技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于低維納米材料和納米技術(shù)領(lǐng)域，提出了一種鹵素?fù)诫sZnMgO薄膜及其制備方法。所述制備方法包括如下步驟：將襯底清洗、烘干；將二水乙酸鋅及鎂源加入溶劑中，所述溶劑為乙二醇甲醚或正丙醇，穩(wěn)定劑采用乙醇胺，在55～80℃下攪拌1～2h，得到溶液；然后將NH4X或NaX加入溶液中，其中X代表鹵素，在55～80℃下攪拌2～3h，得到均一穩(wěn)定的溶膠；襯底利用旋涂法制備薄膜并循環(huán)數(shù)次；生長有薄膜的襯底放入熱處理爐中退火，退火溫度為400～700℃，保溫時(shí)間為0.5～3h；然后冷卻至室溫，得到鹵素?fù)诫s的ZnMgO薄膜。本發(fā)明鹵素?fù)诫sZnMgO薄膜是一種制備環(huán)境溫和，成本低，可靠性高并且工藝簡單的制備方法，該方法有望得到具有壓電性能的薄膜材料。

技術(shù)研發(fā)人員：戴英;樂志凱;李毛勸;裴新美;陳文
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢理工大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.20
技術(shù)公布日：2017.07.07