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一種綠色基調(diào)的低輻射鍍膜玻璃的制作方法

文檔序號:11311145閱讀:437來源:國知局
本實用新型涉及一種鍍膜玻璃,具體涉及一種綠色基調(diào)的低輻射鍍膜玻璃。
背景技術(shù)
:鍍膜玻璃具有節(jié)能減排及裝飾幕墻的雙重功效,推出市場后,深受人們喜愛,目前市場上的綠色基調(diào)的低輻射鍍膜玻璃,多用綠?;兡ぃ镁G色基片鍍膜,一方面成本高,另一方面綠色玻璃本身會吸熱,不利于節(jié)能降溫。技術(shù)實現(xiàn)要素:本實用新型的一種綠色基調(diào)的低輻射鍍膜玻璃,傳熱系數(shù)低,遮陽效果好,有效阻止熱能透過玻璃進入室內(nèi),降低了生產(chǎn)成本。本實用新型是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的:一種綠色基調(diào)的低輻射鍍膜玻璃,包括第一玻璃基板,所述第一玻璃基板上依次設(shè)有ITO層、Nb2O5層、第一AZO層、Ag層、第二AZO層、TIOx層和Si3N4層。優(yōu)選的,所述ITO層為磁控濺射氧化銦錫靶(In2O3:SnO2=90:10(wt%)),交流電源濺射,用Ar氣作為濺射氣體,氣體流量800SCCM,膜厚120~135nm,方阻<15歐。優(yōu)選的,所述Nb2O5層為磁控濺射鈮靶,交流電源反應(yīng)濺射,用Ar氣、O2作為濺射氣體,氣體流量400SCCM:800SCCM,膜厚20~50nm。優(yōu)選的,所述第一AZO層和第二AZO層,均為磁控濺射摻鋁氧化鋅靶(ZnO:Al=92:8(wt%)),交流電源反應(yīng)濺射,用Ar氣、O2作為濺射氣體,氣體流量1000SCCM:40SCCM,膜厚300~500nm。優(yōu)選的,所述Ag層,磁控濺射Ag層,直流電源濺射,用Ar氣作為濺射氣體,氣體流量500~550SCCM,膜厚3~5nm。優(yōu)選的,所述TIOx層,磁控濺射氧化鈦靶,交流電源濺射,用Ar氣、O2作為濺射氣體,氣體流量1000SCCM:40SCCM,膜厚20-35nm。優(yōu)選的,所述Si3N4層,磁控濺射硅鋁靶(Si:Al=92:8(wt%)),交流電源濺射,用Ar氣、O2作為濺射氣體,氣體流量400SCCM:600SCCM,膜厚50~85nm。優(yōu)選的,所述第一玻璃基板為厚度為4-8mm的浮法玻璃。一種制備綠色基調(diào)的低輻射鍍膜玻璃的方法,包括以下步驟:A:選擇4~8mm玻璃基片,按預(yù)定尺寸用切割機進行切割,用清洗機對玻璃基片進行清洗;B:將玻璃基片送入鍍膜室磁控濺射ITO層,用交流電源、Ar氣作為保護氣體,磁控濺射氧化銦錫靶(In2O3:SnO2=90:10(wt%)),用Ar氣流量800SCCM,在玻璃基片上濺射120~135nm的ITO層;C:繼續(xù)磁控濺射Nb2O5層,用交流電源,Ar氣、O2作為保護氣體,磁控濺射鈮靶,用Ar和O2氣體流量400SCCM:800SCCM,濺射20~50nm的Nb2O5層;D:繼續(xù)磁控濺射第一AZO層,用交流電源,Ar氣、O2作為保護氣體,磁控濺射鋁氧化鋅靶(ZnO:Al=92:8(wt%)),用Ar和O2氣體流量1000SCCM:40SCCM,濺射300~500nm的第一AZO層;E:繼續(xù)磁控濺射Ag層,用直流電源,Ar氣作為保護氣體,磁控濺射,用Ar氣體流量500~550SCCM,濺射3~5nm的Ag層;F:繼續(xù)磁控濺射第二AZO層,用交流電源,Ar氣、O2作為保護氣體,磁控濺射鋁氧化鋅靶(ZnO:Al=92:8(wt%)),用Ar和O2氣體流量1000SCCM:40SCCM,濺射300~500nm的第二AZO層;G:繼續(xù)磁控濺射TIOx層,用交流電源,Ar氣、O2作為保護氣體,磁控濺射氧化鈦靶,用Ar和O2氣體流量1000SCCM:40SCCM,濺射20~35nm的TIOx層;H:繼續(xù)磁控濺射Si3N4層,用交流電源,Ar氣、O2作為保護氣體,磁控濺射硅鋁靶(Si:Al=92:8(wt%)),用Ar和O2氣體流量400SCCM:600SCCM,濺射50~85nm的Si3N4層。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型具有如下優(yōu)點:1、本實用新型的一種綠色基調(diào)的低輻射鍍膜玻璃,輻射率可至0.08,a*=-8~-9,b*=+3~+1,為一種翡翠綠色鍍膜玻璃,克服了現(xiàn)有綠色低輻射鍍膜玻璃通常采用大量綠色本體著色浮法玻璃基片,生產(chǎn)成本昂貴,生產(chǎn)效率低的缺陷,生產(chǎn)成本低廉,利于低輻射玻璃的推廣使用;2、本實用新型的綠色基調(diào)的低輻射鍍膜玻璃制備方法,功能膜層依次沉積在玻璃基片上,膜層具有耐候性和耐腐蝕性能優(yōu)秀、輻射率低、表面電阻小、均勻性好、結(jié)合力強的優(yōu)點?!靖綀D說明】圖1是本實用新型結(jié)構(gòu)示意圖?!揪唧w實施方式】如附圖1所示的一種高紅外反射鍍膜玻璃,包括玻璃基片1,所述玻璃基片1上依次設(shè)有ITO層2、Nb2O5層3、第一AZO層4、Ag層5、第二AZO層6、TIOx層7和Si3N4層8。本實用新型的玻璃由一塊玻璃基片及多層鍍層復(fù)合而成,呈現(xiàn)一種翡翠綠色鍍膜玻璃,輻射率可至0.08,a*=-8~-9,b*=+3~+1,每邊的玻璃基板均由多個膜層構(gòu)成,成本低廉,有效隔絕熱源透過玻璃進入室內(nèi),實現(xiàn)節(jié)能的效果。所述ITO層2膜厚120~135nm,方阻<15歐,為磁控濺射氧化銦錫靶In2O3:SnO2=90:10(wt%),交流電源濺射,用Ar氣作為濺射氣體,氣體流量800SCCM。所述Nb2O5層3膜厚20~50nm,為磁控濺射鈮靶,交流電源反應(yīng)濺射,用Ar氣、O2作為濺射氣體,氣體流量400SCCM:800SCCM。用以提高膜層折射率,提高透過率。所述第一AZO層4和第二AZO層6,均為膜厚300~500nm,磁控濺射摻鋁氧化鋅靶ZnO:Al=92:8(wt%),交流電源反應(yīng)濺射,用Ar氣、O2作為濺射氣體,氣體流量1000SCCM:40SCCM。用以降低紅外的透過率。所述Ag層5膜厚3~5nm,磁控濺射Ag層,直流電源濺射,用Ar氣作為濺射氣體,氣體流量500~550SCCM。作為功能層,有效反射紅外線。所述TIOx層7膜厚20~35nm,磁控濺射氧化鈦靶,交流電源濺射,用Ar氣、O2作為濺射氣體,氣體流量1000SCCM:40SCCM。使外層具有高折射率,從而實現(xiàn)高的透過率,并且使膜層具有耐磨、耐腐蝕。所述Si3N4層8,磁控濺射硅鋁靶Si:Al=92:8(wt%),交流電源濺射,用Ar氣、O2作為濺射氣體,氣體流量400SCCM:600SCCM,膜厚50~85nm。該層使鍍膜層具有較高的機械性能。所述玻璃基片1為厚度為4~8mm的浮法玻璃。結(jié)合實施例具體說明本實用新型的一種制備綠色基調(diào)的低輻射鍍膜玻璃的方法:實施例1-4一種制備綠色基調(diào)的低輻射鍍膜玻璃的方法,包括以下步驟:A:選擇玻璃基片,按預(yù)定尺寸用切割機進行切割,用清洗機對玻璃基片進行清洗;B:將玻璃基片送入鍍膜室磁控濺射各鍍層,具體參數(shù)如表1:表1:上述實施例所得的綠色基調(diào)的低輻射鍍膜玻璃,按照GB/T18915.2-2002《鍍膜玻璃第2部分:低輻射鍍膜玻璃》標(biāo)準(zhǔn)對實施例1-4制得的玻璃進行光學(xué)性能的測定,測試結(jié)果如表2所示:表2:實施例1實施例2實施例3實施例4可見光透過率(%)65687070玻璃面反射亮度L*值73706972玻璃面反射顏色a*值-8.02-7.8-8.5-9.0玻璃面反射顏色b*值+3+2.5+2+1輻射率%0.070.080.090.1功能膜層依次沉積在玻璃基片上,膜層具有耐磨性和耐腐蝕性能,較高折射率和透過率,產(chǎn)品成本低廉。當(dāng)前第1頁1 2 3 
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