技術編號：3504672
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及新型的芳香族锍鹽化合物，詳細而言，涉及芳香族锍鹽化合物、使用了該化合物的光致產(chǎn)酸劑(Photo-acid generator)及陽離子聚合引發(fā)劑、以及含有它們的抗蝕劑組合物及陽離子聚合性組合物。背景技術锍鹽化合物是通過受到光等能量線照射而產(chǎn)生酸的物質，被用于在半導體等電子電路的形成中使用的光刻法用抗蝕劑組合物中的光致產(chǎn)酸劑、和立體光刻用樹脂組合物 (stereolithographic resin composition)、涂料、涂敷劑、粘接劑等...
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