專利名稱：芳香族锍鹽化合物的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及新型的芳香族锍鹽化合物，詳細(xì)而言，涉及芳香族锍鹽化合物、使用了該化合物的光致產(chǎn)酸劑(Photo-acid generator)及陽離子聚合引發(fā)劑、以及含有它們的抗蝕劑組合物及陽離子聚合性組合物。
背景技術(shù)：
锍鹽化合物是通過受到光等能量線照射而產(chǎn)生酸的物質(zhì)，被用于在半導(dǎo)體等電子電路的形成中使用的光刻法用抗蝕劑組合物中的光致產(chǎn)酸劑、和立體光刻用樹脂組合物 (stereolithographic resin composition)、涂料、涂敷劑、粘接劑等光聚合性組合物中的陽離子聚合引發(fā)劑等。
專利文獻(xiàn)1 3中公開了芳香族锍鹽化合物、由該化合物組成的光致產(chǎn)酸劑及包含該光致產(chǎn)酸劑的光聚合性組合物。但是，這些光致產(chǎn)酸劑的顯影性不充分，特別是在用作負(fù)型抗蝕劑的情況下，不容易進(jìn)行微細(xì)的圖案化。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1 日本特開平9-143212號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2 日本特開平9-157350號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)3 日本特開2000-186071號(hào)公報(bào)發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題
因此，本發(fā)明的目的在于提供顯影性高的光致產(chǎn)酸劑及固化性高的陽離子聚合引發(fā)劑，還在于提供使用了它們的抗蝕劑組合物及陽離子聚合性組合物。
用于解決課題的手段
本發(fā)明者們?yōu)榱私鉀Q上述課題而進(jìn)行了深入研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，具有特定結(jié)構(gòu)的芳香族锍鹽化合物可解決上述問題，從而達(dá)到本發(fā)明。
S卩，本發(fā)明提供下述通式(I)所示的新型的芳香族锍鹽化合物。
[化1]
權(quán)利要求
1 一種下述通式(I)所示的芳香族锍鹽化合物，
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芳香族锍鹽化合物，其特征在于，其由下述通式(II)表示，
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芳香族锍鹽化合物，其特征在于，其由下述通式(III)表示， [化3]式(III)中，R41、R42、R43、R44、R45、R46、R47、R48、R49及R50分別獨(dú)立地表示氫原子、鹵素原子、羥基、硝基、無取代的或具有取代基的碳原子數(shù)為1 18的烷基、無取代的或具有取代基的碳原子數(shù)為6 20的芳基、或者無取代的或具有取代基的碳原子數(shù)為7 20的芳基焼基，R51、R52、R53、R54、R55、R56及R57分別獨(dú)立地表示氫原子、鹵素原子、羥基、硝基、或者無取代的或具有取代基的碳原子數(shù)為1 18的烷基，鏟8表示氫原子、具有取代基的碳原子數(shù)為1 10的烷基、無取代的或具有取代基的碳原子數(shù)為11 18的烷基、無取代的或具有取代基的碳原子數(shù)為6 20的芳基、或者無取代的或具有取代基的碳原子數(shù)為7 20的芳基烷基，R41 R58所示的碳原子數(shù)為1 18的烷基、R41 Rsi及R58所示的碳原子數(shù)為6 20 的芳基、以及R41 R5°及R58所示的碳原子數(shù)為7 20的芳基烷基所具有的取代基的數(shù)目沒有限制，R41 R58所示的碳原子數(shù)為1 18的烷基、R41 Rsi及R58所示的碳原子數(shù)為6 20的芳基、以及R81 R9°及R98所示的碳原子數(shù)為7 20的芳基烷基中的亞甲基鏈可以被-0-、-S-、-CO-、-C0-0-或-0-C0-中斷， Xf表示1價(jià)的陰離子。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的芳香族锍鹽化合物，其特征在于，其由下述通式(IV)表[化4]
5.根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的芳香族锍鹽化合物，其特征在于，其由下述通式(V)表示，[化5]
6.一種光致產(chǎn)酸劑，其特征在于，其包含權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的芳香族锍鹽化合物。
7.一種抗蝕劑組合物，其特征在于，其含有權(quán)利要求6所述的光致產(chǎn)酸劑。
8.一種陽離子聚合引發(fā)劑，其特征在于，其包含權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的芳香族锍鹽化合物。
9.一種陽離子聚合性組合物，其特征在于，其含有權(quán)利要求7所述的陽離子聚合引發(fā)劑。
全文摘要
本發(fā)明提供顯影性高的光致產(chǎn)酸劑及固化性高的陽離子聚合引發(fā)劑，還提供使用了它們的抗蝕劑組合物及陽離子聚合性組合物。具體而言，提供下述通式(I)所示的新型的芳香族锍鹽化合物、使用了該化合物的光致產(chǎn)酸劑、陽離子聚合引發(fā)劑、抗蝕劑組合物及陽離子聚合性組合物。式(I)中，R1～R10表示無取代的或具有取代基的碳原子數(shù)為1～18的烷基等，R11～R17表示無取代的或具有取代基的碳原子數(shù)為1～18的烷基等，R18表示無取代的或具有取代基的碳原子數(shù)為1～18的烷基等，X1-表示1價(jià)的陰離子。
文檔編號(hào)C07D219/06GK102510856SQ20108003303
公開日2012年6月20日 申請(qǐng)日期2010年11月17日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月17日
發(fā)明者奧山雄太, 真壁由惠 申請(qǐng)人:株式會(huì)社艾迪科