本實用新型涉及多晶硅生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種高效型鑄錠爐。

背景技術(shù)：

目前，多晶硅鑄錠工藝中，由于側(cè)部加熱器與石英坩堝相對不動，側(cè)部加熱器對石英坩堝一直處在加熱狀態(tài)，這樣就使得石英坩堝內(nèi)部中心處的硅液的溫度低于坩堝側(cè)部處溫度，使得中心處硅液先于側(cè)部凝固，從而得到的固液界面都是凸形，溫度梯度差別較大，很難得到較為水平的固液界面。 得到的硅錠將會把上端雜質(zhì)切除，凸形硅錠的成品切除率比較高，從而影響了鑄錠的出成率。 同時，由于難以達到溫度的橫向均勻分布，所以很不利于晶體的均勻化生長。同時，在多晶鑄錠爐中的坩堝底部設(shè)置有平板狀的熱交換臺，這種熱交換臺，由于散熱不均，長晶過程中會出現(xiàn)凸形晶面，并形成位錯，沉積雜質(zhì)，影響了多晶硅品質(zhì)。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的是提供加熱時坩堝內(nèi)部水平方向溫度較為均勻的鑄錠爐，加熱效果好，多晶硅品質(zhì)高。

為解決上述技術(shù)問題，本實用新型的目的是這樣實現(xiàn)的：

一種高效型鑄錠爐，包括具有夾層空間的爐體，爐體上設(shè)置有抽氣孔，爐體內(nèi)設(shè)置有保溫罩，保溫罩內(nèi)部設(shè)有坩堝、對應(yīng)所述坩堝的石墨護罩，所述石墨護罩頂部設(shè)置有頂部加熱器，所述頂部加熱器中部呈向下凸出狀，所述石墨護罩側(cè)邊設(shè)有側(cè)部加熱器，所述石墨護罩底部設(shè)置有熱交換平臺，所述熱交換平臺呈凸型并且熱交換平臺凸起的一面與石墨護罩底部相背；所述保溫罩以及熱交換平臺通過設(shè)置在爐體底部的石墨支柱支撐。

在上述方案的基礎(chǔ)上并作為上述方案的優(yōu)選方案：所述石墨護罩上設(shè)置有若干個分別與頂部加熱器和側(cè)部加熱器相對應(yīng)的通孔。

本實用新型的有益效果是：由于頂部加熱器中部呈向下凸出狀的凹型結(jié)構(gòu)使得對硅液中心加熱效果好，使其溫度接近于硅液側(cè)部溫度，凸形固液界面逐漸趨于平整固液界面，提高了鑄錠效率。同時石墨護罩上通孔的設(shè)計是使得加熱效果更好，加熱速度快。熱交換平臺中間厚四周薄的結(jié)構(gòu)使得散熱更加均勻，避免了長晶過程中出現(xiàn)凸形晶面，提高了生產(chǎn)的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

附圖說明

圖1為本實用新型的示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型進一步說明。

如圖1所示，一種高效型鑄錠爐，包括具有夾層空間的爐體1，爐體1上設(shè)置有抽氣孔2，爐體內(nèi)設(shè)置有保溫罩3，保溫罩內(nèi)部設(shè)有坩堝4、對應(yīng)所述坩堝的石墨護罩5，所述石墨護罩頂部設(shè)置有頂部加熱器6，所述頂部加熱器中部呈向下凸出狀，頂部加熱器的凹型結(jié)構(gòu)使得對硅液中心加熱效果好，使其溫度接近于硅液側(cè)部溫度，凸形固液界面逐漸趨于平整固液界面，提高了鑄錠效率。所述石墨護罩側(cè)邊設(shè)有側(cè)部加熱器7，所述石墨護罩上設(shè)置有若干個分別與頂部加熱器和側(cè)部加熱器相對應(yīng)的通孔10，加快熱傳遞，提高加熱的效率。所述石墨護罩底部設(shè)置有熱交換平臺8，所述熱交換平臺呈凸型并且熱交換平臺凸起的一面與石墨護罩底部相背，熱交換平臺中間厚四周薄的結(jié)構(gòu)使得散熱更加均勻，避免了長晶過程中出現(xiàn)凸形晶面，提高了生產(chǎn)的質(zhì)量；所述保溫罩以及熱交換平臺通過設(shè)置在爐體底部的石墨支柱9支撐。

以上詳細描述了本實用新型的較佳具體實施例。應(yīng)當理解，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員無需創(chuàng)造性勞動就可以根據(jù)本實用新型的構(gòu)思做出諸多修改和變化。因此，凡本技術(shù)領(lǐng)域中技術(shù)人員依本實用新型的構(gòu)思在現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上通過邏輯分析、推理或者有限的實驗可以得到的技術(shù)方案，皆應(yīng)在由權(quán)利要求書所確定的保護范圍內(nèi)。