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多晶硅還原爐接地泄露電流的檢測裝置的制造方法

文檔序號:10071531閱讀:1193來源:國知局
多晶硅還原爐接地泄露電流的檢測裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域,具體而言,涉及一種多晶硅還原爐接地泄露電流的檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]多晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域中,還原爐是生產(chǎn)多晶硅的核心設(shè)備。在利用還原爐生成多晶硅時(shí),還原爐內(nèi)的電流回路不可避免的會產(chǎn)生接地泄露電流,但如果接地泄露電流過大容易發(fā)生接地故障。所以,還原爐運(yùn)行時(shí)需要精確控制好爐內(nèi)溫度,因?yàn)槿绻麪t內(nèi)溫度過低,底座上會生長出無定型硅,使得硅棒跟還原爐的底盤連接,導(dǎo)致接地泄漏電流超過安全范圍,發(fā)生接地故障;如果爐內(nèi)溫度過高,硅棒容易發(fā)生融溶,同樣容易引起接地泄漏電流過大,進(jìn)而發(fā)生接地故障。此外,爐內(nèi)氣流波動太大或者電流波動大都容易引起接地泄漏電流過大,也同樣容易發(fā)生接地故障。
[0003]不論上述哪種情況導(dǎo)致發(fā)生的接地故障,在出現(xiàn)接地故障后都可能發(fā)生硅棒與爐體之間打火,甚至直接導(dǎo)致停機(jī)和倒棒等嚴(yán)重生產(chǎn)事故,從而降低了還原爐運(yùn)行的穩(wěn)定性。通過上述描述可知,導(dǎo)致接地故障發(fā)生率較高的一個(gè)因素就是接地泄露電流過大,在相關(guān)技術(shù)中,通過在可控硅主電路柜體內(nèi)設(shè)置還原爐接地泄露電流的檢測裝置來檢測接地泄露電流,但是上述檢測裝置對接地泄露電流檢測的不夠準(zhǔn)確,并且可檢測的電流容量較小,使得檢測裝置所能檢測的電流限值較低,所以極易發(fā)生接地故障。此外,由于檢測裝置設(shè)置在可控硅主電路柜體內(nèi),所以空間狹窄,容易引起散熱不良,進(jìn)而導(dǎo)致可控硅主電路柜體內(nèi)溫度過高,仍舊容易使多晶硅還原爐設(shè)備產(chǎn)生故障。
[0004]針對上述的問題,目前尚未提出有效的解決方案。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種多晶硅還原爐接地泄露電流的檢測裝置,以至少解決現(xiàn)有技術(shù)中無法有效降低接地故障的發(fā)生率的技術(shù)問題。
[0006]根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的一個(gè)方面,提供了一種多晶硅還原爐接地泄露電流的檢測裝置,包括:接地保護(hù)線路,與多晶硅還原爐的主供電系統(tǒng)中變壓器的次級繞組相連接;吸收電路,設(shè)置在所述接地保護(hù)線路上;第一電阻,與所述吸收電路連接,用于對流過所述接地保護(hù)線路的電流進(jìn)行分流,其中,所述第一電阻的阻值可調(diào);檢測電路板,與所述第一電阻連接,用于檢測通過所述第一電阻的電流,其中,在所述電流超出預(yù)設(shè)電流閾值的情況下,控制所述接地保護(hù)線路斷開。
[0007]進(jìn)一步地,所述接地保護(hù)線路包括:接地保護(hù)線,所述接地保護(hù)線的第一端與所述次級繞組相連接,所述接地保護(hù)線的第二端與信號地連接;保護(hù)開關(guān),所述保護(hù)開關(guān)的第一端連接至第一節(jié)點(diǎn),其中,所述第一節(jié)點(diǎn)為所述接地保護(hù)線的第一端與所述次級繞組之間的節(jié)點(diǎn);以及硅棒,所述硅棒的第一端與所述保護(hù)開關(guān)的第二端連接,所述硅棒的第二端與所述信號地連接,其中,所述檢測電路板與所述接地保護(hù)線相連接,通過控制所述保護(hù)開關(guān)來控制所述接地保護(hù)線路斷開。
[0008]進(jìn)一步地,所述吸收電路包括:第一電容,其中,所述第一電容的第一端連接信號地;第二電容,其中,所述第二電容的第一端與所述第一電容的第二端連接;第三電容,其中,所述第三電容的第一端與所述第二電容的第二端連接,所述第三電容的第二端與所述次級繞組連接;第二電阻,其中,所述第二電阻設(shè)置在所述第二電容和所述第三電容之間,其中,所述第一電阻連接在所述檢測電路板與所述第三電容的第一端之間。
[0009]進(jìn)一步地,所述檢測裝置還包括:溫度檢測裝置,與所述第一電阻和所述第二電阻均連接,并與所述檢測電路板連接。
[0010]進(jìn)一步地,所述檢測裝置還包括柜體,其中,所述吸收電路、所述第一電阻、所述檢測電路板和所述溫度檢測裝置均設(shè)置在所述柜體內(nèi),其中,所述柜體設(shè)置在所述多晶硅還原爐的主供電系統(tǒng)的外部。
[0011 ] 進(jìn)一步地,所述檢測裝置還包括指示燈,所述指示燈設(shè)置在所述柜體上,與所述檢測電路板連接,用于顯示所述檢測裝置的運(yùn)行狀態(tài)。
[0012]進(jìn)一步地,所述溫度檢測裝置包括溫度傳感器和/或熱敏電阻。
[0013]進(jìn)一步地,所述接地保護(hù)線為阻燃電纜。
[0014]進(jìn)一步地,所述保護(hù)開關(guān)為設(shè)置在所述主供電系統(tǒng)中調(diào)壓裝置內(nèi)的開關(guān)。
[0015]在本實(shí)用新型實(shí)施例中,采用阻值可調(diào)的第一電阻對接地保護(hù)線路的電流進(jìn)行分流,在接地保護(hù)線路出現(xiàn)接地故障的情況下,會導(dǎo)致通過第一電阻的電流增大,進(jìn)而檢測電路板通過檢測流經(jīng)第一電阻的電流,并將其作為接地泄露電流檢測值與預(yù)設(shè)電流閾值進(jìn)行比較,在比較出前者較大情況下,可以確定出接地保護(hù)線路出現(xiàn)接地故障,此種情況控制接地保護(hù)線路斷開,達(dá)到了避免因接地泄露電流超過安全范圍導(dǎo)致發(fā)生接地故障的目的,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)了有效降低接地故障的發(fā)生率,提高多晶硅還原爐運(yùn)行穩(wěn)定性的技術(shù)效果,解決了現(xiàn)有技術(shù)中無法有效降低接地故障的發(fā)生率的技術(shù)問題。
【附圖說明】
[0016]此處所說明的附圖用來提供對本實(shí)用新型的進(jìn)一步理解,構(gòu)成本申請的一部分,本實(shí)用新型的示意性實(shí)施例及其說明用于解釋本實(shí)用新型,并不構(gòu)成對本實(shí)用新型的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0017]圖1是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的多晶硅還原爐接地泄露電流的檢測裝置的示意圖;以及
[0018]圖2是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例可選的多晶硅還原爐接地泄露電流的檢測裝置的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0019]為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好地理解本實(shí)用新型方案,下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分的實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都應(yīng)當(dāng)屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0020]需要說明的是,本實(shí)用新型的說明書和權(quán)利要求書及上述附圖中的術(shù)語“第一”、“第二”等是用于區(qū)別類似的對象,而不必用于描述特定的順序或先后次序。應(yīng)該理解這樣使用的數(shù)據(jù)在適當(dāng)情況下可以互換,以便這里描述的本實(shí)用新型的實(shí)施例能夠以除了在這里圖示或描述的那些以外的順序?qū)嵤4送?,術(shù)語“包括”和“具有”以及他們的任何變形,意圖在于覆蓋不排他的包含,例如,包含了一系列步驟或單元的過程、系統(tǒng)、產(chǎn)品或設(shè)備不必限于清楚地列出的那些步驟或單元,而是可包括沒有清楚地列出的或?qū)τ谶@些過程、產(chǎn)品或設(shè)備固有的其它步驟或單元。
[0021]根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例,提供了一種多晶硅還原爐接地泄露電流的檢測裝置的實(shí)施例。
[0022]圖1是根據(jù)本實(shí)用新型實(shí)施例的多晶硅還原爐接地泄露電流的檢測裝置的示意圖,如圖1所示,該檢測裝置包括接地保護(hù)線路10、吸收電路20、第一電阻30和檢測電路板40,其中,接地保護(hù)線路10與多晶硅還原爐的主供電系統(tǒng)中變壓器的次級繞組相連接;吸收電路20設(shè)置在接地保護(hù)線路上;第一電阻30與吸收電路連接,用于對流過接地保護(hù)線路的電流進(jìn)行分流,其中,第一電阻的阻值可調(diào),從而可以調(diào)節(jié)流經(jīng)接地保護(hù)線路的電流;檢測電路板40與第一電阻連接,用于檢測通過第一電阻的電流,其中,在電流超出預(yù)設(shè)電流閾值的情況下,控制接地保護(hù)線路斷開。
[0023]具體地,上述吸收電路為RC吸收電路,也可以稱為RC緩沖電路。
[0024]在本實(shí)用新型實(shí)施例中,采用阻值可調(diào)的第一電阻對接地保護(hù)線路的電流進(jìn)行分流,在接地保護(hù)線路出現(xiàn)接地故障的情況下,會導(dǎo)致通過第一電阻的電
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