜜胺化，、具有2個(gè)或2個(gè)以上環(huán)氧乙烷基的化，等。作為上述1SK烷氧基甲基)甘脲化合物，可列舉例如N,N,N，,N，-四(甲氧基甲萄甘脲、N，N,N，-四(乙氧基甲基)甘脲、N,N，N，-四(正丙氧基甲基)甘脲、NXN，,N，-四(異丙縫甲基)甘脲、N，N，N，W-四(正丁氧基甲基)甘脲、N^N'W-四(叔丁氧基甲萄甘脲等。io在這些N"(烷氧基甲萄甘脲化，中，雌N，N,N，"，-四(甲氧基甲萄甘脲。作為戰(zhàn)1SK烷縫甲萄蜜胺化糊，可歹U辦銣N,N,N，W,N"，N"-六(甲氧基甲基)蜜胺、N^NW,N，WW-六(乙氧基甲基)蜜胺、N,N，N，^N，，N",N"-六(正丙氧基甲萄蜜胺、N,N,NW，N",W'-六(異丙氧基甲萄蜜胺、N,NW，N'W,N"-15六(正丁氧基甲萄蜜胺、N凡N，,N，,N"W-六(叔丁縫甲萄蜜胺等。在這些N-(烷氧基甲萄蜜胺化糊中，鶴N，N,NW，N"，N"-7^(甲氧基甲基)蜜胺，其市售品有例如二力，、乂夕N-2702、二力，、乂夕MW-30M(以上為三和少$力A(株)帝J)等。作為上述具有2個(gè)或2個(gè)以上環(huán)氧乙烷基的化合吻，可列舉例如乙二醇二20縮7K甘油醚、二乙二醇I^i水甘油醚、三乙二醇二縮7jC甘油醚、聚乙二醇J7jC甘油醚、丙二醇l7jC甘油醚、二丙二醇二縮7jC甘油醚、三丙二醇Z^7jC甘油醚、聚丙二醇二縮水甘油醚、新戊二醇rii7K甘油醚、1,6"己二醇rii水甘油醚、甘油二縮7jC甘油醚、三羥甲基丙^H^水甘油醚、氫tt^酚A二縮7K甘油醚、雙酚A二縮水甘油醚等。25具有2個(gè)或2個(gè)以上環(huán)氧乙烷基的化合物的市售品有例如工求，汀卜40E、工求，^T卜100E、工求，吖卜200E、工求，^f卜70P、工求，^卜200P、工求，汀卜400P、工求，^f卜1500NP、工求，十卜80MF、工求，^卜100MF、工求，一卜1600、工求，吖卜3002、工求，一卜4000(以上為共榮社化學(xué)(株)審J)等。30這些耐熱性提高齊呵以賴蟲艦，也可以將兩種或兩種以上混合艦。第一組合物^1將上述(A)聚她(B)聚合性不飽和化合物和(C,線敏感性聚合弓l發(fā)劑以及任意添加的其它成分均勻混合而制備的。第一組合物優(yōu)選溶解于適當(dāng)?shù)募ぶ僖匀芤籂頭OT。例如，可ii3i在適當(dāng)?shù)霓o仲將Jd^(A)聚合物、(B)聚合性不飽和化合物和(C)放射線敏感性聚合弓l發(fā)劑以及任意添加5的其它成分以規(guī)定比例混合，制備溶液狀態(tài)的,線敏感性樹H離，。對于制備第一組合物所用的mij，OT均勻溶if(A)聚合物、(B)聚合性不飽和化合物和(C)方謝線敏感性聚合引發(fā)齊似及任意配合的其它成分的各成分，且與各成分不反應(yīng)的,廿。作為這樣的溶劑，可以列舉與作為在制備上述(A)聚合物中可以使用的溶10齊IJ例/謝的激胴樣的翻廿。在這樣的自U中，從各成分的溶解性、與各成分的反應(yīng)性和形^^膜的容易性等方面考慮，,使用例如醇、乙二醇醚、乙二醇烷基醚乙酸酯、酯和二乙二醇。其中，特別雌f頓例如芐醇、2-苯乙S享、3-苯S-l-丙醉、乙二醇一丁基醚乙酸酯、二乙二醇一乙基醚乙酸酯、二乙二醇二乙基醚、二乙二醇乙基15甲基醚、二乙二醇二甲基醚、丙二醇一甲基醚、丙二醇一甲基醚乙酸酯、甲氧基丙酸甲酯、乙丙酸乙酯。而且，也可以將高沸點(diǎn)翻嶼J^翻拼用。S31并用體的高沸點(diǎn)翻IJ，可期望提高膜厚的面內(nèi)均勻性的效果。作為可以并用的高沸點(diǎn)」，可列，iJ如N-甲基甲,、N^N-二甲基甲ifei安、N-甲基甲酰替苯胺、N-甲基乙Stl安、20N^-二甲基乙醐安、N-甲掛比咯烷酮、二甲亞砜、節(jié)基乙基醚、二戰(zhàn)醚、丙酮基丙酮、異佛爾酮、己酸、辛酸、l-辛醇、l-壬醇、乙,酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、馬來酸二乙酯、，丁內(nèi)酯、碳酸亞乙酯、碳酸亞丙酯、乙二醇一苯醚乙酸酯等。其中，雌N-甲勘比咯烷酮、，丁內(nèi)酯、N，N-二甲基乙,。在并用髙沸點(diǎn)翻U作為第一組合物的翻'財(cái)，相對于激脇量，其艦量25itii為50重量％或50重量％以下，更皿為40重1%或40重量％以下，進(jìn)一步優(yōu)選為30重量％或30重量％以下。如果高沸點(diǎn)溶劑的OTM31該OT量，貝陏時(shí)凃膜的膜厚均勻性、靈鵬和鄉(xiāng)率陶氐。在將第一組，制備^^液狀態(tài)時(shí)，溶液中翻似外的成分的比例，即(A)聚合物、(B)聚合性不飽和化合物和(C)方謝線敏感性聚合弓l發(fā)劑以及任意添加30的其它成分的^i十量的比例，可以根據(jù)艦?zāi)康?、所需的膜厚值等任意設(shè)定，例如可以設(shè)定為580重量％，值因第一組，溶液的使用方法而異。對此將在后面進(jìn)行牽誠。這樣制備的組，溶液可以在用孔徑為0.5,左右的微孑兇濾器、膜濾器等過濾后供于艦。〈第二組嫩第二組合物雌為含有(A)聚合物和(D)l,2-醌二疊氮化，的放射線敏感性樹月離她作為用于第二組合物的(A)聚合物的,具體例子，可列舉例如甲基丙烯io敏苯乙烯/三環(huán)[5.2丄0^癸烷-8-基甲基丙烯酸酉^甲基丙烯酸縮水甘油酉^/甲基丙烯酸四氫糠酯共聚物、甲基丙烯敏苯乙烯/三環(huán)[5.2丄0^癸烷-8-基甲基丙烯酸酚甲基丙烯酸縮水甘油酉l/對乙烯基節(jié)基縮7jC甘油敏甲基丙烯酸四織酯共聚物、甲基丙烯敏苯乙烯/三環(huán)[521,]癸烷-8-基甲基丙烯酸酚甲基丙烯酸縮水甘油酚聚乙二醇一甲基丙烯酸酯共聚物、甲基丙烯酶苯乙烯/三環(huán)[5.2丄0^]癸15烷-8-基甲基丙烯酸酉i/甲基丙烯酸縮7jC甘油酚聚丙二醇一甲基丙烯酸酯共聚物等。第二組合物中4頓的(D)l，2-醌二疊氮化糊^ili^J"線照射產(chǎn)生羧酸的1,2-醌二疊氮化合物，可以艦酚性化合物或醇性化合物(以下稱為"母核")與1，2-萘醌二疊氮磺酰鹵的縮，。20該母g例如三羥基1甲酮、四羥基1甲酮、五羥基二苯甲酮、六羥基二苯甲酮、(聚羥基苯基);^圣、其它母核。作為這徵質(zhì)的具體例子，可分別列對口下三羥基二苯甲酮有例如2,3,4-三羥基Z^甲酮、2，4，6-三羥基1甲酮等；四羥基二苯甲酮有例如2，2'，4,4，-四羥基二苯甲酮、2,3,4,3，-四羥基:i^甲酮、252,3,4,4，-四羥基Z^甲酮、2，3,47-四羥4，-甲基:^甲酮、2,3,4,4，-四羥蟇3'-甲氧基二苯甲酮等；五羥基二苯甲酮有例如-2,3A2',6'-碟基:^甲酮等；六羥基二苯甲酮有例如2，4，6，3',4，,5'-六縫:^甲酮、3,4，5,3，,4',5'-娥基二苯甲酮等；30(聚羥基苯基)烷烴有例如觀2，4-二羥基苯萄甲烷、XX(對羥基^^)甲烷、三(對羥基苯基)甲烷、l,l,l-三(對羥基苯萄乙烷、雙(2，3,4-三羥基苯萄甲烷、(2,3,4-三羥基苯萄丙烷、U，3-三(2,5-二甲S-4-羥基苯基)"3-苯基丙烷、4,4，-[1-[4-[l-[4-羥基苯基]-l-甲基乙閨苯基]亞乙萄雙酚、雙(2，5-二甲^4-|5^苯萄-2-羥基苯基甲烷、3，3，3，,3，-四甲基-1,1，-螺二茚-5,6,7,5，,6，，7，-己醇、2又4-三甲基-57,2,,4,-三羥基黃烷等；其它母核有例如2-甲蟇2~(2,4-二羥基苯基>4"(4-羥基苯基>7-羥基色滿、2-[雙{(5-異丙^4-羥蟇2-甲萄苯基}甲蜀、1-[1<3-{1>{4-羥基苯基)4-甲基乙萄"4,6-二羥基苯萄-1-甲基乙閨-3<1，{1<4-羥基苯基)-1-甲基乙基}-4,6-二羥基苯基)~l-甲基乙基)苯、4,6-雙{1~(4-羥基苯基)-1-甲基乙對-1,3-二羥基苯等。io另外，也可以艦將上述列舉過的母核的酉纖妙TO鍵的1,2湊醌二疊氮磺醐安類，例如，2,3,4-三羥基二苯甲爵1，2湊醌二疊氮4-磺醐安等。在鵬母核中，雌2,3,4,4，-四羥基二苯甲酮或4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙閨苯基]亞乙基]。l;萘醌二疊氮磺酰卣優(yōu)選1》萘醌二疊氮磺酰氯，作為其具體例子可列15舉1,2-萘醌二疊氮-4-磺酰iWl1,2-萘醌二疊氮-5-磺酰氯，其中，^^f頓1,2-萘醌二疊氮-5-磺酰氯。在縮合反應(yīng)中，相對于酚性化，或醇性化合物中的OH基l當(dāng)量，iM使用相當(dāng)于3085摩爾％、更優(yōu)選5070摩爾％的1,2-萘醌二疊氮磺酰鹵?？s合g可以利用公知的方法來實(shí)施。20(D)l,2-醌二疊氮化合物可以單獨(dú)使用，也可以將兩種或兩種以上組合使用。相對于100重量斷A)聚糊，P)12-醌二疊氮化溯的4鯛比例雌為5100重量份，更^it為1050重量份。當(dāng)該比例低于5重量份時(shí)，有時(shí)放射線照浙部分和未照謝部分在作為顯影液的堿性水溶液中的溶解度差小，有時(shí)25難以形成圖案，或者有時(shí)得到的固化膜的耐熱性和耐翻雌不夠。另一方面，當(dāng)該比例皿100M份時(shí)，有時(shí)方M線照謝部分在Ji^減阪Jc溶液中的溶解度不充分，難以進(jìn)行顯影。第二組合物除了含有上述(A)聚糊和(D)l,2-醌二疊氮化合物以外，可以根據(jù)需要含有(B)聚合性不飽和化，、熱敏性酸發(fā)生劑、環(huán)ft^脂、粘結(jié)助劑、30表面活性劑等。上述(B)聚合性不飽和化合物與上述作為第一組合物的優(yōu)選構(gòu)成成分的相同。其中，相對于100重量^(A)聚合物，第二組合物中(B)聚合性不飽和化合物的^ffl量,為50SS份或50重量份以下，更,為30重量份或30重量份以下。5通過以這樣的比例含有(B)聚合性不飽和化合物，可以提髙得到的固化膜的耐熱性、表面硬度等。如果該fOTM3！50重量份，則有時(shí)在皿上形成組，的涂膜的工序中會發(fā)生膜,。J^熱敏性敝生劑可用于提高得到的固傾的耐熱性、硬度。作為其具體例子，可列舉例如锍鹽(其中不包括三芳基锍鹽)、苯并噻唑鏡鹽、銨鹽、io鐫鹽^l鹽。作為上述锍鹽的具體例子，可列舉例如^锍鹽、節(jié)鹽、二節(jié)基锍鹽、取代節(jié)繊鹽等。這纖鹽的具體例子可分別列對嚇^S锍鹽有例如4-乙酰苯基二甲基锍六氟銻酸鹽、4-乙酰氧基苯基二甲15基f^氟砷鵬、二甲S4^C^^羰基氧萄苯基I^氟銻,、二甲^4《苯甲酰氧萄苯纖AM銻,、二甲^H苯甲酰氧萄苯基锍六氟砷,、二甲基一3-氯4-乙酰氧基苯^氟銻,等；節(jié)繊鹽有例如節(jié)^4-羥基苯基甲^氟銻、芐勤-羥基苯基甲基锍六氟磷酸鹽、4-乙酰氧基苯基節(jié)基甲纖六氟銻酸鹽、節(jié)基4-甲氧基苯基甲基20锍六氟銻酸鹽、節(jié)基-2-甲S4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、節(jié)吝3-氯-4-羥基苯基甲基l^砷,、4-甲#^節(jié)^4-羥基苯基甲基|^^磷等；二節(jié)纖鹽有例如二節(jié)^4-羥基苯基IIAM銻酸鹽、二節(jié)^4-羥基苯纖六氟磷麟、4-乙酰氧基苯基二節(jié)基锍AM銻麟、二節(jié)^4-甲f^苯基锍六氟銻酸鹽、二節(jié)基-3-氯~4-羥基苯基锍六氟砷酸鹽、二節(jié)蟇3-甲S4-羥基5-叔丁25基苯基锍AM銻麟、節(jié)S4-甲氧基節(jié)S4-羥基苯SIIA氟磷,等；取代節(jié)基锍鹽有例如對氯節(jié)^4-羥基苯基甲,7^M銻,、對硝基節(jié)S4-羥基苯基甲基锍AM銻酸鹽、對氯節(jié)^4-羥基苯基甲基锍六氟磷酸鹽、對硝基節(jié)基3-甲*4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、3,5-二氯節(jié)勤-羥基苯基甲基锍六氟銻、鄰氯節(jié)基3-氯4-羥基苯基甲纖7^C銻離等。30作為上述苯并噻,鹽的具體例子，可列舉3-節(jié)基苯并噻,^^銻酸鹽、3-節(jié)基苯并噻,六氟磷酸鹽、3-節(jié)基苯并噻自四氟硼酸鹽、3<對甲氧基節(jié)基)苯并噻,AM銻酸鹽、3-節(jié)基2-甲硫基苯并噻,7^t銻酸鹽、3-芐基5-,并噻,A^銻,等節(jié)基苯并噻自鹽。其中，優(yōu)選使用锍鹽或苯并噻唑像鹽，特別^t使用4-乙酰氧基苯基二5甲基锍六氟砷酸鹽、節(jié)S4-羥基苯基甲基锍六氟銻酸鹽、4-乙酰氧基苯基節(jié)基甲基歉氟銻酸鹽、二節(jié)S4-羥基苯纖六氟銻酸鹽、冬乙酰錢苯基節(jié)基锍六氟銻或3-節(jié)基苯并噻,^^銻,。這些物質(zhì)的市售品有例如廿>工<卜'SI-L85、廿>工<HSI-L110、廿〉工^卜*SI-L145、廿>工<卜'SI-L150、廿>工<卜'SI-L160(以上為三新io化學(xué)工業(yè)(株)糊等。相對于100重量^(A)聚^J,第二組^l中的熱敏性,生劑的使用比例，為20mfi份或20M份以下，更,為5重量份或5重量份以下。當(dāng)該<頓量艦20重量綱，有時(shí)在涂膜形成工序中會有析出物析出，給涂膜的形成帶來障礙。15上述環(huán)氧樹脂只要對其它成分或溶劑的相溶性沒有影響，就沒有特別限帝ll，可雌列舉娜A型環(huán)flM脂、苯職型iy^^f型環(huán)fw脂、甲酚線型酚醛清漆型環(huán)氧樹脂、環(huán)柳旨臓環(huán)氧樹脂、縮水甘油酯型環(huán)氧樹脂、縮7jC甘油胺型環(huán),脂、姊式環(huán)氧樹脂、將甲基丙烯酸縮7jC甘油酯(共)聚合而成的樹月誇。在這ll^質(zhì)中，進(jìn)一步ifci^l酚A型環(huán)氧樹脂、甲,型m^清漆20型環(huán),脂、縮7K甘油酯型環(huán),月縛。相對于100重量^KA)聚，，第二組，中的環(huán)氧樹脂的使用比例為30重量份或30Mfi份以下。ffi31以這樣的比例含有環(huán)氧樹脂，可以進(jìn)一步提髙得到的固化膜的耐熱性、表面硬度等。如果該比例艦30重量份，貝贓繊上形成組合物的涂膜時(shí)，有時(shí)凃膜的膜厚均勻性不夠。25另外，(A)聚合物具有環(huán)氧乙烷基時(shí)，(A)聚合物也可以稱為"環(huán)糊脂"，但(A)聚合物在可溶于堿方面和戰(zhàn)環(huán),脂不同。第二組合物中可以含有的粘結(jié)助齊訴喊面活性劑與上述的第一組^f可以含有的粘結(jié)助劑和表面活性劑相同。第二組合物魏過將上述(A)聚合物和(D)l，2-醌二疊氮化合物以及任意添30加的其它成分均勻混合而制備的。第二組合物,溶解于適當(dāng)?shù)娜軇┲幸匀芤籂顟B(tài)fOT。例如，可a^在適當(dāng)?shù)娜軇┲袑i^(:A)聚^/和(D)i^醌二疊氮化，以及任意添加的其它成分以規(guī)定比例混合，制備溶液狀態(tài)的固化性樹脂組，。用于制備第二組合物的自U，使用能均勻溶^(A)聚合物和(D)l,2-醌二疊5氮化，以及任意配合的其它成分的各成分，且和各成分不皿的，1』。這種翻訴吐述的可用于制備第一組合物的翻湘同。組合液中翻似外的成分的比例，即(A)聚糊和(D)1,2-醌二疊氮化合物以及任^I加的其它成分的合計(jì)量的比例，可以根據(jù)使用目的、所需的膜厚值等任意設(shè)定，例如，可以設(shè)定為550M0/。，,為1040重1%，進(jìn)一步iM為1535重1%。io第二組合物溶液可以在用孔徑為0.5阿左右的微孑[J1濾器、膜濾器等過濾后供于艦。<第三組*第三組合物優(yōu)選為含有(A)聚合物和(E)陽離子聚合性化合物的一液型15(—液型調(diào)化性樹脂組^tl。作為用于第三組合物的(A)聚合物的,具體例子，可列舉例如丙烯酸縮水甘油酚丙烯酚三環(huán)[5.2丄0^癸烷-8-基丙烯酸酉|/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮7jC甘油酉l/甲基丙烯酶三環(huán)[5.Zl,]癸烷-8-基甲基丙烯酸il/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酚甲基丙烯酚甲基丙烯酸甲酚苯乙烯共聚物、甲基丙烯20酸縮7K甘油酉i/甲基丙烯酚丙烯酸環(huán)己酚對甲氧基苯乙烯共聚物、丙烯酸縮水甘油醱丙烯,-苯觀來m膨苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮7K甘油醱甲基丙稀^N-苯基馬來^I0勢苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮7K甘油酉E/甲基丙烯酸/N-環(huán)己基馬來酰則彭苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酚甲基丙烯敏三環(huán)[5.2丄0^]癸烷-8-基甲基丙烯酸酚1,3-丁二烯共聚物、甲基丙烯酸6,7-環(huán)氧乙垸25基庚醱甲基丙烯^/三環(huán)[521伊6癸烷-8-基甲基丙烯酸醵苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲基丙烯酚三環(huán)[5.2丄CF]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯/苯乙烯/1,3-丁二烯共聚物、甲基丙烯酸6,7-環(huán)氧乙烷基庚酉|/丙烯酚馬來酸酐/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸6,7-環(huán)氧乙烷基庚酚丙烯酚馬來酸酐/甲基丙烯酸叔丁酯共聚物等。30其中，進(jìn)一步雌甲基丙烯酸縮水甘油酚甲基丙烯敏三環(huán)[5.21伊6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酉|/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酉g/甲基丙烯敏N-苯基馬來膨苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮7jC甘油酉l/甲基丙烯,-環(huán)戰(zhàn)馬來,勤苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酉|/甲基丙烯敏三環(huán)[5.2丄(^6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酚l,3-丁二烯共聚物或甲基丙烯酸縮水甘油醱甲基丙烯隞三環(huán)5[5.2丄0^]癸烷-8-基甲基丙烯酸酚苯乙烯/1，3-丁二烯共聚物。第三組合物中使用的(E)陽離子聚合性化合物是除(A)聚合物或(A，)聚合物以外的陽離子聚合性化合吻。對于這樣的(E)陽離子聚合性化合物，只要在酸性割牛下可以聚合，就沒有特別限制，可以列辨銣肝內(nèi)具有2個(gè)或2個(gè)以J^自氧雜JfT烷環(huán)骨io架、3，4-環(huán)氧乙烷基環(huán)己基和環(huán)氧乙院基中的至少一種基團(tuán)的化合物等具有可以和(A)聚合物中,含有的環(huán)氧乙烷基或氧雜環(huán)丁基進(jìn)行加成反應(yīng)的基團(tuán)的化嫩作為這樣的(E)陽離子聚合性化合物的具體例子，可以列舉如下所述的化，。15肝內(nèi)具有2個(gè)或2個(gè)以上氧雜環(huán)丁烷環(huán)骨架的化合物有例如3,7-觀3-氧雜環(huán)丁基)-5-氧雜壬烷、3,3，-(1,3-(2-亞甲基(/f)丙二基雙(氧基亞甲基))雙(3-乙錄糾丁夠、1,4-雙((3-乙蟇3-氧^ifT萄甲氧基甲基)苯、1,2-雙((3-乙蟇3-氧雜環(huán)丁萄甲氧基甲萄乙烷、1,3-雙((3-乙吝3-氧雜環(huán)丁萄甲氧基甲萄丙烷、乙二醇觀(3-乙蟇3-驗(yàn)環(huán)丁萄甲萄醚、二環(huán)雌基觀(3-乙晷203-氧雜環(huán)丁萄甲蜀醚、三乙二醇雙((3-乙蟇3-氧雜環(huán)丁萄甲萄醚、四乙二醇雙((3-乙蟇3-氧糾丁萄甲萄醚、三環(huán)癸:1二亞甲基雙((3-乙蟇3-氧雜環(huán)丁萄甲萄醚、三羥甲基丙烷三((3-乙基3-驗(yàn)環(huán)丁萄甲萄醚、1,4-雙((3-乙基3-氧雜環(huán)丁萄甲氧基)丁烷、1,6-雙((3-乙基-3-氧雜環(huán)丁萄甲氧萄己烷、季戊四醇三((3-乙基-3-氧雜環(huán)丁萄甲萄醚、季戊四醇四((3-乙基-3-氧雜環(huán)丁萄甲萄25醚、聚乙二醇觀(3-乙蟇3-氧雜環(huán)丁萄甲基)醚、二季戊四醇六((3-乙基3-氧雜環(huán)丁萄甲萄醚、二季戊四醇五((3-乙基3-氧雜町萄甲萄醚、二季戊四醇四((3-乙基3-氧糾丁萄甲萄醚、二季戊四醇六((3-乙蟇3-氧雜環(huán)丁萄甲基)醚和丁內(nèi)酯的鵬產(chǎn)物、二季戊四醇五((3-乙基3-氧雜町萄甲萄醚和丁內(nèi)酯的反應(yīng)產(chǎn)物、^H羥甲基丙烷四((3-乙吝3-^fT萄甲萄醚、雙酚A觀(3-乙蟇3-30氧^fT萄甲萄醚和環(huán)氧乙烷的^S^產(chǎn)物、雙酚Ar((3-乙基3-驗(yàn)ifT萄甲萄醚和環(huán)氧丙烷的鵬產(chǎn)物、M/ft^酚A觀(3-乙蟇3-氧^ifT萄甲萄醚和環(huán)氧乙垸的反應(yīng)產(chǎn)物、氫化雙酚A雙((3-乙蟇3-氧棘丁萄甲萄醚和環(huán)氧丙烷的反應(yīng)產(chǎn)物、娜F觀(3-乙基3-f(^F丁萄甲萄醚和環(huán)氧乙烷的反應(yīng)產(chǎn)物等。5肝內(nèi)具有2個(gè)或2個(gè)以上3，4-環(huán)氧乙^f縫的化糊有例如3,4-環(huán)氧乙烷,己基甲吝3，,4，-環(huán)氧乙烷,己烷羧酸酯、2-(3,4-環(huán)氧乙烷,己基-5，5-膝3,4-環(huán)氧乙烷萄環(huán)己烷-間-二嗯烷(乂夕—-才豐廿>)、觀3,4-環(huán)氧乙烷新己基甲萄己二酸酯、雙(3,4-環(huán)氧乙烷基6-甲餅戰(zhàn)甲萄己二酸酯、3，4-環(huán)氧乙烷基6-甲餅a^3，,4，-環(huán)氧乙織6，-甲WF己烷羧酸酯、亞甲基觀3,4"io環(huán)氧乙烷基環(huán)己輸、二環(huán)戊二烯二環(huán)氧化物、乙二醇雙(3，4-環(huán)氧乙烷餅己基甲蜀醚、亞乙基觀3，4-環(huán)氧乙^^己烷羧酸酯)、內(nèi)酯改性3,4-環(huán)氧乙烷餅dS甲蟇3，,4，-環(huán)氧乙^fflF己烷羧酸酯等。作為分子內(nèi)具有2個(gè)或2個(gè)以上環(huán)氧乙烷基的化合物，可列舉例如,A1zK甘油醚、Fril7jc甘油醚、雙酚S二縮水甘油醚、氫4fc^酚A二15縮7jC甘油醚、氮4^FI^7K甘油醚、氧^TOAD二縮7jC甘油醚、溴4W酚A17K甘油醚、溴化雙酚F，7K甘油醚、溴^^mS二縮7乂甘油醚這樣的雙酚化Ml的1水甘油醚；1,4_丁二醇二縮水甘油醚、1，6-己二醇二縮7K甘油醚、甘油三縮7K甘油醚、三羥甲基丙烷，7K甘油醚、聚乙二醇二縮7K甘油醚、聚丙二醇^7Kt油醚這樣20的多元醇的，水甘油醚；M乙二醇、丙二醇、甘油這樣的脂肪族多元醇與一種、或者兩種或兩種以上的氧4楊反應(yīng)得到的聚醚多元醇的聚縮7K甘油醚；苯,型m^清漆型環(huán)氧樹脂、甲酚線型酚醛清漆型環(huán)輸脂、聚酚型環(huán)糊脂、環(huán)柳旨TO環(huán),月i^樣的環(huán)氧樹脂；25脂臓長鏈二元酸的二縮7jCt油酯；高級多元脂肪酸的，7jC甘油酯等；除ltfct外，還有環(huán)氧乙烷基化大豆油、環(huán)氧乙^S4tt麻子油等。作為舒內(nèi)具有2個(gè)或2個(gè)以上環(huán)氧乙'離的化，的市售品，可分別列舉如下30多元醇的聚縮水甘油醚有例如工示，4卜100MF(共榮社化學(xué)(株)制)、工匕才一^TMP(日本油脂(株)鄉(xiāng)；雙酚A型環(huán)f(M脂有例如工13—卜828、工Hm—卜1001、工tf〕一卜1002、工tf3—卜1003、工tf〕一卜1004、工t!:3—卜1007、工tf〕一卜1009、工tf〕一卜1010(以上為油化〉工A工求牛^(株)帝'J)等；5雙酚F型環(huán)氧樹脂有例如工匕:1一卜807(油化、>工;1/工求年>(株)帝'J)等；苯酚線型酚醛清漆型環(huán)氧樹脂有例如工tf〕一卜152、工tf;n—卜154、工H〕一卜157S65(以上為油化v工^工求牛^(株)制)、DPPN201、DPPN202(以上為日本化藥(株)鄉(xiāng)等；甲酚線型酚醛清f型環(huán)氧樹脂有例如DOCN102、DOCN103S、DOCN104S、io1020、1025、1027(以上為日本化藥(株)律U)、工tf〕一卜180S75(油化v工;l/工求牛^(株)鄉(xiāng)等；聚酚型環(huán)糊脂有例如工匕'〕一卜1032H60、工lf〕一卜XY4000(以上為油化、^工^工求年^(株)帝J)等；環(huán)柳旨肪族環(huán)氧樹脂有例如CY-175、CY-177、CY-179、7，^y寸卜CY曙15182、7，^歹^r卜CY192、7，^歹^f卜CY184(以上為于八、X《^卞^T吖一'亇三力^文(株)制)、DRL4221、DRL4206、DRL4234、DRL4299(以上為U.C.C公司帝'J)、v3—夕W>509(昭和電工(株)帝U)、工tf夕口>200、工tf夕口>400(以上為大日本^T(株)制)、工en—卜871、工t!3—卜872(以上為油化、>工幾工求牛^株式會公司律ij)、20DD-5661、DD-5662(以上為七，二一;C:i一xO^(株)帶J)等。在這^(E)陽離子聚合性化合物中，雌苯酚線型1^清漆型環(huán)氧樹脂、聚酚型環(huán)糊誇。在本發(fā)明中，(E)陽離子聚合性化合物可以單獨(dú)使用，也可以將兩種或兩種以上混合JOT。25對于第三組合物中的(E)陽離子聚合性化合物的使用比例，相對于100重量斷A)聚儲，(E)陽離子聚合性化^/的4頓量雌為3100重量份，進(jìn)一步雌為550重量份。在第三組合物中，M使(E)陽離子聚合性化合物的iM量在上述范圍，可以得到具有足夠的表面硬度的固化膜。特別是第三組合物的長期保存穩(wěn)定性30好o除了戰(zhàn)(A)聚，和(E:)陽離子聚合性化^;以外，第三組，雌還含有(F)固化劑爽G)敝生劑，根據(jù)需要可以含有粘結(jié)助劑、表面活性劑等。第三組合物可以含有的(F)固化劑是具有一種或一種以上可以和(A)聚合物^^含有的環(huán)氧乙^S或氧雜環(huán)丁基皿的官能團(tuán)的化^tJ。5這樣的(F)固化齊陏例如多元羧酸、多元羧酸酐、不飽和多元羧酸酐和其它烯烴類不飽和化合物的共聚物(其中不包括具有2個(gè)或2個(gè)以上環(huán)氧乙烷基或氧雜ifl基的共聚物)(以下稱為"含羧酸酐基的共聚物")等。作為戰(zhàn)多元羧酸，可列鄉(xiāng)咖脂肪族多元羧酸、脂環(huán)族多元羧酸、芳香族多元羧酸等。月旨肪族多元羧酸有例如琥珀酸、戊二酸、己二酸、1,2,3,4-丁io垸四甲酸、馬來酸、衣等；月旨環(huán)族多元羧酸有例如六氫苯二甲酸、1>環(huán)己烷二羧酸、1,2,4-環(huán)己烷三羧酸、環(huán)鵬四羧酸等；芳香族多元羧酸有例如鄰苯二甲酸、間苯二甲酸、對苯二甲酸、苯偏三酸、苯均四酸、1，2,5，8-萘四甲酸等。在這些多元羧酸中，/AR應(yīng)性、形成的固j標(biāo)15的耐熱性等觀點(diǎn)考慮，im芳香族多元羧,。戰(zhàn)多元羧酸酐有例如月旨肪族二元羧酸酐、月旨環(huán)族多元羧酸二酸酐、芳香族多元羧酸酐、含酯基的酸酐等。，脂肪族二元羧酸酐有例如衣康酸酐、琥珀酸酑、檸康酸酐、十二碳烯基琥珀酸酐、三苯氨基甲酸酐(無水卜U力W仁》酸)、馬來酸酐、六氫鄰苯二甲酸酐、甲基四氫鄰苯二甲酸20酐、氯橋酸,無水八<$、;/夕酸:)等；月旨環(huán)族多元羧酸二酸酐有例如1,2，3，4-丁烷四甲酸二酸酐、環(huán)戊烷四甲酸二酸酐等；芳香族多元羧酸酐有例如鄰苯二甲酸酐、均苯四酸二酐、偏苯三酸酐、二苯甲酮四羧酸酐等；25含酯基的酸酐有例如乙二醇二酸酐偏苯三酸酯、甘油三酸酐偏苯三酸酯等。在這些多元羧酸酐中，i^芳香族多元羧酸酐，特別是由于可得到耐熱性高的固化膜，因而tt^偏苯三酸酐。i^含羧酸酐基的共聚物中的不飽和多元羧酸酐有例如馬來酸酐、衣康酸酐、檸繊酐、順式-l,2,3,4-四氫化鄰苯二甲酸酐等。這些不飽和多元羧酸酐30可以斜蟲iM，也可以將兩種或兩種以上混合^ffl。其它烯烴類不飽和化合物有例如苯乙烯、對甲基苯乙烯、對甲氧基苯乙烯、(甲萄丙烯酸甲酯、(甲萄丙烯酸乙酯、(甲萄丙烯酸正丙酯、(甲萄丙烯,丙酯、(甲萄丙烯贓丁酯、(甲萄丙烯酸叔丁酯、(甲萄丙烯酸2-甲餅己酯、三環(huán)[5,2丄(P]癸烷-8-與甲萄丙烯酸酯、N-苯基馬來^M胺、N-環(huán)己基5馬來M胺等。這些其它烯烴類不飽和化合物既可以單獨(dú)使用，也可以將兩種或兩種以上混合艦。作為含羧酸酐基的共聚物的優(yōu)選具體例子，可列舉例如馬來酸酐/苯乙烯共聚物、行康酸酐/三環(huán)[521伊6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯共聚物等。含羧酸酐基的共聚物中的不飽和多元羧酸酐的共聚比例tm為180重量io%，更皿為1060重M0/。。M51^ffi這樣的共聚比例的共聚物，可以得到平坦化性能優(yōu)良的固4W。含羧酸酐基的共聚物的Mw，為50050，000，更,為50010,000。iffi^fOT這樣的^f量范圍的共聚物，可以得到平坦化性能優(yōu)良的固化藤。如上所述的(F)固化劑既可以單獨(dú)使用，也可以將兩種或兩種以上混合使15用。對于第三組合物中的(F)固化劑的^比例，相對于100重量傷乂A)聚，，(F)固化劑制頓量雌為100重量份或100重量份以下，更雌為180重量份，進(jìn)一步鶴為1060重量份。在第三組合物中，通過使(F)固化劑的^ffl量在上述范圍，可以不影響組20儲的長期穩(wěn)定性而進(jìn)1提髙得至,固tt^的平坦性。第三組合物可以含有的(G)酸發(fā)生劑^1過照射放射線而產(chǎn)生酸的化合物艦過加熱而產(chǎn)生酸的化合物。其中，前者稱為"方謝線敏感性酸發(fā)生劑"，后者稱為"熱敏性酸發(fā)生劑"。作為這樣的TO線i(li性,生劑，可列如二芳鎮(zhèn)鹽、三芳基锍25鹽、二芳緣鹽等。上述二芳基碘餘、鹽有例如二苯基碘條、四氟硼酸鹽、二苯基碘像六氟膦酸鹽、二苯基碘鎮(zhèn)對甲苯磺^a^4-甲氧基苯基苯基碘餓四氟硼酸鹽、4-甲氧基苯基苯基碘餓六氟膦酸鹽、4-甲氧基苯基苯基碘銀^M砷酸鹽、4-甲氧基苯30基苯基碘鎮(zhèn)三氟甲磺,、4-甲f(^苯基苯基碘銀三氟乙酸鹽、4-甲氧基苯基苯基碘鋃對甲苯磺酸鹽、雙(4-叔丁基苯基)碘餘四氟硼酸鹽、雙(4-叔丁基苯萄碘像六氟砷麟、雙(4-叔丁基苯萄碘餘三氟甲磺離、雙(4-叔丁基苯萄碘鏡三氟乙酸鹽、雙(4-叔丁基苯萄碘銀對甲苯磺酸鹽等。在這些二芳基碘錐鹽中，特別雌:^翻鎮(zhèn)AW,。5i^H芳^IK有例如3繊四氟硼鵬、H^^IAEP鵬、三苯基^A氟砷酸鹽、三苯基锍三氟甲磺酸鹽、三苯基锍三氟乙酸鹽、H^基锍對甲苯磺艦、4-甲氧基苯基二苯基锍四氟硼艦、4-甲氧基苯基二苯基锍六氟膦酸鹽、4-甲氧基苯基二苯基锍六氟砷,、4-甲氧基苯基二苯基锍三氟甲磺酸鹽、4-甲氧基苯基二苯基锍三氟乙酸鹽、4-甲氧基苯基二苯基锍對甲苯磺io酸鹽、4-苯硫基苯基二苯基四氟硼酸鹽、4-苯硫基苯基二苯基六氟膦酸鹽、4-苯硫基苯基二苯基六氟砷酸鹽、4-苯硫基苯基二苯基三氟甲磺酸鹽、4-苯硫基苯基二苯基三氟乙酸鹽、4-苯硫基苯基二苯基對甲苯磺酸鹽等。在這些三芳基锍鹽中，特別t^H^SIE氟甲磺,。，二芳自鹽有例如(l"6-T!-枯烯Xtl-環(huán)戊二烯基)^^P,等。15方謝線敏感性戯生劑的市售品可分別列對n下二芳凝典銀鹽有例如UVI-6950、UVI-6970、UVI"6974、UVI-6990(以上為:i二才y力一八？F公司糊、MPI隱103、BBI-103(以上為辦i:'?；瘜W(xué)(株)帝ij)等；三芳基锍鹽有例如7f力才7卜7—SP-150、7f力才:/卜7—SP-151、7t力才:/卜7—SP-170、7x力才7卜7—SP-171(以上為旭電化工業(yè)(株)20帝J)、CI-2481、CI-2624、CI-2639、CI-2064(以上為日本曹達(dá)(株)翁J)、DTS-102、DTS-103、NAT-103、NDS-103、TPS-103、MDS-103(以上為*i:'<9化學(xué)(株)審J)、CD-1010、CD-lOll、CD-1012(以上為廿一卜7—公司帝iJ)等；二芳錢鹽有例如01/匁牛:i7—261(于"X々:/卞幾5V，S力幾7:(株)帶J)、PCW)61T、PCI-062T、PCI-020T、PCI"022T(以上為日本化藥(株)希0等。25在這些市售品中，UVI"6970、UVI"6974、UVI-6990、7f力才7卜7—SP-170、7x力才7h7一SP-171、CD-1012、MPI-103等由于得到的硬化膜具有高的表面iffi而優(yōu)選。Jd^t線,性酸發(fā)生劑既可以與蟲艦，也可以將兩種或兩種以上混合艦。30第三組合物可以含有的熱敏性酸發(fā)生劑，可以列舉和Jd^第二組合物可以含有的熱敏性戯生齊湘同種類的化激。對于第三組，中的(G)離生劑的頓比例，相對于100重量斷A)聚合物，戯生劑的4頓量雌為20SS份或20重量份以下，更鶴為0.0520重量份，進(jìn)一步,為0.110M份。5第三組合物可以含有的粘結(jié)助劑和表面活性劑，和上述第一組合物可以含有的粘結(jié)助劑和表面活性劑相同。其中，相對于100重量份(A)聚合物，第三組，可以含有的粘結(jié)助劑的量,為30重量份或30重量份以下，更,為25SS份或25重量份以下。如果該^OT130重量份，貝陏,到的固化膜的耐熱性不足。另外，相對于100重量份(A)聚合物，第三組溯可以含io有的表面活性劑的量^l為5重量份或5錢份以下，更雌為2重量份或2重量份以下。如果該tOTl5龍份，貝陏時(shí)容易發(fā)鄉(xiāng)厚度不勻。第三組合物J^I過將上述(A)聚合物和(E)陽離子聚合性化合物以及任意添力啲其它成分均勻混合而制備的。第三組合物雌溶解于適當(dāng)?shù)?、蹄忡以溶液狀態(tài)^頓。例如，可通過在適當(dāng)?shù)娜軇┲袑⑸鲜?A)聚合物和(E)陽離子聚合性15化合物以及任歸加的其它成分以規(guī)定比例混合，制備溶液狀態(tài)的方謝線敏感性樹脂組他用于制備第三組，的^fU，能均勻溶Jlf(A)聚合物和(E)陽離子聚合性化合物以及任意配合的其它成分的各成分，且和各成分不反應(yīng)的,J。這樣的歸訴吐述可用于制備第一組，的翻,同。組合物溶液中除翻似外的成20分的比例，即(A)聚合物和(E)陽離子聚合性化合物以及任意添加的其它成分的^i十量的比例，可以根據(jù)艦?zāi)康暮退璧哪ず裰档热我庠O(shè)定，例如，可以設(shè)定為150M0/。，，為540重fi0/0。第三組合物溶液可以在用孔徑為0.5拜左右的微孑Ui濾器、膜濾器等過濾后供于艦。25〈第四組嫩第四組合m有(A')聚合物和(E)陽離子聚合性化，。第四組合^Km為將戰(zhàn)第三組合物中的(A)聚合物微爽A，謬佳得到的一M固化性樹脂組30用于第四組，的(^)聚為±3*\，1)聚，爽A'2)聚，。作為可以用于第四組合物的(A'i)聚合物的im具體例子，可列舉例如甲基丙烯酸縮水甘油酉^/丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酉g/三環(huán)[5.2.1伊6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酉|/甲基丙烯酸四氫-211-吡喃-2-基酯/三環(huán)[5.2丄02'6]癸烷-8-基甲基丙烯酸醇苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘5油酚丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基醱N-苯基馬來teE,乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮7K甘油酉g/甲基丙烯酸四氫-2H-卩比膝2-基醵N-苯基馬來iffl^乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮7K甘油酉i/丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酉^/N-環(huán)BS馬來酰鵬苯乙烯共聚物、甲基丙烯,水甘油酚甲基丙烯酸四氫-2H-吡膝2-基il/N-環(huán)縫馬來mMJ^苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酚丙烯酸K環(huán)己氧萄乙io醱三環(huán)[5.2丄02>6]癸烷-8-基甲基丙烯酸醱苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮7JC甘油酚甲基丙烯酸1-(環(huán)己氧萄乙酉1/三環(huán)[5.2丄(^]癸烷-8-基甲基丙烯酸酉^苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油醱丙烯酸H環(huán)己氧基)乙醵N-環(huán)BS馬來酰亞膨苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酉i/甲基丙烯酸H環(huán)己氧萄乙酚N-環(huán)己基馬來酰亞膨苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酯/2,3-:i(四氫吡喃-2-基15氧基羰基"-降冰片烯/三環(huán)[5.2丄02>6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酉|/苯乙烯共鄉(xiāng)、甲基丙烯酸縮7K甘油醱2,3-二(四氫吡喃-2-魏基羰每5-降冰片烯/N-環(huán)戰(zhàn)馬來M膨苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮7K甘油酚丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基,三環(huán)[5.2丄02>6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酉|/1,3-丁二烯共聚物、甲基丙烯酸縮7jC甘油酉l/甲基丙烯酸四氫-2H-吡膝2-基酉g/三環(huán)[5.2丄0^]癸烷-8-基甲基丙烯酸腺l,3-丁二20烯共聚物、甲基丙烯酸縮7K甘油酉^/丙烯酸四氣-2H-吡喃-2-基酯/甲基丙烯酸甲酉l/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮7K甘油ia/甲基丙烯酸四氛-2H-吡喃-2-基醱甲基丙烯酸甲酵苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酯倆烯酸四氫-211-吡喃-2-基酉l/丙烯酸環(huán)己酚對甲氧基苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酉l/甲基丙烯酸四氫-2H-吡膝2-基酉H/丙烯酸環(huán)己酉l/對甲氧基苯乙烯共聚物、丙烯酸縮水甘25油酚甲基丙烯蟛叔丁酚N-苯基馬來,l^乙烯共聚物、甲基丙烯麟水甘油酚甲基丙烯膨叔丁酉l/N-環(huán)戰(zhàn)馬來酰亞月鄉(xiāng)乙烯共聚物、甲基丙烯酸6，7-環(huán)氧乙烷基庚ll/丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基ii/甲基丙烯酸叔丁醱馬來酸酐共聚物、甲基丙烯酸6,7-環(huán)氧乙烷基庚醱甲基丙烯酸四氧-2H-吡喃-2-基醇甲基丙烯酸叔丁酚馬來酸酐共聚物、甲基丙烯酸6,7-環(huán)氧乙烷基庚醇甲基丙烯,丁酯30/三環(huán)[5.2丄(P]癸烷-8-基甲基丙烯酸醱苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸6,7-環(huán)氧乙;^^庚酉E/甲基丙烯酶叔丁酉l/馬來酸酐/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮zK甘油酚丙烯酸1"(環(huán)己11^)乙酉1/三環(huán)[5.21,]癸烷-8-基甲基丙烯酸酉|/*乙烯/1,3-丁二烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酚甲基丙烯酸1-(環(huán)己氧萄乙酉!/三環(huán)[5.2丄0^癸烷-8-基甲基丙烯酸醱苯乙烯/l,3-丁二烯共聚物等。5在這些物質(zhì)中，進(jìn)一步優(yōu)選甲基丙烯酸縮水甘油酯/丙烯酸四氨-2H-吡喃-2-基酉|/三環(huán)[521伊6]癸廣-8-基甲基丙烯酸酉^苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油醵甲基丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酚三環(huán)[5.2丄0^]癸烷-8-基甲基丙烯酸酉H/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮7jC甘油酉綱烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酚N-苯基馬來艦膨苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮7尺甘油酚甲基丙烯酸四氫-2&吡喃-2-10基酯/N-苯基馬來酰亞膨苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酚丙烯酸四氫-2H-吡喃-2-基酯/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酯/甲基丙烯酸四氫-2H-吡膝2-基酉i/N-環(huán)d^來酰亞月魏乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酯/丙烯酸l"(環(huán)己氧基)乙酯/N-環(huán)己基馬來酰亞胺/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酚甲基丙烯酸l"(環(huán)己氧萄乙酉l/N-環(huán)瑰馬來,胺15/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酉1/2,3-;四氫吡喃-2-錄基羰基)>5-降冰片烯/三環(huán)[5.2丄(F]癸烷-8-基甲基丙烯酸醵苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油醇2,3-Il(四氫卩比喃-2-基氧基羰基)"5-降冰片烯/N-環(huán)BS馬來3W^乙烯共聚物或甲基丙烯酸縮水甘油酚甲基丙烯酸叔丁酉l/N-環(huán)己基馬來StM麟乙烯共聚物。20作為可以用于第四組合物的(A，2)聚合物的,具體例子，可列舉例如丙烯酸縮7K甘油酉l/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酉l/苯乙烯共聚物、丙烯酸縮7權(quán)甘油酉^三環(huán)[5.2丄0^6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯共聚物、甲基丙烯酸縮7夂甘油酉|/三環(huán)[521伊6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯共聚物、甲基丙烯酸6，7-環(huán)氧乙烷基庚l/苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酉1/三環(huán)[5.2丄0^癸烷-8-基甲基25丙烯酸醵苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸縮7jC甘油酉l/N-苯基馬來酰3E^乙烯共聚物、甲基丙烯,7]C甘油酚N-環(huán)己基馬來^3E膨苯乙烯共聚物、甲基丙烯酸6，7-環(huán)氧乙烷基庚酚三環(huán)[5.2丄(^6]紫烷-8-基甲基丙烯酸酯共聚物、甲基丙烯酸6,7-環(huán)氧乙烷基庚酚N-環(huán)BS馬來ra棘乙烯共聚物等。在這些物質(zhì)中，進(jìn)一步優(yōu)選甲基丙烯酸縮水甘油酯/苯乙烯共聚物、甲30基丙烯酸縮水甘油酯/三環(huán)[5.2丄021癸烷-8-基甲基丙烯酸酯共聚物、甲基丙烯酸縮水甘油酉g/三環(huán)[5.2丄(P]癸烷-8-基甲基丙烯酸醇苯乙烯共聚物或甲基丙烯酸縮7jc甘油ii/N-環(huán)a^馬來酰Mj^苯乙烯共聚物。有關(guān)第四組合物的(A，)聚合物以夕卜的事項(xiàng)，可以將上述第三組合物的情況直接應(yīng)用，皿進(jìn)行本領(lǐng)^^術(shù)人員自明的變更的基礎(chǔ)jja行應(yīng)用。第五組，^有第一淑瞎二液的二ra固化性樹月離^ti,所^—液含有(A')聚^和(E)陽離子聚合性化，，所述第二液含有(F)固化劑。第五組，的第一液^i不含(F)固化劑和(G)皿生劑。io^:艦的(A，)聚溯雌為(A，2)聚糊。第五組合物的第一液可以含有的(A'2)聚合物和上述可用于第四組合物的(A'2)聚合物相同。另外，第五組合物的第一液可以含有的(E)陽離子聚合性化合物和上述可用于第三組合物的(E)陽離子聚合性化，相同。至于第五組合物的第一液中的(E)陽離子聚合性化合物的使用比例，相對15于100錢^(A，2)聚，，(E)陽離子聚合性化^l的艦量雌為3100重量份，進(jìn)一步雌為550重量份。除了上述(A'2)聚糊和(E)陽離子聚合性化糊以外，第五組糊的第一、航以根據(jù)需要含有粘結(jié)助劑、表面活性劑等。粘結(jié)助劑和表面活性齊訴卩i^第一組合物可以含有的粘結(jié)助劑和表面活性20劑相同。第五組合物的第一液tt^溶解于適當(dāng)?shù)姆璘中以溶液狀刻頓。用于制備第五組合物的第一液的翻」使用能均勻溶賄A)聚合物和(E)陽離子聚合性化合物以及任意配合的其它成分的各成分，且和各成分不反應(yīng)的溶齊U。所述翻訴口上述可用于第一組合物的制備的翻湘同。組合物溶液中除溶25齊似外的成分的比例，即(A)聚合物和(E)陽離子聚合性化合物以及任織加的其它成分的射十量的比例，可以根據(jù)艦?zāi)康暮退璧哪ず裰档热我庠O(shè)定，例如，可以設(shè)定為575重量％，,為1050重量％。第五組合物的第一航以棚孔徑為0.5拜左右的微孔過濾器、膜濾器等過濾后供于艦。30第五組合物的第二液，含有(F)固化劑的溶液。第五組合物的第二液中含有的(F)固化劑的種類和Jl^m三組糊可以含有的(IO固化齊湘同。、"可，用于制備第五組合物的第二液的,訴nji^可用于制備第一組合物的(10固化齊拖第五組合物的第二液中的濃度,為180重量％，更優(yōu)選為51060重#%。第五組合物的第二、以棚孔徑0.5拜為左右的微子131濾器、膜濾器等過濾后供于艦。《固4標(biāo)的形成旅》io下面，對<頓±^—至第五組糊形成固鵬的方法進(jìn)行敘述?！繼第一組，適用于形晶顯示元件的間,，第二組，適用于形成層間絕緣膜武ii^，第三至第五組合物，于形成保護(hù)膜。^OT第一組合物形成間,的方法>15使用第一組，形成液晶顯示元件的間隔物的方法，依照如下所述的順序進(jìn)行下虹卿(4)。(1)在Sfei:形，一組合物的的工序。(2)對J^M的至少一部，行，線曝光的工序。(3)將曝鵬的鵬顯影的工序。20(4)將顯影后的wra熱的工序。下面，對各10依，明。①在mi:形，一組，的M的工序首先，在mh形，一組合物溶液的組^I的I^。本方，用的基板優(yōu)選單面形成了透明導(dǎo)的透明基板。25構(gòu)雌明繊的材禾將例如玻璃、柳誇。戰(zhàn)玻璃有例如鈉f!^、無堿玻璃等；樹脂有例如聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚,、聚碳酸酯、聚Kl^等?！?^明導(dǎo)有例如-含有氧化執(zhí)Sn02)的NESA騰美國PPG公司的注冊商標(biāo))、含有氧化銦-氧化KlnA-Sn02)的ITO膜等。30在M上形成第一組，溶、液的組合物的M的方法可以利用例如(i)涂布法、(ii)干膜法。利用(i)涂布法時(shí)，將第一組合物溶液^^布在基板上后，加熱(預(yù)烘烤)涂布面，由此可以形^M。對組糊溶液的涂布方法沒有特別限制，可以湖例如噴凃法、^i^法、5旋轉(zhuǎn)涂布銜旋涂銜、縫模涂布法、,法、噴墨涂布法等適當(dāng)?shù)姆椒?，特別鄉(xiāng)定総或縫麟布法。予I^烤的條件因各成分的種類、配合比例等而異，但，為70120°C、115冊左右。細(xì)(ii)干膜法在鎌上形麟一組合物溶液的M時(shí)，該干膜是在基膜、io1t^據(jù)性基膜上層疊含有本發(fā)明的感光性樹職且合物的感光性層而成的(以下稱為"感光性干膜")。J^感光性干膜可以由如下形成將本發(fā)明的感光性樹月離合物雌以液態(tài)組，的形式涂布在基膜上，然后除去，j，從而層疊感光性層。感光性干膜的基膜可以4頓例如聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚乙烯、聚丙烯、聚15碳酸酯、聚氯乙j^^^t脂的薄膜?；さ暮聍胍嗽?5125拜的范圍。得到的感光性層的厚度雌為130pm左右。翻啲除去可以M:在雌80150°C下加熱110^H中左右5J6S行。另外，感光性干驗(yàn)未艦時(shí)也可以在其感光性層上進(jìn)一步層疊被懸進(jìn)行保存。該被鵬必須具有適度的脫模性，以使雜未《頓時(shí)不剝離，而在使20用時(shí)可容易剝離。滿足這樣的條件的被,可以^ffl在例如PET膜、聚丙烯膜、聚乙烯膜、聚氯乙烯膜等合成樹脂膜的表面涂布繊固硅氧烷鄉(xiāng)模齊J得到的薄膜。被繊的厚頗常在25拜左右就足夠了。將第一組合物以溶、態(tài)艦時(shí)，其固體成分濃度(從組合物中除去柳U后的重量相對于總組合物重量柳為580重*%。進(jìn)一步雌的固體25成分濃度因被膜的形成方法而異。采用(i)涂布法形成被膜時(shí)的固體成分濃度優(yōu)選為1530Sfi%，細(xì)(ii)干膜法形成羅時(shí)的固體成分濃度雌為5070另外，對在繊上形成的鵬的膜厚沒有特別限制，但雌為0.510拜、更雌為1.07.0nm左右。30②對上述被膜的至少一部，行放射線曝光的工序接著，對形成的，M的至少一部^4行^]"線曝光。在對被膜的一部^it行曝光時(shí)，可以利用例如M:具有規(guī)定圖案的光掩^t行曝光的方法。用于曝光的方謝線可以4頓可見光、紫外線、遠(yuǎn)紫外線等。方謝線雌波長在190450nm范圍的方鄉(xiāng)線，特別tt^包含365nm紫外線的方鄉(xiāng)線。5曝^fi是利用照度it(OAImodel356，OAIOpticalAssociatesInc.審J)測定曝光的方謝線波長為365nm時(shí)的弓跛得至隨，雌為10010,000J/m2，更優(yōu)選為l,5003,000J/m2。(3)將曝鵬的W^行顯影的工序然后，M:將曝光后的Wt行顯影，除去不要的部分，形戯見定的圖案。10用于顯影的顯影、m以鵬下述堿性化合物的水溶液，例如氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、硅,、(正)硅,(乂夕亇4酸于卜U々厶)、氨等無機(jī)堿；乙胺、正丙胺等脂臓伯胺；二乙胺、二正丙胺等脂肪族仲胺；三甲胺、甲基二乙胺、二甲基乙胺、三乙胺等脂肪銜叔胺；吡咯、哌徒、N-甲基哌啶、N-甲基吡咯烷、1,8-二氮雜二環(huán)[5.4.0]-7-H碳烯、1,5-二氮雜二環(huán)[4.3.0]-5-壬烯等15月旨環(huán)族叔胺；吡啶、三甲掛比啶、二甲勘比卩定、娜等芳香瓶叔胺；二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺、三乙醇胺^^烷醇胺；氫氧化四甲、氨氧化四乙基銨等雜鹽等。也可以在J^堿性化合物的7jC溶液中縫添加甲醇、乙醇等7jC溶性有機(jī)溶齊,表面活性劑中的至少一種來艦。20顯影方法可以是paddle銜液盛0法)、浸漬法、噴、皿等公知的顯影方法中的任一種，顯影時(shí)間在常溫下，為10180秒左右。顯影后，通過例如進(jìn)行3090秒的流水清洗后，用例如壓縮空氣皿縮氮?dú)馐蛊滹L(fēng)干，形^^f需的圖案。(4辦顯影后的鵬加熱的工序25接著，將得到的圖教鵬禾,例如加熱板、烘箱等適當(dāng)?shù)募訜狍w，在規(guī)定溫度，例如100160。C下，加救后烘烤)規(guī)定時(shí)間，例如在加熱板上為530辦中，在烘箱中為30180辦中，由此可以得到規(guī)定的間,。另外，用于形成間隔物的現(xiàn)有放射線敏感性樹脂組合物如果不在180200°C左右或以上的驗(yàn)進(jìn)行加熱處理，貝U得到的間隔物不能發(fā)揮充她能，30但第一組合物的優(yōu)點(diǎn)在于，可以將加熱溫度設(shè)定為比以往低的低溫，結(jié)果是不會造自脂的黃變或，可以得至啦縮弓MS、液晶取向時(shí)的耐摩擦性、與透明繊的密合性等各性能優(yōu)良的間,。4OT第二組合物形^M司絕緣膜或m^的方法〉5使用第二組，形成層間絕緣膜^ritit鏡的方法，依照如下所述的)!醉進(jìn)行下虹糊(4)。(1)在±形，二組，的的工序。(2)對，的至少一部^a行，線曝光的工序。(3)將曝光后的鵬顯影的工序。io(4)將顯影后的鵬B熱的工序。(1)在±形，二組，的的工序在工序(l)中，將第二組合物溶液涂布在繊表面，然后，iMM過進(jìn)行預(yù)烘烤除去MU，形，二組，的?？梢?頓的繊的種類例如有玻璃繊、硅晶片及在這些的表面形成有15各種金屬的繊。對組糊溶液的涂布方法沒有特另鵬制，可以細(xì)例如晚涂法、輥涂法、旋轉(zhuǎn)涂布銜旋涂法)、縫模涂布法(義U7卜3^塗布法)、棒涂法、噴墨涂布法等適當(dāng)?shù)姆椒ǎ貏etti^鬼涂法纖^^布法。予鵬烤的剝牛因各成分的種類、使用比例等而異。可以設(shè)定為例如在60110°C下進(jìn)行30秒15辦中左右。20形成的被膜的膜厚，以予鵬烤后的值計(jì)，在形成層間絕緣膜時(shí)tm為例如36nm,在形成1t^時(shí)皿為例如0.53nm。(2)對J^M的至少一部，行TO線曝光的工序在工序(2)中，優(yōu)選通過具有規(guī)定圖案的掩模對形成的被膜照射放射線。然后，在下一工所3)中，通過用顯影、鵬行顯影處理除去方謝線的照射部分，25進(jìn)行構(gòu)圖。這時(shí)i頓的方謝線例如有紫外線、遠(yuǎn)紫外線、X射線、帶電粒子射線等。J^紫外線例如有g(shù)射線(波長436nm)、i射線(波長365nm)等。遠(yuǎn)紫外線例如有KrF準(zhǔn)M激光等。X射線例如有同步加速器Mf線等。帶電粒子射線例如有電子束等。30在這些娜線中，雌紫外線，特別^i^包含g射線和i射線中至少一種至于曝光量，在形成層間絕緣膜時(shí)優(yōu)選為50l，500J/m2,在形成l^i鏡時(shí)雌為502,薩/m2。(3)將曝光后的被lia行顯影的工序5用于工序(3)的顯影處理的顯影液，可以使用如下堿(堿性化合物)的水溶液，例如氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳,、硅,、(IE)硅酸鈉、氨、乙胺、正丙胺、二乙胺、二乙基氨基乙醇、二正丙胺、三乙胺、甲基二乙胺、二甲基乙醇胺、三乙醇胺、氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨、吡咯、哌啶、1,8-二氮雜二環(huán)[5.4.0]-7沖一號烯、1，5-二氮雜二環(huán)[4.3.0〗-5-壬烯等?？梢詫⒃谏鲜鰤Aio的水溶液中適量添加甲醇、乙醇等7jC溶性有機(jī)翻」戯面活性齊卿成的水溶液或溶解第二組合物的各種有機(jī)翻鵬作顯影液。顯影方法可以利用paddle法、浸潰法、搖動(dòng)漫潰法、噴淋法等適當(dāng)?shù)姆椒āｏ@影時(shí)間因組合物的,而異，可以為例如30120秒左右。另外，目前己知的用于形成層間絕緣膜或鏡的組，如果顯影時(shí)間超15itS佳值2025秒左右就會發(fā)生圖案剝落，因此，必須嚴(yán)格控制顯影時(shí)間，而4頓本發(fā)明的娜線敏感性柳旨組合物時(shí)，即^M影時(shí)間艦最佳顯影時(shí)間30秒或30秒以上，也可以形成良好的圖案，具有工程管理方面的優(yōu)點(diǎn)。④將顯影后的，鵬卩熱的工序在如上所,行了工序(3)后，形成了圖案的被膜ttit通過例如流水清洗20進(jìn)^票洗處理，再優(yōu)選利用髙壓水銀燈等全面照射放射線(后曝光)，由此將該被膜中殘存的1,2-醌二疊氮化，進(jìn)行，處理，然后將該TO利用加熱板、烘箱等加熱^S進(jìn)行加熱處理(后烘烤處理)。通過該處理，在固化膜是層間絕緣膜時(shí)對鵬進(jìn)行了固化M,而在固4W是1tM時(shí)，圖鄉(xiāng)的被麟鵬25，后曝光工序中的曝光量優(yōu)選為2,0005,000J/m2。固化處理中的加熱顯度為例如120250°C。加熱時(shí)間因加熱設(shè)備的種類而異，例如在加熱板，行加熱處理時(shí)，可以設(shè)定為例如530併中，鄉(xiāng)箱中進(jìn)行加熱處理時(shí)，可以設(shè)定為例如3090射中。這時(shí)，也可以細(xì)進(jìn)行2次或2次以上加熱工序的分麟固法等。30由此，可以在基板表面形成對應(yīng)于目標(biāo)層間絕緣膜或自鏡的圖案狀被使用第三或第四組，形成保護(hù)膜的方法，依照如下所述的順序進(jìn)行下述5工和)和(2)。(1)在±形，^^四組^的的工序。(2)將戰(zhàn)W!ra熱的工序。(1)在上形，三，四組，的的工序首先，將第H^四組^t/溶液涂布在mh，皿進(jìn)fi^員烘烤除去翻Jio而形成被膜。作為艦可以^頓的繊，可以艦由例如玻璃、石英、硅、透明樹H縛構(gòu)成的基板。J^t明柳旨例如有聚對苯二甲酸乙二醇酯、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚,、聚碳酸酯、聚,安、環(huán)鄉(xiāng)烴斷環(huán)聚儲或徵化物等。涂肺法可以鄉(xiāng)例如噴涂法、輥涂法、旋轉(zhuǎn)涂布法、#^布法、噴墨15涂布法等適當(dāng)?shù)姆椒?，可以特別適用{頓旋涂器、xt::/P7(注冊商標(biāo))涂布器、縫麟布器的涂布。上述預(yù)烘烤的條件因各成分的種類、配合比例等而異，但優(yōu)選為例如在7090°C下進(jìn)行115併中左右0(2)將i^lMira熱的工序20然后，ffiWJ^形成的鵬進(jìn)行加熱處理，可以形成目標(biāo)保護(hù)膜。加熱M時(shí)的鵬鵬雌為150250°C左右，另外，^f頓加熱板作為加熱錢時(shí)，鵬時(shí)間雌為530辦中左右，鵬烘箱時(shí)，雌為30~90辦中左右。另外，第H^四組合物含有娜線敏感性,生劑時(shí)，tti^在予鵬后、力口熱工序前進(jìn)行艦線照射處理(曝光處理)。用于該曝光處理的TO線可以采25用例如可見光、紫外線、遠(yuǎn)紫外線、電子射線、X射線等，^i^包含波長為190450nm的光線的紫外線。曝光量優(yōu)選為10020，000J/m2，更優(yōu)選為15010，000J/m2。這樣形成的《跌膜的膜厚雌為0.18拜，更雌為0.16拜，進(jìn)一步雌為0.14拜。其中，Sl;色濾光片的具有高度差的鎌上形成傲戶膜時(shí)，30j^ii厚是指;y^色濾光片的^h部起算的厚度?！磃tffi第五組，形成W^鵬的:^使用第五組合物形成保護(hù)膜的方法，依照如下所述的順序進(jìn)行下述工序("(3)。5(l)將第五組，的第一液和第二液混合的Xj^(2)在上形成±^混合液的的工序。(3)將±^加熱的工序。(1)將第五組合物的第一液和第二液混合的工序首先，混合第五組合物的第一液和第二液配制涂布用組^/溶液。至于第io—液和第二液的混合比例，相對于第一漱;含的(A，)聚合物ioo重量份，第二液含有的(F)固化劑的量雌為2060重量份，更雌為2050重量份。混合第一液和第二液配制成組，溶^，iti^在24小時(shí)內(nèi)提供給下一工卿。②在mh形成i^混合液的M的工序15(3)將戰(zhàn)鵬加熱的工序上述工]^(2)及工^(3)分別可以和上述"艦第三鄉(xiāng)四組合物形成保護(hù)膜的方法"中的"(l)在基板上形成第三或第四組合物的被膜的工序"和"②將戰(zhàn)被膜加熱的工序"同樣的方式進(jìn)行。由后述的實(shí)施例可知，如上所述的方法在固化膜形成工序中的加熱工m燒20結(jié)工m中實(shí)質(zhì)上都沒有產(chǎn)生升華物，可以在清潔的條件下形成固化膜，除lfet夕卜，特別是第二組合物在顯影工序中具有高度的顯影容限。另外，得到的固化膜在為由第一組，形成的間隔物時(shí)，圖案微、壓縮3賊和耐摩擦性優(yōu)良。在為由第二組合物形成的層間絕緣膜時(shí)，固化膜耐熱性和耐翻帷髙、介電常數(shù)低、顯示出高的透光率。在為由第二組，形成的1^鏡時(shí)，固化膜顯示出25良好的熔體糊所需的曲率*@,耐熱性和耐翻帷高、顯示出高的透光率。在為由第三至第五組合物形成f，膜時(shí)，固化膜耐熱性和表M5更度髙、顯示出高的透光率，同時(shí)，將基底繊上的高錢平坦化的能力好?！兑壕э@示元件》如JJf述形成的固化膜為間隔物或保護(hù)膜時(shí)，可以將其翻于液晶顯示元30件。下面說明的液晶顯示元i牛，具有如上戶萬，成的間隔物^f呆護(hù)膜。這樣的液晶顯示元件利用例如下面的方^^制作。首先，作成2i央形成有保護(hù)膜或液晶取向膜的基板，使2塊基板對置，中間設(shè)置間隙(盒間隙(七^芊卞y:/))并使各自的取向膜中的液晶取向方向垂直或反平行，使2塊基5板的周邊部分通過間隔物貼合，在由基板的表面和間隔物而成的盒間隙內(nèi)填充液晶，密繊充孔構(gòu)成液晶盒。然后，在液晶盒的夕卜表面、即構(gòu)成液晶盒的各基板的另一面貼合偏振板，使其偏振方向和在該基板的一面上形成的保護(hù)膜的液晶取向方向一，垂直，從而得到液晶顯示元件。戰(zhàn)液晶可列舉向列型液晶、層列型液晶。其中，雌向列型液晶，可以io4頓例如席夫堿類液晶、氧化偶氮類液晶、聯(lián)苯類液晶、苯餅己烷類液晶、酉旨類液晶、三f^類液晶、^5f己烷類液晶、嘧晚類液晶、，;^^液晶、二環(huán)辛烷類液晶、立方烷類液晶等。另外，在這些液晶中，也可以添加例如膽甾基氯化物(3kX于^夕口5^rH)、膽甾醇壬酸酯pkX亍'"P乂于工一卜)、膽甾醇碳酸酯等膽甾型液晶或以商品名"C-15"、"CB-15"(乂A夕公司帶J)等15銷售的手性試劑等來使用。另外，也可以4頓對癸氧基亞節(jié)基一對氨基一2-甲基丁基肉桂酸酯等強(qiáng)介電性液晶。作為用于液晶盒夕KK啲偏振板，可以列舉將"^i將聚乙烯醇拉伸使其取向，一邊使其吸收碘的稱為H膜的偏繊用乙酸纖維素fW膜夾住的^^板；或由H膜本身構(gòu)成的偏振板等。20實(shí)施例下面，ffl3i例示合成例、實(shí)施例，對本發(fā)明進(jìn)行更具體地說明，但本發(fā)明并不限定于下面的實(shí)施例。在以下條件下測定下述聚合物的合成例中合成的聚合物妳滲^譜，25求出，乙烯換算重均^f量(Mw)和數(shù)均M量(Mn)0裝置GPC-101(昭和電工(株)帶J)柱將GPC-KF-801、GPC-KF-802、GPC-KF-803和GPC-KF-804(以上為昭和電工(株)鄉(xiāng)串聯(lián)流動(dòng)相含有0.5重齊/C的四氫呋喃30(I)第一組，的配制和i刊介聚合物的合成例合成例1在具有冷凝管、攪拌器的'繊中加入2,2'-偶氮二異丁腈2重量份、作為分子量控制劑的上^:cr-i)^的化合吻3M份和二乙二醇二甲基醚200重量5份，接著加A^乙烯20重量份、甲基丙烯酸17重量份、三環(huán)[5.2丄(^6]癸煉8-基甲基丙烯酸酯18重量份和甲基丙烯酸縮水甘油酯45重量份，進(jìn)，氣置換后，一邊慢慢攪拌，一邊將反應(yīng)溶液升溫至80。C，保持該離聚合6小時(shí)。然后，將反應(yīng)溶^HK100。C,加入2,偶氮二異丁腈1重量份，再接著聚合1小時(shí)，由此得到含有表1所示的聚糊(A-1)的各溶液。得到的聚^J(A-1)的Mw為ll，OOO，Mw/Mn為1.4。另外，含有聚糊(A-1)的溶液的固體成分濃度為28.4雄/0。合成例220按表1所示的量頓表1所示的種類的物質(zhì)替代作為肝量控制齊啲戰(zhàn)式(T-l)所示的化^tl，除lfet外，與合成例1同樣操作。各合成例得到的聚合物的Mw和Mw/Mn以及各聚^tl溶液的固體成分濃度如表1所示。比較合成例1在具有冷凝管、攪糊的'鵬中加入2，2'-偶氮ZX2，4-二甲基戊嫩5重量份和二乙二醇甲基乙220重量份，接著加A^乙烯20重量份、甲基丙烯酸17重量份、三環(huán)[5.2.1.02"6]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯18重量份和甲基丙烯酸縮水甘油酯45重量份,進(jìn)^E氣置換后，Hi慢m拌，一邊將反應(yīng)溶,M70。C，在該驗(yàn)下保持4小時(shí)進(jìn)行聚合，由此得至晗有聚合物(a-l)的聚^t/溶液。聚，(a-l)的Mw為13,000，^量分布(Mw/Mn)為2.4，聚，溶液的固體成分濃度為29.5重%。<table>tableseeoriginaldocumentpage61</column></row><table>實(shí)施例1Mt線敏感性樹B離合物的配制榭乍為(A)成分的相當(dāng)于聚合物(A-l)100重量份(固體成分)量的含有上述合成例中合成的聚合物(A-1)的溶液、作為(B)成分的二季戊四醇六丙烯酸酯100錢份、作為(C)成分的2,2，-觀2,4-二蘇基M，4，,5,5，-四苯繊二咪唑8重量份、作為粘結(jié)助劑的，環(huán)氧丙氧丙基三甲氧基硅烷5重量份、作為表面活性劑的FTX-218(商品名，(株)才、才》帝i》0.5重量份和作為保存穩(wěn)定劑的4-甲氧基苯酚0.5Sa份混合，加入丙二醇一甲基醚乙酸酯進(jìn)療溶解，j彭且，的固體成分濃度為30重1%，然后用孔徑為0.5nm的微孔過濾器過濾，配制成組鋤溶液o3如下ff^t衍卩JJf述配制而成的組雄溶液的刑介。間,的形成在無M璃皿上用旋轉(zhuǎn)涂布^^布J^a合物溶液后，在9o°c的加熱板上予鵬烤3辦中，形鵬厚為6.0拜的鵬。io然后，M具有10,見方的殘留圖案的光掩模贈尋到的M照謝365nm處的3艘為250W/m2的紫外線10秒鐘。然后，利用織化鉀的0.05重fiy冰溶液在25。C下顯影60秒后，用纟^R洗滌1^H中。進(jìn)一步在烘箱中于150。C下進(jìn)行120辦中后烘烤，由此形成具有規(guī)定圖案的間隔物。15彌率的冊在戰(zhàn)"間隔物的形成"中形成圖案時(shí)，纟總留圖案可以辨JI的情況評價(jià)為良好(O)、無法分辨的情況評價(jià)為不好(X)。，配制而成的組合物的分辨率良好。20靈,的i刊介算出上述"間隔物的形成"中得到的圖案顯影后的殘膜與顯影后的膜厚/初始膜厚X100(%))。將該值為90%或90%以上的情況評價(jià)為良釈0)、低于90%的情況評價(jià)為不樹X)。戰(zhàn)配制而成的組合物的靈鵬良好。25圖案皿的i刊介用掃描電子顯微1察上述"間隔物的形成"中得到的圖案的截面形汰，根據(jù)其對應(yīng)于圖1所示的AD的哪一種進(jìn)行i刊介。這時(shí)，如果象A或B那樣圖鋭緣超頓梯形或垂直狀時(shí)，可以認(rèn)為間隔物的圖案微良好。與此相沐如果象圖C那樣，靈t^不夠，率低、截面積比A或B小、截面皿的30底面是平面的半凸,狀時(shí)，間隔物的圖案^t不好，另外，如果象圖D那樣，截面皿為倒梯皿時(shí)，由于在其后的摩擦處理時(shí)圖案剝離的可能性非常大，因此，間,的圖案形狀也被認(rèn)為是不好的。由J^配制而成的組合物形成的間隔物的截面皿為B，截面,良好。5壓縮鵬的刑介對上述"間隔物的形成"中得到的圖案，在23°C的測定,下，使用微小壓縮試驗(yàn)機(jī)((株)島津制作所制、型號"MCTM-200")，測定禾,直徑為50|im的平面壓頭，施加10mN負(fù)荷時(shí)的，量。該值為0.5,或0.5pm以下時(shí)，可以認(rèn)為壓鄉(xiāng)賊良好。io由戰(zhàn)配制而成的組合物形成的間隔物的郷量為0.4lMm，壓縮強(qiáng)度良好。耐摩擦性的體在如戰(zhàn)"間,的形成"中男附形成圖案的mh用液晶取向膜涂布用15印刷機(jī)涂布液晶取向齊IJ(JSR(株)制，商品名"AL3046")后，在180°C下加熱1小時(shí)，形成加熱后膜厚為0.05,的取向劑的涂膜。然后，f頓具有機(jī)有聚翻安布的輥的摩擦機(jī)在輥的,為500ipm和臺移動(dòng)皿為lcm/秒的條件下對該涂膜進(jìn)行摩擦處理。這時(shí)，考察圖案有無磨損或剝落。對于具有由，配制而成的組合物形成的圖案的基板，沒有觀察到圖案的20磨損或剝離。密合性的iW除了不使用殘留圖案的掩模外，其余以與Jd悉"間隔物的形成"同樣的方式進(jìn)行操作形成固化膜。在此利用JISK-5400(1900)8.5的附著性i^中8.5-225的棋盤格帶銜碁盤目r一力去)，評價(jià)形成的固化膜的密合性。100個(gè)棋盤格中殘留的棋盤M為100。升的刑介在aSfchffl旋轉(zhuǎn)涂布^^布im，溶液后，在90。C下在加熱板上30預(yù)烘烤2倂中，形鵬厚為3.0拜的涂膜。艦Canon(株)制曝光機(jī)(型號"PLA-501F"，超高壓水銀燈)對得到的涂膜進(jìn)行曝光，使累計(jì)照射量為3,000J/m2，將曝光后的S^在潔凈烘箱(cleanoven)內(nèi)在220°C下加熱1小時(shí)，得到固化膜。在得到的固化膜的上方留出1厘米的間隔，安,卩用空硅晶片，在加熱板上在230°C下進(jìn)行1小時(shí)的加熱處理。不更換冷卻用空硅晶片5(《7、〉U]〉々工八)，連續(xù)M20塊進(jìn)行上述同樣操作另外形成了固化膜的硅繊后，用柳^見察有無附舒空硅晶片的升糊，結(jié)果確認(rèn)沒有升糊。實(shí)施例220和比較例1在戰(zhàn)實(shí)施例1的"放射線illi性樹月識合物的配制"中，分別使用表2io所示的種類和量的(A)、(B)和(C)成分，除jltt外，其余與實(shí)施例1同樣操作配制組她進(jìn)行亂iW結(jié)果如表3所示。另外，在表2中，新各成分的簡稱分別定義如下。成分的種類和翻"/"連結(jié)時(shí)，標(biāo)分別按表所述的量艦多個(gè)種類作為其成分。另外，表中的"-"標(biāo)沒有艦該欄的成分。15(B)成分B-l:二季戊四醇六丙烯酸酯(C)成分CM:2,2，-雙(2，4-二鮮基)4,4，，5,5，-四苯S^二咪(^(biimidazole)02:2,2，-)X(2-鄉(xiāng)基)4,4，,5，5，-四苯繊二咪唑2003:2-甲基[4<甲硫基)苯萄-2-嗎啉基1-丙酮C4:2-節(jié)蟇2-二甲基氨基1<4-嗎啉4球基)-丁爵1娜線敏感的敏化劑H-l:4,4，-觀二甲基氨萄1甲酮H-2:2-麟苯并噻唑25H-3:季戊四醇四(巰基乙酸酯)表2<table>tableseeoriginaldocumentpage65</column></row><table>表2(續(xù))<table>tableseeoriginaldocumentpage66</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage67</column></row><table>表3(續(xù))<table>tableseeoriginaldocumentpage68</column></row><table>(n揮二組，的配制和刑介聚糊的合成例合成例215在具有冷凝管、攪拌器的繊中，加入22，-偶氮二異丁腈2重量份、作為肝量控帝躋啲J^;(T-1)標(biāo)的化合物3重量份和二乙二醇二甲繊200重量份，接著加A^乙烯20重量份、甲基丙烯酸20重量份、三環(huán)[5.2丄0^]|^煉8-基甲基丙烯酸酯20錢份、甲基丙烯酸縮水甘油酯40重量份，進(jìn)4fE，換后，一邊慢tlM拌，一邊將皿溶,溫至80。C，保持該、M聚合6小時(shí)。io然后，將反應(yīng)溶斷溫至100°C，再加入2,偶氮二異丁腈1重量份，再接著聚合1小時(shí)，由此得至'J含有聚合物(A-21)的溶液。得到的聚合物(A-21)的Mw為10,000，Mw/Mn為1.4。另外，含有聚^t)(A-21)的溶液的固體成分濃度為29.8重熟015合成例2240按表4所示的量OT表4所示的種類的物質(zhì)謝"th^式CT-l)表示的化，作為W量控制劑，除jlfct外，與合成例21同樣操作。各合成例得到的聚合物的Mw和Mw/Mn以及各聚，溶液的固體成分濃度如表4所示。20比較合成例2在具有冷凝管、攪拌器的'繊中加入2，2，-偶氮雙(2，4-二甲基戊職8重量份和苯乙烯20錢份、甲基丙烯酸20重量份、三環(huán)[5.2丄0^6]癸煉8-基甲基丙烯酸酯20重量份、甲基丙烯酸縮水甘油酯40重量份，進(jìn),氣置換后，開始慢慢攪拌。使溶液的鵬上升至70°C，保持該、鵬5小時(shí)，得到含有聚合物(a-2)25的聚，溶液。聚^t/(a-2)的Mw為14,000，Mw/Mn為2.4。另夕卜，殘留單體為5.8重量%，fetb得到的聚合物溶液的固體成分濃度為29.5重量％。表4<table>tableseeoriginaldocumentpage70</column></row><table>成例中合成的聚糊(A-21)的溶液和作為p)成分的4，4，-1-4-[1-[4-羥基^]-1-甲基乙蜀苯基]亞乙基]^m(1.0摩爾)與1,2-萘醌二疊氮-5嶺酰敏2.0摩爾)的縮合物(D-1)30重量份混合，加入二乙二醇乙基甲基行溶解，使其固體成分濃度為30重S0/。，然后用L徑0,2Mm的膜濾器過濾，配制成組合物溶液。層間絕緣膜的性能i刑介飾如上所述配制的娜線敏感性樹月離糊，如下所述評價(jià)層間絕緣膜的各種特性。10靈驗(yàn)的體在硅基板上用旋轉(zhuǎn)涂布布上述配制的放射線敏感性樹脂組合物，在90°C下在加熱社予鵬烤2辦中，形鵬厚為3.0,的涂膜。艦具有規(guī)定圖案的圖案掩模，用Canon(株)制PLA-501F曝光與超髙壓水銀切，對得到的涂膜變化曝光時(shí)間進(jìn)行曝光后，用濃度為0.4重量％的氫氧化四甲基銨水溶15Milpaddle法在25。C下顯影90秒。用超嫩JC流7K清洗1，，進(jìn)行干燥，在硅基板上形成圖案。這時(shí)，考察將3.0脾的線與間隔(，O7>卜、7《一X)(10對l)的間隔'圖案完全溶解所需要的曝光至。以該值為靈lteittfVH介，結(jié)果為550J/m2。該值為1,000J/m2或1,000J/m2以下時(shí)，可以認(rèn)為靈良好。20顯影容限的評價(jià)在硅基板上用旋轉(zhuǎn)涂布ll^布上述配制的娜線敏感性樹脂組糊，在90。C下在加熱板上予鵬烤2辦中，形鵬厚為3.0nm的涂膜。通過具有3.0拜的線與間隔(IO對l)的圖案的掩模，■Canon(株)制PLA-501F曝光樹超25高壓水銀燈)，對得到的涂膜以相當(dāng)于上述"靈敏度的評價(jià)"中測定的靈敏度的值的曝光量進(jìn)行曝光。然后，4頓濃度為0.4重鳘/。的氨氧化四甲基銨水溶液，以顯影時(shí)間為魏用paddle法在25°C下進(jìn)行顯影。然后，用^feK^7jC清洗1，，使其千燥，在薄片上形成圖案。這時(shí)，以鵬的線寬為3pm所需要的顯影時(shí)間為最佳顯影時(shí)間進(jìn)行考察，結(jié)果為60秒。另外，艦該最佳30顯影時(shí)間M續(xù)顯影時(shí)，以到3.0拜的統(tǒng)圖案剝落為止的時(shí)間為顯影容限進(jìn)行測定，結(jié)果為30秒。該值為30秒或30秒以上時(shí)，可以認(rèn)為顯影容限良好。,翻性的刑介在^上，用旋轉(zhuǎn)涂布布±^配制的,線敏感性樹脂組合物，在590。C下在加熱社予鵬烤2辦中，形鵬厚為3.0Mm的涂膜。用Canon(株)帝啲曝光機(jī)(型號"PLA-501F"，(超高壓水銀'i:T))，對得至啲涂膜進(jìn)行曝光，累計(jì)照浙量為3,000J/m2。在潔凈烘箱內(nèi)在220eC下加熱曝光后的硅繊l小時(shí)，得到固化膜。測定得到的固化膜的膜厚(T1)，結(jié)果為2.3pm。將形成了該固化膜的硅S^浸漬^MJ^控制在70°C的二甲亞砜中20射中后，測定該固化膜的io膜j(tl)，算出因浸漬導(dǎo)致的膜厚變化率(Itl-TlIJl}X100(%)，結(jié)果為0.1%。該值為5%或5%以下時(shí)，可以認(rèn)為耐翻雌良好。另外，由于在耐翻雌的刑介中形成的膜不需要構(gòu)圖，因此，省略娜線照射工序和顯影工序，只進(jìn)行涂膜形成工序、后烘烤工序和加熱工序即供于評價(jià)。15耐熱性的刑介和上述耐溶劑性的評價(jià)同樣操作形成固化膜，測定得到的固化膜的膜厚(T2),結(jié)果為2.3拜。接著，將帶該固化膜的S^在潔凈烘箱內(nèi)在240°C下再烘烤l小時(shí)后，測定該固4W的膜i^t2)，算出因再烘烤弓胞的膜厚變化率(I20t2-T2i/T2}X100(%),結(jié)果為0%。該值為5%或5%以下時(shí)，可以認(rèn)為耐熱性良好。透明性的評價(jià)在戰(zhàn)耐熱性的刑介中，4頓玻璃繊"〕一二>乂7059"(〕一二>^:25公司頓代替硅繊，除]fet外，進(jìn)行同樣操作，在玻璃鎌上形成固4W。用分光光度計(jì)"150-20型^:/^H—厶((株)日立制作所帶J)"，在對照側(cè)杯中裝填沒有膜的〕一二>^:7059，在400800nm范圍的波長下測定具有該固j機(jī)的玻璃繊的透光率?？疾爝@時(shí)的最低透光率的值，結(jié)果為92%。該働90%或90%以上時(shí)，可以認(rèn)為透明性良好。介電常數(shù)的i啊介在^的SUS304律ij皿上，用旋轉(zhuǎn)涂布*^布±^配制的，線,性樹脂組糊，在90。C的加熱社予1^烤2辦中，形繊厚為3.0拜的涂膜。用Canon(株)制的型號"PLA-501F"的曝光^(超高壓水銀'JT)),對得到的涂5膜進(jìn)行曝光，鵬計(jì)照射量為3,000J/m2，在潔凈烘箱內(nèi)在220。C下加熱該繊l小時(shí)，由此得到固化膜。在該固化膜上利用蒸鍍法形成Pt/Pd電極圖案，制成介電常數(shù)測定用樣品。4OT銜河'匕a—l/"卜八"力一卜'(株)制HP16451B電極和HP4284A精密LCR觀賦儀，利用CV法測定頻率為10kHz時(shí)S^的介電常數(shù)，結(jié)果介電常io數(shù)為3.3。該值為3.6或3.6以下時(shí)，可以認(rèn)為介電常數(shù)良好。另外，在介電常數(shù)的評價(jià)中，由于形成的膜不需要構(gòu)圖，因此，省略方謝線照射工序和顯影工序，只進(jìn)療凃膜形成工序、后烘烤工序和加熱工序即供于體。升，的VH介15使用上述配制的放射線敏感性樹脂組合物，和實(shí)施例l同樣操作進(jìn)行評價(jià)，確認(rèn)沒有升，。實(shí)施例2232和比較例2對于實(shí)施例21中的(A)成分和(D)成分，分別H頓表5所示的種類、量，20除膨卜，其余和實(shí)施例21同樣操作配制放射線敏感性樹脂組，，進(jìn)衍平價(jià)。評價(jià)結(jié)果如表6所示。另外，在實(shí)施例32中，配制娜線i^性樹S離糊時(shí)，除了表5所示的(A)成分和(D)成分之外，進(jìn)一步添加硅織類表面活性劑"SH-28PA"(商品名，東ixyo〕一二:z^…;/u〕一:y(株)律!J)o.oi錢份。另外，在實(shí)施25例32中，在繊上形^^膜時(shí)，禾倆j頓縫^^布器的涂布法代替旋涂法。表5中，成分的簡稱分別定義如下。(D)成分(EM):4，4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯萄-1-甲基乙蜀苯萄亞乙閨雙,1.0摩爾)與1>萘醌二疊氮-5-磺酰敏2.0摩爾)的縮^tl30([>2):4，4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙蜀苯閨亞乙閨雙斷1.0摩爾)與1，2-萘醌二疊氮-5,酰敏1.0摩爾)的縮，(1>3):2,3,4,4，鵬基二苯甲H(1.0摩爾)和1，2-翻昆二疊氮國5-磺酸酯(2.44摩爾)(EM):4,4，-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙萄苯基]亞乙閨雙斷1.0摩爾)與51,2-萘醌二疊氮4-磺酰孰2.0摩爾)的縮^J表5<table>tableseeoriginaldocumentpage75</column></row><table>表6<table>tableseeoriginaldocumentpage76</column></row><table>實(shí)施例33娜線敏感性樹月離合物的配制將作為(A)成分的相當(dāng)于100重量份聚^J(A-33)(固體成分)的量的含有上5述合成例中合成的聚合物(A-33)的溶液和作為(D)成分的4,4'-[1-[4-[1-[4-羥基苯閨-l-甲基乙蜀苯蜀亞乙萄雙斷l(xiāng).0摩爾)與1，2-萘醌二疊氮-5-磺酰教2.0摩爾)的縮合物(D-1)30重量份混合，溶解于二乙二醇乙基甲基醚，使固體成分濃度為30重S0/。，然后，用孔徑為0.2拜的膜濾器過濾，配制成組合物溶液。ioias^的性m刊介{頓如上所述配制的娜線敏感性樹膨且糊，如下戶腿評價(jià)1t^的各種特性。靈驗(yàn)的微15在硅基板上用旋轉(zhuǎn)涂布布上述配制的]"線敏感性樹脂組合物，在90。C的加熱板上予鵬烤2射中，形成膜厚為3.0拜的涂膜。艦具有規(guī)定圖案的圖案掩模，用二->(株)制NSR1755i7A縮小投影曝光機(jī)(NA-0.50，^365nm)^t尋到的涂膜變化曝光時(shí)間進(jìn)行曝光，用濃度為0.4重MT。的氮氧化四甲磐安水溶Milpaddle法在25°C下顯影1分鐘。用7JC漂洗，進(jìn)行千燥，20在硅繊上形成圖案。這時(shí)，考,0.8拜的線與間隔(l對l)的間隔線寬超lJ0.8,所必要的曝光量，以該,靈敏變，結(jié)果為750J/m2。顯影容限的評價(jià)在硅,上，用旋轉(zhuǎn)涂布^^布J^配制的皿線敏感性樹脂組^tl，在2590°C的加熱板上予1^烤2併中，形鵬厚為3.0,的涂膜。M具有規(guī)定圖案的圖案掩模，《頓-->(株)制NSR1755i7A縮小投影曝光機(jī)(NA《50，X=365nm),對得至啲涂膜以相當(dāng)于戰(zhàn)"靈鵬的評價(jià)"中須胺的靈鵬的值的曝光量進(jìn)行曝光，^ffl濃度為0.4My。的氫氧化四甲基銨水溶液，用paddle法在25°C下以顯影時(shí)間為變量進(jìn)行顯影。用7K漂洗，進(jìn)行千燥，在硅基板上30形成圖案。以使0.8nm的線與間隔圖萄l對l)的間隔線寬為0.8Mm所需要的顯影時(shí)間為最佳顯影時(shí)間，考察結(jié)果其為60秒。超過該最佳顯影時(shí)間，續(xù)顯影時(shí)，以寬0.8拜的圖案剝落的時(shí)間為顯影容PSift行測定，結(jié)果為30秒。該值為30秒或以上時(shí)，可以認(rèn)為顯影容限良好。S耐黼U(xiǎn)性的,在硅基板上用旋轉(zhuǎn)涂布l^布上述配制的放射線敏感性樹脂組合物，在90。C的加熱板上予鵬烤2射中，形鵬厚為3.0Mm的涂膜。用Canon(株)制的型號為"PLA-501F"的曝光典超高壓水銀m對得到的涂膜進(jìn)行曝光，使累計(jì)照射量為3，000J/m2，在潔凈烘箱內(nèi)在220。C下加熱該硅基板1小時(shí)，得到固io化膜。觀啶在此得到的固化膜的膜j(T3)，為2.3拜。將具有該固化膜的硅基板浸漬在ME控帶敏50°C的異離中10併中后，測定該固4W的膜)f(t3)，算出浸漬引起的膜厚變化率{It3-T3IA3}X100(%)，為0.1%。該值為5%或5%以下時(shí)，可以認(rèn)為耐，U性良好。另外，由于在耐總雌的im中形成的膜不需要構(gòu)圖，因此，省略臓線15照射工序和顯影工序，只進(jìn)行涂膜形成工序、后烘烤工序和加熱工序即供于評價(jià)。m^的形^fl^t^,的i刊介)在硅基板上用旋轉(zhuǎn)涂布,布上述配制的放射線敏感性樹脂組合物，在2090。C的加熱板上予鵬烤2併中，形鵬厚為3.0拜的涂膜。S31具有4.0拜點(diǎn)'2.0拜間隔圖案的圖案掩模，艦-->(株)制NSR1755i7A縮小鄉(xiāng)曝光機(jī)(NA^.50，X-365nm)對得到的涂膜以相當(dāng)于上述"靈敏度的評價(jià)"中測定的靈,值的曝光量進(jìn)行曝光，利用濃度為0.4重量％的氫氧化四甲基銨水溶液，用paddle法在25°C下顯影1併中。用水漂洗，進(jìn)行干燥，在硅±25形成圖案。然后，用Canon(株)制的型號為"PLA-501F"的曝光機(jī)(超髙壓水銀'JTT)進(jìn)行曝光，頓計(jì)賺量為3，000J/m2，然后，利用加熱板在160°C下加熱10併中，雜230。C下加熱10射中，使圖^ifi形成^SIt。測定形成的'ltit鏡的底執(zhí)連^^的蹄的尺寸(直徑)，結(jié)果為4.2,，其截面微是如圖2(a)所示的半凸透鏡微。當(dāng)m^的底部尺寸艦4.0,且30低于5.0,，i^的截面形TO如圖2(a)所示的半凸透鏡微時(shí)，可以認(rèn)為i^靴良好。當(dāng)m^的底部直默5.0Mm或5.0Mm以上時(shí)，相鄰的纖之間呈接觸狀態(tài)，不雌。另外，m^的截面靴是如圖2(b)所示的大繊形皿時(shí)，^bt不好。5耐熱性的評價(jià)、透明性的評價(jià)和升華吻的評價(jià)這些ifj介以與J^層間絕緣膜的性能評價(jià)中的各種評價(jià)同樣的方式進(jìn)行。耐熱性評價(jià)中的固化后膜厚為2.3拜、膜厚變化率為0%，透明性評價(jià)中400800nm的范圍的最^yg光率為92%，在升，i刊介中，在冷卻用空硅晶片表面沒有觀察到升糊。0實(shí)施例3440和比較例3對于實(shí)施例33中的(A)成分，分別使用表7所示的聚合物，除jfe^卜，其余和實(shí)施例33同樣操作配制TO線敏感性樹脂組合物，進(jìn)m刊介。評價(jià)結(jié)果如表8所示。表7<table>tableseeoriginaldocumentpage79</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage80</column></row><table>(III)第五組，的配制和iTO聚糊的合成例5合成例41在具有冷織、攪拌器的'鵬中加入2，2'-偶氮二異丁腈2重量份、作為分子量控制劑的J^KCT-1)標(biāo)的化糊3重量份和二乙二醇二甲基醚200重量份，接著加入甲基丙烯,7K甘油酯80重量份和苯乙烯20重量份，進(jìn)概氣置換后，一邊慢TO拌，Hi將，溶,溫至80。C，保持該MS聚合6小時(shí)。10然后，將鵬溶斷溫至100°C，再加入2^-偶氮二異丁腈1重量份，再接著聚合1小時(shí)，由此得至i捨有聚^tl(A-41)的溶液。測定聚^t/(A41)的Mw和Mw/Mn,分別為10,500和1.4。另外，含有聚糊(A41)的溶液的固體成分濃度為28.4重1%。15合成例4250按表9所示的量鵬表9所示的種類的物質(zhì)代靴為肝量控制齊啲戰(zhàn)式(T-1)表示的化合物，除lfet^卜，其余和合成例41同樣操作。各合成例得到的聚合物的Mw和Mw/Mn以及各聚，溶液的固體成分濃度如表9所示。20比較合成例3在具有冷凝管、攪拌器的繊中加入2，2，-偶氮Il(2,4-二甲基戊職7重量份和二乙二醇甲基乙基醚200重量份，接著加A^乙烯50重量份和甲基丙烯酸縮7jC甘油酯50重量份，進(jìn)，氣置換后，一邊慢HM拌，一邊將g溶、皿MM70°C，保持該,聚合5小時(shí)，由此得至晗有共聚物(a-3)的溶液。共糊25(a-3)的，乙烯換算重均^量(Mw)為14,000，分子量分布(Mw/Mn)為1.8。聚，溶液的固體成分濃度為30.0Sl%。表9<table>tableseeoriginaldocumentpage82</column></row><table>實(shí)施例41二液型固化性樹脂組合物的配制<第一液的制備>將作為(A，)成分的相當(dāng)于100重量份共聚物(A41)固體成分的量的含有上io述合成例41中得到的共聚物(A41)的溶液、作為(E)成分的雙酚A線型酚醛環(huán)氧樹脂"工tf〕一卜157S65"(商品名，油化i/工Jl/工求牛i/(株)制)IO重量份、作為粘結(jié)助劑的，環(huán)氧丙氧丙基三甲M硅烷15重量份和作為表面活性劑的SH曙28PA(東I/.^^〕一二〉夂.〉ij〕—〉(株)帝ij)o.i重量份混合，進(jìn)一步添加丙二醇一甲基醚乙酸酯，i，一液中的固體成分濃度為20重ST。，15然后用孑L徑為0.5nm的微孑lii濾器過濾，配制，一液。<第二液的制備>將作為(F)成分的偏苯三酸酐35驢份溶解于二乙二醇甲基乙基醚65重量份中，配制麟二液。<固化性樹膨且，的配律1>將Jl^第一液和第二液混合，配制成組合物溶液。該組^1溶,無，明的。5固化性樹膨且合物的評價(jià)贈尋到的組，溶液，ism下述方法在,上形成保護(hù)膜并進(jìn)mm。-做膜的形膝在Si02浸漬玻璃基板上用旋轉(zhuǎn)涂布布上述配制的組合物溶液后，在80。C下在加熱社予鵬烤5射中，形^^膜，進(jìn)一步鄉(xiāng)箱中在230°C下加io熱處理60射中，在^±形厚為2.0,的保護(hù)膜。-保護(hù)膜的i刊介-透明性的評價(jià)對形成了保護(hù)膜的SiO,浸漬玻璃基板，用分光光度計(jì)150-20型歹:^ll/lf一厶(日立制作所(株)鄉(xiāng)，在對照側(cè)杯中裝填沒有^J戶膜的Si(V浸15漬自Sfc測定在400800nm的波長范圍的透光與Q/。)，以其最小值為透明'^iS行評價(jià)，結(jié)果為99%。該值為95%或95%以上時(shí)，可以認(rèn)為《娥膜的透明性良好。耐熱尺寸穩(wěn)定性的刑介將形成了做膜的Si(V浸漬鵬S^在250eC的烘箱中加熱1小時(shí)，測20定加熱前后的膜厚，以由下式算出的值為耐熱尺寸穩(wěn)定性進(jìn)行評價(jià)，結(jié)果為99%。該值為95%或95%以上時(shí)，可以認(rèn)為耐熱尺寸穩(wěn)定性良好。耐熱尺寸穩(wěn)定性(％)=(加熱后的膜厚)/(加熱前的膜衝><10。耐熱變色性的評價(jià)將形成了傲戶膜的Si(V浸漬鵬繊在250°C的烘箱中加熱1小時(shí)，測25定加熱前后在400800nm的波長范圍透光率，以用各最小值由下式算出的值作為耐熱變色性謝fi刊介，結(jié)果為3%。該働5%或5%以下時(shí)，可以認(rèn)為耐熱變色性良好。耐熱變色性(％)=(加熱前的透光與°/。)的最小值>(加熱后的透光率(％)的最小匍30表ffi!IS的i刊介對形成了嫩膜的SiCV浸潰糊^a行JISK-5400-1990的8.4.1鉛筆刮擦微，進(jìn)^fi平價(jià)，其5贖為6H。該i刊介結(jié)果為4H或比其還硬時(shí)，可以認(rèn)為表面鵬良好。動(dòng)繊小石ia(3^于s、v夕微小硬度)的vm5用島,小5贖計(jì)DUH-201((株)島津制作戶賴ij)對形成了保護(hù)膜的Si(V浸漬玻璃S^iS行棱角115。三角壓WA^〕H、乂于勁壓入i微，在荷重O.lgf、速度0.0145gC秒、保持時(shí)間5秒的條件下，使溫度為23°C和140°C進(jìn)斗fi平價(jià)，在23。C時(shí)為29，在140。C時(shí)為25。密合性的i刊介io對形成了保護(hù)膜的Si02浸漬玻璃基板進(jìn)行高壓鍋試驗(yàn)(:/l^少卞一夕"力一X驗(yàn)為120。C,鵬為100%，測定24小時(shí))后，利用JISK-5400-1990的8.5.3附蓍性微格帶法，刑介與SiCV浸漬玻璃繊的密合性，結(jié)果棋盤格100個(gè)中的1004^P殘留。另外，除了艦Cr繊代替Si(V浸漬玻璃繊以外，其它與戰(zhàn)'M駢15膜的形成"同樣操作，形鵬厚為2.0Mm的{跌膜，并與戰(zhàn)同樣評價(jià)與Cr基板的密合性，結(jié)果100個(gè)棋盤格中的100個(gè)^l^留。-平坦化性能的評價(jià)-在Si02浸漬玻璃基板上分別利用旋轉(zhuǎn)涂布器涂布顏料類彩色光刻膠(力，一l/^X卜)(商品名"JCRRED689"、"JCRGREEN706"和"CR208200B";以上為JSR(株)帝J)，在90。C下在加熱l^i:予I^烤150秒，形^膜。然后，^f頓曝光機(jī)CanonPLA501F(Canon(株)帶J)，通過規(guī)定的圖案掩模，進(jìn)行g(shù)/h/i射線(波長436nm、405nm和365nm的3跛比=2.7:2.5:4.8)曝光，其曝光量換算為i射線為2,000J/m2,然后，用0.05c/。氨氧化鉀7jC溶^a行顯影，用超^foK清洗60秒，雜烘箱中在230°C下加熱艦30辦中，由此形成紅、25纟蘇卩藍(lán)3色條^l;色濾光片(條寬IOOmjii)o然后，使用表面粗糙度計(jì)a-step(亇一工^工一于〉〕一^(株)制)，測定形成了該彩色濾光片的基板的表面凹凸，其測定長2，000拜、測定范圍2,000,見方、測定方向?yàn)榧t、綠、藍(lán)方向的條線短軸方向和紅'紅、綠'綠、藍(lán)-藍(lán)的同一色的條線長軸方向2個(gè)方向，對各方向的測定點(diǎn)數(shù)為n-5(合計(jì)30n=10)，觀啶每次測定的最髙部和驗(yàn)部的高低對nm)的平均值，結(jié)果為1.0拜。另外，在和雄同樣操作形成有彩色濾光片的^±用旋轉(zhuǎn)涂布#^布上述"方謝線敏感性樹脂組合物的配制"中配制的組合物溶液后，在80。C下在加熱板上預(yù)烘烤5併中形^^膜，再在烘箱中在230°C下加熱處理60辦中，在彩色濾光片上形^^巨離彩色濾光片的上面的膜厚為2.0,的保護(hù)膜。5然后，對該彩色濾光片上具有保護(hù)膜的基板，和上述同樣操作測定保護(hù)膜的表面凹凸，艮P觀啶最髙部和驗(yàn)部的高低萄nm)的平均值，結(jié)果為200nm。當(dāng)該働300nm或300nm以下時(shí)，可以認(rèn)為其平坦化性能良好。-升,的脅在^HChl旋^^布H^布iliM^溶液后，在90。C下在加熱極上io予t^烤2辦中，形鵬厚為3.0nm的涂膜。在潔凈烘箱內(nèi)在220。C下加熱該硅基板i小時(shí)，得到固化膜。在得到的固4W上方留出l厘米的間隔，安裝m口用空硅晶片，在加熱板上在230°C下進(jìn)行1小時(shí)的加熱處理。不更,卩用空硅晶片，連續(xù)處理20塊另外形成了上述固化膜的硅基板后，用肉目M察有無附著于空硅晶片的升華物，結(jié)果確認(rèn)沒有升華物。15實(shí)施例4250和比較例4對于，實(shí)施例41的"二、M固化性樹月餘且^"的(A，)成分和(E)成分，分別i頓表io所示的種類和量，頓表io所示的翻u作為翻y，除lJtt外，其余和實(shí)施例4i同樣操作配制組，，進(jìn)tn刊介。評價(jià)結(jié)果如表io所示。20另外，在表2中，標(biāo)各成分的簡稱分別定義如下。(E)成分E4:雙酚A線型酚醛型環(huán)氧樹脂(商品名工匕]一卜157S65,油化、:/工Jl/工求?！?株)帶J)&2:雙酚A型環(huán),月K商品名工匕]一卜828，油化i/工Jl/工求牛、:/25(株)律lj)翻uS-l:丙二醇一甲基醚乙酸酯S-2:二乙二醇二甲基醚表l<table>tableseeoriginaldocumentpage86</column></row><table>(IV揮三組，的配制和刑介聚，的合成合成例515在具有冷凝管、攪拌器的'M中加入2，2m禹氮二異丁腈2重量份、作為分子量控制齊啲上賦Cr-ii)標(biāo)的化，6重量份和二乙二醇二甲繊200重量份，接著加入甲基丙烯,水甘油酯50重量份、三環(huán)[5,2丄CP]癸煉8-基甲基丙烯酸酯20重量份和甲基丙烯酸30重量份，進(jìn)纖氣置換后，一邊慢,拌，一邊將反應(yīng)溶液升驢70。C，保職、鵬聚合6小時(shí)。然后，將反應(yīng)溶液io升,100。C，再加入2，2m禺氮二異丁腈1重量份，再接著聚合l小時(shí)，由此得到含有聚溯(A-51)的溶液。測定聚糊(A-51)的Mw和Mw/Mn的值，結(jié)果分別為9,500和1.4。另外，含有聚合物(A-51)的溶液的固體成分濃度為28.4重#%。15合成例5260按表11所示的量〗頓表11所示的種類的物質(zhì)代割乍為肝量控制齊啲上^;(T-ii)^的化合物，除jJ&外，其余和合成例51同樣操作。各合成例得到的聚合物的Mw和Mw/Mn以及各聚^t/溶液的固體成分濃度如表11所示。20比較合成例4在具有冷凝管、攪拌器的燒瓶中加入2,2'-偶氮；2,4-二甲基戊職6重量份禾口二乙二醇甲基乙基醚200重量份，接著加入甲基丙烯酸縮水甘油酯50重量份、三環(huán)[5,2丄(P]癸烷-8-基甲基丙烯酸酯20重量份和甲基丙烯酸30重量份，進(jìn)《m氣置換后，一邊tHt攪拌，一邊將，溶皿MS70。C，保,旨聚25合5小時(shí)，由此得至(J含有聚合物(a4)的聚，溶液。聚合物(a4)的棘乙烯換算重均分子量(Mw)為15,000、舒量分布(Mw/Mn)為2.4，含有聚糊(a4)的溶液的固體成分濃度為30.5重量%。表ll<table>tableseeoriginaldocumentpage88</column></row><table>實(shí)施例51一液型固化性樹膨且^tl的配制將作為(A')成分的相當(dāng)于共聚物(A-51)固體成分謂重量份的量的含有上述合成例51中得到的聚^t/(A-51)的溶液、作為(E)成分的雙酚A線型酚醛型io環(huán)氧樹脂(商品名工匕〕一卜157S65、油化i/工^工求年v(株)審U)10重量份、作為(G)酸發(fā)生齊啲節(jié)基-2-甲基4存強(qiáng)苯基甲辭充六氟銻離1重量份、作為粘結(jié)助劑的，環(huán)氧丙氧丙基三甲氧基硅烷15重量份和作為表面活性劑的SH-28PA(東1/y々〕一二〉夂.^U〕一〉(株)制)O.l重量份混合，進(jìn)一步添加丙二醇一甲基醚乙酸酯，使固體成分濃度為20%，然后用L徑為0.5拜15的微孔過濾器過濾，配制成組合物溶液。該組合物溶液的夕卜觀是無腿明的。一液型固化性樹膨且^tl的荊介4頓上述配制的一液型固化性樹脂組合物作為組^tl溶液，除lltt外，其余和，實(shí)施例41同^f操作ia行im。結(jié)果如表i2所示。實(shí)施例5260和比較例5對于i^實(shí)施例51的"一,固化性樹月l^^l的配制"中的(A')成分，5使用表12所示的種類和量，使用表12所示的翻,為翻j,除llfct外，其余和實(shí)施例51同樣操作配制組^，進(jìn)4fVH介。評價(jià)結(jié)果如表12所示。另外，表12中的翻U欄的簡稱和表10中的定義相同。表l2<table>tableseeoriginaldocumentpage90</column></row><table>(V)含有(A，1)聚糊的組合物的配制和評價(jià)合成例61在具有冷凝管和攪拌器的'鵬中加入2,2'-偶氮二異丁腈2重量份、作為分5子量控制齊啲J^(T-l)標(biāo)的化^t/3龍份和二乙二醇二甲基醚200重量份，接著加入甲基丙烯酸縮7K甘油酯40錢份、甲基丙烯酸M環(huán)戊魏萄乙酯40重量份、苯乙烯10重量份和N-環(huán)己基馬來StM胺10重量份，迸皿氣置換后，慢1fJf始攪拌。將溶液的M^溫至70。C，保持該溫度5小時(shí)后，再加入2,2，-偶氮:r(2，4"二甲基鵬2重量份，再在70。C下攪拌2小時(shí)，得到共10聚物(A-61)的溶液。得到的共聚物(A《1)的Mw為8,000，量分布(Mw/Mn)為1.60。實(shí)施例61第四組，的配律卿評價(jià)15—M固化性樹B離合物的配制將作為(A')成分的相當(dāng)于100重量份共聚物(A-61)的固體成分的量的含有，合成例61中得到的共聚物(A"61)的溶液、作為(￡)成分的A線型酚醛型環(huán)iW月K商品名工t:〕一卜i57S65、油化e/工^工求年v(株)娜io重量份、作為敝生劑的節(jié)基2-甲*4-羥基苯基甲|^銻,1重量份、作20為粘結(jié)助劑的？環(huán)氧丙氧丙基三甲氧基硅烷15重量份和作為表面活性劑的SH-28PA(東I/.夂々〕一二>夂.i/U〕一〉(株)制)O.l重量份混合，進(jìn)一步添加丙二醇一甲基醚乙酸酯，使固體成分濃度為20重量％，然后用孔徑為0.5nm的微孔過濾器過濾，配制成組合物溶液。該組合物溶液的夕卜觀是無色透明的。25—M固化性樹S餘且合物的評價(jià)f頓Jd^配制的一鵬固化性樹月識糊，除jlfct外，其余和戰(zhàn)實(shí)施例41同樣操作進(jìn)fi^刊介。結(jié)果如下所述。透明性99%耐熱尺寸稱定性99%30耐熱變色性3%動(dòng)繊小鵬23。C:29140。C:25密合性Si02:100Cr:100平坦化性能200nrn升嫩無權(quán)利要求1.一種固化性樹脂組合物，其特征在于，其含有(A)聚合物，所述(A)聚合物是通過在下式(1)或下式(2)表示的化合物存在下通過活性自由基聚合進(jìn)行聚合，用凝膠滲透色譜法測定的聚苯乙烯換算重均分子量(Mw)與數(shù)均分子量(Mn)之比(Mw/Mn)為1.7或1.7以下，且具有羧基以及環(huán)氧乙烷基或氧雜環(huán)丁基，其中，式(1)為式(1)中，p為1或1以上的整數(shù)，Z1為氫原子、羧基、基團(tuán)-RA、基團(tuán)-ORA、基團(tuán)-NRA2、基團(tuán)-COORA、基團(tuán)-C(＝O)NRA2、基團(tuán)-P(＝O)RA2、基團(tuán)-P(＝O)(ORA)2或基團(tuán)-NRANRA-C(＝O)RA，RA獨(dú)立地為鹵原子、氰基、羥基、碳原子數(shù)為1～20的烷基、碳原子數(shù)為2～20的烯基、碳原子數(shù)為6～20的芳基、碳原子數(shù)為7～20的芳烷基、或碳原子與雜原子的合計(jì)原子數(shù)為3～20的1價(jià)雜環(huán)基團(tuán)，RA為烷基、烯基、芳基、芳烷基或雜環(huán)基團(tuán)時(shí)，RA所具有的氫原子中的1個(gè)或多個(gè)可以被鹵原子、氰基、羥基或羧基取代；p＝1時(shí)，R1為氫原子、氰基、基團(tuán)-RB、基團(tuán)-ORB、基團(tuán)-NRB2、基團(tuán)-SRB，RB獨(dú)立地為碳原子數(shù)為1～20的烷基、碳原子數(shù)為3～20的1價(jià)脂環(huán)族烴基、碳原子數(shù)為2～20的烯基、碳原子數(shù)為6～20的芳基、碳原子數(shù)為7～20的芳烷基、或碳原子與雜原子的合計(jì)原子數(shù)為3～20的1價(jià)雜環(huán)基團(tuán)，RB所具有的氫原子中的1個(gè)或多個(gè)可以被鹵原子、氰基、羥基、羧基或環(huán)氧乙烷基取代，其中，Z1和R1不同時(shí)為氫原子；p為2或2以上時(shí)，R1是從碳原子數(shù)為1～20的烷烴中除去p個(gè)氫原子得到的p價(jià)基團(tuán)、從碳原子數(shù)為6～20的芳烴中除去p個(gè)氫原子得到的p價(jià)基團(tuán)、或從碳原子與雜原子的合計(jì)原子數(shù)為3～20的1價(jià)雜環(huán)化合物中除去p個(gè)氫原子得到的p價(jià)基團(tuán)，這些基團(tuán)所具有的氫原子中的1個(gè)或多個(gè)可以被鹵原子、氰基、羥基、羧基或環(huán)氧乙烷基取代；式(2)為式(2)中，m為2或2以上的整數(shù)，Z2是從碳原子數(shù)為1～20的烷烴中除去m個(gè)氫原子得到的m價(jià)基團(tuán)、從碳原子數(shù)為6～20的芳烴中除去m個(gè)氫原子得到的m價(jià)基團(tuán)、或從碳原子與雜原子的合計(jì)原子數(shù)為3～20的1價(jià)雜環(huán)化合物中除去m個(gè)氫原子得到的m價(jià)基團(tuán)，這些基團(tuán)所具有的氫原子中的1個(gè)或多個(gè)可以被鹵原子、氰基、羥基、羧基或環(huán)氧乙烷基取代，R2為氫原子、氰基、基團(tuán)-RC、基團(tuán)-ORC、基團(tuán)-NRC2、基團(tuán)SRC，RC獨(dú)立地為碳原子數(shù)為1～20的烷基、碳原子數(shù)為3～20的1價(jià)脂環(huán)族烴基、碳原子數(shù)為2～20的烯基、碳原子數(shù)為6～20的芳基、碳原子數(shù)為7～20的芳烷基、或碳原子與雜原子的合計(jì)原子數(shù)為3～20的1價(jià)雜環(huán)基團(tuán)，RC所具有的氫原子中的1個(gè)或多個(gè)可以被鹵原子、氰基、羥基、羧基或環(huán)氧乙烷基取代。2.如權(quán)利要求1所述的固化性樹膨且合物，其中，(A)聚儲具有下式(i)或下式(ii)表示的結(jié)構(gòu)<formula>formulaseeoriginaldocumentpage3</formula>式(i)中，^和J^;(l)中的定義相同，式(ii)中，"和m與J^式(2)中的定義相同。3.如權(quán)利要求1所述的固化性樹膨且合物，其特征在于，其還含有(B)聚20合性不飽和化合物和(C)Mt線敏感性聚合引發(fā)劑，用于形成間隔物。4.如權(quán)利要求1所述的固化性樹月離合物，其特征在于，其還含有(0)1,2-醌二疊氮化，，用于形^M間絕緣膜lTit^05.如權(quán)利要求1所述的固化性樹臌且合物，其特征在于，其還含有(E鄉(xiāng)離子聚合性化合物，用于形成<，膜。6.—種固化性樹脂組合物，其特征在于，其含有(A')聚合物和(E)陽離子聚合性化合物，用于形成保護(hù)膜，其中，所述(A，)聚合物魏過在上述式(1)或Jd^(2)，的化合物的存在下S31活性自由，^a行聚合，用滲透色5譜法測定的聚苯乙烯換算重均分子量(Mw)與數(shù)均分子量(Mn)之比(Mw/Mn)為1.7或1.7以下，且具有環(huán)氧乙烷基纖I^FT基。7.如權(quán)利要求6所述的固化性樹月離合物，其中，(A，)聚合物具有上述式(i)或Jd^(ii銜的結(jié)構(gòu)。8.如權(quán)利要求57中任一項(xiàng)所述的固化性樹月離合物，其還含有(F)固10化劑爽G)麟生劑。9.一種2液型固化性樹脂組，，期寺征在于，其含有第一液和第二液,所述第一液為權(quán)利要求57中任一項(xiàng)所述的固化性樹脂組合物，所述第二液含有(F)固化劑。10.—種間隔物的形成方法，其特征在于，其按照如下所述的順序進(jìn)行下15虹和)(4):(1)在±形^^利要求3所述的固化性樹臘且合物的鵬的工序、(2)對至少一部分，^iS行TO線曝光的工序、(3)將曝光后的MM顯影的工序、(4)將顯影后的W(J卩熱的工序。11.間隔物，其由權(quán)利要求10所述的方法形成。12.—種液晶顯示元件，其特征在于，其包括權(quán)利要求ll所述的間隔物。13.—種層間絕緣膜或m^的形成方法，其特征在于，其按照如下所述的",進(jìn)行下虹和)(4):(1)在±形^^利要求4臓的固化性樹月離合物的鵬的工序、(2)對，M的至少一部分進(jìn)4亍方，線曝光的工序、(3)將曝光后的顯影的工序、(4)將顯影后的鵬B熱的工序。14.由l^利要求13所述的方法形成的層間絕緣膜鉱lt^。15.—種保護(hù)膜的形成方法，其特征在于，其按照如下所述的順序進(jìn)行下30舡和)(2):'(1)在±形1利要求57中任一項(xiàng)戶/^的固化性樹脂組含吻的的工序。(2)將，鵬加熱的工序。16.由權(quán)利要求15所述的方法形成的f默膜。517.—種保護(hù)膜的形成方法，其特征在于，其按照如下所述的順序進(jìn)行下虹糊(3):(1)將權(quán)利要求9所述的組，的第一液和第二液混合的工序、(2)在*&±:形成±^混合液的的工序、(3)將，被膜加熱的工序。18.由權(quán)利要求17所述的方法形成的做膜。全文摘要固化性樹脂組合物、固化膜的形成方法和固化膜，本發(fā)明涉及一種固化性樹脂組合物，其含有一種聚合物，所述聚合物是通過在特定的硫羰基硫化合物存在下利用活性自由基聚合來聚合的，用凝膠滲透色譜法測定的聚苯乙烯換算重均分子量(Mw)與數(shù)均分子量(Mn)之比(Mw/Mn)為1.7或1.7以下，且具有羧基以及環(huán)氧乙烷基或氧雜環(huán)丁基。文檔編號C08L101/06GK101153121SQ20061017180公開日2008年4月2日申請日期2006年9月30日優(yōu)先權(quán)日2005年10月7日發(fā)明者松本龍,梶田徹,河本達(dá)慶申請人:Jsr株式會社